JPH05170102A - 搬送台車の懸架装置 - Google Patents
搬送台車の懸架装置Info
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- JPH05170102A JPH05170102A JP35301991A JP35301991A JPH05170102A JP H05170102 A JPH05170102 A JP H05170102A JP 35301991 A JP35301991 A JP 35301991A JP 35301991 A JP35301991 A JP 35301991A JP H05170102 A JPH05170102 A JP H05170102A
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- Japan
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- vibration
- carrier
- carrier truck
- wheels
- chassis
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- Vehicle Body Suspensions (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】クリンル−ム等の床面で用いられる車軸距離が
小で，重心位置が高いため不安定になり易い小形の搬送
台車であっても，グレ−チング等が施された床面を走行
またはロボット操作を行ったり，さらに現在以上の走行
速度にしても荷台の振動や前後左右方向の揺動または傾
斜を減少させることができるようにすること。 【構成】 車台１１上面に直接または荷台を介して搬送
物品を載置して走行する搬送台車１０において，車台１
１と各遊輪１３ａ，１３ｂ，１３ｃ等相互間に防振手段
１６ａ，１６ｂ，１６ｃ等と垂直方向に配置した上下ス
ライド機構１７ａ，１７ｂ，１７ｃ等とを設けると共
に，対向する一方向の遊輪１３ａ，１３ｂ等及びまたは
動輪１２ａ，１２ｂの支承体１３ａ1，１３ｂ1等相互を
１対として選択し，連結板１４，１５等で上記車台１１
に連結・支承するように構成した。
小で，重心位置が高いため不安定になり易い小形の搬送
台車であっても，グレ−チング等が施された床面を走行
またはロボット操作を行ったり，さらに現在以上の走行
速度にしても荷台の振動や前後左右方向の揺動または傾
斜を減少させることができるようにすること。 【構成】 車台１１上面に直接または荷台を介して搬送
物品を載置して走行する搬送台車１０において，車台１
１と各遊輪１３ａ，１３ｂ，１３ｃ等相互間に防振手段
１６ａ，１６ｂ，１６ｃ等と垂直方向に配置した上下ス
ライド機構１７ａ，１７ｂ，１７ｃ等とを設けると共
に，対向する一方向の遊輪１３ａ，１３ｂ等及びまたは
動輪１２ａ，１２ｂの支承体１３ａ1，１３ｂ1等相互を
１対として選択し，連結板１４，１５等で上記車台１１
に連結・支承するように構成した。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】半導体製品のほか各種精密部品を
取り扱う工場においては，超清浄度を要求されるため，
同工場をクリンル−ムとし，グレ−チングまたはパンチ
ィングメタルと称される通気用の小孔を設けた床面を配
置し，たとえば天井と床面の間で空気を循環させる垂直
層流方式を採用し，塵埃の飛散を防止するようにしてい
る。本発明はこのようなクリンル−ム等の床面走行の際
に，車体に上下動を与える環境での搬送の内，特に，半
導体ウエハ等の振動衝撃により損傷し易い物体を搬送す
る搬送台車に用いて好適な搬送台車の懸架装置に関する
ものである。
取り扱う工場においては，超清浄度を要求されるため，
同工場をクリンル−ムとし，グレ−チングまたはパンチ
ィングメタルと称される通気用の小孔を設けた床面を配
置し，たとえば天井と床面の間で空気を循環させる垂直
層流方式を採用し，塵埃の飛散を防止するようにしてい
る。本発明はこのようなクリンル−ム等の床面走行の際
に，車体に上下動を与える環境での搬送の内，特に，半
導体ウエハ等の振動衝撃により損傷し易い物体を搬送す
る搬送台車に用いて好適な搬送台車の懸架装置に関する
ものである。
【０００２】
【従来の技術】従来のクリンル−ムにおける半導体ウエ
ハ搬送を行うロボットを搭載した搬送台車は図９に示す
ように構成されていた。同図において，１は搬送台車，
２は車体フレ−ム，３は動輪，３ａは電動機より成る駆
動手段，４ａ，４ｂは遊輪，５はロボット，５ａはその
ハンド，５ｂはア−ムである。６は荷台，７ａ，７ｂは
防振ゴム，８ａ，８ｂは半導体ウエハが収納されたウエ
ハカセット，９はグレ−チングである。搬送台車はクリ
ンル−ム内の所定場所にある半導体ウエハが収納された
ウエハカセット８ａ，８ｂをロボット５のハンド５ａの
操作によって荷台６上に載せた後，次工程（たとえばＣ
ＶＤ装置）への搬送のためグレ−チング９上を走行する
ものである。
ハ搬送を行うロボットを搭載した搬送台車は図９に示す
ように構成されていた。同図において，１は搬送台車，
２は車体フレ−ム，３は動輪，３ａは電動機より成る駆
動手段，４ａ，４ｂは遊輪，５はロボット，５ａはその
ハンド，５ｂはア−ムである。６は荷台，７ａ，７ｂは
防振ゴム，８ａ，８ｂは半導体ウエハが収納されたウエ
