KR102621132B1 - 이물질 제거가 가능한 청정 호이스트 이송장치 - Google Patents

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Abstract

제조정밀성이 개선되도록, 본 발명은 길이방향으로 연장된 레일몸체의 하단에 안착면부가 양측으로 확장 형성된 레일빔을 따라 레일 이동되도록 구비되는 이물질 제거가 가능한 청정 호이스트 이송장치에 있어서, 상기 레일몸체의 폭방향 양측에 구비되는 구동프레임과, 상기 구동프레임에 연결되되 상기 안착면부의 상면에 구름 접촉되는 구동롤러를 포함하는 이송대차부; 상기 구동프레임의 일측에 고정되되, 상기 구동롤러에 구동 연결되는 롤러구동부; 상기 구동프레임의 하부에 연결되는 호이스트구동부와, 상기 호이스트구동부에 구동 연결되되 하향 연장되는 리프팅후크를 포함하는 호이스트부; 상기 롤러구동부 및 상기 호이스트구동부의 하부를 커버하도록 구비되는 제1낙하방지판; 상기 구동프레임의 전후단에 배치되되 상기 안착면부의 상면에 마찰 접촉되는 마찰부재와, 상기 마찰부재의 중앙부를 관통하도록 구비되는 흡입관을 포함하는 마찰석션부; 및 상기 각 흡입관에 석션라인을 통해 배관 연결되되 상기 제1낙하방지판의 상부 타측에 구비되는 흡입펌프를 포함하는 이물질 제거가 가능한 청정 호이스트 이송장치를 제공한다.

Description

이물질 제거가 가능한 청정 호이스트 이송장치{clean hoist transfer with debris removal}
본 발명은 이물질 제거가 가능한 청정 호이스트 이송장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 제조정밀성이 개선되는 이물질 제거가 가능한 청정 호이스트 이송장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체와 LCD 등을 생산하는 반도체 및 디스플레이 공정에서 웨이퍼, 패널 자재 등을 효율적으로 반송시키기 위한 용도로 호이스트 이송장치(Hoist Transfer)가 대차로서 사용되고 있다.
이러한 호이스트 이송장치는 반도체 자동 반송장비 중 가장 제작 및 구동 난이도가 높으며 고부가가치 장비로 반도체 공장 천장에 고정돼 있는 주행레일을 따라 공정간 반송을 담당한다.
또한, 호이스트 이송장치는 클린룸에 설치되며, 이러한 클린룸은 주로 반도체, 전자기기, 정밀기계공업 등 첨단산업의 제품생산설비에서 부유 미립자가 제조중인 제품에 부착되지 않도록 함으로써 제품의 불량을 방지하고, 제품의 정밀화, 미소화, 고품질화 및 고 신뢰성을 확보하기 위한 것으로, 공장 전체 또는 중요한 작업이 이루어지는 부분에 대해서 청정한 환경을 유지하도록 설비된다.
그러나, 종래의 호이스트 이송장치는 우레탄 등으로 형성된 차륜이 주행레일을 따라 고속 이동하며 마찰에 의한 분진(Particle)이 발생하는 문제점이 있었다.
구체적으로, 전동기 등과 같은 구동원에 의해 회전 주행하는 차륜이 매우 빠른 속도로 회전하게 되므로 주행 동작 중에는 많은 분진이 발생하고, 이와 같이 발생된 분진은 빠른 차륜의 회전에 의해 비산된다.
즉, 차륜에서 발생하는 분진이 클린룸 내에서 부유하며 제조중인 반도체 등에 부착되어 제품 불량이 발생하여 제품 수율에 좋지 않은 영향을 미치게 된다.
이와 같은 문제점을 해결하기 위해 호이스트 이송장치는 주행레일을 따라 이동하는 도중 주행레일에 있는 이물질에 의해 상기 탑재 기구에 탑재된 반도체 소자가 오염되는 것을 방지하기 위하여 주행레일과 실질적으로 결합하여 이동하는 구동 휠의 전방 또는 후방에 상기 이물질을 흡입할 수 있는 흡입부를 포함하도록 구성된다.
그러나, 이물질이 주행레일에 소정의 접착력을 갖고 달라붙어 있을 경우에는 흡입부에 의해 흡입되지 못하고, 언젠가는 떨어져서 상기 반도체 소자를 오염시킬 우려가 있다.
