TWI785433B - 光罩盒及操縱保持特徵之方法 - Google Patents

光罩盒及操縱保持特徵之方法 Download PDF

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美商恩特葛瑞斯股份有限公司
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Abstract

一種光罩盒包含一外部分及一內部分，該外部分包含一盒門及一盒圓頂，該內部分包含一底板及一蓋。該底板或該蓋中之一者包含朝向該底板或該蓋中之另一者延伸之一光罩隔室壁。該光罩隔室壁包含一或多個保持特徵。該盒門或該盒圓頂包含經構形以接觸該等保持特徵之一或多個致動表面。該等保持特徵經構形以藉由與該等致動表面之接觸而被移動。該等保持特徵可處於一位置中，該位置經構形以在藉由接合該底板與該蓋、將該經接合底板與該經接合蓋放置於該盒圓頂內及將該盒門緊固至該盒圓頂而裝配該光罩盒時將一光罩緊固於該光罩盒之該內部分內。

Description

光罩盒及操縱保持特徵之方法
本發明一般而言係關於用於儲存及運輸一光罩之光罩盒。更特定而言，本發明針對於包含可移動保持特徵之光罩盒，該等可移動保持特徵延伸穿過一內盒之光罩隔室壁以用於保持容納於該內盒中之光罩。
光罩盒用於儲存及運輸光罩以及處理光罩、特定而言向處理工具(諸如光微影裝置)及自該等處理工具運輸光罩。舉例而言，光罩盒包含供與EUV光微影工具一起使用之極紫外線(EUV)盒。光罩盒在容納於其中之光罩之移動、處置及處理期間減少或防止對該等光罩之污染或實體損壞。光罩盒可包含一外盒及位於外盒內之一內盒。內盒可包含容納光罩之一底板及一蓋，且一外盒包含容納內盒之一盒門及一盒圓頂。
本發明涉及包含可移動保持特徵之光罩盒，該等可移動保持特徵延伸穿過一內盒之光罩隔室壁以用於保持容納於該內盒中之光罩。
可移動保持特徵允許一光罩被牢固地定位於一光罩盒內，且因此在處置或運輸期間較不易受到震動。通過光罩盒之一內盒之光罩隔室壁之保持特徵允許將光罩適當地放置於該盒內而不會在光罩盒之最終封 閉之前受到安全特徵之干擾，且在封閉該盒以進行運輸、儲存或處理時緊固該光罩。
在一實施例中，一種光罩盒包含一內部分，該內部分包含一蓋及一底板。該蓋及該底板中之一者包含自該蓋及該底板中之彼一者延伸之一光罩隔室壁，該光罩隔室壁包含一或多個保持特徵。該光罩盒包含一外部分，該外部分包含一盒圓頂及一盒門。該盒圓頂及該盒門中之一者包含一或多個致動表面，該一或多個致動表面經構形以在該盒圓頂接合至該盒門時接觸該一或多個保持特徵中之至少一者，該盒圓頂接合至該盒門，且該經接合蓋與該經接合底板在該經接合盒圓頂與該經接合盒門內。當該一或多個致動表面接觸該一或多個保持特徵時，該等保持特徵經構形以被定位，使得其能夠在一光罩位於該經接合蓋與該經接合底板內時接觸該光罩。
在一實施例中，該一或多個保持特徵中之每一者可在具有一分量之一方向上線性移動，該分量具有介於自與該光罩隔室壁之一平面成零度至九十度之範圍內之一角度。
在一實施例中，該一或多個保持特徵中之每一者包含一彈簧。在一實施例中，當該彈簧處於一靜止位置中時，該保持特徵處於比在該保持特徵由該一或多個致動表面中之一者接觸時更遠離該底板之一中心之一位置中。
在一實施例中，該一或多個保持特徵中之每一者可在一方向上線性移動，該方向具有介於自與該光罩隔室壁之一平面成零度至九十度之範圍內之一角度。
在一實施例中，該一或多個保持特徵中之每一者包含經構 形以嚙合一彎曲或傾斜邊緣之一接觸表面。
在一實施例中，該一或多個致動表面中之每一者係經構形以抵靠該一或多個保持特徵中之至少一者之一端滑動之一表面。
在一實施例中，該一或多個致動表面中之每一者自該盒圓頂延伸。
在一實施例中，該一或多個保持特徵中之每一者包含位於該光罩隔室壁之一第一側上之一第一端及在該光罩隔室壁之一第二側上之一第二端，該光罩隔室壁之該第二側與該光罩隔室壁之該第一側對置，且該一或多個保持特徵各自可圍繞與該光罩隔室壁之一平面在同一平面內之一軸線旋轉。
在一實施例中，該一或多個致動表面中之每一者係自該盒門延伸之一突出部。
在一實施例中，該一或多個致動表面中之每一者在該第二端處接觸該一或多個保持特徵中之至少一者，該一或多個保持特徵中之每一者之該第一端接觸該光罩。
在一實施例中，該一或多個保持特徵中之每一者包含一熱塑性材料。