ハカセット，９はグレ−チングである。搬送台車はクリ
ンル−ム内の所定場所にある半導体ウエハが収納された
ウエハカセット８ａ，８ｂをロボット５のハンド５ａの
操作によって荷台６上に載せた後，次工程（たとえばＣ
ＶＤ装置）への搬送のためグレ−チング９上を走行する
ものである。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで，搬送台車１
はこのグレ−チング９上の走行の時にグレ−チング９の
前後，左右方向に形成された小孔を動輪３，遊輪４ａ，
４ｂ等の車輪が通過する際に，車軸が上下動し，また前
後左右方向にも車体が振れ，結果として荷台６上のウエ
ハカセットは上下，前後左右方向の振動を受ける。この
上下動は特に小径の遊輪の場合に顕著である。なお，荷
台６の前後左右方向の揺動は，床面上でロボットのア−
ム操作を行う際や，また，右折または左折する走行路を
搬送台車が走行する際にも生じる。さらに，このような
クリンル−ム等の用途で使用される搬送台車の場合は，
走行路の面積に制限があるため，車体幅が比較的小であ
り，且つ，比較的高所に配置された場所から半導体ウエ
ハをロボットで移送を行う関係上，荷台が高位置にくる
ため搬送台車の重心位置は高所となり，走行方向で前後
左右（横）方向に揺動したり，傾斜し易い不安定な車体
となる傾向があった。このため従来の搬送台車１でも，
図示のように荷台６と車体フレ−ム２間に防振ゴム７
ａ，７ｂが設けられており，上下方向の振動はある程度
吸収するようにしているものの，それだけでは振動の補
償が十分とはいえなかった。また，走行方向で前後左右
方向の荷台の揺動や傾斜に対しては何等の対策がされて
いなかったため，前後左右方向の揺動や右折等の際の車
体の一時的傾斜は可成り大となっていた。この対策とし
て，床面にレ−ルを敷設して，このレ−ル上に搬送台車
を走行させることも考えられるが，このようなレ−ルの
敷設はグレ−チングの通気性を阻害するばかりでなく，
グレ−チングの下方に配置される電装品の配線の保守・
点検の際に，該当箇所のグレ−チングを持ち上げる場合
に一々レ−ルも取り外す必要があり，実用上，問題があ
った。一方，ウエハカセット８ａ，８ｂ内に収納される
半導体ウエハはカセット棚に対して若干の小隙を有し，
且つその機械的強度が小の材質上のため，上記原因によ
る荷台６の上下方向の振動や前後左右方向の揺動，傾斜
によってカセットケ−スとの衝撃で損傷するものが生じ
ており，この対策が求められていた。なお，従来の構成
で搬送台車の走行速度を減少し，上記の振動等の障害を
減少させることも考えられるが，これでは生産効率が低
下する。即ち，この種分野で用いられる，車軸距離が小
で重心位置が高いため不安定になり易い小形の搬送台車
であっても，グレ−チング等が施された床面を走行また
はロボット操作を行ったり，さらに現在以上の走行速度
にしても荷台の振動や前後左右方向の揺動または傾斜を
減少させることができる搬送台車が要望されていた。本
発明は従来のものの上記課題（問題点）を解決するよう
にした搬送台車の懸架装置を提供すること目的とする。
はこのグレ−チング９上の走行の時にグレ−チング９の
前後，左右方向に形成された小孔を動輪３，遊輪４ａ，
４ｂ等の車輪が通過する際に，車軸が上下動し，また前
後左右方向にも車体が振れ，結果として荷台６上のウエ
ハカセットは上下，前後左右方向の振動を受ける。この
上下動は特に小径の遊輪の場合に顕著である。なお，荷
台６の前後左右方向の揺動は，床面上でロボットのア−
ム操作を行う際や，また，右折または左折する走行路を
搬送台車が走行する際にも生じる。さらに，このような
クリンル−ム等の用途で使用される搬送台車の場合は，
走行路の面積に制限があるため，車体幅が比較的小であ
り，且つ，比較的高所に配置された場所から半導体ウエ
ハをロボットで移送を行う関係上，荷台が高位置にくる
ため搬送台車の重心位置は高所となり，走行方向で前後
左右（横）方向に揺動したり，傾斜し易い不安定な車体
となる傾向があった。このため従来の搬送台車１でも，
図示のように荷台６と車体フレ−ム２間に防振ゴム７
ａ，７ｂが設けられており，上下方向の振動はある程度
吸収するようにしているものの，それだけでは振動の補
償が十分とはいえなかった。また，走行方向で前後左右
方向の荷台の揺動や傾斜に対しては何等の対策がされて
いなかったため，前後左右方向の揺動や右折等の際の車
体の一時的傾斜は可成り大となっていた。この対策とし
て，床面にレ−ルを敷設して，このレ−ル上に搬送台車
を走行させることも考えられるが，このようなレ−ルの
敷設はグレ−チングの通気性を阻害するばかりでなく，
グレ−チングの下方に配置される電装品の配線の保守・
点検の際に，該当箇所のグレ−チングを持ち上げる場合
に一々レ−ルも取り外す必要があり，実用上，問題があ
った。一方，ウエハカセット８ａ，８ｂ内に収納される
半導体ウエハはカセット棚に対して若干の小隙を有し，
且つその機械的強度が小の材質上のため，上記原因によ
る荷台６の上下方向の振動や前後左右方向の揺動，傾斜
によってカセットケ−スとの衝撃で損傷するものが生じ
ており，この対策が求められていた。なお，従来の構成
で搬送台車の走行速度を減少し，上記の振動等の障害を
減少させることも考えられるが，これでは生産効率が低
下する。即ち，この種分野で用いられる，車軸距離が小
で重心位置が高いため不安定になり易い小形の搬送台車
であっても，グレ−チング等が施された床面を走行また
