CN1629061A - 输送装置 - Google Patents
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- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims abstract description 62
- 230000008093 supporting effect Effects 0.000 claims description 157
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 136
- 230000001141 propulsive effect Effects 0.000 claims description 95
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 89
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 22
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims description 14
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 12
- 238000007664 blowing Methods 0.000 claims description 8
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 81
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 80
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 6
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 4
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 3
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 3
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 3
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 2
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 2
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006378 damage Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000005520 electrodynamics Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 1
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 1
- 238000000746 purification Methods 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
- B65G49/064—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G49/00—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
- B65G49/05—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
- B65G49/06—Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
- B65G49/063—Transporting devices for sheet glass
- B65G49/064—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position
- B65G49/065—Transporting devices for sheet glass in a horizontal position supported partially or completely on fluid cushions, e.g. a gas cushion
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2201/00—Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
- B65G2201/02—Articles
- B65G2201/0214—Articles of special size, shape or weigh
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G2207/00—Indexing codes relating to constructional details, configuration and additional features of a handling device, e.g. Conveyors
- B65G2207/26—Hygienic features, e.g. easy to sanitize
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
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Abstract
提供一种输送装置，利用移送机构可从与输送部的输送方向交叉的横向进行捧起作业和卸下作业。可将移送用输送部(5b)转换成输送状态和移送状态，其中，输送状态是使推进力施加机构(4)与输送物(2)的下表面接触，移送状态是使推进力施加机构(4)相对于输送物(2)离开到下方侧；设置有移送机构(37)，该移送机构(37)具有可载置支承输送物(2)且在与上述输送方向交叉的横向及上下方向上移动操作自如的载置部(38)，该载置部在移送用输送部(5b)的移送状态下，在与输送方向交叉的横向上相对利用送风式支承机构(3)支承的输送物(2)的下方侧空间自由插拔，并且插入到输送物(2)的下方侧空间中时允许送风式支承机构(3)的支承。
Description
技术领域
本发明涉及设置有输送部的输送装置，该输送部装备有送风式支承机构和推进力施加机构，其中送风式支承机构用于朝着输送物的下表面供给净化空气而以非接触状态、按水平姿势或大致水平姿势对输送物进行支承，推进力施加机构用于与被该送风式支承机构所支承的输送物的下表面接触而将输送方向的推进力施加在输送物上。
背景技术
这样的输送装置，利用送风式支承机构在非接触状态下对输送物进行支承，利用推进力施加机构在接触状态下将输送方向的推进力施加在输送物上。例如，在对作为输送物的液晶用玻璃基板进行输送的情况下，利用送风式支承机构、在非接触状态下对玻璃基板中将成为产品的部分进行支承，利用上述推进力施加机构对于玻璃基板中成为产品时被切断的部分在接触状态下进行施加(例如，参照特开2002-321820号公报)。
上述现有的输送装置中，由于以利用推进力施加机构、在接触状态下将输送方向上的推进力施加在输送物上的方式构成，故即使利用具有可载置支承输送物的载置部的移送装置，从与输送方向交叉的横向来进行将输送部上的输送物捧起的捧起作业和将输送物卸到输送部上面的卸下作业，推进力施加机构也会妨碍载置部向横向的移动，不能将载置部插入到被送风式支承机构支承的输送物的下方空间中，因此，不能从与输送方向交叉的横向进行捧起作用和卸下作业，是很不方便的方式。
发明内容
本发明的鉴于上述实际情况研制成的，其目的在于提供一种输送装置，该输送装置利用装备有可载置支承输送物的载置部的移送机构，可以从与输送部的输送方向交差的横向进行捧起作业和卸下作业。
本发明的输送装置是设置有输送部的输送装置，该输送部装备有送风式支承机构和推进力施加机构，其中，送风式支承机构用于朝着输送物的下表面供给净化空气而以非接触状态对输送物进行支承，推进力施加机构用于与被该送风式支承机构支承的输送物的下表面接触而将输送方向的推进力施加在输送物上，其特征在于，
上述输送部设置有可沿着输送方向输送输送物的主输送部，以及在上述输送方向上与该主输送部排列设置且在与上述主输送部之间可输送输送物的移送用输送部，
上述移送用输送部通过装备在其上的推进力施加机构和送风式支承机构的相对升降而可转换为输送状态和移送状态，其中，输送状态是使上述推进力施加机构与被上述送风式支承机构支承的输送物的下表面接触，移送状态是使上述推进力施加机构相对于被上述送风式支承机构支承的输送物离开到下方侧，
设有移送机构，该移送机构具有可载置支承输送物、且可在与上述输送方向交叉的横向和上下方向上移动的载置部，上述载置部在上述移送用输送部的上述移送状态下可在与上述输送方向交叉的横向上相对被上述送风式支承机构支承的输送物的下方侧空间插入及拉出，并且在插入到输送物的下方侧空间中时允许上述送风式支承机构的支承。
即，通过将移送用输送部转换为输送状态，可以利用与输送物的下表面接触的推进力施加机构来施加推进力而沿着输送方向进行输送，通过将移送用输送部转换为移送状态，使推进力施加机构相对于被送风式支承机构支承的输送物离开到下方侧，可以进行捧起作业和卸下作业，其中，捧起作业是利用移送机构将被送风式支承机构支承的输送物捧起，卸下作业是利用移送机构将输送物卸下而支承在送风式支承机构上。另外，由于将移送机构的载置部插入到输送物的下方侧空间中时也允许送风式支承机构的支承，故载置部向输送物的下方空间插入或拔出时输送物也被送风式支承机构支承着，可以不会与输送物接触地、顺利地进行载置部向输送物的下方空间的插入或拔出。
即，当将移送用输送部转换为移送状态时，则推进力施加机构相对于被送风式支承机构所支承的输送物离开到下方侧，这样，将移送机构的载置部在与输送方向交叉的横向上相对输送物的下方侧空间中或自由插拔。在进行捧起作业的场合，使载置部从横向插入到输入物的下方空间中后，通过使该载置部上升，便可以将被送风式支承机构支承着的输送物捧起，另外，在进行卸下作业的场合，使载置部下降而将载置支承着的输送物由送风式支承机构来支承，然后，使该载置部从输送物的下方空间脱离出来，这样，可以将输送物卸下而将输送物支承在送风式支承机构上。
