JPH09218502A - レチクルボックスおよびコンテナ - Google Patents

レチクルボックスおよびコンテナ

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JPH09218502A JP27658596A JP27658596A JPH09218502A JP H09218502 A JPH09218502 A JP H09218502A JP 27658596 A JP27658596 A JP 27658596A JP 27658596 A JP27658596 A JP 27658596A JP H09218502 A JPH09218502 A JP H09218502A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 コンテナまたはカセットにレチクルを固くか
つ解放可能に保持する。また、微粒子異物を減じる。 【解決手段】 本体１２と、締付けバー１４と、この締
付けバー１４に取り付けられた複数の角隅支持部材２
０，３４とを有しており、ばね４０が設けられており、
このばね４０は、一方の端部で前記複数の角隅支持部材
２０の少なくとも１つに取り付けられており、他方の端
部で前記本体１２に取り付けられており、前記締付けバ
ー１４が動かされるた時に、前記複数の角隅支持部材２
０，３４が動くようになっている。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、概して、ホトリソ
グラフィで使用するための平らな基板の保持に関するも
のであり、特にレチクルを解放可能に保持するためのコ
ンテナまたはカセットに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ホトリソグラフィは半導体の製造にしば
しば使用される。ホトリソグラフィでは、レチクルに保
持された画像が感光性のレジストを有するウェハに投影
される。ホトリソグラフィ工程では、多くの種々異なる
レチクルが必要である。これらの種々異なるレチクルは
それぞれ、異物の存在しない安全な環境に保持されなけ
ればならない。基板またはレチクルを保持するためのこ
のようなコンテナの１つが、１９８３年１２月２７日に
アベその他に発行された“基板を保持するためのコンテ
ナ”という名称の米国特許第４４２２５４７号明細書に
開示されている。この明細書には、レチクル、マスク、
またはウェハ等の平らな基板を保持するためのコンテナ
が開示されている。コンテナは、ドアの運動と連動する
ようになっている接触部材を有しており、ドアが閉鎖さ
れる時に、この接触部材が、コンテナに保持された基板
もしくはレチクルの平らな上面に接触するようになって
いる。この従来のコンテナはレチクルを保持する一方
で、不都合を有している。したがって、レチクルを保持
するために使用するコンテナまたはカセットを改良する
必要がある。さらに、レチクルを傷つけずにまたは微粒
子異物の原因とならずに、所定の固定位置にレチクルを
固くかつ解放可能に保持するレチクルコンテナまたはカ
セットが必要である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】したがって、本発明の
課題は、コンテナまたはカセットにレチクルを固くかつ
解放可能に保持することである。また、本発明の別の課
題は微粒子異物を減じることである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】この課題を解決するため
に、本発明の構成では、本体と、締付けバーと、この締
付けバーに取り付けられた複数の角隅支持部材とを有し
ており、ばねが設けられており、このばねは、一方の端
部で前記複数の角隅支持部材の少なくとも１つに取り付
けられており、他方の端部で前記本体に取り付けられて
おり、前記締付けバーが動かされたときに、前記複数の
角隅支持部材が動くようにした。
【０００５】
【発明の効果】本発明は、複数の角隅支持部材に取り付
けられたまたは連結された移動可能な締付けバーを備え
