KR100567894B1 - 반도체 소자 제조용 레티클 파드 - Google Patents

반도체 소자 제조용 레티클 파드 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체 소자 제조용 레티클(Reticle)을 보관하기 위한 레티클 파드(Reticle Pod)에 관한 것으로서, 상면에 레티클(10)이 안착되어 지지되는 복수의 지지단(110)을 구비하며, 바닥면의 가장자리에 형성되는 결합홈에 씰링부재(120)가 결합되는 파드도어(100)와; 파드도어(100)가 하측으로 삽입되어 착탈가능하게 결합되는 파드베이스(200)와; 파드베이스(200)의 내측으로 삽입되되, 삽입되는 그 끝단이 파드도어(100)의 씰링부재(120)의 상측에 위치하고, 외측 둘레에 형성되는 플랜지(310)가 파드베이스(200)의 상측에 체결부재(320)로 결합되며, 내부면에는 하방으로 형성되어 레티클(10)을 지지하는 복수의 탄성지지대(330)가 구비되는 파드셀(300)을 포함하는 것으로서, 외부로부터 파티클이 유입될 수 있는 경로를 차단함과 동시에 씰링효과를 증대시킴으로써 레티클 파드 내에 보관중인 레티클이 파티클에 의해 오염되는 것을 방지하고, 클리닝시 레티클 파드의 분해 및 조립이 용이하며, 레티클에 충전된 정전기를 발산할 수 있는 루트를 다양하게 제공하는 반면 짧게 만듦으로써 정전기에 의한 레티클의 손상을 방지하는 효과를 가지고 있다.

Description

반도체 소자 제조용 레티클 파드{RETICLE POD USING FOR MANUFACTURING A SEMICONDUCTOR DEVICE}
도 1은 종래의 반도체 소자 제조용 레티클 파드를 도시한 단면도,
도 2는 도 1의 A 부분을 확대 도시하여 파티클의 유입경로를 도시한 단면도,
도 3은 종래의 반도체 소자 제조용 레티클 파드에서 정전기의 발산경로를 도시한 단면도,
도 4는 본 발명에 따른 반도체 소자 제조용 레티클 파드를 도시한 단면도,
도 5는 도 4의 B 부분을 확대 도시하여 파티클의 유입경로를 도시한 단면도,
도 6은 본 발명에 따른 반도체 소자 제조용 레티클 파드에서 정전기의 발산경로를 도시한 단면도이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
100 : 파드도어 110 : 지지단
120 : 씰링부재 130 : 보조지지단
200 : 파드베이스 210 : 가스켓
300 : 파드셀 310 : 플랜지
320 : 체결부재 330 : 탄성지지대
340 : 파드손잡이
본 발명은 반도체 소자 제조용 레티클 파드(Reticle Pod)에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 레티클 파드 내에 보관중인 레티클이 파티클(Paticle)에 의해 오염되는 것을 방지하고, 레티클 파드를 클리닝시 레티클 파드의 분해 및 조립이 용이하며, 레티클에 충전된 정전기를 발산할 수 있는 루트를 짧게 만든 반도체 소자 제조용 레티클 파드에 관한 것이다.
일반적으로 반도체소자를 제조하기 위하여 포토리소그래피(Photo lithography), 확산, 식각, 화학기상증착 등 다양한 단위공정을 진행하며, 이러한 단위공정중 포토리소그래피 공정은 반도체웨이퍼상에 소정의 패턴을 형성시키기 위한 공정으로서, 반도체웨이퍼의 상면에 PR(Photoresist)층을 균일하게 도포 형성시킨 후 소정 레이아웃으로 형성된 레티클(Reticle)을 위치시켜 조도가 높은 파장의 광을 조사하여 불필요한 PR층을 분리 세정함으로써 반도체웨이퍼상에 요구되는 패턴을 형성한다.
이러한 반도체웨이퍼상에 소정의 패턴을 형성하기 위한 레티클은 레티클 파드(Reticle Pod) 내에 보관된다.
