KR102432778B1 - 개방형 구조의 집진 시스템이 적용된 크린룸용 단축 로봇 - Google Patents

개방형 구조의 집진 시스템이 적용된 크린룸용 단축 로봇 Download PDF

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Abstract

본 발명에 의한 개방형 구조의 집진 시스템이 적용된 크린룸용 단축 로봇(100)은 크린룸의 내부에 설치되어, 조립용 부품을 전후 방향으로 이송시키는 트랜스퍼 유닛(200) 및 상기 트랜스퍼 유닛(200)의 일측에 설치되어, 조립용 부품을 상하 방향으로 이송시키는 승하강 유닛(300)으로 구성되고, 상기 트랜스퍼 유닛(200)은 내측이 비어 있고, 상부 중앙이 개방된 구조로 전후 방향으로 길게 형성된 수평 프로파일(210), 상기 수평 프로파일(210)의 상부 양측에 이격되게 설치된 제1 커버(220), 상기 수평 프로파일(210)의 내측 중앙에 나사 결합되어, 전후 이동부(250)를 가이드하는 제1 가이드부(230), 상기 수평 프로파일(210)의 내측을 따라 전후 방향으로 길게 설치되어, 모터의 구동력에 의해 전후 방향으로 이동하는 구동 벨트(240), 상기 수평 프로파일(210)의 하부에 회동 가능하게 다수 설치되어, 상부에 배치된 상기 구동 벨트(240)의 이동을 원활하게 하는 롤러(244), 상기 구동 벨트(240)의 일측에 설치되어, 상기 구동 벨트(240)에 의해 전후 방향으로 이동하는 전후 이동부(250) 및 상기 수평 프로파일(210)의 내측에 수용된 에어를 흡입하여, 상기 에어에 포함된 다수의 분진을 포집한 후, 토출하는 집진 시스템(260)을 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

개방형 구조의 집진 시스템이 적용된 크린룸용 단축 로봇{One axis robot for clean room with dust collection system of open structure}
본 발명은 크린룸용 단축 로봇에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 외부에 개방되는 공간이 최소화되고, 상기 단축 로봇의 내부에서 마찰에 의한 분진이 발생하는 경우에도 비산되는 분진을 흡입, 집진 및 토출할 수 있는 개방형 구조의 집진 시스템이 적용된 단축 로봇에 관한 것이다.
크린룸용 단축 로봇 또는 직교좌표 로봇은 반도체 또는 FPD(Flat Panel Display, 평판 디스플레이)의 반제품 또는 부품 등을 일방향으로 이송시켜, 조립하기 위한 장치이다. 최근에 FPD의 크기가 대형화되고 있어, FPD 조립 시, 증대된 왕복 거리에 대응하기 위해 이를 조립하기 위한 단축 로봇의 길이도 점차 길어지고 있다.
기존의 크린룸용 단축 로봇은 장시간 운전시, 구동부에서의 마찰로 인해 구동부에 포함되는 구동 벨트 또는 볼 스크류에서 다수의 분진이 발생한다. 그리고, 기존의 크린룸용 단축 로봇에서는 구동 벨트 또는 볼 스크류에서 분진 발생 시, 상기 단축 로봇의 측면에 개방된 공간이 많이 있어. 분진에 포함된 크기 1um 이하인 파티클은 크린룸 내부의 공중에 비산되거나, 크린룸용 단축 로봇의 내부 또는 크린룸의 하부에 쌓이게 되고, 이로 인해 크린룸에 대한 청정도 관리가 어려워지는 문제점이 있었다. 이로 인해, 단축 로봇의 내부 또는 크린룸의 하부에 쌓여 있는 분진을 청소하기 위한 유지보수비용이 상승하고, 생산 공정의 수율이 감소하는 문제점이 있었다.
한편, 기존의 크린룸용 단축 로봇에서는 상기 단축 로봇의 내부에서 발생하는 분진의 유출을 차단하기 위해 상기 단축 로봇의 전면에 추가로 자석을 이용한 금속 커버가 설치된다. 그러나, 상기 단축 로봇을 장시간 구동하는 경우, 상기 단축 로봇의 전면에 설치된 상기 금속 커버가 구동부와 접촉하고 있어, 상기 금속 커버가 변형되는 문제점이 있었다.
KR 10-0514477 B1
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 외부에 개방되는 공간이 최소화되고, 마찰에 의한 분진이 발생하는 경우에도 비산되는 분진을 흡입, 집진 및 토출할 수 있는 개방형 구조의 집진 시스템이 적용된 크린룸용 단축 로봇을 제공하는데 있다.