因此，可以提供这样的输送装置，即可以利用具有可载置支承输送物的载置部的移送机构，从与输送方向交叉的横向进行捧起作业和卸下作业。
第2特征构成的特征在于，上述移送用输送部，是将上述推进力施加机构以固定状态设置在与设于上述主输送部上的推进力施加机构相同或大致相同的高度上的，并且，是将上述送风式支承机构升降操作自如地设置的，以便于在上述输送状态下成为在与设于上述主输送部上的上述送风式支承机构相同或大致相同的高度上支承输送物的下方位置，在上述移送状态下成为在比设于上述主输送部上的上述送风式支承机构高的高度上支承输送物的上方位置。
由于通过通风式支承机构的升降操作，可以在不对推进力施加机构进行升降操作的情况下转换为输送状态和移送状态，故设在移送用输送部上的推进力施加机构的高度相对于设在主输送部上的推进力施加机构，在输送状态和移送状态下没有变化，因此，易于将各自所设的推进力施加机构构成为一系列的传动构造，可以抑制推进力施加机构的传动构造的复杂化。
第3特征构成的特征在于，上述移送用输送部，是将上述送风式支承机构以固定状态设置在与设于上述主输送部上的送风式支承机构相同或大致相同的高度支承输送物的高度上的，并且，是将上述推进力施加机构升降操作自如地设置的，以便于在上述输送状态下成为位于与设置于上述主输送部上的推进力施加机构相同或大致相同的高度的上方位置，在上述移送状态下成为位于比设置在上述主输送部上的推进力施加机构靠下方的下方位置。
由于通过推进力施加机构的升降操作，可以在不使送风式支承机构进行升降操作的情况下转换为输送状态和移送状态，因此，可以抑制因输送物的支承高度在输送状态和移送状态时发生变化而引起的输送物的姿势的破坏。
第4特征构成的特征在于，在上述移送用输送部上设置有姿势修正机构，该姿势修正机构是在上述移送状态下通过与被上述送风式支承机构支承的输送物接触，来对输送物的姿势进行修正。
即，将移送用输送部从输送状态转换为移送状态时即使输送物的姿势被破坏，通过姿势修正机构与被送风式支承机构所支承的输送物接触，也能够对输送物的姿势进行修正，可以利用移送机构将规定姿势的输送物捧起。另外，利用移送机构卸下而支承在送风式支承机构上时即使输送物的姿势被破坏，也可如上述那样地对输送物的位置进行修正，可以按规定的姿势在输送方向上输送。
第5特征构成的特征在于，上述载置部形成为在与上述输送方向交叉的横向上延伸的叉形，上述送风式支承机构具有沿着与上述输送方向交叉的横向形成、且上述载置部可进入其中的凹部。
即，以这样的方式构成：将载置部形成为叉形，这样，即使将该载置部插入到输送物的下方侧空间中，也允许送风式支承机构的支承；另外，为将载置部相对于输送物的下方侧空间进行插入或拔出，以载置部的一部分或全部进入到在送风式支承机构上所设的凹部内的状态来进行，这样，即使输送物相对于送风式支承机构的浮上量小也可以进行插入或拔出，因此，在进行捧起作业或卸下作业时不需要对输送物的浮上量进行调节，可以顺利地进行这些作业。
第6特征构成的特征在于，上述送风式支承机构是将送风单元在上述输送方向上排列构成的，该送风单元是将除去尘埃的除尘过滤器和通过该除尘过滤器且朝着输送物的下表面供给净化空气的送风机构一体地组装而成的。
即，可以提供这样的输送装置，只要将送风机构和除尘过滤器一体地组装而成的送风单元沿着输送方向排列配置，便可设置成朝着被输送的输送物的下表面供给净化空气而以非接触状态支承输送物的送风式支承机构，因此，可以使送风式支承机构的设置变得简单，而且制作容易。
附图说明
图1为实施形式1的输送装置的俯视图。
图2为实施形式1的移送用输送部的立体图。
图3为实施形式1的移送用输送部的正视图。
图4为实施形式1的移送用输送部的局部放大正视图。
图5为实施形式1的移送用输送部的侧视图。
图6为实施形式1的推进力施加机构的侧视图。
图7为实施形式1的推进力施加机构的正视图。
图8为实施形式1的主输送部的立体图。
图9为实施形式1的移送用输送部的侧视作用图。
图10为实施形式1的移送用输送部的正视作用图。
图11为实施形式1的输送装置的控制方块图。
图12为实施形式2的移送用输送部的局部放大正视图。
图13为实施形式2的移送用输送部的局部放大正视图。
图14为实施形式2的移送用输送部的侧视图。
图15为实施形式2的移送用输送部的侧视作用图。
图16为实施形式2的移送用输送部的正视作用图。
具体实施方式
以下，对数个实施形式进行说明，但只要不产生矛盾，可以将特定的实施形式的特征与其它的实施形式的特征组合，这种组合也包含在本发明的范围内。
实施形式1
以下，根据附图对于将液晶用的矩形玻璃基板作为输送物的例子进行输送的场合的本发明的输送装置进行说明。
如图1所示，在输送装置H上设置有主输送部5a和移送用输送部5b作为输送部，其中，主输送部5a可沿着输送方向输送玻璃基板2，移送用输送部5b是与该主输送部5a在输送方向上排列设置的，可在与主输送部5a之间输送玻璃基板2。另外，在输送装置H中，在移送用输送部5b上设置有上述移送机构37，该移送机构37用于进行将由送风式支承机构3所支承的玻璃基板2捧起的捧起作业和将玻璃基板2卸下而支承在移送用输送部5b的送风式支承机构3上的卸下作业。
如图2、图8所示，各输送部通过以非接触状态进行支承的送风式支承机构3和以接触状态进行支承的推进力施加机构4来支承玻璃基板2，利用上述推进力施加机构4将输送方向的推进力施加在该被支承的玻璃基板2上，便将玻璃基板2向输送方向输送。这些送风式支承机构3和推进力施加机构4存放在存放箱7中。
