KR20050061308A - 반송 장치 - Google Patents

Abstract

반송물을 탑재 지지 가능한 탑재부를 구비한 이송 수단에 의해 반송부의 반송 방향과 교차하는 횡 방향으로부터 들어올리기 작업이나 내려놓기 작업을 행할 수 있는 반송 장치를 제공한다. 이송용 반송부(5b)를, 송풍식 지지 수단(3)에 의해 지지되는 반송물(2)의 하면에 추진력 부여 수단(4)을 접촉시키는 반송 상태, 및 송풍식 지지 수단(3)에 의해 지지되는 반송물(2)에 대하여 추진력 부여 수단(4)을 하방 측으로 이격시키는 이송 상태로 전환 가능하게 구성하고, 반송물(2)을 탑재 지지 가능하고 또한 상기 반송 방향과 교차하는 횡 방향 및 상하 방향으로 이동 조작 가능한 탑재부(38)를 이송용 반송부(5b)의 이송 상태에 있어서, 송풍식 지지 수단(3)에 의해 지지되는 반송물(2)의 하방 측 공간에 대하여 반송 방향과 교차하는 횡 방향으로 삽입 및 인출이 자유롭고 또한 반송물(2)의 하방 측 공간에 삽입했을 때에 송풍식 지지 수단(3)의 지지를 허용하도록 형성한 상태로 구비한 이송 수단(37)을 설치한다.

Description

반송 장치 {TRANSPORTING APPARATUS}

본 발명은 반송물의 하면을 향해 청정공기를 공급하여 수평자세 또는 대략 수평자세로 반송물을 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단 및 그 송풍식 지지 수단에 의해 지지된 반송물의 하면에 접촉하여 반송물에 반송 방향의 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단을 구비하는 반송부가 설치된 반송 장치에 관한 것이다.

이러한 반송 장치는 송풍식 지지 수단에 의해 반송물을 비접촉 상태로 지지하고, 추진력 부여 수단에 의해 반송 방향에서의 추진력을 접촉 상태로 반송물에 부여한다. 예를 들면, 반송물로서 액정용 유리 기판을 반송하는 경우에서는 유리 기판에서의 제품화되는 부분을 송풍식 지지 수단에 의해 비접촉 상태로 지지하고, 상기 추진력 부여 수단에 의해 유리 기판에서의 제품화할 때에 절단되는 부분에 대하여 접촉 상태로 부여한다(예를 들면, 일본 특개2002-321820호 공보 참조).

상기 종래의 반송 장치에서는 추진력 부여 수단에 의해 반송 방향에서의 추진력을 접촉 상태로 반송물에 부여하도록 구성되어 있기 때문에, 반송물을 탑재 지지 가능한 탑재부를 구비한 이송 장치에 의해 반송부 상의 반송물을 들어올리는 들어올리기 작업이나 반송물을 반송부 상에 내려놓는 내려놓기 작업을 반송 방향과 교차하는 횡 방향으로부터 행하려고 해도, 추진력 부여 수단이 탑재부의 횡 방향에의 이동을 방해하는 것으로 되어 송풍식 지지 수단에 의해 지지되는 반송물의 하방 공간에 탑재부를 삽입할 수 없기 때문에, 반송 방향과 교차하는 횡 방향으로부터 들어올리기 작업이나 내려놓기 작업을 할 수 없어 불편한 것이었다.

본 발명은 상기 실정을 감안하여 이루어진 것이며, 그 목적은 반송물을 탑재 지지 가능한 탑재부를 구비한 이송 수단에 의해 반송부의 반송 방향과 교차하는 횡 방향으로부터 들어올리기 작업이나 내려놓기 작업을 행할 수 있는 반송 장치를 제공하는 점에 있다.

본원 발명의 반송 장치는 반송물의 하면을 향해 청정공기를 공급하여 반송물을 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단, 및 그 송풍식 지지 수단에 의해 지지된 반송물의 하면에 접촉하여 반송물에 반송 방향의 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단을 구비하는 반송부가 설치된 반송 장치로서,

상기 반송부로서, 반송물을 반송 방향을 따라 반송 가능한 주반송부, 및 이 주반송부와 상기 반송 방향으로 정렬하여 위치하여 상기 주반송부 사이에서 반송물을 반송 가능한 이송용 반송부가 설치되고,

상기 이송용 반송부가 그것에 구비된 추진력 부여 수단과 송풍식 지지 수단의 상대 승강에 의해, 상기 송풍식 지지 수단에 의해 지지되는 반송물의 하면에 상기 추진력 부여 수단을 접촉시키는 반송 상태, 및 상기 송풍식 지지 수단에 의해 지지되는 반송물에 대하여 상기 추진력 부여 수단을 하방 측으로 이격시키는 이송 상태로 전환 가능하게 구성되고,

반송물을 탑재 지지 가능하고, 상기 반송 방향과 교차하는 횡 방향과 상하 방향으로 이동 가능한 탑재부를 구비한 이송 수단이 설치되고, 상기 탑재부는 상기 이송용 반송부의 상기 이송 상태에 있어서, 상기 송풍식 지지 수단에 의해 지지되는 반송물의 하방 측 공간에 대하여 상기 반송 방향과 교차하는 횡 방향으로 삽입, 및 인출이 가능하고, 또한, 반송물의 하방 측 공간에 삽입했을 때에 상기 송풍식 지지 수단의 지지를 허용하도록 형성되어 있는 점을 특징으로 한다.

즉, 이송용 반송부를 반송 상태로 전환함으로써, 반송물은 그 하면에 접촉한 추진력 부여 수단에 의해 추진력이 부여되어 반송 방향을 따라 반송할 수 있어, 이송용 반송부를 이송 상태로 전환함으로써, 송풍식 지지 수단에 지지되는 반송물에 대하여 추진력 부여 수단이 하방 측으로 이격되어 송풍식 지지 수단에 의해 지지되는 반송물을 이송 수단에 의해 들어올리는 들어올리기 작업이나 송풍식 지지 수단에 지지되도록 이송 수단에 의해 반송물을 내려놓는 내려놓기 작업을 행할 수 있다. 또한, 이송 수단에서의 탑재부를 반송물의 하방 측 공간에 삽입했을 때도 송풍식 지지 수단의 지지가 허용되기 때문에, 탑재부를 반송물의 하방 공간에 삽입 및 발취할 때에도 반송물은 송풍식 지지 수단에 의해 지지되어 있고 탑재부를 반송물의 하방 공간에 삽입 및 발취하는 것을 반송물과 접촉하지 않고 원활히 행할 수 있다.

