JP3651246B2 - ファンフィルタユニットの搬送装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明はファンフィルタユニットの搬送装置に係り、特にクリーンルームの天井フレームにファンフィルタユニットを効率的に据え付けるファンフィルタユニットの搬送装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体製造工場等のクリーンルームの天井部には、格子状をした天井フレームが設けられ、この天井フレームの複数の開口部に、クリーンルーム内に清浄エアを供給するためのファンフィルタユニットが据え付けられる。天井フレームは、断面が凸状の支持フレームを、建屋の天井梁に吊りボルトによって垂設しながら格子状に組み付けることにより構築される。この天井フレームにファンフィルタユニットを据え付ける場合には、まず、天井フレーム下方のグレーティング床上で作業する作業者がグレーティング床に設置した揚重機等でファンフィルタユニットを天井近くまで揚重する。次に、天井フレーム上に待機している作業者が揚重したファンフィルタユニットを斜めにした状態で、前記支持フレームにその周縁部が当たらないように格子状の据付空間に挿入する。挿入したファンフィルタユニットを水平状態に戻した後、ファンフィルタユニットを降ろしてファンフィルタユニットの下部周縁部を支持フレームの水平平坦部に載置する。この据え付け作業を繰り返すことにより天井フレームの所定の開口部にファンフィルタユニットを順次据え付けていく。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来のファンフィルタユニットの据付工法は、据え付けるファンフィルタユニットごとに据え付ける開口部の真下に揚重機を移動してファンフィルタユニットを揚重しなくてはならないので、作業効率が悪いと共に揚重機の移動によりグレーティング床が傷むという問題がある。
【0004】
また、従来の据付工法は、グレーティング床と天井フレームの両方に多数の作業者を必要とするという欠点がある。本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、天井フレームにファンフィルタユニットを効率良く少数の作業者で据え付けることができるファンフィルタユニットの搬送装置を提供することを目的とする。
【0005】
【課題を解決する為の手段】
本発明は前記目的を達成する為に、クリーンルームの天井部に設けられた天井フレームをレールとして利用し、該レール上に走行させて前記天井フレームの所定の据付位置に前記ファンフィルタユニットを搬送するファンフィルタユニットの搬送装置であって、前記搬送装置は、自動走行する駆動台車と、前記駆動台車に所望の台数だけ直列に連結されて走行し、前記ファンフィルタユニットを着脱自在に保持する保持手段を有すると共に、前記天井フレームに据え付け済のファンフィルタユニットがある場合でも通過可能な門型状の搬送台車と、前記駆動台車が前記搬送装置の走行路から退避する退避機構と、から成り、前記駆動台車の駆動機構は、該駆動台車の側面と前記天井フレームの鉛直面との間に設けられ、前記退避機構は、前記駆動台車と前記搬送台車との連結部に設けたピンを中心として前記駆動台車を回動し、前記搬送台車の上に退避することを特徴とする。
【0006】
本発明によれば、駆動台車にファンフィルタユニットを保持する搬送台車を所望の台数だけ連結できるように搬送装置を構成して一度に複数のファンフィルタユニットを据付位置に搬送できるようにした。また、搬送台車を門型状にして天井フレームに据え付け済のファンフィルタユニットがあっても通過できるようにすると共に、搬送装置が据付位置から元の位置に戻る時に、退避機構により駆動台車を搬送装置の走行路から搬送台車に退避させて据え付け済のファンフィルタユニットを通過できるようにした。
【0007】
【発明の実施の形態】
以下添付図面に従って本発明に係るファンフィルタユニットの搬送装置の好ましい実施の形態について詳説する。図1は、ファンフィルタユニット12が据え付けられたクリーンルーム10の室内を示す説明図であり、図2は、ファンフィルタユニット12を天井部に据え付けるための天井フレーム14の一部上面図である。
【0008】
これらの図に示すように、クリーンルーム10の天井部に設置された天井フレーム14は、複数の縦梁16、16…と複数の横梁18、18…を格子状に直交させて構成され、吊りボルト22によってクリーンルーム建屋の天井梁に垂設される。縦梁16及び横梁18は、断面が略凸状に形成され(図4参照)、水平平坦部16A及び18Aにファンフィルタユニット12の下部周辺部が載置されることによりファンフィルタユニット12を据え付けることができる。ここで、縦梁16にはファンフィルタユニット12の長手方向が載置され、横梁18には短手方向が載置される。また、縦梁16の上面には、長手方向に2本のレール溝56、56が長手方向に設けられている。
【0009】