たレチクルボックスを有している。角隅支持部材は、一
方の端部で定置の支持部材に、他方の端部で締付けバー
に取り付けられている。角隅支持部材の１つは、締付け
バーに取り付けられたリンク装置によって制御される。
締付けバーの運動に基づいて、複数の角隅支持部材はレ
チクルの角隅から旋回離反される。角隅支持部材は、レ
チクルを所定の位置に固く保持する。持上げバーは、１
つの方向での最初の予備位置を得るために使用される。
【０００６】本発明の利点は、レチクルが、コンテナま
たはカセット内の公知のまたは所定の位置に正確に保持
されることである。
【０００７】本発明の別の利点は、レチクルがコンテナ
またはカセット内で動かないように固く保持されること
である。
【０００８】本発明の特徴は、レチクルがレチクルの角
隅で保持されることである。
【０００９】本発明の別の特徴は、レチクルが、比較的
小さな直線運動で単一個所において加えられる比較的小
さい力で解放されることである。
【００１０】本発明の別の特徴は、レチクルの意図的で
ない解放を回避するためにロック機構が使用されている
ことである。
【００１１】これらのおよび別の目的、利点、および特
徴は、以下の詳細な説明を読むことにより容易に明らか
となる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を図面
につき詳しく説明する。
【００１３】図１は本発明を示している。図１には、本
体１２を備えたレチクルボックス、コンテナまたはカセ
ットが示されている。本体１２内部には締付けバー１４
が配置されている、締付けバー１４は、どちらの側にも
アーム１５を有している。各アーム１５は、底部角隅支
持部材２０に旋回可能に支承されている。アーム１５は
底部角隅支持部材２０にピンによって取り付けられてい
る。底部角隅支持部材２０は、レチクル５６の角隅を嵌
め込むために形成されたまたは適合させられた窪みまた
は溝を有している。レチクル５６は通常、ホトリソグラ
フィによって半導体ウェハに再生されるべきパターン画
像を備えた平らなガラス基板である。締付けバーばねも
しくはたわみ部材１６が、一方の端部で底部角隅支持部
材２０に取り付けられており、他方の端部で定置の支持
部材１８に固く固定されているか、または取り付けられ
ている。定置の支持部材１８は、本体１２に固く取り付
けられている。したがって、定置の支持部材１８は、本
体１２に対して不動である。一方のアーム１５は、ピン
２６でレバー２８に旋回可能に支承されている。レバー
２８は、支点として働くレバー支持部材２４にピン２６
で旋回可能に支承されている。レバー２８の他方の端部
は、コネクタ３０によって上部角隅支持部材アクチュエ
ータ３２に連結されている。コネクタ３０は、アクチュ
エータ３２の一方の端部に取り付けられている。アクチ
ュエータ３２の他方の端部は、本体１２にピン２６で旋
回可能に支承されている。上部角隅支持部材アーム３５
は、一方の端部で本体１２にピン２６で旋回可能に支承
されており、かつ中央部においてピン２６でアクチュエ
ータに取り付けられている。支持部材アーム３５の他方
の端部は、この端部に取り付けられた上部角隅支持部材
３４を有している。上部角隅支持部材３４は、レチクル
５６の角隅を収容または保持するための窪みまたは溝を
有している。アクチュエータ３２と支持アーム３５と
は、支持部材取付けプレート３６に取り付けられてい
る。
【００１４】持上げバー３８が、持上げバーばねもしく
はたわみ部材４０の一方の端部に取り付けられている。
持上げバーばねもしくはたわみ部材４０の他方の端部
は、定置の支持部材１８に取り付けられている。持上げ
バー３８には、持上げレチクル支持部材３９が取り付け
られている。締付けバー１４と持上げバー３８とは、互
いに独立して動く。レチクルボックス１０の挿入、取り
出しおよび運搬を容易にするために、本体１２にはハン
ドル４２が設けられている。ハンドル４２は、使用者の
指を通して巻き付けることができるような開口、または
単に掴み易くするための窪みを有していてもよい。
【００１５】図２は、図１に示した本発明を分解図で示
