JP2585091B2 - クリーンルーム間の搬送装置 - Google Patents
クリーンルーム間の搬送装置Info
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- JP2585091B2 JP2585091B2 JP1030820A JP3082089A JP2585091B2 JP 2585091 B2 JP2585091 B2 JP 2585091B2 JP 1030820 A JP1030820 A JP 1030820A JP 3082089 A JP3082089 A JP 3082089A JP 2585091 B2 JP2585091 B2 JP 2585091B2
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Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、例えば半導体のような塵埃を極端にきらう
荷（物品）をクリーンルーム間で搬送する搬送装置に関
する。
荷（物品）をクリーンルーム間で搬送する搬送装置に関
する。
従来の技術 横方向に並設形成されたクリーンルーム間での荷の搬
送は搬送用自走台車などを利用して行なえる。しかし、
クリーンルームが上下方向において複数階に亘って形成
され、そしてこれらクリーンルーム間で荷の搬送や作業
者の移動を行なうときにはエレベータ形式の搬送装置が
使用される。
送は搬送用自走台車などを利用して行なえる。しかし、
クリーンルームが上下方向において複数階に亘って形成
され、そしてこれらクリーンルーム間で荷の搬送や作業
者の移動を行なうときにはエレベータ形式の搬送装置が
使用される。
このような搬送装置は、たとえば第３図〜第４図に示
すように、フィルター１を通してクリーンエヤ２を吹込
まれるクリーンルーム３が複数階（図面では２階）にわ
たってそれぞれ形成され、これら上下のクリーンルーム
３間には適所に壁体４により区画されて密閉された昇降
路５がクリーンルーム３間に亘って形成される。この昇
降路５の上部には内部にクリーンエヤ６を吹込むクリー
ンユニット７が配設されるとともに、昇降路５内に立設
された昇降用ポスト８に沿って昇降体９が昇降自在に案
内される。この昇降体９は、壁体４に形成された搬入出
口10を介してクリーンルーム３側に出退自在で、たとえ
ばウェハーなどの搬送ボックス11が積載可能なプライマ
リフォーク12が設けられる。前記昇降用ポスト８には昇
降体９の昇降駆動装置13が配設されている。この昇降駆
動装置13は、昇降用ポスト８の上下端部のスプロケット
14に巻張されて昇降体９に連結されたチェン15と、この
チェン15を駆動する昇降用モータ16とを備えている。そ
して、これら昇降用ポスト８および昇降駆動装置13は、
カバーフレーム17に支持された昇降部カバー18に覆われ
ており、この昇降部カバー18内は所定位置で複数の排気
ダクト19を介して昇降路５内に配設された排気通路20に
連通されて吸引されている。前記昇降体９は、昇降部カ
バー18内で昇降用ポスト８に案内される昇降部21と、昇
降部カバー18に形成された上下方向のスリット18aを移
動自在な連結部材22により昇降部21に連結連動されるフ
ォーク駆動部23とを備え、フォーク駆動部23上部にプラ
イマリフォーク12が配設されている。33は搬入出口10に
配設された自動式の開閉ドアで、搬入出口10に対応する
クリーンルーム３には搬送ボックス11の受台34が配設さ
れる。
すように、フィルター１を通してクリーンエヤ２を吹込
まれるクリーンルーム３が複数階（図面では２階）にわ
たってそれぞれ形成され、これら上下のクリーンルーム
３間には適所に壁体４により区画されて密閉された昇降
路５がクリーンルーム３間に亘って形成される。この昇
降路５の上部には内部にクリーンエヤ６を吹込むクリー
ンユニット７が配設されるとともに、昇降路５内に立設
された昇降用ポスト８に沿って昇降体９が昇降自在に案
内される。この昇降体９は、壁体４に形成された搬入出
口10を介してクリーンルーム３側に出退自在で、たとえ