레티클을 보관하는 레티클 파드를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 종래의 반도체 소자 제조용 레티클 파드를 도시한 단면도이다. 도시 된 바와 같이, 종래의 반도체 소자 제조용 레티클 파드는 상면에 레티클(Reticle;10)이 안착되어 지지되는 복수의 지지단(21)을 구비하는 파드도어(20)와, 파드도어(20)가 하측으로 삽입되어 착탈가능하게 결합되는 파드베이스(30)와, 파드베이스(30)의 상측에 결합되는 파드셀(40)로 구성된다.
파드도어(20)는 그 상면에 레티클(10)의 하면 및 측면을 지지하는 두 개의 지지단(21)이 서로 대향되게 구비되며, 이 지지단(21)의 사이에는 레티클(10)의 하면 및 측면을 지지하는 두 개의 보조지지단(22)이 각각 구비된다.
그리고, 파드도어(20)는 그 하면에 일정한 두께의 라이너(Liner;23)가 구비되며, 이러한 라이너(23)는 파드도어(20)와 파드베이스(30)간의 결합시 파티클(Paticle)의 출입을 차단하는 씰링(Sealing) 역할을 한다.
또한, 파드도어(20)는 파드베이스(30)에 삽입되어 착탈가능하게 결합되는데, 이를 위하여 파드도어(20)는 테두리에 결합턱이 형성되며, 이 결합턱은 파드베이스(30) 내측면의 아래쪽에 형성된 결합홈에 결합된다.
파드베이스(30)는 그 상측에 파드셀(40)이 결합되는데, 이들의 결합을 위하여 파드베이스(30)의 상면에는 파드셀(40) 끝단에 형성되는 플랜지(41)가 볼트 등의 결합부재(42)로 체결되며, 파드베이스(30)의 상면과 파드셀(40)의 플랜지(41)의 결합부위에는 레티클 파드 내로 파티클이 유입되는 것을 방지하기 위하여 고무재질의 가스켓(31)이 삽입 설치된다.
파드셀(40)의 내부면에는 두 개의 지지대(43)가 하방으로 형성되되, 파드도어(20)의 지지단(21)의 수직 상방에 위치한다. 지지대(43)는 일정한 탄성력을 가지 고 레티클(10)을 파드도어(20)의 지지단(21)과 보조지지단(22)에 고정시키는 역할을 한다.
또한, 파드셀(40)의 상측에는 운반시 사용되는 파드손잡이(44)가 나사결합되어 있다.
이러한 레티클 파드에 보관되는 레티클(10)은 그 표면에 충전되는 정전기로 인해 주위의 먼지, 오염입자 등과 같은 파티클(particle)을 끌어 당겨서 포토리소그래피 공정을 수행시 반도체 기판에 투사된 회로 패턴의 질을 저하시킨다. 따라서, 레티클 파드는 외부의 파티클이 내부로 유입되는 것을 방지하고, 레티클 파드내에 보관되는 레티클에 충전된 정전기를 발산시키는 역할을 하게 된다.
도 2는 도 1의 A 부분을 확대 도시하여 파티클의 유입경로를 도시한 단면도이다. 도시된 바와 같이, 레티클 파드내에 파티클(10)이 유입되는 경로는 크게 파드도어(20)와 파드베이스(30)의 결합면 사이를 통한 경로 a1과, 파드베이스(30)와 파드셀(40)의 결합면 사이를 통한 경로 a2가 있다.
경로 a1은 라이너(23)에 의해 씰링(sealing)되어 있으나, 이 라이너(23)만으로는 파티클의 유입을 차단하는 것이 불완전할뿐만 아니라, 그 사용기간이 6개월 정도로 짧아 주기적으로 교체를 해주어야 한다. 이 때 라이너(23)의 교체 작업은 레티클 파드의 복잡한 구조로 인해 매우 어려우며, 라이너(23)의 교체 작업을 잘못 수행할 경우 씰링효과가 현저하게 저하되는 문제점을 가지고 있다.
