JP2021521469A - フォトマスク保管ボックス - Google Patents

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Abstract

【課題】フォトマスクにパーティクルが発生することを防止するフォトマスク保管ボックスを提供する。【解決手段】内部にフォトマスクが載置されるように支持部を備える下部ケース、下部ケースと締結される上部ケース、及び下部ケースの内側縁部に設けられ、下部ケースの支持部に装着されたフォトマスクを固定させるための固定部を含むフォトマスク保管ボックスであって、固定部は、胴体でボルト部材を用いて回転キャップ部材を前後に移動させ、回転キャップ部材に押し込まれた加圧固定部材が回転なしに前進するようにして、フォトマスクのパーティクルが発生することを防止し、加圧固定部材の前面に曲面部を形成して、加圧固定部材の表面によってフォトマスクにパーティクルが発生することを防止する。【選択図】 図４

Description

本発明はフォトマスク保管ボックスに係り、より詳しくは内部にフォトマスクが載置されるように支持部を備える下部ケース、下部ケースと締結される上部ケース、及び下部ケースの内側縁部に設けられ、下部ケースの支持部に装着されたフォトマスクを固定させるための固定部を含むフォトマスクケースの構造であって、固定部は、胴体においてボルト部材を用いて回転キャップ部材を前後に移動させるとともに、回転キャップ部材に押し込まれた加圧固定部材が回転なしに前進するようにして、フォトマスクのパーティクルが発生することを防止し、加圧固定部材の前面に曲面部を形成して、加圧固定部材の表面によってフォトマスクにパーティクルが発生することを防止するフォトマスク保管ボックスに関する。
ＬＣＤモニターの製造に使われるフォトマスクは一般的にガラス素材からなるため、移送及び保管の際に易しく破損されるおそれがある。脆性が高くて強度が弱いフォトマスクを移送するか保管するときには、フォトマスクのサイズに合うケースを使う。すなわち、フォトマスク保管ボックスは一般的に上部ケースと下部ケースからなり、前記上部及び下部ケースは適切な締結器具で固定される。
一般的なフォトマスク保管ボックスの構造を説明すれば次のようである。
一面が開放した直方体であり、外周部に沿って複数のロック具が断続的に形成されており、前記ロック具を除いた残りの外周部には強度を補強するための第１補強部が形成されており、内部の角部及び隅部にはフォトマスクを載置させるための複数の支持部が設けられた下部ケースと、一面が開放した直方体であり、外周部に沿って前記下部ケースのロック具に対応するロック片が形成されており、前記ロック片を除いた残りの外周部には前記下部ケースの第１補強部と接するように形成された第２補強部が形成され、下面には前記保管ボックスを地面に沿って移送することができるように構成された移送部を含む上部ケースとを含み、前記下部及び上部ケースの間に介在されるシーリング部材をさらに含み、前記第１補強部及び／又は第２補強部の一部には把持部が形成されたフォトマスク保管ボックスが使われている。
このようなフォトマスク保管ボックスは、前記下部ケースと前記上部ケースの間に形成される空間部にフォトマスクを載置させ、前記上部及び下部ケースの間に前記シーリング部材を介在させた後、前記ケースの外側に形成された前記ロック具及びロック片を結合させた後、移送するか保管することになる。
しかし、従来のフォトマスク保管ボックスは、下部ケースの内部に形成される支持部がフォトマスクを安全に支持することができなくてフォトマスクが遊動することになることによってフォトマスクに外形的な欠陷を発生させる問題が発生し、特に、非常に敏感で脆性が高いフォトマスクはガラス素材からなるため、応力が集中する角又は角部がよく破損された。
このような問題点を解決するために、韓国特許登録第１０−１１２１１７６号のフォトマスクケースの構造、及び日本特許公開第２０１０−７２４２０号のフォトマスクケースなどが開示されている。