又，如图11所示，在输送装置H上设置有控制机构E，用于根据输送物用传感器T1和载置部用传感器T2的检测结果及指令机构X的指令，对升降操作送风式支承机构3的支承机构用马达16、推进力施加机构4及姿势修正机构6的动作进行控制，其中，输送物用传感器T1由检测玻璃基板2是否存在的光电传感器构成，载置部用传感器T2由检测载置部是否存在的非接近式传感器构成，指令机构X用于人为地向移送用输送部5发出捧起指令和卸下指令。
另外，主输送部5a是沿着输送方向设置有一个或数个主输送单元而构成的，移送用输送部5b由一个移送用输送单元构成。即，输送装置H是将主输送单元和移送用输送单元组合起来而构成的。
对移送用输送部5b进行说明。
如图2所示，在移送用输送部5b中设置有送风式支承机构3、将输送方向的推进力施加在玻璃基板2上的上述推进力施加机构4、通过从横侧向与玻璃基板2接触来对玻璃基板2的姿势进行修正的姿势修正机构6、上述输送物用传感器T1、上述载置部用传感器T2及箱体7。箱体7存放有这些送风式支承机构3、推进力施加机构4、姿势修正机构6、输送物用传感器T1及载置部用传感器T2。
如图3、图4所示，设置在移送用输送部5b中的上述箱体7是设置有载置支承送风式支承机构3的、从俯视方向看呈大致矩形的单元用框体9，和在单元用框体9的横向两侧沿输送方向被支承为固定状态的存放框8而构成的。
上述存放框8分别构成为在输送方向上看呈方筒状，在与装置用框体9连接的内壁8a侧的相反一侧设置有可开闭的存放盖8c。在存放框8的下壁8b上设置有将存放框内的空气向外部排出的外部排出口21。并且，为了闭塞外部排出口21，设置有具有送风功能和除尘功能的辅助送风单元23，存放框8内的空气被该辅助送风单元23净化后排出到外部。另外，上述单元用框体9由组装了框部件的支承框部分9a和呈大致矩形的板状的板状框部分9b构成，其中，板状框部分9b位于该支承框部分9a的下方，设有将外部空气导入的空气导入口11。
对设置在移送用输送部5b上的上述送风式支承机构3进行说明。如图3～图5所示，上述送风式支承机构3设有朝着玻璃基板2的下表面2a供给净化空气的数个风扇过滤单元(送风单元的一例)、和整风板15，其中整风板15载置支承在该风扇过滤单元14上而对向玻璃基板2的下表面2a供给的净化空气进行整风，特别如图5所示那样升降操作自如地支承在上述单元用框体9上。风扇过滤单元14是将除去尘埃的除尘过滤器12和通过该除尘过滤器12且朝着玻璃基板2的下表面2a供给净化空气的送风风扇13(送风机构的一例)一体地组装而构成。所谓整风，系指在较大的区域内将空气均等地分散的意思。上述数个风扇过滤单元14通过连接框相互连接，另外，在整风板15上形成有沿着与上述输送方向交叉的横向的朝上的凹部15b和通气孔15a，其中通气孔15是通过冲孔而形成于除凹部15b的区域以外的整个面上。
另外，如图5所示，在风扇过滤单元14的下面设置有用于对该风扇过滤单元14进行升降操作的电动式的支承机构用马达16，该支承机构用马达16的输出齿轮16a与形成于单元用框体9上的支承框部分9a侧面上的齿轮槽9c啮合。因此，通过驱动支承用马达16向正反方向旋转，便可对设在移送用输送部5b上的送风式支承机构3进行升降操作。
下面，对设在移送用输送部5b上的推进力施加机构4进行说明。如图2、图3所示，上述推进力施加机构4设有接触支承玻璃基板2的横向的两端部的一对推进力施加部4a而构成两侧驱动式，推进力施加部4a分开地设在上述一对存放框8上。
如图5～图7所示，推进力施加部4a各自装备有电动马达25和传动轴27及多个输出轴26而构成，其中，传动轴27装备有与该电动马达25的输出齿轮啮合的正齿轮28，输出轴26装备有与设在传动轴27上的输出齿轮29啮合的输入齿轮30。并且，传动马达25和传动轴27配备在存放框8内，上述输出轴26如图4所示，以从存放框8突出的状态转动自如地支承在上述内壁8a上。在输出轴26的从存放框8突出的部分上装备有上述驱动辊24，该驱动辊24接触支承玻璃基板2的下表面2a且施加推进力，如图4、图8所示，在该驱动辊24上设有大直径部24a，该大直径部24a与玻璃基板2的横向的两端部的侧面接触而阻止玻璃基板2向横向移动。
接着，对上述姿势修正机构6进行说明。如图2、图4所示，姿势修正机构由4个接触机构32构成。并且，4个接触机构32分别固定支承在存放框8的上壁8d上，由分别可与玻璃基板2的前后方向的一个侧面和左右方向的一个侧面接触的一对推压部件33、和连接支承一对推压部件33的主体部34、及向上述内外方向移动操作主体部34的驱动部35构成。驱动部35具有设在推压部件33的直线状基部上的细齿(serration)、和与该细齿啮合的齿轮机构、及驱动该齿轮机构的马达。推压部件33的直线状基部相对于输送方向例如以45°角度延伸，推压部件33沿着该基部延伸的方向移动。因此，推压部件33的移动方向具有横向的成分。
利用驱动机构35使主体部34向上述内外方向移动，且利用合计8个推压部件33从横侧方向夹住地接触玻璃基板2，这样，对玻璃基板2的姿势进行修正。
接着，对主输送部5a进行说明，但对于与移送用输送部5b同样构成的部件，标上与移送用输送部5b相同的标记，并省略说明。