在一實施例中，該光罩隔室壁自該底板延伸。
在一實施例中，該光罩隔室壁自該蓋延伸。
在一實施例中，一種操縱一或多個保持特徵之方法包含：將一蓋接合至該底板，其中該蓋及該底板中之一者包含自該蓋及該底板中之彼一者延伸之一光罩隔室壁；將該經接合蓋與該經接合底板放置於一盒圓頂中。該方法進一步包含將一盒門接合至該盒圓頂。將該盒門接合至該 盒圓頂包含使一或多個致動表面與位於該光罩隔室壁上之一或多個保持特徵接觸。該方法進一步包含經由與該一或多個致動表面之該接觸而移動該一或多個保持特徵。
在一實施例中，移動該一或多個保持特徵包括將該一或多個保持特徵向內線性移動至由該光罩隔室壁界定之一空間中。
在一實施例中，該一或多個致動表面位於該蓋上且經構形以抵靠該一或多個保持特徵中之至少一者之一端滑動。
在一實施例中，移動該一或多個保持特徵包括將該一或多個保持特徵圍繞與該光罩隔室壁之一平面在同一平面內之一軸線旋轉移動。
在一實施例中，該一或多個致動表面係自該盒門延伸之突出部。
在一實施例中，該光罩隔室壁自該蓋延伸。
100:光罩盒
102:內部分
104:底板
106:蓋
108:光罩隔室壁
110:光罩保持器
112:外部分
114:盒圓頂
116:盒門
118:致動表面/彎曲致動表面
120:光罩觸點
122:通孔
124:接觸表面
126:嚙合表面
128:區段
130:區段
132:內部空間
134:內部空間/第一內部空間
200:光罩盒
202:內部分
204:底板
206:蓋
208:光罩隔室壁
210:光罩保持器
212:外部分
214:盒圓頂
216:盒門
218:致動表面
220:光罩觸點
222:通孔
224:第一端
226:第二端
228:鉸鏈
230:內部空間
232:內部空間
300:方法
302:步驟
304:步驟
306:步驟
308:步驟
結合隨附圖式考量各種說明性實施例之以下說明可更完全地理解本發明。
圖1展示根據一實施例之一光罩盒之一剖面圖。
圖2展示根據一實施例之一光罩盒之一剖面圖。
圖3展示根據一實施例之用於操縱一或多個保持特徵之一方法之一流程圖。
儘管本發明易於做出各種修改及替代形式，但已在圖式中藉由實例方式展示並將詳細地闡述其特定細節。然而，應理解，本發明並不將本發明之態樣限制於所闡述之特定說明性實施例。相反，本發明將涵 蓋歸屬於本發明之精神及範疇內之所有修改、等效內容及替代形式。
應參考圖式來理解以下詳細說明，其中在不同圖式中，類似元件編號相同。詳細說明以及未必按比例之圖式繪示說明性實施例且並不意欲限制本發明之範疇。所繪示之說明性實施例僅意欲係例示性的。除非明確陳述相反情形，否則任何說明性實施例之所選擇特徵可併入至一額外實施例中。
除非內容脈絡另外明確指明，否則如本說明書及隨附申請專利範圍中所使用，單數形式「一(a、an)」及「該(the)」包含複數個指示物。除非內容脈絡另外明確指明，否則如本說明書及隨附申請專利範圍中所使用，術語「或(or)」一般在其包含「及/或」之意義上採用。
術語「約(about)」一般係指被視為等效於所陳述值(例如，具有相同功能或結果)之一數值範圍。在諸多例項中，術語「約」可包含被取整成最接近之有效數字之數值。
本發明一般而言係關於用於儲存及運輸用於一光微影處理步驟中之一光罩之光罩盒。更特定而言，本發明針對於包含可移動保持特徵之光罩盒，該等可移動保持特徵延伸穿過一內盒之光罩隔室壁以用於保持容納於該內盒中之光罩。
圖1展示根據一實施例之一光罩盒100之一剖面圖。光罩盒100包含內部分102，該內部分包含底板104及蓋106。在圖1中所展示之實施例中，蓋106包含光罩隔室壁108。光罩隔室壁108包含一光罩保持器110。光罩盒100亦包含外部分112，該外部分包含盒圓頂114及盒門116。在圖1中所展示之實施例中，盒圓頂114包含一致動表面118。
光罩盒100係經構形以儲存一光罩且在不同光微影處理步驟之間運輸一光罩之一盒。舉例而言，光罩係用於一半導體晶圓之一光微影遮罩。
內部分102係光罩盒100之一部分，光罩可放置於該部分中。內部分102包含由底板104及蓋106界定之一內部空間132。內部空間132可經定大小使得其可容納光罩。內部分102之組件一蓋106及底板104中之一者或兩者可包含一金屬或合金，諸如鋁或另一此適合材料。