前記フォトマスクケースの構造は、図１及び図２に示したように、それぞれの外側面にロック具（本体と保持片からなる）１１が間欠的に２個ずつ形成され、前記ロック具１１が形成されていない残りの外側面にはケースの強度を補強するための第１補強部１２が形成されており、外部の外周面から突出したガイド部１３が形成された下部ケース１と、前記下部ケース１のロック具１１がかかるようにそれぞれの外側面に２個ずつ装着されたロック片２１、及び前記下部ケース１の第１補強部１２と接するように形成されてケースの強度を補強するための第２補強部２２が形成された上部ケース２と、前記下部ケース１の前記ガイド部１３に装着され、前記下部ケース１と前記上部ケース２の間に介在されるシーリング部材３と、それぞれの前記下部ケース１と前記上部ケース２の下面に形成されたコマからなる移送部４とからなり、下部ケース１の底面にはケースの強度を補強するためのフレームＦが離隔部材として形成され、下部ケース１の内部の２個の上側角部と２個の両側面にはボルトからなる締結部材１１１ａが設けられた第１及び第２支持部１１１があり、下部ケース１の内部の上面及び下面にはそれぞれ３個と４個の第３及び第４支持部１１２が形成され、前記第１及び第２支持部１１１は、フォトマスクを載置するとき、フォトマスクの上面及び横面を確かに支持するために上下又は左右に移動することができるように構成されることを特徴とする。
しかし、このような従来のフォトマスクケースの構造はスライド方式でフォトマスクを押し付けて固定するため、局所的に圧力が発生してフォトマスクを破損することができる危険がある。
また、前記フォトマスクケースは、図３に示したように、フォトマスクを支持するためのフォトマスクケースにおいて、フォトマスクの周囲を覆う外装容器２と、前記外装容器に設けられた支持棒挿入孔と、前記支持棒挿入孔に挿入されて前記フォトマスク１の側面部を支持する支持棒と、支持棒のフォトマスクの側面部と接する側の先端部に弾性を有する支持体４とを備えたことを特徴とする。
しかし、従来のフォトマスクケースは、支持棒の固定力が相対的に落ち、弾性力の調節が難しくてフォトマスクを破損することができる危険がある。
韓国特許登録第１０−１１２１１７６号公報 日本特許公開第２０１０−７２４２０号公報
本発明が達成しようとする技術的課題は、内部にフォトマスクが載置されるように支持部を備える下部ケース、下部ケースと締結される上部ケース、及び下部ケースの内側縁部に設けられ、下部ケースの支持部に装着されたフォトマスクを固定させるための固定部を含むフォトマスク保管ボックスであって、固定部は、胴体でボルト部材を用いて回転キャップ部材を前後に移動させ、回転キャップ部材に押し込まれた加圧固定部材が回転なしに前進するようにして、フォトマスクのパーティクルが発生することを防止し、加圧固定部材の前面に曲面部を形成して、加圧固定部材の表面によってフォトマスクにパーティクルが発生することを防止するフォトマスク保管ボックスを提供することにその目的がある。
また、本発明は、固定部の胴体に空間部を形成し、内部にオイルの含浸されたスポンジを収納した状態で、空間部の入口に弾性素材のシリコンカバーを結合することにより、金属素材のボルト部材と胴体内に挿入された金属素材のナット部材間の摩擦時に発生する微細チップが外部に流出することをスポンジとシリコンカバーによって防止するフォトマスク保管ボックスを提供することに他の目的がある。
前記のような目的を果たすための本発明の特徴は、内部にフォトマスクが載置されるように支持部を備える下部ケース、下部ケースと締結される上部ケース、及び下部ケースの内側縁部に設けられ、下部ケースの支持部に装着されたフォトマスクを固定させるための固定部を含むフォトマスク保管ボックスであって、前記固定部は、合成樹脂素材から直方体形に形成され、上端にボルト移動空間部が備えられ、前記ボルト移動空間部の上端にボルトガイドホールが形成される胴体と、中央部にノブが結合され、後方に前記ノブを固定させるナットが結合され、前方にボルト用ブッシュが結合され、前記ボルトガイドホールに水平に締結され、前記胴体のボルト移動空間部で前記ノブが回転することによって前後進するボルト部材と、合成樹脂素材から形成され、前記ボルト部材の前面にボルト結合され、前記ノブの回転時に前記ボルト部材とともに回転しながら前後進する回転キャップ部材と、テフロン素材から円筒状に形成され、前記回転キャップ部材に押し込まれて結合され、前記回転キャップ部材の回転時に回転なしに前記フォトマスクに圧力を加えて固定させる加圧固定部材とを含んでなることを特徴とする。
ここで、前記胴体は、前記ボルト部材と結合するように、前記ボルトガイドホールと対応する位置に前記ボルト部材のボルト用ブッシュが貫通するブッシュ貫通ホールが備えられた板状の胴体カバーが前面に分解可能に結合されることができる。
また、前記胴体カバーは、前記ブッシュ貫通ホールに合成樹脂素材のカバー用ブッシュが結合されることができる。
また、前記胴体は、前記ボルトガイドホールの内部に前記ボルト部材が締結されるように、コイルインサートを備えることができる。