ばウェハーなどの搬送ボックス11が積載可能なプライマ
リフォーク12が設けられる。前記昇降用ポスト８には昇
降体９の昇降駆動装置13が配設されている。この昇降駆
動装置13は、昇降用ポスト８の上下端部のスプロケット
14に巻張されて昇降体９に連結されたチェン15と、この
チェン15を駆動する昇降用モータ16とを備えている。そ
して、これら昇降用ポスト８および昇降駆動装置13は、
カバーフレーム17に支持された昇降部カバー18に覆われ
ており、この昇降部カバー18内は所定位置で複数の排気
ダクト19を介して昇降路５内に配設された排気通路20に
連通されて吸引されている。前記昇降体９は、昇降部カ
バー18内で昇降用ポスト８に案内される昇降部21と、昇
降部カバー18に形成された上下方向のスリット18aを移
動自在な連結部材22により昇降部21に連結連動されるフ
ォーク駆動部23とを備え、フォーク駆動部23上部にプラ
イマリフォーク12が配設されている。33は搬入出口10に
配設された自動式の開閉ドアで、搬入出口10に対応する
クリーンルーム３には搬送ボックス11の受台34が配設さ
れる。
前記フォーク駆動部23は、第５図に示すように、駆動
モータ24の出力軸に取付けられた駆動ギヤ25が回転され
ると、中間ギヤ26を介してピニオン27が回転されてこの
ピニオン27が噛合うラック28を介してセカンダリフォー
ク29がスライドされる。すると、セカンダリフォーク29
に配設された２個のスプロケット30と、フォーク駆動部
23のフレーム23aおよびプライマリフォーク12との間に
連結されて中間部にスプロケット30が巻回される２本の
チェン31からなる倍速機構により、プライマリフォーク
12をセカンダリフォーク19に対して２倍のストロークで
出退するように構成されている。
モータ24の出力軸に取付けられた駆動ギヤ25が回転され
ると、中間ギヤ26を介してピニオン27が回転されてこの
ピニオン27が噛合うラック28を介してセカンダリフォー
ク29がスライドされる。すると、セカンダリフォーク29
に配設された２個のスプロケット30と、フォーク駆動部
23のフレーム23aおよびプライマリフォーク12との間に
連結されて中間部にスプロケット30が巻回される２本の
チェン31からなる倍速機構により、プライマリフォーク
12をセカンダリフォーク19に対して２倍のストロークで
出退するように構成されている。
発明が解決しようとする課題 しかし、上記従来構成によれば、前記フォーク駆動部
23は周囲および底部を駆動部カバー35によって覆われて
いるが、各フォーク12,29と駆動部カバーとの隙間Ａも
あり、また各フォーク12,29の突出状態ではフォーク駆
動部23の上面が開放状態となり、内部のギアなどの駆動
部分から発生する塵埃が昇降路５やクリーンルーム３に
放出されることがあった。
23は周囲および底部を駆動部カバー35によって覆われて
いるが、各フォーク12,29と駆動部カバーとの隙間Ａも
あり、また各フォーク12,29の突出状態ではフォーク駆
動部23の上面が開放状態となり、内部のギアなどの駆動
部分から発生する塵埃が昇降路５やクリーンルーム３に
放出されることがあった。
本発明は昇降体に配設したフォーク駆動部からの塵埃
の放出を効果的に防止し得るクリーンルーム間の搬送装
置を提供することを目的とする。
の放出を効果的に防止し得るクリーンルーム間の搬送装
置を提供することを目的とする。
課題を解決するための手段 上記問題点を解決するために本発明は、複数階のクリ
ーンルーム間に亘って密閉された昇降路を形成するとと
もに、この昇降路にクリーンユニットを設け、前記昇降
路内に昇降駆動装置により駆動される昇降体を設け、こ
の昇降体に前記クリーンルーム側に出退自在に配設され
て荷を積載可能なフォークを設け、このフォークの両側
面に出退方向に沿う凹部を全長にわたって形成し、前記
フォークの下部に配設されたフォーク駆動部の両側面
に、先端部が前記凹部内に挿入されたカバーを取付ける
とともに、このカバー内に吸引装置を設けたものであ
る。
ーンルーム間に亘って密閉された昇降路を形成するとと
もに、この昇降路にクリーンユニットを設け、前記昇降