ところで、前記ファンフィルタユニット12は、搬送装置によって前記天井フレーム14の据え付け位置まで搬送されて据え付けられる。搬送装置は、前記レール溝56、56に沿って自ら走行する駆動台車24と、その駆動台車24に牽引されると共にファンフィルタユニット12を保持して搬送する所望の台数の搬送台車40と、駆動台車24を走行路から搬送台車40に退避させる退避機構と、から構成される。搬送台車40の台数は、駆動台車24の牽引能力やクリーンルーム10の大きさ等により設定される。以下は、駆動台車24の後に搬送台車40が4台連結された例で説明する。
【0010】
図3は、駆動台車24の斜視図であり、図4は、図3の一部断面図である。また、図5は駆動台車24の側面図であり、図5中、点線は駆動台車24の退避位置を示している。図3に示すように、駆動台車24は主として、台車本体26、駆動機構及び制御装置で構成される。台車本体26は、縦梁16のレール溝56に載置されるガイド車輪50が両側面に設けられ、レール溝56に沿って走行自在に構成される。即ち、ガイド車輪50は、図4に示すように、軸52に軸支されると共に、ストッパ板54によって軸からの脱落が防止され、レール溝56上を回転自在に構成される。
【0011】
また、台車本体26の両側面下部には、図5に示すように、駆動機構が設けられる。駆動機構は主として、駆動ローラー82、従属ローラー84及び無端状のベルト86で構成される。駆動ローラー82は、台車本体26上に設置された駆動源88に接続され、その駆動源88を駆動することにより鉛直軸90を中心として回転する。従属ローラー84は、台車本体26の側面に、駆動ローラー82と水平方向に設置され、鉛直軸92を中心として回転自在に支持される。また、無端状のベルト86は、駆動ローラー82と従属ローラー84とに係合されると共に、図4に示したように、縦梁16の鉛直面に当接するように設置される。これにより、駆動ローラー82を回転させると、駆動ローラー82と従属ローラー84に係合した無端状のベルト86が回転し、駆動台車24は走行する。
【0012】
また、駆動台車24には、制御装置が設けられ、前記駆動源88と信号ケーブルを介して接続される。制御装置は、外部のリモートコントローラーの信号を受信すると、駆動源88を制御して、駆動ローラー82を正回転、停止、逆回転させる。これにより、駆動台車24の前進、停止、後進をリモートコントローラーで操作することができる。また、この制御装置の受信部には、アドレスが設定され、複数の搬送装置を同時に操作する場合にも、混線しないように構成されている。また、制御装置には、過負荷防止機能が設けられ、駆動源88に係る負荷を測定すると共に、その負荷がしきい値を越えた場合には駆動源88を一定時間停止するように設定されている。例えば、4台の搬送台車40の全てにファンフィルタユニット12を保持しない場合には、4個のファンフィルタユニット12を保持した場合に比べて駆動源88にかかる負荷が小さくなるので、搬送装置の搬送速度は速くなる。搬送速度が速過ぎると、停止の際に天井フレーム14や駆動機構にかかる負荷が大きくなったり、停止位置で止まれずに駆動台車24が壁や据え付けたファンフィルタユニット12に衝突することが考えられる。そこで、駆動源88に係る負荷がしきい値を超えた場合には、駆動源88を一定時間停止させる。これにより、搬送装置の搬送速度を調整することができる。
【0013】
また、駆動台車24と後述する搬送台車40の連結部には、天井フレーム14に据え付け済のファンフィルタユニット12に衝突しない退避位置に退避する退避機構が設けられる。即ち、駆動台車24の台車本体26は、後述する搬送台車40の脚部42に連結部材94によって連結される。連結部材94は、脚部42に固設された連結部材94Aと、台車本体26に固設された連結部材94Bと、連結部材94Aと連結部材94Bを上端で軸支するピン96とで構成される。これにより、ピン96を中心として矢印98方向に回転させることにより、駆動台車24を図5中実線の走行位置から図5中点線の退避位置に移動することができる。退避位置は、搬送装置がレール溝56に沿って移動しても駆動台車26が据え付けたファンフィルタユニット12に衝突しない位置である。従って、駆動台車24の前方や後方に据え付けたファンフィルタユニット12があり駆動台車24が走行できない場合には、駆動台車24を退避位置に退避させて搬送台車40を走行させることにより、搬送装置を移動させることが可能になる。尚、退避機構は、上記の構造に限定するものではなく、退避位置を退避可能に設定されているならば何でもよい。例えば、駆動装置24を上下方向にスライド自在に支持してもよい。
【0014】
駆動台車24の後段には、同じ構造に形成された4台の搬送台車40が連結される。図6は、ファンフィルタユニット12が保持された搬送台車40の正面図、図7は図6の側面図、図8は搬送台車40の上面図である。尚、これらの図に示すファンフィルタユニット12は、略直方体状に形成されたユニット本体13と、その上面開口部に設けられたファン32と、ユニット本体13の下部に取り付けられたHEPAフィルタ34とから構成されている。