はロボット操作を行ったり，さらに現在以上の走行速度
にしても荷台の振動や前後左右方向の揺動または傾斜を
減少させることができる搬送台車が要望されていた。本
発明は従来のものの上記課題（問題点）を解決するよう
にした搬送台車の懸架装置を提供すること目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は車台上面に直接
または荷台を介して搬送物品を載置して走行する搬送台
車において，上記車台と各遊輪相互間に防振手段と垂直
方向に配置した上下スライド機構とを設けると共に，対
向する一方向の遊輪の支承体相互を一対として選択し，
連結板で上記車台に連結・支承するようにした搬送台車
の懸架装置に関する。この場合，連結板で連結する遊輪
の対として搬送台車の走行方向で，左右横方向となる遊
輪相互を選択するようにすることが望ましい。また，連
結板で連結する遊輪の対として搬送台車の走行方向で前
後方向となる遊輪相互を選択するようにしても良い。ま
た，上記遊輪に対してのほか，上記車台下面と各動輪相
互間に防振手段と垂直方向に配置したスライド機構とを
設けると共に，対向する各動輪の支承体相互間を１枚の
連結板で，上記車台に連結支承するようにすることが望
ましい。また，上記防振手段としては防振ゴム，空気ば
ね等の減衰作用付きの防振手段とするようにすることが
望ましい。また，上記上下スライド機構としてはボ−ル
ブッシュ等のリニアブッシュを用いるようにすることが
望ましい。
または荷台を介して搬送物品を載置して走行する搬送台
車において，上記車台と各遊輪相互間に防振手段と垂直
方向に配置した上下スライド機構とを設けると共に，対
向する一方向の遊輪の支承体相互を一対として選択し，
連結板で上記車台に連結・支承するようにした搬送台車
の懸架装置に関する。この場合，連結板で連結する遊輪
の対として搬送台車の走行方向で，左右横方向となる遊
輪相互を選択するようにすることが望ましい。また，連
結板で連結する遊輪の対として搬送台車の走行方向で前
後方向となる遊輪相互を選択するようにしても良い。ま
た，上記遊輪に対してのほか，上記車台下面と各動輪相
互間に防振手段と垂直方向に配置したスライド機構とを
設けると共に，対向する各動輪の支承体相互間を１枚の
連結板で，上記車台に連結支承するようにすることが望
ましい。また，上記防振手段としては防振ゴム，空気ば
ね等の減衰作用付きの防振手段とするようにすることが
望ましい。また，上記上下スライド機構としてはボ−ル
ブッシュ等のリニアブッシュを用いるようにすることが
望ましい。
【０００５】
【作用】本発明の搬送台車の懸架装置は，搬送台車の車
台と各車輪間に防振手段と垂直方向に配置した上下スラ
イド機構を設け，且つ，一方向たとえば左右方向の一対
の車輪を連結板で連結するように構成したから，搬送台
車がクリ−ンル−ムの床面として採用されているグレ−
チング上を走行する際にも上下動は上記防振手段と上下
スライド機構で吸収され，一方，ロボットのア−ム操作
や，搬送台車の走行時の右折，左折の際に従来は生じて
いた前後左右方向の荷台の揺動や傾斜は連結板と上下ス
ライド機構との相乗作用によって略完全に補償され，半
導体ウエハ等が載置される荷台は常に安定した状態とな
る。
台と各車輪間に防振手段と垂直方向に配置した上下スラ
イド機構を設け，且つ，一方向たとえば左右方向の一対
の車輪を連結板で連結するように構成したから，搬送台
車がクリ−ンル−ムの床面として採用されているグレ−
チング上を走行する際にも上下動は上記防振手段と上下
スライド機構で吸収され，一方，ロボットのア−ム操作
や，搬送台車の走行時の右折，左折の際に従来は生じて
いた前後左右方向の荷台の揺動や傾斜は連結板と上下ス
ライド機構との相乗作用によって略完全に補償され，半
導体ウエハ等が載置される荷台は常に安定した状態とな
る。
【０００６】
【実施例】先ず図１及び図２に示す第１の実施例によっ
て本発明の具体的構成を説明する。図１（Ａ）は本発明
の第１の実施例を示す自立無人車等の搬送台車の側面図
で，説明の都合上，車台カバ−を取り外して枠体の形で
車台部分を表示してある。なお，簡単のため，搬送台車
に搭載されるロボットは図示を省略している。同図
（Ｂ）は同図（Ａ）のＡ−Ａ’断面図，同図（Ｃ）は後
方側の遊輪近傍における搬送台車の下面図である。な
お，同図（Ｂ）では床面は図示していない。また，図２
は搬送台車の正面図である。各図において，１０は本発
明の搬送台車，１１は車台で，車台１１はたとえば上フ
レ−ム１１ａ，下フレ−ム１１ｂおよびこれら各フレ−
ムを連結する垂直フレ−ム１１ｃにより構成される。１
２ａ及び１２ｂは動輪で，電動機，バッテリ他等より成
る動輪ユニット１２ｃにより駆動されると共に，同ユニ
ット１２ｃを介して下フレ−ム１１ｂに支承されてい
る。１３ａ〜１３ｄは夫々遊輪である。これら４個の遊
輪は図示のように対向する一対の遊輪たとえば，走行方
向で，左右方向となる前方の遊輪１３ａ，１３ｂ及び後
方の遊輪１３ｃ，１３ｄを夫々一対として第１の連結板
１４及び第２の連結板１５により夫々の軸受部を含む支
承体１３ａ1，１３ｂ1及び１３ｃ1，１３ｄ1を介して連
結するようにしている。また，各連結板１４及び１５を
介して各遊輪１３ａ，１３ｂ及び１３ｃ，１３ｄは夫々
各別の防振手段１６ａ，１６ｂ及び１６ｃ，１６ｄと各
別の上下スライド機構１７ａ，１７ｂ及び１７ｃ，１７
ｄの両者で下フレ−ム１１ｂに対して連系支承されるよ
