JPH0556510A - リニアモータ式ワーク搬送装置 - Google Patents
リニアモータ式ワーク搬送装置Info
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- JPH0556510A JPH0556510A JP3214972A JP21497291A JPH0556510A JP H0556510 A JPH0556510 A JP H0556510A JP 3214972 A JP3214972 A JP 3214972A JP 21497291 A JP21497291 A JP 21497291A JP H0556510 A JPH0556510 A JP H0556510A
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- Japan
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- secondary conductor
- work
- truck
- trolley
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P90/00—Enabling technologies with a potential contribution to greenhouse gas [GHG] emissions mitigation
- Y02P90/60—Electric or hybrid propulsion means for production processes
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- Linear Motors (AREA)
- Non-Mechanical Conveyors (AREA)
- Control Of Vehicles With Linear Motors And Vehicles That Are Magnetically Levitated (AREA)
- Control Of Linear Motors (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ワークを搭載する台車の走行速度を、ワーク
搭載の有無によって切換えるリニアモータ式ワーク搬送
装置の簡略化、高信頼度化。 【構成】 リニアモータ軌道（３）が敷設されたガイド
レール（２）上を走行する台車（５）の下面に２次導体
（６）を取付け、リニアモータユニット（3a）を間欠的
に敷設したリニアモータ軌道（３）の駆動で２次導体
（６）に発生する渦電流で台車（５）に推進力を付勢す
る。台車（５）に搭載されるワーク（４）の重量で２次
導体（６）を上昇させるパンタグラフ構造の２次導体変
位機構（７）を台車（５）に設ける。リニアモータユニ
ット（3a）と２次導体（６）の離反距離の大小で、台車
（５）の走行速度が低速と高速の間で切換えられる。
搭載の有無によって切換えるリニアモータ式ワーク搬送
装置の簡略化、高信頼度化。 【構成】 リニアモータ軌道（３）が敷設されたガイド
レール（２）上を走行する台車（５）の下面に２次導体
（６）を取付け、リニアモータユニット（3a）を間欠的
に敷設したリニアモータ軌道（３）の駆動で２次導体
（６）に発生する渦電流で台車（５）に推進力を付勢す
る。台車（５）に搭載されるワーク（４）の重量で２次
導体（６）を上昇させるパンタグラフ構造の２次導体変
位機構（７）を台車（５）に設ける。リニアモータユニ
ット（3a）と２次導体（６）の離反距離の大小で、台車
（５）の走行速度が低速と高速の間で切換えられる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造工場や製薬
工場などで使用されるワーク自動搬送装置で、詳しく
は、清浄空気雰囲気に保たれた工場の床上や天井付近に
地上一次制御方式のリニアモータ軌道を敷設し、このリ
ニアモータ軌道に沿わせてワークを搭載する台車を走行
させるようにしたリニアモータ式ワーク搬送装置に関す
る。
工場などで使用されるワーク自動搬送装置で、詳しく
は、清浄空気雰囲気に保たれた工場の床上や天井付近に
