KR102419509B1 - 물품 반송 설비 - Google Patents

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마코토 다나카
준이치 시마무라
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가부시키가이샤 다이후쿠
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Abstract

용기(2)가 반입되는 반입용 포트(7)와, 제1 세정기(CL1)에 의해 세정되기 전의 물품(1)을 수용한 용기(2)를 지지하는 제1 세정용 포트(11)와, 제1 세정기(CL1)에 의해 세정된 후의 물품(1)을 지지하는 제2 세정용 포트(12)와, 물품(1)을 반송하는 제1 반송 장치(5)와, 용기(2)를 반송하는 제2 반송 장치(6)를 구비하고, 제2 반송 장치(6)는, 용기(2)의 반입용 포트(7)로부터 제1 세정용 포트(11)에 대한 반송, 물품(1)이 인출된 후의 용기(2)의 제1 세정용 포트(11)로부터 제2 반송처로의 반송을 행하고, 제1 반송 장치(5)는, 물품(1)의 제2 세정용 포트(12)로부터 제1 반송처로의 반송을 행한다.

Description

물품 반송 설비{ARTICLE TRANSPORT FACILITY}
본 발명은, 물품을 반송(transport)하는 제1 반송 장치와, 용기를 반송하는 제2 반송 장치를 구비한 물품 반송 설비(article transport facility)에 관한 것이다.
이러한 물품 반송 설비의 일례가, 일본 공개특허 제2000-091401호 공보(특허문헌 1)에 기재되어 있다. 특허문헌 1의 물품 반송 설비에서는, 1개의 반송 장치[이송탑재(移載; transfer) 로봇(76)]과, 물품(reticle)을 수용한 용기(카세트)가 반입(搬入)되는 반입용 포트[입출고구(入出庫口)(81)]와, 물품용의 보관부[선반(72a)]와, 용기용의 보관부[카세트 선반(72b)]가 구비되어 있다. 반송 장치는, 카세트용 핸드(77)와 레티클용 핸드(78)를 구비하고 있고, 1개의 반송 장치가, 물품을 반송하는 반송 장치인 제1 반송 장치와 용기를 반송하는 반송 장치인 제2 반송 장치에 겸용되고 있다. 그리고, 반송 장치는, 카세트용 핸드(77)를 사용하여, 반입용 포트에 반입된 용기를 용기용의 보관부에 반송한다. 또한, 반송 장치는, 레티클용 핸드(78)를 사용하여, 용기용의 보관부에 보관된 보관 중인 용기 내로부터 물품을 인출하여 물품용의 보관부로 반송하는 동시에, 물품용의 보관부의 물품을 보관 중인 용기 내에 수용한다.
이와 같은 물품 반송 설비를 이용하여, 물품이나 용기를 세정하는 것을 생각할 수 있다. 즉, 물품용의 보관부 대신에, 물품 세정용 포트를 설치하고, 용기용의 보관부 대신에, 용기 세정용 포트를 설치한다. 물품 세정용 포트는, 물품을 세정하는 제1 세정기에 대응하는 위치에 설치된 포트이며, 용기 세정용 포트는, 용기를 세정하는 제2 세정기에 대응하는 위치에 설치된 포트이다.
즉, 반송 장치의 카세트용 핸드를 사용하여, 세정 전의 용기를 반입용 포트로부터 용기 세정용 포트로 반송하고, 반송 장치의 레티클용 핸드를 사용하여, 용기 세정용 포트에 위치하는 용기 내로부터 세정 전의 물품을 인출하여 이 세정 전의 물품을 물품 세정용 포트로 반송하는 동시에, 제1 세정기에 의해 세정된 세정 후의 물품을 물품 세정용 포트로부터 용기 세정용 포트에 위치하는 용기 내에 수용하는 것을 생각할 수 있다.
일본 공개특허 제2000-091401호 공보
그러나, 전술한 바와 같이, 반송 장치에 의해 용기나 물품을 반송하면, 레티클용 핸드에 의해, 세정 전의 물품과 세정 후의 물품과의 양쪽을 반송한다. 그러므로, 레티클용 핸드에 의해 세정 전의 물품을 반송했을 때, 세정 전의 물품에 부착되어 있는 먼지 등의 오염 물질이 레티클용 핸드에 부착되고, 레티클용 핸드에 의해 세정 후의 물품을 반송했을 때, 레티클용 핸드에 부착된 오염 물질이 세정 후의 물품에 부착됨으로써, 세정 후의 물품이 오염되는 것을 생각할 수 있다.
그래서, 세정 후의 물품이 오염되는 것을 회피할 수 있는 물품 반송 설비의 실현이 요구된다.
상기 문제점을 해결하기 위하여, 물품 반송 설비의 특징적 구성은, 물품을 수용한 상기 용기가 반입되는 반입용 포트와, 상기 물품을 세정하는 제1 세정기에 대응하는 위치에 설치되어 상기 제1 세정기에 의해 세정되기 전의 상기 물품을 수용한 상기 용기를 지지하는 제1 세정용 포트와, 상기 제1 세정기에 대응하는 위치에 설치되고, 상기 용기로부터 인출되어 상기 제1 세정기에 의해 세정된 후의 상기 물품을 지지하는 제2 세정용 포트와, 상기 물품을 반송하는 제1 반송 장치와, 상기 용기를 반송하는 제2 반송 장치를 구비하고, 상기 제2 세정용 포트는, 상기 제1 세정용 포트와는 별개로 설치되고, 상기 제2 반송 장치는, 상기 용기의 상기 반입용 포트로부터 상기 제1 세정용 포트로의 반송, 상기 물품이 인출된 후의 상기 용기의 상기 제1 세정용 포트로부터 제2 반송처(搬送處)에 대한 반송을 행하고, 상기 제1 반송 장치는, 상기 물품의 상기 제2 세정용 포트로부터 제1 반송처로의 반송을 행하는 점에 있다.
이와 같은 구성에 의해, 반입용 포트에 반입된 용기는, 제2 반송 장치에 의해 반입용 포트로부터 제1 세정용 포트로 반송된다. 이 때 제2 반송 장치에 의해 반송되는 용기에는, 제1 세정기에 세정되기 전의 물품이 수용되어 있다. 그리고, 물품에 대하여는, 제1 세정용 포트에 위치하는 용기로부터 인출되어 제1 세정기에 의해 세정된 후, 제2 세정용 포트에 탑재된다. 그리고, 이 세정된 후의 물품은, 제1 반송 장치에 의해 제2 세정용 포트로부터 제1 반송처로 반송된다. 또한, 물품이 인출되어 비어 있었던 용기는, 제2 반송 장치에 의해, 제1 세정용 포트로부터 제2 반송처로 반송된다.
제1 세정기에 의해 세정되기 전의 물품은, 용기에 수용된 상태로 반입용 포트에 반입되고, 용기에 수용된 상태로 제2 반송 장치에 의해 반입용 포트로부터 제1 세정용 포트로 반송된다. 그리고, 제1 세정기에 의해 세정된 후의 물품은, 제1 반송 장치에 의해 제2 세정용 포트로부터 반송처로 반송된다. 이와 같이, 제1 반송 장치는, 제1 세정기에 의해 세정되기 전의 물품을 반송하지 않고, 세정된 후의 물품의 반송만을 행하므로, 세정되기 전의 물품을 반송함으로써 오염된 제2 반송 장치에 의해 세정한 후의 물품을 반송함으로써, 세정한 후의 물품이 오염된다는 것을 회피할 수 있다.
도 1은 물품 반송 설비의 평면도
도 2는 물품 반송 설비의 측면도
도 3은 제2 스태커 크레인(stacker crane)에 의한 용기 반송의 설명도
도 4는 제1 스태커 크레인에 의한 판형체 반송의 설명도
도 5는 제1 스태커 크레인에 의한 판형체의 반송과 제2 스태커 크레인에 의한 용기 반송의 설명도
도 6은 제1 스태커 크레인에 의한 판형체의 반송과 제2 스태커 크레인에 의한 용기 반송의 설명도
도 7은 제2 스태커 크레인에 의한 용기 반송의 설명도
도 8은 제1 스태커 크레인에 의한 판형체 반송의 설명도
이하, 본 발명에 관한 물품 반송 설비의 실시형태를 도면을 참조하여 설명한다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 물품 반송 설비에는, 판형체(1) 및 용기(2)를 보관하는 보관 선반(storage rack)(4)과, 판형체(1)를 반송하는 제1 스태커 크레인(5)과, 용기(2)를 반송하는 제2 스태커 크레인(6)과, 용기 반입용의 반입용 포트(7)와, 용기 반출용(搬出用)의 반출용 포트(8)를 구비하고 있다. 또한, 물품 반송 설비에는, 벽체(W)가 구비되어 있고, 보관 선반(4)과 제1 스태커 크레인(5)과 제2 스태커 크레인(6)은, 벽체(W)에 에워싸인 내부에 설치되어 있다.