즉, 이송용 반송부를 이송 상태로 전환하면, 송풍식 지지 수단에 지지되는 반송물에 대하여 추진력 부여 수단이 하방 측으로 이격됨으로써 반송물의 하방 측 공간에 대하여 이송 수단에서의 탑재부를 반송 방향과 교차하는 횡 방향으로 삽입 및 발취 가능하게 된다. 들어올리기 작업을 하는 경우에서는 탑재부를 횡 방향으로부터 반송물의 하방 공간에 삽입시킨 후, 그 탑재부를 상승시킴으로써, 송풍식 지지 수단에 지지되어 있는 반송물을 들어올릴 수 있고, 또한 내려놓기 작업을 하는 경우에서는 탑재 지지한 반송물을 송풍식 지지 수단에 의해 지지되도록 탑재부를 하강시킨 후, 그 탑재부를 반송물의 하방 공간으로부터 탈출시킴으로써, 반송물을 송풍식 지지 수단에 지지되도록 반송물을 내려놓을 수 있다.

따라서, 반송물을 탑재 지지 가능한 탑재부를 구비한 이송 수단에 의해 반송 방향과 교차하는 횡 방향으로부터 들어올리기 작업이나 내려놓기 작업을 행할 수 있는 반송 장치를 제공할 수 있게 되었다.

제2 특징의 구성은 상기 이송용 반송부가 상기 추진력 부여 수단을 상기 주반송부에 구비된 추진력 부여 수단과 동일하거나 대략 동일한 높이에 고정 상태로 설치하고, 또한, 상기 송풍식 지지 수단을, 상기 반송 상태에 있어서는 상기 주반송부에 구비된 상기 송풍식 지지 수단과 동일하거나 대략 동일한 높이로 반송물을 지지하는 하방 위치가 되고, 상기 이송 상태에 있어서는 상기 주반송부에 구비된 상기 송풍식 지지 수단보다 높은 높이로 반송물을 지지하는 상방 위치가 되도록, 승강 조작 가능하게 설치되어 있는 점을 특징으로 한다.

송풍식 지지 수단의 승강 조작에 의해, 추진력 부여 수단을 승강 조작하지 않고 반송 상태와 이송 상태로 전환할 수 있기 때문에, 주반송부에 구비된 추진력 부여 수단에 대한 이송용 반송부에 구비된 추진력 부여 수단의 높이가 반송 상태와 이송 상태로 변화하지 않기 때문에, 상기 각각에 구비된 추진력 부여 수단을 일련의 전동(傳動)구조로 구성하기 쉽게 추진력 부여 수단의 전동구조의 복잡화를 억제할 수 있다.

제3 특징의 구성은 상기 이송용 반송부가 상기 송풍식 지지 수단을 상기 주반송부에 구비된 송풍식 지지 수단과 동일하거나 대략 동일한 높이로 반송물을 지지하는 높이에 고정 상태로 설치하고, 또한 상기 추진력 부여 수단을, 상기 반송 상태에 있어서는 상기 주반송부에 구비된 추진력 부여 수단과 동일하거나 대략 동일한 높이에 위치하는 상방 위치가 되고, 상기 이송 상태에 있어서는 상기 주반송부에 구비된 추진력 부여 수단보다도 하방으로 위치하는 하방 위치가 되도록, 승강 조작 가능하게 설치되어 있는 점을 특징으로 한다.

추진력 부여 수단의 승강 조작에 의해, 송풍식 지지 수단을 승강 조작시키지 않고 반송 상태와 이송 상태로 전환할 수 있기 때문에, 반송물의 지지높이가 반송 상태와 이송 상태로 변화되는 것에 의한 반송물의 자세가 붕괴되는 것을 억제할 수 있다.

제4 특징의 구성은 상기 이송용 반송부에, 상기 이송 상태에 있어서 상기 송풍식 지지 수단에 의해 지지되는 반송물에 접촉함으로써 반송물의 자세를 수정하는 자세 수정 수단이 설치되어 있는 점을 특징으로 한다.

즉, 이송용 반송부를 반송 상태로부터 이송 상태로 전환했을 때에 반송물의 자세가 붕괴되었다고 해도, 자세 수정 수단이 송풍식 지지 수단에 지지되는 반송물에 접촉함으로써 반송물의 자세를 수정할 수 있어, 소정의 자세의 반송물을 이송 수단에 의해 들어올릴 수 있다. 또, 이송 수단에 의해 송풍식 지지 수단에 지지되도록 내려놓아졌을 때에 반송물의 자세가 붕괴되어 있었다고 해도, 상기한 바와 같이, 반송물의 자세를 수정할 수 있어, 소정의 자세로 반송 방향으로 반송할 수 있다.

제5 특징의 구성은 상기 탑재부가 상기 반송 방향과 교차하는 횡 방향으로 연장되는 포크형으로 형성되고, 상기 송풍식 지지 수단이 상기 반송 방향과 교차하는 횡 방향을 따라 형성되어, 상기 탑재부가 삽입 가능한 오목부를 구비하고 있는 점을 특징으로 한다.

즉, 탑재부를 포크형으로 형성함으로써, 이 반송부를 반송물의 하방 측 공간에 삽입하더라도 송풍식 지지 수단의 지지를 허용하도록 구성되어 있고, 또한 탑재부를 반송물의 하방 측 공간에 대하여 삽입 및 발취를 행하는 데, 송풍식 지지 수단에 구비된 오목부에 탑재부의 일부 또는 전부가 삽입되는 상태로 행하는 것에 의해, 반송물의 송풍식 지지 수단에 대한 부상량이 작더라도 삽입 및 발취를 할 수 있기 때문에, 들어올리기 작업이나 내려놓기 작업을 행할 때에 반송물의 부상량을 조절할 필요가 없고, 이들 작업을 원활히 행할 수 있다.

제6 특징의 구성은 상기 송풍식 지지 수단이 먼지를 제거하는 제진 필터와, 그 제진 필터를 통해서 반송물의 하면을 향해 청정공기를 공급하는 송풍 수단을 일체로 조립한 송풍 유닛이 상기 반송 방향으로 나란히 구성되어 있는 점을 특징으로 한다.

즉, 송풍 수단과 제진 필터를 일체로 조립한 송풍 유닛을 반송 방향으로 나란히 구비할 뿐이고, 반송되는 반송물의 하면을 향해 청정공기를 공급하여 반송물을 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단을 설치할 수 있기 때문에, 송풍식 지지 수단의 설치가 간단하게 되어, 제작의 용이화를 도모할 수 있는 반송 장치를 제공할 수 있다.

이하에 복수의 실시예에 대하여 설명하지만, 모순이 생기지 않는 한, 특정한 실시예에서의 특징을 별도의 실시예에서의 특징과 조합하는 것이 가능하며, 그와 같은 조합도 본 발명의 범위 내에 포함된다는 것을 이해하여야 한다.

[제1 실시예]

이하, 본 발명에 관한 반송 장치를 반송물의 예로서 액정용 직사각형의 유리 기판을 반송하는 경우에 대해 도면에 따라 설명한다.