또한, 본 발명의 목적은 전면의 커버 및 구동부 사이의 간격을 띄워, 상기 커버 및 구동부의 마찰이 없는 구조로 디자인된 개방형 구조의 집진 시스템이 적용된 크린룸용 단축 로봇을 제공하는데 있다.
상기와 같은 기술적인 문제점을 해결하기 위하여, 본 발명에 의한 개방형 구조의 집진 시스템이 적용된 크린룸용 단축 로봇(100)은 크린룸의 내부에 설치되어, 조립용 부품을 전후 방향으로 이송시키는 트랜스퍼 유닛(200) 및 상기 트랜스퍼 유닛(200)의 일측에 설치되어, 조립용 부품을 상하 방향으로 이송시키는 승하강 유닛(300)으로 구성되고, 상기 트랜스퍼 유닛(200)은 내측이 비어 있고, 상부 중앙이 개방된 구조로 전후 방향으로 길게 형성된 수평 프로파일(210), 상기 수평 프로파일(210)의 상부 양측에 이격되게 설치된 제1 커버(220), 상기 수평 프로파일(210)의 내측 중앙에 나사 결합되어, 전후 이동부(250)를 가이드하는 제1 가이드부(230), 상기 수평 프로파일(210)의 내측을 따라 전후 방향으로 길게 설치되어, 모터의 구동력에 의해 전후 방향으로 이동하는 구동 벨트(240), 상기 수평 프로파일(210)의 하부에 회동 가능하게 다수 설치되어, 상부에 배치된 상기 구동 벨트(240)의 이동을 원활하게 하는 롤러(244), 상기 구동 벨트(240)의 일측에 설치되어, 상기 구동 벨트(240)에 의해 전후 방향으로 이동하는 전후 이동부(250) 및 상기 수평 프로파일(210)의 내측에 수용된 에어를 흡입하여, 상기 에어에 포함된 다수의 분진을 포집한 후, 토출하는 집진 시스템(260)을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 전후 이동부(250)는 상기 구동 벨트(240)의 상부 일측에 끼워져서, 상기 구동 벨트(240)와 연동되어 좌우 방향으로 이동하는 제1 무빙블록(251)을 포함하고, 상기 제1 무빙블록(251)의 중앙에는 상기 제1 무빙블록(251)의 상부 및 하부보다 폭이 좁은 목부(252)가 함몰 형성되고, 상기 목부(252) 및 제1 커버(220)의 사이에는 상기 크린룸의 내측으로부터 에어가 유입되는 제1 유입부(253)가 형성되고, 상기 수평 프로파일(210)의 하면에는 상기 수평 프로파일(210)의 내측으로부터 상기 다수의 분진이 포함된 에어가 배출되는 다수의 중공(211)이 관통 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 집진 시스템(260)은 상기 수평 프로파일(210)의 일측에 연결되어, 상기 수평 프로파일(210)의 내측에 수용된 에어가 흡입되는 흡입부(261), 상기 흡입부(261)와 연결되어, 상기 에어를 흡입한 후, 상기 에어에 포함된 다수의 분진을 포집하는 집진부(262) 및 상기 집진부(262)와 연결되어, 상기 집진부(262)를 통과한 상기 에어가 토출되는 토출부(263)를 포함하고, 상기 흡입부(261)의 일단에는 상기 수평 프로파일(210)의 내측에 수용된 에어가 흡입되는 다수의 흡입홀(261a)이 관통 형성되고, 상기 집진부(262)는 상기 에어를 흡입하는 흡입팬(262a) 및 상기 흡입팬(262a)에 의해 흡입된 에어에 포함된 다수의 분진을 포집하는 필터부(262b)를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 승하강 유닛(300)은 내측이 비어 있고, 상부 중앙이 오목한 구조로 길이 방향으로 길게 형성된 수직 프로파일(310), 상기 수직 프로파일(310)의 상부 양측에 각각 이격되게 설치되는 제2 커버(320), 상기 수직 프로파일(310)의 일측에 나사 결합되는 플레이트(325), 상기 수직 프로파일(310)의 상부 좌측 및 우측에 각각 나사 결합되는 제2 가이드부(330), 상기 수직 프로파일(310)의 상부 중앙에 설치되어, 모터의 구동력에 의해 회동하는 볼스크류(340) 및 상기 볼스크류(340)에 의해 직진 운동하는 상하 이동부(350) 및 상기 수직 프로파일(310)의 내측에 수용된 에어를 흡입하여, 상기 에어에 포함된 다수의 분진을 포집한 후, 토출하는 집진 시스템(260)을 포함하고, 상기 상하 이동부(350)는 상기 볼스크류(340)의 상부에 나사 결합되어, 상기 볼스크류(340)에 의해 직진 운동하는 제2 무빙블록(351), 상기 제2 무빙블록(351)의 하부 양측에 각각 설치되어, 상기 제2 무빙블록(351)과 연동되어 상기 제2 가이드부(330)를 따라 이동하는 제2 가이드블록(352) 및 상기 제2 무빙블록(351)의 상부에 설치되어, 상기 제2 