また、前記胴体は、前記コイルインサートと前記ボルト部材間の摩擦時に発生する微細チップが外部に流出することを前記スポンジ及びシリコンカバーによって防止するために、前記ボルトガイドホールの前後にチップ保存空間部が形成され、前記チップ保存空間部の入出口側に係止突起が形成され、ボルト貫通ホールが形成された弾性素材のシリコンカバーが前記係止突起に結合され、前記チップ保存空間部にオイルの含浸されたスポンジが収納されることができる。
また、前記回転キャップ部材は、前記加圧固定部材が押し込まれて結合されるように、外周部の外側に切開部が形成され、外周部の内側に係止突起が形成されることができる。
また、前記加圧固定部材は、外側面に前記係止突起に結合されるように段差部が形成されることができる。
また、前記加圧固定部材は、前記フォトマスクと点接触して前記フォトマスクにパーティクルが発生することを防止するために、前面に曲面部が形成されることができる。
本発明によれば、内部にフォトマスクが載置されるように支持部を備える下部ケース、下部ケースと締結される上部ケース、及び下部ケースの内側縁部に設けられ、下部ケースの支持部に装着されたフォトマスクを固定させるための固定部を含むフォトマスク保管ボックスであって、固定部は、胴体でボルト部材を用いて回転キャップ部材を前後に移動させ、回転キャップ部材に押し込まれた加圧固定部材が回転なしに前進するようにして、フォトマスクのパーティクルが発生することを防止し、加圧固定部材の前面に曲面部を形成して、加圧固定部材の表面によってフォトマスクにパーティクルが発生することを防止することができる。
また、本発明によれば、固定部の胴体に空間部を形成し、内部にオイルの含浸されたスポンジを収納した状態で、空間部の入口に弾性素材のシリコンカバーを結合することにより、金属素材のボルト部材と胴体内に挿入された金属素材のナット部材間の摩擦時に発生する微細チップが外部に流出することをスポンジとシリコンカバーによって防止して、フォトマスクに異物が付着することを防止することができる。
従来のフォトマスクケースを示した図である。 従来のフォトマスクケースを示した図である。 従来のフォトマスクケースを示した図である。 本発明によるフォトマスク保管ボックスの構成を示した斜視図である。 本発明によるフォトマスク保管ボックスの下部ケースの構成を示した平面図である。 本発明によるフォトマスク保管ボックスの固定部の構成を示した斜視図である。 図６の分解斜視図である。 図６の側断面図である。 本発明によるフォトマスク保管ボックスの支持部の動作を説明するための動作説明図である。
本発明によるフォトマスク保管ボックスの最良の形態は、内部にフォトマスクが載置されるように支持部を備える下部ケース、下部ケースと締結される上部ケース、及び下部ケースの内側縁部に設けられ、下部ケースの支持部に装着されたフォトマスクを固定させるための固定部を含むフォトマスク保管ボックスであって、前記固定部は、合成樹脂素材から直方体形に形成され、上端にボルト移動空間部が備えられ、前記ボルト移動空間部の上端にボルトガイドホールが形成される胴体と、中央部にノブが結合され、後方に前記ノブを固定させるナットが結合され、前方にボルト用ブッシュが結合され、前記ボルトガイドホールに水平に締結され、前記胴体のボルト移動空間部で前記ノブが回転することによって前後進するボルト部材と、合成樹脂素材から形成され、前記ボルト部材の前面にボルト結合され、前記ノブの回転時に前記ボルト部材とともに回転しながら前後進する回転キャップ部材と、テフロン素材から円筒状に形成され、前記回転キャップ部材に押し込まれて結合され、前記回転キャップ部材の回転時に回転なしに前記フォトマスクに圧力を加えて固定させる加圧固定部材とを含んでなる。
以下、本発明によるフォトマスク保管ボックスの構成を添付図面に基づいて詳細に説明する。
以下の本発明の説明において、関連の公知の機能又は構成についての具体的な説明が本発明の要旨を不必要にあいまいにする可能性があると判断される場合にはその詳細な説明は省略する。そして、後述する用語は本発明の機能を考慮して定義された用語であり、これは使用者、運用者の意図又は慣例などによって変わることができる。したがって、その定義は本明細書全般にわたる内容に基づいて決定されなければならないであろう。
図４は本発明によるフォトマスク保管ボックスの構成を示した斜視図、図５は本発明によるフォトマスク保管ボックスの下部ケースの構成を示した平面図、図６は本発明によるフォトマスク保管ボックスの固定部の構成を示した斜視図、図７は図６の分解斜視図、図８は図６の側断面図である。