底板104係光罩盒100之內部分102之一部分。當裝配光罩盒100時，底板104可由盒門116支撐。底板104可形成光罩盒100之內部分102之下部部分。底板104可經構形使得一光罩可擱置於底板104上。
底板104可包含一或多個光罩觸點120。在一實施例中，光罩觸點120固定至底板104之內側，使得當裝配光罩盒100之內部分102時，該等光罩觸點面向蓋106。在一實施例中，經由一機械連接(諸如將光罩觸點120之一部分插入至底板104中)而將光罩觸點120固定於適當位置中。在一實施例中，光罩觸點120整體地形成於底板104中。在一實施例中，存在形成於底板104中或附接至該底板之至少三個光罩觸點120。在一實施例中，存在形成於底板104中或附接至該底板之四個光罩觸點120。在一實施例中，光罩觸點120位於底板上之與內部分102之內部空間132之拐角對應之位置處。光罩觸點120包含與光罩材料相容之一材料。相容材料包含在與光罩材料接觸時提供最小或不提供粒子產生且無法刮擦或以其他方式損壞光罩之材料。在一實施例中，相容材料係一聚合物材料。光罩觸點120可至少在一觸點處包含相容材料，該觸點經構形以在光罩盒100被裝配時接觸一光罩。在一實施例中，光罩觸點120完全由適合 於接觸光罩之一聚合物材料製成。舉例而言，適合聚合物材料包含聚醚醚酮(PEEK)、一聚芳醚酮(PAEK)、聚乙烯亞胺(PEI)、聚醯胺醯亞胺(PAI)或導電聚合物。
蓋106係內部分102之另一部分，該蓋經構形以與底板104接合。蓋106可形成內部分102之一上部部分。蓋106可包含與底板104匹配或機械相容之特徵。在圖1中所展示之實施例中，蓋106包含自蓋106之一表面延伸之光罩隔室壁108。
在圖1中所展示之實施例中，光罩隔室壁108自蓋106延伸。當蓋106及底板104經裝配以形成內部分102時，光罩隔室壁108自蓋106之面向底板104之一表面延伸。光罩隔室壁108可界定經構形以容納一光罩之內部分102之內部空間132之一周界。在一實施例中，光罩隔室壁108包含一或多個通孔122。一光罩保持器110可延伸穿過一通孔122。光罩保持器110可進一步經由一彈簧(舉例而言，一金屬彈簧、一彈性材料(諸如一彈性聚合物)或光罩隔室壁108至光罩保持器110之其他此適合彈性連接件)而連接至光罩隔室壁108。在一實施例中，光罩保持器110與光罩隔室壁108之連接件可為延伸至通孔122中之一金屬彈簧。
光罩保持器110在通孔122處延伸穿過光罩隔室壁108。光罩保持器110係可線性移動的。當將一光罩放置於光罩盒100之內部分102內時，在光罩保持器110之線性運動範圍之一部分中，該光罩保持器可接觸該光罩。多個光罩保持器110可沿著光罩隔室壁108分佈。在一實施例中，光罩隔室壁108形成一正方形，且至少一個光罩保持器110安置於彼正方形之每一側上。在一實施例中，光罩隔室壁108形成一正方形，且至少兩個光罩保持器110安置於彼正方形之每一側上。在一實施例中，位於 由光罩隔室壁108界定之形狀之每一側上之光罩保持器110係位於該形狀之相對側上之對置光罩保持器110，使得光罩將在相對光罩保持器110之間被夾緊。光罩保持器110經構形以在光罩盒100經歷移動時(諸如在光罩盒100之移動及處置期間，或者在諸如掉落或碰撞光罩盒100之震動事件期間)當接觸光罩時限制或阻止光罩在光罩盒100之內部分內之移動。
光罩保持器110包含一接觸表面124，該接觸表面位於光罩保持器110之在光罩隔室壁108外部之一側上。接觸表面124經構形以接觸致動表面118。接觸表面124經構形使得致動表面118之接觸向光罩保持器110施加一力，該力包含朝向由底板104及蓋106界定之內部空間132向內之一分量。接觸表面124可具有與致動表面118互補之一形狀，諸如接觸表面124及致動表面118兩者皆係平坦表面，或接觸表面124具有經構形以匹配一彎曲致動表面118之一彎曲表面。舉例而言，接觸表面124可為一平坦表面，該平坦表面具有相對於光罩保持器110穿過光罩隔室壁108之移動方向成一銳角A之一平面。
在一實施例中，光罩保持器110包含經定形狀以與一光罩介接之一嚙合表面126。在一實施例中，嚙合表面126包含經構形以接觸一光罩之一上部表面之一平坦突出部。在一實施例中，此上部表面係與光罩之接觸包含於底板104中之光罩觸點120之表面對置的一表面。在一實施例中，嚙合表面126包含與光罩之一邊緣處之一斜面或其他形狀對應之一彎曲表面。在一實施例中，嚙合表面126設置於一區段128上，該區段具有比延伸穿過通孔122之部分之截面積大的一截面積。