地上一次制御方式のリニアモータ軌道を敷設し、このリ
ニアモータ軌道に沿わせてワークを搭載する台車を走行
させるようにしたリニアモータ式ワーク搬送装置に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】半導体ウエーハのような微細な塵芥類を
嫌うワークの自動搬送装置として、清浄空気雰囲気に保
たれた工場のクリーンルームの床上を走行する、或い
は、同クリーンルームの天井に設置されたレールに架設
されて走行するモータ内蔵の自走搬送車を使用したもの
がある。この種の自走搬送車は、内蔵モータの回転力を
車輪に伝達するギヤ機構や、モータの給電手段である給
電ブラシなどが塵芥類の発生源となり、ここから発生し
た塵芥類でワークが汚染される心配がある。そこで、近
年においては、地上一次制御リニアモータで台車を走行
させるリニアモータ式ワーク搬送装置が、微細な塵芥類
の発生源の無いワークの自動搬送装置として注目され、
半導体製造工場のクリーンルームなどに多く設置される
傾向にある。
嫌うワークの自動搬送装置として、清浄空気雰囲気に保
たれた工場のクリーンルームの床上を走行する、或い
は、同クリーンルームの天井に設置されたレールに架設
されて走行するモータ内蔵の自走搬送車を使用したもの
がある。この種の自走搬送車は、内蔵モータの回転力を
車輪に伝達するギヤ機構や、モータの給電手段である給
電ブラシなどが塵芥類の発生源となり、ここから発生し
た塵芥類でワークが汚染される心配がある。そこで、近
年においては、地上一次制御リニアモータで台車を走行
させるリニアモータ式ワーク搬送装置が、微細な塵芥類
の発生源の無いワークの自動搬送装置として注目され、
半導体製造工場のクリーンルームなどに多く設置される
傾向にある。
【０００３】上記リニアモータ式ワーク搬送装置の従来
例を、図２及び図３を参照して説明する。同図に示すワ
ーク搬送装置（１）は、クリーンルームの天井に懸架さ
れ固定された長尺なガイドレール（２）上で台車（20）
を走行させる。ガイドレール（２）は両側にガイド壁
（2a）を有し、上面中央部に地上一次制御駆動方式のリ
ニアモータ軌道（３）を構成する台形のリニアモータユ
ニット（3a）が間欠的に一定の高さ、幅で敷設され固定
される。台車（20）は、矩形の本体（21）の４隅に車輪
（22）を取付けたもので、車輪（22）がガイドレール
（２）上をガイド壁（2a）でガイドされて転動すること
で、台車（20）はガイドレール（２）の長手方向に走行
する。台車（20）の本体（21）の下面中央部には、リニ
アモータ軌道（３）のリニアモータユニット（3a）に対
応させた２次導体（23）が固定され、本体（21）上に被
搬送物品のワーク（４）が位置決め搭載される。ワーク
（４）は、半導体ウエーハを収納したキャリアボックス
などである。
例を、図２及び図３を参照して説明する。同図に示すワ
ーク搬送装置（１）は、クリーンルームの天井に懸架さ
れ固定された長尺なガイドレール（２）上で台車（20）
を走行させる。ガイドレール（２）は両側にガイド壁
（2a）を有し、上面中央部に地上一次制御駆動方式のリ
ニアモータ軌道（３）を構成する台形のリニアモータユ
ニット（3a）が間欠的に一定の高さ、幅で敷設され固定
される。台車（20）は、矩形の本体（21）の４隅に車輪
（22）を取付けたもので、車輪（22）がガイドレール
（２）上をガイド壁（2a）でガイドされて転動すること
で、台車（20）はガイドレール（２）の長手方向に走行
する。台車（20）の本体（21）の下面中央部には、リニ
アモータ軌道（３）のリニアモータユニット（3a）に対
応させた２次導体（23）が固定され、本体（21）上に被
搬送物品のワーク（４）が位置決め搭載される。ワーク
（４）は、半導体ウエーハを収納したキャリアボックス
などである。
【０００４】リニアモータ軌道（３）のリニアモータユ
ニット（3a）と台車（20）の２次導体（23）は、一定間
隔で平行に対向する。リニアモータユニット（3a）に遠
隔の駆動制御回路（24）で周波数変調された交流を流す
と、リニアモータ軌道（３）のリニアモータユニット
（3a）に発生した磁界が２次導体（23）に作用して、２
