JPH10176384A - ファンフィルタユニットの据付装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】ファンフィルタユニットを効率良く据え付ける
ことができるファンフィルタユニットの据付装置を提供
する。 【解決手段】天井フレームの縦フレーム１８にレール溝
５６を形成すると共に、該レール溝５６に沿って走行可
能で、ファンフィルタユニット１２を搭載可能な搬送台
車４０を設ける。そして、搬送台車４０側の係合コマ６
４を、ファンフィルタユニット１２側のフック６８に係
合させて、搬送台車４０にファンフィルタユニット１２
を保持させる。そして、この搬送台車４０をレール溝６
５に沿って走行させて天井フレームの所定位置にファン
フィルタユニット１２を位置させる。そして、搬送台車
４０からファンフィルタユニット１２を降ろして、その
位置に据え付ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はファンフィルタユニ
ットの据付装置に係り、特にクリーンルームの天井フレ
ームにファンフィルタユニットを据え付けるためのファ
ンフィルタユニットの据付装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体製造工場等のクリーンルームの天
井部には、複数台のファンフィルタユニットが敷設さ
れ、これらのファンフィルタユニットから清浄エアがク
リーンルーム内に供給される。ファンフィルタユニット
が据え付けられる天井フレームは、断面が凸状の支持フ
レームを、建屋の天井梁に吊りボルトによって垂設しな
がら格子状に組み付けることにより構築される。

【０００３】この天井フレームにファンフィルタユニッ
トを据え付ける場合には、まず、天井フレームの下方か
らファンフィルタユニットを斜めにした状態で、前記支
持フレームにその周縁部が当たらないように格子状の据
付空間に挿入する。そして、ファンフィルタユニットを
水平状態に戻した後、ファンフィルタユニットを降ろし
てファンフィルタユニットの下部周縁部を支持フレーム
の水平平坦部に載置する。以上で１台のファンフィルタ
ユニットの据え付けが終了する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
ファンフィルタユニットの据付工法は、ファンフィルタ
ユニットを天井フレームの下方から据え付ける工法なの
で、効率良くファンフィルタユニットを据え付けること
ができないという欠点がある。また、従来の据付工法
は、天井フレームの下方でファンフィルタユニットを持
ち上げる多数の作業者と、持ち上げられたファンフィル
タユニットを天井フレームの位置で受け取って天井フレ
ームに据え付ける多数の作業者とが必要になるという欠
点がある。

【０００５】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、効率良く少数の作業者で据え付けることができ
るファンフィルタユニットの据付装置を提供することを
目的とする。

【０００６】

【課題を解決する為の手段】本発明は前記目的を達成す
る為に、複数台のファンフィルタユニットを、クリーン
ルームの天井部に敷設された天井フレームに据え付ける
ためのファンフィルタユニットの据付装置に於いて、前
記天井フレームにレールを形成すると共に、該レールに
沿って走行可能で前記ファンフィルタユニットを搭載可
能な搬送台車を設け、該搬送台車をレールに沿って走行
させて天井フレームの所定位置にファンフィルタユニッ
トを据え付けることを特徴とする。

【０００７】本発明によれば、まず、搬送台車にファン
フィルタユニットを搭載し、次に、この搬送台車を天井
フレームのレールに沿って走行させて、天井フレームの
据付位置まで搬送する。次いで、搬送台車からファンフ
ィルタユニットを降ろして、ファンフィルタユニットを
その据付位置に据え付ける。このように、本発明は、フ
ァンフィルタユニットを天井フレーム上で据え付けるよ
うにしたので、効率良く短時間でファンフィルタユニッ
トを据え付けることができる。また、本発明は、搬送台
車にファンフィルタユニットを搭載する作業者と、天井
フレーム上でファンフィルタユニットを据え付ける作業
者の２人でファンフィルタユニットを据え付けることが
できる。

