JPH05132110A - 除電装置付き荷捌装置 - Google Patents
除電装置付き荷捌装置Info
- Publication number
- JPH05132110A JPH05132110A JP29026891A JP29026891A JPH05132110A JP H05132110 A JPH05132110 A JP H05132110A JP 29026891 A JP29026891 A JP 29026891A JP 29026891 A JP29026891 A JP 29026891A JP H05132110 A JPH05132110 A JP H05132110A
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- Japan
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- static electricity
- clean
- clean air
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】静電気を嫌う製品の荷捌用として有利に採用し
得る除電装置付き荷捌装置を提供する。 【構成】荷支持部12を有する荷受渡し部10と、この荷受
渡し部10にクリーンエアを供給するクリーンユニット16
を設け、クリーンユニット16から供給されるクリーンエ
アの除電を行う除電装置22を設けて構成する。 【効果】クリーンエアが流れることで発生し荷に帯電し
ようとする静電気は、除電装置22による中和作用によっ
て除電でき、荷13への帯電を防止できる。よって、荷13
に対する静電気による物理的な悪影響を防止でき、荷13
に対して塵埃などが付着するのを防止でき、清浄な荷13
の荷捌きを行える。特に静電気により静電破壊が生じ、
物理的な損傷を生じやすい液晶使用製品の荷捌用として
有利に採用できる。
得る除電装置付き荷捌装置を提供する。 【構成】荷支持部12を有する荷受渡し部10と、この荷受
渡し部10にクリーンエアを供給するクリーンユニット16
を設け、クリーンユニット16から供給されるクリーンエ
アの除電を行う除電装置22を設けて構成する。 【効果】クリーンエアが流れることで発生し荷に帯電し
ようとする静電気は、除電装置22による中和作用によっ
て除電でき、荷13への帯電を防止できる。よって、荷13
に対する静電気による物理的な悪影響を防止でき、荷13
に対して塵埃などが付着するのを防止でき、清浄な荷13
の荷捌きを行える。特に静電気により静電破壊が生じ、
物理的な損傷を生じやすい液晶使用製品の荷捌用として
有利に採用できる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、たとえば液晶使用製品
のような静電気を嫌う製品の荷捌をするために使用され
る除電装置付き荷捌装置に関するものである。
のような静電気を嫌う製品の荷捌をするために使用され
る除電装置付き荷捌装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、たとえばクリーンルーム内の荷の
荷捌きに使用されるステーションとして荷捌装置が採用
されており、この荷捌装置により、製造プロセス中の荷
の一時格納、荷の搬入出が行っている。
荷捌きに使用されるステーションとして荷捌装置が採用
されており、この荷捌装置により、製造プロセス中の荷
の一時格納、荷の搬入出が行っている。
【０００３】ところで従来、液晶使用製品のような静電
気を嫌う製品を荷捌する荷捌装置としては、本体に、荷
支持部を有する荷収納部と、この荷収納部内にクリーン
エアを供給するクリーンユニットとを設けた構成が提供
されている。この従来構成によると、クリーンユニット
からのクリーンエアを荷収納部に供給することで、荷支
持部上の荷の周辺を高クリーン度化して、この荷に対し
て塵埃などが付着するのを防止している。
気を嫌う製品を荷捌する荷捌装置としては、本体に、荷
支持部を有する荷収納部と、この荷収納部内にクリーン
エアを供給するクリーンユニットとを設けた構成が提供
されている。この従来構成によると、クリーンユニット
からのクリーンエアを荷収納部に供給することで、荷支
持部上の荷の周辺を高クリーン度化して、この荷に対し
て塵埃などが付着するのを防止している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記従来形式