在一實施例中，延伸穿過通孔122之光罩保持器110之一區段130可包含至少一部分，該至少一部分具有一形狀(諸如一橢圓形)或者 一或多個特徵(諸如突片或一去角區段)，使得相對於光罩隔室壁108而維持光罩保持器110之定向。
在一實施例中，光罩保持器110可在表面上包含用以將光罩保持器110連接至一彈簧或彈性材料之一或多個特徵，諸如將由一彈簧接觸之一凸緣或經構形以接納彈性材料之一凹槽。
光罩盒100之外部分112經構形以封圍內部分102。外部分112可包含聚合物材料或完全由聚合物材料製成。外部分包含盒圓頂114及盒門116。在一實施例中，盒圓頂114與盒門116藉由一閂鎖而彼此緊固以形成外部分112。在一實施例中，外部分112包含經定大小以容納內部分102之一內部空間134，且在盒門116與盒圓頂114彼此緊固之同時，外部分112接觸內部分102。在外部分112被裝配時外部分112與內部分102之間的接觸可將內部分102緊固於外部分112內。此接觸可由盒圓頂114及盒門116上之位於面向外部分112之內部空間134之表面上的一或多個突出部、凹部或其他此等特徵提供。在一實施例中，外部分112之組件中之至少一者包含一突出部，該突出部包含致動表面118。
盒圓頂114係光罩盒100之外部分112之一部分。盒圓頂114可包含經構形以在光罩盒100被裝配時接觸蓋106之一或多個特徵。盒圓頂114可進一步包含一或多個突出部，該一或多個突出部包含一或多個致動表面118。盒圓頂114包含一內部空間。內部空間可包含經定大小以容納光罩盒100之內部分102之一第一內部空間134以及在盒圓頂114之一端處經構形以容納盒門116之一第二空間(未展示)。第二空間可由一唇狀件(未展示)界定。盒圓頂114之環繞第二空間之部分可包含一或多個狹槽或其他開口，該一或多個狹槽或其他開口經構形以接納一閂鎖之一部分來將 盒圓頂114緊固至盒門116以形成光罩盒100之外部分112。
盒門116係光罩盒100之外部分112之另一部分。盒門116經構形以與盒圓頂114組合來形成光罩盒100之外部分112。盒門116可經定大小使得其適合於盒圓頂114之一空間中，使得該盒門封閉盒圓頂114之一端。盒門116可藉由一或多個閂鎖而接合至盒圓頂114。當閂鎖未嚙合盒圓頂114時，盒門116可自盒圓頂114移除。
在圖1中所展示之實施例中，致動表面118設置於自盒圓頂114之一突出部上。舉例而言，致動表面118可為一滑動表面，該滑動表面經構形以在光罩保持器110之接觸表面124處接觸該光罩保持器。當致動表面118在接觸表面124處接觸光罩保持器時，可相對於由底板104及蓋106形成之內部空間而向內驅動光罩保持器110。在一實施例中，致動表面118及接觸表面124係相對楔形體之面，使得致動表面118抵靠接觸表面124之滑動引起光罩保持器110之向內移動。
圖2展示根據一實施例之一光罩盒200之一剖面圖。光罩盒200包含內部分202，該內部分包含底板204及蓋206。在圖2中所展示之實施例中，底板204包含光罩隔室壁208。光罩隔室壁208包含一光罩保持器210。光罩盒200亦包含外部分212，該外部分包含盒圓頂214及盒門216。在圖2中所展示之實施例中，盒門216包含一致動表面218。
如上文所闡述之光罩盒100之光罩盒200係經構形以在運輸、處置及處理、特定而言針對諸如光微影(舉例而言，極紫外線(EUV))之處理期間儲存一光罩之一盒。舉例而言，光罩係用於一半導體晶圓之一光微影遮罩。
內部分202係光罩盒200之一部分，光罩可放置於該部分 中。內部分202包含由底板204及蓋206界定之一內部空間230。內部空間230可經定大小使得其可容納光罩。內部分202之組件一蓋206及底板204中之一者或兩者可包含一金屬或合金，諸如鋁或另一此適合材料。