【0015】
これらの図に示すように、前記搬送台車40は4本の脚部42、42…と、これらの4本の脚部42、42…を上部で連結する本体フレーム44とで門型状に形成される。これにより、天井フレーム14に据え付け済のファンフィルタユニット12がある場合でも、通過できるようになっている。また、搬送台車40には、ファンフィルタユニット12を着脱自在に保持する保持機構46を備えている。
【0016】
また、前記脚部42、42…には、それぞれ車輪48が設けられる。車輪48は、縦梁16の上面に形成されたレール溝56上に載置され、したがって、搬送台車40は、縦梁16の長手方向に沿って走行自在となっている。前記本体フレーム44は、図8に示すように、前フレーム58と後フレーム60、及び前フレーム58と後フレーム60とを連結する4本の連結フレーム62、62…から構成される。
【0017】
ファンフィルタユニット12の保持機構46は、図6、図7に示すように、4つの係合コマ64、64、…と、これらの係合コマ64、64…を連動して駆動させるリンク機構とから構成される。前記係合コマ64、64…は、搬送台車40の4隅部に配置される。また、係合コマ64、64…は、搬送台車40の上部から垂設された駆動軸66の下部に設けられると共に、この駆動軸66を介して前記リンク機構に連結されている。リンク機構の駆動力で駆動軸66がその軸芯を中心に回動されると、前記係合コマ64が駆動軸66を中心に回動し、ファンフィルタユニット12に設けられたフック68に係合、又は係合解除される。また、係合コマ64は、ファンフィルタユニット12と係合する際、ファンフィルタユニット12に衝撃を与えないように、テーパ面が形成されている。
【0018】
図8において、前記駆動軸66の各々の上端部は、クランク70の一方端に固着され、クランク70の他方端には、リンク機構を構成するクランクバー72の一端72Aが軸支されている。このリンク機構は、クロススライダクランク連鎖の複合型であり、駆動側のクランクバー74の動作に連動して、従動側の前記クランクバー72が駆動されると、クランク70を介して駆動軸66が回動される。即ち、2本のクランクバー72、72の他端部72B、72Bは、三角形状に形成された連結板76の底角部に軸支され、連結板76の頂角部分にはクランクバー74の一端部74Aが軸支される。このクランクバー74の他端部74Bは、搬送台車40の上面中央部に配置されたハンドル76に軸支されて、ハンドル76は、支持板78に軸80を介してその長手方向中央部を中心に回転自在に設けられている。これにより、ハンドル76を図7中実線で示す位置から二点鎖線で示す位置までア方向に回動すると、クランク70が図中実線で示す位置から二点鎖線で示す位置に回動し、駆動軸66が係合コマ64の係合方向に回動する。この動作によって、係合コマ64がフック68に係合されて、ファンフィルタユニット12が搬送台車40に保持される。
【0019】
また、上記の如く構成された搬送台車40同士は、図示しない連結部材によって連結される。この連結は、どのように行ってもよいが、搬送台車40同士の間隔がファンフィルタユニット12の据付位置同士の間隔と等しくなるようにすると効率よくファンフィルタユニット12を据え付けることができる。次に、前記の如く構成された搬送装置を用いて、天井フレーム14にファンフィルタユニット12を据え付ける据付工法について説明する。
【0020】
まず、天井フレーム14の1ヶ所に、ファンフィルタユニット12のステーションを設置し、天井フレーム14の下方、例えばグレーチング床に固定した揚重機でファンフィルタユニット12をステーションに揚重する。次に、そのステーションの位置で、作業者は、4台の搬送台車40で4個のファンフィルタユニット12を保持する。この保持手順は、まず、ファンフィルタユニット12に搬送台車40を被せるように配置する。そして、搬送台車40を前後移動させて、係合コマ64の位置をフック68の位置に合わせる。そして、ハンドル76を係合方向に回動(図8参照)させて、4つの係合コマ64、64…を4つのフック68、68…に同時に係合させる。これにより、ファンフィルタユニット12は、係合コマ64のテーパ面によって上昇されて搬送台車40に保持される。このようにして、4台の搬送台車40全てにファンフィルタユニット12を保持する。
【0021】
次に、ファンフィルタユニット12を保持した搬送台車40を駆動台車24で牽引し、ファンフィルタユニット12を据え付ける所定の据付位置まで搬送する。即ち、リモートコントローラーにより駆動台車24の駆動源88を遠隔制御し、駆動ローラー82を正回転させて、駆動台車24を前進させる。このとき、駆動台車24の制御装置に過負荷防止機能が設けられているので、適切な速度で搬送される。搬送台車40に保持したファンフィルタユニット12が所定の据え付け位置の上方にきたときに、リモートコントローラーにより駆動台車24を制御して駆動ローラー82を停止し、駆動台車24の運転を停止する。尚、ファンフィルタユニット12の据付は、同じ縦梁14間に挟まれた据付位置において、遠い据付位置から順に行う。