도 1에 도시한 바와 같이, 반송 장치(H)에는 유리 기판(2)을 반송 방향을 따라 반송 가능한 주반송부(5a), 및 이 주반송부(5a)와 반송 방향으로 정렬하여 위치되고, 주반송부(5a)와의 사이에서 유리 기판(2)을 반송 가능한 이송용 반송부(5b)가 반송부로서 설치되어 있다. 또, 반송 장치(H)에는 이송용 반송부(5b)에서, 송풍식 지지 수단(3)에 의해 지지되는 유리 기판(2)을 들어올리는 들어올리기 작업이나 이송용 반송부(5b)의 송풍식 지지 수단(3)에 지지되도록 유리 기판(2)을 내려놓는 내려놓기 작업을 행하는 상기 이송 수단(37)이 설치되어 있다.

도 2 및 도 8에 도시한 바와 같이, 각 반송부는 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단(3)과 접촉 상태로 지지하는 추진력 부여 수단(4)으로 유리 기판(2)을 지지하고, 그 지지된 유리 기판(2)에 반송 방향의 추진력을 상기 추진력 부여 수단(4)에 의해 부여하여 유리 기판(2)을 반송 방향으로 반송한다. 이들 송풍식 지지 수단(3)이나 추진력 부여 수단(4)은 수납 케이스(7)에 수납되어 있다.

그리고, 도 11에 도시한 바와 같이, 반송 장치(H)에는 유리 기판(2)의 존재 여부를 검출하는 광전 센서에 의해 구성된 반송물용 센서(T1)나 탑재부의 존재 여부를 검출하는 근접센서에 의해 구성된 탑재부용 센서(T2)의 검출 결과, 및 이송용 반송부(5)에 들어올리기 명령과 내려놓기 명령을 인위적으로 명령하는 명령 수단(X)의 명령에 따라, 송풍식 지지 수단(3)을 승강 조작하는 지지 수단용 모터(16), 추진력 부여 수단(4) 및 자세 수정 수단(6)의 작동을 제어하는 제어 수단(E)이 구비되어 있다.

그리고, 주반송부(5a)는 주반송 유닛을 하나 또는 복수를 반송 방향을 따라 구비하여 구성되고, 이송용 반송부(5b)는 하나의 이송용 반송 유닛에 의해 구성되어 있다. 즉, 반송 장치(H)는 주반송 유닛과 이송용 반송 유닛을 조합하여 구성되어 있다.

이송용 반송부(5b)에 대하여 설명한다.

도 2에 도시한 바와 같이, 이송용 반송부(5b)에는 송풍식 지지 수단(3)과, 유리 기판(2)에 반송 방향의 추진력을 부여하는 상기 추진력 부여 수단(4)과, 유리 기판(2)에 횡 방향 측부로부터 접촉함으로써 유리 기판(2)의 자세를 수정하는 자세 수정 수단(6)과, 상기 반송물용 센서(T1)와, 상기 탑재부용 센서(T2)와, 케이스체(7)를 구비하고 있다. 케이스체(7)는 이들 송풍식 지지 수단(3), 추진력 부여 수단(4), 자세 수정 수단(6), 반송물용 센서(T1) 및 탑재부용 센서(T2)를 수납한다.

도 3 및 도 4에 도시한 바와 같이, 이송용 반송부(5b)에 구비된 상기 케이스체(7)는 송풍식 지지 수단(3)을 탑재 지지하는, 평면에서 보아 대략 직사각형인 유닛용 프레임(9)과, 유닛용 프레임(9)의 가로 폭 방향의 양측에 반송 방향을 따라 고정 상태로 지지된 수납 프레임(8)을 구비하여 구성되어 있다.

상기 수납 프레임(8)의 각각은 반송 방향에서 볼 때 각통형으로 구성되어 있고, 유닛용 프레임(9)과 연결되는 내벽(8a) 측과 반대측에 개폐 가능한 수납커버(8c)를 구비하고 있다. 수납 프레임(8)의 하벽(8b)에는 수납 프레임 내의 공기를 외부로 배출하는 외부 배출구(21)가 구비되어 있다. 그리고, 외부 배출구(21)를 폐쇄하도록, 송풍 기능과 제진 기능을 가지는 서브 송풍 유닛(23)이 구비되어 있고, 이 서브 송풍 유닛(23)에 의해 수납 프레임(8) 내의 공기가 청정되어 외부로 배출된다. 또, 상기 유닛용 프레임(9)은 프레임 부재를 장착한 지지 프레임 부분(9a)과, 이 지지 프레임 부분(9a)보다 하방에 위치하여, 외부공기를 도입하는 공기도입구(11)를 구비한 대략 직사각형인 판형의 판형프레임 부분(9b)으로 구성되어 있다.

이송용 반송부(5b)에 구비된 상기 송풍식 지지 수단(3)에 대하여 설명한다. 도 3∼5에 도시한 바와 같이, 상기 송풍식 지지 수단(3)은 유리 기판(2)의 하면(2a)을 향해서 청정공기를 공급하는 복수의 팬 필터 유닛(송풍 유닛의 일례)(14)과, 이 팬 필터 유닛(14)에 탑재 지지되어 유리 기판(2)의 하면(2a)에 공급되는 청정공기의 정류를 행하는 정류판(15)을 구비하고 있고, 특히 도 5에 도시한 바와 같이, 상기 유닛용 프레임(9)에 승강 조작 가능하게 지지되어 있다. 팬 필터 유닛(14)은 먼지를 제거하는 제진 필터(12)와, 이 제진 필터(12)를 통해서 유리 기판(2)의 하면(2a)을 향해서 청정공기를 공급하는 송풍팬(13)(송풍 수단의 일례)을 일체로 조립하여 구성되어 있다. 정류란 넓은 영역에 걸쳐 균등하게 공기를 분산시키는 의미이다. 상기 복수의 팬 필터 유닛(14)은 연결프레임에 의해 서로 연결되어 있고, 또, 정류판(15)에는 상기 반송 방향과 교차하는 횡 방향을 따르는 상향의 오목부(15b)와, 펀칭(punching press)에 의해 오목부(15b)의 영역 이외의 전체면에 형성된 통기구멍(15a)이 형성되어 있다.

그리고, 도 5에 도시한 바와 같이, 팬 필터 유닛(14)의 하면에는 이 팬 필터 유닛(14)을 승강 조작하기 위한 전동식의 지지 수단용 모터(16)가 형성되어 있으며, 이 지지 수단용 모터(16)의 출력기어(16a)와, 유닛용 프레임(9)에서의 지지 프레임 부분(9a)의 측면에 형성된 기어홈(9c)이 맞물려 있다. 따라서, 지지 수단용 모터(16)를 정역 방향으로 구동 회전시킴에 따라, 이송용 반송부(5b)에 구비된 송풍식 지지 수단(3)이 승강 조작되게 된다.