【０００８】請求項２記載の発明は、搬送台車の構造に
係るもので、その台車本体に係合部材と駆動部材とを設
け、駆動部材で係合部材をファンフィルタユニットのフ
ックに係合させて、ファンフィルタユニットを台車本体
に保持させるようにしたものである。この状態で、台車
本体をレールに沿って走行させて据付位置に位置させた
のち、駆動部材で係合部材とフックとの係合を解除すれ
ば、ファンフィルタユニットを据付位置に据え付けるこ
とができる。

【０００９】請求項３記載の発明は、前記係合部材のフ
ックと係合する面をテーパ面に形成し、このテーパ面に
沿ってファンフィルタユニットを緩やかに持ち上げ、そ
して、テーパ面に沿ってファンフィルタユニットを緩や
かに降ろして据え付けるようにしたものである。これに
より、本発明は、ファンフィルタユニットに衝撃を与え
ることなく、ファンフィルタユニットを据え付けること
ができる。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下添付図面に従って本発明に係
るファンフィルタユニットの据付装置の好ましい実施の
形態について詳説する。図１は、本発明に係るファンフ
ィルタユニットの据付装置でファンフィルタユニットが
据え付けられたクリーンルームの室内を示す説明図であ
る。同図に示すクリーンルーム１０は、天井部に多数の
ファンフィルタユニット１２、１２…が密に敷設されて
おり、このファンフィルタユニット１２、１２…から清
浄エアーがクリーンルーム１０内に供給される。ファン
フィルタユニット１２は、ユニット本体１３（図３参
照）が略直方体状に形成され、その上面開口部にファン
３２（図５中破線で示す）が設けられている。ファン３
２が駆動されると天井室内に供給された外気及び循環気
がユニット本体１３に吸引され、そして、ユニット本体
１３の下部に取り付けられたＨＥＰＡフイルタ３４（図
５中破線で示す）を介してクリーンルーム１０に供給さ
れる。

【００１１】前記ファンフィルタユニット１２は図２に
示す天井フレームによって天井部に据え付けられる。前
記天井フレームは、懸架フレーム１４と載置フレーム１
６とによって構成される。前記懸架フレーム１４は、多
数本の縦フレーム１８と該縦フレーム１８よりも短めの
横フレーム２０とを格子状に連結することにより構築さ
れると共に、吊りボルト２２によってクリーンルーム建
屋の天井梁（図示せず）に垂設される。

【００１２】懸架フレーム１４の下部には図２、図３に
示すようにボルト２４、２４…が設けられている。これ
らのボルト２４、２４…とナット２６、２６…とによっ
て載置フレーム１６が懸架フレーム１４の下部に締結さ
れる。前記載置フレーム１６は図２に示すように、多数
本の縦フレーム２８と該縦フレーム２８よりも短めの横
フレーム３０とを前記懸架フレーム１４の下面に締結す
ることにより構築される。

【００１３】前記縦フレーム２８及び横フレーム３０は
図３に示すように断面が逆凹字形の金属フレームであ
り、その幅は懸架フレーム１４の幅よりも充分に広く形
成されている。また、縦フレーム２８及び横フレーム３
０の上面部には図４に示すように、水平平坦部２８Ａ、
３０Ａが形成される。この水平平坦部５８、５８にファ
ンフィルタユニット１２の下部周縁部１２Ａ（図３参
照）が載置されることにより、ファンフィルタユニット
１２が天井フレームに据え付けられる。

【００１４】ところで、前記ファンフィルタユニット１
２は図５、図６、図７に示す搬送台車４０によって据付
位置まで搬送されて据え付けられる。図５は、ファンフ
ィルタユニット１２が搭載された搬送台車４０の正面
図、図６は図５の側面図、図７は搬送台車４０の上面図
である。図５、図６に示すように、前記搬送台車４０は
４本の脚部４２、４２…と、これらの４本の脚部４２、
４２…を図７に示すように上部で連結する本体フレーム
４４と、ファンフィルタユニット１２の保持機構４６と
から構成される。