무빙블록(351)과 연동되어 이동하는 제2 무버(353)를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 제2 커버(320) 및 상기 제2 커버(320)에 인접한 제2 커버(320)의 사이에는 에어가 수직 프로파일(310)의 내측으로 유입되는 제2 유입부(321)가 형성되고, 상기 수직 프로파일(310)의 하면에는 상기 수직 프로파일(310)의 내측으로부터 다수의 분진이 포함된 에어가 배출되는 배출공(311)이 관통 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 플레이트(325)의 일면에는 슬로트홀(327)이 다수 관통 형성되고, 상기 하부 블록(361)의 일면에는 상기 슬로트홀(327)에 대응하는 체결홀(362)이 다수 관통 형성되고, 상기 플레이트(325)에 대한 상기 하부 블록(361)의 체결 위치는 상기 슬로트홀(327)의 중심선을 따라 일방향 또는 상기 일방향의 반대 방향으로 조절 가능한 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 하부 블록(361)의 상부에는 상기 하부 블록(361)과 크기가 동일한 상부 블록(363)이 나사 결합되고, 상기 하부 블록(361) 및 상부 블록(363)의 사이에는 상기 제2 커버(320)의 상부에 배치되는 탑 커버(360)가 나사 결합되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의한 개방형 구조의 집진 시스템이 적용된 크린룸용 단축 로봇은 외부에 개방되는 공간이 최소화되고, 마찰에 의한 분진이 발생하는 경우에도 비산되는 분진을 흡입, 집진 및 토출할 수 있는 개방형 구조의 집진 시스템이 적용되어, 상기 크린룸 및 단축 로봇에 대한 청정도 관리가 용이한 효과가 있다.
또한, 본 발명에 의한 개방형 구조의 집진 시스템이 적용된 크린룸용 단축 로봇에서는 상기 단축 로봇의 내부 또는 상기 크린룸의 하부에 쌓여 있는 분진을 청소하기 위한 유지보수비용이 절감되고, 이로 인해 생산의 효율성, 안정성 및 수율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 의한 개방형 구조의 집진 시스템이 적용된 크린룸용 단축 로봇에서는 집진 시스템을 쉽게 교체 또는 보수할 수 있어, 유지보수의 편의성이 향상되는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 의한 개방형 구조의 집진 시스템이 적용된 크린룸용 단축 로봇에서는 커버 및 구동부 간의 간격이 띄어져 있어서, 상기 커버 및 구동부 간의 마찰이 발생하지 않아, 상기 단축 로봇을 장시간 구동하는 경우에도 상기 커버가 변형되지 않는 효과가 있다.
도 1은 본 발명에 의한 개방형 구조의 집진 시스템이 적용된 크린룸용 단축 로봇에서 트랜스퍼 유닛의 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 트랜스퍼 유닛의 평면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 트랜스퍼 유닛을 BB선으로 자른 단면도이다.
도 4는 3은 도 1에 도시된 A 부분의 상세도이다.
도 5는 본 발명에 의한 개방형 구조의 집진 시스템이 적용된 크린룸용 단축 로봇에서 승하강 유닛의 사시도이다.
도 6은 도 5에 도시된 승하강 유닛의 평면도이다.
도 7은 도 6에 도시된 승하강 유닛을 DD선으로 자른 단면도이다.
도 8은 도 5에 도시된 C 부분의 상세도이다.
도 9는 플레이트 및 하부 블록의 결합 관계를 설명하기 위한 도면이다.
이하, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 기술적 사상을 용이하게 실시할 수 있을 정도로 상세히 설명하기 위하여, 본 발명의 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 설명하기로 한다.
그러나, 하기 실시예는 본 발명의 이해를 돕기 위한 일 예에 불과한 것으로 이에 의해 본 발명의 권리범위가 축소되거나 한정되는 것은 아니다. 또한, 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
도 1은 본 발명에 의한 개방형 구조의 집진 시스템이 적용된 크린룸용 단축 로봇(100)에서 트랜스퍼 유닛(200)의 사시도이고, 도 2는 도 1에 도시된 트랜스퍼 유닛(200)의 평면도이다.
도 3은 도 2에 도시된 트랜스퍼 유닛(200)을 BB선으로 자른 단면도이고, 도 4는 3은 도 1에 도시된 A 부분의 상세도이다.