벽체(W)의 외부에는, 상기 벽체(W)에 인접하는 상태로 제1 세정기(CL1)와 제2 세정기(CL2)가 설치되어 있다. 제1 세정기(CL1)는, 판형체(1)를 세정하기 위한 세정기이며, 제2 세정기(CL2)는, 판형체(1)가 인출된 후의 용기(2)를 세정하기 위한 세정기이다. 그리고, 물품 반송 설비에는, 제1 세정기(CL1)에 대하여 설치된 제1 세정용 포트(11) 및 제2 세정용 포트(12)와, 제2 세정기(CL2)에 대하여 설치된 제3 세정용 포트(13) 및 제4 세정용 포트(14)가 구비되어 있다. 제1 세정용 포트(11)는, 제2 세정용 포트(12)와는 별개로 설치되고, 제4 세정용 포트(14)는, 제3 세정용 포트(13)와는 별개로 설치되어 있다.
본 실시형태에서는, 판형체(1)는, 포토마스크이며, 평면에서 볼 때의 형상이 직사각형으로 형성되어 있다. 그리고, 판형체(1)가 물품에 상당한다. 용기(2)는, 규정 개수의 판형체(1)를 수용 가능한 용기이다. 용기(2)로서, 커버가 구비되어 있고 커버의 개폐가 필요한 밀폐된 밀폐식의 용기, 커버가 구비되어 있지 않고 커버의 개폐가 불필요한 해방식(解放式)의 용기 중 어느 용기를 사용해도 된다. 단, 밀폐식의 용기를 사용하는 경우에는, 커버의 개폐가 필요한 위치[예를 들면, 후술하는 반출용 포트(8) 등]에는, 용기(2)의 커버를 개폐하는 개폐 장치를 구비할 필요가 있다.
이하, 물품 반송 설비의 각각의 구성에 대하여 설명하지만, 상하 방향 Z에서 볼 때, 제1 세정기(CL1)와 제2 세정기(CL2)가 배열되는 방향을 배열 방향 Y라고 하고, 이 배열 방향 Y에 대하여 직교하는 방향을 전후 방향 X라고 하여 설명한다. 또한, 전후 방향 X에 있어서, 보관 선반(4)에 대하여 제1 스태커 크레인(5)이나 제2 스태커 크레인(6)이 존재하는 방향을 전방 X1이라고 하고, 그 반대 방향을 후방 X2라고 하여 설명한다. 또한, 배열 방향 Y에 있어서, 제2 세정기(CL2)에 대하여 제1 세정기(CL1)가 존재하는 방향을 제1 방향 Y1이라고 하고, 그 반대 방향을 제2 방향 Y2라고 하여 설명한다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 물품 반송 설비의 천정부에는, 제1 팬(fan) 필터 유닛(16)이 설치되어 있다. 이 제1 팬 필터 유닛(16)은, 보관 선반(4)이나 제1 스태커 크레인(5)이나 제2 스태커 크레인(6)보다 위쪽에 설치되어 있고, 위쪽의 공기를 흡인하여 아래쪽으로 공기를 토출(吐出)한다. 이로써, 벽체(W)의 내부에는, 천정측으로부터 바닥측을 향해 청정 공기가 하방향으로 유동(流動)하는 다운플로우(downflow)가 형성되어 있다.
또한, 벽체(W)에는, 제2 팬 필터 유닛(17)이 설치되어 있다. 제2 팬 필터 유닛(17)은, 보관 선반(4)에 대하여 후방 X2 측에 위치하도록 설치되어 있다. 그리고, 제2 팬 필터 유닛(17)은, 후방 X2의 공기를 흡인하여 전방 X1로 토출한다. 이로써, 보관 선반(4) 내에 청정 공기가 후방 X2로부터 전방 X1로 흐르는 청정 공기의 흐름이 형성되어 있다.
물품 반송 설비가 설치되는 바닥부(F)는, 하부 바닥(F1)과, 하부 바닥(F1)보다도 위쪽에 설치된 상부 바닥(F2)에 의해 구성되어 있고, 하부 바닥(F1)과 상부 바닥(F2)과의 사이에 바닥 하부 공간이 형성되고, 상부 바닥(F2)과 천정과의 사이에 작업 공간이 형성되어 있다. 상부 바닥(F2)은, 그레이팅(grating) 바닥이며, 상하 방향 Z로 관통하는 통기공이 복수 형성되어 있다. 하부 바닥(F1)은, 통기공을 가지지 않는 바닥이며, 본 실시형태에서는, 구멍이 없는 형상의 콘크리트에 의해 구성되어 있다.
[반출입(搬出入)용 컨베이어]
도 1에 나타낸 바와 같이, 물품 반송 설비에는, 반입용 컨베이어(19)와 반출용 컨베이어(20)와의 각각이 벽체(W)를 관통하는 상태로 설치되어 있다. 반입용 컨베이어(19)나 반출용 컨베이어(20)는, 판형체(1)를 수용한 용기(2)를 반송한다.
반입용 컨베이어(19)는, 벽체(W)의 외부에 위치하는 제1 반입 위치로부터 벽체(W)의 내부에 위치하는 제2 반입 위치로 용기(2)를 반송한다. 반입용 컨베이어(19)에서의 벽체(W)보다 내측에 위치하는, 반입용 컨베이어(19)의 전방 X1의 단부(端部)에 의해 반입용 포트(7)가 구성되어 있다. 환언하면, 반입용 포트(7)는, 제2 반입 위치에 위치하는 용기(2)를 지지하기 위한 포트이다. 그리고, 반입용 컨베이어(19)에 의해 용기(2)를 제1 반입 위치로부터 제2 반입 위치로 반송함으로써, 용기(2)가 반입용 포트(7)에 반입된다. 이와 같이, 반입용 포트(7)는, 판형체(1)를 수용한 용기(2)가 반입되는 포트이다.
반출용 컨베이어(20)는, 벽체(W)의 내부에 위치하는 제1 반출 위치로부터 벽체(W)의 외부에 위치하는 제2 반출 위치로 용기(2)를 반송한다. 반출용 컨베이어(20)에서의 벽체(W)보다 내측에 위치하는, 반출용 컨베이어(20)의 전방 X1의 단부에 의해 반출용 포트(8)가 구성되어 있다. 환언하면, 반출용 포트(8)는, 제1 반출 위치에 위치하는 용기(2)를 지지하기 위한 포트이다. 그리고, 반출용 컨베이어(20)에 의해 용기(2)를 제1 반출 위치로부터 제2 반출 위치로 반송함으로써, 용기(2)가 반출용 포트(8)로부터 반출된다. 이와 같이, 반출용 포트(8)는, 판형체(1)를 수용한 용기(2)를 반출하기 위한 포트이다.
[세정용 컨베이어]
또한, 도 1에 나타낸 바와 같이, 물품 반송 설비에는, 제1 세정용 컨베이어(21)와 제2 세정용 컨베이어(22)와 제3 세정용 컨베이어(23)와 제4 세정용 컨베이어(24)와의 각각이, 벽체(W)를 관통하는 상태로 설치되어 있다. 제1 세정용 컨베이어(21) 및 제2 세정용 컨베이어(22)는, 제1 세정기(CL1)에 대하여 설치되어 있고, 제3 세정용 컨베이어(23) 및 제4 세정용 컨베이어(24)는, 제2 세정기(CL2)에 대하여 설치되어 있다.