如图8所示，主输送部5a具有送风式支承机构3、和将输送方向的推进力施加在玻璃基板2上的推进力施加机构4、及存放有这些送风式支承机构3和推进力施加机构4的箱体7。
并且，设于移送用输送部5b上的姿势修正机构6在主输送部5a上没有设置，送风式支承机构3被固定支承在单元用框体9的支承框部分上。另外，在主输送部5a中的整风板15的整个面上只形成有通气孔15a，而没有形成有凹部15b。并且，存放箱7在一对存放框架8的上端部设有输送盖20。
接着，对移送用输送部5b的输送状态和移送状态之间的转换进行说明。
如图9所示，主输送部5a和移送用输送部5b设在相同或大致相同高度上。另外，设在移送用输送部5b上的上述推进力施加机构4如图9(A)所示，以固定状态设在与设于主输送部5a上的推进力施加机构4相同或大致相同的高度上，设在移送用输送部5b上的送风式支承机构3可升降为下方位置和上方位置，其中下方位置是如图9(A)所示的、在与设于上述主输送部5a上的送风式支承机构3相同或大致相同的高度上支承玻璃基板2，上方位置是图9(B)所示的、在比设于上述主输送部5a上的送风式支承机构3高的高度上支承玻璃基板2。
即，如果使设于移送用输送部5b上的送风式支承机构3下降到下方位置，则移送用输送部5b转换为使推进力施加机构4与被送风式支承机构3支承的玻璃基板2的下表面2a接触的输送状态，如果使设于移送用输送部5b上的送风式支承机构3上升到上方位置，则移送用输送部5b转换为使推进力施加机构4相对于被送风式支承机构3支承的玻璃基板2离开到下方侧的移送状态。这样，移送用输送部通过设于其上的送风式支承机构3的升降操作，可转换为输送状态和移送状态。
如图1所示，在输送装置H上设有进行捧起作业和卸下作业的移送机构37，该捧起作业是将在移送用输送部5b上被送风式支承机构3支承的玻璃基板2捧起，该卸下作业是将玻璃基板2卸下而支承在移送用输送部5b的送风式支承机构3上。设在移送机构37上的载置部38可以进入整风板15的凹部15b中。
另外，设在移送机构37上的载置部38可载置支承玻璃基板2，并且可在与上述输送方向交叉的横向及上下方向上移动。载置部38除此以外，可在围绕纵轴心的回转操作和输送方向等上适当移动。并且，载置部38形成为具有数个指的叉形，在上述移送用输送部5b的移送状态下，如图1、图10所示，在与输送方向交叉的横向上相对利用送风式支承机构3支承的玻璃基板2的下方侧空间自由插拔，并且，插入到玻璃基板2的下方侧空间中时可支承送风式支承机构3。形成为叉形的载置部38插入到玻璃基板2的下方侧空间中或拔出时成为向与输送方向交叉的横向延伸的状态，从移载用输送部5b的横向进行捧起作业和卸下作业。移送机构37是具有现有的结构的部件，例如，既可以是工业用机械手，也可以利用电动机或内燃发动机驱动、通过齿轮和链条且利用电动机使载置部38移动的具有自走式或固定式的叉式升降车之类的构造。
接着，对于将玻璃基板2从输送上游侧的主输送部5a、通过移送用输送部5b而输送到输送下游侧的主输送部5a的主输送和捧起作业及卸下作业进行说明。
对于主输送进行说明，如图9(A)、图10(A)所示，在将设于移送于输送部5b上的送风式支承机构3转换为输送状态的状态下，使设于主输送部5a上的推进力施加机构4和设于移送用输送部5b上的推进力施加机构4动作，而将主输送方向的推进力施加在玻璃基板2上，这样来进行主输送。
对于捧起作业进行说明，首先，在进行上述主输送的状态下，如果上述指令机构X发出捧起指令，则由上述输送物用传感器T1检测出玻璃基板2已输送到移送用输送部5b的规定位置。因此，停止推进力施加机构4的动作。然后，在利用设于移送于输送部5b上的送风式支承机构3对玻璃基板2进行支承的状态下，如图9(B)、图10(B)所示那样，该送风式支承机构3上升到上方位置，且移送用输送部5b转换为移送状态。
姿势修正机构6中的8个推压部件3 3的下端因向移送状态的转换而位于玻璃基板2的下表面的下方，为了在移送状态下使推压部件33从横侧向与被送风式支承机构3支承的玻璃基板2接触，姿势修正机构6动作，以使主体部34向内方侧移动，从而，对玻璃基板2的姿势进行修正。
将载置部38从与输送方向交叉的横向插入到玻璃基板2的下方侧空间中，而使载置部38的一部分或全部进入整风板15的凹部15b中。该载置部38的插入通过上述载置部用传感器T2进行检测，根据其检测结果，姿势修正机构6动作而使主体部34向外方侧移动，推压部件33与玻璃基板2的接触被解除。
然后，如图9(c)、图10(c)所示，通过使插入到玻璃基板2的下方侧空间中的载置部38上升，便由载置部38对由送风式支承机构3支承的玻璃基板进行载置支承。这样，由载置部捧起的玻璃基板2，通过对载置部进行移动操作而移送到玻璃基板存放用的搁板等上。
通过由载置部捧起被送风式支承机构3支承的玻璃基板2，上述输送物用传感器T1成为非检测状态时，则如图9(A)、图10(A)所示那样，使设于移送用输送部5b上的送风式支承机构3下降到下方位置而将移送用输送部5b转换为移送状态后，推进力施加机构4动作，从而，再次进行主输送。
接着，对卸下作业进行说明，首先，在进行上述主输送的状态下，如果上述指令机构X发出卸下指令，则按设于主输送部5a上的推进力施加机构4、设于移送用输送部5b上的推进力施加机构4的顺序在移送用输送部5b上无玻璃基板2的状态下使推进力施加机构4的动作停止。然后，设于移送用输送部5b上的送风式支承机构3被上升到上方位置，从而移送用输送部5b转换为移送状态。