している。しかしながら、図２は付加的にカバー４４と
ラッチ機構４６，４８，５０，５２，５４とを示してい
る。カバー４４は本体に旋回可能に取り付けられてい
る。カバー４４の１つの角隅には、ラッチハウジング４
６が設けられている。ラッチハウジング４６は、ラッチ
ばね５０およびラッチ５２と共にラッチガイド４８を有
している。ラッチ５２は、レチクルボックス１０の本体
１２に取り付けられたラッチ捕捉部５４と係合するよう
に適合させられている。カバー４４は、レチクル５６を
最初に配置するために本体１２内部へのアクセスを許
す。
【００１６】図１および図２を参照することにより、レ
チクルボックス１０の働きを容易に理解することができ
る。一般的にレチクルボックス１０もしくはカセット
は、ホトリソグラフィ工具または装置の一部に関連した
レチクルライブラリに保持されている。レチクルボック
ス１０もしくはカセットは、ハンドル４２を用いてレチ
クルライブラリに挿入され、またレチクルライブラリか
ら取り外される。レチクルボックス１０がレチクルライ
ブラリ内に位置決めされると、オートメーション化され
たアーム（図示せず）が、側部の開口を通って挿入さ
れ、閉鎖されたレチクルボックス１０からレチクル５６
を取り出すために使用される。レチクル５６は、レチク
ルボックス１０から取り出され、投影光学系を用いて半
導体ウェハのような感光基板にレチクルのパターンを転
写する位置へ搬送される。オートメーション化されたホ
トリソグラフィ工程ではレチクル５６を所定の位置に正
確に位置決めし、またレチクル５６を固く保持すること
が有利である。レチクル５６は先ず初めに、締付けバー
１４および持上げバー３８を直線的に動かすか、または
移動させることによってレチクルボックス１０内部に位
置決めされる。締付けバー１４をＹ方向で下方へ動かす
場合、底部角隅支持部材２０が、ばねもしくはたわみ部
材１６によって生ぜしめられるバイアス力に抗して外方
旋回させられる。一方のアーム１５はレバー２８に取り
付けられており、レバーを動かし、コネクタ３０を上方
へ押圧する。コネクタ３０はアクチュエータ３２に取り
付けられており、次いでアクチュエータが支持アーム３
５に旋回可能に結合されているので、上部角隅支持部材
３４が外方へ回転または旋回させられる。この時点で底
部角隅支持部材２０および上部角隅支持部材３４は、レ
チクル５６の角隅を収容する位置を占めている。しかし
ながら、レチクル５６の位置決めに先立ち、持上げバー
３８がストッパに対して位置決めされ、レチクルが所定
のＹ方向に支持部材３９で予め位置決めされる。つま
り、レチクル５６がレチクルボックス１０もしくはカセ
ットに配置されて、支持部材３９と接触すると、所定の
Ｙ方向初期位置が得られる。クランプバー１４の解放に
基づき、ばねもしくはたわみ部材１６により底部角隅支
持部材２０および上部角隅支持部材３４がレチクル５６
の角隅に接触する通常位置へ戻される。図２に示したよ
うに、支持部材カバー２２が底部角隅支持部材２０およ
び上部角隅支持部材３４において使用されている。支持
部材カバー２２はさらに、レチクルをＺ軸線またはＺ方
向に沿って位置させかつ保持することを助成する。した
がって、レチクル５６は固く保持され、Ｘ，ＹおよびＺ
方向で正確に位置決めされる。締付けバー１４を、必要
であれば持上げバー３８を引き下げることにより、レチ
クルは解放される。
【００１７】図３〜図５には本発明の別の実施例が示さ
れている。図３〜図５に示された実施例は、構造および
働きにおいて図１および図２に示された実施例と類似し
ているが、図３〜図５の実施例では、レチクル５６の意
図的でない動きを回避するために角隅ロック機構が使用
されている。レチクルボックス１１０は本体１１２を有
している。本体１１２には締付けバー１１４が取り付け
られている。締付けバーは案内柱１４１によって案内さ
れている。締付けバー１１４の各端部には、底部角隅支
持部材１２０が旋回可能に取り付けられている。底部角
隅支持部材１２０はピン１２６で取り付けられている。
締付けバーばねもしくはたわみ部材１１６が一方の端部
で底部角隅支持部材に取り付けられている。締付けバー
