WO2019033507A1 - 一种基板传送设备 - Google Patents

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WO2019033507A1
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cabin
air
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transmission
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陈建锋
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武汉华星光电半导体显示技术有限公司
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    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G45/00—Lubricating, cleaning, or clearing devices
    • B65G45/10—Cleaning devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations

Definitions

  • the present invention relates to the field of display device processing, and more particularly to a substrate transfer device.
  • liquid crystal display device Liquid Crystal Display, LCD
  • Organic Light Emitting Diode Organic Light Emitting
  • Flat panel display devices such as Diode, OLED
  • substrates are an indispensable part of LCD and OLED display devices, and the importance of quality is self-evident.
  • the present invention mainly provides a substrate transfer apparatus, which aims to solve the problem that the dust substance generated during the substrate transfer process is easily adsorbed onto the substrate, resulting in a decrease in the quality of the substrate.
  • a technical solution adopted by the present invention is to provide a substrate transfer apparatus, wherein the transfer apparatus includes: a cabin body, the cabin body is provided with an air inlet; a conveying device, the conveying device Including a transmission mechanism, the transmission mechanism is disposed inside the cabin; and an exhaust device for sucking air from the interior of the cabin and discharging; wherein, when the exhaust device is in operation, The air pressure inside the cabin is smaller than the air pressure outside the cabin, and the dust material generated during the operation of the transmission mechanism is strongly taken away, and the air outside the cabin enters the interior of the cabin from the air inlet; a filter is provided at the air inlet for filtering air inside the cabin when air inside the cabin passes through the air inlet to prevent the dust material from being The air inlet passes; the cabin includes a cover body and a machine base, and the cover body is fixedly connected to the machine base, and forms an accommodation space for receiving the transmission mechanism with the machine base.
  • the transfer apparatus includes a cabin, the cabin is provided with an air inlet, and a conveying device, the conveying device Including a transmission mechanism, the transmission mechanism is disposed inside the cabin; and an exhaust device for sucking air from the interior of the cabin and discharging; wherein, when the exhaust device is in operation, The air pressure inside the cabin is smaller than the air pressure outside the cabin, and the dust material generated during the operation of the transmission mechanism is strongly taken away, and the air outside the cabin enters the interior of the cabin from the air inlet.
  • the invention has the beneficial effects that, unlike the prior art, the present invention absorbs the air inside the cabin through the exhaust device and discharges, and when the exhaust device works, the air pressure inside the cabin is smaller than the air pressure outside the cabin.
  • the dust material generated during the operation of the transmission mechanism of the conveyor is taken away, and the air outside the cabin enters the interior of the cabin from the air inlet of the cabin, so that the dust generated by the transmission mechanism is not absorbed by the conveyor.
  • the quality of the substrate is improved.
  • FIG. 1 is a schematic structural view of an embodiment of a substrate transfer apparatus provided by the present invention.
  • Figure 2 is a schematic view showing the structure of the direction A in Figure 1.
  • an embodiment of a substrate transfer apparatus provided by the present invention includes a pod 11, a conveyor 12, and an exhaust 13.
  • the cabin 11 includes a machine base 111 and a cover body 112.
  • the cover body 112 is fixedly disposed on the machine base 111 and forms an accommodation space 113 with the machine base 111.
  • the cover 112 is a transparent cover, such as a transparent glass cover.
  • the cabin 11 is provided with an air inlet 114.
  • the cabin 11 includes a first cabin 101 and a second cabin 102.
  • the air inlet 114 is disposed in the second cabin 102. In other embodiments, the air inlet 114 may also be disposed in the first cabin 101. Or the first cabin 101 and the second cabin 102 are each provided with an air inlet 114.
  • a passage 103 connecting the first cabin 101 and the second cabin 102 is disposed between the first cabin 101 and the second cabin 102.
  • the number of the air inlets 114 may be one or multiple, and is not limited herein.
  • a filter 115 is disposed at the air inlet 114.
  • the filter 115 is disposed outside the cabin 11 and fixedly connected to the cabin 11.