次導体（23）に渦電流が発生する。この渦電流と磁界の
作用で、２次導体（23）が台車（20）にリニアモータ軌
道（３）の方向に推進力を付勢し、台車（20）がガイド
レール（２）上を走行し、次に敷設されたリニアモータ
ユニット（3a）で再び加速されながらほぼ定速で走行す
る。台車（20）の走行速度は、リニアモータ軌道（３）
のリニアモータユニット（3a）に流す交流の周波数変調
にて制御される。この走行速度は、ワーク（４）が例え
ば半導体ウエーハで、その総重量が10kg前後の場合、後
述するように１〜３ｍ／secの範囲で切換制御される。
ニット（3a）と台車（20）の２次導体（23）は、一定間
隔で平行に対向する。リニアモータユニット（3a）に遠
隔の駆動制御回路（24）で周波数変調された交流を流す
と、リニアモータ軌道（３）のリニアモータユニット
（3a）に発生した磁界が２次導体（23）に作用して、２
次導体（23）に渦電流が発生する。この渦電流と磁界の
作用で、２次導体（23）が台車（20）にリニアモータ軌
道（３）の方向に推進力を付勢し、台車（20）がガイド
レール（２）上を走行し、次に敷設されたリニアモータ
ユニット（3a）で再び加速されながらほぼ定速で走行す
る。台車（20）の走行速度は、リニアモータ軌道（３）
のリニアモータユニット（3a）に流す交流の周波数変調
にて制御される。この走行速度は、ワーク（４）が例え
ば半導体ウエーハで、その総重量が10kg前後の場合、後
述するように１〜３ｍ／secの範囲で切換制御される。
【０００５】ところで、台車（20）に搭載されて搬送さ
れるワーク（４）が半導体ウエーハの場合、これを無事
に搬送する台車（20）の走行速度の上限は約１ｍ／sec
である。すなわち、台車（20）を２〜３ｍ／sec以上の
速度で走行させると、搬送時の上下左右の振動や、搬送
方向がカーブしている搬送路での搬送時に、半導体ウエ
ーハに0.3Ｇ以上の急激な加速度が加わって、半導体ウ
エーハが損傷することがある。この損傷は、台車（20）
の走行速度を約１ｍ／sec以下に抑えることで防止され
る。また、クリーンルームに配置される台車（20）は複
数台あり、その内の何台かはワーク（４）を搭載しない
空台車の状態で走行する。この空台車をワーク搭載台車
と同じ１ｍ／secの速度で走行させると、全台車の走行
速度管理が容易となるが、全台車の稼動率が悪くなる。
そこで、ワーク搭載台車は、上記理由で約１ｍ／secの
低速速度Ｖｂで走行させ、空台車は２〜３ｍ／secの高
速速度Ｖａで走行させて、全台車の稼動率を上げるよう
にしている。
れるワーク（４）が半導体ウエーハの場合、これを無事
に搬送する台車（20）の走行速度の上限は約１ｍ／sec
である。すなわち、台車（20）を２〜３ｍ／sec以上の
速度で走行させると、搬送時の上下左右の振動や、搬送
方向がカーブしている搬送路での搬送時に、半導体ウエ
ーハに0.3Ｇ以上の急激な加速度が加わって、半導体ウ
エーハが損傷することがある。この損傷は、台車（20）
の走行速度を約１ｍ／sec以下に抑えることで防止され
る。また、クリーンルームに配置される台車（20）は複
数台あり、その内の何台かはワーク（４）を搭載しない
空台車の状態で走行する。この空台車をワーク搭載台車
と同じ１ｍ／secの速度で走行させると、全台車の走行
速度管理が容易となるが、全台車の稼動率が悪くなる。
そこで、ワーク搭載台車は、上記理由で約１ｍ／secの
低速速度Ｖｂで走行させ、空台車は２〜３ｍ／secの高
速速度Ｖａで走行させて、全台車の稼動率を上げるよう
にしている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記複数の台車（20）
の速度切換制御は、クリーンルームの中央コントロール
センターに配置した駆動制御回路（24）のコンピュータ
に、各台車（20）のワーク搭載有無のデータをインプッ
トして行われている。しかし、複数の台車（20）はクリ
ーンルームの様々な場所を同時走行したりするため、様
々な場所で複数の台車（20）の走行速度を、台車各々の
ワーク搭載有無のデータに基づいて切換えるとなると、
駆動制御回路（24）に複雑で高価なものを必要とし、ワ
ーク搬送装置全体が複雑、高コスト化する。また、台車