뿐만 아니라, 종래의 호이스트 이송장치에는 브러시와 흡입부를 통해 주행레일을 청소하는 구성이 공지되었지만, 주행레일만을 청소할 뿐 무선으로 호이스트 이송장치에 전력을 공급하도록 고주파 트랙케이블이 매설된 전원레일을 청소하는 구성이 개시된 바 없었다.
따라서, 차륜에서 발생하는 분진 및 레일에 부착된 이물질을 집진하는 호이스트 이송장치의 개발이 요구되고 있는 실정이다.
한국 등록특허 제10-2266955호
상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명은 제조정밀성이 개선되는 이물질 제거가 가능한 청정 호이스트 이송장치를 제공하는 것을 해결과제로 한다.
상기의 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은 길이방향으로 연장된 레일몸체의 하단에 안착면부가 양측으로 확장 형성된 레일빔을 따라 레일 이동되도록 구비되는 이물질 제거가 가능한 청정 호이스트 이송장치에 있어서, 상기 레일몸체의 폭방향 양측에 구비되는 구동프레임과, 상기 구동프레임에 연결되되 상기 안착면부의 상면에 구름 접촉되는 구동롤러를 포함하는 이송대차부; 상기 구동프레임의 일측에 고정되되, 상기 구동롤러에 구동 연결되는 롤러구동부; 상기 구동프레임의 하부에 연결되는 호이스트구동부와, 상기 호이스트구동부에 구동 연결되되 하향 연장되는 리프팅후크를 포함하는 호이스트부; 상기 롤러구동부 및 상기 호이스트구동부의 하부를 커버하도록 구비되는 제1낙하방지판; 상기 구동프레임의 전후단에 배치되되 상기 안착면부의 상면에 마찰 접촉되는 마찰부재와, 상기 마찰부재의 중앙부를 관통하도록 구비되는 흡입관을 포함하는 마찰석션부; 및 상기 각 흡입관에 석션라인을 통해 배관 연결되되 상기 제1낙하방지판의 상부 타측에 구비되는 흡입펌프를 포함하는 이물질 제거가 가능한 청정 호이스트 이송장치를 제공한다.
여기서, 상기 구동프레임의 전후단에 각각 구비되되 상단으로부터 절곡연장부가 절곡 연장되며 상기 레일빔의 외면에 구름 접촉되는 복수개의 감진롤러가 연결된 복수개의 브라켓을 포함하고, 상기 감진롤러는, 상기 브라켓에 축 연결되되 상기 안착면부의 상면에 구름 접촉되는 제1감진롤러와, 상기 절곡연장부에 축 연결되되 상기 레일몸체의 양측면에 구름 접촉되는 제2감진롤러를 포함함이 바람직하다.
이때, 상기 브라켓의 하부에는 상기 안착면부의 하측으로 하향 이격되는 하부연결부가 구비되고, 상기 안착면부의 하측에 이격되며 길이방향을 따라 연장되되 양단이 각 상기 하부연결부에 연결되는 연결프레임을 더 포함함이 바람직하다.
또한, 상기 마찰석션부는 상기 브라켓에 고정 결합됨이 바람직하다.
그리고, 상기 제1낙하방지판의 일측에는 상기 리프팅후크가 1차 관통 삽입되는 제1관통홀이 관통 형성되고, 상기 리프팅후크와 이격되며 상기 제1낙하방지판의 하부로부터 하향 연장되는 연결라인의 하단에 연결되되 상기 제1낙하방지판과 평행하게 상호 이격되며 상기 리프팅후크가 2차 관통 삽입되는 제2관통홀이 관통 형성된 제2낙하방지판을 더 포함함이 바람직하다.
상기의 해결 수단을 통하여, 본 발명은 다음과 같은 효과를 제공한다.
첫째, 레일빔의 안착면부 상면에 구름 접촉되는 구동롤러를 통해 이송대차부가 레일빔을 따라 왕복 이동시 구동프레임의 전후단에 구비된 마찰석션부가 안착면부상에 발생하는 분진을 즉시 진공 흡착하여 제거하여 분진의 낙하가 방지되므로 반도체공정에서 불순물의 첨가가 예방되어 제조정밀성이 현저히 개선될 수 있다.
둘째, 구동프레임의 전후단에 구비된 브라켓에 흡입관이 고정결합부를 매개로 고정됨과 동시에 브라켓에 구비된 감진롤러가 레일빔의 안착면부 및 레일몸체 양면에 다중으로 구름 접촉되므로 이송대차부의 진동발생 및 기울어짐이 실직적으로 제거되어 분진의 비산이 현저히 저감되며 구동정밀성이 현저히 개선될 수 있다.
