JPH0237764Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 産業上の利用分野 本考案は、天井側からクリーンエアーを下吹き
し、下降するエアーを床下に吸引するクリーンル
ーム内に設置され、例えば半導体のような塵埃を
極端にきらう物品（荷）の保管に使用されるクリ
ーンルーム内の荷保管設備に関するものである。

従来の技術 一般的に荷保管設備は、上下方向に複数段の区
画収納空間を有する棚によつて構成され、各区画
収納空間の前面開放部を介して、作業者の人手作
業により、或いは搬入出装置による機械的且つ自
動的な作業により物品の搬入出を行なつていた。

考案が解決しようとする問題点 上記のような従来の荷保管設備においては、棚
の前面開放部近くで作業者や搬入出装置から塵
埃、粉塵が発生し、この塵埃などの一部が内部に
移行し且つ堆積して物品に悪影響を及ぼすことに
なる。また棚として格納効率ならびに作業性のよ
い回転式棚を使用するときには、その回転駆動装
置などから発生する塵埃などが物品に悪影響を及
ぼすことから、該棚は容易に採用できない。

問題を解決するための手段 上記問題点を解決するために本考案におけるク
リーンルーム内の荷保管設備は、天井側からクリ
ーンエアーを下吹きし、下降するエアーを床下に
吸引するクリーンルーム内に、囲壁体内に多数の
バケツトを有し且つ前面側に荷取扱い部を形成し
てなる回転式棚装置を設け、前記囲壁体の前面側
に、この囲壁体内に連通するクリーンエアー供給
部を設け、そして後面側に、囲壁体内に連通する
エアー吸引部を設けている。

かかる構成によると、囲壁体内においては、前
面側から後面側に向つてクリーンエアーを常に水
平に流すことになり、荷取扱い部から入つてきた
り、或いは回転式棚装置で発生した塵埃などを、
このクリーンエアー流に乗せてエアー吸引部に除
去し得る。

実施例 以下に本考案の一実施例を第１図〜第３図に基
づいて説明する。１はクリーンルームで、天井２
側からフイルター３を通してクリーンエアー４を
下吹きし、下降してきたクリーンエアー４をメツ
シユ形式の床５を通して該床５下に吸引するよう
に構成してある。６はクリーンルーム１内に設置
される回転式棚装置で、そのボツクス状の囲壁体
７は床５上から縦向きで立設してある。この囲壁
体７内の上部には左右一対の従動輪体８が配設さ
れ、これら従動輪体８に対向して下部には左右一
対の駆動輪体９が配設される。上下方向で対向す
る両輪体８，９間には無端回動体（チエンなど）
１０が巻張され、さらに駆動輪体９は、正逆駆動
可能な駆動装置１１に連動連結する。左右一対の
無端回動体１０間には多数のバケツト２５が取付
けられ、そしてこのバケツト２５の移動経路の一
側、すなわち囲壁体７の前面下部に荷取扱い部１
２を開口形成している。この荷取扱い部１２の外
側に移載機１３が配設され、この移載機１３はフ
オーク付き台車形式で、ターンテーブル１４とバ
ケツト２５との間でキヤリア１５の受け渡しを行
なう。前記囲壁体７の前面側には、荷取扱い部１
２ならびに移載機１３を避けてクリーンエアー供
給部１６が設けられる。このクリーンエアー供給
部１６は、供給チヤンバー１７を形成するカバー
体１８と、供給チヤンバー１７内に配設され且つ
囲壁体７内に連通するフイルター１９と、カバー
体１８の上部に形成したクリーンエアー供給フラ
ンジ２０とからなる。前記囲壁体７の後面側に
は、全面に亘つてエアー吸引部２１が設けられ
る。このエアー吸引部２１は、吸引チヤンバー２
２を形成するカバー体２３と、このカバー体２３
の下部に形成したエアー吸引フランジ２４とから
なる。

上記実施例においてクリーンルーム１内では、
フイルター３を通つて下吹きされるクリーンエア
ー４が下降し、そして下降するクリーンエアー４
を床５下に吸引することから、そのクリーン度は
確保されている。回転棚装置６においては、駆動
装置１１を正逆作動させ、無端回動体１０を正逆
回動させることにより、荷取扱い部１２に目的と
するバケツト２５を対向停止させ得る。そして停
止させたバケツト２５に対して移載機１３により
キヤリア１５の受は渡しが行なわれる。このよう
な作業中において前記回転式棚装置６では、供給
フランジ２０から供給チヤンバー１７内に供給さ
れたクリーンエアー２６がフイルター１９を通つ
て囲壁体７内に流入し、そして囲壁体７内を水平
状に流れたのち吸引チヤンバー２２に入り、吸引
フランジ２４を介して排出されることになる。前
記供給フランジ２０を介しての供給は、前記天井
２から下吹きされるクリーンエアー４を使用して
もよいし、別系統から供給してもよい。また吸引
フランジ２４を介しての排出エアーは、床５下に
排出してもよいし、別系統のダクトなどを介して
排出してもよい。

第４図、第５図は別のタイプの実施例を示す。

考案の効果 上記構成の本考案におけるクリーンルーム内の
荷保管設備によると、囲壁体内においては、前面
側から後面側に向つてクリーンエアーを常に水平
に流すことになり、したがつて荷取扱い部から入
つてきたり、或いは回転式棚装置で発生した塵埃
などを、このクリーンエアー流に乗せてエアー吸
引部側に除去することができ、クリーンルーム内
に漏出することを防止できる。また水平状の流れ
であることから、物品（キヤリア）上に塵埃など
が付着（堆積）することを防止できる。これによ
り、収納効率や作業効率のよい回転式棚装置をク
リーンルーム内に容易に採用できる。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第３図は本考案の一実施例を示し、第
１図は一部切欠き側面図、第２図は正面図、第３
図は平面図、第４図、第５図は別の実施例を示
し、第４図は一部切欠き側面図、第５図は正面図
である。 １……クリーンルーム、２……天井、３……フ
イルター、４……クリーンエアー、５……床、６
……回転式棚装置、７……囲壁体、１２……荷取
扱い部、１３……移載機、１４……ターンテーブ
ル、１５……キヤリア、１６……クリーンエアー
供給部、１７……供給チヤンバー、１９……フイ
ルター、２１……エアー吸引部、２２……吸引チ
ヤンバー、２５……バケツト、２６……クリーン
エアー。

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 天井側からクリーンエアーを下吹きし、下降す
   るエアーを床下に吸引するクリーンルーム内に、
   囲壁体内に多数のバケツトを有し且つ前面側に荷
   取扱い部を形成してなる回転式棚装置を設け、前
   記囲壁体の前面側に、この囲壁体内に連通するク
   リーンエアー供給部を設け、そして後面側に、囲
   壁体内に連通するエアー吸引部を設けたことを特
   徴とするクリーンルーム内の荷保管設備。