（20）のワーク搭載有無の判断、この判断に基づく台車
（20）の速度切換えが、常に正確に実行されるとは限ら
ず、ワーク搭載台車を空台車と誤判断して高速走行させ
て、ワークの半導体ウエーハなどを損傷させることがあ
った。
の速度切換制御は、クリーンルームの中央コントロール
センターに配置した駆動制御回路（24）のコンピュータ
に、各台車（20）のワーク搭載有無のデータをインプッ
トして行われている。しかし、複数の台車（20）はクリ
ーンルームの様々な場所を同時走行したりするため、様
々な場所で複数の台車（20）の走行速度を、台車各々の
ワーク搭載有無のデータに基づいて切換えるとなると、
駆動制御回路（24）に複雑で高価なものを必要とし、ワ
ーク搬送装置全体が複雑、高コスト化する。また、台車
（20）のワーク搭載有無の判断、この判断に基づく台車
（20）の速度切換えが、常に正確に実行されるとは限ら
ず、ワーク搭載台車を空台車と誤判断して高速走行させ
て、ワークの半導体ウエーハなどを損傷させることがあ
った。
【０００７】本発明の目的とするところは、台車のワー
ク搭載有無を確実に判断して、正確に台車の走行速度を
切換え、簡単な制御回路で台車を走行させるリニアモー
タ式ワーク搬送装置を提供することにある。
ク搭載有無を確実に判断して、正確に台車の走行速度を
切換え、簡単な制御回路で台車を走行させるリニアモー
タ式ワーク搬送装置を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、例えば、天井
に懸架された一次制御方式のリニアモータ軌道に沿わせ
て台車を、その下面に設けた２次導体と、間欠的に配さ
れてリニアモータ軌道を構成するリニアモータユニット
の間で発生させた推進力でもって走行させるワーク搬送
装置において、台車に搭載されるワークの重量に応動し
て、２次導体を台車に対して上下動させる２次導体変位
機構を台車に付設することで、上記目的を達成するもの
である。
に懸架された一次制御方式のリニアモータ軌道に沿わせ
て台車を、その下面に設けた２次導体と、間欠的に配さ
れてリニアモータ軌道を構成するリニアモータユニット
の間で発生させた推進力でもって走行させるワーク搬送
装置において、台車に搭載されるワークの重量に応動し
て、２次導体を台車に対して上下動させる２次導体変位
機構を台車に付設することで、上記目的を達成するもの
である。
【０００９】
【作用】台車の２次導体変位機構は、搭載ワークの重量
に応動して２次導体を上昇または下降させ、リニアモー
タ軌道との離反距離を変える。この離反距離の変化で、
リニアモータ軌道のリニアモータユニットの磁界で誘起
される２次導体の渦電流値が変化し、台車に付勢される
推進力が変化して、台車の走行速度が切換えられる。つ
まり、台車にワークが搭載されると、そのワーク重量で
２次導体変位機構が変位して、ワーク搭載が自動的に検
知されると共に、ワーク重量に応じて台車の走行速度が
自動的に確実、正確に切換えられる。従って、リニアモ
ータ軌道の駆動制御回路は、単にリニアモータ軌道を定
周波数駆動させるだけの簡単なものを使用すればよい。
に応動して２次導体を上昇または下降させ、リニアモー
タ軌道との離反距離を変える。この離反距離の変化で、
リニアモータ軌道のリニアモータユニットの磁界で誘起
される２次導体の渦電流値が変化し、台車に付勢される
推進力が変化して、台車の走行速度が切換えられる。つ
まり、台車にワークが搭載されると、そのワーク重量で
２次導体変位機構が変位して、ワーク搭載が自動的に検
知されると共に、ワーク重量に応じて台車の走行速度が
自動的に確実、正確に切換えられる。従って、リニアモ
ータ軌道の駆動制御回路は、単にリニアモータ軌道を定
周波数駆動させるだけの簡単なものを使用すればよい。
【００１０】
【実施例】一実施例を、図１（イ）と（ロ）に基づき説
明する。図１（イ）はワーク搭載無しの空台車（５）
を、図１（ロ）はワーク搭載台車（５）を示し、同図装
置の図２、図３と同一または相当部分には同一符号を付
して、説明は省略する。
明する。図１（イ）はワーク搭載無しの空台車（５）
を、図１（ロ）はワーク搭載台車（５）を示し、同図装
置の図２、図３と同一または相当部分には同一符号を付