  • the filter 115 is disposed outside the cabin 11 and The second pod 102 is fixedly connected; of course, the filter 115 can also be arranged inside the pod 11 in a fixed connection with the pod 11.
  • the conveyor 12 includes a transmission mechanism 121 and further includes a transmission mechanism 122.
  • the transmission mechanism 121 includes a main transmission mechanism 1211 and an auxiliary transmission mechanism 1212 that are respectively located inside the first cabin 101 and inside the second cabin 102.
  • the main transmission mechanism 1211 includes a first transmission gear 1213 and a second transmission gear 1214.
  • the first transmission gear 1213 is fixed relative to the transmission mechanism 122, and the second transmission gear 1214 is meshed with the first transmission gear 1213 to pass the first transmission gear.
  • the 1213 drive transmission mechanism 122 transmits the substrate. In this process, the first transmission gear 1213 and the second transmission gear 1214 collide, thereby generating granular dust substances inside the first cabin 101 during the friction process;
  • the mechanism 1212 is a bearing that is rotationally coupled to the transfer mechanism 122 to frictionally rotate relative to the bearing during transport of the substrate by the transport mechanism 122, thereby producing particulate dusty material within the second pod 102.
  • the conveying device 12 further includes a driving mechanism 123.
  • the driving mechanism 123 includes a driving gear 1231.
  • the driving gear 1231 meshes with the second transmission gear 1214 to drive the second transmission gear 1214 to rotate, and is driven and the second transmission gear 1214. Friction will occur, which will generate particulate dust inside the first cabin 101 during the friction process.
  • the exhaust device 13 is for sucking up the air inside the cabin 11 and discharging it.
  • the exhaust device 13 extends from the interior of the cabin 11 to the exterior of the cabin 11.
  • the exhaust device 13 extends from the interior of the second cabin 102 to the exterior of the second cabin 102 to draw the second cabin.
  • the air inside the body 102 exhausts the air inside the second pod 102.
  • the air pressure inside the cabin 11 is smaller than the air pressure outside the cabin 11, and the dust generated by the transmission mechanism 121 is strongly taken away, and the air outside the cabin 11 is taken from the air inlet. 114 enters the interior of the cabin 11.
  • the air pressure inside the second cabin 102 is smaller than the air pressure outside the second cabin 102, thereby strongly taking away the dust matter generated during the operation of the auxiliary transmission mechanism 1212. And allowing air outside the second pod 102 to enter the interior of the second pod 102 from the air inlet 114.
  • air inside the first pod 101 will pass from the passage 103 communicating with the second pod 102.
  • the inside of the second cabin 102 is entered to be exhausted by the exhaust device 13, so that the dust generated inside the first cabin 101 when the main transmission mechanism 1211 is operated is discharged by the exhaust device 13.
  • the air pressure inside the second cabin 102 may be made smaller than the air pressure outside the second cabin 102, or the interior of the second cabin 102 may be sucked during the operation of the exhaust device 13.
  • the air reduces the air inside the second pod 102 and the air pressure decreases until it is less than the air pressure outside the second pod 102.
  • the filter 115 at the intake port 114 is capable of filtering the air inside the cabin 11 when the air inside the cabin 11 passes through the air inlet 114 to prevent The dust inside the cabin 11 passes through the air inlet 114 to contaminate the substrate conveyed on the transport mechanism 122.
  • the embodiment further includes a water injection mechanism 14 disposed inside the first cabin 101 for injecting water into the main transmission mechanism 1211 when the main transmission mechanism 1211 is in operation, thereby causing the main transmission mechanism 1211 to generate The dust substance is washed away by the water, and the first tank 101 is further provided with a water outlet 1011 so that the water which washes away the dust matter generated by the main transmission mechanism 1211 is discharged from the water outlet 1011.
  • the water outlet is disposed on the machine 111, and the number of the water outlets 1011 may be one or more, and is not limited herein.
  • the present invention sucks the air inside the cabin through the exhaust device and discharges, and when the exhaust device works, the air pressure inside the cabin is smaller than the air pressure outside the cabin, and the transmission mechanism of the conveyor is taken away with strong force.
  • the dust material generated during the operation, and the air outside the cabin enters the interior of the cabin from the air inlet of the cabin, so that the dust generated by the transmission mechanism is not adsorbed on the substrate conveyed by the conveyor, thereby improving the quality of the substrate. .