うにしている。この場合，防振手段１６ａ〜１６ｄとし
てはたとえば，防振手段１６ａについて図３（Ａ）に例
示したように，コイルばねＣの外周をゴム製のカバ−Ｇ
を装着するようにした，いわゆる防振ゴムを使用し，ば
ね作用と減衰作用の各機能を備えた減衰作用付きの防振
手段とするようにした方が共振倍率を低下させるために
望ましい。このような減衰作用付きの防振手段として
は，図３（Ａ）の防振ゴム１６ａのほか，同図（Ｂ）に
示すようにオリフィス付きのエアタンクＴと中空の蛇腹
状のゴム体Ｇとを連結し空気Ａを内蔵される空気ばね１
６ａ’で代替しても良い等の各種の変形が考えられる。
また，上下スライド機構１７ａ〜１７ｄとしてはたとえ
ば，上下スライド機構１７ａについて図示するように，
垂直心棒Ｒの外周に複数対のボ−ルＢ1〜Ｂ3を環状ケ−
シング内に内蔵して構成されるボ−ルブッシュを用いれ
ば良い。上下スライド機構はこのようなボ−ルベアリン
グ型のボ−ルブッシュの他，すべり軸受型のものであっ
ても良く，リニアブッシュと総称される水平方向には剛
性を持つが上下方向にはスライド（摺動）できる機能を
有するものを用いれば良い。１８はグレ−チング，ま
た，図示しないが上フレ−ム１１ａ上に半導体ウエハ等
の搬送品が載置されるものとする。本発明の第１の実施
例である搬送台車１１は上記のように構成される。
て本発明の具体的構成を説明する。図１（Ａ）は本発明
の第１の実施例を示す自立無人車等の搬送台車の側面図
で，説明の都合上，車台カバ−を取り外して枠体の形で
車台部分を表示してある。なお，簡単のため，搬送台車
に搭載されるロボットは図示を省略している。同図
（Ｂ）は同図（Ａ）のＡ−Ａ’断面図，同図（Ｃ）は後
方側の遊輪近傍における搬送台車の下面図である。な
お，同図（Ｂ）では床面は図示していない。また，図２
は搬送台車の正面図である。各図において，１０は本発
明の搬送台車，１１は車台で，車台１１はたとえば上フ
レ−ム１１ａ，下フレ−ム１１ｂおよびこれら各フレ−
ムを連結する垂直フレ−ム１１ｃにより構成される。１
２ａ及び１２ｂは動輪で，電動機，バッテリ他等より成
る動輪ユニット１２ｃにより駆動されると共に，同ユニ
ット１２ｃを介して下フレ−ム１１ｂに支承されてい
る。１３ａ〜１３ｄは夫々遊輪である。これら４個の遊
輪は図示のように対向する一対の遊輪たとえば，走行方
向で，左右方向となる前方の遊輪１３ａ，１３ｂ及び後
方の遊輪１３ｃ，１３ｄを夫々一対として第１の連結板
１４及び第２の連結板１５により夫々の軸受部を含む支
承体１３ａ1，１３ｂ1及び１３ｃ1，１３ｄ1を介して連
結するようにしている。また，各連結板１４及び１５を
介して各遊輪１３ａ，１３ｂ及び１３ｃ，１３ｄは夫々
各別の防振手段１６ａ，１６ｂ及び１６ｃ，１６ｄと各
別の上下スライド機構１７ａ，１７ｂ及び１７ｃ，１７
ｄの両者で下フレ−ム１１ｂに対して連系支承されるよ
うにしている。この場合，防振手段１６ａ〜１６ｄとし
てはたとえば，防振手段１６ａについて図３（Ａ）に例
示したように，コイルばねＣの外周をゴム製のカバ−Ｇ
を装着するようにした，いわゆる防振ゴムを使用し，ば
ね作用と減衰作用の各機能を備えた減衰作用付きの防振
手段とするようにした方が共振倍率を低下させるために
望ましい。このような減衰作用付きの防振手段として
は，図３（Ａ）の防振ゴム１６ａのほか，同図（Ｂ）に
示すようにオリフィス付きのエアタンクＴと中空の蛇腹
状のゴム体Ｇとを連結し空気Ａを内蔵される空気ばね１
６ａ’で代替しても良い等の各種の変形が考えられる。
また，上下スライド機構１７ａ〜１７ｄとしてはたとえ
ば，上下スライド機構１７ａについて図示するように，
垂直心棒Ｒの外周に複数対のボ−ルＢ1〜Ｂ3を環状ケ−
シング内に内蔵して構成されるボ−ルブッシュを用いれ
ば良い。上下スライド機構はこのようなボ−ルベアリン
グ型のボ−ルブッシュの他，すべり軸受型のものであっ
ても良く，リニアブッシュと総称される水平方向には剛
性を持つが上下方向にはスライド（摺動）できる機能を
有するものを用いれば良い。１８はグレ−チング，ま
た，図示しないが上フレ−ム１１ａ上に半導体ウエハ等
の搬送品が載置されるものとする。本発明の第１の実施
例である搬送台車１１は上記のように構成される。
【０００７】搬送台車１０がグレ−チング１８上を走行
するとき，各遊輪１３ａ〜１３ｄ，動輪１２ａ，１２ｂ
等の各車輪はグレ−チング１８を形成する小孔により上
下動する。この上下動は動輪１２ａ，１２ｂよりも小径
である各遊輪１３ａ〜１３ｄの方が特に影響を受け，車
台１１の上フレ−ム１１ａが上下方向に振動されようと
する。しかし，本発明のものでは各遊輪１３ａ〜１３ｄ
に防振手段１６ａ〜１６ｄと上下スライド機構１７ａ〜
１７ｄが設けられているから，上記の上下方向の振動は
補償される。また，右折または左折等の際には遠心力作
用で車体が一時的ではあるが傾斜しようとする。特に本
発明が適用される重心位置が高い車輪幅が小の搬送台車
においては遠心力付与は顕著である。図４はこの状況を
摸式的に示すもので，同図は簡単のため車台のほか，ロ
ボット機構を含む車体部分を縦長の矩形Ｚで，車輪をＷ
1，Ｗ2で，防振手段をＸ1，Ｘ2で，また，上下スライド
機構をＹ1，Ｙ2で，また，連結板をＬで表示してある。
なお，図４に（Ａ）と（Ｂ）を描いたのは，本発明の２
つの機能を説明するためである。即ち，図４（Ａ）のよ
うに本発明の構成の１つである防振手段Ｘ1，Ｘ2と上下