【００１５】図５、図６において前記脚部４２、４２…
には、それぞれ車輪４８が設けられる。この車輪４８は
図８に示すように、脚部４２の下部に設けられた軸５０
に軸受５２を介して支持されると共に、軸５０の外側に
固着されたストッパ板５４によって軸５０からの脱落が
防止されている。前記車輪４８は、懸架フレーム１４の
縦フレーム１８に形成されたレール溝５６上に載置され
る。このレール溝５６は図４に示すように、縦フレーム
１８の上面で長手方向に２本形成されており、１フレー
ムにおいて対向する２本の縦フレーム１８、１８の内側
に形成された２本のレール溝５６、５６上に前記４つの
車輪４８、４８…が載置される。したがって、搬送台車
４０は、縦フレーム１８の長手方向に沿って走行自在と
なっている。

【００１６】前記本体フレーム４４は図７に示すよう
に、前フレーム５８と後フレーム６０、及び前フレーム
５８と後フレーム６０とを連結する４本の連結フレーム
６２、６２…から構成される。前フレーム５８の図７中
上部、及び下部に、前輪側の脚部４２、４２が連結さ
れ、後フレーム６０の図７中上部、及び下部に、後輪側
の脚部４２、４２が連結されている。

【００１７】ファンフィルタユニット１２の保持機構４
６は図５、図６に示すように、４つの係合コマ６４、６
４、…と、これらの係合コマ６４、６４…を連動して駆
動させるリンク機構とから構成される。前記係合コマ６
４、６４…は、搬送台車４０の４隅部に配置される。ま
た、係合コマ６４、６４…は、搬送台車４０の上部から
垂設された駆動軸６６の下部に設けられると共に、この
駆動軸６６を介して前記リンク機構に連結されている。
リンク機構の駆動力で駆動軸６６がその軸芯を中心に回
動されると、前記係合コマ６４が駆動軸６６を中心に回
動し、ファンフィルタユニット１２に設けられたフック
６８に係合、又は係合解除される。

【００１８】図７において、前記駆動軸６６の各々の上
端部は、クランク７０の一方端に固着され、クランク７
０の他方端には、リンク機構を構成するクランクバー７
２の一端７２Ａが軸支されている。このリンク機構は、
クロススライダクランク連鎖の複合型であり、駆動側の
クランクバー７４の動作に連動して、従動側の前記クラ
ンクバー７２が駆動されると、クランク７０を介して駆
動軸６６が回動される。これにより、係合コマ６４が前
記フック６８に係合、又は係合解除される。

【００１９】図７中左側の前輪側に配置された２本のク
ランクバー７２、７２の他端部７２Ｂ、７２Ｂは、連結
板７６に軸支される。この連結板７６は三角形状に形成
されて、その底角部分に、前記クランクバー７２、７２
の他端部７２Ｂ、７２Ｂが軸支されている。また、連結
板７６の頂角部分に、前述したクランクバー７４の一端
部７４Ａが軸支される。このクランクバー７４の他端部
７４Ｂは、搬送台車４０の上面中央部に配置されたハン
ドル７６に軸支されている。前記ハンドル７６は、支持
板７８に軸８０を介してその長手方向中央部を中心に回
転自在に設けられている。

【００２０】このような構成のリンク機構において、ハ
ンドル７６を図７中実線で示す位置から二点鎖線で示す
位置までア方向に回動すると、クランクバー７４（１）
が図中左方向に押されて移動して連結板７６が図中実線
で示す位置から二点鎖線で示す位置に位置する。これに
より、２本のクランクバー７２、７２が連結板７６に引
かれて、クランク７０が図中実線で示す位置から二点鎖
線で示す位置に回動し、駆動軸６６が係合コマ６４の係
合方向に回動する。この動作によって、係合コマ６４が
フック６８に係合されて、ファンフィルタユニット１２
が搬送台車４０に保持される。