ばねもしくはたわみ部材１１６の他方の端部は、締付け
バーばねが固定された支持部材１１８に取り付けられて
いる。締付けバー１１４の一方の端部は、レバー１２８
に旋回可能に支承されている。レバー１２８の支点はレ
バー支持部材１２４にピン１２６で旋回可能に支承され
ている。レバー１２８の一方の端部は、コネクタ１３０
に取り付けられている。コネクタ１３０の他方の端部は
上部角隅支持部材アクチュエータ１３２に取り付けられ
ている。上部角隅支持部材アクチュエータ１３２は、支
持部材取り付けプレート１３６にピン１２６で旋回可能
に結合されている。上部角隅支持部材アクチュエータ１
３２には上部角隅支持部材１３４が形成されている。上
部角隅支持部材アクチュエータ１３２の一方の端部には
ロッド１５８が旋回可能に結合されている。ロッド１５
８の他方の端部には屈曲部１６０が設けられている。ロ
ッド１５８は支持部材１６２によって所定の位置に摺動
可能に保持されている。ばね負荷をかけられた上部ドア
１６４は開口１６６を有している。開口１６６は、ロッ
ド１５８の屈曲部１６０を収容する大きさになってい
る。ハンドルを備えた端部とは反対側の、一方の底部角
隅支持部材１２０に、ばねタブ１７０が配置されてい
る。ばねタブ１７０は、側部ドア１６８が開放位置へ押
し下げられる時に、この側部ドアに接触するのに十分な
距離だけ延びている。したがって、ばねタブ１７０は側
部ドア１６８の開放と共に押し下げられる。底部角隅支
持部材１２０および上部角隅支持部材１３４は、閉鎖時
には、レチクル５６を堅固な位置に保持する。レチクル
支持部材１３９は、レチクルの位置決めを助成し、また
レチクルの重量の一部を支える。
【００１８】図４Ａおよび図４Ｂは、２つの底部角隅支
持部材１２０のうちの一方に関連したロック機構をより
明確に示している。図４Ａには、ばねタブ１７０の働き
が明確に示されている。ばね負荷をかけられたドア１６
８が矢印１７４で示すように閉じられると、ドア１６８
はばねタブ１７０の端部に接触する。ばねタブ１７０は
下方へ押しつけられる。ばねタブ１７０に形成された支
持面もしくは肩１７２も下方へ動かされる。底部角隅支
持部材１２０を保持するばねまたはたわみ部材１１６の
一部が、ばねタブ１７０が持ち上げられた位置もしくは
通常位置にある場合は肩１７２に当て付けられる。これ
により、締付けバー１１４によって引き下げられる時に
底部角隅支持部材１２０が所定の位置から動くことが回
避される。すなわち、側部ドア１６８が閉じられている
場合、底部角隅支持部材は所定の位置にロックされて動
くことができない。しかしながら、側部ドアが開かれて
いる場合、ばねタブ１７０が下方へ押しつけられ、底部
角隅支持部材１２０を解放する。これにより、レチクル
５６は締付けバー１１４が動かされる場合に解放され
る。ロック機構の働きをより明確に示すために、底部角
隅支持部材１２０に関連したカバーは図４Ｂには示され
ていないので、図４Ｂには、肩１７２および底部角隅支
持部材を保持するたわみ部材１１６の一部がより明確に
示されている。
【００１９】図５Ａおよび図５Ｂは、上部角隅支持部材
１３４に関連したロック機構の働きをさらに明確に示し
ている。図３、図５Ａおよび図５Ｂを参照すると、上部
角隅支持部材１３４に関連したロック機構の働きを理解
することができる。上部ドアが閉じられている場合、ロ
ッド１５８の屈曲部１６０は、開口１６６を貫通して延
びている。すなわち、図３に示された締付けバー１１４
が下げられると、レバー１２８は、矢印１７６によって
示されているように、取り付けられたロッド１３０を上
方へ押しながら旋回する。上部角隅支持部材１３２はレ
チクルから僅かに離れるように後方へ押圧され、この場
合、元の位置は破線で示されている。しかしながら、上
部角隅支持部材１３２は、上部ドア１６４の開口１６６
の一方の縁部に衝突する屈曲部１６０によって制限され
る。有利には、上部ドア１６４が閉じられている場合に
は、上部角隅支持部材１３４の動きは、動くとしても極
めて僅かである。すなわち、上部ドア１６４が閉鎖位置
を占めている場合、上部角隅支持部材１３４は、レチク