도 5는 본 발명에 의한 개방형 구조의 집진 시스템이 적용된 크린룸용 단축 로봇(100)에서 승하강 유닛(300)의 사시도이고, 도 6은 도 5에 도시된 승하강 유닛(300)의 평면도이다.
도 7은 도 6에 도시된 승하강 유닛(300)을 DD선으로 자른 단면도이고, 도 8은 도 5에 도시된 C 부분의 상세도이고, 도 9는 플레이트(325) 및 하부 블록(361)의 결합 관계를 설명하기 위한 도면이다.
도 1 내지 도 5를 참조하면, 본 발명에 의한 개방형 구조의 집진 시스템이 적용된 크린룸용 단축 로봇(100)은 트랜스퍼 유닛(200) 및 승하강 유닛(300)을 포함하여 구성된다.
먼저, 트랜스퍼 유닛(200)은 크린룸의 내부에 설치되어, 조립용 부품을 전후 방향으로 이송시키는 장치이다.
그리고, 승하강 유닛(300)은 트랜스퍼 유닛(200)의 일측에 설치되어, 조립용 부품을 상하 방향으로 이송시키는 장치이다.
도 1 내지 도 3을 참조하면, 트랜스퍼 유닛(200)은 수평 프로파일(210), 제1 커버(220), 제1 가이드부(230), 구동 벨트(240), 롤러(244), 전후 이동부(250) 및 집진 시스템(260)을 포함하여 구성된다.
먼저, 수평 프로파일(210)은 내측이 비어 있고, 상부 중앙이 개방된 구조로, 전후 방향으로 길게 형성된다. 이때, 수평 프로파일(210)은 알루미늄 재질로 형성된다.
그리고, 제1 커버(220)는 수평 프로파일(210)의 상부 양측에 이격되게 설치된다. 이때, 제1 커버(220)는 전후 방향으로 길게 형성된 평판의 형상을 갖는다.
그리고, 제1 가이드부(230)는 수평 프로파일(210)의 내측 중앙에 나사 결합되어, 전후 이동부(250)의 제1 가이드블록(255)을 가이드하는 역할을 한다. 이때, 제1 가이드부(230)는 전후 방향으로 길게 형성된다.
그리고, 구동 벨트(240)는 수평 프로파일(210)의 내측을 따라 전후 방향으로 길게 설치되고, 구동 풀리(242) 및 종동 풀리(243)에 연결되어, 제1 구동모터(241)의 구동력에 의해 일방향으로 이동한다.
한편, 구동 풀리(242)는 수평 프로파일(210)의 전방에 설치되어, 제1 구동모터(241)에 의해 일방향으로 회동한다. 그리고, 종동 풀리(243)는 수평 프로파일(210)의 후방에 설치되어, 구동 벨트(240)에 의해 일방향으로 회동한다.
도 4를 참조하면, 구동 풀리(242)는 풀리박스(270)의 내측에 설치되고, 풀리박스(270)의 상부 또는 하부에는 배기팬(271)을 별도로 설치할 수 있다.
그리고, 롤러(244)는 수평 프로파일(210)의 하부에 제자리에서 회동 가능하게 다수 설치되어, 롤러(244)의 상부에 배치된 구동 벨트(240)가 원활하게 이동하게 하는 역할을 한다. 구체적으로, 롤러(244)는 외주면이 구동 벨트(240)의 하면과 면접촉하며, 제자리에서 회동한다.
그리고, 전후 이동부(250)는 구동 벨트(240)의 일측에 설치되어, 구동 벨트(240)에 의해 전후 방향으로 이동한다. 전후 이동부(250)는 제1 무빙블록(251), 제1 가이드블록(255) 및 제1 무버(256)를 포함하여 구성된다.
먼저, 제1 무빙블록(251)은 구동 벨트(240)의 상부 일측에 끼워져서, 구동 벨트(240)와 연동되어 좌우 방향으로 이동한다.
한편, 제1 무빙블록(251)의 중앙에는 제1 무빙블록(251)의 상부 및 하부보다 폭이 좁은 목부(252)가 함몰 형성된다. 그리고, 목부(252)는 수평 프로파일(210)의 상부 양측에 각각 설치된 제1 커버(220) 사이에 배치된다. 그리고, 목부(252) 및 제1 커버(220)의 사이에는 제1 유입부(253)가 형성되어, 상기 제1 유입부(253)를 통해 에어가 수평 프로파일(210)의 내측으로 유입된다.
한편, 수평 프로파일(210)의 하면에는 수평 프로파일(210)의 내측으로부터 다수의 분진이 포함된 에어가 배출되는 다수의 중공(211)(미도시)이 관통 형성된다.