셋째, 안착면부 하측으로 하향 이격되며 길이방향을 따라 연장되되 양단이 브라켓의 하부에 구비된 각 하부연결부에 연결되는 연결프레임을 통해 각 브라켓이 상호 연결되어 일체화된 움직임으로 동시에 이동되므로 진동이 현저히 저감되어 비산되는 분진이 현저히 감소될 수 있다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 이물질 제거가 가능한 청정 호이스트 이송장치를 나타낸 사시도.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 이물질 제거가 가능한 청정 호이스트 이송장치를 나타낸 측면도.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 이물질 제거가 가능한 청정 호이스트 이송장치를 나타낸 정단면도.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 이물질 제거가 가능한 청정 호이스트 이송장치에서 브라켓 및 마찰섹션부를 나타낸 예시도.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 이물질 제거가 가능한 청정 호이스트 이송장치에서 브라켓 및 감진롤러를 나타낸 정단면도.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 이물질 제거가 가능한 청정 호이스트 이송장치에서 브라켓 및 감진롤러를 나타낸 사시도.
도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 이물질 제거가 가능한 청정 호이스트 이송장치에서 브라켓 및 감진롤러의 사용상태를 나타낸 예시도.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 이물질 제거가 가능한 청정 호이스트 이송장치를 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일실시예에 따른 이물질 제거가 가능한 청정 호이스트 이송장치를 나타낸 사시도이고, 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 이물질 제거가 가능한 청정 호이스트 이송장치를 나타낸 측면도이며, 도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 이물질 제거가 가능한 청정 호이스트 이송장치를 나타낸 정단면도이고, 도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 이물질 제거가 가능한 청정 호이스트 이송장치에서 브라켓 및 마찰섹션부를 나타낸 예시도이며, 도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 이물질 제거가 가능한 청정 호이스트 이송장치에서 브라켓 및 감진롤러를 나타낸 정단면도이고, 도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 이물질 제거가 가능한 청정 호이스트 이송장치에서 브라켓 및 감진롤러를 나타낸 사시도이며, 도 7은 본 발명의 일실시예에 따른 이물질 제거가 가능한 청정 호이스트 이송장치에서 브라켓 및 감진롤러의 사용상태를 나타낸 예시도이다.
도 1 내지 도 7에서 보는 바와 같이, 본 발명의 일실시예에 따른 이물질 제거가 가능한 청정 호이스트 이송장치(100)는 이송대차부(10), 롤러구동부(20), 호이스트부(30), 제1낙하방지판(40), 마찰석션부(50) 및 흡입펌프(55)를 포함한다.
이때, 본 발명에서 길이방향 및 전후방향이라 함은 상기 레일빔(1)의 길이방향(f)을 의미하며, 폭방향이라 함은 상기 레일빔(1)의 폭방향(w)을 의미하고, 상하방향이라 함은 상기 레일빔(1)의 상하방향(h)을 의미한다.
그리고, 본 발명의 일실시예에서 상기 이물질 제거가 가능한 청정 호이스트 이송장치(100)는 'I'자 단면 형상의 철골로서 구비되는 레일빔(1)을 따라 레일 이동되도록 구비된다. 이때, 상기 레일빔(1)은 길이방향으로 기설정된 폭을 갖는 레일몸체(1a)가 연장되고, 상기 레일몸체(1a)의 하단에 안착면부(1b)가 폭방향 양측으로 일체로 확장 형성되어 길이방향으로 연장된다. 이때, 상기 레일빔(1)은 일반적으로 강철 등의 재질로 구비되어 마찰 발생시 쇳가루 등의 분진 및 이물질이 발생할 수 있는데 상기 이물질 제거가 가능한 청정 호이스트 이송장치(100)를 통해 발생한 분진 및 이물질을 신속하게 제거하여 공정시 발생하는 이물질을 신속하게 제거하여 반도체 공정 등에서 제조되는 제조품의 불량률을 최소화할 수 있다.
여기서, 상기 이송대차부(10)는 상기 레일몸체(1a)의 폭방향 양측에 구비되는 구동프레임(11)과, 상기 구동프레임(11)에 연결되되 상기 안착면부(1b)의 상면에 구름 접촉되는 구동롤러(12)를 포함한다.