다음에, 이송용 반송부(5b)에 구비된 추진력 부여 수단(4)에 대하여 설명한다. 도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이, 상기 추진력 부여 수단(4)은 유리 기판(2)에서의 가로 폭 방향의 양 단부를 접촉 지지하는 한 쌍의 추진력 부여부(4a)를 구비하여 양측 구동식으로 구성되고, 추진력 부여부(4a)는 상기 한 쌍의 수납 프레임(8)에 분배되어 구비되어 있다.

추진력 부여부(4a)의 각각은 도 5∼7에 도시한 바와 같이, 전동 모터(25)와, 이 전동 모터(25)의 출력기어와 맞물리는 스퍼기어(28)를 구비한 전동샤프트(27)와, 전동샤프트(27)에 구비된 출력기어(29)와 맞물리는 입력기어(30)를 구비한 다수의 출력샤프트(26)를 구비하여 구성되어 있다. 그리고, 전동모터(25) 및 전동샤프트(27)는 수납 프레임(8) 내에 배치되어 있고, 상기 출력샤프트(26)는 도 4에 나타낸 바와 같이, 수납 프레임(8)으로부터 돌출되는 상태로 상기 내벽(8a)에 회전 가능하게 지지되어 있다. 출력샤프트(26)의 수납 프레임(8)으로부터 돌출되는 부분에는 유리 기판(2)의 하면(2a)을 접촉 지지하여 추진력을 부여하는 상기 구동 롤러(24)가 구비되어 있고, 이 구동 롤러(24)에는 도 4 및 도 8에 도시한 바와 같이, 유리 기판(2)의 가로 폭 방향의 양 단부의 측면에 접촉하여, 유리 기판(2)의 가로 폭 방향으로의 이동을 수용하는 대직경부(24a)가 구비되어 있다.

다음에, 상기 자세 수정 수단(6)에 대하여 설명한다. 도 2 및 도 4에 도시한 바와 같이, 자세 수정 수단(6)은 4개의 접촉기구(32)에 의해 구성되어 있다. 그리고, 4개의 접촉기구(32)의 각각은 수납 프레임(8)의 상벽(8d)에 고정 지지되어 있고, 유리 기판(2)의 전후 방향의 한 쪽 측면 및 좌우 방향의 한 쪽 측면과 각각 접촉 가능한 한 쌍의 가압 부재(33)와, 한 쌍의 가압 부재(33)를 연결 지지하는 본체부(34)와, 본체부(34)를 상기 내외 방향으로 이동 조작하는 구동부(35)로 구성되어 있다. 구동부(35)는 가압 부재(33)의 직선상의 기부에 설치된 톱니(serration)와, 이 톱니와 맞물리는 기어기구와, 이 기어기구를 구동하는 모터를 구비하고 있다. 가압 부재(33)의 직선상의 기부는 반송 방향에 대하여 예를 들면 45°의 각도로 연장되어 있고, 가압 부재(33)는 이 기부가 연장되는 방향을 따라 이동한다. 따라서, 가압 부재(33)의 이동방향은 횡 방향의 성분을 가진다.

구동 기구(35)에 의해 본체부(34)를 상기 내외 방향으로 이동시켜, 합계 8개의 가압 부재(33)에 의해 유리 기판(2)을 횡 방향 측부로부터 끼워넣도록 접촉시킴으로써, 유리 기판(2)의 자세를 수정하도록 구성되어 있다.

다음에, 주반송부(5a)에 대하여 설명하지만, 이송용 반송부(5b)와 같이 구성되는 것에 관해서는 이송용 반송부(5b)와 동일한 부호를 붙이고, 설명은 생략한다.

도 8에 도시한 바와 같이, 주반송부(5a)는 송풍식 지지 수단(3)과, 유리 기판(2)에 반송 방향의 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단(4)과, 이들 송풍식 지지 수단(3) 및 추진력 부여 수단(4)을 수납하는 케이스체(7)를 구비하고 있다.

그리고, 주반송부(5a)에는 이송용 반송부(5b)에 구비되어 있었던 자세 수정 수단(6)이 구비되지 않고, 송풍식 지지 수단(3)은 유닛용 프레임(9)의 지지 프레임 부분에 고정 지지되어 있다. 또, 주반송부(5a)에서의 정류판(15)의 전체면에는 통기구멍(15a)만이 형성되어 있고, 오목부(15b)는 형성되어 있지 않다. 또, 수납 케이스(7)는 한 쌍의 수납 프레임(8)의 상단부에 걸쳐 반송커버(20)를 구비하고 있다.

다음에, 이송용 반송부(5b)의 반송 상태와 이송 상태 사이의 전환에 대하여 설명한다.

도 9에 도시한 바와 같이, 주반송부(5a)와 이송용 반송부(5b)는 동일하거나 거의 동일한 높이로 설치되어 있다. 그리고, 이송용 반송부(5b)에 구비된 상기 추진력 부여 수단(4)은, 도 9(A)에 나타낸 바와 같이, 주반송부(5a)에 구비된 추진력 부여 수단(4)과 동일하거나 거의 동일한 높이로 고정 상태로 형성되어 있으며, 이송용 반송부(5b)에 구비된 송풍식 지지 수단(3)은 도 9(A)에 도시한 바와 같은 상기 주반송부(5a)에 구비된 송풍식 지지 수단(3)과 동일하거나 거의 동일한 높이로 유리 기판(2)을 지지하는 하방 위치와, 도 9(B)에 도시한 바와 같은 상기 주반송부(5a)에 구비된 송풍식 지지 수단(3)보다 높은 높이로 유리 기판(2)을 지지하는 상방 위치로 승강 가능하다.

즉, 이송용 반송부(5b)에 구비된 송풍식 지지 수단(3)을 하방 위치로 하강시키면, 이송용 반송부(5b)는 송풍식 지지 수단(3)에 의해 지지되는 유리 기판(2)의 하면(2a)에 추진력 부여 수단(4)을 접촉시키는 반송 상태로 전환되고, 이송용 반송부(5b)에 구비된 송풍식 지지 수단(3)을 상방 위치로 상승시키면, 송풍식 지지 수단(3)에 의해 지지되는 유리 기판(2)에 대하여 추진력 부여 수단(4)을 하방 측으로 이격시키는 이송 상태로 전환된다. 이와 같이 이송용 반송부(5b)는 그것에 구비된 송풍식 지지 수단(3)의 승강 조작에 의해 반송 상태와 이송 상태로 전환 가능하다.