그리고, 제1 가이드블록(255)은 제1 무빙블록(251)의 하부에 설치되어, 제1 무빙블록(251)과 연동되어 제1 가이드부(230)를 따라 좌우 방향으로 이동한다.
그리고, 제1 무버(256)는 제1 무빙블록(251)의 상부에 설치되어, 제1 무빙블록(251)과 연동되어 좌우 방향으로 이동한다. 제1 무빙블록(251)의 상부에는 조립용 부품이 탑재되어, 상기 조립용 부품을 전후 방향으로 이송시킬 수 있다.
한편, 수평 프로파일(210)의 내측에서는 구동 벨트(240) 및 롤러(244), 제1 가이드블록(255) 및 제1 가이드부(230) 간의 마찰에 의해 다수의 분진이 발생한다. 이로 인해, 제1 유입부(253)를 통과하여 수평 프로파일(210)의 내측에 수용된 에어는 다수의 분진과 뒤섞이게 된다.
그리고, 집진 시스템(260)은 개방형 구조로 설치되어, 수평 프로파일(210)의 내측에 수용된 에어를 흡입하고, 상기 에어에 포함된 다수의 분진을 포집한 후, 토출한다.
집진 시스템(260)은 흡입부(261), 집진부(262) 및 토출부(263)를 포함하여 구성된다.
먼저, 흡입부(261)는 수평 프로파일(210)의 일측에 연결되어, 수평 프로파일(210)의 내측에 수용된 에어가 흡입되는 통로이다. 이때, 흡입부(261)의 일단에는 수평 프로파일(210)의 내측에 수용된 에어가 흡입되는 다수의 흡입홀(261a)(미도시)이 관통 형성된다.
그리고, 집진부(262)는 흡입부(261)와 연결되어, 에어를 흡입한 후, 상기 에어에 포함된 다수의 분진을 포집한다.
집진부(262)는 에어를 흡입하는 흡입팬(262a), 및 상기 흡입팬(262a)에 의해 흡입된 에어에 포함된 다수의 분진을 포집하는 필터부(262b)를 포함하여 구성된다. 이때, 필터부(262b)의 상면에는 분진보다 직경이 작은 다수의 통공(264)(미도시)이 관통 형성된다.
그리고, 토출부(263)는 집진부(262)와 연결되어, 집진부(262)를 통과한 에어가 토출되는 통로이다.
도 5 내지 도 7을 참조하면, 승하강 유닛(300)은 수직 프로파일(310), 제2 커버(320), 플레이트(325), 제2 가이드부(330), 볼스크류(340), 상하 이동부(350) 및 집진 시스템(260)을 포함하여 구성된다.
한편, 승하강 유닛(300)은 트랜스퍼 유닛(200)의 일측에 설치되어, 조립용 부품을 상하 방향으로 이송시키는 장치이다. 먼저, 수직 프로파일(310)은 내측이 비어 있고, 상부 중앙이 오목한 구조로 길이 방향으로 길게 형성된다. 이때, 수직 프로파일(310)은 알루미늄 재질로 형성된다.
그리고, 제2 커버(320)는 수직 프로파일(310)의 상부 양측에 각각 이격되게 설치된다. 이때, 제2 커버(320)는 길이 방향으로 길게 형성된 ㄱ자 형태의 각관의 형상을 갖는다.
그리고, 플레이트(325)는 수직 프로파일(310)의 일측에 나사 결합된다. 그리고, 플레이트(325)의 중앙에는 관통홀(326)이 관통 형성된다. 이때, 플레이트(325)는 소정의 두께를 갖는 평판의 형상으로 형성된다.
그리고, 제2 가이드부(330)는 수직 프로파일(310)의 상부 좌측 및 우측에 각각 나사 결합되어, 상하 이동부(350)의 제2 가이드블록(352)을 가이드하는 역할을 한다. 이때, 제2 가이드블록(352)은 길이 방향으로 길게 형성된다.
그리고, 볼스크류(340)는 수직 프로파일(310)의 상부에 설치되어, 제2 구동 모터(341)에 의해 일방향 또는 상기 일방향의 반대 방향으로 회동한다. 한편, 볼스크류(340)는 플레이트(325)의 관통홀(326)을 통해 제2 구동 모터(341)와 연결된다.
그리고, 상하 이동부(350)는 수직 프로파일(310)의 상부에 설치되어, 볼스크류(340)에 의해 직진 운동한다. 상하 이동부(350)는 제2 무빙블록(351), 제2 가이드블록(352) 및 제2 무버(353)를 포함하여 구성된다.