이때, 본 발명의 일실시예에서 상기 구동롤러(12)는 총 4개 구비되어, 상기 레일몸체(1a)의 폭방향 양측에 각각 2개씩 전후방향을 따라 배치될 수 있으며, 상호 전후방향으로 정렬된 한쌍의 각 상기 구동롤러(12)가 상기 구동프레임(11)에 의해 커버된 상태로 배치될 수 있다. 이때, 커버된다 함은 상기 구동프레임(11)의 외측으로부터 상기 구동롤러(12)가 육안으로 보이지 않도록 배치됨을 의미한다.
또한, 본 발명의 일실시예에서 상기 구동프레임(11)은 한쌍으로 구비되어 상기 레일몸체(1a)의 폭방향 양측에 각각 배치될 수 있으며, 각각 2개의 각 상기 구동롤러(12)의 외측을 감싸는 형태로 배치될 수 있다. 이때, 각 상기 구동프레임(11)은 상기 레일몸체(1a)에 대향되는 내측면 및 하면이 개구된 중공형의 육면체 형상의 금속 재질로 구비될 수 있다.
그리고, 각 상기 구동롤러(12)는 상기 구동프레임(11)의 내면에 각각 축 연결됨이 바람직하며, 롤러의 외주가 상기 안착면부(1b)의 상면에 구름 접촉된다. 이때, 각 상기 구동롤러(12)의 직경이 상기 구동프레임(11)의 높이 미만으로 설정될 수 있다. 여기서, 상기 구동롤러(12)는 불코란(VULKOLLAN), 합성고무, 합성수지 재질 등으로 구비됨이 바람직하다.
또한, 상기 롤러구동부(20)는 상기 구동프레임(11)의 일측에 고정되되, 각 상기 구동롤러(12)에 구동 연결되는 모터 등의 구동장치로서 구비됨이 바람직하다. 이때, 본 발명의 일실시예에서 상기 롤러구동부(20)는 상기 구동프레임(11)의 외측면에 배치될 수 있다.
한편, 상기 호이스트부(30)는 상기 구동프레임(11)의 하부에 연결되는 호이스트구동부(31)와, 상기 호이스트구동부(31)에 구동 연결되되 하향 연장되는 리프팅후크(33)와, 상기 호이스트구동부(31) 및 상기 리프팅후크(33) 사이를 구동 연결하는 리프팅연결부(32)를 포함하여 구비될 수 있다.
이때, 상기 호이스트구동부(31)는 상기 구동프레임(11)의 하부에 연결되는 호이스트연결프레임과, 상기 호이스트연결프레임에 구비되어 상기 리프팅후크(33)를 승강시키기 위한 모터 등의 구동장치를 포함하여 구비될 수 있다. 예컨대, 상기 호이스트구동부(31)가 구동되면 도르래, 자바라 등으로 구비되는 리프팅연결부(32)를 통해 상기 리프팅후크(33)가 상하방향으로 승강될 수 있다.
한편, 상기 제1낙하방지판(40)은 상기 롤러구동부(20) 및 상기 호이스트구동부(31)의 하부를 커버하도록 구비되며, 상기 롤러구동부(20) 및 상기 호이스트구동부(31)의 하부에 구비되어 상기 호이스트부(30)에 일측이 연결되며 평판형으로 구비됨이 바람직하다.
이때, 상기 제1낙하방지판(40)은 상기 레일빔(1)의 하측에 이격 배치되며, 상기 제1낙하방지판(40)의 상측에 상기 구동롤러부(10), 후술되는 흡입관(51), 마찰부재(53) 및 상기 브라켓(60)이 배치될 수 있다. 또한, 상기 제1낙하방지판(40)은 상기 레일빔(1)에서 미연에 낙하되는 분진이 안착되도록 기설정된 면적으로 구비될 수 있다.
또한, 상기 제1낙하방지판(40)의 일측에는 상기 리프팅연결부(32) 및 상기 리프팅후크(33)가 하향 관통 삽입되도록 제1관통홀(41)이 상하방향으로 관통 형성될 수 있다.
그리고, 상기 제1낙하방지판(40)의 타측 상면에는 후술되는 흡입펌프(55)가 안착되어 고정될 수 있다. 이때, 상기 제1낙하방지판(40)의 일측 및 타측 사이의 경계영역이 단차지게 형성될 수도 있다. 즉, 상기 흡입펌프(55)의 상단이 상기 레일빔(1)의 하단으로부터 하향 이격되도록 상기 제1낙하방지판(40)의 일측 높이가 상기 제1낙하방지판(40)의 타측 높이보다 높게 설정될 수도 있다. 물론, 상기 제1낙하방지판(40) 전체가 평탄면으로 형성될 수도 있다.