路内に昇降駆動装置により駆動される昇降体を設け、こ
の昇降体に前記クリーンルーム側に出退自在に配設され
て荷を積載可能なフォークを設け、このフォークの両側
面に出退方向に沿う凹部を全長にわたって形成し、前記
フォークの下部に配設されたフォーク駆動部の両側面
に、先端部が前記凹部内に挿入されたカバーを取付ける
とともに、このカバー内に吸引装置を設けたものであ
る。
作用 上記構成により、カバー内と昇降路空間とは、フォー
クの後退位置においてフォークの凹部とカバーにより形
成される迂回された隙間を介して連通され、またフォー
ク突出位置においてカバーの先端部間の空間を介して連
通され、しかもカバー内の吸引装置により昇降路内のエ
ヤが前記間隙あるいは空間を介してカバー内に吸引され
るので、フォーク駆動部において発生する塵埃がカバー
外部に放出されるのを効果的に防止することができる。
クの後退位置においてフォークの凹部とカバーにより形
成される迂回された隙間を介して連通され、またフォー
ク突出位置においてカバーの先端部間の空間を介して連
通され、しかもカバー内の吸引装置により昇降路内のエ
ヤが前記間隙あるいは空間を介してカバー内に吸引され
るので、フォーク駆動部において発生する塵埃がカバー
外部に放出されるのを効果的に防止することができる。
実施例 以下本発明の一実施例を第１図、第２図に基づいて説
明する。従来例と同一部材には同一符号を付し、説明は
省略する。
明する。従来例と同一部材には同一符号を付し、説明は
省略する。
第１図に示すように、プライマリフォーク41の上部
は、中央部でスライド方向に沿う幅の狭い支持部材42を
介して一定間隔をあけて配置された上部プレート43Aお
よび下部プレート43Bとで断面エの字状に形成され、両
側部に全長に亘る凹部44が形成される。前記下部プレー
ト43Bにはラック32が固定されるとともにフォーク駆動
部23を全幅にわたって覆う幅に設定され、上部プレート
43Aは下部プレート43Bと重り合う同一形状に設定され
る。フォーク駆動部23の両側部には、アングル状に折り
曲げられて水平部45aがプライマリフォーク41の凹部44
内にそれぞれ一定隙間をあけて挿入され先端が支持部材
42の近傍に達する左右一対のフォーク部カバー45がフォ
ーク駆動部23の全長に亘って取付けられる。
は、中央部でスライド方向に沿う幅の狭い支持部材42を
介して一定間隔をあけて配置された上部プレート43Aお
よび下部プレート43Bとで断面エの字状に形成され、両
側部に全長に亘る凹部44が形成される。前記下部プレー
ト43Bにはラック32が固定されるとともにフォーク駆動
部23を全幅にわたって覆う幅に設定され、上部プレート
43Aは下部プレート43Bと重り合う同一形状に設定され
る。フォーク駆動部23の両側部には、アングル状に折り
曲げられて水平部45aがプライマリフォーク41の凹部44
内にそれぞれ一定隙間をあけて挿入され先端が支持部材
42の近傍に達する左右一対のフォーク部カバー45がフォ
ーク駆動部23の全長に亘って取付けられる。
フォーク駆動部23を覆う駆動部カバー35内には、駆動
部カバー35内のエヤを吸引する吸引ファン46が配設さ
れ、この吸引ファン46の吐出管47は駆動部カバー35を貫
通し昇降部カバー18のスリット18aを通って昇降部カバ
ー18内に開口される。
部カバー35内のエヤを吸引する吸引ファン46が配設さ
れ、この吸引ファン46の吐出管47は駆動部カバー35を貫
通し昇降部カバー18のスリット18aを通って昇降部カバ
ー18内に開口される。
上記構成において、吸引ファン46が作動されることに
より、プライマリフォーク41の後退位置では、昇降路５
内のクリーンエヤ48が、プライマリフォーク41の凹部44
とフォーク部カバー45水平部45aとの隙間を迂回して吸
引されるとともに、フォーク駆動部23の前後端部におい
て、プライマリフォーク41およびセカンダリフォーク29
ならびにフォーク部カバー45のそれぞれの隙間から駆動
部カバー35内に吸引されて昇降部カバー18内へ排出され
る。また、第２図（ａ）（ｂ）に示すプライマリフォー