먼저, 제2 무빙블록(351)은 볼스크류(340)의 상부에 나사 결합되어, 볼스크류(340)에 의해 직진 운동한다.
그리고, 제2 가이드블록(352)은 제2 무빙블록(351)의 하부 양측에 각각 설치되어, 제2 무빙블록(351)과 연동되어 제2 가이드부(330)를 따라 이동한다.
그리고, 제2 무버(353)는 제2 무빙블록(351)의 상부에 설치되어, 제2 무빙블록(351)과 연동되어 이동한다. 제2 무빙블록(351)의 상부에는 조립용 부품이 탑재되어, 상기 조립용 부품을 이송시킬 수 있다.
한편, 수직 프로파일(310)의 상부 양측에 각각 설치된 제2 커버(320)의 사이에는 에어가 수직 프로파일(310)의 내측으로 유입되는 제2 유입부(321)가 형성된다.
그리고, 수직 프로파일(310)의 하면에는 수직 프로파일(310)의 내측으로부터 다수의 분진이 포함된 에어가 배출되는 타원 형상의 배출공(311)(미도시)이 관통 형성된다.
도 8 및 도 9를 참조하면, 플레이트(325)의 일면에는 하부 블록(361)이 나사 결합되고, 하부 블록(361)의 상면에는 상부 블록(363)이 나사 결합된다.
그리고, 하부 블록(361) 및 상부 블록(363)의 사이에는 제2 커버(320)의 상부에 길이 방향으로 길게 배치되는 탑 커버(360)가 나사 결합된다.
그리고, 플레이트(325)의 일면에는 슬로트홀(327)이 다수 관통 형성되고, 하부 블록(361)의 일면에는 슬로트홀(327)에 대응하는 체결홀(362)이 관통 형성되어, 하부 블록(361)을 플레이트(325)에 나사 결합하는 경우, 하부 블록(361)의 체결 위치를 조절할 수 있다. 구체적으로, 하부 블록(361)의 체결 위치는 플레이트(325)의 슬로트홀(327)의 중심선을 따라 일방향 또는 상기 일방향의 반대 방향으로 조절될 수 있다. 이를 통해, 탑 커버(360)와 제2 커버(320)가 서로 간섭되지 않도록 탑 커버(360)와 제2 커버(320) 사이의 간격이 조절될 수 있다.
따라서, 승하강 유닛(300)은 상기 탑 커버(360)에 의해 승하강 유닛(300)의 내부가 외부와 차단되지 않고, 개방된 구조를 갖도록 형성된다.
한편, 수직 프로파일(310)의 내측에서는 볼스크류(340), 제2 가이드블록(352) 및 제2 가이드부(330) 간의 마찰에 의해 다수의 분진이 발생한다. 이로 인해, 제2 유입부(321)를 통과하여 수직 프로파일(310)의 내측에 수용된 에어는 다수의 분진과 뒤섞이게 된다.
그리고, 집진 시스템(260)은 개방형 구조로 설치되어, 수직 프로파일(310)의 내측에 수용된 에어를 흡입하고, 상기 에어에 포함된 다수의 분진을 포집한 후, 토출한다.
한편, 집진 시스템(260)은 수평 프로파일(210) 및 수직 프로파일(310)의 일측에 집진 시스템(260)이 각각 별도로 구비되는 개별 설치식 또는 수평 프로파일(210) 및 수직 프로파일(310)의 일측에 각각 연결된 통로가 1개의 집진 시스템(260)과 연통되는 중앙 집중식으로 설치될 수 있다.
이때, 승하강 유닛(300)의 집진 시스템(260)의 구성 및 작용은 트랜스퍼 유닛(200)의 집진 시스템(260)의 그것과 유사하므로, 이에 대한 자세한 설명은 생략하도록 한다.
본 발명에 의한 개방형 구조의 집진 시스템이 적용된 크린룸용 단축 로봇(100)은 외부에 개방되는 공간이 최소화되고, 마찰에 의한 분진이 발생하는 경우에도 비산되는 분진을 흡입, 집진 및 토출할 수 있는 개방형 구조의 집진 시스템(260)이 적용되어, 상기 크린룸 및 단축 로봇(100)에 대한 청정도 관리가 용이한 효과가 있다.