底板204可包含一或多個光罩觸點220。在一實施例中，光罩觸點220固定至底板204之內側，使得當裝配光罩盒200之內部分202時，該等光罩觸點面向蓋206。在一實施例中，光罩觸點220藉由(舉例而言)一機械連接(諸如光罩觸點220之一部分被按壓穿過形成於底板204中之一孔)而固定於適當位置中。在一實施例中，光罩觸點220整體地形成於底板204中。在一實施例中，存在形成於底板204中或附接至該底板之至少三個光罩觸點220。在一實施例中，存在形成於底板204中或附接至該底板之四個光罩觸點220。在一實施例中，光罩觸點220位於底板204上之與內部分202之內部空間230之拐角對應之位置處。光罩觸點220包含與光罩材料相容之一材料。相容材料包含在與光罩材料接觸時提供最小或不提供粒子產生且無法刮擦或以其他方式損壞光罩材料之材料。在一實施例中，相容材料係一聚合物材料。光罩觸點220可至少在一觸點處包含相容材料，該觸點經構形以在光罩盒200被裝配時接觸一光罩。在一實施例中，光罩觸點220完全由適合於接觸光罩之一聚合物材料製成。舉例而言，適合聚合物材料包含聚醚醚酮(PEEK)、一聚芳醚酮(PAEK)、聚乙烯亞胺(PEI)、聚醯胺醯亞胺(PAI)或導電聚合物。
蓋206係內部分202之另一部分，該蓋經構形以與底板204接合。蓋206可形成內部分202之一上部部分。蓋206可包含與底板204匹配或機械相容之特徵。在圖2中所展示之實施例中，蓋206包含自蓋206之一表面延伸之光罩隔室壁208。
在圖2中所展示之實施例中，光罩隔室壁208自蓋206延伸。當蓋206及底板204經裝配以形成內部分202時，光罩隔室壁208自蓋206之面向底板204之一表面延伸。在一替代實施例中，光罩隔室壁208可自底板204朝向蓋206延伸。光罩隔室壁208可界定經構形以容納一光罩之內部分202之內部空間230之一周界。在一實施例中，光罩隔室壁208包含一或多個通孔222。一光罩保持器210可延伸穿過一通孔222。通孔222之剖面可為(舉例而言)圓形、正方形或矩形的。
在圖2中所展示之實施例中，光罩保持器210包含位於光罩隔室壁208之一第一側上之一第一端224，及位於光罩隔室壁208之與該第一側對置之一第二側上之一第二端226。光罩保持器210經由位於通孔222內之一鉸鏈228而附接至光罩隔室壁208。光罩保持器210係充分剛性的，使得當將一力施加至第一端224時，光罩保持器圍繞鉸鏈228旋轉，從而致使第二端226移動。在一實施例中，光罩保持器210係撓性的，使得當第二端226接觸一光罩時，光罩保持器210可撓曲。
第一端224位於光罩隔室壁208之側上，該側在由底板204及蓋206界定之內部空間230外部。第一端224遠離光罩隔室壁208延伸，使得當內部分202位於外部分212內時，該第一端可由包含於外部分212之一部分上之一特徵(諸如盒圓頂214或盒門216)接觸。
第二端226位於光罩隔室壁208之一側上，該側在由底板204及蓋206界定之內部空間230內部。光罩保持器210經構形使得第二端226可旋轉至一位置中，在該位置處，該第二端將接觸位於由底板204及蓋206界定之內部空間230內之一光罩。第二端226可經構形以在光罩之一表面上接觸光罩，該表面與光罩之接觸底板204中之光罩觸點220之一表 面對置。
鉸鏈228係將光罩保持器210接合至光罩隔室壁208之一鉸鏈。鉸鏈228位於通孔222內。在一實施例中，228包含自光罩保持器210之彼此對置之突出部以及形成於通孔222中經構形以接納突出部之對應孔。在一實施例中，鉸鏈228包含自通孔222之表面延伸至光罩保持器210中之突出部。鉸鏈228可經定向使得圍繞鉸鏈228之旋轉軸線與光罩隔室壁208在同一平面內。
光罩盒200之外部分212經構形以封圍內部分202。外部分212可包含聚合物材料或完全由聚合物材料製成。外部分212包含盒圓頂214及盒門216。在一實施例中，盒圓頂214與盒門216藉由一閂鎖而彼此緊固以形成外部分212。在一實施例中，外部分212包含經定大小以容納內部分202之一內部空間232，且在盒門216與盒圓頂214彼此緊固之同時，外部分212接觸內部分202。在外部分212被裝配時外部分212與內部分202之間的接觸可將內部分202緊固於外部分212內。此接觸可由盒圓頂214及盒門216上之位於面向外部分212之內部空間232之表面上的一或多個突出部、凹部或其他此等特徵提供。在一實施例中，外部分212之組件中之至少一者包含一突出部，該突出部包含致動表面218。