においては、クリーンエアが荷の表面を流れる際に静電
気が発生し、この静電気が荷に帯電することになる。ま
た製造装置内での摩擦により荷に静電気が帯電すること
になる。この場合、荷が液晶使用製品であると、静電気
により液晶使用製品に静電破壊が生じ、物理的な損傷を
生じる。また帯電により荷に塵埃が付着し易くなる。し
たがって、たとえば液晶使用製品のような静電気を嫌う
製品の荷捌用として採用することはできない。
においては、クリーンエアが荷の表面を流れる際に静電
気が発生し、この静電気が荷に帯電することになる。ま
た製造装置内での摩擦により荷に静電気が帯電すること
になる。この場合、荷が液晶使用製品であると、静電気
により液晶使用製品に静電破壊が生じ、物理的な損傷を
生じる。また帯電により荷に塵埃が付着し易くなる。し
たがって、たとえば液晶使用製品のような静電気を嫌う
製品の荷捌用として採用することはできない。
【０００５】本発明の目的とするところは、静電気を嫌
う製品の荷捌用として採用し得る除電装置付き荷捌装置
を提供する点にある。
う製品の荷捌用として採用し得る除電装置付き荷捌装置
を提供する点にある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明における除電装置付き荷捌装置は、荷支持部を
有する荷受渡し部と、この荷受渡し部にクリーンエアを
供給するクリーンユニットとを設け、このクリーンユニ
ットから供給されるクリーンエアの除電を行う除電装置
を設けたことを特徴とするものである。
に本発明における除電装置付き荷捌装置は、荷支持部を
有する荷受渡し部と、この荷受渡し部にクリーンエアを
供給するクリーンユニットとを設け、このクリーンユニ
ットから供給されるクリーンエアの除電を行う除電装置
を設けたことを特徴とするものである。
【０００７】
【作用】かかる本発明の構成によると、クリーンユニッ
トからのクリーンエアを、荷受渡し部に供給すること
で、荷支持部上の荷の周辺を高クリーン度化し得る。そ
して荷の表面上をクリーンエアが流れることで発生し荷
に帯電しようとする静電気は、除電装置による中和作用
によって除電し得、荷への帯電を防止し得る。これによ
り荷に対する静電気による物理的な悪影響を防止し得る
とともに、荷に対して塵埃などが付着するのを防止し
得、清浄な荷の荷捌を行える。
トからのクリーンエアを、荷受渡し部に供給すること
で、荷支持部上の荷の周辺を高クリーン度化し得る。そ
して荷の表面上をクリーンエアが流れることで発生し荷
に帯電しようとする静電気は、除電装置による中和作用
によって除電し得、荷への帯電を防止し得る。これによ
り荷に対する静電気による物理的な悪影響を防止し得る
とともに、荷に対して塵埃などが付着するのを防止し
得、清浄な荷の荷捌を行える。
【０００８】
【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。図１は本発明の一実施例に於ける荷捌装置の斜
視図である。
明する。図１は本発明の一実施例に於ける荷捌装置の斜
視図である。
【０００９】図１に示すように、荷捌装置１には、立設
された本体２の上部に、左右前後が開放された荷受渡し
部10を形成する枠体11が連設され、そして荷受渡し部10
内の下部には前後一対の荷支持部12が設けられる。この
荷支持部12は、荷13の底部四隅を受け止めるべく４箇所
から立設した受け具14により構成されている。また受け
具14間を利用して、図３に示す、荷捌装置１に沿って前
後方向Ａに走行自在な自走搬送台車３のフォーク15を左
右方向Ｂから挿入自在にしている。また左右方向Ｃから
作業員による荷13の搬入出作業が行われる。荷13は液晶
表示基板４を収納したカセット５から構成され、このカ
セット５の側部にはカセット５のコードが記載されたバ
ーコードラベル６が取り付けられ、荷受渡し部10内に、
受け具14に載置されたカセット５のバーコードラベル６
に対向してバーコードリーダ７が設置されている。この
バーコードリーダ７により読み取られたカセット５のコ
ード番号は工程管理用のコンピュータ（図示せず）に伝
送される。
された本体２の上部に、左右前後が開放された荷受渡し
部10を形成する枠体11が連設され、そして荷受渡し部10
内の下部には前後一対の荷支持部12が設けられる。この
荷支持部12は、荷13の底部四隅を受け止めるべく４箇所
から立設した受け具14により構成されている。また受け