제1 세정용 컨베이어(21)는, 벽체(W)의 내부에 위치하는 제1 위치 P1으로부터 제1 세정기(CL1)에 밀착되는 위치로 용기(2)를 반송하는 동시에, 제1 세정기(CL1)에 밀착되는 위치로부터 제1 위치 P1으로 용기(2)를 반송한다. 제1 세정기(CL1)에는, 용기(2)로부터 판형체(1)를 인출하는 로봇(도시하지 않음)이 장비되어 있다. 그러므로, 제1 세정용 컨베이어(21)에 의해 제1 위치 P1으로부터 제1 세정기(CL1)에 밀착되는 위치로 반송되는 용기(2)에는 판형체(1)가 수용되어 있지만, 이 밀착되는 위치의 용기(2)로부터 로봇에 의해 판형체(1)가 인출되므로, 제1 세정용 컨베이어(21)에 의해 제1 세정기(CL1)에 밀착되는 위치로부터 제1 위치 P1으로 반송되는 용기(2)에는 판형체(1)는 수용되어 있지 않다. 이와 같이, 제1 세정용 컨베이어(21)는, 판형체(1)를 수용한 용기(2) 및 판형체(1)를 수용하고 있지 않은 용기(2)의 양쪽을 반송한다. 그리고, 제1 세정용 컨베이어(21)에 의해 반송되는 용기(2) 및 이에 수용되어 있는 판형체(1)는, 세정기에 의해 세정되기 전의 용기(2)[세정 전의 용기(2)] 및 판형체(1)[세정 전의 판형체(1)]이다. 제1 세정용 컨베이어(21)에서의 벽체(W)보다 내측에 위치하는, 제1 세정용 컨베이어(21)의 전방 X1의 단부에 의해 제1 세정용 포트(11)가 구성되어 있다. 환언하면, 제1 세정용 포트(11)는, 제1 위치 P1에 위치하는 용기(2)를 지지하기 위한 포트이다. 그리고, 이 제1 세정용 포트(11)는, 판형체(1)를 세정하는 제1 세정기(CL1)에 대응하는 위치에 설치되어 제1 세정기(CL1)에 의해 세정되기 전의 판형체(1)를 수용한 용기(2)를 지지하는 포트에 상당한다.
제2 세정용 컨베이어(22)는, 제1 세정기(CL1)내에서 벽체(W)의 내부에 위치하는 제2 위치 P2로 판형체(1)를 반송한다. 제1 세정기(CL1)는, 로봇에 의해 인출한 판형체(1)를 세정하고, 그 세정된 후의 판형체(1)[세정 후의 판형체(1)]를 제2 세정용 컨베이어(22)에 탑재한다. 그러므로, 제2 세정용 컨베이어(22)에 의해 제1 세정기(CL1)내로부터 제2 위치 P2로 반송되는 판형체(1)는, 세정 후의 판형체(1)이다. 제2 세정용 컨베이어(22)에서의 벽체(W)보다 내측에 위치하는, 제2 세정용 컨베이어(22)의 전방 X1의 단부에 의해 제2 세정용 포트(12)가 구성되어 있다. 환언하면, 제2 세정용 포트(12)는, 제2 위치 P2에 위치하는 판형체(1)를 지지하기 위한 포트이다. 그리고, 이 제2 세정용 포트(12)는, 제1 세정기(CL1)에 대응하는 위치에 설치되고, 용기(2)로부터 인출되어 제1 세정기(CL1)에 의해 세정된 후의 판형체(1)를 지지하는 포트에 상당한다.
제3 세정용 컨베이어(23)는, 벽체(W)의 내부에 위치하는 제3 위치 P3로부터 제2 세정기(CL2) 내로 용기(2)를 반송한다. 제3 세정용 컨베이어(23)에 의해 반송되는 용기(2)는, 제2 세정기(CL2)에 의해 세정되기 전의 용기(2)[세정 전의 용기(2)]이다. 제3 세정용 컨베이어(23)에서의 벽체(W)보다 내측에 위치하는, 제3 세정용 컨베이어(23)의 전방 X1의 단부에 의해 제3 세정용 포트(13)가 구성되어 있다. 환언하면, 제3 세정용 포트(13)는, 제3 위치 P3에 위치하는 용기(2)를 지지하기 위한 포트이다. 그리고, 이 제3 세정용 포트(13)는, 제2 세정기(CL2)에 대응하는 위치에 설치되어 제2 세정기(CL2)에 의해 세정되기 전의 용기(2)를 지지하는 포트에 상당한다.
제4 세정용 컨베이어(24)는, 제2 세정기(CL2)내에서 벽체(W)의 내부에 위치하는 제4 위치 P4로 용기(2)를 반송한다. 제4 세정용 컨베이어(24)에 의해 반송되는 용기(2)는, 제2 세정기(CL2)에 의해 세정된 후의 용기(2)[세정 후의 용기(2)]이다. 제4 세정용 컨베이어(24)에서의 벽체(W)보다 내측에 위치하는, 제4 세정용 컨베이어(24)의 전방 X1의 단부에 의해 제4 세정용 포트(14)가 구성되어 있다. 환언하면, 제4 세정용 포트(14)는, 제4 위치 P4에 위치하는 용기(2)를 지지하기 위한 포트이다. 이 제4 세정용 포트(14)는, 제2 세정기(CL2)에 대응하는 위치에 설치되어 제2 세정기(CL2)에 세정된 후의 용기(2)를 지지하는 포트에 상당한다.
[보관 선반]
보관 선반(4)은, 복수의 보관부(26)를 구비하고 있다. 보관 선반(4)은, 상하 방향 Z 및 배열 방향 Y로 복수 배열되는 상태로 보관부(26)를 구비하고 있다. 보관 선반(4)에는, 보관부(26)로서, 판형체(1)를 보관하기 위한 제1 보관부(27)와, 용기(2)를 보관하기 위한 제2 보관부(28)를 구비하고 있다. 보관 선반(4)은, 배열 방향 Y에 있어서, 제1 보관부(27)가 제2 보관부(28)에 대하여 제1 방향 Y1에 위치하도록, 제1 보관부(27) 및 제2 보관부(28)를 구비하고 있다.
또한, 보관 선반(4)에는, 또한 반입용 포트(7)[반입용 컨베이어(19)], 반출용 포트(8)[반출용 컨베이어(20)], 제1 세정용 포트(11)[제1 세정용 컨베이어(21)], 제2 세정용 포트(12)[제2 세정용 컨베이어(22)], 제3 세정용 포트(13)[제3 세정용 컨베이어(23)], 제4 세정용 포트(14)[제4 세정용 컨베이어(24)], 후술하는 검사부(29)가 구비되어 있다.
본 실시형태에서는, 전후 방향 X로 배열되는 상태로 보관 선반(4)이 한 쌍 설치되어 있고, 전후 방향 X에 있어서, 한 쌍의 보관 선반(4)의 사이에 제1 스태커 크레인(5) 및 제2 스태커 크레인(6)이 설치되어 있다. 한 쌍의 보관 선반(4) 중 한쪽의 보관 선반(4)에, 반입용 포트(7), 반출용 포트(8) 및 검사부(29)가 형성되어 있고, 한 쌍의 보관 선반(4) 중 다른 쪽의 보관 선반(4)에, 제1 세정용 포트(11), 제2 세정용 포트(12), 제3 세정용 포트(13) 및 제4 세정용 포트(14)가 구비되어 있다. 제1 보관부(27) 및 제2 보관부(28)의 각각은, 한 쌍의 보관 선반(4)의 양쪽에 구비되어 있다. 또한, 본 실시형태에서는, 검사부(29)로서, 제1 검사부(30)와 제2 검사부(31)와의 2개의 검사부(29)를 구비하고 있다. 제1 검사부(30)는, 미립자나 패턴의 결함 등의 판형체(1)의 외관을 검사한다. 제2 검사부(31)는, 판형체(1)의 길이, 폭 및 두께 등의 판형체(1)의 크기를 계측[측장(測長)]한다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 제2 보관부(28)로서, 세정 후의 용기(2)를 보관하기 위한 세정 후의 제2 보관부(28A)와, 세정 전의 용기(2)를 보관하기 위한 세정전용의 제2 보관부(28B)가 있다. 세정전용의 제2 보관부(28B)는, 세정 후의 제2 보관부(28A)보다 아래쪽에 구비되어 있다. 상하 방향 Z에 인접하는 세정후용의 제2 보관부(28A)와 세정전용의 제2 보관부(28B)는, 칸막이체(32)에 의해 구획되어 있다. 칸막이체(32)는, 상하 방향 Z에 인접하는 세정후용의 제2 보관부(28A)와 세정후용의 제2 보관부(28B)를 서로 공기가 유동하지 않도록, 구멍이 없는 형상의 판형재에 의해 구성되어 있다.