【００２１】一方、前記係合コマ６４は図９、図１０に
示すように、その上面にテーパ面６５と、平坦面６４Ａ
とが連続して形成されている。図９は、フック６８に係
合コマ６４が当接された係合直前の状態を示す拡大図で
あり、図１０はフック６８に係合コマ６４が完全に係合
した状態を示す拡大図である。図９において、係合コマ
６４を係合方向（図中矢印方向）に回動させていくと、
フック６８の先端部６９にテーパ面６５の中途部分が当
接する。この状態で、係合コマ６４を係合方向にさらに
回動していくと、フック６８の先端部６９がテーパ面６
５に沿って上昇されることにより、ファンフィルタユニ
ット１２が持ち上げられ始める。そして、係合コマ６４
を完全に回動すると、フック６８の先端部６９が図１０
に示すように平坦部６４Ａに乗り上げる。これにより、
ファンフィルタユニット１２が搬送台車４０に保持され
る。これとは逆に、ファンフィルタユニット１２を据え
付ける場合には、係合コマ６４を逆方向に回動させる。
これにより、ファンフィルタユニット１２がテーパ面６
５にそって降ろされる。

【００２２】なお、図７中右側の後輪側に配置されたク
ランクバー７２、７２、及びクランクバー７４、７４の
取付構造及び動作、そして、係合コマ６４の形状は、前
輪側と同様なのでその説明は省略する。次に、前記の如
く構成されたファンフィルタユニットの据付装置の作用
について説明する。

【００２３】まず、天井フレームの所定の位置に、ファ
ンフィルタユニット１２のステーションを設置する。次
に、そのステーションの位置で、搬送台車４０にファン
フィルタユニット１２を搭載する。この搭載手順は、ま
ず、ファンフィルタユニット１２に搬送台車４０を被せ
るように配置する。そして、搬送台車４０を前後移動さ
せて、係合コマ６４の位置をフック６８の位置に合わせ
る。そして、ハンドル７６を係合方向に回動（図７参
照）させて、４つの係合コマ６４、６４…を４つのフッ
ク６８、６８…に同時に係合させる。これにより、ファ
ンフィルタユニット１２は、係合コマ６４のテーパ面６
５によって上昇されて搬送台車４０に保持される。この
時、ファンフィルタユニット１２は、テーパ面６５に沿
って緩やかに上昇されるので、ファンフィルタユニット
１２に衝撃を与えることなく、ファンフィルタユニット
１２を搬送台車４０に保持させることができる。

【００２４】次に、この搬送台車４０を天井フレームの
レール溝５６、５６上に載置し、レール溝５６、５６に
沿って走行させ、所定の据付位置まで搬送する。次い
で、ハンドル７６を先とは逆方向に回動させることによ
り、搬送台車４０からファンフィルタユニット１２を降
ろして、ファンフィルタユニット１２をその据付位置に
据え付ける。この時、ファンフィルタユニット１２は、
テーパ面６５に沿って緩やかに降ろされるので、ファン
フィルタユニット１２に衝撃を与えることなく、ファン
フィルタユニット１２を据え付けることができる。ま
た、極小の衝撃は、ファンフィルタユニット１２の下部
周縁に取り付けられたダンパ３６（図５、図６参照）に
よって吸収される。

【００２５】これにより、１台のファンフィルタユニッ
ト１２の据付作業が終了する。２台目以降のファンフィ
ルタユニット１２を据え付ける場合には、前述した手順
を繰り返し行えば良い。また、搬送台車４０を複数台を
揃えれば、複数台のファンフィルタユニット１２、１２
を短時間で連続的に据え付けることができる。以上の如
く、本実施の形態では、ファンフィルタユニット１２を
天井フレーム上で据え付けるようにしたので、効率良く
短時間でファンフィルタユニット１２を据え付けること
ができる。

【００２６】また、本実施の形態は、搬送台車４０にフ
ァンフィルタユニット１２を搭載する作業者と、天井フ
レーム上でファンフィルタユニット１２を据え付ける作
業者の２人でファンフィルタユニット１２を据え付ける
ことができる。なお、本実施の形態では、天井フレーム
に形成したレールを溝状に形成したが、これに限られる
ものではなく、前記レールを突条に形成し、車輪４８を
溝付きに形成しても良い。