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Abstract

一种基板传送设备，该传送设备包括舱体（11）、传送装置（12）及排气装置（13）；舱体（11）设有进气口（114）；传送装置（12）包括传动机构（121），传动机构（121）设置于舱体（11）内部；排气装置（13），排气装置（13）用于吸取舱体（11）内部的空气并排放；其中，在排气装置（13）工作时，舱体（11）内部的气压小于舱体（11）外部的气压，以强力带走传送装置（12）的传动机构（121）工作时产生的尘埃物质，并使得舱体（11）外部的空气从舱体（11）的进气口（114）进入舱体（11）内部。通过这种设备，能够使得传动机构（121）产生的尘埃物质不会吸附于传送装置（12）传送的基板上，提高了基板的品质。

Description

一种基板传送设备
【技术领域】
本发明涉及显示器件制程领域，特别是涉及一种基板传送设备。
【背景技术】
在显示技术领域，液晶显示器件（Liquid Crystal Display，LCD）与有机发光二极管显示器件（Organic Light Emitting Diode，OLED）等平板显示器件已经成为主流的显示器件，而基板作为LCD和OLED显示器件中不可缺少的部分，其品质的重要性不言而喻。
现有技术中，基板的制作过程中，很多制程会产生颗粒状的尘埃物质，比如基板的传送过程中，传送装置上的齿轮及轴承在工作时，相互摩擦会出现尘埃物质，这些尘埃物质容易吸附在基板上，从而导致基板被污染而品质下降。
【发明内容】
本发明主要是提供一种基板传送设备，旨在解决基板传送过程中产生的尘埃物质容易吸附到基板上而导致基板品质下降的问题。
为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：提供一种基板传送设备，其中，所述传送设备包括：舱体，所述舱体设有进气口；传送装置，所述传送装置包括传动机构，所述传动机构设置于所述舱体内部；排气装置，所述排气装置用于吸取所述舱体内部的空气并排放；其中，所述排气装置工作时，所述舱体内部的气压小于舱体外部的气压，以强力带走所述传动机构工作时产生的尘埃物质，并使得所述舱体外部的空气从所述进气口进入所述舱体内部；所述进气口处设有过滤器，所述过滤器用于在所述舱体内部的空气从所述进气口通过时对所述舱体内部的空气进行过滤，以防止所述尘埃物质从所述进气口通过；所述舱体包括罩体及机台，所述罩体与所述机台固定连接，并与所述机台形成用于容纳所述传动机构的容置空间。
为解决上述技术问题，本发明采用的另一个技术方案是：提供一种基板传送设备，其中，所述传送设备包括舱体，所述舱体设有进气口；传送装置，所述传送装置包括传动机构，所述传动机构设置于所述舱体内部；排气装置，所述排气装置用于吸取所述舱体内部的空气并排放；其中，所述排气装置工作时，所述舱体内部的气压小于舱体外部的气压，以强力带走所述传动机构工作时产生的尘埃物质，并使得所述舱体外部的空气从所述进气口进入所述舱体内部。
本发明的有益效果是：区别于现有技术的情况，本发明通过排气装置吸取舱体内部的空气并排放，且在排气装置工作时，舱体内部的气压小于舱体外部的气压，以强力带走传送装置的传动机构工作时产生的尘埃物质，并使得舱体外部的空气从舱体的进气口进入舱体内部，进而使得传动机构产生的尘埃物质不会吸附于传送装置传送的基板上，提高了基板的品质。
【附图说明】
图1是本发明提供的基板传送设备实施例的结构示意图；
图2是图1中A向的结构示意图。
【具体实施方式】
为使本领域的技术人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本发明所提供的一种基板传送设备做进一步详细描述。
参阅图1，本发明提供的基板传送设备实施例包括舱体11、传送装置12及排气装置13。
舱体11包括机台111及罩体112，罩体112固定设置于机台111上，并与机台111形成容置空间113。
可选的，罩体112为透明罩体，比如透明玻璃罩体。
进一步地，舱体11设有进气口114。
具体地，舱体11包括第一舱体101及第二舱体102，进气口114设置于第二舱体102，在其他实施例中，进气口114也可以设置于第一舱体101，或者第一舱体101及第二舱体102均设置有进气口114。