して、説明は省略する。
【００１１】本発明のワーク搬送装置（10）において、
台車（５）は、天井懸架されたガイドレール（２）にガ
イドされて走行するもので、車輪（９）を備えた本体
（８）の中央部に上下を貫通させて設けた開口部（10）
に２次導体変位機構（７）が取付けられる。２次導体変
位機構（７）は、例えばパンタグラフ構造のリンク機構
で、ワーク（４）を位置決め搭載する水平な昇降台（1
1）と水平な２次導体（６）とを、Ｘ交差する同一長さ
のリンク（12）（12）で連結した構造である。一対のリ
ンク（12）（12）は支軸（13）に回転可能に連結されて
交差し、支軸（13）は本体（８）に固定される。一対の
リンク（12）（12）の上端部が昇降台（11）に回転可能
に、下端部が２次導体（６）に回転可能に連結される。
従って、昇降台（11）と２次導体は、一方を下降させる
と、他方が平行なまま上昇し、一方を下降させると他方
が上昇する。昇降台（11）は本体（８）上に突出して配
置され、昇降台（11）の周辺下面と本体（８）の上面の
間に複数の圧縮バネ（14）が装着される。昇降台（11）
は、圧縮バネ（14）で常時上方に弾力を受けて支持され
る。昇降台（11）は、本体（８）上に立設されたストッ
パー（15）に当る上限位置と、本体（８）上面に当る下
限位置の間で上下動する。この上下動に相応して２次導
体（６）が、本体（８）の下面とリニアモータ軌道
（３）上に間欠的に設けられたリニアモータユニット
（3a）の間で上下動する。
台車（５）は、天井懸架されたガイドレール（２）にガ
イドされて走行するもので、車輪（９）を備えた本体
（８）の中央部に上下を貫通させて設けた開口部（10）
に２次導体変位機構（７）が取付けられる。２次導体変
位機構（７）は、例えばパンタグラフ構造のリンク機構
で、ワーク（４）を位置決め搭載する水平な昇降台（1
1）と水平な２次導体（６）とを、Ｘ交差する同一長さ
のリンク（12）（12）で連結した構造である。一対のリ
ンク（12）（12）は支軸（13）に回転可能に連結されて
交差し、支軸（13）は本体（８）に固定される。一対の
リンク（12）（12）の上端部が昇降台（11）に回転可能
に、下端部が２次導体（６）に回転可能に連結される。
従って、昇降台（11）と２次導体は、一方を下降させる
と、他方が平行なまま上昇し、一方を下降させると他方
が上昇する。昇降台（11）は本体（８）上に突出して配
置され、昇降台（11）の周辺下面と本体（８）の上面の
間に複数の圧縮バネ（14）が装着される。昇降台（11）
は、圧縮バネ（14）で常時上方に弾力を受けて支持され
る。昇降台（11）は、本体（８）上に立設されたストッ
パー（15）に当る上限位置と、本体（８）上面に当る下
限位置の間で上下動する。この上下動に相応して２次導
体（６）が、本体（８）の下面とリニアモータ軌道
（３）上に間欠的に設けられたリニアモータユニット
（3a）の間で上下動する。
【００１２】図１（イ）の空台車（５）の場合、２次導
体変位機構（７）は圧縮バネ（14）のバネ力で昇降台
（11）がストッパー（15）に当る上限位置に保持され、
この時の２次導体（６）はリンク（12）（12）で下限位
置に保持される。下限位置の２次導体（６）とリニアモ
ータ軌道（３）のリニアモータユニット（3a）の離反距
離Ｈａは一定で、後述の大きさに設定される。図１
（イ）の状態でリニアモータ軌道（３）に駆動制御回路
（16）から所定の交流を流し、２次導体（６）に発生す
る渦電流で空台車（５）に推進力を与えて、空台車
（５）を走行させる。このときの空台車（５）の走行速
度は、２次導体（６）の渦電流値の大きさで決まり、渦
電流値は２次導体（６）とリニアモータ軌道（３）のリ
ニアモータユニット（3a）との離反距離に反比例する。
そこで、ワーク（４）が例えば半導体ウエーハで、台車
（５）の走行速度を１ｍ／secの低速速度Ｖｂと、２〜
３ｍ／secの高速速度Ｖａの２段階で切換える場合、上
記離反距離Ｈａを空台車（５）が高速速度Ｖａで走行す
る所定の大きさに設定する。すると、空台車（５）は、
常に所定の高速速度Ｖａでガイドレール（２）上を走行
する。空台車（５）の走行速度の変更は、リニアモータ
軌道（３）の周波数変調ででも可能であるが、台車