ル１５６を確実に保持する位置で実質的にロックされて
いる。図５Ｂは、上部ドア１６４がレチクル５６から外
方へ開放されている場合のロック機構の解除を示してい
る。上部ドア１６４が開放されている場合、屈曲部１６
０は、開口１６６によって制限されず、後方へまたは上
部角隅支持部材１３４に向かって動くことができる。こ
れにより、上部角隅支持部材アクチュエータ１３２を解
放し、自由に動くことができるようにする。すなわち、
上部角隅支持部材１３４がレチクル１５６の角隅から旋
回離反する。
【００２０】図３〜図５に示されたレチクルボックス１
１０の働きは、前に説明した図１および図２に示された
レチクルボックス１０の働きとほぼ類似している。しか
しながら、図３〜図５に示されたレチクルボックスは、
僅かに異なるリンク機構を有しており、またこのレチク
ルボックスに保持されたレチクル５６の意図的でない動
きを回避するために角隅ロック機構の付加的特徴を有し
ている。
【００２１】本発明は、公知の所定位置にレチクルを確
実に保持する場合に、半導体の製造に使用されるホトリ
ソグラフィの製造過程の間レチクルの位置決めおよび取
り扱いを著しく容易にする。しかし、レチクル５６の保
持が説明されているが、本発明は如何なる平らな基板の
保持にも適用可能である。その上、本発明は、極めて僅
かな可動部分を提供し、レチクルを角隅だけで保持する
ことによって、微粒子異物を著しく減じることが判っ
た。半導体構成要素の特有の大きさが小さくなるにした
がって、微粒子異物がより問題になりつつある。レチク
ルの接触および本発明の機構の運動は最小限に保たれて
いる。その上、負荷装置または締付けバー１４は通常、
約０．２５インチもしくは６ミリメートルしか動かな
い。また、本発明により、±０．０１０インチもしくは
０．２５ミリメートルの範囲の位置決め精度も可能とな
る。本発明のレチクルボックスにより、鉛直位置および
水平位置でのレチクルの取り扱いおよび運搬が著しく容
易となり、またレチクルを確実に保持することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例の上部平面図である。
【図２】本発明の実施例の斜視分解図である。
【図３】本発明の別の実施例の上部平面図である。
【図４】角隅ロック機構の部分的な斜視図である。
【図５】別の角隅ロック機構の部分的な上部平面図であ
る。
【符号の説明】
１０，１１０ レチクルボックス、 １２，１１２ 本
体、 １４，１１４締付けバー、 １５ アーム、 １
６，１１６ 締付けバーばねもしくはたわみ部材、 １
８，１１８ 支持部材、 ２０，１２０ 底部角隅支持
部材、 ２２支持部材カバー、 ２４，１２４ レバー
支持部材、 ２６，１２６ ピン、２８，１２８ レバ
ー、 ３０，１３０ コネクタ、 ３２ アクチュエー
タ、 ３４，１３４ 上部角隅支持部材、 ３５ 支持
部材アーム、 ３６，１３６ 支持部材取付けプレー
ト、 ３８ 持上げバー、 ３９ 持上げレチクル支持
部材、 ４０ 持上げバーばねもしくはたわみ部材、
４２，１４２ ハンドル、 ４４ カバー、 ４６ ラ
ッチハウジング、 ４８ ラッチガイド、 ５０ ラッ
チばね、 ５２ ラッチ、 ５４ ラッチ捕捉部、 ５
６ レチクル、１３２ 上部角隅支持部材アクチュエー
タ、 １３９ レチクル支持部材、１４１ 案内柱、
１５８ ロッド、 １６０ 屈曲部、 １６２ 支持部
材、１６４ 上部ドア、 １６６ 開口、 １６８ 側
部ドア、 １７０ ばねタブ、 １７２ 肩、 １７４
矢印
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 テオドリコ エイ クルス アメリカ合衆国 アリゾナ フェニックス サウス サーティーサード プレイス 15846 (72)発明者 エリク マグヌッセン アメリカ合衆国 アリゾナ テンプ サウ ス ルーラル ロード 5701 アパートメ ント 210 (72)発明者 クレイグ エス ダニング アメリカ合衆国 アリゾナ チャンドラー イースト ゲイリー ドライヴ 1551