在这种状态下，如果如图9(c)、图10(c)所示那样使载置支承着玻璃基板2的载置部38下降，而如图9(B)、图10(B)所示那样载置部38的一部分或全部进入到整风板15的凹部15中，则被载置支承在载置部38上的玻璃基板2成为被送风式支承机构3支承的状态。接着，当利用上述载置部用传感器T2对载置部38向凹部15b的进入进行检测时，姿势修正机构6动作，以使主体部34向内侧移动而使推压部件33从横侧向与被送风式支承机构3支承的玻璃基板2接触，从而对玻璃基板2的姿势进行修正。
其后，将载置部38从玻璃基板2的下方侧空间向与输送方向交叉的横向拉出。当上述载置部用传感器T2成为非检测状态时，如图9(A)、图10(A)所示，姿势修正机构6动作而使主体部34向外侧移动，从而，推压部件3与玻璃基板2的接触被解除，且使设于移送用输送部5b上的送风式支承机构3下降到下方位置，从而，移送用输送部5b被转换为移送状态。然后，推进力施加机构4动作，再次进行主输送。
实施形式2
该实施形式2是表示在上述实施形式1中设于移送用输送部5b上的推进力施加机构4和送风式支承机构3的相对升降的另一实施形式，以下，以这一点为中心根据附图加以说明。另外，对于与实施形式1同样构成的部件，标上与实施形式1相同的标记，并省略说明。
如图12所示，一对存放框8的一个升降操作自如地被装置用框体9支承着。即，在一个存放框8的下部设有用于升降操作该存放框8的电动式框用马达31，该框用马达31的输出齿轮31a与形成于单元用框体9中的支承框部分9a的侧面上的齿轮槽9c啮合。因此，通过驱动框用马达31向正反方向旋转，一个存放框8便升降，从而，对设于该一个存放框8上的推进力施加部4a进行升降操作。
另外，如图14所示，移送用输送部5b上的送风式支承机构3被固定支承在单元用框体9上。
关于姿势修正机构6，如图12所示，载置支承在进行升降操作的一个存放框8上的接触机构32的构成与实施形式1的接触机构32相同，但，如图13所示，载置支承在不进行升降操作的另一个存放框8上的接触机构32以这样的方式构成，即，驱动部35使主体部向上述内外方向移动的同时进行升降。
接着，对于移送用输送部5b的输送状态和移送状态的转换进行说明。
如图15所示，主输送部5a和移送用输送部5b设在相同或大致相同的高度上。另外，装备在移送用输送部5b上的上述送风式支承机构3如图15(A)所示，以固定状态设置在与装备在主输送部5a上的送风式支承机构3相同或大致相同的高度上，装备在移送用输送部5b上的推进力施加机构4以升降操作自如地设置的方式构成，以便于成为上方位置和下方位置，其中，上方位置如图16(A)所示的、位于与装备在上述主输送部5a上的推进力施加机构4相同或大致相同的高度，下方位置如图16(B)所示的、位于装备在上述主输送部5a上的推进力施加机构4的下方。
即，如果使装备在移送用输送部5b上的推进力施加机构4上升到上方位置，则移送用输送部5b转换为使推进力施加机构4与被送风式支承机构3支承的玻璃基板2的下表面2a接触的输送状态，如果使装备在移送用输送部5b上的推进力施加机构4下降到下方位置，则转换为使推进力施加机构4相对于被送风式支承机构3支承的玻璃基板2离开到下方侧的移送状态，移送用输送部5b通过装备在其上的推进力施加机构4的升降操作而可转换为输送状态和移送状态。
接着，对上述捧起作业和卸下作业进行说明。
首先，对捧起作业进行说明，如图15(A)、图16(A)所示的在进行主输送的状态下，如果利用上述指令机构X发出捧起指令，则通过利用上述输送物用传感器T1检测出玻璃基板2已输送至移送用输送部5b的规定位置，便使推进力施加机构4停止动作。然后，在利用装备在移送用输送部5b上的送风式支承机构3对玻璃基板2进行支承的状态下，如图15(B)、图16(B)所示，装备在移送用输送部5b上的一个推进力施加部4a下降到下方位置，从而移送用输送部5b转换为移送状态。
姿势修正机构6中的8个推压部件33之中的存在有移送机构37一侧的4个推压部件33的下端因向移送状态的转换而位于玻璃基板2的下表面的下方，其余的存在有移送机构37一侧的外方侧的4个推压部件33的下端通过驱动部35进行下降操作而位于玻璃基板2的下表面的下方，姿势修正机构6这样动作，即，使主体部34向内侧移动而使推动部33从横侧向与在该移送状态下被送风式支承机构3支承的玻璃基板2接触，从而对玻璃基板2的姿势进行修正。
然后，将载置部38从与输送方向交叉的横向插入到玻璃基板2的下方侧空间中，以使载置部38的一部分或全部进入整风板15的凹部15b内。利用上述载置部用传感器T2对该载置部38的插入进行检测。根据该检测结果，姿势修正机构6被动作，以使主体部34向外侧移动，从而，推压部件33与玻璃基板2的接触被解除。
其后，如图15(c)、图16(c)所示，使插入到玻璃基板2的下侧空间中的载置部38上升，这样，成为由载置部38对被送风式支承机构3支承的玻璃基板2进行载置支承的状态，这样，由载置部38捧起的玻璃基板2，通过对载置部38进行移动操作而移送到玻璃基板存放用的搁板等上。
接着，通过由载置部38将被送风式支承机构3支承的玻璃基板2捧起而上述输送物用传感器T1成为非检测状态时，如图15(A)、图16(A)所示，使装备在移送用输送部5b上的一个推进力施加部4a上升到上方位置而将移送用输送部转换为移送状态后，推进力施加机构4动作，再次进行主输送。