（５）のストッパー（15）の高さを変更させて、２次導
体（６）の下限位置の高さを変更させ、発生する渦電流
値を変える方式で行うのが、機構的かつ制御回路的に簡
単、有利に実行できる。
体変位機構（７）は圧縮バネ（14）のバネ力で昇降台
（11）がストッパー（15）に当る上限位置に保持され、
この時の２次導体（６）はリンク（12）（12）で下限位
置に保持される。下限位置の２次導体（６）とリニアモ
ータ軌道（３）のリニアモータユニット（3a）の離反距
離Ｈａは一定で、後述の大きさに設定される。図１
（イ）の状態でリニアモータ軌道（３）に駆動制御回路
（16）から所定の交流を流し、２次導体（６）に発生す
る渦電流で空台車（５）に推進力を与えて、空台車
（５）を走行させる。このときの空台車（５）の走行速
度は、２次導体（６）の渦電流値の大きさで決まり、渦
電流値は２次導体（６）とリニアモータ軌道（３）のリ
ニアモータユニット（3a）との離反距離に反比例する。
そこで、ワーク（４）が例えば半導体ウエーハで、台車
（５）の走行速度を１ｍ／secの低速速度Ｖｂと、２〜
３ｍ／secの高速速度Ｖａの２段階で切換える場合、上
記離反距離Ｈａを空台車（５）が高速速度Ｖａで走行す
る所定の大きさに設定する。すると、空台車（５）は、
常に所定の高速速度Ｖａでガイドレール（２）上を走行
する。空台車（５）の走行速度の変更は、リニアモータ
軌道（３）の周波数変調ででも可能であるが、台車
（５）のストッパー（15）の高さを変更させて、２次導
体（６）の下限位置の高さを変更させ、発生する渦電流
値を変える方式で行うのが、機構的かつ制御回路的に簡
単、有利に実行できる。
【００１３】図１（ロ）は、２次導体変位機構（７）の
昇降台（11）にワーク（４）を搭載した台車（５）を示
す。この場合、ワーク（４）の重量Ｗで圧縮バネ（14）
が圧縮されて昇降台（11）が下降し、リンク（12）（1
2）が支軸（13）を支点に回転して、２次導体（６）が
上昇し、リニアモータ軌道（３）のリニアモータユニッ
ト（3a）との離反距離Ｈｂが増大する。ここでリニアモ
ータ軌道（３）を空台車（５）の搬送時と同じ条件で駆
動させると、２次導体（６）の下降による離反距離Ｈｂ
の増大分に反比例して、２次導体（６）で発生する渦電
流値が低下し、台車（５）の推進力が低下してワーク搭
載台車（５）の走行速度が落ちる。この時のワーク搭載
台車（５）の走行速度が所定の低速速度Ｖｂになるよう
に、前記離反距離Ｈｂが設定される。従って、台車
（５）にワーク（４）を搭載するだけで、台車（５）の
走行速度が高速から低速に自動的に切換わり、かつ、こ
の速度切換え動作は駆動制御回路（16）を介することな
く確実、迅速に行われる。同様にして、台車（５）から
ワーク（４）を取り外して空台車（５）としたときは、
低速から高速にと速度切換えが確実、迅速に行われる。
上記ワーク（４）を搭載した台車（５）の圧縮バネ（1
4）は、台車（５）からワーク（４）に伝わる振動を吸
収するショックアブソーバの作用をして、ワーク（４）
の損傷をより効果的に防止する。
昇降台（11）にワーク（４）を搭載した台車（５）を示
す。この場合、ワーク（４）の重量Ｗで圧縮バネ（14）
が圧縮されて昇降台（11）が下降し、リンク（12）（1
2）が支軸（13）を支点に回転して、２次導体（６）が
上昇し、リニアモータ軌道（３）のリニアモータユニッ
ト（3a）との離反距離Ｈｂが増大する。ここでリニアモ
ータ軌道（３）を空台車（５）の搬送時と同じ条件で駆
動させると、２次導体（６）の下降による離反距離Ｈｂ
の増大分に反比例して、２次導体（６）で発生する渦電
流値が低下し、台車（５）の推進力が低下してワーク搭
載台車（５）の走行速度が落ちる。この時のワーク搭載
台車（５）の走行速度が所定の低速速度Ｖｂになるよう
に、前記離反距離Ｈｂが設定される。従って、台車
（５）にワーク（４）を搭載するだけで、台車（５）の
走行速度が高速から低速に自動的に切換わり、かつ、こ
の速度切換え動作は駆動制御回路（16）を介することな
く確実、迅速に行われる。同様にして、台車（５）から
ワーク（４）を取り外して空台車（５）としたときは、
低速から高速にと速度切換えが確実、迅速に行われる。