Claims (19)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 レチクルボックスであって、本体と、締
    付けバーと、該締付けバーに取り付けられた複数の角隅
    支持部材とを有しており、ばねが設けられており、該ば
    ねは一方の端部で前記複数の角隅支持部材の少なくとも
    １つに取り付けられており、他方の端部で前記本体に取
    り付けられており、前記締付けバーが動かされた時に、
    前記複数の角隅支持部材が動くようになっていることを
    特徴とする、レチクルボックス。
  2. 【請求項２】 前記複数の角隅支持部材のうちの２つ
    が、前記締付けバーに直接旋回可能に取り付けられてお
    り、前記複数の支持部材のうちの１つが、リンク装置を
    介して前記締付けバーに取り付けられている、請求項１
    記載のレチクルボックス。
  3. 【請求項３】 前記ばねがたわみ部材である、請求項１
    記載のレチクルボックス。
  4. 【請求項４】 前記本体には持上げバーが可動に結合さ
    れており、また該持上げバーにレチクル支持部材が取り
    付けられており、これにより、レチクルが１つの方向で
    所定の位置に位置することができるようになっている、
    請求項１記載のレチクルボックス。
  5. 【請求項５】 平らな基板を保持するためのコンテナで
    あって、本体と、第１と第２とのアームを有する締付け
    バーと、第１のアームに取り付けられた第１の角隅支持
    部材と、第２のアームに取り付けられた第２の角隅支持
    部材と、第３の角隅支持部材と、該第３の角隅支持部材
    に前記締付けバーを結合するリンク装置とを有してお
    り、前記第１、第２および第３の角隅支持部材を所定の
    位置に押圧する、前記締付けバーに連結されたばねが設
    けられており、これにより、該ばねに抗して前記締付け
    バーが動かされた時に、前記第１、第２および第３の角
    隅支持部材が平らな基板の角隅から離反せしめられるよ
    うになっていることを特徴とする、平らな基板を保持す
    るためのコンテナ。
  6. 【請求項６】 前記ばねがたわみ部材である、請求項５
    記載の平らな基板を保持するためのコンテナ。
  7. 【請求項７】 前記リンク装置が、前記締付けバーに取
    り付けられたレバーを有しており、該レバーにコネクタ
    が取り付けられており、該コネクタにはアクチュエータ
    が取り付けられており、該アクチュエータが、前記第３
    の角隅支持部材に結合されている、請求項５記載の平ら
    な基板を保持するためのコンテナ。
  8. 【請求項８】 前記本体には持上げバーが可動に結合さ
    れており、該持上げバーにはレチクル支持部材が取り付
    けられており、これにより、レチクルが１つの方向で所
    定の位置に位置することができるようになっている、請
    求項５記載の平らな基板を保持するためのコンテナ。
  9. 【請求項９】 前記持上げバーが、たわみ部材によって
    前記本体に結合されている、請求項８記載の平らな基板
    を保持するためのコンテナ。
  10. 【請求項１０】 前記本体にはカバーが取り付けられて
    おり、該カバーにはラッチが取り付けられている、請求
    項５記載の平らな基板を保持するためのコンテナ。
  11. 【請求項１１】 レチクルボックスであって、本体と、
    第１と第２とのアームを備えた締付けバーと、第１のア
    ームに取り付けられた第１の角隅支持部材とを有してお
    り、第１の端部と第２の端部とを備えた第１のたわみ部
    材が設けられており、該第１のたわみ部材の第１の端部
    が、前記第１の角隅支持部材に取り付けられており、前
    記第１のたわみ部材の第２の端部が、前記本体に取り付
    けられており、前記締付けバーが前記本体から引き離さ
    れた時に、前記第１の角隅支持部材が、前記第１のたわ
    み部材によって加えられた押圧力に抗して移動するよう