盒圓頂214係光罩盒200之外部分212之一部分。盒圓頂214可包含經構形以在光罩盒200被裝配時接觸蓋206之一或多個特徵。盒圓頂214可包含經定大小以容納光罩盒200之內部分202之內部空間232以及在盒圓頂214之一端處經構形以容納盒門216之一開口(未展示)。開口可由一唇狀件(未展示)界定。盒圓頂214之環繞第二空間之部分可包含一或多個狹槽或其他開口，該一或多個狹槽或其他開口經構形以接納一閂鎖之一 部分來將盒圓頂214緊固至盒門216以形成光罩盒200之外部分212。
盒門216係光罩盒200之外部分212之另一部分。盒門216經構形以與盒圓頂214組合來形成光罩盒200之外部分212。盒門216可經定大小使得其適合於盒圓頂214之一空間中，使得該盒門封閉盒圓頂214之一端。盒門216可藉由一或多個閂鎖而接合至盒圓頂214。當閂鎖未嚙合盒圓頂214時，盒門216可自盒圓頂214移除。盒門216可進一步包含一或多個突出部，該一或多個突出部包含一或多個致動表面218。
在圖2中所展示之實施例中，一或多個致動表面218設置於自盒門216之一或多個突出部上。致動表面218經構形以在盒門216與盒圓頂214接合或彼此緊固時接觸第一端224。致動表面218與光罩保持器210之第一端224之間的接觸推動第一端224，從而使光罩保持器圍繞鉸鏈228旋轉。此旋轉將第二端226移動至一位置中，在該位置處，該第二端可接觸位於光罩盒200之內部分202內之一光罩。第二端226與光罩之間的接觸可(諸如)藉由在第二端226之至少一部分與包含於底板204中之光罩觸點220之間夾緊光罩而緊固該光罩。在一實施例中，致動表面218本身可被致動，舉例而言藉由被作用於其上(諸如被包含於盒門216中之一閂鎖機構之一組件作用於其上)而進行移動以自盒門216向外突出。
圖3展示根據一實施例之用於移動一或多個光罩觸點之一方法之一流程圖。方法300包含將一蓋接合至一底板302、將一盒門接合至盒圓頂304、使一或多個致動表面與位於光罩隔室壁上之一或多個保持特徵接觸306，及經由與一或多個致動表面之接觸而移動一或多個保持特徵308。
將一蓋接合至一底板302。舉例而言，該蓋可為上文所闡述 之蓋106或蓋206。舉例而言，該底板可為上文所闡述之底板104或204。在一實施例中，在於302處將蓋接合至底板之前將一光罩放置於底板上。在一實施例中，將蓋接合至底板包含將蓋放置於底板上，使得一光罩隔室壁(諸如光罩隔室壁108)擱置於底板上。在一實施例中，將蓋接合至底板包含將蓋放置於自底板延伸之一光罩隔室壁(諸如光罩隔室壁208)上。將蓋接合至底板302可包含將蓋與底板彼此對準，使得其處於相同定向中。該定向可為蓋及底板中之一者或兩者上之介接特徵之對準。
將一盒門接合至一盒圓頂304。舉例而言，該盒門可為上文所闡述之盒門116或216。舉例而言，該盒圓頂可為上文所闡述之盒圓頂114或214。可接合盒門與盒圓頂304，使得在302處所接合之蓋及底板容納於盒圓頂及盒門內。在將盒門接合至盒圓頂304之後，盒門與盒圓頂可經由一或多個閂鎖而彼此緊固。可藉由將盒圓頂放置於盒門上方使得盒門位於由盒圓頂界定之一空間內而接合盒門與盒圓頂304。
使一或多個致動表面與位於光罩隔室壁上之一或多個保持特徵接觸306。一或多個致動表面可存在於盒圓頂或盒門上。一或多個致動表面可經構形以在於304處接合盒門與盒圓頂時接觸保持特徵306。一或多個致動表面可經構形以在經由一閂鎖而緊固盒圓頂與盒門時接觸保持特徵306。舉例而言，致動表面可為經構形以接觸保持特徵上之一滑動表面之一滑動表面。在一實施例中，滑動表面包含於自盒圓頂之一突出部上。舉例而言，致動表面可為經構形以接觸一保持特徵之一端之一觸點，該保持特徵在該端處延伸於光罩隔室壁外部。在一實施例中，觸點位於自盒門之一突出部上。
經由與一或多個致動表面之接觸而移動一或多個保持特徵 308。在一實施例中，致動表面驅動一保持特徵(例如，光罩保持器110)向內線性移動至由光罩隔室壁界定之一空間中。在一實施例中，致動表面係一滑動表面，該滑動表面接觸保持特徵上之一對應滑動表面，使得保持特徵向內移動至由光罩隔室壁界定之空間中。在一實施例中，致動表面驅動一或多個保持特徵之旋轉移動。旋轉移動可為圍繞與光罩隔室壁之一平面在同一平面內之一軸線。旋轉移動可致使保持特徵上之一光罩觸點旋轉，使得該光罩觸點在具有朝向底板之一分量之一方向上移動。在一實施例中，保持特徵包含位於光罩隔室壁之一第一側上之一端、位於光罩隔室壁之對置側上之一第二端，及將保持特徵接合至光罩隔室壁之一鉸鏈。致動表面壓靠在保持特徵之一端上，從而驅動圍繞鉸鏈之旋轉。圍繞鉸鏈之旋轉致使第二端(舉例而言)朝向底板移動。當在308處藉由與致動表面之接觸而移動保持特徵時，保持特徵可位於其將接觸由蓋及底板界定之內部空間內之一光罩之一位置中。一或若干保持特徵與光罩之接觸可將光罩緊固於光罩盒內。光罩之緊固可進一步包含與形成於底板中或附接至底板之光罩觸點接觸。