上記ワーク（４）を搭載した台車（５）の圧縮バネ（1
4）は、台車（５）からワーク（４）に伝わる振動を吸
収するショックアブソーバの作用をして、ワーク（４）
の損傷をより効果的に防止する。
【００１４】ワーク（４）の重量の大小に応じて、２次
導体変位機構（７）の２次導体（６）の下降位置が段階
的に異なるように、圧縮バネ（14）のバネ力を設定して
おくと、ワーク（４）の重量に応じてワーク搭載台車
（５）の走行速度を段階的に相違させることができる。
導体変位機構（７）の２次導体（６）の下降位置が段階
的に異なるように、圧縮バネ（14）のバネ力を設定して
おくと、ワーク（４）の重量に応じてワーク搭載台車
（５）の走行速度を段階的に相違させることができる。
【００１５】なお、本考案は上記実施例に限らず、特に
台車の２次導体変位機構はパンタグラフ構造以外のもの
でもよく、例えばワークの種類によっては、台車にワー
クを搭載したときのワーク重量で台車の２次導体を下降
させ、台車の走行速度を低速から高速に切換える構造の
ものを適用することも可能である。また、台車のワーク
搭載面一部に、ワークの荷重で押し下げられる突起を設
け、この突起の降下で２次導体を上昇または下降させる
２次導体変位機構を台車に付設することも可能である。
台車の２次導体変位機構はパンタグラフ構造以外のもの
でもよく、例えばワークの種類によっては、台車にワー
クを搭載したときのワーク重量で台車の２次導体を下降
させ、台車の走行速度を低速から高速に切換える構造の
ものを適用することも可能である。また、台車のワーク
搭載面一部に、ワークの荷重で押し下げられる突起を設
け、この突起の降下で２次導体を上昇または下降させる
２次導体変位機構を台車に付設することも可能である。
【００１６】また、上記実施例では天井懸架方式のリニ
アモータ式ワーク搬送装置の一具体例について述べた
が、本発明はこれに限定されることなく、床上走行方式
のものに適用しうることは言うまでもない。
アモータ式ワーク搬送装置の一具体例について述べた
が、本発明はこれに限定されることなく、床上走行方式
のものに適用しうることは言うまでもない。
【００１７】
【発明の効果】本発明によれば、台車に設けた２次導体
変位機構がリニアモータ軌道のリニアモータユニットと
台車の２次導体の離反距離を、台車に搭載されるワーク
重量に応じて自動的に切換え、この切換えで２次導体に
発生する渦電流値が切換えられて、台車の走行速度が低
速から高速、或いはその逆に自動的に切換えられる。従
って、台車のワーク搭載有無に基づく走行速度切換え制
御が、リニアモータの駆動制御回路側で行うことなく、
台車にワークを置くか否かの単純で、確実な動作だけで
実行でき、半導体ウエーハなどのワーク搬送に好適な誤
動作のない高信頼度のワーク搬送装置が提供できる。ま
た、台車の２次導体変位機構が台車の走行速度の自動切
換え手段として機能するので、リニアモータの駆動制御
回路は、複雑な速度切換回路を必要としない簡単で安価
な回路が使用できる効果がある。
変位機構がリニアモータ軌道のリニアモータユニットと
台車の２次導体の離反距離を、台車に搭載されるワーク
重量に応じて自動的に切換え、この切換えで２次導体に
発生する渦電流値が切換えられて、台車の走行速度が低
速から高速、或いはその逆に自動的に切換えられる。従
って、台車のワーク搭載有無に基づく走行速度切換え制
御が、リニアモータの駆動制御回路側で行うことなく、
台車にワークを置くか否かの単純で、確実な動作だけで
実行でき、半導体ウエーハなどのワーク搬送に好適な誤
動作のない高信頼度のワーク搬送装置が提供できる。ま
た、台車の２次導体変位機構が台車の走行速度の自動切
換え手段として機能するので、リニアモータの駆動制御
回路は、複雑な速度切換回路を必要としない簡単で安価
な回路が使用できる効果がある。
【図１】本発明の一実施例を示す部分断面を含む側面図
で、（イ）はワーク搭載無しの空台車、（ロ）はワーク
搭載台車の場合を示す。
で、（イ）はワーク搭載無しの空台車、（ロ）はワーク
搭載台車の場合を示す。
【図２】従来のリニアモータ式ワーク搭載装置の側面図
【図３】図２のＡ−Ａ線に沿う断面図
３ リニアモータ軌道 3a リニアモータユニット ４ ワーク ５ 台車 ６ ２次導体 ７ ２次導体変位機構 10 リニアモータ式ワーク搬送装置