図４〜図８を参照すると、本発明によるフォトマスク保管ボックス２００は、下部ケース２１０と、上部ケース２２０と、固定部３００とから構成される。
まず、下部ケース２１０は通常の構造のもので、フォトマスク（図示せず）が載置されるように支持部２１１が備えられる。ここで、支持部２１１はフォトマスクのサイズによって前後にスライドして間隔を調節することもできる。
そして、上部ケース２２０は通常の構造のもので、下部ケース２１０と締結される。
また、固定部３００は、図６〜図８に示したように、胴体３１０と、ボルト部材３２０と、回転キャップ部材３３０と、加圧固定部材３４０とから構成される。
胴体３１０は合成樹脂素材から直方体形に形成され、上端にボルト移動空間部Ｓ１が備えられ、ボルト移動空間部Ｓ１の上端にボルトガイドホール３１１が形成される。ここで、胴体３１０は底面又は背面が下部ケース２１０にボルト結合されて固定されることが好ましい。
そして、胴体３１０は、ボルト部材３２０を結合するように、ボルトガイドホール３１１と対応する位置にボルト部材３２０のボルト用ブッシュ３２５が貫通するブッシュ貫通ホール３１２ａが備えられた板状の胴体カバー３１２が前面に分解可能に結合される。ここで、胴体カバー３１２は、ブッシュ貫通ホール３１２ａに合成樹脂素材のカバー用ブッシュ３１３が結合される。
また、胴体３１０は、ボルトガイドホール３１１の内部にボルト部材３２０が締結されるようにコイルインサート３１４が備えられ、コイルインサート３１４とボルト部材３２０間の摩擦時に発生する微細チップが外部に流出することを防止するために、ボルトガイドホール３１１の前後にチップ保存空間部Ｓ２が形成され、チップ保存空間部Ｓ２の入出口側に係止突起３１５が形成され、ボルト貫通ホール３１６ａが形成された弾性素材のシリコンカバー３１６が係止突起３１５に結合され、チップ保存空間部Ｓ２にオイルの含浸されたスポンジ３１７が収納される。
そして、ボルト部材３２０は、金属素材の中央部にノブ３２１が結合され、後方にノブ３２１を固定させるナット３２３が結合され、前方にボルト用ブッシュ３２５が結合され、ボルトガイドホール３１１に備えられたコイルインサート３１４と水平に締結されることにより、胴体３１０のボルト移動空間部Ｓ１でノブ３２１が回転しながら前後進する。
また、回転キャップ部材３３０は合成樹脂素材から形成され、ボルト部材３２０の前面にボルト結合され、ノブ３２１の回転時にボルト部材３２０とともに回転しながら前後進する。ここで、回転キャップ部材３３０は、加圧固定部材３４０が押し込まれて結合されるように、外周部の外側に切開部３３１が形成され、外周部の内側に係止突起３３３が形成される。
一方、加圧固定部材３４０はテプロン素材から円筒状に形成され、回転キャップ部材３３０に押し込まれて結合され、回転キャップ部材３３０の回転時に回転せずにフォトマスクに圧力を加えて固定させる。ここで、加圧固定部材３４０の外側面には、係止突起３３３に結合するように、段差部３４１が形成される。
また、加圧固定部材３４０は、フォトマスクと点接触してフォトマスクにパーティクルが発生することを防止するために、前面に曲面部Ｒが形成される。
以下、本発明によるフォトマスク保管ボックスの動作を添付図面に基づいて詳細に説明する。
図９は本発明によるフォトマスク保管ボックスの支持部の動作を説明するための動作説明図である。
まず、固定部３００のボルト部材３２０のノブ３２１を一方向に回転させてボルト部材３２０を後進させることにより、加圧固定部材３４０を下部ケース２１０の支持部２１１との干渉がない位置に後退させる。
このような状態で、フォトマスクＰを下部ケース２１０の支持部２１１に装着させる。
そして、固定部３００のボルト部材３２０に備えられたノブ３２１を他方向に回転させれば、ボルト部材３２０が胴体３１０のボルトガイドホール３１１に備えられたコイルインサート３１４で回転しながら前進することになる。
これにより、ボルト部材３２０の前面に結合された回転キャップ部材３３０が前進することになる。
回転キャップ部材３３０の前進によって加圧固定部材３４０がともに前進し、加圧固定部材３４０の前面に形成された曲面部ＲがフォトマスクＰと点接触する。
すると、加圧固定部材３４０は回転キャップ部材３３０に拘束されていない状態を維持するので、ボルト部材３２０と回転キャップ部材３３０が前進しながら回転しても、加圧固定部材３４０はフォトマスクＰと接触した状態で回転なしに前進しながらフォトマスクＰを加圧することになる。