    になっており、第２のアームには第２の角隅支持部材が
    取り付けられており、第１の端部と第２の端部とを備え
    た第２のたわみ部材が設けられており、該第２のたわみ
    部材の第１の端部が、前記第２の角隅支持部材に取り付
    けられており、前記第２のたわみ部材の第２の端部が、
    前記本体に取り付けられており、これにより、前記締付
    けバーが前記本体から引き離された時に、前記第２の角
    隅支持部材が、前記第２のたわみ部材によって加えられ
    た押圧力に抗して移動するようになっており、第２のア
    ームにはレバーが取り付けられており、該レバーにはコ
    ネクタが取り付けられており、アクチュエータが、一方
    の端部において前記本体に、他方の端部において前記コ
    ネクタに旋回可能に結合されており、支持アームが、一
    方の端部で前記本体に、また前記アクチュエータに旋回
    可能に結合されており、前記支持アームの末端部には、
    第３の角隅支持部材が取り付けられており、前記本体に
    は、カバーが取り付けられており、前記締付けバーが前
    記本体から離反させられた時に、第１、第２および第３
    の角隅支持部材が、レチクルボックスに配置されたレチ
    クルの角隅から離反させられるようになっていることを
    特徴とする、レチクルボックス。
  12. 【請求項１２】 前記本体には、持上げバーが可動に結
    合されており、該持上げバーにはレチクル支持部材が取
    り付けられており、レチクルが１つの方向で所定の位置
    に位置することができるようになっている、請求項１１
    記載のレチクルボックス。
  13. 【請求項１３】 前記持上げバーが、たわみ部材によっ
    て前記本体に結合されている、請求項１２記載のレチク
    ルボックス。
  14. 【請求項１４】 前記カバーにはラッチが取り付けられ
    ている、請求項１１記載のレチクルボックス。
  15. 【請求項１５】 レチクルボックスであって、本体と、
    締付けバーと、該締付けバーに連結された複数の角隅支
    持部材と、該複数の角隅支持部材を所定の位置に押圧す
    るばねとを有しており、前記複数の角隅支持部材の少な
    くとも１つに、ロック機構が連結されており、該ロック
    機構が、ロック解除するまで前記複数の角隅支持部材の
    少なくとも１つの動きを阻止し、これにより、前記ロッ
    ク機構が解除され、締付けバーが移動させられた時に、
    前記複数の角隅支持部材が動くようになっていることを
    特徴とする、レチクルボックス。
  16. 【請求項１６】 前記ロック機構がばねタブである、請
    求項１５記載のレチクルボックス。
  17. 【請求項１７】 前記ロック機構が、前記締付けバーと
    前記複数の角隅支持部材の少なくとも１つとに連結され
    たリンク装置である、請求項１５記載のレチクルボック
    ス。
  18. 【請求項１８】 前記ロック機構が、ドアの開放により
    ロック解除されるようになっている、請求項１５記載の
    レチクルボックス。
  19. 【請求項１９】 レチクルボックスであって、本体と、
    締付けバーと、該締付けバーに連結された複数の角隅支
    持部材と、該複数の角隅支持部材を所定の位置へ押圧す
    るばねとを有しており、ロック手段が設けられており、
    該ロック手段が、ロック解除されるまで前記複数の角隅
    支持部材の少なくとも１つの動きを阻止するために、前
    記複数の角隅支持部材の少なくとも１つに連結されてお
    り、前記本体にドアが取り付けられており、該ドアの開
    放時に、該ドアは前記ロック機構を解除することがで
    き、これにより、ロック機構が解除されて前記締付けバ
    ーが移動させられた時に、前記複数の角隅支持部材が移
    動するようになっていることを特徴とするレチクルボッ
    クス。
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