한편, 상기 마찰석션부(50)는 상기 구동프레임(11)의 전후단에 각각 구비되는 흡입관(51)과, 상기 구동프레임(11)의 전후단에 각각 배치되며 상기 흡입관(51)의 단부 테두리(52)에 구비되되 상기 안착면부(1b)의 상면에 마찰 접촉되는 마찰부재(53)를 포함하여 구비됨이 바람직하다. 이러한 상기 마찰석션부(50)는 상기 브라켓(60)에 고정 결합됨이 바람직하다.
상세히, 상기 마찰부재(53)는 솔, 부직포, 헝겊 중 어느 하나로서 구비될 수 있으며, 상기 안착면부(1b)의 상면에 마찰 접촉됨이 바람직하다. 이러한 상기 마찰부재(53)의 상부는 상기 흡입관(51)의 단부 테두리(52)에 착탈되어 고정될 수 있다. 또한, 상기 마찰부재(53)는 솔 등으로 구비시 무정전 폴리에틸렌 재질로서 구비될 수 있다.
그리고, 상기 흡입관(51)의 단부 테두리(52)는 상기 흡입관(51)의 단부로부터 외측으로 확장될 수 있으며, 예컨대 사각 단면 형상으로 형성되어 상기 안착면부(1b)의 상면 일측에 대향 배치될 수 있다.
또한, 상기 흡입관(51)은 배관 형태로 구비되어 상기 마찰부재(53)의 중앙부를 관통하도록 구비되며, 일단부가 상기 안착면부(1b)의 상면에 대향되고, 타단부에 흡입펌프(55)에 연결된 유연하게 굴곡 가능한 배관 형태의 석션라인(54)이 연결될 수 있다. 이때, 상기 흡입펌프(55)는 진공압 형성을 위해 상기 각 흡입관(51)에 석션라인(54)을 통해 배관 연결되되 상기 제1낙하방지판(40)의 상부 타측에 구비될 수 있다.
이를 통해, 상기 구동롤러부(10)의 구동롤러(12)가 상기 레일빔(1)의 길이방향을 따라 왕복 이동시 상기 흡입펌프(55)가 구동됨에 따라 상기 안착면부(1b)의 상면에서 발생하는 분진이 상기 마찰부재(53), 상기 흡입관(51), 상기 석션라인(54)을 통해 진공 흡입되어 신속하게 제거될 수 있다.
더욱이, 상기 롤러구동부(20)의 구동시에만 상기 흡입펌프(55)가 구동되도록 상기 롤러구동부(20) 및 상기 흡입펌프(55)에 회로 연결되되, 상기 롤러구동부(20)의 구동신호 감지시 상기 흡입펌프(55)를 구동 제어하는 제어부(미도시)가 더 구비될 수 있다. 또한, 상기 롤러구동부(20), 상기 호이스트구동부(31) 및 상기 흡입펌프(55)에 전원 연결되는 전원공급부(미도시)가 더 구비될 수 있다.
한편, 상기 브라켓(60)은 복수개 구비되어 상기 구동프레임(11)의 전후단에 각각 구비되되, 상기 레일빔(1)의 외면에 구름 접촉되는 복수개의 감진롤러(70,80)가 연결됨이 바람직하다.
상세히, 상기 브라켓(60)은 상기 레일몸체(1a)의 폭방향 양측에 이격되며 상하방향으로 각각 연장되되 상기 구동프레임(11)의 전후단에 볼트 체결 등의 방식을 통해 상호 결합되는 한쌍의 브라켓몸체(61)를 포함할 수 있다.
이때, 상기 브라켓몸체(61)의 상단은 상기 레일빔(1)의 상단보다 낮은 위치에 배치되고, 하단은 상기 레일빔(1)의 하단보다 낮은 위치에 배치됨이 바람직하다.
그리고, 상기 브라켓(60)은 상기 브라켓(60)의 브라켓몸체(61) 상단으로부터 상기 레일몸체(1a)를 향하여 내측으로 절곡된 한쌍의 절곡연장부(62)를 포함함이 바람직하다. 이때, 상기 절곡연장부(62)의 내측단은 상기 레일몸체(1a)의 외측면에 대향되되 상호 이격된 상태로 배치됨이 바람직하다.