スライド機構Ｙ1，Ｙ2とを設けた場合は車体（車台も含
む）の上下方向の振動に対しては補償作用があるが，そ
れだけでは車体の走行方向で左右方向の揺動，傾斜に対
する補償作用が全くないため，同図に示すようにたとえ
ば遠心力により傾斜力が作用すると車体が傾斜する。し
かし，本発明のものでは，走行方向で左右方向となる対
向する遊輪相互間に連結板Ｌを設けることにより，上下
スライド機構の剛性と連結板の両者の相乗作用で図４
（Ａ）に示すように搬送台車がたとえば右折走行のため
に左方へ傾斜する力が遠心力によって働いてもこれを補
償し，車体が傾斜しないようにしているものである。上
記の本発明の車体の左右方向の揺動・傾斜に対する補償
作用はロボットア−ムの作用による車体の傾斜や，グレ
−チング走行時の左右方向への揺動に対しても同様に行
われる。なお，図１では動輪１２ａ，１２ｂは簡単のた
めにバッテリ他を動輪ユニット１２ｃが下フレ−ム１１
ｂに直結されているように示したが，下フレ−ム１１ｂ
に対して上下スライド機構を介して直結されており，動
輪ユニット１２ｃの上下方向の振動が直接伝達されない
ようになっている。
するとき，各遊輪１３ａ〜１３ｄ，動輪１２ａ，１２ｂ
等の各車輪はグレ−チング１８を形成する小孔により上
下動する。この上下動は動輪１２ａ，１２ｂよりも小径
である各遊輪１３ａ〜１３ｄの方が特に影響を受け，車
台１１の上フレ−ム１１ａが上下方向に振動されようと
する。しかし，本発明のものでは各遊輪１３ａ〜１３ｄ
に防振手段１６ａ〜１６ｄと上下スライド機構１７ａ〜
１７ｄが設けられているから，上記の上下方向の振動は
補償される。また，右折または左折等の際には遠心力作
用で車体が一時的ではあるが傾斜しようとする。特に本
発明が適用される重心位置が高い車輪幅が小の搬送台車
においては遠心力付与は顕著である。図４はこの状況を
摸式的に示すもので，同図は簡単のため車台のほか，ロ
ボット機構を含む車体部分を縦長の矩形Ｚで，車輪をＷ
1，Ｗ2で，防振手段をＸ1，Ｘ2で，また，上下スライド
機構をＹ1，Ｙ2で，また，連結板をＬで表示してある。
なお，図４に（Ａ）と（Ｂ）を描いたのは，本発明の２
つの機能を説明するためである。即ち，図４（Ａ）のよ
うに本発明の構成の１つである防振手段Ｘ1，Ｘ2と上下
スライド機構Ｙ1，Ｙ2とを設けた場合は車体（車台も含
む）の上下方向の振動に対しては補償作用があるが，そ
れだけでは車体の走行方向で左右方向の揺動，傾斜に対
する補償作用が全くないため，同図に示すようにたとえ
ば遠心力により傾斜力が作用すると車体が傾斜する。し
かし，本発明のものでは，走行方向で左右方向となる対
向する遊輪相互間に連結板Ｌを設けることにより，上下
スライド機構の剛性と連結板の両者の相乗作用で図４
（Ａ）に示すように搬送台車がたとえば右折走行のため
に左方へ傾斜する力が遠心力によって働いてもこれを補
償し，車体が傾斜しないようにしているものである。上
記の本発明の車体の左右方向の揺動・傾斜に対する補償
作用はロボットア−ムの作用による車体の傾斜や，グレ
−チング走行時の左右方向への揺動に対しても同様に行
われる。なお，図１では動輪１２ａ，１２ｂは簡単のた
めにバッテリ他を動輪ユニット１２ｃが下フレ−ム１１
ｂに直結されているように示したが，下フレ−ム１１ｂ
に対して上下スライド機構を介して直結されており，動
輪ユニット１２ｃの上下方向の振動が直接伝達されない
ようになっている。
【０００８】次に，本発明の第２の実施例を図５，図６
を用いて説明する。なお，図５は第２の実施例の構成を
示す側面図，図６中，破断線Ｈ−Ｈ’の右方側は床面は
省略して描いた図５のＢ−Ｂ’断面図，図６の破断線Ｈ
−Ｈ’の左方側は図５で示した搬送台車の下面図を示
す。図５及び図６において，第１の実施例と同等の部分
については，図１及び図２と同一の符号を付して示し
た。図５及び図６において，１９は連結板で，対向する
動輪１２ａ，１２ｂの軸受部を含む支承体２０ａまたは
２０ｂを介して各動輪１２ａ，１２ｂの左右方向の動き
を拘束するために設けたものである。２１及び２２は夫
々上下方向スライド機構で，連結板１９と下フレ−ム１
１ｂの間に装着される。２３は防振ゴム等の防振手段
で，これも連結板１９と下フレ−ム１１ｂ間に装着され
る。なお，このように動輪１２ａ，１２ｂに対しても車
台間に懸架機構を設ける場合は，走行路である床面間と
の摩擦抵抗が所定値以下とならないように，防振手段の
ばね定数を適正値に選定しておく必要がある。本発明の
第２の実施例である搬送台車１０Ａは上記のように構成
される。
を用いて説明する。なお，図５は第２の実施例の構成を
示す側面図，図６中，破断線Ｈ−Ｈ’の右方側は床面は
省略して描いた図５のＢ−Ｂ’断面図，図６の破断線Ｈ
−Ｈ’の左方側は図５で示した搬送台車の下面図を示
す。図５及び図６において，第１の実施例と同等の部分
については，図１及び図２と同一の符号を付して示し
た。図５及び図６において，１９は連結板で，対向する
動輪１２ａ，１２ｂの軸受部を含む支承体２０ａまたは
２０ｂを介して各動輪１２ａ，１２ｂの左右方向の動き
を拘束するために設けたものである。２１及び２２は夫
々上下方向スライド機構で，連結板１９と下フレ−ム１
１ｂの間に装着される。２３は防振ゴム等の防振手段
で，これも連結板１９と下フレ−ム１１ｂ間に装着され
る。なお，このように動輪１２ａ，１２ｂに対しても車
台間に懸架機構を設ける場合は，走行路である床面間と