[스태커 크레인]
도 1에 나타낸 바와 같이, 제1 스태커 크레인(5) 및 제2 스태커 크레인(6)의 각각은, 배열 방향 Y로 이동 가능하게 구성되어 있다. 제1 스태커 크레인(5)은, 판형체(1)를 반송하는 스태커 크레인이다. 제2 스태커 크레인(6)은, 용기(2)를 반송하는 스태커 크레인이다. 제1 스태커 크레인(5)은, 제2 스태커 크레인(6)에 대하여 제1 방향 측에 있다. 제1 스태커 크레인(5)의 이동 경로(M1)와 제2 스태커 크레인(6)의 이동 경로(M2)가, 배열 방향 Y로 중첩되는 부분을 가진다. 그리고, 제1 스태커 크레인(5)은, 판형체(1)를 반송하는 제1 반송 장치에 상당하고, 제2 스태커 크레인(6)은, 용기(2)를 반송하는 제2 반송 장치에 상당한다.
도 2에 나타낸 바와 같이, 제2 스태커 크레인(6)은, 배열 방향 Y로 주행하는 주행 대차(travel carriage)(33)와, 주행 대차(33)에 세워 설치된 마스트(mast)(34)와, 마스트(34)를 따라 승강하는 승강체(35)와, 승강체(35)에 지지되어 있는 이송탑재 장치(transfer device)(36)를 구비하고 있다. 상세한 설명은 생략하지만, 이송탑재 장치(36)에는, 용기(2)를 지지하는 지지체와, 상기 지지체를 전후 방향 X를 따라 이동시키는 링크 기구(機構)를 구비하고 있다. 제2 스태커 크레인(6)의 이송탑재 장치(36)는, 제2 반송원(搬送元)(S2)으로부터 자체에 용기(2)를 이송탑재(transfer) 가능하면서 또한 자기(自己)로부터 제2 반송처(G2)로 용기(2)를 이송탑재 가능하게 구성되어 있다. 제1 스태커 크레인(5)은, 이송탑재 장치(36)의 지지체에 의해 판형체(1)를 지지하는 점 이외에는, 제2 스태커 크레인(6)과 동일하게 구성되어 있다. 제1 스태커 크레인(5)의 이송탑재 장치(36)는, 제1 반송원(S1)으로부터 자체에 판형체(1)를 이송탑재 가능하면서 또한 자기로부터 제1 반송처(G1)로 판형체(1)를 이송탑재 가능하게 구성되어 있다.
[포트의 위치 관계]
제1 세정용 포트(11)와 제2 세정용 포트(12)와 제3 세정용 포트(13)와 제4 세정용 포트(14)와 반입용 포트(7)와 반출용 포트(8) 중, 제2 세정용 포트(12)가 가장 제1 방향 Y1 측에 설치되는 동시에 제4 세정용 포트(14)가 가장 제2 방향 Y2 측에 설치되어 있다. 본 실시형태에서는, 제1 세정용 포트(11)와 제2 세정용 포트(12)와 제3 세정용 포트(13)와 제4 세정용 포트(14)는, 제2 방향 Y2을 측을 향해, 제2 세정용 포트(12), 제1 세정용 포트(11), 제3 세정용 포트(13), 제4 세정용 포트(14)의 순으로 정렬되어 있다. 이와 같이, 제1 스태커 크레인(5)이 반송원 또는 반송처로 하는 제2 세정용 포트(12)는, 제2 스태커 크레인(6)이 반송원 또는 반송처로 하는 제1 세정용 포트(11), 제3 세정용 포트(13) 및 제4 세정용 포트(14)보다도 제1 방향 Y1에 위치하도록 설치되어 있다.
반입용 포트(7)와 반출용 포트(8)는, 제2 방향 Y2을 측을 향해, 반입용 포트(7), 반출용 포트(8)의 순으로 정렬되어 있다. 반입용 포트(7) 및 반출용 포트(8)는, 배열 방향 Y에 있어서, 제2 세정용 포트(12)의 제1 방향 Y1 측의 단부와, 제4 세정용 포트(14)의 제2 방향 Y2 측의 단부와의 사이에 위치하도록 설치되어 있다. 그리고, 이들 반입용 포트(7) 및 반출용 포트(8)는, 배열 방향 Y에 있어서, 제1 스태커 크레인(5)의 이동 경로(M1)와 제2 스태커 크레인(6)의 이동 경로(M2)가 중첩되는 영역 내에 설치되어 있다. 제2 세정용 포트(12)보다 제1 방향 Y1으로는, 제1 보관부(27)와 제2 보관부(28) 중의 제1 보관부(27)만이 설치되어 있고, 제4 세정용 포트(14)보다 제2 방향 Y2로는, 제1 보관부(27)와 제2 보관부(28) 중의 제2 보관부(28)만이 설치되어 있다.
[반송의 형태]
제1 스태커 크레인(5)은, 제1 반송원(S1)으로부터 제1 반송처(G1)로 판형체(1)를 반송한다. 제1 스태커 크레인(5)은, 제2 세정용 포트(12), 제1 검사부(30), 제2 검사부(31) 및 제1 보관부(27)를 제1 반송원(S1)으로 하고, 제1 검사부(30), 제2 검사부(31), 제1 보관부(27) 및 반출용 포트(8)를 제1 반송처(G1)로 하고 있다. 즉, 구체예를 들면, 제1 스태커 크레인(5)은, 다음과 같이 제1 반송원(S1)으로부터 제1 반송처(G1)로 판형체(1)를 반송한다.
도 4에 나타낸 바와 같이, 제1 스태커 크레인(5)은, 제2 세정용 포트(12)를 제1 반송원(S1)으로 하고, 제1 검사부(30)를 제1 반송처(G1)로 하여, 판형체(1)의 제2 세정용 포트(12)로부터 제1 검사부(30)에 대한 반송을 행한다. 도 5에 나타낸 바와 같이, 제1 스태커 크레인(5)은, 제1 검사부(30)를 제1 반송원(S1)으로 하고, 제2 검사부(31)를 제1 반송처(G1)로 하여, 판형체(1)의 제1 검사부(30)로부터 제2 검사부(31)에 대한 반송을 행한다. 도 6에 나타낸 바와 같이, 제1 스태커 크레인(5)은, 제2 검사부(31)를 제1 반송원(S1)으로 하고, 제1 보관부(27)를 제1 반송처(G1)로 하여, 판형체(1)의 제2 검사부(31)로부터 제1 보관부(27)에 대한 반송을 행한다. 도 8에 나타낸 바와 같이, 제1 스태커 크레인(5)은, 제1 보관부(27)를 제1 반송원(S1)으로 하고, 반출용 포트(8)를 제1 반송처(G1)로 하여, 판형체(1)의 제1 보관부(27)로부터 반출용 포트(8)에 대한 반송을 행한다. 구체적으로는, 제1 스태커 크레인(5)은, 제1 보관부(27)를 제1 반송원(S1)으로 하고, 반출용 포트(8)에 위치하는 용기(2)를 제1 반송처(G1)로 하여, 판형체(1)의 제1 보관부(27)로부터 반출용 포트(8)의 용기(2)에 대한 반송을 행한다.
또한, 제1 스태커 크레인(5)은, 제2 검사부(31)를 제1 반송원(S1)으로 하고, 반출용 포트(8)를 제1 반송처(G1)로 하여, 제2 검사부(31)로부터 반출용 포트(8)로 판형체(1)를 반송하는 경우 등도 있고, 제1 스태커 크레인(5)에 의해 판형체(1)가 반송되는 반송원과 반송처의 조합은 도시한 것에 한정되지 않는다.