其中，第一舱体101与第二舱体102之间设有连通第一舱体101及第二舱体102的通道103。
可选的，进气口114的数量可以为一个，也可以为多个，在此不做限制。
进一步地，进气口114处设有过滤器115，可选的，过滤器115设置于舱体11外部与舱体11固定连接，在本实施例中，过滤器115设置于舱体11外部与第二舱体102固定连接；当然，过滤器115也可以设置于舱体11内部与舱体11固定连接。
传送装置12包括传动机构121，进一步包括传送机构122。
传动机构121包括分别位于第一舱体101内部和第二舱体102内部的主传动机构1211及辅传动机构1212。
其中，主传动机构1211包括第一传动齿轮1213及第二传动齿轮1214，第一传动齿轮1213与传送机构122相对固定，第二传动齿轮1214与第一传动齿轮1213啮合，以通过第一传动齿轮1213驱动传送机构122传送基板，在这一过程中，第一传动齿轮1213与第二传动齿轮1214会发生摩擦，进而在摩擦过程中在第一舱体101内部产生颗粒状的尘埃物质；辅传动机构1212为轴承，该轴承与传送机构122转动配合，以在传送机构122对基板进行传送的过程中相对于轴承摩擦转动，进而在第二舱体102内产生颗粒状的尘埃物质。
进一步地，传送装置12还包括驱动机构123，驱动机构123包括驱动齿轮1231，驱动齿轮1231与第二传动齿轮1214啮合以驱动第二传动齿轮1214转动，并在驱动过程中与第二传动齿轮1214会发生摩擦，进而在摩擦过程中会在第一舱体101内部产生颗粒状的尘埃物质。
排气装置13用于吸取舱体11内部的空气并排放。
可选的，排气装置13从舱体11内部延伸至舱体11外部，在本实施例中，排气装置13从第二舱体102内部延伸至第二舱体102外部以吸取第二舱体102内部的空气并将第二舱体102内部的空气排出。
其中，在排气装置13工作时，舱体11内部的气压小于舱体11外部的气压，以强力带走传动机构121工作时产生的尘埃物质，并使得舱体11外部的空气从进气口114进入舱体11内部。
可选的，在本实施例中，排气装置13在工作时，第二舱体102内部的气压小于第二舱体102外部的气压，从而强力带走辅传动机构1212工作时产生的尘埃物质，并使得第二舱体102外部的空气从进气口114进入第二舱体102内部，在这一过程中，第一舱体101内部的空气会从与第二舱体102连通的通道103进入第二舱体102内部，以被排气装置13排出，进而使得主传动机构1211工作时在第一舱体101内部产生的尘埃物质被排气装置13排出。
其中，可以在排气装置13工作之前，预先使得第二舱体102内部的气压小于第二舱体102外部的气压，也可以在排气装置13工作的过程中，吸取第二舱体102内部的空气，使得第二舱体102内部的空气减少而气压降低直至小于第二舱体102外部的气压。
进一步地，在上述排气装置工作的过程中，位于进气口114处的过滤器115能够在舱体内部11的空气从进气口114通过时对舱体11内部的空气进行过滤，以防止舱体11内部的尘埃物质从进气口114通过而对传送机构122上传送的基板造成污染。
参阅图2，本实施例进一步包括注水机构14，注水机构14设置于第一舱体101内部以用于在主传动机构1211工作时向主传动机构1211注入水，进而使得主传动机构1211产生的尘埃物质被水冲走，第一舱体101还设有出水口1011，以使得冲走主传动机构1211产生的尘埃物质的水从出水口1011排出。
可选的，出水口设置于机台111上，出水口1011的数量可以为一个，也可以为多个，在此不作限制。
区别于现有技术，本发明通过排气装置吸取舱体内部的空气并排放，且在排气装置工作时，舱体内部的气压小于舱体外部的气压，以强力带走传送装置的传动机构工作时产生的尘埃物质，并使得舱体外部的空气从舱体的进气口进入舱体内部，进而使得传动机构产生的尘埃物质不会吸附于传送装置传送的基板上，提高了基板的品质。
以上所述仅为本发明的实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书及附图内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。