の摩擦抵抗が所定値以下とならないように，防振手段の
ばね定数を適正値に選定しておく必要がある。本発明の
第２の実施例である搬送台車１０Ａは上記のように構成
される。
【０００９】この搬送台車１０Ａの場合は，第１の実施
例の搬送台車に比べ，動輪１２ａ，１２ｂに対しても連
結板１９，上下スライド機構２１，２２及び防振手段２
３を備えて車台１１に対する懸架機構を備えているた
め，既に述べた各遊輪についての作用と同様にグレ−チ
ング１８上の走行中の上下振動に対しては防振手段２３
と上下スライド機構２１，２２の両者で補償し，また，
車台の左右方向の揺動や傾斜に対しては，連結板１９と
上下スライド機構２１，２２の相乗作用により補償作用
を行い，搬送台車１０Ａは荷台となる上フレ−ム１１ａ
を含め，さらに安定した搬送走行を行うことができる。
例の搬送台車に比べ，動輪１２ａ，１２ｂに対しても連
結板１９，上下スライド機構２１，２２及び防振手段２
３を備えて車台１１に対する懸架機構を備えているた
め，既に述べた各遊輪についての作用と同様にグレ−チ
ング１８上の走行中の上下振動に対しては防振手段２３
と上下スライド機構２１，２２の両者で補償し，また，
車台の左右方向の揺動や傾斜に対しては，連結板１９と
上下スライド機構２１，２２の相乗作用により補償作用
を行い，搬送台車１０Ａは荷台となる上フレ−ム１１ａ
を含め，さらに安定した搬送走行を行うことができる。
【００１０】上記の各実施例では，一般にこの種用途で
生じる走行方向で左右となる横方向の車台の揺動や傾斜
作用の補償を考慮して連結板に支承体を介して連結する
一対としては横方向に対向する遊輪１３ａ，１３ｂ及び
１３ｃ，１３ｄさらに動輪１２ａ，１２ｂを夫々一対と
して選定した場合について述べた。しかし，用途によっ
ては，往復動の走行路を走行し，急停止する必要が生じ
る場所で搬送台車を使用することもある。したがって，
このような用途に適用する搬送台車としては，連結板の
取付けは，たとえば図１，図２に示す第１の実施例のも
のにおいて遊輪１３ａ，１３ｃ及び１３ｂ，１３ｄを各
一対として連結板１４及び１５に対する取付けとするこ
とにより，走行方向の前後方向における揺動の補償作用
を行わせることができる。
生じる走行方向で左右となる横方向の車台の揺動や傾斜
作用の補償を考慮して連結板に支承体を介して連結する
一対としては横方向に対向する遊輪１３ａ，１３ｂ及び
１３ｃ，１３ｄさらに動輪１２ａ，１２ｂを夫々一対と
して選定した場合について述べた。しかし，用途によっ
ては，往復動の走行路を走行し，急停止する必要が生じ
る場所で搬送台車を使用することもある。したがって，
このような用途に適用する搬送台車としては，連結板の
取付けは，たとえば図１，図２に示す第１の実施例のも
のにおいて遊輪１３ａ，１３ｃ及び１３ｂ，１３ｄを各
一対として連結板１４及び１５に対する取付けとするこ
とにより，走行方向の前後方向における揺動の補償作用
を行わせることができる。
【００１１】
【発明の効果】本発明は上記のように搬送台車の車台と
各車輪間に防振手段と垂直方向に配置した上下スライド
機構を設け，且つ，一方向たとえば左右方向の一対の車
輪を連結板で連結するように構成したから，次のように
優れた効果を有する。 本発明の実施例に示すような車軸幅が小で，重心位置
が高くなるような型の搬送台車の懸架装置としては構造
が簡単で，したがって安価に構成でき，しかも本装置を
備えた搬送台車がグレ−チング等の床面を走行する際に
生じる荷台の上下方向の振動は上記防振手段と上下スラ
イド機構で完全に補償される。 また，ロボットのア−ム操作や，搬送台車の走行時の
右折，左折あるいは往復動の際に従来は生じていた左右
方向の荷台の揺動や傾斜，あるいは前後方向への揺動は
連結板と上下スライド機構との相乗作用によって略完全
に補償される。 したがって本発明を適用した搬送台車の荷台は搬送台
車の上記の各走行，搬送状態において常に安定した状態
となるから，上記荷台に載置される半導体ウエハ等の搬
送物品を搬送品に損傷させることはなくなった。このた
め，本発明装置を備えた搬送台車はクリ−ンル−ムにお
ける半導体ウエハ等の搬送に好適である。 このことは図７，図８に示す本発明の第１の実施例の
搬送台車と従来型のものとについて比較実験した結果に
よって次のように定量的にも確認されている。 即ち，図７は横軸は搬送台車の走行速度を縦軸は荷台の
振動の最大加速度を片振幅の目盛で示すものである。同
図中，Ｐは図１の上フレ−ム１１ａを荷台として，ま
た，Ｑは図９の車体フレ−ム２の上面を荷台として測定
した。この結果，図７に示すように，走行速度１．５ｋ
ｍ／ｈまでは，振動の最大加速度は０．２２Ｇ位に抑え
られ，また，走行速度が２．０ｋｍ／ｈに増大しても
０．４４Ｇ位までに抑えられ，Ｑに示す従来例のものに
比べて振動補償効果があることが判る。また，図８は図
７の走行速度２ｋｍ／ｈのときの単位時間（１秒）の各
荷台の振動の最大加速度を波形図で示したもので，同図
（Ａ）は従来例の場合を，同図（Ｂ）は本発明のものを
示す。なお，波形状態を見易くするため縦軸の長さを同
図（Ｂ）では拡大して示しているが，本発明の振動の振
幅が従来例のものより大幅に補償されている状態を確認
することができる。
各車輪間に防振手段と垂直方向に配置した上下スライド
機構を設け，且つ，一方向たとえば左右方向の一対の車
輪を連結板で連結するように構成したから，次のように
優れた効果を有する。 本発明の実施例に示すような車軸幅が小で，重心位置