또한, 경로 a2는 고무재질의 가스켓(31)으로 씰링되어 있으므로, 가스켓(31)이 노후화되거나 레티클 파드를 클리닝하기 위하여 레티클 파드의 모든 부품을 분 해하여 클리닝 후 재조립시 잘못 조립되면 이 곳을 통하여 파티클이 유입되는 문제점을 가지고 있다.
도 3은 종래의 반도체 소자 제조용 레티클 파드에서 정전기의 발산경로를 도시한 단면도이다. 도시된 바와 같이, 레티클 파드의 정전기의 발산경로는 레티클(10)의 상면으로부터 지지대(43), 파드셀(40), 파드베이스(30) 그리고 그라운드로 연결되는 경로 b1과, 레티클(10)의 상면으로부터 지지대(43), 파드베이스(30), 파드도어(20) 그리고 그라운드로 연결되는 경로 b2와, 레티클(10)의 하면으로부터 지지단(21), 파드도어(20) 그리고 그라운드로 연결되는 경로 b3와, 레티클(10)의 하면으로부터 보조지지단(22), 파드도어(20) 그리고 그라운드로 연결되는 경로 b4가 있다. 이러한 정전기의 발산경로는 짧을수록 정전기 발산에 유리하므로, 레티클(10)을 보관하는 레티클 파드는 정전기의 발산경로를 짧게 할 필요성이 있다.
이상과 같이, 반도체 소자 제조용 레티클을 보관하는 레티클 파드는 먼지, 오염입자 등의 파티클이 유입되는 경로는 최소화하여 파티클의 유입경로를 차단할 필요가 있으며, 정전기의 발산 경로를 짧게 하여 정전기 발산에 유리하게 할 필요성이 있다.
본 발명은 상술한 종래의 문제점을 해결하기 위한 필요성에 의한 것으로서, 본 발명의 목적은 외부로부터 파티클이 유입될 수 있는 경로를 차단함과 동시에 씰링효과를 증대시킴으로써 레티클 파드 내에 보관중인 레티클이 파티클에 의해 오염 되는 것을 방지하고, 레티클 파드를 클리닝시 레티클 파드의 분해 및 조립이 용이하며, 레티클에 충전된 정전기를 발산할 수 있는 루트를 다양하게 제공하는 반면 짧게 만듦으로써 정전기에 의한 레티클의 손상을 방지할 수 있는 반도체 소자 제조용 레티클 파드를 제공하는데 있다.
이와 같은 목적을 실현하기 위한 본 발명은, 반도체 소자 제조용 레티클(Reticle)을 보관하는 레티클 파드에 있어서, 상면에 레티클이 안착되어 지지되는 복수의 지지단을 구비하며, 바닥면의 가장자리에 형성되는 결합홈에 씰링부재가 결합되는 파드도어와; 파드도어가 하측으로 삽입되어 착탈가능하게 결합되는 파드베이스와; 파드베이스의 내측으로 삽입되되, 삽입되는 그 끝단이 파드도어의 씰링부재의 상측에 위치하고, 외측 둘레에 형성되는 플랜지가 파드베이스의 상측에 체결부재로 결합되며, 내부면에는 하방으로 형성되어 레티클을 지지하는 복수의 탄성지지대가 구비되는 파드셀을 포함하는 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명의 가장 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 더욱 상세히 설명하기로 한다.
도 4는 본 발명에 따른 반도체 소자 제조용 레티클 파드를 도시한 단면도이다. 도시된 바와 같이, 레티클 파드는 상면에 레티클(Reticle;10)이 안착되어 지지되는 복수의 지지단(110)을 구비하며 바닥면의 가장자리에 씰링부재(120)가 결합되는 결합홈을 형성하는 파드도어(100)와, 파드도어(20)가 하측으로 삽입되어 착탈가 능하게 결합되는 파드베이스(200)와, 파드베이스(200)의 내측으로 삽입되되 삽입되는 그 끝단이 파드도어(100)의 씰링부재(120)의 상측에 위치하고 외측 둘레에 형성되는 플랜지(310)가 파드베이스(200)의 상측에 체결부재(320)로 결합되며 내부면에는 하방으로 형성되어 레티클(10)을 지지하는 복수의 탄성지지대(330)가 구비되는 파드셀(300)로 구성된다.