接着，对卸下作业进行说明，首先，在进行上述主输送的状态下，通过上述指令机构X发出卸下指令时，则按装备在主输送部5a上的推进力施加机构4、装备在移送用输送部5b上的推进力施加机构4的顺序使推进力施加机构4停止动作，在移送用输送部5b上无玻璃基板2的状态下使推进力施加机构4停止动作后，装备在移送用输送部5b上的一个推进力施加部4a被下降到下方位置，且移送用输送部5b转换为移送状态。
在该状态下，如果如图150(c)、图16(c)所示那样使载置支承着玻璃基板2的载置部38下降，以便于如图15(B)、图16(B)所示那样载置部38的一部分或全部进入整风板15的凹部15b内，则被载置支承在载置部38上的玻璃基板2成为被送风式支承机构3支承状态。然后，若利用上述载置部用传感器T2对载置部38向凹部15b的进入进行检测，则姿势修正机构6动作，以使主体部34向内侧移动而使推压部件33从横侧向与被送风式支承机构3支承的玻璃基板2接触，从而，对玻璃基板2的姿势进行修正。
其后，通过在与输送方向交叉的横向上使载置部38从玻璃基板2的下方侧空间中脱离出来而上述载置部用传感器T2成为非检测状态时，则如图15(A)、图16(A)所示，姿势修正机构6动作以使主体部34向外侧移动，因而，推压部件33与玻璃基板2的接触被解除。使装备在移送用输送部5b上的一个推进力施加部4a上升到上方位置且移送用输送部5b被转换为移送状态后，推进力施加机构4动作，再次进行主输送。
其它实施形式
(1)在上述各实施形式中，为了在送风式支承机构3上具有可进入载置部38的凹部，在送风式支承机构3的整风板15上形成有凹部，但是也可以按以下方式构成，即，在整风板15上形成有沿着与输送方向交叉的横向形成的上下贯通的孔，或者使分割的数个整风板15按在输送方向上隔开间隔的状态载置支承在送风式支承机构3上，在整风板15彼此之间形成有凹部15b。
而且，既可以在整风板15的凹部15b上形成通气孔15a，也可以不形成。
(2)在上述各实施形式中，以进行卸下作业和捧起作业两者的方式构成，但也能够以只进行卸下作业和捧起作业的任意一种作业的方式构成。即，例如，在移送用输送部5b的输送下游侧不设置主输送部5a，以只进行卸下作业的方式构成，或者，也可以在移送用输送部5b的输送上游侧不设置主输送部5a，以只进行捧起作业的方式构成。
(3)在上述实施形式2中，升降自如地构成一对存放框8中的一个存放框8，但也能够以从与移送用输送部的输送方向交叉的方向进行捧起作业和卸下作业的方式构成。
(4)在上述各实施形式中，以人为地操作指令机构的方式构成，但也可以以下述自动操作方式构成，即，根据对被输送的玻璃基板2是否进行卸下作业的判断信息而自动地进行卸下指令等。
(5)在上述各实施形式中，推进力施加部4a配备有数个驱动辊24构成，但也可以配备有同步传送皮带等无接头带状体取代数个驱动辊24构成。
(6)在上述各实施形式中，例示了将除尘过滤器12和送风风扇13一体地组装而成的风扇过滤装置14，但也可以不一定必需将除尘过滤器12和送风风扇一体地组装起来，而设置将通过送风风扇13送风的空气向除尘过滤器21引导的引导路等，通过分体构成除尘过滤器12和送风风扇13来实施。
(7)在上述实施形式中，作业输送物，设为液晶用玻璃基板2，但也可以是半导体的晶片等，输送物的形状和大小并不限于实施形式。
Claims (6)
1.一种输送装置，设置有输送部，该输送部装备有送风式支承机构和推进力施加机构，其中，送风式支承机构用于朝着输送物的下表面供给净化空气而以非接触状态对输送物进行支承，推进力施加机构用于与被该送风式支承机构支承的输送物的下表面接触而将输送方向的推进力施加在输送物上，其特征在于，
上述输送部设置有可沿着输送方向输送输送物的主输送部、以及在上述输送方向上与该主输送部排列设置且在与上述主输送部之间可输送输送物的移送用输送部，
上述移送用输送部通过装备在其上的推进力施加机构和送风式支承机构的相对升降而可转换为输送状态和移送状态，其中，输送状态是使上述推进力施加机构与被上述送风式支承机构支承的输送物的下表面接触，移送状态是使上述推进力施加机构相对于被上述送风式支承机构支承的输送物离开到下方侧，
设有移送机构，该移送机构具有可载置支承输送物、且可在与上述输送方向交叉的横向和上下方向上移动的载置部，上述载置部在上述移送用输送部的上述移送状态下可在与上述输送方向交叉的横向上相对被上述送风式支承机构支承的输送物的下方侧空间插入及拉出，并且，在插入到输送物的下方侧空间中时允许上述送风式支承机构的支承。
2.根据权利要求1所述的输送装置，其特征在于，上述移送用输送部，是将上述推进力施加机构以固定状态设置在与设于上述主输送部上的推进力施加机构相同或大致相同的高度上的，并且是将上述送风式支承机构升降操作自如地设置的，以便于在上述输送状态下成为在与设于上述主输送部上的上述送风式支承机构相同或大致相同的高度上支承输送物的下方位置，在上述移送状态下成为在比设于上述输送部上的上述送风式支承机构高的高度上支承输送物的上方位置。
3.根据权利要求1所述的输送装置，其特征在于，上述移送输送部，是将上述送风式支承机构以固定状态设置在与设于上述主输送部上的送风式支承机构相同或大致相同的高度支承输送物的高度上的，并且，是将上述推进力施加机构升降操作自如地设置的，以便于在上述输送状态下成为位于与设置于上述主输送部上的推进力施加机构相同或大致相同的高度的上方位置，在上述移送状态下成为位于比设置在上述主输送部上的推进力施加机构靠下方的下方位置。