具14間を利用して、図３に示す、荷捌装置１に沿って前
後方向Ａに走行自在な自走搬送台車３のフォーク15を左
右方向Ｂから挿入自在にしている。また左右方向Ｃから
作業員による荷13の搬入出作業が行われる。荷13は液晶
表示基板４を収納したカセット５から構成され、このカ
セット５の側部にはカセット５のコードが記載されたバ
ーコードラベル６が取り付けられ、荷受渡し部10内に、
受け具14に載置されたカセット５のバーコードラベル６
に対向してバーコードリーダ７が設置されている。この
バーコードリーダ７により読み取られたカセット５のコ
ード番号は工程管理用のコンピュータ（図示せず）に伝
送される。
【００１０】前記枠体11の天板部分には、前記荷受渡し
部10内にクリーンエアを供給するクリーンユニット16が
設けられる。このクリーンユニット16は、図２に示すよ
うに、前記荷受渡し部10に上方から対向するフィルタ17
と、このフィルタ17の上部を覆うカバー体18と、このカ
バー体18内に連通すべく配設した複数の送風機19と、送
風機19の吸気孔20を兼ねた外部カバー体21からなる。そ
して前記荷受渡し部10内に除電装置22を設けている。
部10内にクリーンエアを供給するクリーンユニット16が
設けられる。このクリーンユニット16は、図２に示すよ
うに、前記荷受渡し部10に上方から対向するフィルタ17
と、このフィルタ17の上部を覆うカバー体18と、このカ
バー体18内に連通すべく配設した複数の送風機19と、送
風機19の吸気孔20を兼ねた外部カバー体21からなる。そ
して前記荷受渡し部10内に除電装置22を設けている。
【００１１】この除電装置22は、前記フィルタ17の下面
側に形成されるクリーンユニット16のエア吹き出し部の
近くにおいて前記本体２側に前後一対に取り付けた左右
方向の保持部材（ソケット）23と、両保持部材23間で保
持された左右方向で複数本（図中では２本）の放電バー
24などから構成される。
側に形成されるクリーンユニット16のエア吹き出し部の
近くにおいて前記本体２側に前後一対に取り付けた左右
方向の保持部材（ソケット）23と、両保持部材23間で保
持された左右方向で複数本（図中では２本）の放電バー
24などから構成される。
【００１２】自走搬送台車３は、台車本体31の下部に複
数個（４個）の車輪32を配設するとともに、一部の車輪
32に連動した走行駆動装置（図示せず）を台車本体31内
に搭載している。また台車本体31の下部中央に磁気セン
サ33が設けられ、この磁気センサ33により床上に敷設さ
れたシートマグネット34を検出することにより、自走搬
送台車３はシートマグネット34上を走行する。また、台
車本体31の上部に、左右前後が開放された荷収納部35を
形成する枠体36が連設され、そして荷収納部35内の下部
には荷支持部37が設けられる。この荷支持部37は、左右
方向Ｂに出退自在な前記フォーク15から構成されてい
る。走行駆動装置とフォーク15は台車本体31内に搭載さ
れたバッテリから給電される。
数個（４個）の車輪32を配設するとともに、一部の車輪
32に連動した走行駆動装置（図示せず）を台車本体31内
に搭載している。また台車本体31の下部中央に磁気セン
サ33が設けられ、この磁気センサ33により床上に敷設さ
れたシートマグネット34を検出することにより、自走搬
送台車３はシートマグネット34上を走行する。また、台
車本体31の上部に、左右前後が開放された荷収納部35を
形成する枠体36が連設され、そして荷収納部35内の下部
には荷支持部37が設けられる。この荷支持部37は、左右
方向Ｂに出退自在な前記フォーク15から構成されてい
る。走行駆動装置とフォーク15は台車本体31内に搭載さ
れたバッテリから給電される。
【００１３】前記枠体36の天板部分には、荷捌装置１の
クリーンユニット16および除電装置22と同様のクリーン
ユニット38および除電装置39を設けている。また図１に
おいて、８は自走搬送台車による荷13の搬入出作業中を
示す表示ランプである。
クリーンユニット16および除電装置22と同様のクリーン
ユニット38および除電装置39を設けている。また図１に
おいて、８は自走搬送台車による荷13の搬入出作業中を
示す表示ランプである。
【００１４】以下、上記実施例における作用を説明す
る。荷捌装置１に沿って停止した自走搬送台車３からフ
ォーク15を出退および昇降させ受け具14間で移動させる