これにより、加圧固定部材３４０がフォトマスクＰと点接触した状態で回転なしに前進してフォトマスクＰとの摩擦が発生しないから、パーティクルの発生が防止される。
また、ボルト部材３２０の回転時、胴体３１０に金属素材のコイルインサート３１４が挿入されているので、合成樹脂と金属素材間の摩擦によって合成樹脂が摩耗されることが防止され、ボルト部材３２０とコイルインサート３１４間の摩擦によって発生する金属微細チップの場合、ボルトガイドホール３１１の前後に形成されたチップ保存空間部Ｓ２と、チップ保存空間部Ｓ２の入出口側に備えられた係止突起３１５と結合されたシリコンカバー３１６及びチップ保存空間部Ｓ２内のオイルの含浸されたスポンジ３１７によって、下部ケース２１０の内部に排出されてフォトマスクＰに付着することを防止することができる。
本発明は多様に変形可能であり、さまざまな形態を取ることができ、前記発明の詳細な説明ではそれによる特別な実施例についてのみ記述した。しかし、本発明は詳細な説明で言及した特別な形態に限定されないものに理解されなければならなく、添付の請求範囲によって定義される本発明の精神及び範囲内にある全ての変形物、均等物及び代替物を含むものに理解されなければならない。
２１０ 下部ケース
２２０ 上部ケース
３００ 固定部
３１０ 胴体
３２０ ボルト部材
３３０ 回転キャップ部材
３４０ 加圧固定部材
Ｒ 曲面部

Claims (8)

  1. 内部にフォトマスクが載置されるように支持部を備える下部ケース、下部ケースと締結される上部ケース、及び下部ケースの内側縁部に設けられ、下部ケースの支持部に装着されたフォトマスクを固定させるための固定部を含むフォトマスク保管ボックスであって、
    前記固定部は、
    合成樹脂素材から直方体形に形成され、上端にボルト移動空間部が備えられ、前記ボルト移動空間部の上端にボルトガイドホールが形成される胴体と、
    中央部にノブが結合され、後方に前記ノブを固定させるナットが結合され、前方にボルト用ブッシュが結合され、前記ボルトガイドホールに水平に締結され、前記胴体のボルト移動空間部で前記ノブが回転することによって前後進するボルト部材と、
    合成樹脂素材から形成され、前記ボルト部材の前面にボルト結合され、前記ノブの回転時に前記ボルト部材とともに回転しながら前後進する回転キャップ部材と、
    テプロン素材から円筒状に形成され、前記回転キャップ部材に押し込まれて結合され、前記回転キャップ部材の回転時に回転なしに前記フォトマスクに圧力を加えて固定させる加圧固定部材とを含んでなることを特徴とする、フォトマスク保管ボックス。
  2. 前記胴体は、前記ボルト部材と結合するように、前記ボルトガイドホールと対応する位置に前記ボルト部材のボルト用ブッシュが貫通するブッシュ貫通ホールが備えられた板状の胴体カバーが前面に分解可能に結合されることを特徴とする、請求項１に記載のフォトマスク保管ボックス。
  3. 前記胴体カバーは、前記ブッシュ貫通ホールに合成樹脂素材のカバー用ブッシュが結合されることを特徴とする、請求項２に記載のフォトマスク保管ボックス。
  4. 前記胴体は、前記ボルトガイドホールの内部に前記ボルト部材が締結されるように、コイルインサートを備えることを特徴とする、請求項１に記載のフォトマスク保管ボックス。
  5. 前記胴体は、前記コイルインサートと前記ボルト部材間の摩擦時に発生する微細チップが外部に流出することを前記スポンジ及びシリコンカバーによって防止するために、前記ボルトガイドホールの前後にチップ保存空間部が形成され、前記チップ保存空間部の入出口側に係止突起が形成され、ボルト貫通ホールが形成された弾性素材のシリコンカバーが前記係止突起に結合され、前記チップ保存空間部にオイルの含浸されたスポンジが収納されることを特徴とする、請求項４に記載のフォトマスク保管ボックス。
  6. 前記回転キャップ部材は、前記加圧固定部材が押し込まれて結合されるように、外周部の外側に切開部が形成され、外周部の内側に係止突起が形成されることを特徴とする、請求項１に記載のフォトマスク保管ボックス。
  7. 前記加圧固定部材は、外側面に前記係止突起に結合されるように段差部が形成されることを特徴とする、請求項６に記載のフォトマスク保管ボックス。
  8. 前記加圧固定部材は、前記フォトマスクと点接触して前記フォトマスクにパーティクルが発生することを防止するために、前面に曲面部が形成されることを特徴とする、請求項１に記載のフォトマスク保管ボックス。
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