또한, 본 발명에 의한 개방형 구조의 집진 시스템이 적용된 크린룸용 단축 로봇(100)에서는 상기 단축 로봇(100)의 내부 또는 상기 크린룸의 하부에 쌓여 있는 분진을 청소하기 위한 유지보수비용이 절감되고, 이로 인해 생산의 효율성, 안정성 및 수율을 향상시킬 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 의한 개방형 구조의 집진 시스템이 적용된 크린룸용 단축 로봇(100)에서는 집진 시스템(260)을 쉽게 교체 또는 보수할 수 있어, 유지보수의 편의성이 향상되는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 의한 개방형 구조의 집진 시스템이 적용된 크린룸용 단축 로봇(100)에서는 제1 커버(220) 및 구동 벨트(240), 제2 커버(320) 및 볼 스크류(340) 간의 간격이 각각 띄어져 있어, 상기 제1 커버(220) 및 구동 벨트(240), 제2 커버(320) 및 볼 스크류(340) 간에 각각 마찰이 발생하지 않아, 상기 단축 로봇(100)을 장시간 구동하는 경우에도 상기 제2 커버(320) 및 제1 커버(220)가 변형되지 않는 효과가 있다.
이상과 같이 본 발명은 개방형 구조의 집진 시스템이 적용된 크린룸용 단축 로봇(100)을 제공하고자 하는 것을 주요한 기술적 사상으로 하고 있으며, 도면을 참고하여 상술한 실시예는 단지 하나의 실시예에 불과하고, 본 발명의 진정한 권리 범위는 특허 청구범위를 기준으로 하되, 다양하게 존재할 수 있는 균등한 실시예에도 미친다 할 것이다.
100: 개방형 구조의 집진 시스템이 적용된 크린룸용 단축 로봇
200: 트랜스퍼 유닛 210: 수평 프로파일
211: 중공 220: 제1 커버
230: 제1 가이드부 240: 구동 벨트
241: 제1 구동 모터 242: 구동 풀리
243: 종동 풀리 244: 롤러
250: 전후 이동부 251: 제1 무빙블록
252: 목부 253: 제1 유입부
255: 제1 가이드블록 256: 제1 무버
260: 집진 시스템 261: 흡입부
261a: 흡입홀 262: 집진부
262a: 흡입팬 262b: 필터부
263: 토출부 264: 통공
270: 풀리박스 271: 배기팬
300: 승하강유닛 310: 수직 프로파일
311: 배출공 320: 제2 커버
321: 제2 유입부 325: 플레이트
326: 관통홀 327: 슬로트홀
330: 제2 가이드부 340: 볼스크류
341: 제2 구동 모터 350: 상하이동부
351: 제2 무빙블록 352: 제2 가이드블록
353: 제2 무버 360: 탑 커버
361: 하부 블록 362: 체결홀
363: 상부 블록

Claims (7)

  1. 크린룸의 내부에 설치되어, 조립용 부품을 전후 방향으로 이송시키는 트랜스퍼 유닛(200) 및 상기 트랜스퍼 유닛(200)의 일측에 설치되어, 조립용 부품을 상하 방향으로 이송시키는 승하강 유닛(300)으로 구성된 개방형 구조의 집진 시스템이 적용된 크린룸용 단축 로봇(100)에 있어서,
    상기 트랜스퍼 유닛(200)은
    내측이 비어 있고, 상부 중앙이 개방된 구조로 전후 방향으로 길게 형성된 수평 프로파일(210);
    상기 수평 프로파일(210)의 상부 양측에 이격되게 설치된 제1 커버(220);
    상기 수평 프로파일(210)의 내측 중앙에 나사 결합되어, 전후 이동부(250)를 가이드하는 제1 가이드부(230);
    상기 수평 프로파일(210)의 내측을 따라 전후 방향으로 길게 설치되어, 모터의 구동력에 의해 전후 방향으로 이동하는 구동 벨트(240);
    상기 수평 프로파일(210)의 하부에 회동 가능하게 다수 설치되어, 상부에 배치된 상기 구동 벨트(240)의 이동을 원활하게 하는 롤러(244);
    상기 구동 벨트(240)의 일측에 설치되어, 상기 구동 벨트(240)에 의해 전후 방향으로 이동하는 전후 이동부(250); 및
    상기 수평 프로파일(210)의 내측에 수용된 에어를 흡입하여, 상기 에어에 포함된 다수의 분진을 포집한 후, 토출하는 집진 시스템(260);을 포함하고,
    상기 승하강 유닛(300)은
    내측이 비어 있고, 상부 중앙이 오목한 구조로 길이 방향으로 길게 형성된 수직 프로파일(310);
    상기 수직 프로파일(310)의 상부 양측에 각각 이격되게 설치되는 제2 커버(320);
    상기 수직 프로파일(310)의 일측에 나사 결합되는 플레이트(325);
    상기 수직 프로파일(310)의 상부 좌측 및 우측에 각각 나사 결합되는 제2 가이드부(330);
