JP2542911Y2 - クリーンルーム天井内作業設備 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本考案は、清浄空気を室内に供給
する複数のファンフィルタユニットを、天井面に格子状
に施設したユニット支持ビームに支持して天井面に並設
するクリーンルームの天井内作業設備に関する。

【０００２】

【従来の技術】上記の如きクリーンルームでは、天井面
に並設したファンフィルタユニットのメンテナンスの
際、クリーンルームを汚染してしまうことを極力回避す
るため、メンテナンスに伴うファンフィルタユニットや
ユニット部品の取り外し取り付け、並びに、それらの運
搬を作業者が天井内に入って天井内で行う場合がある
が、従来、この天井内での運搬は、運搬品であるファン
フィルタユニットやユニット部品を作業者自身がその手
で抱えて行っていた。

【０００３】

【考案が解決しようとする課題】しかし、作業者がファ
ンフィルタユニットやユニット部品を手に抱えて天井内
運搬するのは、困難な作業で労力を要し、また、作業能
率が悪い問題があり、特に、天井内は作業者が歩行する
のに充分な高さが確保されていない場合が多く、また、
一般にクリーンルームでは室内清浄度維持のために多数
台のファンフィルタユニットが天井面に並設されて、メ
ンテナンス対象となるファンフィルタユニットの台数も
多くなることから、この問題が顕著となっていた。

【０００４】一方、ファンフィルタユニットの天井配備
については、実開平１−１７８５３４号公報に見られる
ように、ファンフィルタユニット自体を走行移動自在に
して天井部に配備する方式があることから、上記問題の
解決にあたり、この方式を用い、クリーンルームの天井
面に並設する複数のファンフィルタユニットの個々を走
行移動自在にし、これにより、メンテナンス対象のファ
ンフィルタユニットをそれ自身の走行移動で、天井の所
定配備箇所と室外の所定持ち出し箇所とにわたらせて移
動させるといったことも考えられる。

【０００５】しかしながら、この場合、複数のファンフ
ィルタユニットの各々に走行移動のための付加構造が必
要となる点で、また、並設した複数のファンフィルタユ
ニットの中から、任意のメンテナンス対象ファンフィル
タユニットのみを、他の移動不要のファンフィルタユニ
ットを避けて走行移動させるための構造が複雑になる点
で、全体としての改良が大掛かりでコストの掛かるもの
になる問題がある。

【０００６】以上の実情に鑑み、本考案の主たる課題
は、複数のファンフィルタユニットの支持の為に天井面
に格子状に施設されるユニット支持ビームを利用して、
メンテナンスに伴うファンフィルタユニットやそのユニ
ット部品の天井内運搬を容易に能率良く行えるように、
また、その改良そのものを簡単かつ安価に行えるように
する点にある。

【０００７】

【課題を解決するための手段】請求項１に係る考案の特
徴は、清浄空気を室内に供給する複数のファンフィルタ
ユニットを、天井面に格子状に施設したユニット支持ビ
ームに支持して天井面に並設するクリーンルームにおい
て、前記ユニット支持ビームから取り外した状態の前記
ファンフィルタユニット、又は、前記ユニット支持ビー
ムに支持した前記ファンフィルタユニットから取り外し
た状態のユニット部品を天井内で運搬する台車を天井内
に配備し、前記ユニット支持ビームを、天井内走行させ
る前記台車の支持体に兼用した状態で、前記台車を天井
内走行させる構成としてある点にある。

【０００８】請求項２に係る考案の特徴は、前記台車の
走行レールを、前記ユニット支持ビームのうち前記台車
の走行経路に対応位置するユニット支持ビームに取り付
けてある点にある。

【０００９】請求項３に係る考案の特徴は、前記ユニッ
ト支持ビームを走行レールとして、前記台車を天井内走
行させる構成としてある点にある。

【００１０】請求項４に係る考案の特徴は、前記台車
に、運搬品昇降用のホイストを装備してある点にある。

【００１１】請求項５に係る考案の特徴は、前記ホイス
トを水平方向に移動操作自在にして前記台車に装備して
ある点にある。

【００１２】請求項６に係る考案の特徴は、前記台車
に、塵埃を吸引除去する掃除機を装備してある点にあ
る。

【００１３】請求項７に係る考案の特徴は、前記台車
を、走行用駆動部を備えて自走する駆動台車と、この駆
動台車に対し着脱操作自在に連結する運搬品搭載用の荷
役台車とで構成してある点にある。