【0022】
次に、搬送台車40のハンドル76を先とは逆方向に回動させることにより、搬送台車40からファンフィルタユニット12を降ろして、ファンフィルタユニット12をその据付位置に据え付ける。据え付けの際の衝撃は、ファンフィルタユニット12の下部周縁に取り付けられたダンパ36(図6、図7参照)によって吸収される。これにより、4台のファンフィルタユニット12が天井フレーム14に据え付けられる。
【0023】
次に、ファンフィルタユニット12を降ろした搬送装置を、前記ステーションに移動する。このとき、駆動台車24は、据え付けたファンフィルタユニット12が障害となって後進することができないので、図9に示すように、駆動台車24を退避機構により退避位置に退避させて人力で後進させる。これにより、据え付けたファンフィルタユニット12に駆動台車24が衝突すること無く、後進することができる。駆動台車24がファンフィルタユニット12の上方を通過した後、駆動台車24を元の走行位置に戻し、駆動台車24を後進させる。即ち、リモートコントローラーにより駆動源88を制御して、駆動ローラー82を逆回転させて、駆動台車24を前記ステーションまで後進させる。
【0024】
上記のように搬送装置が、ステーションと据付位置を往復する間に、4台のファンフィルタユニット12をステーションに載置する。これにより、ステーションに戻った搬送台車40にすぐにファンフィルタユニット12を保持することができ、効率よく複数のファンフィルタユニット12を天井フレーム14に据え付けることができると共に、省力化を図ることができる。更には、揚重機を一か所に固定設置して使用することができるので、従来のように揚重機を移動させる必要がないのでグレーチィング床が傷むことがない。
【0025】
以上の如く、本実施の形態では、ファンフィルタユニット12を天井フレーム14上で据え付けるので、効率良く短時間でファンフィルタユニット12を据え付けることができる。また、本実施の形態は、天井フレーム上で搬送台車40にファンフィルタユニット12を保持する作業者と、ファンフィルタユニット12を据付位置に据え付ける作業者の2人でファンフィルタユニット12を据え付けることができる。
【0026】
更に、本実施の形態では、天井フレーム14上のファンフィルタユニット12の搬送を駆動台車24により自動化したので、効率良くファンフィルタユニット12を据え付けることができる。また、搬送装置がステーションと据付位置を往復する間に、ファンフィルタユニット12をステーションに載置するので効率よくファンフィルタユニット12を据え付けることができる。
【0027】
尚、上述した実施の形態では、天井フレーム14に形成したレール56を溝状に形成したが、これに限られるものではなく、前記レール56を突状に形成し、車輪48を溝付きに形成しても良い。また、上述した実施の形態では、駆動台車24を搬送台車40の前段に設けたが、これに限定するものではなく、後段に設けてもよい。更に、搬送台車40の前段と後段の両方に駆動台車24を設けると共に、前記退避機構により走行位置と退避位置間の移動を自動化することにより、搬送装置の走行を全てリモートコントローラーで行うことができる。
【0028】
また、上述した実施の形態では、リモートコントローラーで制御装置を操作したが、これに限定するものではなく、制御装置に操作パネルを設けて操作してもよい。この場合、制御装置に予め走行距離を設定したり、前方の障害物をセンサーで感知して停止することにより、所定の位置までの走行を自動的に行う。
【0029】
また、駆動台車24を、据え付け済のファンフィルタユニット12に衝突しない形状に形成することができる場合には、退避機構を設置しなくてもよい。例えば、天井フレーム14の縦梁16の鉛直面と据え付け済のファンフィルタユニット12との隙間が大きい場合には、台車本体26を前記隙間を通過可能な門型状に形成し、駆動源88を台車本体26の上に設置するだけで、駆動台車24は据え付け済のファンフィルタユニット12を通過することができる。これにより、駆動台車24を退避させる手間が省けるだけでなく、天井フレーム14上部の天井裏空間が狭い場合にも適用することができる。
【0030】
【発明の効果】
以上説明したように本発明に係るファンフィルタユニットの搬送装置によれば、ファンフィルタユニットを保持した搬送台車を、駆動台車で牽引して天井フレーム形成されたレールに沿って走行させ、天井フレームの所定位置に据え付けるようにしたので、効率良く短時間で、且つ少数の作業者でファンフィルタユニットを据え付けることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施の形態のファンフィルタユニットの搬送装置でファンフィルタユニットが据え付けられたクリーンルームを示す説明図