ことで、荷捌装置１の荷支持部12に対して左右方向Ｂか
ら荷13の積み卸しが行われる。また、作業員により荷支
持部12に対して左右方向Ｃから荷13の積み卸しが行われ
る。
る。荷捌装置１に沿って停止した自走搬送台車３からフ
ォーク15を出退および昇降させ受け具14間で移動させる
ことで、荷捌装置１の荷支持部12に対して左右方向Ｂか
ら荷13の積み卸しが行われる。また、作業員により荷支
持部12に対して左右方向Ｃから荷13の積み卸しが行われ
る。
【００１５】荷支持部12に対する荷13の積み込みを行っ
た荷捌装置１ではクリーンユニット16からのクリーンエ
アが、荷受渡し部10内に供給されている。すなわち送風
機19の稼働によって吸気孔23から吐き出し部を通ってカ
バー体18内に吐き出されたエアは、このカバー体18内か
らフィルタ17を通ることでクリーンエアとなり、荷受渡
し部10内に供給される。これにより荷支持部12上の荷13
の周辺を高クリーン度化し得る。
た荷捌装置１ではクリーンユニット16からのクリーンエ
アが、荷受渡し部10内に供給されている。すなわち送風
機19の稼働によって吸気孔23から吐き出し部を通ってカ
バー体18内に吐き出されたエアは、このカバー体18内か
らフィルタ17を通ることでクリーンエアとなり、荷受渡
し部10内に供給される。これにより荷支持部12上の荷13
の周辺を高クリーン度化し得る。
【００１６】そして荷13の表面上をクリーンエアが流れ
ることで発生し荷13に帯電しようとする静電気は、除電
装置22により除電し得、荷13への帯電を防止し得る。す
なわち放電バー24への給電により放電して荷13の表面に
イオンを衝突させ、この荷13に帯電している静電気を中
和させることで除電し得るものである。これにより荷13
に対する静電気による物理的な悪影響を防止し得るとと
もに、荷13に対して塵埃などが付着するのを防止し得
る。
ることで発生し荷13に帯電しようとする静電気は、除電
装置22により除電し得、荷13への帯電を防止し得る。す
なわち放電バー24への給電により放電して荷13の表面に
イオンを衝突させ、この荷13に帯電している静電気を中
和させることで除電し得るものである。これにより荷13
に対する静電気による物理的な悪影響を防止し得るとと
もに、荷13に対して塵埃などが付着するのを防止し得
る。
【００１７】また、荷13を搬送中の自走搬送台車３にお
いても同様に、クリーンユニット38および除電装置39に
より荷13の周辺を高クリーン度化し得、荷13に帯電して
いる静電気を中和させることで除電することができる。
いても同様に、クリーンユニット38および除電装置39に
より荷13の周辺を高クリーン度化し得、荷13に帯電して
いる静電気を中和させることで除電することができる。
【００１８】なお、上記実施例では荷移載用のフォーク
15を荷搬送台車３に設けているが、荷捌装置１側に設け
ることもできる。
15を荷搬送台車３に設けているが、荷捌装置１側に設け
ることもできる。
【００１９】
【発明の効果】上記構成の本発明によると、クリーンユ
ニットからのクリーンエアを荷受渡し部に供給すること
で、荷支持部上の荷の周辺を高クリーン度化することが
でき、荷に塵埃などが付着するのを防止できる。
ニットからのクリーンエアを荷受渡し部に供給すること
で、荷支持部上の荷の周辺を高クリーン度化することが
でき、荷に塵埃などが付着するのを防止できる。
【００２０】そして荷の表面上をクリーンエアが流れる
ことで発生し荷に帯電しようとする静電気は、除電装置
による中和作用によって除電することができ、荷への帯
電を防止できる。これにより荷に対する静電気による物
理的な悪影響を防止できるとともに、荷に対して塵埃な
どが付着するのを防止でき、清浄な荷の荷捌きを行うこ
とができる。
ことで発生し荷に帯電しようとする静電気は、除電装置
による中和作用によって除電することができ、荷への帯
電を防止できる。これにより荷に対する静電気による物
理的な悪影響を防止できるとともに、荷に対して塵埃な
どが付着するのを防止でき、清浄な荷の荷捌きを行うこ
とができる。
【００２１】このような本発明によると、特に静電気を
嫌う製品、すなわち静電気により静電破壊が生じ、物理
的な損傷を生じやすい液晶使用製品の荷捌用として有利
に採用できる。
嫌う製品、すなわち静電気により静電破壊が生じ、物理
的な損傷を生じやすい液晶使用製品の荷捌用として有利
に採用できる。
【図１】本発明の一実施例を示し、除電装置付き荷捌装