【００１４】

【作用】請求項１に係る考案では、天井面に複数のファ
ンフィルタユニットを並設したクリーンルームの天井内
に台車を配備し、ファンフィルタユニットの支持のため
に天井面に格子状に施設してあるユニット支持ビーム
を、天井内走行させる台車の支持体に兼用した状態で、
この台車を天井内走行させるようにし、これにより、メ
ンテナンスのためにユニット支持ビームから取り外した
状態のファンフィルタユニットや、ユニット支持ビーム
に支持したファンフィルタユニットからメンテナンスの
ために取り外した状態のユニット部品を、この台車に搭
載した状態で台車走行により天井内運搬する。

【００１５】請求項２に係る考案では、ファンフィルタ
ユニットやユニット部品を台車走行で天井内運搬するの
に、ユニット支持ビームへの取り付け走行レールを介し
て台車をユニット支持ビームに支持させた状態で、この
台車を、その走行レールに沿わせて天井内走行させる。

【００１６】請求項３に係る考案では、ファンフィルタ
ユニットやユニット部品を台車走行で天井内運搬するの
に、ユニット支持フレームを台車の走行レールに兼用し
て、台車をユニット支持ビームに直接に支持させた状態
で、格子状に施設のユニット支持ビームに沿わせて台車
を天井内走行させる。

【００１７】請求項４に係る考案では、台車に装備の運
搬品昇降用ホイストを用いて、運搬品であるファンフィ
ルタユニットやユニット部品の台車への積み込みや台車
からの荷降ろすを行う。

【００１８】請求項５に係る考案では、運搬品であるフ
ァンフィルタユニットやユニット部品の積み込みや荷降
ろしの際、台車は一定位置に位置させながらも、台車に
装備した運搬品昇降用ホイストを、その水平方向への移
動操作をもって積み込み対象品の位置や予定荷降ろし位
置に適切に位置合わせできるようにする。

【００１９】請求項６に係る考案では、ファンフィルタ
ユニットやユニット部品の台車への積み込みや台車から
の荷降ろしの際などに、天井内での堆積塵埃やフィルタ
の捕集塵埃が舞い上がることに対し、この舞い上がり塵
埃を台車に装備の掃除機をもって吸引除去する。

【００２０】請求項７に係る考案では、一つの荷役台車
に対する積み込みや荷降ろしの間、この荷役台車と駆動
台車との連結を解除して、他の荷役台車を駆動台車に連
結して天井内走行させるといった形態を採れるようにす
る。

【００２１】

【考案の効果】請求項１に係る考案によれば、メンテナ
ンスのためにユニット支持ビームから取り外した状態の
ファンフィルタユニットや、ユニット支持ビームに支持
したファンフィルタユニットからメンテナンスのために
取り外した状態のユニット部品を、台車に搭載した状態
で台車走行により天井内運搬するから、これらファンフ
ィルタユニットやユニット部品の天井内運搬を容易かつ
能率良く行うことができ、ひいては、天井面に並設の複
数のファンフィルタユニットに対するメンテナンス作業
の負担を大きく軽減できる。

【００２２】しかも、個々のファンフィルタユニット自
体を走行移動自在にする場合のような構造の複雑化を伴
わず、また、ファンフィルタユニットの支持の為に天井
面に格子状に施設されるユニット支持ビームを走行台車
の支持体に兼用利用するから、改良そのものを簡単かつ
安価に行うことができる。

【００２３】請求項２に係る考案によれば、ユニット支
持ビームに取り付ける走行レールの施設経路を選定する
ことで、台車の天井内走行経路を適当に選定することが
できる。

【００２４】また、この走行レールを天井内からその外
部にまで延出させて施設することにより、室外側での台
車への積み込みや台車からの荷降ろしも容易にすること
ができる。

【００２５】請求項３に係る考案によれば、ファンフィ
ルタユニットを支持するために施設されるユニット支持
ビームを、走行台車の支持体としてのみならず、台車の
走行レールにも兼用して、専用走行レールの施設を不要
にすることから、改良を一層簡単かつ安価に行うことが
できる。

【００２６】請求項４に係る考案によれば、台車への積
み込みや台車からの荷降ろしを台車に装備のホイストを
用いて簡便に行えることから、天井内運搬作業を一層容
易かつ能率良く行うことができる。

【００２７】請求項５に係る考案によれば、台車は一定
位置に位置させながらも、台車に装備のホイストの水平
方向への移動操作をもって、その運搬品昇降用ホイスト
を積み込み対象品の位置や予定荷降ろし位置に適切かつ
簡便に位置合わせできることから、ファンフィルタユニ
ットやユニット部品の台車への積み込みや台車からの荷
降ろしを一層容易かつ能率良く行うことができる。

【００２８】請求項６に係る考案によれば、舞い上がり
塵埃を台車に装備の掃除機で吸引除去できることによ
り、天井内作業を良好な作業環境で行えるようになる。

【００２９】請求項７に係る考案によれば、一つの荷役
台車に対する積み込みや荷降ろしの間、この荷役台車と
駆動台車との連結を解除して、他の荷役台車を駆動台車
に連結して天井内走行させるといった形態を採ること
で、駆動台車の配備台数は少なくして設備コストを安価
にしながらも、高い天井内運搬効率を確保することがで
きる。