態樣：
應理解，態樣1至14中之任一者可與態樣15至20中之任一者組合。
態樣1。 一種光罩盒，其包括：一內部分，其包含一蓋及一底板，該蓋及該底板中之一者包含自該蓋及該底板中之彼一者延伸之一光罩隔室壁，該光罩隔室壁包含一或多個保持特徵；及一外部分，其包含一盒圓頂及一盒門，該盒圓頂及該盒門中之一者包 含一或多個致動表面，該一或多個致動表面經構形以在該盒圓頂接合至該盒門時接觸該一或多個保持特徵中之至少一者，該盒圓頂接合至該盒門，且該經接合蓋與該經接合底板在該經接合盒圓頂與該經接合盒門內，其中當該一或多個致動表面接觸該一或多個保持特徵時，該等保持特徵經構形以被定位，使得其能夠在一光罩位於該經接合蓋與該經接合底板內時接觸該光罩。
態樣2。 根據態樣1之光罩盒，其中該一或多個保持特徵中之每一者可在具有一分量之一方向上線性移動，該分量具有介於自與該光罩隔室壁之一平面成零度至九十度之範圍內之一角度。
態樣3。 根據態樣2之光罩盒，其中該一或多個保持特徵中之每一者包含一彈簧。
態樣4。 根據態樣3之光罩盒，當該彈簧處於一靜止位置中時，該保持特徵處於比在該保持特徵由該一或多個致動表面中之一者接觸時更遠離該底板之一中心之一位置中。
態樣5。 根據態樣2至4中之任一者之光罩盒，其中該一或多個保持特徵中之每一者可在一方向上線性移動，該方向具有介於自與該光罩隔室壁之一平面成零度至九十度之範圍內之一角度。
態樣6。 根據態樣2至5中之任一者之光罩盒，其中該一或多個保持特徵中之每一者包含經構形以嚙合一彎曲或傾斜邊緣之一接觸表面。
態樣7。 根據態樣2至6中之任一者之光罩盒，其中該一或多個致動表面中之每一者係經構形以抵靠該一或多個保持特徵中之至少一者之一端滑動之一表面。
態樣8。 根據態樣7之光罩盒，其中該一或多個致動表面中之每一者自該盒圓頂延伸。
態樣9。 根據態樣1之光罩盒，其中：該一或多個保持特徵中之每一者包含位於該光罩隔室壁之一第一側上之一第一端及在該光罩隔室壁之一第二側上之一第二端，該光罩隔室壁之該第二側與該光罩隔室壁之該第一側對置，且該一或多個保持特徵各自可圍繞與該光罩隔室壁之一平面在同一平面內之一軸線旋轉。
態樣10。 根據態樣9之光罩盒，其中該一或多個致動表面中之每一者係自該盒門延伸之一突出部。
態樣11。 根據態樣10之光罩盒，其中當該一或多個致動表面中之每一者在該第二端處接觸該一或多個保持特徵中之至少一者時，該一或多個保持特徵中之每一者之該第一端接觸該光罩。
態樣12。 根據態樣1至11中之任一者之光罩盒，其中該一或多個保持特徵中之每一者包含一熱塑性材料。
態樣13。 根據態樣1至12中之任一者之光罩盒，其中該光罩隔室壁自該底板延伸。
態樣14。 根據態樣1至12中之任一者之光罩盒，其中該光罩隔室壁自該蓋延伸。
態樣15。 一種操縱一或多個保持特徵之方法，其包括：將一蓋接合至該底板，其中該蓋及該底板中之一者包含自該蓋及該底板中之彼一者延伸之一光罩隔室壁，將該經接合蓋與該經接合底板放置於一盒圓頂中；將一盒門接合至該盒圓頂，其中將該盒門接合至該盒圓頂包含使一或 多個致動表面與位於該光罩隔室壁上之一或多個保持特徵接觸且經由與該一或多個致動表面之該接觸而移動該一或多個保持特徵。
態樣16。 根據態樣15之方法，其中移動該一或多個保持特徵包括將該一或多個保持特徵向內線性移動至由該光罩隔室壁界定之一空間中。
態樣17。 根據態樣16之方法，其中該一或多個致動表面位於該蓋上且經構形以抵靠該一或多個保持特徵中之至少一者之一端滑動。
態樣18。 根據態樣15至17中之任一者之方法，其中移動該一或多個保持特徵包括將該一或多個保持特徵圍繞與該光罩隔室壁之一平面在同一平面內之一軸線旋轉移動。
態樣19。 根據態樣18之方法，其中該一或多個致動表面係自該盒門延伸之突出部。
態樣20。 根據態樣15至19中之任一者之方法，其中該光罩隔室壁自該蓋延伸。