제2 스태커 크레인(6)은, 제2 반송원(S2)으로부터 제2 반송처(G2)로 용기(2)를 반송한다. 제2 스태커 크레인(6)은, 반입용 포트(7), 제1 세정용 포트(11), 제4 세정용 포트(14) 및 제2 보관부(28)를 제2 반송원(S2)으로 하고, 반출용 포트(8), 제1 세정용 포트(11), 제3 세정용 포트(13) 및 제2 보관부(28)를 제2 반송처(G2)로 하고 있다. 그리고, 제2 스태커 크레인(6)은, 반출용 포트(8) 및 제2 보관부(28)를 제3 반송처로 하고 있고, 제2 반송처(G2) 중, 제4 세정용 포트(14)를 제2 반송원(S2)으로 한 경우에, 용기를 반송하는 앞으로 되는 포트나 보관부(26)를 제3 반송처로 하고 있다.
즉, 구체예를 들면, 제2 스태커 크레인(6)은, 다음과 같이 제2 반송원(S2)으로부터 제2 반송처(G2)로 용기(2)를 반송한다. 도 3에 나타낸 바와 같이, 제2 스태커 크레인(6)은, 반입용 포트(7)를 제2 반송원(S2)으로 하고, 제1 세정용 포트(11)를 제2 반송처(G2)로 하여, 용기(2)의 반입용 포트(7)로부터 제1 세정용 포트(11)에 대한 반송을 행한다. 도 5에 나타낸 바와 같이, 제2 스태커 크레인(6)은, 제1 세정용 포트(11)를 제2 반송원(S2), 제3 세정용 포트(13)를 제2 반송처(G2)로 하여, 제1 세정용 포트(11)로부터 제3 세정용 포트(13)로 용기(2)를 반송한다. 도 6에 나타낸 바와 같이, 제2 스태커 크레인(6)은, 제4 세정용 포트(14)를 제2 반송원(S2)으로 하고, 제2 보관부(28)를 제2 반송처(G2)(제3 반송처)로 하여, 용기(2)의 제4 세정용 포트(14)로부터 제2 보관부(28)에 대한 반송을 행한다. 도 7에 나타낸 바와 같이, 제2 스태커 크레인(6)은, 제2 보관부(28)를 제2 반송원(S2)으로 하고, 반출용 포트(8)를 제2 반송처(G2)로 하여, 용기(2)의 제2 보관부(28)로부터 반출용 포트(8)에 대한 반송을 행한다.
또한, 반입용 포트(7)에 용기(2)가 반입된 것의 제1 세정용 포트(11)에 다른 용기(2)가 존재하는 등에 의해 반입용 포트(7)의 용기(2)를 제1 세정용 포트(11)로 반송할 수 없는 경우에는, 제2 스태커 크레인(6)은, 반입용 포트(7)를 제2 반송원(S2)으로 하고, 제2 보관부(28)를 제2 반송처(G2)로 하여, 반입용 포트(7)로부터 제2 보관부(28)로 용기(2)를 반송한다. 그리고, 상기 용기(2)를 제1 세정용 포트(11)로 반송 가능하게 되었을 경우에, 제2 스태커 크레인(6)은, 제2 보관부(28)를 제2 반송원(S2)으로 하고, 제1 세정용 포트(11)를 제2 반송처(G2)로 하여, 제2 보관부(28)로부터 제1 세정용 포트(11)로 용기(2)를 반송한다. 이와 같이, 제2 스태커 크레인(6)에 의해 용기(2)가 반송되는 반송원과 반송처의 조합은 도시한 것에 한정되지 않는다.
도 1에 나타낸 바와 같이, 물품 반송 설비에는, 제1 스태커 크레인(5) 및 제2 스태커 크레인(6)을 제어하는 제어부(H)가 구비되어 있다. 다음과 같이 하여 판형체(1) 및 용기(2)를 반송하기 위해, 제어부(H)에 의해 제1 스태커 크레인(5) 및 제2 스태커 크레인(6)이 제어된다.
도 3에 가상선(2점 쇄선)과 나타낸 바와 같이, 반입용 컨베이어(19)에 의해 반입용 포트(7)에 용기(2)가 반입된다. 이 반입용 포트(7)에 반입된 용기(2)는 세정 전의 용기(2)이며, 상기 용기(2)에는, 세정 전의 판형체(1)가 수용되어 있다. 그리고, 제어부(H)는, 반입용 포트(7)에 반입된 용기(2)를 반입용 포트(7)로부터 제1 세정용 포트(11)로 반송(도 3 참조)하도록, 제2 스태커 크레인(6)을 제어하는 제1 용기 반송 제어를 실행한다. 제1 세정용 포트(11)로 반송된 용기(2)는, 제1 세정용 컨베이어(21)에 의해 제1 세정기(CL1)에 밀착되는 위치로 반송된 후, 제1 세정기(CL1)의 로봇(도시하지 않음)에 의해 용기(2)로부터 판형체(1)가 인출되어, 판형체(1)가 제1 세정기(CL1)에 의해 세정된다. 제1 세정기(CL1)에 의해 세정된 후의 판형체(1)는, 제1 세정기(CL1)의 로봇에 의해, 제2 세정용 컨베이어(22) 상에 탑재하고, 도 3에 나타낸 바와 같이, 제2 세정용 컨베이어(22)에 의해 제2 세정용 포트(12)로 반송된다. 판형체(1)가 모두 인출된 용기(2)는, 제1 세정용 컨베이어(21)에 의해 제1 세정기(CL1)에 밀착되는 위치로부터 제1 세정용 포트(11)로 반송된다.
제어부(H)는, 제1 세정용 포트(11)의 용기(2)를 제1 세정용 포트(11)로부터 제3 세정용 포트(13)로 반송(도 5 참조)하도록, 제2 스태커 크레인(6)을 제어하는 제2 용기 반송 제어를 실행한다. 이 제2 용기 반송 제어에 의해 제2 스태커 크레인(6)에 의해 반송되는 용기(2)는 세정 전의 용기(2)이며, 상기 용기(2)에는, 판형체(1)는 수용되어 있지 않다. 그리고, 도 5에 나타낸 바와 같이, 제3 세정용 포트(13)로 반송된 세정 전의 용기(2)는, 제3 세정용 컨베이어(23)에 의해 제2 세정기(CL2) 내로 반송되고, 제2 세정기(CL2)에 의해 세정된다. 제2 세정기(CL2)에 의해 세정된 후의 세정 후의 용기(2)는, 제4 세정용 컨베이어(24)에 의해 제4 세정용 포트(14)로 반송된다.
제어부(H)는, 제4 세정용 포트(14)의 용기(2)를 제4 세정용 포트(14)로부터 제2 보관부(28)로 반송(도 6 참조)하도록, 제2 스태커 크레인(6)을 제어하는 제3 용기 반송 제어를 실행한다. 그리고, 용기(2)에 판형체(1)를 수용하여 용기(2)를 반출하는 경우에, 제어부(H)는, 제2 보관부(28)로부터 반출용 포트(8)로 반송(도 7 참조)하도록, 제2 스태커 크레인(6)을 제어하는 제4 용기 반송 제어를 실행한다. 이 제3 용기 반송 제어나 제4 용기 반송 제어에 의해 제2 스태커 크레인(6)에 의해 반송되는 용기(2)는 세정 후의 용기(2)이며, 상기 용기(2)에는, 판형체(1)는 수용되어 있지 않다.
제어부(H)는, 제2 세정용 포트(12)의 판형체(1)를 제2 세정용 포트(12)로부터 제1 검사부(30)로 반송(도 4 참조)하도록, 제1 스태커 크레인(5)을 제어하는 제1 판형체 반송 제어를 실행한다. 제어부(H)는, 제1 검사부(30)에서의 검사가 종료된 판형체(1)를 제1 검사부(30)로부터 제2 검사부(31)로 반송(도 5 참조)하도록, 제1 스태커 크레인(5)을 제어하는 제2 판형체 반송 제어를 실행한다. 제어부(H)는, 제2 검사부(31)에서의 검사가 종료된 판형체(1)를 제2 검사부(31)로부터 제1 보관부(27)로 반송(도 6 참조)하도록, 제1 스태커 크레인(5)을 제어하는 제3 판형체 반송 제어를 실행한다. 그리고, 제어부(H)는, 용기(2)에 판형체(1)를 수용하여 용기(2)를 반출하는 경우에, 제1 보관부(27)의 판형체(1)를 제1 보관부(27)로부터 반출용 포트(8)로 반송(도 8 참조)하도록, 제1 스태커 크레인(5)을 제어하는 제4 판형체 반송 제어를 실행한다. 제1 판형체 반송 제어, 제2 판형체 반송 제어, 제3 판형체 반송 제어 및 제4 판형체 반송 제어에 의해 제1 스태커 크레인(5)에 의해 반송되는 판형체(1)는, 세정 후의 판형체(1)이다. 그리고, 제4 판형체 반송 제어에서는, 제1 스태커 크레인(5)에 의해 반출용 포트(8)에 판형체(1)를 반송하는 경우에 있어서, 제1 스태커 크레인(5)은, 판형체(1)를 반출용 포트(8)에 위치하는 용기(2)에 수용시키도록 상기 판형체(1)를 반출용 포트(8)로 반송한다.