【００３０】

【実施例】クリーンルームは、図１、図４に示すよう
に、給気チャンバとしての天井内２（すなわち、天井裏
空間）に供給される空気を浄化して対象室１の室内へ下
向きに供給する複数のファンフィルタユニット３を、天
井面に格子状に施設のユニット支持ビーム４により支持
して、複数行、複数列の整然とした配列で対象室１の天
井面の全面に並設するとともに、対象室１の床を、その
床面の全面から室内空気を床下チャンバ５へ排出する通
気床６で形成し、そして、床下チャンバ５への排出空気
を給気チャンバとしての天井内２へ還流する還流路７を
設けて構成してあり、かつ、天井内作業設備を設けてあ
る。

【００３１】ファンフィルタユニット３は、図１〜図３
に示すように、下部のフィルタ部３Ａと、その上部に着
脱自在に搭載したファンモータ部３Ｂとからなり、上部
には吊りフック引っ掛け用の吊り環３ａを付設してあ
る。３ｂはファンモータ部３Ｂに装備のファンである。

【００３２】ユニット支持ビーム４は、金属（アルミニ
ウムや鉄など）製であり、上部の建物躯体８から索９に
より吊り支持され、格子構造における枡目の一つ一つに
ファンフィルタユニット３を配置して、これを支持する
構成となっている。

【００３３】天井内作業設備は、図１に示すように、天
井内２を他から区画する隔壁１０に、その天井内２に出
入りするための扉１１ａ付き出入口１１を形成し、この
出入口１１を通して天井内２へ外部から入り込む一対の
走行レール１２を、ユニット支持ビーム４のうち天井内
２のほぼ中央に位置する一対のものに取り付け装備し、
この一対の走行レール１２に案内させて天井内２で走行
移動させるとともに天井内２に出入りさせる台車１３を
設けて構成してある。そして、台車１３は、図１、図３
に示すように、荷役台車１３Ａと、この荷役台車１３Ａ
をピン式のヒッＪにより着脱自在に連結する駆動台車１
３Ｂとで構成してある。

【００３４】荷役台車１３Ａは、図２にも示すように、
ファンフィルタユニット３を載置可能な大きさのもの
で、吊りフック１５ａを備えた運搬品昇降用のホイスト
１５を台車走行方向とは直交する水平方向に移動操作自
在に支持するクレーンレール１６、及び、ホイスト１５
による物品昇降を許容する起立姿勢と物品を載置する荷
台姿勢とに切り替え自在な荷受け板１７を、走行レール
１２上を移動するための車輪１４ａを備えた車体フレー
ム１４に取り付けて構成してある。そして、クレーンレ
ール１６は、荷役台車１３Ａの真下のファンフィルタユ
ニット３の左右両側に位置するファンフィルタユニット
３の上方箇所までホイスト１５を移動させ得る長さにし
てある。

【００３５】駆動台車１３Ｂは、バッテリー及びそれを
電源とするモータを備えた走行用駆動部１８の上部に、
荷役台車１３Ａの荷受け板１７上及びその周囲の塵埃を
吸引除去する掃除機１９を搭載して構成してあり、照明
灯２０及び警告灯２１を装備してある。また、掃除機１
９は、吸引ファン１９Ａと吸引ダクト１９Ｂと排気フィ
ルタ１９Ｃとで構成してある。

【００３６】台車１３は、一列上に位置するファンフィ
ルタユニット３を跨いだ状態で天井内２を走行し、ユニ
ット支持ビーム４から取り外した状態のファンフィルタ
ユニット３や、ユニット支持ビーム４に支持したファン
フィルタユニット３から取り外したファンモータ部３Ｂ
を、この走行台車１３により運搬する。

【００３７】台車１３を用いてファンフィルタユニット
３を運搬する要領の一例を説明すると、台車１３が跨ぐ
列に位置するファンフィルタユニット３の搬出について
は、駆動台車１３Ｂで荷役台車１３Ａを牽引又は後ろ押
しして、搬出すべきファンフィルタユニット３の上に位
置させ、その状態で、ホイスト１５を用いてファンフィ
ルタユニット３を吊り上げたのち、荷受け板１７を荷台
姿勢に切り替えて、その荷受け板１７上にファンフィル
タユニット３を載置する。そして、この載置状態で台車
１３を走行させて出入口１１から取り出す。