도 1에 도시한 바와 같이, 반송 장치(H)에는 이송용 반송부(5b)에서 송풍식 지지 수단(3)에 의해 지지되는 유리 기판(2)을 들어올리는 들어올리기 작업이나 이송용 반송부(5b)의 송풍식 지지 수단(3)에 지지되도록 유리 기판(2)을 내려놓는 내려놓기 작업을 행하는 이송 수단(37)이 설치되어 있다. 이송 수단(37)에 구비된 탑재부(38)는 정류판(15)의 오목부(15b)에 삽입될 수 있다.

그리고, 이송 수단(37)에 구비된 탑재부(38)는 유리 기판(2)을 탑재 지지 가능하고 또한 상기 반송 방향과 교차하는 횡 방향, 및 상하 방향의 이동이 가능하다. 탑재부(38)는 이것에 가공, 종 방향 축심 주위의 회전조작이나 반송 방향 등으로 적절하게 이동 가능하다. 또, 탑재부(38)는 복수의 손가락을 가지는 포크형으로 형성되어, 상기 이송용 반송부(5b)의 이송 상태에 있어서, 도 1 및 도 10에 도시한 바와 같이, 송풍식 지지 수단(3)에 의해 지지되는 유리 기판(2)의 하방 측 공간에 대하여 반송 방향과 교차하는 횡 방향으로 삽입 및 인출이 자유롭고, 또한, 유리 기판(2)의 하방 측 공간에 삽입했을 때에 송풍식 지지 수단(3)의 지지가 가능하다. 포크형으로 형성된 탑재부(38)는 유리 기판(2)의 하방 측 공간에 삽입 및 발취할 때에 반송 방향과 교차하는 횡 방향으로 연장되는 상태로 되고, 들어올리기 작업이나 내려놓기 작업을 전달용 반송부(5b)의 측방으로부터 행한다. 이송 수단(37)은 종래의 구조를 가지는 것이며, 예를 들면, 공업용 로봇일 수도 있고, 전기모터, 또는 내연기관에 의해 구동되어, 탑재부(38)를 기어나 체인을 통하여 전기모터에 의해 이동시키는 자주식, 또는 고정식의 포크리프트(forklift)와 같은 구조를 가질 수도 있다.

다음에, 유리 기판(2)을 반송 위쪽의 주반송부(5a)로부터 이송용 반송부(5b)를 통하여 반송 아래쪽의 주반송부(5a)로 반송하는 주반송, 들어올리기 작업, 및 내려놓기 작업에 대하여 설명한다.

주반송에 대하여 설명하면, 도 9(A) 및 도 10(A)에 도시한 바와 같이, 이송용 반송부(5b)에 구비된 송풍식 지지 수단(3)을 반송 상태로 전환한 상태에서 주반송부(5a)에 구비된 추진력 부여 수단(4)과 이송용 반송부(5b)에 구비된 추진력 부여 수단(4)을 작동시켜 유리 기판(2)에 주반송 방향의 추진력을 부여함으로써 주반송이 행하여진다.

들어올리기 작업에 대하여 설명하면, 먼저, 상기 주반송이 행해지고 있는 상태에 있어서, 상기 명령 수단(X)이 들어올리기 명령을 명령하면, 유리 기판(2)이 이송용 반송부(5b)의 소정의 위치까지 반송된 것이 상기 반송물용 센서(T1)에 의해 검출된다. 이에 따라, 추진력 부여 수단(4)의 작동이 정지된다. 그 후, 이송용 반송부(5b)에 구비된 송풍식 지지 수단(3)에 의해 유리 기판(2)을 지지한 상태에서 도 9(B) 및 도 10(B)에 도시한 바와 같이, 그 송풍식 지지 수단(3)이 상방 위치로 상승되어 이송용 반송부(5b)가 이송 상태로 전환된다.

자세 수정 수단(6)에서의 8개의 가압 부재(33)는 그 하단이 이송 상태로의 전환에 의하여 유리 기판(2)의 하면보다 하방에 위치하고 있어, 이송 상태에 있어서 송풍식 지지 수단(3)에 의해 지지되는 유리 기판(2)에 횡 방향 측부로부터 가압 부재(33)를 접촉시키기 위해서 본체부(34)를 내측으로 이동시키도록 자세 수정 수단(6)이 작동되어 유리 기판(2)의 자세가 수정된다.

그리고, 탑재부(38)의 일부 또는 전부가 정류판(15)의 오목부(15b)에 삽입되도록, 탑재부(38)를 유리 기판(2)의 하방 측 공간에 반송 방향과 교차하는 횡 방향으로부터 삽입한다. 이러한 탑재부(38)의 삽입이 상기 탑재부용 센서(T2)에 의해 검출되고, 이 검출 결과에 따라 본체부(34)를 외측으로 이동시키도록 자세 수정 수단(6)이 작동되어, 가압 부재(33)의 유리 기판(2)에의 접촉이 해제된다.

그 후, 도 9(C) 및 도 10(C)에 도시한 바와 같이, 유리 기판(2)의 하방 측 공간에 삽입한 탑재부(38)를 상승시킴으로써 송풍식 지지 수단(3)에 의해 지지되어 있던 유리 기판(2)을 탑재부(38)에 의해 탑재 지지한다. 이와 같이 탑재부(38)에 의해 들어올린 유리 기판(2)은 탑재부(38)를 이동 조작하여 유리 기판 수납용 선반 등에 이송한다.

그리고, 송풍식 지지 수단(3)에 의해 지지되는 유리 기판(2)을 탑재부(38)에 의해 들어올림으로써 상기 반송물용 센서(T1)가 비검출 상태가 되면, 도 9(A) 및 도 10(A)에 도시한 바와 같이, 이송용 반송부(5b)에 구비된 송풍식 지지 수단(3)을 하방 위치로 하강시켜 이송용 반송부(5b)를 이송 상태로 전환한 후, 추진력 부여 수단(4)이 작동하여 주반송이 재개된다.

다음에, 내려놓기 작업에 대하여 설명하면, 먼저 상기 주반송이 행해지고 있는 상태에 있어서, 상기 명령 수단(X)이 내려놓기 명령을 명령하면, 주반송부(5a)에 구비된 추진력 부여 수단(4), 이송용 반송부(5b)에 구비된 추진력 부여 수단(4)의 순서대로, 이송용 반송부(5b) 상에 유리 기판(2)이 없는 상태에서 추진력 부여 수단(4)의 작동을 정지시킨다. 그 후, 이송용 반송부(5b)에 구비된 송풍식 지지 수단(3)이 상방 위치로 상승되어 이송용 반송부(5b)가 이송 상태로 전환된다.