が高くなるような型の搬送台車の懸架装置としては構造
が簡単で，したがって安価に構成でき，しかも本装置を
備えた搬送台車がグレ−チング等の床面を走行する際に
生じる荷台の上下方向の振動は上記防振手段と上下スラ
イド機構で完全に補償される。 また，ロボットのア−ム操作や，搬送台車の走行時の
右折，左折あるいは往復動の際に従来は生じていた左右
方向の荷台の揺動や傾斜，あるいは前後方向への揺動は
連結板と上下スライド機構との相乗作用によって略完全
に補償される。 したがって本発明を適用した搬送台車の荷台は搬送台
車の上記の各走行，搬送状態において常に安定した状態
となるから，上記荷台に載置される半導体ウエハ等の搬
送物品を搬送品に損傷させることはなくなった。このた
め，本発明装置を備えた搬送台車はクリ−ンル−ムにお
ける半導体ウエハ等の搬送に好適である。 このことは図７，図８に示す本発明の第１の実施例の
搬送台車と従来型のものとについて比較実験した結果に
よって次のように定量的にも確認されている。 即ち，図７は横軸は搬送台車の走行速度を縦軸は荷台の
振動の最大加速度を片振幅の目盛で示すものである。同
図中，Ｐは図１の上フレ−ム１１ａを荷台として，ま
た，Ｑは図９の車体フレ−ム２の上面を荷台として測定
した。この結果，図７に示すように，走行速度１．５ｋ
ｍ／ｈまでは，振動の最大加速度は０．２２Ｇ位に抑え
られ，また，走行速度が２．０ｋｍ／ｈに増大しても
０．４４Ｇ位までに抑えられ，Ｑに示す従来例のものに
比べて振動補償効果があることが判る。また，図８は図
７の走行速度２ｋｍ／ｈのときの単位時間（１秒）の各
荷台の振動の最大加速度を波形図で示したもので，同図
（Ａ）は従来例の場合を，同図（Ｂ）は本発明のものを
示す。なお，波形状態を見易くするため縦軸の長さを同
図（Ｂ）では拡大して示しているが，本発明の振動の振
幅が従来例のものより大幅に補償されている状態を確認
することができる。
【図１】本図（Ａ）は本発明の第１の実施例である搬送
台車の側面図，同図（Ｂ）は同図（Ａ）のＡ−Ａ’断面
図，同図（Ｃ）は後方側の遊輪近傍における搬送台車の
下面図である。
台車の側面図，同図（Ｂ）は同図（Ａ）のＡ−Ａ’断面
図，同図（Ｃ）は後方側の遊輪近傍における搬送台車の
下面図である。
【図２】図１に示す搬送台車の正面図である。
【図３】防振手段の構成例を示すもので，本図（Ａ）は
防振ゴムを，同図（Ｂ）は空気ばねを示す縦断正面図で
ある。
防振ゴムを，同図（Ｂ）は空気ばねを示す縦断正面図で
ある。
【図４】本発明の上下振動と横方向の揺動，傾斜の２つ
の補償作用を示すために描いた搬送台車の正面図で，本
図（Ａ）は本発明の構成中，連結板を欠いた構造のもの
を，また同図（Ｂ）は連結板を備えた本発明の基本構成
のものを示す。
の補償作用を示すために描いた搬送台車の正面図で，本
図（Ａ）は本発明の構成中，連結板を欠いた構造のもの
を，また同図（Ｂ）は連結板を備えた本発明の基本構成
のものを示す。
【図５】本発明の第２の実施例である搬送台車の側面図
である。
である。
【図６】図５に示した搬送台車の要部構成を示すもの
で，本図中，破断線Ｈ−Ｈ’の右方側は図５のＢ−Ｂ’
断面を，また，破断線Ｈ−Ｈ’の左方側は搬送台車の下
面図である。
で，本図中，破断線Ｈ−Ｈ’の右方側は図５のＢ−Ｂ’
断面を，また，破断線Ｈ−Ｈ’の左方側は搬送台車の下
面図である。
【図７】本発明のものと従来例のものとの比較のために
示す搬送台車の走行速度に対する荷台における振動の最
大加速度の関係特性図である。
示す搬送台車の走行速度に対する荷台における振動の最
大加速度の関係特性図である。
【図８】図７における搬送台車が２ｋｍ／ｈの走行速度
に対する荷台における振動の最大加速度の関係を単位時
間当たりで示した波形図で，本図（Ａ）は従来例の場合
を，また，同図（Ｂ）は本発明の場合を示す。
に対する荷台における振動の最大加速度の関係を単位時
間当たりで示した波形図で，本図（Ａ）は従来例の場合
を，また，同図（Ｂ）は本発明の場合を示す。
【図９】従来例の搬送台車の正面図である。
１１：車台（荷台） １１ａ：上フレ−ム １１ｂ：下フレ−ム １２ａ，１２ｂ：動輪 １３ａ〜１３ｄ：遊輪 １３ａ1〜１３ｄ1，２０ａ，２０ｂ：支承体 １４，１５，１９：連結板 １６ａ〜１６ｄ，２３：防振手段 １７ａ〜１７ｄ，２１，２２：上下スライド機構
Claims (6)
- 【請求項１】 車台上面に直接または荷台を介して搬送
物品を載置して走行する搬送台車において，上記車台と
各遊輪相互間に防振手段と垂直方向に配置した上下スラ
イド機構とを設けると共に，対向する一方向の遊輪の支
承体相互を一対として選択し，連結板で上記車台に連結
・支承するようにしたことを特徴とする搬送台車の懸架
装置。 - 【請求項２】 連結板で連結する遊輪の対として搬送台
車の走行方向で，左右横方向となる遊輪相互を選択する
ようにした請求項１記載の搬送台車の懸架装置。 - 【請求項３】 連結板で連結する遊輪の対として搬送台
車の走行方向で前後方向となる遊輪相互を選択するよう
にした請求項１記載の搬送台車の懸架装置。 - 【請求項４】 上記車台下面と各動輪相互間に防振手段
と垂直方向に配置したスライド機構とを設けると共に，
対向する各動輪の支承体相互間を１枚の連結板で，上記
車台に連結支承するようにした請求項１乃至３のいずれ
かに記載の搬送台車の懸架装置。 - 【請求項５】 上記防振手段としては防振ゴム，空気ば