ク41の突出位置では、昇降路５内のクリーンエヤ48が、
フォーク駆動部23上面における支持部材42移動後のフォ
ーク部カバー45の先端部間から吸引されるとともに、フ
ォーク駆動部23の前後端部におけるセカンダリフォーク
29およびフォーク部カバー35ならびに駆動部カバー35の
隙間から吸引されて昇降部カバー18内に排出される。し
たがって、フォーク駆動部23の駆動部分から発生した塵
埃は、駆動部カバー35内から昇降部カバー18内へ排出さ
れ、昇降部カバー18内から排気ダクト19を介して排気通
路20に排出される。このようにプライマリフォーク41の
後退位置では、プライマリフォーク41の凹部44とフォー
ク部カバー45の隙間を迂回させて形成したので、塵埃が
吸引流に逆って昇降路５やクリーンルームに放出される
ことはほとんどなく、またプライマリフォーク41の突出
時でもフォーク駆動部23の上面では支持部材44が移動し
たフォーク部カバー45先端部間の間隙だけが開放されし
かも吸引ファン46に吸引されているので、塵埃の放出を
きわめて少くでき、クリーンルーム等の汚染を効果的に
防止できる。
より、プライマリフォーク41の後退位置では、昇降路５
内のクリーンエヤ48が、プライマリフォーク41の凹部44
とフォーク部カバー45水平部45aとの隙間を迂回して吸
引されるとともに、フォーク駆動部23の前後端部におい
て、プライマリフォーク41およびセカンダリフォーク29
ならびにフォーク部カバー45のそれぞれの隙間から駆動
部カバー35内に吸引されて昇降部カバー18内へ排出され
る。また、第２図（ａ）（ｂ）に示すプライマリフォー
ク41の突出位置では、昇降路５内のクリーンエヤ48が、
フォーク駆動部23上面における支持部材42移動後のフォ
ーク部カバー45の先端部間から吸引されるとともに、フ
ォーク駆動部23の前後端部におけるセカンダリフォーク
29およびフォーク部カバー35ならびに駆動部カバー35の
隙間から吸引されて昇降部カバー18内に排出される。し
たがって、フォーク駆動部23の駆動部分から発生した塵
埃は、駆動部カバー35内から昇降部カバー18内へ排出さ
れ、昇降部カバー18内から排気ダクト19を介して排気通
路20に排出される。このようにプライマリフォーク41の
後退位置では、プライマリフォーク41の凹部44とフォー
ク部カバー45の隙間を迂回させて形成したので、塵埃が
吸引流に逆って昇降路５やクリーンルームに放出される
ことはほとんどなく、またプライマリフォーク41の突出
時でもフォーク駆動部23の上面では支持部材44が移動し
たフォーク部カバー45先端部間の間隙だけが開放されし
かも吸引ファン46に吸引されているので、塵埃の放出を
きわめて少くでき、クリーンルーム等の汚染を効果的に
防止できる。
なお、上記実施例では駆動部カバー35のフォーク部カ
バー45とを別体としたが、一体構造であってもよい。
バー45とを別体としたが、一体構造であってもよい。
発明の効果 以上に述べたごとく本発明によれば、フォーク後退位
置においてフォークの凹部内にはカバー先端部が挿入さ
れるので、カバー内と昇降路との間を連通する連通部を
きわめて小さくかつ長く迂回した間隙とし、しかも吸引
装置により昇降路のエヤを前記間隙を介してカバー内に
吸引するので、フォーク駆動部で発生する塵埃が外部に
放出されるのを効果的に防止できる。またフォークの突
出位置において、フォーク駆動部の上面はカバーに覆わ
れてカバー間の空間のみがカバー内と昇降路との連通部
となり、さらに吸引装置により吸引するので、従来の開
放構造に比べて放散する塵埃を大幅に低減できる。
置においてフォークの凹部内にはカバー先端部が挿入さ
れるので、カバー内と昇降路との間を連通する連通部を
きわめて小さくかつ長く迂回した間隙とし、しかも吸引
装置により昇降路のエヤを前記間隙を介してカバー内に
吸引するので、フォーク駆動部で発生する塵埃が外部に
放出されるのを効果的に防止できる。またフォークの突
出位置において、フォーク駆動部の上面はカバーに覆わ
れてカバー間の空間のみがカバー内と昇降路との連通部
となり、さらに吸引装置により吸引するので、従来の開