置の斜視図である。
置の斜視図である。
【図２】同除電装置付き荷捌装置のクリーンユニットの
内部模式図である。
内部模式図である。
【図３】同除電装置付き荷捌装置に対して荷の搬入出を
行う自走搬送台車の側面図および正面図である。
行う自走搬送台車の側面図および正面図である。
１ 荷捌装置 ２ 本体 10 荷受渡し部 12 荷支持部 13 荷 16 クリーンユニット 17 フィルタ 18 カバー体 19 送風機 22 除電装置 24 放電バー
Claims (1)
- 【請求項１】 荷支持部を有する荷受渡し部と、この荷
受渡し部にクリーンエアを供給するクリーンユニットと
を設け、このクリーンユニットから供給されるクリーン
エアの除電を行う除電装置を設けたことを特徴とする除
電装置付き荷捌装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29026891A JPH05132110A (ja) | 1991-11-07 | 1991-11-07 | 除電装置付き荷捌装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29026891A JPH05132110A (ja) | 1991-11-07 | 1991-11-07 | 除電装置付き荷捌装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05132110A true JPH05132110A (ja) | 1993-05-28 |
Family
ID=17753942
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29026891A Pending JPH05132110A (ja) | 1991-11-07 | 1991-11-07 | 除電装置付き荷捌装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05132110A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007064619A (ja) * | 2006-09-21 | 2007-03-15 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体素子製造装置 |
| JP2017009254A (ja) * | 2015-06-26 | 2017-01-12 | 株式会社Trinc | 保管庫 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6044404A (ja) * | 1983-08-17 | 1985-03-09 | Daifuku Co Ltd | クリ−ンル−ム内の荷保管設備 |
| JPS63291655A (ja) * | 1987-05-26 | 1988-11-29 | Midori Anzen Kk | 静電気除去装置付き空気清浄機 |
-
1991
- 1991-11-07 JP JP29026891A patent/JPH05132110A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6044404A (ja) * | 1983-08-17 | 1985-03-09 | Daifuku Co Ltd | クリ−ンル−ム内の荷保管設備 |
| JPS63291655A (ja) * | 1987-05-26 | 1988-11-29 | Midori Anzen Kk | 静電気除去装置付き空気清浄機 |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007064619A (ja) * | 2006-09-21 | 2007-03-15 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体素子製造装置 |
| JP4503568B2 (ja) * | 2006-09-21 | 2010-07-14 | Ｏｋｉセミコンダクタ株式会社 | クリーンルーム |
| JP2017009254A (ja) * | 2015-06-26 | 2017-01-12 | 株式会社Trinc | 保管庫 |
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