이 상태에서 도 9(C) 및 도 10(C)에 나타낸 바와 같이, 유리 기판(2)을 탑재 지지한 탑재부(38)를 도 9(B) 및 도 10(B)에 나타낸 바와 같이, 탑재부(38)의 일부 또는 전부가 정류판(15)의 오목부(15b)에 삽입되도록 하강시키면, 탑재부(38)에 탑재 지지되어 있던 유리 기판(2)은 송풍식 지지 수단(3)에 의해 지지되는 상태가 된다. 그리고, 탑재부(38)의 오목부(15b)에의 삽입이 상기 탑재부용 센서(T2)에 의해 검출되면, 송풍식 지지 수단(3)에 의해 지지되는 유리 기판(2)에 횡 방향 측부로부터 가압 부재(33)를 접촉시키도록 본체부(34)를 내측으로 이동시키도록 자세 수정 수단(6)이 작동되어 유리 기판(2)의 자세가 수정된다.

그 후, 탑재부(38)를 유리 기판(2)의 하방 측 공간에서 반송 방향과 교차하는 횡 방향으로 끌어낸다. 상기 탑재부용 센서(T2)가 비검출 상태가 되면, 도 9(A) 및 도 10(A)에 도시한 바와 같이, 본체부(34)를 외측으로 이동시키도록 자세 수정 수단(6)이 작동되어 가압 부재(33)의 유리 기판(2)에의 접촉이 해제되고, 이송용 반송부(5b)에 구비된 송풍식 지지 수단(3)을 하방 위치로 하강시켜 이송용 반송부(5b)가 이송 상태로 전환된다. 그 후, 추진력 부여 수단(4)이 작동하여 주반송이 재개된다.

[제2 실시예]

이 제2 실시예는 상기 제1 실시예에 있어서 이송용 반송부(5b)에 구비된 추진력 부여 수단(4)과 송풍식 지지 수단(3)의 상대 승강의 다른 실시예를 나타내는 것이며, 이하에서는, 이 점을 중심으로 하여 도면에 따라 설명을 더한다. 또한, 제1 실시예와 같이 구성되는 것에 관해서는 제1 실시예와 동일한 부호를 붙이고, 설명은 생략한다.

도 12에 도시한 바와 같이, 한 쌍의 수납 프레임(8)의 한 쪽이 유닛용 프레임(9)에 승강 조작 가능하게 지지되어 있다. 즉, 한 쪽 수납 프레임(8)의 하부에는 이 수납 프레임(8)을 승강 조작하기 위한 전동식의 프레임용 모터(31)가 형성되어 있으며, 이 프레임용 모터(31)의 출력기어(31a)와, 유닛용 프레임(9)에서의 지지 프레임 부분(9a)의 측면에 형성된 기어홈(9c)이 맞물려 있다. 따라서, 프레임용 모터(31)를 정역 방향으로 구동 회전시킴에 따라 한 쪽 수납 프레임(8)이 승강하고, 그 한 쪽 수납 프레임(8)에 구비되어 있는 추진력 부여부(4a)가 승강 조작되게 된다.

또한, 도 14에 도시한 바와 같이, 이송용 반송부(5b)에서의 송풍식 지지 수단(3)은 유닛용 프레임(9)에 고정 지지되어 있다.

자세 수정 수단(6)에 관해서는, 도 12에 나타낸 바와 같이, 승강 조작되는 한 쪽 수납 프레임(8)에 탑재 지지되는 접촉기구(32)는 제1 실시예의 접촉기구(32)와 같이 구성되어 있지만, 도 13에 나타낸 바와 같이, 승강 조작되지 않는 다른 쪽의 수납 프레임(8)에 탑재 지지되는 접촉기구(32)는, 구동부(35)가 본체부(34)를 상기 내외 방향으로 이동하는 동시에 승강하도록 구성되어 있다.

다음에, 이송용 반송부(5b)의 반송 상태와 이송 상태의 전환에 대하여 설명한다.

도 15에 도시한 바와 같이, 주반송부(5a)와 이송용 반송부(5b)는 동일하거나 거의 동일한 높이로 설치되어 있다. 그리고, 이송용 반송부(5b)에 구비된 상기 송풍식 지지 수단(3)은 도 15(A)에 나타낸 바와 같이, 주반송부(5a)에 구비되는 송풍식 지지 수단(3)과 동일하거나 거의 동일한 높이로 고정 상태로 형성되어 있으며, 이송용 반송부(5b)에 구비된 추진력 부여 수단(4)은 도 16(A)에 도시한 바와 같은 상기 주반송부(5a)에 구비되는 추진력 부여 수단(4)과 동일하거나 거의 동일한 높이에 위치하는 상방 위치나, 도 16(B)에 도시한 바와 같은 상기 주반송부(5a)에 구비되는 추진력 부여 수단(4)보다 하방에 위치하는 하방 위치가 되도록, 승강 조작 가능하게 설치하도록 구성되어 있다.

즉, 이송용 반송부(5b)에 구비된 추진력 부여 수단(4)을 상방 위치로 상승시키면, 이송용 반송부(5b)는 송풍식 지지 수단(3)에 의해 지지되는 유리 기판(2)의 하면(2a)에 추진력 부여 수단(4)을 접촉시키는 반송 상태로 전환되고, 이송용 반송부(5b)에 구비된 추진력 부여 수단(4)을 하방 위치로 하강시키면, 송풍식 지지 수단(3)에 의해 지지되는 유리 기판(2)에 대하여 추진력 부여 수단(4)을 하방 측으로 이격시키는 이송 상태로 전환되는 것이며, 이송용 반송부(5b)는 여기에 구비된 추진력 부여 수단(4)의 승강 조작에 의해 반송 상태와 이송 상태로 전환 가능하게 구성되어 있다.

다음에, 상기 들어올리기 작업 및 내려놓기 작업에 대하여 설명한다.

먼저, 들어올리기 작업에 대하여 설명하면, 도 15(A) 및 도 16(A)에 도시한 바와 같은 주반송이 행해지고 있는 상태에 있어서, 상기 명령 수단(X)에 의해 들어올리기 명령을 명령하면, 유리 기판(2)이 이송용 반송부(5b)의 소정의 위치까지 반송된 것이 상기 반송물용 센서(T1)에 의해 검출되는 것에 의해 추진력 부여 수단(4)의 작동이 정지된다. 그 후, 이송용 반송부(5b)에 구비된 송풍식 지지 수단(3)에 의해 유리 기판(2)을 지지한 상태에서 도 15(B) 및 도 16(B)에 도시한 바와 같이, 이송용 반송부(5b)에 구비된 한 쪽 추진력 부여부(4a)가 하방 위치로 하강되어 이송용 반송부(5b)가 이송 상태로 전환된다.

자세 수정 수단(6)의 8개의 가압 부재(33) 중 이송 수단(37)이 존재하는 쪽의 4개의 가압 부재(33)는 그 하단이 이송 상태로의 전환에 의하여 유리 기판(2)의 하면보다 하방으로 위치하고, 나머지 이송 수단(37)이 존재하는 쪽의 외측의 4개의 가압 부재(33)는 그 하단이 구동부(35)에 의해 하강 조작되어 유리 기판(2)의 하면보다 하방으로 위치하고, 그 이송 상태에 있어서 송풍식 지지 수단(3)에 의해 지지되는 유리 기판(2)에 횡 방향 측부로부터 가압 부재(33)를 접촉시키도록 본체부(34)를 내측으로 이동시키도록 자세 수정 수단(6)이 작동되고 유리 기판(2)의 자세가 수정된다.