【００３８】一方、台車１３が跨ぐ列の隣のファンフィ
ルタユニット３の搬出については、駆動台車１３Ｂで荷
役台車１３Ａを牽引又は後ろ押しして、搬出すべきファ
ンフィルタユニット３の横に位置させ、その状態で、ホ
イスト１５を用いてファンフィルタユニット３を吊り上
げたのち、荷台姿勢の荷受け板１７上にファンフィルタ
ユニット３を載置する。そして、この載置状態で台車１
３を走行させて出入口１１から取り出す。

【００３９】また、上記列以外に位置するファンフィル
タユニット３の搬出については、搬出すべきファンフィ
ルタユニット３になるべく近い位置に台車１３を走行移
動させ、そして、この台車１３まで人手でファンフィル
タユニット３を運搬したのち、このファンフィルタユニ
ット３を台車１３に載せて搬出することができる。な
お、各設置位置への搬入は、上記の手順とは逆の手順で
行うことができる。また、ファンフィルタユニット３の
全体ではなくファンモータ部３Ｂのみの搬出、搬入も同
様にして行うことができる。

【００４０】〔別実施例〕 前記実施例では、台車１３を荷役台車１３Ａと駆動台車
１３Ｂとから構成することにより、駆動台車１３Ｂを一
台としながらも、荷役台車１３Ａを複数として、運搬を
効率良く行えるようにしたが、台車１３は荷台を備えた
駆動台車であってもよい。

【００４１】前記実施例では、走行レール１２をユニッ
ト支持ビーム４に取り付けて台車１３を走行させるよう
にしたが、ユニット支持ビーム４自体を走行レールとし
て台車１３を走行させるようにしてもよい。

【００４２】前記実施例では、台車１３の走行経路を一
経路にしたが、台車１３の走行経路は、ファンフィルタ
ユニット３の列の夫々に対して一経路づつ設けるように
してもよい。

【００４３】前記実施例では、台車１３として、走行用
駆動部を備える自走式のものを示したが、台車１３は人
力で走行移動させるものであってもよい。

【００４４】尚、実用新案登録請求の範囲の項に図面と
の対照を便利にするため符号を記すが、該記入により本
考案は添付図面の構成に限定されるものではない。

【図面の簡単な説明】

【図１】天井内要部の平面図

【図２】台車の正面図

【図３】台車の側面図

【図４】クリーンルームの全体縦断正面図

【符号の説明】

２ 天井内 ３ ファンフィルタユニット ４ ユニット支持ビーム １３ 台車 １２ 走行レール １５ ホイスト １９ 掃除機 １８ 走行用駆動部 １３Ｂ 駆動台車 １３Ａ 荷役台車

Claims (7)

(57)【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 清浄空気を室内に供給する複数のファン
   フィルタユニット（３）を、天井面に格子状に施設した
   ユニット支持ビーム（４）に支持して天井面に並設する
   クリーンルームにおいて、 前記ユニット支持ビーム（４）から取り外した状態の前
   記ファンフィルタユニット（３）、又は、前記ユニット
   支持ビーム（４）に支持した前記ファンフィルタユニッ
   ト（３）から取り外した状態のユニット部品を天井内
   （２）で運搬する台車（１３）を天井内（２）に配備
   し、 前記ユニット支持ビーム（４）を、天井内走行させる前
   記台車（１３）の支持体に兼用した状態で、前記台車
   （１３）を天井内走行させる構成としてある クリーンル
   ーム天井内作業設備。
2. 【請求項２】 前記台車（１３）の走行レール（１２）
   を、前記ユニット支持ビーム（４）のうち前記台車
   （３）の走行経路に対応位置するユニット支持ビーム
   （４）に取り付けてある請求項１記載のクリーンルーム
   天井内作業設備。
3. 【請求項３】 前記ユニット支持ビーム（４）を走行レ
   ールとして、前記台車（１３）を天井内走行させる構成
   としてある請求項１記載のクリーンルーム天井内作業設
   備。
4. 【請求項４】 前記台車（１３）に、運搬品昇降用のホ
   イスト（１５）を装備してある請求項１〜３のいずれか
   １項に記載のクリーンルーム天井内作業設備。
5. 【請求項５】 前記ホイスト（１５）を水平方向に移動
   操作自在にして前記台車（１３）に装備してある請求項
   ４記載のクリーンルーム天井内作業設備。
6. 【請求項６】 前記台車（１３）に、塵埃を吸引除去す
   る掃除機（１９）を装備してある請求項１〜５のいずれ
   か１項に記載のクリーンルーム天井内作業設備。
7. 【請求項７】 前記台車（１３）を、走行用駆動部（１
   ８）を備えて自走する駆動台車（１３Ｂ）と、この駆動
   台車（１３Ｂ）に対し着脱操作自在に連結す る運搬品搭
   載用の荷役台車（１３Ａ）とで構成してある請求項１〜
   ６のいずれか１項に記載のクリーンルーム天井内作業設
   備。