    상기 수직 프로파일(310)의 상부 중앙에 설치되어, 모터의 구동력에 의해 회동하는 볼스크류(340); 및
    상기 볼스크류(340)에 의해 직진 운동하는 상하 이동부(350); 및
    상기 수직 프로파일(310)의 내측에 수용된 에어를 흡입하여, 상기 에어에 포함된 다수의 분진을 포집한 후, 토출하는 집진 시스템(260);을 포함하고,
    상기 상하 이동부(350)는
    상기 볼스크류(340)의 상부에 나사 결합되어, 상기 볼스크류(340)에 의해 직진 운동하는 제2 무빙블록(351);
    상기 제2 무빙블록(351)의 하부 양측에 각각 설치되어, 상기 제2 무빙블록(351)과 연동되어 상기 제2 가이드부(330)를 따라 이동하는 제2 가이드블록(352); 및
    상기 제2 무빙블록(351)의 상부에 설치되어, 상기 제2 무빙블록(351)과 연동되어 이동하는 제2 무버(353);를 포함하고,
    상기 플레이트(325)의 일면에는
    슬로트홀(327)이 다수 관통 형성되고,
    상기 하부 블록(361)의 일면에는
    상기 슬로트홀(327)에 대응하는 체결홀(362)이 다수 관통 형성되고,
    상기 플레이트(325)에 대한 상기 하부 블록(361)의 체결 위치는
    상기 슬로트홀(327)의 중심선을 따라 일방향 또는 상기 일방향의 반대 방향으로 조절 가능한 것을 특징으로 하는 개방형 구조의 집진 시스템이 적용된 크린룸용 단축 로봇.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 전후 이동부(250)는
    상기 구동 벨트(240)의 상부 일측에 끼워져서, 상기 구동 벨트(240)와 연동되어 좌우 방향으로 이동하는 제1 무빙블록(251);을 포함하고,
    상기 제1 무빙블록(251)의 중앙에는
    상기 제1 무빙블록(251)의 상부 및 하부보다 폭이 좁은 목부(252)가 함몰 형성되고,
    상기 목부(252) 및 제1 커버(220)의 사이에는
    상기 크린룸의 내측으로부터 에어가 유입되는 제1 유입부(253)가 형성되고,
    상기 수평 프로파일(210)의 하면에는
    상기 수평 프로파일(210)의 내측으로부터 상기 다수의 분진이 포함된 에어가 배출되는 다수의 중공(211)이 관통 형성되는 것을 특징으로 하는 개방형 구조의 집진 시스템이 적용된 크린룸용 단축 로봇.
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 집진 시스템(260)은
    상기 수평 프로파일(210)의 일측에 연결되어, 상기 수평 프로파일(210)의 내측에 수용된 에어가 흡입되는 흡입부(261);
    상기 흡입부(261)와 연결되어, 상기 에어를 흡입한 후, 상기 에어에 포함된 다수의 분진을 포집하는 집진부(262); 및
    상기 집진부(262)와 연결되어, 상기 집진부(262)를 통과한 상기 에어가 토출되는 토출부(263);를 포함하고,
    상기 흡입부(261)의 일단에는
    상기 수평 프로파일(210)의 내측에 수용된 에어가 흡입되는 다수의 흡입홀(261a)이 관통 형성되고,
    상기 집진부(262)는
    상기 에어를 흡입하는 흡입팬(262a); 및
    상기 흡입팬(262a)에 의해 흡입된 에어에 포함된 다수의 분진을 포집하는 필터부(262b);를 포함하는 것을 특징으로 하는 개방형 구조의 집진 시스템(260)이 적용된 크린룸용 단축 로봇.
  4. 삭제
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 제2 커버(320) 및 상기 제2 커버(320)에 인접한 제2 커버(320)의 사이에는
    에어가 수직 프로파일(310)의 내측으로 유입되는 제2 유입부(321)가 형성되고,
    상기 수직 프로파일(310)의 하면에는
    상기 수직 프로파일(310)의 내측으로부터 다수의 분진이 포함된 에어가 배출되는 배출공(311)이 관통 형성되는 것을 특징으로 하는 개방형 구조의 집진 시스템이 적용된 크린룸용 단축 로봇.
  6. 삭제
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 하부 블록(361)의 상부에는
    상기 하부 블록(361)과 크기가 동일한 상부 블록(363)이 나사 결합되고,
    상기 하부 블록(361) 및 상부 블록(363)의 사이에는
    상기 제2 커버(320)의 상부에 배치되는 탑 커버(360)가 나사 결합되는 것을 특징으로 하는 개방형 구조의 집진 시스템이 적용된 크린룸용 단축 로봇.
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