2. 그 외의 실시형태
다음에, 물품 반송 설비의 그 외의 실시형태에 대하여 설명한다.
(1) 상기 실시형태에서는, 제1 세정용 포트(11)를, 제2 세정용 포트(12)에 대하여 제1 방향 Y1 측에 설치했지만, 제1 세정용 포트(11) 및 제2 세정용 포트(12)의 설치 위치는 적절히 변경해도 된다. 예를 들면, 제1 세정용 포트(11)를, 제2 세정용 포트(12)에 대하여 제2 방향 Y2로 설치해도 되고, 또한 상하 방향 Z에서 볼 때 제1 세정용 포트(11)와 제2 세정용 포트(12)를 중첩되도록 설치하여, 제1 세정용 포트(11)와 제2 세정용 포트(12)를 배열 방향 Y와 같은 위치에 설치해도 된다. 그리고, 제3 세정용 포트(13) 및 제4 세정용 포트(14)의 설치 위치, 및 반입용 포트(7) 및 반출용 포트(8)의 설치 위치에 대하여도, 제1 세정용 포트(11) 및 제2 세정용 포트(12)와 마찬가지로, 적절히 변경해도 된다. 또한, 상기 실시형태에서는, 제4 세정용 포트(14)를, 제3 세정용 포트(13)와는 별개로 설치했지만, 제3 세정용 포트(13)에 제4 세정용 포트(14)의 기능을 구비하게 하여, 제3 세정용 포트(13)를 제4 세정용 포트(14)와 공용해도 된다. 또한, 반출용 포트(8)를, 반입용 포트(7)와는 별개로 설치했지만, 반입용 포트(7)에 반출용 포트(8)의 기능을 구비하게 하여, 반입용 포트(7)를 반출용 포트(8)와 공용해도 된다.
(2) 상기 실시형태에서는, 제2 스태커 크레인(6)은, 제2 세정기(CL2)에 의해 세정되고, 또한 판형체(1)를 수용하고 있지 않은 용기(2)를 반출용 포트(8)로 반송하고, 제1 스태커 크레인(5)은, 제1 세정기(CL1)에 의해 세정된 후의 판형체(1)를 반출용 포트(8)에 위치하는 용기(2)에 수용시키도록 상기 판형체(1)를 반출용 포트(8)로 반송하도록 하여, 용기(2)에 판형체(1)를 수용하였으나, 다른 구성에 의해 판형체(1)를 용기(2)에 수용해도 된다. 구체적으로는, 예를 들면, 반출용 포트(8)와는 별개로 용기 수용용 포트를 구비하여, 제2 스태커 크레인(6)은, 제2 세정기(CL2)에 의해 세정되고, 또한 판형체(1)를 수용하고 있지 않은 용기(2)를 용기 수용용 포트로 반송하고, 제1 스태커 크레인(5)은, 제1 세정기(CL1)에 의해 세정된 후의 판형체(1)를 용기 수용용 포트에 위치하는 용기(2)에 수용시키도록 상기 판형체(1)를 용기 수용용 포트로 반송하도록 해도 된다. 이 경우, 제2 스태커 크레인(6)에 의해 판형체(1)를 수용한 용기(2)를 용기 수용용 포트로부터 반출용 포트(8)로 반송한다. 또한, 예를 들면, 반출용 포트(8)와는 별개로 판형체용 포트를 구비하여, 제2 스태커 크레인(6)은, 제2 세정기(CL2)에 의해 세정되고, 또한 판형체(1)를 수용하고 있지 않은 용기(2)를 반출용 포트(8)로 반송하고, 제1 스태커 크레인(5)은, 제1 세정기(CL1)에 의해 세정된 후의 판형체(1)를 판형체용 포트로 반송한다. 그리고, 별도 구비한 수용 로봇에 의해, 판형체(1)를 반출용 포트(8)에 위치하는 용기(2)에 수용시키도록, 판형체(1)를 판형체용 포트로부터 반출용 포트(8)로 반송하도록 해도 된다.
(3) 상기 실시형태에서는, 제1 스태커 크레인(5)을, 판형체(1)의 바닥면을 아래쪽으로부터 지지하도록 구성하였지만, 제1 스태커 크레인(5)에서의 판형체(1)를 지지하는 구성은 적절히 변경해도 되고, 예를 들면, 제1 스태커 크레인(5)을, 판형체(1)의 상면을 흡착함으로써 판형체(1)를 위쪽으로부터 지지하도록 구성해도 된다.
제2 스태커 크레인(6)을, 용기(2)의 바닥면을 아래쪽으로부터 지지하도록 구성하였지만, 제2 스태커 크레인(6)에서의 용기(2)를 지지하는 구성은 적절히 변경해도 되고, 예를 들면, 제2 스태커 크레인(6)을, 용기(2)의 상부를 지지하여 용기(2)를 현수(懸垂)하도록 지지해도 된다.
(4) 상기 실시형태에서는, 제1 세정용 포트(11)와 제2 세정용 포트(12)와 제3 세정용 포트(13)와 제4 세정용 포트(14)와 반입용 포트(7)와 반출용 포트(8) 중, 가장 제1 방향 Y1 측에 위치하는 포트보다 제1 방향 Y1으로는, 제1 보관부(27)와 제2 보관부(28) 중의 제1 보관부(27)만을 설치했지만, 가장 제1 방향 Y1 측에 위치하는 포트보다 제1 방향 Y1으로, 제1 보관부(27)와 제2 보관부(28)와의 양쪽을 설치해도 된다. 또한, 제1 세정용 포트(11)와 제2 세정용 포트(12)와 제3 세정용 포트(13)와 제4 세정용 포트(14)와 반입용 포트(7)와 반출용 포트(8) 중, 가장 제2 방향 Y2 측에 위치하는 포트보다 제2 방향 Y2로는, 제1 보관부(27)와 제2 보관부(28) 중의 제2 보관부(28)만을 설치했지만, 가장 제2 방향 Y2 측에 위치하는 포트보다 제2 방향 Y2으로, 제1 보관부(27)와 제2 보관부(28)와의 양쪽을 설치해도 된다.
(5) 상기 실시형태에서는, 제3 세정용 포트(13) 및 제4 세정용 포트(14)를, 제2 스태커 크레인(6)이 용기(2)를 받아건넴 가능한 위치에 설치했지만, 제3 세정용 포트(13) 및 제4 세정용 포트(14)를 설치하는 위치는 적절히 변경해도 된다. 구체적으로는, 예를 들면, 제3 세정용 포트(13) 및 제4 세정용 포트(14)를 벽체(W)의 외부에 설치하여, 세정 전에 또한 판형체(1)를 수용하고 있지 않은 용기(2)를 반출용 포트(8)로부터 반출하고, 그 반출용 포트(8)로부터 반출한 용기(2)를 외부의 반송 장치에 의해 제3 세정용 포트(13)로 반송하는 동시에, 세정 후에, 또한 판형체(1)를 수용하고 있지 않은 용기(2)를 외부의 반송 장치에 의해 제4 세정용 포트(14)로부터 반송하여, 상기 용기(2)를 반입용 포트(7)로부터 반입하도록 해도 된다. 또한, 제2 세정기(CL2), 제3 세정용 포트(13) 및 제4 세정용 포트(14)를 구비하지 않아도 된다.
(6) 상기 실시형태에서는, 물품을 포토마스크로 하였으나, 웨이퍼 등의 다른 판형체(1)라도 되고, 또한 물품의 형상으로서는, 판형 이외에 입방체형이나 둥근 막대형 등의 다른 형상이라도 된다.