또한, 상기 브라켓(60)은 상기 브라켓(60)의 한쌍의 브라켓몸체(61) 하단에 폭방향 양측이 연결되되 상기 안착면부(1b)의 하측으로 하향 이격되며 상기 안착면부(1b) 하측을 감싸는 형태로 구비되는 하부연결부(63)를 포함함이 바람직하다. 즉, 한쌍의 상기 브라켓몸체(61) 및 상기 하부연결부(63)가 'ㄷ'자 단면 형태로 배치되어 상기 레일빔(1)의 하부에 이격되며 감싸도록 배치될 수 있다.
이러한 상기 브라켓(60)은 한쌍의 상기 브라켓몸체(61), 한쌍의 상기 절곡연장부(62) 및 상기 하부연결부(63)의 구성으로 세트화되어 구비될 수 있다. 또한, 세트화된 상기 브라켓(60)이 한쌍의 상기 구동프레임(11)의 전후단에 각각 구비되므로 총 2개 구비될 수 있다.
더욱이, 각 상기 브라켓(60) 사이를 연결하도록, 상기 안착면부(1b) 하측에 이격되며 길이방향을 따라 연장되되 양단이 각 상기 하부연결부(63)에 연결되는 연결프레임(64)을 더 포함함이 바람직하다. 이를 통해, 각 상기 브라켓(60)이 상호 연결되어 일체화된 움직임으로 동시에 이동될 수 있다.
한편, 상기 이물질 제거가 가능한 청정 호이스트 이송장치(100)는 상기 브라켓(60) 및 상기 흡입관(51)을 상호 고정하도록 상기 흡입관(51)의 단부 테두리(52)에 일측이 연결되고 상기 브라켓(60)에 타측이 연결되는 복수개의 고정결합부(65)를 더 포함함이 바람직하다.
이때, 본 발명의 일실시예에서 상기 고정결합부(65)는 플라스틱, 금속 재질 등의 판재로 구비되어 상기 흡입관(51)의 단부 테두리(52)에 일체로 절곡지게 연결된 상태에서 상기 브라켓(60)의 전단 및 후단에 볼트 체결되어 상호 고정될 수 있다. 물론, 상기 고정결합부(65)의 형태는 상술한 예에 한정되는 것은 아니다.
한편, 상기 감진롤러(70,80)는 상기 브라켓(60)의 브라켓몸체(61)의 내측면에 축 연결되되 상기 안착면부(1b)의 상면에 구름 접촉되는 복수개의 제1감진롤러(70)와, 상기 브라켓(60)의 상단으로부터 절곡된 상기 절곡연장부(62)에 축 연결되되 상기 레일몸체(1a)의 양측면에 구름 접촉되는 복수개의 제2감진롤러(80)를 포함함이 바람직하다.
여기서, 상기 제1감진롤러(70) 및 상기 제2감진롤러(80)는 각 회전축이 상호간 직각으로 배치됨이 바람직하다. 이에 따라, 상기 제1감진롤러(70)는 상기 안착면부(1b)의 상면에 구름 접촉됨과 동시에 상기 제2감진롤러(80)는 상기 레일몸체(1a)의 양측면에 구름 접촉되므로 진동 발생이 현저히 저감될 수 있다.
또한, 상기 제1감진롤러(70) 및 상기 제2감진롤러(80)의 직경은 상기 구동롤러(12)의 직경 미만으로 설정될 수 있으며, 상기 제1감진롤러(70) 및 상기 제2감진롤러(80)의 각 직경은 상호 동일하게 설정될 수도 있으며 상호간 상이하게 설정될 수도 있다. 이때, 상기 제1감진롤러(70) 및 상기 제2감진롤러(80)는 상호 이격됨이 바람직하다.
그리고, 상기 제2감진롤러(80)는 상기 절곡연장부(62)의 상측 및 하측 중 적어도 어느 일측에 배치될 수 있으며, 상기 제2감진롤러(80)는 상기 절곡연장부(62)의 상측 및 하측 중 적어도 어느 일측에 배치된 상태에서 각각 상기 레일몸체(1a)의 양측면에 구름 접촉됨으로 이해함이 바람직하다.
한편, 상기 제1낙하방지판(40)의 일측에는 상기 리프팅후크(33)가 1차 관통 삽입되는 제1관통홀(41)이 관통 형성됨이 바람직하다.