【００２７】本実施の形態の搬送台車４０を改良して、
ファンフィルタユニット１２の据え付けを自動化するこ
とも可能である。この場合には、搬送台車４０をモータ
で走行させると共に、据付位置に位置した時に停止させ
るためのセンサーを設け、そして、ファンフィルタユニ
ット１２の保持機構をモータで駆動して、ファンフィル
タユニット１２を据え付ける。搬送台車４０のモータ、
センサー、保持機構のモータを制御装置によって制御
し、この制御装置で指定した位置に据え付けるようにす
れば良い。

【００２８】前記センサーとしては、光センサー、磁気
センサー等のセンサーを適用することができるが、レー
ル溝５６側に段部を形成しておき、この段部に車輪４８
が位置した時に、搬送台車４０が据付位置に位置したこ
とを、段部に車輪４８が落ち込む振動で検知するように
しても良い。

【００２９】

【発明の効果】以上説明したように本発明に係るファン
フィルタユニットの据付装置によれば、ファンフィルタ
ユニットを搭載した搬送台車を、天井フレーム形成され
たレールに沿って走行させて天井フレームの所定位置に
据え付けるようにしたので、効率良く短時間で、且つ少
数の作業者でファンフィルタユニットを据え付けること
ができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施の形態のファンフィルタユニットの据付
装置でファンフィルタユニットが据え付けられたクリー
ンルームを示す説明図

【図２】天井フレームの分解斜視図

【図３】天井フレームの１フレームの組立斜視図

【図４】天井フレームの１フレームの上面図

【図５】天井フレームを走行する搬送台車の正面図

【図６】図５に示した搬送台車の側面図

【図７】搬送台車に設けられたファンフィルタユニット
の保持機構の上面図

【図８】レールと台車の拡大断面図

【図９】保持機構の係合コマがファンフィルタユニット
のフックに当接した説明図

【図１０】係合コマでファンフィルタユニットを持ち上
げた状態を示す説明図

【符号の説明】

１０…クリーンルーム １２…ファンフィルタユニット １４…懸架フレーム １６…載置フレーム ４０…搬送台車 ６４…係合コマ ６５…テーパ面 ６８…フック ７２、７４…クランクバー ７６…ハンドル

フロントページの続き (72)発明者 小野寺 敏雄 東京都千代田区内神田１丁目１番14号 日 立プラント建設株式会社内 (72)発明者 宝槻 豊 東京都千代田区内神田１丁目１番14号 日 立プラント建設株式会社内 (72)発明者 佐藤 史 東京都千代田区内神田１丁目１番14号 日 立プラント建設株式会社内 (72)発明者 藤根 亮一 東京都千代田区内神田１丁目１番14号 日 立プラント建設株式会社内

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】複数台のファンフィルタユニットを、クリ
   ーンルームの天井部に敷設された天井フレームに据え付
   けるためのファンフィルタユニットの据付装置に於い
   て、 前記天井フレームにレールを形成すると共に、該レール
   に沿って走行可能で前記ファンフィルタユニットを着脱
   可能に保持する搬送台車を設け、該搬送台車をレールに
   沿って走行させて天井フレームの所定位置にファンフィ
   ルタユニットを据え付けることを特徴とするファンフィ
   ルタユニットの据付装置。
2. 【請求項２】前記搬送台車は、 前記レール上を走行する台車本体と、 該台車本体に設けられ、前記ファンフィルタユニットの
   フックに係合して該ファンフィルタユニットを台車本体
   に保持させる係合部材と、 該係合部材を前記フックに係合、及び係合解除させる駆
   動部材と、 から構成されていることを特徴とする請求項１記載のフ
   ァンフィルタユニットの据付装置。
3. 【請求項３】前記係合部材の前記フックと係合する面は
   テーパ面に形成され、該テーパ面に沿って前記ファンフ
   ィルタユニットを持ち上げて保持すると共に、該テーパ
   面に沿って前記ファンフィルタユニットを降ろして据え
   付けることを特徴とする請求項２記載のファンフィルタ
   ユニットの据付装置。