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０２Ｐ 7/00 １０１ Ａ 8835−5Ｈ
Claims (3)
- 【請求項１】 一次制御方式のリニアモータ軌道と、ワ
ークを適宜搭載してリニアモータ軌道に沿って走行する
台車と、台車の下面のリニアモータ軌道と平行に対向す
る位置に支持され、間欠的に配されてリニアモータ軌道
を構成するリニアモータユニットの駆動で誘起される渦
電流で台車にリニアモータ軌道と平行な方向に推進力を
付勢する２次導体とを有するワーク搬送装置であって、 前記台車に、この台車に搭載されるワークの重量に応動
して、前記２次導体を台車に対して上下動させる２次導
体変位機構を付設したことを特徴とするリニアモータ式
ワーク搬送装置。 - 【請求項２】 前記２次導体変位機構が、台車に搭載さ
れるワークの重量に反比例して、前記２次導体を台車に
対して離間させるものであることを特徴とする請求項１
記載のリニアモータ式ワーク搬送装置。 - 【請求項３】 前記２次導体変位機構が、パンタグラフ
機構を有することを特徴とする請求項１又は請求項２記
載のリニアモータ式ワーク搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3214972A JPH0556510A (ja) | 1991-08-27 | 1991-08-27 | リニアモータ式ワーク搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3214972A JPH0556510A (ja) | 1991-08-27 | 1991-08-27 | リニアモータ式ワーク搬送装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0556510A true JPH0556510A (ja) | 1993-03-05 |
Family
ID=16664605
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3214972A Pending JPH0556510A (ja) | 1991-08-27 | 1991-08-27 | リニアモータ式ワーク搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0556510A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003041792A (ja) * | 2001-07-31 | 2003-02-13 | Kokuyo Co Ltd | 昇降ステップ装置 |
| JP2018193177A (ja) * | 2017-05-17 | 2018-12-06 | キヤノン株式会社 | 搬送システム、加工システム及び搬送システムの制御方法 |
| CN110316212A (zh) * | 2018-03-30 | 2019-10-11 | 比亚迪股份有限公司 | 一种轨道车辆的转向架 |
-
1991
- 1991-08-27 JP JP3214972A patent/JPH0556510A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003041792A (ja) * | 2001-07-31 | 2003-02-13 | Kokuyo Co Ltd | 昇降ステップ装置 |
| JP4522026B2 (ja) * | 2001-07-31 | 2010-08-11 | コクヨ株式会社 | 昇降ステップ装置 |
| JP2018193177A (ja) * | 2017-05-17 | 2018-12-06 | キヤノン株式会社 | 搬送システム、加工システム及び搬送システムの制御方法 |
| CN110316212A (zh) * | 2018-03-30 | 2019-10-11 | 比亚迪股份有限公司 | 一种轨道车辆的转向架 |
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