그리고, 탑재부(38)의 일부 또는 전부가 정류판(15)의 오목부(15b)에 삽입되도록, 탑재부(38)를 유리 기판(2)의 하방 측 공간에 반송 방향과 교차하는 횡 방향으로부터 삽입한다. 이러한 탑재부(38)의 삽입이 상기 탑재부용 센서(T2)에 의해 검출된다. 이 검출 결과에 따라 본체부(34)를 외측으로 이동시키도록 자세 수정 수단(6)이 작동되어 가압 부재(33)의 유리 기판(2)에의 접촉이 해제된다.

그 후, 유리 기판(2)의 하방 측 공간에 삽입된 탑재부(38)를 도 15(C) 및 도 16(C)에 나타낸 바와 같이 상승시킴으로써, 송풍식 지지 수단(3)에 의해 지지되어 있던 유리 기판(2)이 탑재부(38)에 의해 탑재 지지되는 상태로 되고, 이와 같이 탑재부(38)에 의해 들어올려진 유리 기판(2)은 탑재부(38)를 이동 조작하여 유리 기판 수납용 선반 등에 이송한다.

그리고, 송풍식 지지 수단(3)에 의해 지지되는 유리 기판(2)을 탑재부(38)에 의해 들어올림으로써 상기 반송물용 센서(T1)가 비검출 상태가 되면, 도 15(A) 및 도 16(A)에 도시한 바와 같이, 이송용 반송부(5b)에 구비된 한 쪽 추진력 부여부(4a)를 상방 위치로 상승시켜 이송용 반송부(5b)를 이송 상태로 전환한 후, 추진력 부여 수단(4)이 작동하여 주반송이 재개된다.

다음에, 내려놓기 작업에 대하여 설명하면, 먼저 상기 주반송이 행해지고 있는 상태에 있어서, 상기 명령 수단(X)에 의해 내려놓기 명령을 명령하면, 주반송부(5a)에 구비된 추진력 부여 수단(4), 이송용 반송부(5b)에 구비된 추진력 부여 수단(4)의 순서대로 추진력 부여 수단(4)의 작동을 정지시켜 이송용 반송부(5b) 상에 유리 기판(2)이 없는 상태에서 추진력 부여 수단(4)의 작동을 정지시킨 후, 이송용 반송부(5b)에 구비된 한 쪽 추진력 부여부(4a)가 하방 위치로 하강되어 이송용 반송부(5b)가 이송 상태로 전환된다.

이 상태에서 도 15(C) 및 도 16(C)에 나타낸 바와 같이 유리 기판(2)을 탑재 지지한 탑재부(38)를, 도 15(B) 및 도 16(B)에 나타낸 바와 같이 탑재부(38)의 일부 또는 전부가 정류판(15)의 오목부(15b)에 삽입되도록 하강시키면, 탑재부(38)에 탑재 지지되어 있던 유리 기판(2)은 송풍식 지지 수단(3)에 의해 지지되는 상태가 된다. 그리고, 탑재부(38)의 오목부(15b)에의 삽입이 상기 탑재부용 센서(T2)에 의해 검출되면, 송풍식 지지 수단(3)에 의해 지지되는 유리 기판(2)에 횡 방향 측부로부터 가압 부재(33)를 접촉시키도록 본체부(34)를 내측으로 이동시키도록 자세 수정 수단(6)이 작동되어 유리 기판(2)의 자세가 수정된다.

그 후, 탑재부(38)를 유리 기판(2)의 하방 측 공간으로부터 반송 방향과 교차하는 횡 방향으로 탈출시킴으로써 상기 탑재부용 센서(T2)가 비검출 상태가 되면, 도 15(A) 및 도 16(A)에 도시한 바와 같이, 본체부(34)를 외측으로 이동시키도록 자세 수정 수단(6)이 작동되어 가압 부재(33)의 유리 기판(2)에의 접촉이 해제된다. 이송용 반송부(5b)에 구비된 한 쪽 추진력 부여부(4a)를 상방 위치로 상승시켜 이송용 반송부(5b)가 이송 상태로 전환된 후, 추진력 부여 수단(4)이 작동하여 주반송이 재개된다.

[다른 실시예]

(1) 상기 각 실시예에서는 송풍식 지지 수단(3)에 탑재부(38)가 삽입 가능한 오목부를 구비하는 데 있어서, 송풍식 지지 수단(3)에서의 정류판(15)에 오목부를 형성했지만, 정류판(15)에 반송 방향과 교차하는 횡 방향을 따라 상하로 관통하는 구멍을 형성하거나, 분할된 복수의 정류판(15)을 반송 방향으로 간격을 둔 상태로 송풍식 지지 수단(3)에 탑재 지지시켜 정류판(15) 사이에 오목부(15b)를 형성하도록 구성할 수도 있다.

또한 정류판(15)의 오목부(15b)에 통기구멍(15a)을 형성할 수도 있고 형성하지 않을 수도 있다.

(2) 상기 각 실시예에서는 내려놓기 작업과 들어올리기 작업의 양쪽을 행하도록 구성했지만, 내려놓기 작업과 들어올리기 작업 중 어느 한 쪽만의 작업을 하도록 구성할 수도 있다. 즉, 예를 들면, 이송용 반송부(5b)의 반송 아래쪽에 주반송부(5a)를 갖추지 않고서 내려놓기 작업만을 하도록 구성하거나, 이송용 반송부(5b)의 반송 위쪽에 주반송부(5a)를 갖추지 않고서 들어올리기 작업만을 하도록 구성할 수도 있다.

(3) 상기 제2 실시예에서는 한 쌍의 수납 프레임(8) 중 한 쪽 수납 프레임(8)을 승강 가능하게 구성했지만, 양쪽을 승강 가능하게 구성하고, 이송용 반송부의 반송 방향과 교차하는 횡 방향의 양측으로부터 들어올리기 작업이나 내려놓기 작업을 행하도록 구성할 수도 있다.

(4) 상기 각 실시예에서는 명령 수단을 인위 조작하도록 구성했지만, 반송되는 유리 기판(2)이 내려놓기 작업을 행하는 것인지 여부의 판별 정보에 따라 자동적으로 내려놓기 명령을 명령하는 등, 자동 조작되도록 구성할 수도 있다.

(5) 상기 각 실시예에서는 추진 부여부(4a)를 복수의 구동 롤러(24)를 구비하여 구성했지만, 복수의 구동 롤러(24) 대신에 타이밍벨트 등의 무단벨트 형체를 구비하여 구성할 수도 있다.