4.根据权利要求1所述的输送装置，其特征在于，在上述移送用输送部上设置有姿势修正机构，该姿势修正机构是在上述移送状态下通过与被上述送风式支承机构支承的输送物接触，来对输送物的姿势进行修正。
5.根据权利要求1所述的输送装置，其特征在于，上述载置部形成为在与上述输送方向交叉以横向上延伸的叉形，上述送风式支承机构具有沿着与上述输送方向交叉的横向形成、且上述载置部可进入其中的凹部。
6.根据权利要求1所述的输送装置，其特征在于，上述送风式支承机构是将送风单元在上述输送方向上排列构成的，该送风单元是将除去尘埃的除尘过滤器和通过该除尘过滤器且朝着输送物的下表面供给净化空气的送风机构一体地组装而成的。
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2003418068A JP4161272B2 (ja) | 2003-12-16 | 2003-12-16 | 搬送装置 |
| JP418068/03 | 2003-12-16 | ||
| JP418068/2003 | 2003-12-16 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN1629061A true CN1629061A (zh) | 2005-06-22 |
| CN100431933C CN100431933C (zh) | 2008-11-12 |
Family
ID=34650690
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CNB2004101021637A Active CN100431933C (zh) | 2003-12-16 | 2004-12-15 | 输送装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US7004711B2 (zh) |
| JP (1) | JP4161272B2 (zh) |
| KR (1) | KR101041061B1 (zh) |
| CN (1) | CN100431933C (zh) |
| TW (1) | TWI322786B (zh) |
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| FI126983B (fi) | 2013-10-03 | 2017-09-15 | Glaston Finland Oy | Laite lasilevyn kuljettamiseksi kuumennusuunin ilmakannatuspöydällä |
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2004
- 2004-11-11 TW TW093134458A patent/TWI322786B/zh active
- 2004-12-08 KR KR1020040102914A patent/KR101041061B1/ko active IP Right Grant
- 2004-12-09 US US11/008,454 patent/US7004711B2/en active Active
- 2004-12-15 CN CNB2004101021637A patent/CN100431933C/zh active Active
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| US11921151B2 (en) | 2019-01-24 | 2024-03-05 | Koh Young Technology Inc. | Jig for inspection apparatus, inspection apparatus, and inspection set |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US20050129469A1 (en) | 2005-06-16 |
| TW200526492A (en) | 2005-08-16 |
| TWI322786B (en) | 2010-04-01 |
| KR20050061308A (ko) | 2005-06-22 |
| US7004711B2 (en) | 2006-02-28 |
| JP4161272B2 (ja) | 2008-10-08 |
| JP2005178918A (ja) | 2005-07-07 |
| CN100431933C (zh) | 2008-11-12 |
| KR101041061B1 (ko) | 2011-06-13 |
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Legal Events
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| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
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