(7) 그리고, 전술한 각각의 실시형태에서 개시된 구성은, 모순이 생기지 않는 한, 다른 실시형태에서 개시된 구성과 조합시켜 적용할 수도 있다. 그 외의 구성에 관해서도, 본 명세서에 있어서 개시된 실시형태는 모든 점에서 단순한 예시에 지나지 않는다. 따라서, 본 개시의 취지를 벗어나지 않는 범위 내에서, 적절히, 각종 개변(改變; modification)을 행할 수 있다.
3. 상기 실시형태의 개요
이하, 상기에 있어서 설명한 물품 반송 설비의 개요에 대하여 설명한다.
물품 반송 설비는, 물품을 수용한 상기 용기가 반입되는 반입용 포트와, 상기 물품을 세정하는 제1 세정기에 대응하는 위치에 설치되어 상기 제1 세정기에 의해 세정되기 전의 상기 물품을 수용한 상기 용기를 지지하는 제1 세정용 포트와, 상기 제1 세정기에 대응하는 위치에 설치되고, 상기 용기로부터 인출되어 상기 제1 세정기에 의해 세정된 후의 상기 물품을 지지하는 제2 세정용 포트와, 상기 물품을 반송하는 제1 반송 장치와, 상기 용기를 반송하는 제2 반송 장치를 구비하고, 상기 제2 세정용 포트는, 상기 제1 세정용 포트와는 별개로 설치되고, 상기 제2 반송 장치는, 상기 용기의 상기 반입용 포트로부터 상기 제1 세정용 포트로의 반송, 상기 물품이 인출된 후의 상기 용기의 상기 제1 세정용 포트로부터 제2 반송처로의 반송을 행하고, 상기 제1 반송 장치는, 상기 물품의 상기 제2 세정용 포트로부터 제1 반송처로의 반송을 행한다.
이와 같은 구성에 의해, 반입용 포트에 반입된 용기는, 제2 반송 장치에 의해 반입용 포트로부터 제1 세정용 포트로 반송된다. 이 때 제2 반송 장치에 의해 반송되는 용기에는, 제1 세정기에 세정되기 전의 물품이 수용되어 있다. 그리고, 물품에 대하여는, 제1 세정용 포트에 위치하는 용기로부터 인출되어 제1 세정기에 의해 세정된 후, 제2 세정용 포트에 탑재된다. 그리고, 이 세정된 후의 물품은, 제1 반송 장치에 의해 제2 세정용 포트로부터 제1 반송처로 반송된다. 또한, 물품이 인출되어 비어 있었던 용기는, 제2 반송 장치에 의해, 제1 세정용 포트로부터 제2 반송처로 반송된다.
제1 세정기에 의해 세정되기 전의 물품은, 용기에 수용된 상태로 반입용 포트에 반입되고, 용기에 수용된 상태로 제2 반송 장치에 의해 반입용 포트로부터 제1 세정용 포트로 반송된다. 그리고, 제1 세정기에 의해 세정된 후의 물품은, 제1 반송 장치에 의해 제2 세정용 포트로부터 반송처로 반송된다. 이와 같이, 제1 반송 장치는, 제1 세정기에 의해 세정되기 전의 물품을 반송하지 않고, 세정된 후의 물품의 반송만을 행하므로, 세정되기 전의 물품을 반송함으로써 오염된 제2 반송 장치에 의해 세정한 후의 물품을 반송함으로써, 세정한 후의 물품이 오염된다는 것을 회피할 수 있다.
또한, 상기 물품이 인출된 후의 상기 용기를 세정하는 제2 세정기에 대응하는 위치에 설치되어 상기 제2 세정기에 의해 세정되기 전의 상기 용기를 지지하는 제3 세정용 포트와, 상기 제2 세정기에 대응하는 위치에 설치되어 상기 제2 세정기에 의해 세정된 후의 상기 용기를 지지하는 제4 세정용 포트를 더 구비하고, 상기 제4 세정용 포트는, 상기 제3 세정용 포트와는 별개로 설치되거나, 또는 상기 제3 세정용 포트와 공용되고, 상기 제2 반송 장치는, 상기 물품이 인출된 후의 상기 용기의 상기 제1 세정용 포트로부터 상기 제2 반송처로서의 상기 제3 세정용 포트로의 반송, 및 상기 용기의 상기 제4 세정용 포트로부터 제3 반송처로의 반송을 행하는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하면, 제2 반송 장치에 의해, 제1 세정용 포트로부터 제3 세정용 포트로 반송되어 제2 세정기에 의해 세정된 용기는, 제2 반송 장치에 의해, 제4 세정용 포트로부터 제3 반송처로 반송된다. 이와 같이, 제2 세정기에 의해 용기를 세정할 수 있는 동시에, 상기 용기를, 제2 반송 장치에 의해 제4 세정용 포트로부터 제3 반송처로 반송함으로써, 반송 장치를 별개로 구비하는 경우와 비교하여, 물품 반송 설비의 구성의 간소화를 도모할 수 있다.
여기서, 상기 제1 세정기와 상기 제2 세정기가 배열되는 방향을 배열 방향으로 하고, 상기 배열 방향에서의 상기 제2 세정기에 대하여 상기 제1 세정기가 존재하는 방향을 제1 방향, 그 반대 방향을 제2 방향으로 하여, 상기 제1 반송 장치 및 상기 제2 반송 장치 각각은, 상기 배열 방향으로 이동 가능하게 구성되며, 상기 제1 반송 장치는, 상기 제2 반송 장치에 대하여 상기 제1 방향 측에 있고, 상기 제1 반송 장치의 이동 경로와 상기 제2 반송 장치의 이동 경로가, 상기 배열 방향으로 중첩되는 부분을 가지면 바람직하다.
이 구성에 의하면, 제1 반송 장치의 이동 경로와 제2 반송 장치의 이동 경로에서 배열 방향으로 중첩되는 부분에 반송처를 설치함으로써, 제1 반송 장치와 제2 반송 장치에서 같은 반송처로 물품이나 용기를 반송할 수 있다. 그러므로, 예를 들면, 제2 반송 장치에 의해 세정한 후의 용기를 반송처로 반송하고, 세정한 후의 물품을, 반송처에 위치하는 용기에 수용하도록 반송처로 반송할 수도 있다. 이와 같이, 사용 편리성이 우수한 물품 반송 설비를 제공할 수 있다.
또한, 상기 물품을 보관하기 위한 제1 보관부와, 상기 용기를 보관하기 위한 제2 보관부를 더 구비하고, 상기 제1 반송 장치는, 상기 물품의 상기 제2 세정용 포트로부터 상기 제1 반송처로서의 상기 제1 보관부로의 반송도 행하고, 상기 제2 반송 장치는, 상기 용기의 상기 제4 세정용 포트로부터 상기 제3 반송처로서의 상기 제2 보관부로의 반송도 행하는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하면, 세정 후의 물품을 제1 보관부에 보관할 수 있고, 세정 후의 용기를 제2 보관부에 보관할 수 있다. 그리고, 세정 후의 물품을 세정 후의 용기에 수용하는 경우로서, 물품의 세정이 완료되는 타이밍과 용기의 세정이 완료되는 타이밍이 어긋난 경우 등에, 제1 보관부나 제2 보관부를, 물품이나 용기를 일시적으로 보관하는 버퍼로서 이용할 수 있다.
또한, 상기 제2 세정기에 대하여 상기 제1 세정기가 존재하는 방향을 제1 방향, 그 반대 방향을 제2 방향으로 하여, 상기 제1 세정용 포트와 상기 제2 세정용 포트와 상기 제3 세정용 포트와 상기 제4 세정용 포트와 상기 반입용 포트 중, 상기 제2 세정용 포트가 가장 상기 제1 방향 측에 설치되는 동시에 상기 제4 세정용 포트가 가장 상기 제2 방향 측에 설치되고, 상기 제2 세정용 포트보다 상기 제1 방향으로는, 상기 제1 보관부와 상기 제2 보관부 중 상기 제1 보관부만이 설치되고, 상기 제4 세정용 포트보다 상기 제2 방향으로는, 상기 제1 보관부와 상기 제2 보관부 중 상기 제2 보관부만이 설치되어 있는 것이 바람직하다.