(6) 상기 각 실시예에서는 제진 필터(12)와 송풍팬(13)을 일체로 조립한 팬 필터 유닛(14)을 예시했지만, 반드시 제진 필터(12)와 송풍팬(13)을 일체로 장착할 필요는 없고, 송풍팬(13)에 의해 송풍되는 공기를 제진 필터(12)로 안내하는 안내로 등을 설치하여, 제진 필터(12)와 송풍팬(13)을 별개로 구성하여 실시하는 것도 가능하다.

(7) 상기 실시예에서는 반송물을 액정용 유리 기판(2)으로 했지만, 반도체의 웨이퍼 등으로 할 수도 있고, 반송물의 형상이나 크기는 실시예에 한정되지 않는다.

본 발명에 의해, 반송물을 탑재 지지 가능한 탑재부를 구비한 이송 수단에 의해 반송부의 반송 방향과 교차하는 횡 방향으로부터 들어올리기 작업이나 내려놓기 작업을 행할 수 있는 반송 장치가 제공된다.

도 1은 제1 실시예에서의 반송 장치의 평면도이다.

도 2는 제1 실시예에서의 이송용 반송부의 사시도이다.

도 3은 제1 실시예에서의 이송용 반송부의 정면도이다.

도 4는 제1 실시예에서의 이송용 반송부의 일부 확대정면도이다.

도 5는 제1 실시예에서의 이송용 반송부의 측면도이다.

도 6은 제1 실시예에서의 추진력 부여 수단의 측면도이다.

도 7은 제1 실시예에서의 추진력 부여 수단의 정면도이다.

도 8은 제1 실시예에서의 주반송부의 사시도이다.

도 9는 제1 실시예에서의 이송용 반송부의 측면 작용도이다.

도 10은 제1 실시예에서의 이송용 반송부의 정면 작용도이다.

도 11은 제1 실시예에서의 반송 장치의 제어 블록도이다.

도 12는 제2 실시예에서의 이송용 반송부의 일부 확대정면도이다.

도 13은 제2 실시예에서의 이송용 반송부의 일부 확대정면도이다.

도 14는 제2 실시예에서의 이송용 반송부의 측면도이다.

도 15는 제2 실시예에서의 이송용 반송부의 측면 작용도이다.

도 16은 제2 실시예에서의 이송용 반송부의 정면 작용도이다.

Claims (6)

1. 반송물의 하면을 향해 청정공기를 공급하여 반송물을 비접촉 상태로 지지하는 송풍식 지지 수단, 및 상기 송풍식 지지 수단에 의해 지지된 반송물의 하면에 접촉하여 반송물에 반송 방향의 추진력을 부여하는 추진력 부여 수단을 구비하는 반송부가 설치된 반송 장치로서,

   상기 반송부로서, 반송물을 반송 방향을 따라 반송 가능한 주반송부, 및 상기 주반송부와 상기 반송 방향으로 정렬하여 위치되고 상기 주반송부와의 사이에서 반송물을 반송 가능한 이송용 반송부가 설치되고,

   상기 이송용 반송부는, 상기 이송용 반송부에 구비된 추진력 부여 수단과 송풍식 지지 수단의 상대 승강에 의해 상기 송풍식 지지 수단에 의해 지지되는 반송물의 하면에 상기 추진력 부여 수단을 접촉시키는 반송 상태, 및 상기 송풍식 지지 수단에 의해 지지되는 반송물에 대하여 상기 추진력 부여 수단을 하방 측으로 이격시키는 이송 상태로 전환 가능하게 구성되고,

   반송물을 탑재 지지 가능하고 상기 반송 방향과 교차하는 횡 방향과 상하 방향으로 이동 가능한 탑재부를 구비한 이송 수단이 설치되고, 상기 탑재부는 상기 이송용 반송부의 상기 이송 상태에 있어서, 상기 송풍식 지지 수단에 의해 지지되는 반송물의 하방 측 공간에 대하여 상기 반송 방향과 교차하는 횡 방향으로 삽입 및 인출이 가능하고, 또한 반송물의 하방 측 공간에 삽입했을 때에 상기 송풍식 지지 수단의 지지를 허용하도록 형성되어 있는

   반송 장치.
2. 제1항에 있어서,

   상기 이송용 반송부의 상기 추진력 부여 수단은, 상기 주반송부에 구비된 추진력 부여 수단과 동일하거나 거의 동일한 높이에 고정 상태로 설치되어 있고,

   상기 이송용 반송부의 상기 송풍식 지지 수단은, 상기 반송 상태에 있어서는 상기 주반송부에 구비된 상기 송풍식 지지 수단과 동일하거나 거의 동일한 높이로 반송물을 지지하는 하방 위치가 되고, 상기 이송 상태에 있어서는 상기 주반송부에 구비된 상기 송풍식 지지 수단보다 높은 높이로 반송물을 지지하는 상방 위치가 되도록, 승강 조작 가능하게 설치되어 있는

   반송 장치.
3. 제1항에 있어서,

   상기 이송용 반송부의 상기 송풍식 지지 수단은, 상기 주반송부에 구비된 송풍식 지지 수단과 동일하거나 거의 동일한 높이로 반송물을 지지하는 높이에 고정 상태로 설치되어 있고,

   상기 이송용 반송부의 상기 추진력 부여 수단은, 상기 반송 상태에 있어서는 상기 주반송부에 구비된 추진력 부여 수단과 동일하거나 거의 동일한 높이에 위치하는 상방 위치가 되고, 상기 이송 상태에 있어서는 상기 주반송부에 구비된 추진력 부여 수단보다도 하방에 위치하는 하방 위치가 되도록, 승강 조작 가능하게 설치되어 있는

   반송 장치.
4. 제1항에 있어서,

   상기 이송용 반송부에, 상기 이송 상태에 있어서 상기 송풍식 지지 수단에 의해 지지되는 반송물에 접촉함으로써 반송물의 자세를 수정하는 자세 수정 수단이 설치되어 있는 반송 장치.
5. 제1항에 있어서,

   상기 탑재부는 상기 반송 방향과 교차하는 횡 방향으로 연장되는 포크형으로 형성되고,

   상기 송풍식 지지 수단은 상기 반송 방향과 교차하는 횡 방향을 따라 형성되어, 상기 탑재부가 삽입 가능한 오목부를 구비하고 있는

   반송 장치.
6. 제1항에 있어서,

   상기 송풍식 지지 수단은, 먼지를 제거하는 제진 필터 및 상기 제진 필터를 통해서 반송물의 하면을 향해 청정공기를 공급하는 송풍 수단을 일체로 조립한 송풍 유닛을, 상기 반송 방향으로 정렬하여 구성되어 있는 반송 장치.