Claims (18)

  1. 一种基板传送设备，其中，所述传送设备包括：
    舱体，所述舱体设有进气口；
    传送装置，所述传送装置包括传动机构，所述传动机构设置于所述舱体内部；
    排气装置，所述排气装置用于吸取所述舱体内部的空气并排放；
    其中，所述排气装置工作时，所述舱体内部的气压小于舱体外部的气压，以强力带走所述传动机构工作时产生的尘埃物质，并使得所述舱体外部的空气从所述进气口进入所述舱体内部；
    所述进气口处设有过滤器，所述过滤器用于在所述舱体内部的空气从所述进气口通过时对所述舱体内部的空气进行过滤，以防止所述尘埃物质从所述进气口通过；
    所述舱体包括罩体及机台，所述罩体与所述机台固定连接，并与所述机台形成用于容纳所述传动机构的容置空间。
  2. 根据权利要求1所述的设备，其中，所述过滤器设置于所述舱体外部并与所述舱体固定连接。
  3. 根据权利要求1所述的设备，其中，所述舱体包括第一舱体及第二舱体，所述传动机构包括分别位于所述第一舱体及所述第二舱体内部的主传动机构及辅传动机构，所述第一舱体与所述第二舱体之间设有连接所述第一舱体及所述第二舱体的通道，所述排气装置用于吸取所述第二舱体内部的空气，并在吸取时所述第一舱体内部的空气通过所述通道进入所述第二舱体内部。
  4. 根据权利要求3所述的设备，其中，所述设备进一步包括注水机构，所述第一舱体设有出水口，所述注水机构设置于所述第一舱体内部以用于向所述主传动机构注入水，进而使得所述主传动机构产生的尘埃物质跟随所述注水机构注入的水从所述出水口排出。
  5. 根据权利要求3所述的设备，其中，所述传送装置还包括传送机构，所述主传动机构包括第一传动齿轮及第二传动齿轮，所述第一传动齿轮与所述传送机构相对固定，所述第二传动齿轮与所述第一传动齿轮啮合，以通过所述第一传动齿轮驱动所述传送机构转动，并在驱动过程中产生所述尘埃物质。
  6. 根据权利要求5所述的设备，其中，所述传送装置进一步包括驱动机构，所述驱动机构包括驱动齿轮，所述驱动齿轮与所述第二传动齿轮啮合以驱动所述第二传动齿轮转动，并在驱动过程中产生所述尘埃物质。
  7. 根据权利要求6所述的设备，其中，所述辅传动机构为轴承，所述轴承与所述传送机构转动配合，并在转动过程中产生所述尘埃物质。
  8. 根据权利要求1所述的设备，其中，所述罩体为透明罩体。
  9. 一种基板传送设备，其中，所述传送设备包括：
    舱体，所述舱体设有进气口；
    传送装置，所述传送装置包括传动机构，所述传动机构设置于所述舱体内部；
    排气装置，所述排气装置用于吸取所述舱体内部的空气并排放；
    其中，所述排气装置工作时，所述舱体内部的气压小于舱体外部的气压，以强力带走所述传动机构工作时产生的尘埃物质，并使得所述舱体外部的空气从所述进气口进入所述舱体内部。
  10. 根据权利要求9所述的设备，其中，所述进气口处设有过滤器，所述过滤器用于在所述舱体内部的空气从所述进气口通过时对所述舱体内部的空气进行过滤，以防止所述尘埃物质从所述进气口通过。
  11. 根据权利要求10所述的设备，其中，所述过滤器设置于所述舱体外部并与所述舱体固定连接。
  12. 根据权利要求11所述的设备，其中，所述舱体包括第一舱体及第二舱体，所述传动机构包括分别位于所述第一舱体及所述第二舱体内部的主传动机构及辅传动机构，所述第一舱体与所述第二舱体之间设有连接所述第一舱体及所述第二舱体的通道，所述排气装置用于吸取所述第二舱体内部的空气，并在吸取时所述第一舱体内部的空气通过所述通道进入所述第二舱体内部。
  13. 根据权利要求12所述的设备，其中，所述设备进一步包括注水机构，所述第一舱体设有出水口，所述注水机构设置于所述第一舱体内部以用于向所述主传动机构注入水，进而使得所述主传动机构产生的尘埃物质跟随所述注水机构注入的水从所述出水口排出。
  14. 根据权利要求12所述的设备，其中，所述传送装置还包括传送机构，所述主传动机构包括第一传动齿轮及第二传动齿轮，所述第一传动齿轮与所述传送机构相对固定，所述第二传动齿轮与所述第一传动齿轮啮合，以通过所述第一传动齿轮驱动所述传送机构转动，并在驱动过程中产生所述尘埃物质。
  15. 根据权利要求14所述的设备，其中，所述传送装置进一步包括驱动机构，所述驱动机构包括驱动齿轮，所述驱动齿轮与所述第二传动齿轮啮合以驱动所述第二传动齿轮转动，并在驱动过程中产生所述尘埃物质。
  16. 根据权利要求14所述的设备，其中，所述辅传动机构为轴承，所述轴承与所述传送机构转动配合，并在转动过程中产生所述尘埃物质。
  17. 根据权利要求9所述的设备，其中，所述舱体包括罩体及机台，所述罩体与所述机台固定连接，并与所述机台形成用于容纳所述传动机构的容置空间。
  18. 根据权利要求17所述的设备，其中，所述罩体为透明罩体。
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Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001060610A (ja) * 1999-06-17 2001-03-06 Tokyo Electron Ltd 基板搬送装置、処理装置、基板の処理システム、搬送方法、収納装置および収容ボックス
CN1629061A (zh) * 2003-12-16 2005-06-22 株式会社大福 输送装置
CN1758101A (zh) * 2004-10-08 2006-04-12 三星电子株式会社 用于制造平板显示器的系统
CN101391256A (zh) * 2007-09-19 2009-03-25 细美事有限公司 颗粒清除单元及具有该单元的基片传送装置
CN101958264A (zh) * 2010-05-06 2011-01-26 东莞宏威数码机械有限公司 无尘式真空动力传送装置
US20140346006A1 (en) * 2013-05-27 2014-11-27 Samsung Display Co., Ltd. Side roller and substrate transport device including the same