더불어, 상기 이물질 제거가 가능한 청정 호이스트 이송장치(100)는 상기 리프팅후크(33)와 이격되며 상기 제1낙하방지판(40)의 하부로부터 하향 연장되는 연결라인(42)의 하단에 연결되되 평판형으로 구비되어 상기 제1낙하방지판(40)과 평행하게 상호 이격되며 상기 리프팅후크(33)가 2차 관통 삽입되는 제2관통홀(91)이 관통 형성된 제2낙하방지판(90)을 더 포함함이 바람직하다.
이를 통해, 낙하되는 분진 중 상기 제1낙하방지판(40)에서 차단되지 못한 잔여 분진이 상기 제2낙하방지판(90)에서 이중으로 차단되므로 공정시 발생하는 이물질을 안정적으로 제거하여 반도체 공정 등에서 제조되는 제조품의 불량률을 최소화할 수 있다.
이처럼, 본 발명은 상기 레일빔(1)의 안착면부(1b) 상면에 구름 접촉되는 상기 구동롤러(12)를 통해 상기 이송대차부(10)가 상기 레일빔(1)을 따라 왕복 이동시 상기 구동프레임(11)의 전후단에 구비된 상기 마찰석션부(50)의 흡입관(51) 및 마찰부재(53)가 상기 안착면부(1b)상에 발생하는 분진을 즉시 진공 흡착하여 제거하여 분진의 낙하가 방지되므로 반도체공정에서 불순물의 첨가가 예방되어 제조정밀성이 현저히 개선될 수 있다.
또한, 상기 구동프레임(11)의 전후단에 구비된 상기 브라켓(60)에 상기 흡입관(51)이 상기 고정결합부(65)를 매개로 고정됨과 동시에 상기 브라켓(60)에 구비된 상기 감진롤러(70,80)가 상기 레일빔(1)의 안착면부(1b) 및 레일몸체(1a) 폭방향 양면에 다중으로 구름 접촉되므로 상기 이송대차부(10)의 진동발생 및 기울어짐이 실직적으로 제거되므로 분진의 비산이 현저히 저감되며 구동정밀성이 현저히 개선될 수 있다.
여기서, 상기 안착면부(1b)의 상면에 구름 접촉되는 제1감진롤러(70)와, 상기 브라켓(60)의 상단으로부터 절곡된 절곡연장부(62)에 축 연결되되 상기 레일몸체(1a)의 양측면에 구름 접촉되는 제2감진롤러(80)가 상기 레일빔(1)에 동시에 밀착되며 구름 접촉되므로 상기 이송대차부(10)의 진동발생이 현저히 저감될 수 있다.
또한, 상기 안착면부(1b)의 하측으로 하향 이격되며 길이방향을 따라 연장되되 양단이 상기 브라켓(60)의 하부에 구비된 각 상기 하부연결부(63)에 연결되는 상기 연결프레임(64)을 통해 각 상기 브라켓(60)이 상호 연결되어 일체화된 움직임으로 동시에 이동되므로 진동이 현저히 저감되어 비산되는 분진이 현저히 감소될 수 있다.
그리고, 상기 제1낙하방지판(40) 및 상기 제2낙하방지판(90)이 이중으로 구비되어 상호 평행하게 이격되므로 낙하되는 분진이 각 상면에 수집되므로 반도체공정에서 불순물의 첨가가 예방되어 제조정밀성이 현저히 개선될 수 있다.
이때, 이상에서 기재된 "포함하다", "구성하다" 또는 "구비하다" 등의 용어는, 특별히 반대되는 기재가 없는 한, 해당 구성 요소가 내재할 수 있음을 의미하는 것이므로, 다른 구성 요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성 요소를 더 포함할 수 있는 것으로 해석되어야 한다. 기술적이거나 과학적인 용어를 포함한 모든 용어들은, 다르게 정의되지 않는 한, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미가 있다. 사전에 정의된 용어와 같이 일반적으로 사용되는 용어들은 관련 기술의 문맥상의 의미와 일치하는 것으로 해석되어야 하며, 본 발명에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명은 상술한 각 실시예에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 청구항에서 청구하는 범위를 벗어남 없이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 변형 실시되는 것은 가능하며, 이러한 변형 실시는 본 발명의 범위에 속한다.