此申請案中所揭示之實例將在所有態樣中被視為說明性的而非限制性的。本發明之範疇由隨附申請專利範圍而非由前述說明指示；且屬於申請專利範圍之等效內容之含義及範圍內之所有改變意欲包含於其中。
200:光罩盒
202:內部分
204:底板
206:蓋
208:光罩隔室壁
210:光罩保持器
212:外部分
214:盒圓頂
216:盒門
218:致動表面
220:光罩觸點
222:通孔
224:第一端
226:第二端
228:鉸鏈
230:內部空間
232:內部空間

Claims (20)

  1. 一種光罩盒，其包括：一內部分，其包含一蓋及一底板，該蓋及該底板中之一者包含自該蓋及該底板中之彼一者延伸之一光罩隔室壁，該光罩隔室壁包含一或多個保持特徵；及一外部分，其包含一盒圓頂及一盒門，該盒圓頂及該盒門中之一者包含一或多個致動表面，該一或多個致動表面經構形以在該盒圓頂接合至該盒門時接觸該一或多個保持特徵中之至少一者，該盒圓頂接合至該盒門，且該經接合蓋與該經接合底板在該經接合盒圓頂與該經接合盒門內，其中當該一或多個致動表面接觸該一或多個保持特徵時，該等保持特徵經構形以被定位，使得其能夠在一光罩位於該經接合蓋與該經接合底板內時接觸該光罩。
  2. 如請求項1之光罩盒，其中該一或多個保持特徵中之每一者可在具有一分量之一方向上線性移動，該分量具有介於自與該光罩隔室壁之一平面成零度至九十度之範圍內之一角度。
  3. 如請求項2之光罩盒，其中該一或多個保持特徵中之每一者包含一彈簧。
  4. 如請求項3之光罩盒，其中當該彈簧處於一靜止位置中時，該保持特徵處於比在該保持特徵由該一或多個致動表面中之一者接觸時更遠離該底 板之一中心之一位置中。
  5. 如請求項2之光罩盒，其中該一或多個保持特徵中之每一者可在一方向上線性移動，該方向具有介於自與該光罩隔室壁之一平面成零度至九十度之範圍內之一角度。
  6. 如請求項2之光罩盒，其中該一或多個保持特徵中之每一者包含經構形以嚙合一彎曲或傾斜邊緣之一接觸表面。
  7. 如請求項2之光罩盒，其中該一或多個致動表面中之每一者係經構形以抵靠該一或多個保持特徵中之至少一者之一端滑動之一表面。
  8. 如請求項7之光罩盒，其中該一或多個致動表面中之每一者自該盒圓頂延伸。
  9. 如請求項1之光罩盒，其中：該一或多個保持特徵中之每一者包含位於該光罩隔室壁之一第一側上之一第一端及在該光罩隔室壁之一第二側上之一第二端，該光罩隔室壁之該第二側與該光罩隔室壁之該第一側對置，且該一或多個保持特徵各自可圍繞與該光罩隔室壁之一平面在同一平面內之一軸線旋轉。
  10. 如請求項9之光罩盒，其中該一或多個致動表面中之每一者係自該盒門延伸之一突出部。
  11. 如請求項10之光罩盒，其中當該一或多個致動表面中之每一者在該第二端處接觸該一或多個保持特徵中之至少一者時，該一或多個保持特徵中之每一者之該第一端接觸該光罩。
  12. 如請求項1之光罩盒，其中該一或多個保持特徵中之每一者包含一熱塑性材料。
  13. 如請求項1之光罩盒，其中該光罩隔室壁自該底板延伸。
  14. 如請求項1之光罩盒，其中該光罩隔室壁自該蓋延伸。
  15. 一種操縱一或多個保持特徵之方法，其包括：將一蓋接合至底板，其中該蓋及該底板中之一者包含自該蓋及該底板中之彼一者延伸之一光罩隔室壁，將該經接合蓋與該經接合底板放置於一盒圓頂中；將一盒門接合至該盒圓頂，其中將該盒門接合至該盒圓頂包含使一或多個致動表面與位於該光罩隔室壁上之一或多個保持特徵接觸且經由與該一或多個致動表面之該接觸而移動該一或多個保持特徵。
  16. 如請求項15之方法，其中移動該一或多個保持特徵包括將該一或多個保持特徵向內線性移動至由該光罩隔室壁界定之一空間中。
  17. 如請求項16之方法，其中該一或多個致動表面位於該蓋上且經構形以抵靠該一或多個保持特徵中之至少一者之一端滑動。
  18. 如請求項15之方法，其中移動該一或多個保持特徵包括將該一或多個保持特徵圍繞與該光罩隔室壁之一平面在同一平面內之一軸線旋轉移動。
  19. 如請求項18之方法，其中該一或多個致動表面係自該盒門延伸之突出部。
  20. 如請求項15之方法，其中該光罩隔室壁自該蓋延伸。
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