파드도어(100)는 그 상면에 레티클(10)의 하면 및 측면을 지지하는 두 개의 지지단(110)이 서로 대향되게 구비되며, 이 지지단(110)의 사이에는 레티클(10)의 하면 및 측면을 지지하는 두 개의 보조지지단(130)이 각각 구비된다.
그리고, 파드도어(100)는 바닥면의 가장자리에 결합홈을 형성하고 있으며, 이 결합홈에는 씰링부재(120)가 결합된다. 이 씰링부재(120)는 파드도어(100)와 후술하는 파드셀(300)간의 결합시 파티클(Paticle)이 외부로부터 유입되는 것을 차단한다.
이러한 씰링부재(120)는 실리콘 재질인 것이 바람직하다. 따라서, 씰링부재(120)를 실리콘 재질로 제작함으로써 씰링부재(120)는 우수한 내구성과 씰링(Sealing) 작용을 가지게 된다.
파드베이스(200)는 파드도어(100)가 하측으로 삽입되어 착탈 가능하게 결합되며, 파드베이스(200) 내측에는 파드셀(300)이 삽입되어 장착된다.
파드셀(300)은 파드베이스(200)의 내측으로 삽입되되, 삽입되는 그 끝단이 파드도어(100)에 결합된 씰링부재(120)의 상측에 위치한다. 또한, 파드셀(300) 외측 둘레에는 플랜지(310)가 형성되며, 이 플랜지(310)는 파드베이스(200)의 상측에 결합부재(320)에 의해 결합된다. 결합부재(320)는 일예로 볼트, 나사 등이 사용된다.
파드베이스(200)와 파드셀(300)의 결합부위에는 가스켓(210)이 삽입 설치되며, 가스켓(210)은 파드베이스(200)와 파드셀(300)의 결합시 완충역할을 할 수 있도록 고무재질로 형성됨이 바람직하다.
또한, 파드셀(300)의 내부면에는 하방으로 형성되어 레티클(10)을 지지하는 복수의 탄성지지대(330)가 구비된다.
탄성지지대(330)는 파드셀(300)의 내부면으로부터 하방으로 지그재그 형상을 가진 탄성체(331)가 형성되고, 이 탄성체(331)의 끝단(332)이 두 갈래로 분기되어 파드도어(100)에 안착된 레티클(10)의 상면과 지지단(110)의 상면에 각각 접한다.
이러한 탄성지지대(330)는 일정한 탄성력을 가지고 레티클(10)을 파드도어(100)의 지지단(110)에 고정시키는 역할을 하며, 정전기 발산을 유리하게 하는 역할을 한다. 탄성지지대(330)의 정전기 발산에 대해서는 후술하기로 하겠다.
또한, 파드셀(300)의 상측에는 운반시 사용되는 파드손잡이(340)가 나사결합된다.
도 5는 도 4의 B 부분을 확대 도시하여 파티클의 유입경로를 도시한 단면도이다. 도시된 바와 같이, 파드셀(300)의 끝단이 파드도어(100)의 가장자리에 결합된 씰링부재(120)의 상측에 위치함으로써 레티클 파드 내로 파티클이 유입되는 경로는 파드도어(100)와 파드베이스(200)의 결합면 사이를 통한 경로 A1뿐이다. 또한, 경로 A1은 실리콘 재질의 씰링부재(120)에 의해 차단되어 있어서, 파티클이 레 티클 파드 내로 유입되는 경로는 사실상 모두 차단되어 있다.
그리고, 파드셀(300)의 측면을 일직선으로 연장형성하여 그 끝단을 파드도어(100)의 씰링부재(120)에 접하도록 하며, 파드도어(100) 저면에 별도의 라이너(liner)를 구비함이 없이 파드도어(100)와 파드셀(300)의 접합면 사이에 씰링부재(120)를 구비함으로써 레티클 파드의 구조가 간단하여 클리싱시 레티클 파드의 분해 및 조립이 용이하다. 따라서, 재조립시 잘못된 조립으로 인해 외부로부터 파티클이 유입되는 것을 방지하게 된다.