ね等の減衰作用付きの防振手段とするようにした請求項
１乃至４のいずれかに記載の搬送台車の懸架装置。 - 【請求項６】 上記上下スライド機構としてはボ−ルブ
ッシュ等のリニアブッシュを用いるようにした請求項１
乃至５のいずれかに記載の搬送台車の懸架装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35301991A JPH05170102A (ja) | 1991-12-18 | 1991-12-18 | 搬送台車の懸架装置 |
| TW81106790A TW205024B (en) | 1991-12-18 | 1992-08-28 | Suspension device for cargo handling vehicles useful in carrying semiconductor products |
| KR1019920020989A KR100269724B1 (ko) | 1991-12-18 | 1992-11-10 | 반송대차의 현가장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35301991A JPH05170102A (ja) | 1991-12-18 | 1991-12-18 | 搬送台車の懸架装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05170102A true JPH05170102A (ja) | 1993-07-09 |
Family
ID=18428019
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35301991A Pending JPH05170102A (ja) | 1991-12-18 | 1991-12-18 | 搬送台車の懸架装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05170102A (ja) |
| KR (1) | KR100269724B1 (ja) |
| TW (1) | TW205024B (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5549175A (en) * | 1994-03-24 | 1996-08-27 | Nippondenso Co., Ltd. | Control system for carriage |
| JP2010269745A (ja) * | 2009-05-22 | 2010-12-02 | Kokuyo Co Ltd | キャスタ及びキャスタを備えた家具 |
| JP2019108092A (ja) * | 2017-12-20 | 2019-07-04 | 株式会社明電舎 | 無人搬送車 |
| JP2020508737A (ja) * | 2017-03-02 | 2020-03-26 | トラベルシス４ユー エルティーディー． | シート回転により操作されるモーター駆動式の椅子 |
| JP2021181295A (ja) * | 2020-05-20 | 2021-11-25 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 移動体、搬送装置、及び部品実装システム |
-
1991
- 1991-12-18 JP JP35301991A patent/JPH05170102A/ja active Pending
-
1992
- 1992-08-28 TW TW81106790A patent/TW205024B/zh active
- 1992-11-10 KR KR1019920020989A patent/KR100269724B1/ko not_active IP Right Cessation
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5549175A (en) * | 1994-03-24 | 1996-08-27 | Nippondenso Co., Ltd. | Control system for carriage |
| JP2010269745A (ja) * | 2009-05-22 | 2010-12-02 | Kokuyo Co Ltd | キャスタ及びキャスタを備えた家具 |
| JP2020508737A (ja) * | 2017-03-02 | 2020-03-26 | トラベルシス４ユー エルティーディー． | シート回転により操作されるモーター駆動式の椅子 |
| JP2019108092A (ja) * | 2017-12-20 | 2019-07-04 | 株式会社明電舎 | 無人搬送車 |
| JP2021181295A (ja) * | 2020-05-20 | 2021-11-25 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 移動体、搬送装置、及び部品実装システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TW205024B (en) | 1993-05-01 |
| KR100269724B1 (ko) | 2000-11-01 |
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