【図2】天井フレームの1フレームの上面図
【図3】本実施の形態のファンフィルタユニットの搬送装置を構成する駆動台車の斜視図
【図4】図3の一部断面図
【図5】図3の駆動台車の退避機構の説明図
【図6】天井フレームを走行する搬送台車の正面図
【図7】図5に示した搬送台車の側面図
【図8】搬送台車に設けられたファンフィルタユニットの保持機構の上面図
【図9】駆動台車を退避させた搬送台車の作用説明図
【符号の説明】
10…クリーンルーム
12…ファンフィルタユニット
14…天井フレーム
24…駆動台車
40…搬送台車
56…レール溝
Claims (2)
- クリーンルームの天井部に設けられた天井フレームをレールとして利用し、該レール上に走行させて前記天井フレームの所定の据付位置に前記ファンフィルタユニットを搬送するファンフィルタユニットの搬送装置であって、
前記搬送装置は、
自動走行する駆動台車と、
前記駆動台車に所望の台数だけ直列に連結されて走行し、前記ファンフィルタユニットを着脱自在に保持する保持手段を有すると共に、前記天井フレームに据え付け済のファンフィルタユニットがある場合でも通過可能な門型状の搬送台車と、
前記駆動台車が前記搬送装置の走行路から退避する退避機構と、から成り、
前記駆動台車の駆動機構は、該駆動台車の側面と前記天井フレームの鉛直面との間に設けられ、
前記退避機構は、前記駆動台車と前記搬送台車との連結部に設けたピンを中心として前記駆動台車を回動させて前記搬送台車の上に退避させることを特徴とするファンフィルタユニットの搬送装置。 - 前記駆動台車の駆動機構は、
該駆動台車の側面に設置され、前記駆動台車に設置された駆動源を駆動させることにより鉛直軸を中心に回転する駆動ローラーと、
前記駆動台車の側面で且つ前記駆動ローラーの水平位置に設置され、鉛直軸を中心に回転自在な従属ローラーと、
前記駆動ローラーと前記従属ローラーとに係合されると共に、前記天井フレームの鉛直面に当接する無端状のベルトと、
を備えていることを特徴とする請求項1のファンフィルタユニットの搬送装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP08295598A JP3651246B2 (ja) | 1998-03-13 | 1998-03-13 | ファンフィルタユニットの搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP08295598A JP3651246B2 (ja) | 1998-03-13 | 1998-03-13 | ファンフィルタユニットの搬送装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH11253728A JPH11253728A (ja) | 1999-09-21 |
JP3651246B2 true JP3651246B2 (ja) | 2005-05-25 |
Family
ID=13788654
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP08295598A Expired - Lifetime JP3651246B2 (ja) | 1998-03-13 | 1998-03-13 | ファンフィルタユニットの搬送装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3651246B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102433030B1 (ko) * | 2020-11-27 | 2022-08-18 | (주)마스 | 롤러 이동 팬 필터 유닛 |
-
1998
- 1998-03-13 JP JP08295598A patent/JP3651246B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH11253728A (ja) | 1999-09-21 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20041029 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20041109 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20041224 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20050201 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20050214 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
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