이 구성에 의하면, 배열 방향에 있어서, 제1 보관부와 제2 보관부와의 사이에 제1 세정용 포트와 제2 세정용 포트와 제3 세정용 포트와 제4 세정용 포트와 반입용 포트를 설치함으로써, 이들 포트를 집약하여 설치할 수 있다. 그러므로, 포트로부터 다른 포트로 물품이나 용기를 반송할 때, 물품이나 용기를 효율적으로 반송할 수 있다. 또한, 가장 제1 방향 측에 설치된 제2 세정용 포트보다 제1 방향으로는, 물품을 보관하기 위한 제1 보관부만이 설치되어 있으므로, 용기를 반송하기 위한 제2 반송 장치를 제2 세정용 포트로부터 제1 방향으로 이동하지 않도록 하여, 제2 반송 장치의 이동 경로를 짧게 할 수 있다. 또한, 가장 제2 방향 측에 설치된 제4 세정용 포트보다 제2 방향으로는, 용기를 보관하기 위한 제1 보관부만이 설치되어있으므로, 물품을 반송하기 위한 제1 반송 장치를 제4 세정용 포트보다 제2 방향으로 이동하지 않도록 하여, 제1 반송 장치의 이동 경로를 짧게 할 수 있다. 이와 같이, 제1 반송 장치 및 제2 반송 장치의 이동 경로를 짧게 할 수 있으므로, 제1 반송 장치에 의한 물품의 반송이나 제2 반송 장치에 의한 용기의 반송을 효율적으로 행할 수 있다.
또한, 상기 물품을 수용한 상기 용기를 반출하기 위한 반출용 포트를 더 구비하고, 상기 제2 반송 장치는, 상기 제2 세정기에 의해 세정되고, 또한 상기 물품을 수용하고 있지 않은 상기 용기를 상기 반출용 포트로 반송하고, 상기 제1 반송 장치는, 상기 제1 세정기에 의해 세정된 상기 물품을 상기 반출용 포트에 위치하는 상기 용기에 수용시키도록 상기 물품을 상기 반출용 포트로 반송하면 바람직하다.
이 구성에 의하면, 제2 반송 장치에 의해, 물품을 수용하고 있지 않은 용기를 반출용 포트로 반송하여 두고, 그 용기에 물품을 수용시키도록, 제1 반송 장치에 의해, 세정된 후의 물품을 반출용 포트로 반송한다. 이와 같이, 반출용 포트를 이용하여 용기에 물품을 수용함으로써, 예를 들면, 반출용 포트 이외의 장소에서, 세정한 후의 물품을 용기에 수용한 경우와 같이, 물품을 수용한 용기를 반출용 포트로 반송한다는 반송 처리가 불필요하므로, 용기를 효율적으로 반출할 수 있다.
[산업 상의 이용 가능성]
본 개시에 관한 기술은, 세정기에 대응하는 위치에 설치된 포트에 물품이나 용기를 반송하는 물품 반송 설비에 이용할 수 있다.
1: 판형체(물품)
2: 용기
5: 제1 스태커 크레인(제1 반송 장치)
6: 제2 스태커 크레인(제2 반송 장치)
7: 반입용 포트
8: 반출용 포트
11: 제1 세정용 포트
12: 제2 세정용 포트
13: 제3 세정용 포트
14: 제4 세정용 포트
27: 제1 보관부
28: 제2 보관부
CL1: 제1 세정기
CL2: 제2 세정기
M1: 이동 경로
M2: 이동 경로
Y: 배열 방향
Y1: 제1 방향
Y2: 제2 방향

Claims (6)

  1. 물품을 수용한 용기가 반입(搬入)되는 반입용 포트;
    상기 물품을 세정하는 제1 세정기에 대응하는 위치에 설치되고, 상기 제1 세정기에 의해 세정되기 전의 상기 물품을 수용한 상기 용기를 지지하는 제1 세정용 포트;
    상기 제1 세정기에 대응하는 위치에 설치되고, 상기 용기로부터 인출되어 상기 제1 세정기에 의해 세정된 후의 상기 물품을 지지하는 제2 세정용 포트;
    상기 물품을 반송(transport)하는 제1 반송 장치; 및
    상기 용기를 반송하는 제2 반송 장치;
    를 포함하고,
    상기 제2 세정용 포트는, 상기 제1 세정용 포트와는 별개로 설치되고,
    상기 제2 반송 장치는, 상기 용기의 상기 반입용 포트로부터 상기 제1 세정용 포트로의 반송, 상기 물품이 인출된 후의 상기 용기의 상기 제1 세정용 포트로부터 제2 반송처(搬送處)에 대한 반송을 행하고,
    상기 제1 반송 장치는, 상기 물품의 상기 제2 세정용 포트로부터 제1 반송처로의 반송을 행하는,
    물품 반송 설비.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 물품이 인출된 후의 상기 용기를 세정하는 제2 세정기에 대응하는 위치에 설치되고, 상기 제2 세정기에 의해 세정되기 전의 상기 용기를 지지하는 제3 세정용 포트; 및
    상기 제2 세정기에 대응하는 위치에 설치되고, 상기 제2 세정기에 의해 세정된 후의 상기 용기를 지지하는 제4 세정용 포트;를 더 포함하고,
    상기 제4 세정용 포트는, 상기 제3 세정용 포트와는 별개로 설치되거나, 또는 상기 제3 세정용 포트와 공용되고,
    상기 제2 반송 장치는, 상기 물품이 인출된 후의 상기 용기의 상기 제1 세정용 포트로부터 상기 제2 반송처로서의 상기 제3 세정용 포트로의 반송, 및 상기 용기의 상기 제4 세정용 포트로부터 제3 반송처로의 반송을 행하는, 물품 반송 설비.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 제1 세정기와 상기 제2 세정기가 배열되는 방향을 배열 방향으로 하고, 상기 배열 방향에 있어서의 상기 제2 세정기에 대하여 상기 제1 세정기가 존재하는 방향을 제1 방향, 그 반대 방향을 제2 방향으로 하여,
    상기 제1 반송 장치 및 상기 제2 반송 장치 각각은, 상기 배열 방향으로 이동 가능하게 구성되며,
    상기 제1 반송 장치는, 상기 제2 반송 장치에 대하여 상기 제1 방향 측에 있고,
    상기 제1 반송 장치의 이동 경로와 상기 제2 반송 장치의 이동 경로가, 상기 배열 방향으로 중첩되는 부분을 가지는, 물품 반송 설비.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 물품을 보관하기 위한 제1 보관부; 및
    상기 용기를 보관하기 위한 제2 보관부;를 더 포함하고,
    상기 제1 반송 장치는, 상기 물품의 상기 제2 세정용 포트로부터 상기 제1 반송처로서의 상기 제1 보관부로의 반송도 행하고,
    상기 제2 반송 장치는, 상기 용기의 상기 제4 세정용 포트로부터 상기 제3 반송처로서의 상기 제2 보관부로의 반송도 행하는, 물품 반송 설비.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 제2 세정기에 대하여 상기 제1 세정기가 존재하는 방향을 제1 방향, 그 반대 방향을 제2 방향으로 하여,
    상기 제1 세정용 포트와 상기 제2 세정용 포트와 상기 제3 세정용 포트와 상기 제4 세정용 포트와 상기 반입용 포트 중, 상기 제2 세정용 포트가 가장 상기 제1 방향 측에 설치되는 동시에 상기 제4 세정용 포트가 가장 상기 제2 방향 측에 설치되고,
    상기 제2 세정용 포트보다 상기 제1 방향으로는, 상기 제1 보관부와 상기 제2 보관부 중 상기 제1 보관부만이 설치되고,
    상기 제4 세정용 포트보다 상기 제2 방향으로는, 상기 제1 보관부와 상기 제2 보관부 중 상기 제2 보관부만이 설치되어 있는, 물품 반송 설비.
  6. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 물품을 수용한 상기 용기를 반출(搬出)하기 위한 반출용 포트를 더 포함하고,
    상기 제2 반송 장치는, 상기 물품을 수용하고 있지 않은 상기 용기를 상기 반출용 포트로 반송하고,
    상기 제1 반송 장치는, 상기 제1 세정기에 의해 세정된 상기 물품을 상기 반출용 포트에 위치하는 상기 용기에 수용시키도록 상기 물품을 상기 반출용 포트로 반송하는, 물품 반송 설비.
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