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003300618A (ja) * 2002-04-10 2003-10-21 Orc Mfg Co Ltd 基板搬送機構
JP2004210440A (ja) * 2002-12-27 2004-07-29 Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd 板状体の搬送装置
JP2006186146A (ja) * 2004-12-28 2006-07-13 Zebiosu:Kk ワーク搬送装置
CN105668192A (zh) * 2016-01-12 2016-06-15 京东方科技集团股份有限公司 一种基板传送系统

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2001060610A (ja) * 1999-06-17 2001-03-06 Tokyo Electron Ltd 基板搬送装置、処理装置、基板の処理システム、搬送方法、収納装置および収容ボックス
CN1629061A (zh) * 2003-12-16 2005-06-22 株式会社大福 输送装置
CN1758101A (zh) * 2004-10-08 2006-04-12 三星电子株式会社 用于制造平板显示器的系统
CN101391256A (zh) * 2007-09-19 2009-03-25 细美事有限公司 颗粒清除单元及具有该单元的基片传送装置
CN101958264A (zh) * 2010-05-06 2011-01-26 东莞宏威数码机械有限公司 无尘式真空动力传送装置
US20140346006A1 (en) * 2013-05-27 2014-11-27 Samsung Display Co., Ltd. Side roller and substrate transport device including the same

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