1: 레일빔 1a: 레일몸체
1b: 안착면부 10: 이송대차부
11: 구동프레임 12: 구동롤러
20: 롤러구동부 30: 호이스트부
40: 제1낙하방지판 50: 마찰석션부
51: 흡입관 53: 마찰부재
54: 석션라인 55: 흡입펌프
60: 브라켓 65: 고정결합부
70,80: 감진롤러 90: 제2낙하방지판
100: 이물질 제거가 가능한 청정 호이스트 이송장치

Claims (5)

  1. 길이방향으로 연장된 레일몸체의 하단에 안착면부가 양측으로 확장 형성된 레일빔을 따라 레일 이동되도록 구비되는 이물질 제거가 가능한 청정 호이스트 이송장치에 있어서,
    상기 레일몸체의 폭방향 양측에 구비되는 구동프레임과, 상기 구동프레임에 연결되되 상기 안착면부의 상면에 구름 접촉되는 구동롤러를 포함하는 이송대차부;
    상기 구동프레임의 일측에 고정되되, 상기 구동롤러에 구동 연결되는 롤러구동부;
    상기 구동프레임의 하부에 연결되는 호이스트구동부와, 상기 호이스트구동부에 구동 연결되되 하향 연장되는 리프팅후크를 포함하는 호이스트부;
    상기 롤러구동부 및 상기 호이스트구동부의 하부를 커버하도록 구비되는 제1낙하방지판;
    상기 구동프레임의 전후단에 배치되되 상기 안착면부의 상면에 마찰 접촉되는 마찰부재와, 상기 마찰부재의 중앙부를 관통하도록 구비되는 흡입관을 포함하는 마찰석션부; 및
    상기 각 흡입관에 석션라인을 통해 배관 연결되되 상기 제1낙하방지판의 상부 타측에 구비되는 흡입펌프를 포함하되,
    상기 구동프레임의 전후단에 각각 구비되되 상단으로부터 절곡연장부가 절곡 연장되며 상기 레일빔의 외면에 구름 접촉되는 복수개의 감진롤러가 연결된 복수개의 브라켓을 포함하고,
    상기 감진롤러는, 상기 브라켓에 축 연결되되 상기 안착면부의 상면에 구름 접촉되는 제1감진롤러와, 상기 절곡연장부에 축 연결되되 상기 레일몸체의 양측면에 구름 접촉되는 제2감진롤러를 포함함을 특징으로 하는 이물질 제거가 가능한 청정 호이스트 이송장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 브라켓의 하부에는 상기 안착면부의 하측으로 하향 이격되는 하부연결부가 구비되고,
    상기 안착면부의 하측에 이격되며 길이방향을 따라 연장되되 양단이 각 상기 하부연결부에 연결되는 연결프레임을 더 포함함을 특징으로 하는 이물질 제거가 가능한 청정 호이스트 이송장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 마찰석션부는 상기 브라켓에 고정 결합됨을 특징으로 하는 이물질 제거가 가능한 청정 호이스트 이송장치.
  5. 길이방향으로 연장된 레일몸체의 하단에 안착면부가 양측으로 확장 형성된 레일빔을 따라 레일 이동되도록 구비되는 이물질 제거가 가능한 청정 호이스트 이송장치에 있어서,
    상기 레일몸체의 폭방향 양측에 구비되는 구동프레임과, 상기 구동프레임에 연결되되 상기 안착면부의 상면에 구름 접촉되는 구동롤러를 포함하는 이송대차부;
    상기 구동프레임의 일측에 고정되되, 상기 구동롤러에 구동 연결되는 롤러구동부;
    상기 구동프레임의 하부에 연결되는 호이스트구동부와, 상기 호이스트구동부에 구동 연결되되 하향 연장되는 리프팅후크를 포함하는 호이스트부;
    상기 롤러구동부 및 상기 호이스트구동부의 하부를 커버하도록 구비되는 제1낙하방지판;
    상기 구동프레임의 전후단에 배치되되 상기 안착면부의 상면에 마찰 접촉되는 마찰부재와, 상기 마찰부재의 중앙부를 관통하도록 구비되는 흡입관을 포함하는 마찰석션부; 및
    상기 각 흡입관에 석션라인을 통해 배관 연결되되 상기 제1낙하방지판의 상부 타측에 구비되는 흡입펌프를 포함하되,
    상기 제1낙하방지판의 일측에는 상기 리프팅후크가 1차 관통 삽입되는 제1관통홀이 관통 형성되고,
    상기 리프팅후크와 이격되며 상기 제1낙하방지판의 하부로부터 하향 연장되는 연결라인의 하단에 연결되되 상기 제1낙하방지판과 평행하게 상호 이격되며 상기 리프팅후크가 2차 관통 삽입되는 제2관통홀이 관통 형성된 제2낙하방지판을 더 포함함을 특징으로 하는 이물질 제거가 가능한 청정 호이스트 이송장치.
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