도 6은 본 발명에 따른 반도체 소자 제조용 레티클 파드의 정전기의 발산경로를 도시한 단면도이다. 도시된 바와 같이, 레티클 파드 내에 저장된 레티클로부터의 정전기 발산경로는 레티클(10)의 상면으로부터 탄성지지대(330), 파드셀(300), 파드베이스(200) 그리고 그라운드로 연결되는 경로 B1과, 레티클(10)의 상면으로부터 탄성지지대(330)의 끝단(332), 지지단(110), 파드도어(100) 그리고 그라운드로 연결되는 경로 B2와, 레티클(10)의 하면으로부터 지지단(110), 파드도어(100) 그리고 그라운드로 연결되는 경로 B3와, 레티클(10)의 하면으로부터 보조지지단(130), 파드도어(100) 그리고 그라운드로 연결되는 경로 B4가 있다. 이러한 정전기의 발산경로는 종래와 비교할 때 훨씬 단축됨으로써 정전기 발산에 유리하다.
이상과 같이 본 발명의 바람직한 실시예에 따르면, 외부로부터 파티클이 유입될 수 있는 경로를 차단함과 동시에 씰링효과를 증대시킴으로써 레티클 파드 내에 보관중인 레티클이 파티클에 의해 오염되는 것을 방지하고, 레티클 파드를 클리 닝시 레티클 파드의 분해 및 조립이 용이하며, 레티클에 충전된 정전기를 발산할 수 있는 루트를 단축함으로써 정전기에 의한 레티클의 손상을 방지한다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 반도체 소자 제조용 레티클 파드는 외부로부터 파티클이 유입될 수 있는 경로를 차단함과 동시에 씰링효과를 증대시킴으로써 레티클 파드 내에 보관중인 레티클이 파티클에 의해 오염되는 것을 방지하고, 레티클 파드를 클리닝시 레티클 파드의 분해 및 조립이 용이하며, 레티클에 충전된 정전기를 발산할 수 있는 루트를 다양하게 제공하는 반면 단축시킴으로써 정전기에 의한 레티클의 손상을 방지하는 효과를 가지고 있다.
이상에서 설명한 것은 본 발명에 따른 반도체 소자 제조용 레티클 파드를 실시하기 위한 하나의 실시예에 불과한 것으로서, 본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 않고, 이하의 특허청구범위에서 청구하는 바와 같이 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변경 실시가 가능한 범위까지 본 발명의 기술적 정신이 있다고 할 것이다.

Claims (3)

  1. 반도체 소자 제조용 레티클(Reticle)을 보관하는 레티클 파드(Reticle Pod)에 있어서,
    상면에 레티클이 안착되어 지지되는 복수의 지지단을 구비하며, 바닥면의 가장자리에 형성되는 결합홈에 씰링부재가 결합되는 파드도어와;
    상기 파드도어가 하측으로 삽입되어 착탈가능하게 결합되는 파드베이스와;
    상기 파드베이스의 내측으로 삽입되되, 삽입되는 그 끝단이 상기 파드도어의 씰링부재의 상측에 위치하고, 외측 둘레에 형성되는 플랜지가 상기 파드베이스의 상측에 체결부재로 결합되며, 내부면에는 하방으로 형성되어 레티클을 지지하는 복수의 탄성지지대가 구비되는 파드셀;
    을 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조용 레티클 파드.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 파드도어의 씰링부재는 실리콘 재질인 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제조용 레티클 파드.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 탄성지지대는,
    상기 파드셀의 내부면으로부터 하방으로 지그재그 형상을 가진 탄성체가 형성되고, 이 탄성체의 끝단이 두 갈래로 분기되어 상기 파드도어에 안착된 레티클의 상면 및 상기 지지단의 상면에 각각 접촉되는 것을 특징으로 하는 반도체 소자 제 조용 레티클 파드.
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