放構造に比べて放散する塵埃を大幅に低減できる。
第１図および第２図は本発明の一実施例を示し、第１図
はフォーク駆動部の横断面図、第２図（ａ）（ｂ）は突
出状態のフォークを示す平面図および正面図、第３図〜
第５図は従来例を示し、第３図および第４図は搬送装置
の正面断面図および側面断面図、第５図はフォーク駆動
部の横断面図である。 ３……クリーンルーム、５……昇降路、７……クリーン
ユニット、９……昇降体、13……昇降駆動装置、41……
プライマリフォーク、44……凹部、45……フォーク部カ
バー、46……吸引ファン。
はフォーク駆動部の横断面図、第２図（ａ）（ｂ）は突
出状態のフォークを示す平面図および正面図、第３図〜
第５図は従来例を示し、第３図および第４図は搬送装置
の正面断面図および側面断面図、第５図はフォーク駆動
部の横断面図である。 ３……クリーンルーム、５……昇降路、７……クリーン
ユニット、９……昇降体、13……昇降駆動装置、41……
プライマリフォーク、44……凹部、45……フォーク部カ
バー、46……吸引ファン。
Claims (1)
- 【請求項１】複数階のクリーンルーム間に亘って密閉さ
れた昇降路を形成するとともに、この昇降路にクリーン
ユニットを設け、前記昇降路内に昇降駆動装置により駆
動される昇降体を設け、この昇降体に前記クリーンルー
ム側に出退自在に配設されて荷を積載可能なフォークを
設け、このフォークの両側面に出退方向に沿う凹部を全
長にわたって形成し、前記フォークの下部に配設された
フォーク駆動部の両側面に、先端部が前記凹部内に挿入
されたカバーを取付けるとともに、このカバー内に吸引
装置を設けたことを特徴とするクリーンルーム間の搬送
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1030820A JP2585091B2 (ja) | 1989-02-09 | 1989-02-09 | クリーンルーム間の搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1030820A JP2585091B2 (ja) | 1989-02-09 | 1989-02-09 | クリーンルーム間の搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02209316A JPH02209316A (ja) | 1990-08-20 |
| JP2585091B2 true JP2585091B2 (ja) | 1997-02-26 |
Family
ID=12314344
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1030820A Expired - Fee Related JP2585091B2 (ja) | 1989-02-09 | 1989-02-09 | クリーンルーム間の搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2585091B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006001658A (ja) * | 2004-06-15 | 2006-01-05 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | 移載装置 |
| JP5348402B2 (ja) * | 2009-04-22 | 2013-11-20 | 株式会社ダイフク | クリーン駆動装置 |
| JP5565330B2 (ja) * | 2011-01-26 | 2014-08-06 | ダイキン工業株式会社 | 搬送装置 |
-
1989
- 1989-02-09 JP JP1030820A patent/JP2585091B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH02209316A (ja) | 1990-08-20 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |