JP2590970Y2 - 基板プリアライメント装置 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本考案は、ＩＣ、ＬＳＩ、ＶＬＳ
Ｉ等半導体素子製造用のレチクルやマスク等の角型基板
（以下、代表してレチクルと言う）を収納容器から取り
出してプリアライメントを行う装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】半導体素子製造用に用いられるレチクル
は、収納ケース内に水平に保持されており、搬送アーム
上に水平に保持されてケースから取り出され、プリアラ
イメント装置等に受け渡される。レチクルの収納ケース
としては、単に収納ができるというだけでなく、必要な
ときに速やかにレチクルを取り出すことができると共
に、収納中にレチクルが振動したり摺動したりすること
によってレチクルが損傷するのを防止できる構造のもの
が好ましい。このような要件を満たす収納ケースとして
は、本願出願人が先に提案した特公平１−３６２５５号
に開示のものがある。

【０００３】図９は、特公平１−３６２５５号に開示さ
れている収納ケースを説明するための断面図である。図
９（Ａ），（Ｂ）は、いずれもケースの扉を開けてレチ
クルＲ１，Ｒ２の取り出し用開口部から見た図であり、
図９（Ａ）は後述する図２、図４に対応し、図９（Ｂ）
は後述する図３、図５に対応する。そして、図９
（Ａ）、（Ｂ）の左側はレチクルＲ１，Ｒ２がケース内
に保持されている状態、右側はレチクルＲ１，Ｒ２が搬
送アーム２３によって持ち上げられている状態を示す。
又、図９（Ｃ）は図９（Ａ）、（Ｂ）の平面図であり、
左側が図９（Ａ）に対応し、右側が図９（Ｂ）に対応す
る。

【０００４】まず図９（Ａ）において、レチクルＲ１
（５インチ、６インチ）はケースＲＣ１内の左右に設け
られた段部１００によって周辺部（パターン形成されて
いない余白部分）を保持される。図中ＰＦＧ１はレチク
ルＲ１のガラス面（上面）側のペリクルフレーム、ＰＦ
Ｐ１はパターン面（下側）のペリクルフレームであり、
ペリクルフレームＰＦＧ１，ＰＦＰ１にはそれぞれガラ
ス面、パターン面を保護するためのペリクル膜が貼設さ
れている。又、ピン１０１は、段部１００に植設されて
いるもので、レチクルＲ１が段部上でずれないように係
止するものである。このピン１０１の配置は図９（Ｃ）
の左側に示されるようにアーム２３のケース内への挿入
方向と同一方向についてレチクルＲ１の端面を規制す
る。

【０００５】又、段部１００に設けられた突起１０２は
レチクルＲ１の下面に接触する部分であり、レチクルＲ
１は突起１０２で支持されることになるため、図９
（Ａ）左側の図ではレチクルＲ１は段部１００からはわ
ずかに浮いている。そして、アーム２３は段部１００と
ペリクルフレームＰＦＰ１とに挟まれた空間内に挿入さ
れ、ケースＲＣ１内でレチクルを図９（Ａ）右側の状態
まで持ち上げる。その後、レチクルＲ１はアーム２３に
よって水平に保持されたまま図９（Ａ）の紙面と垂直な
方向に引き出される。

【０００６】一方図９（Ｂ）では、レチクルＲ２（５イ
ンチ、６インチ）は、ケースＲＣ２内の取り出し用開口
部に設けられた突出部材１０３上の支持ビン１０５（図
９（Ｃ）右側参照）と、ケースＲＣ２内の一番奥のコー
ナーに設けられた支持ピン１０５とによって保持され
る。突出部材１０３はケースＲＣ２内の左右の内側壁か
ら少し内側に位置し、図９（Ｂ）に示されるように、ア
ーム２３がケースＲＣ２内の左右の内側壁と突出部材１
０３との間の空間に挿入されるようになっている。又、
突出部材１０３上とケースＲＣ２内の一番奥のコーナー
部とにそれぞれ設けられたピン１０４はレチクルＲ２の
ずれを防止するための係止ピンである。

【０００７】レチクルＲ２を取り出す際には、図９
（Ｂ）右側に示されるように、アーム２３によってペリ
クルフレームＰＦＰ２が開口部付近の係止ピン１０４と
干渉しない高さとなる位置まで持ち上げ、紙面垂直方向
に引きだす。尚、搬送用のアーム２３はアーム間の間隔
が調整可能となっており、図９（Ｂ）の場合は図（Ａ）
の場合よりも間隔が広がっている。

【０００８】以上の説明に明らかなように、同じサイズ
のレチクルであってもペリクルフレームの大きさ、即ち
露光すべきパターン領域の大きさが異なると、それに応
じて内部構造が若干異なるレチクルケースに収納される
ことになる。但し、レチクルケースの外形寸は、同一サ
イズのレチクルを収納するかぎり、厚みを除いてすべて
等しく作られている。これは、レチクルケースをライブ
ラリーへ装着するときの規格として、奥行きと横幅が厳
しく設定されているからである。

【０００９】又、５インチレチクルケースと６インチケ
ースとでは、当然のことながら奥行きや横幅が異なるの
で、５インチレチクルと６インチレチクルとを混用する
場合、５インチ用ケースと６インチ用ケースとの夫々に
ついてライブラリーを用意しておくことになる。

【００１０】レチクルのプリアライメントを行うにあた
っては、上述したように収納ケースの内部構造に合わせ
て搬送アームの間隔を調整してレチクルを取り出し、ア
ーム上に水平に保持してプリアライメント装置まで運
ぶ。プリアライメント装置は水平面内の直交する２方向
にそれぞれ対向するように配置された２組の位置決め部
材を有し、これらの位置決め部材は互いに離間する方向
に移動可能であると共に、対をなす一方の位置決め部材
を装置本体の基準位置に合わせて互いに接近する方向に
付勢されるようになっており、レチクルがアーム上に水
平に保持された状態で位置決め部材を開閉させて位置決
め部材でレチクル端面を押圧することにより直交する２
方向について位置決めがなされる。

【００１１】

【考案が解決しようとする課題】しかし、従来のプリア
ライメント装置においては、位置決め部材は予め定めら
れた特定の位置でレチクルに接するように配置されてい
るため、例え同じレチクルサイズのものでも図９で説明
したようにレチクルケースの内部構造に応じてアームに
よるレチクルの保持位置が変わった場合、位置決め部材
とアームか干渉してしまうという問題かあった。このた
め、従来においては、レチクルサイズか同じでもパター
ン領域の大きさが異なる場合にはそれそれ専用のプリア
ライメント装置を使用しなくてはならず、作業が非常に
煩雑で、設備面の負荷も大きいものとなっていた。

【００１２】本考案はかかる点に鑑みてなされたもの
で、搬送アームの間隔がレチクル収納ケースの内部構造
に応じて変わってもアームと位置決め部材が干渉するこ
とがなく、露光すべきパターン領域の大きさが異なるレ
チクルに対応することができるプリアライメント装置を
提供することを目的とするものである。

【００１３】

【課題を解決するための手段】請求項１のプリアライメ
ント装置は、相互の間隔が可変である一対の搬送用アー
ムによって水平に保持された半導体素子製造用の角形基
板（レチクル等）を水平面内で位置決めするためのプリ
アライメント装置において、装置本体に支持され、前記
水平面内の一方向に互いに対向するように配置された一
対の位置決め部材であって、前記基板の端面に接する回
転子をそれぞれ有する一対の回転子付位置決め部材と、
装置本体に支持されて、前記水平面内の前記一方向と直
交する方向に互いに対向するように配置された一対の位
置決め部材であって、前記基板の端面に当接する少なく
とも２つの当接部と該当接部に延設され前記基板の端縁
部を支持する少なくとも２つの爪部とをそれぞれ有し、
かつ対向する位置決め部材間で前記当接部の問隔が異な
る一対の爪付位置決め部材と、前記回転子付位置決め部
材同志及び爪付位置決め部材同志を、所定の範囲で互い
に離間する方向に移動させるとともに、対をなす位置決
め部材の一方を装置の基準位置に合わせて互いに接近す
る方向に付勢する駆動手段と、前記搬送アームの間隔に
応じて、前記装置本体を水平面内で回転させる回転手段
とを備えたものである。請求項２のプリアライメント装
置における前記回転手段は、前記装置本体を１８０度回
転させる回転手段である。請求項３のプリアライメント
装置は、前記搬送アーム１で位置決めされた前記基板を
水平に吸着保持する保持部材を備えたものである。

【００１４】

【作用】本考案においては、対向する爪付位置決め部材
間でレチクル端面への当接位置が異なっているので、一
方の側で位置決め部材と搬送用アームとが干渉する場合
でも、他方の側では位置決め部材と搬送用アームとは干
渉しない位置関係にある。従って、回転手段によって装
置本体を水平面内で１８０度回転させて、搬送アーム基
部側の位置決め部材の当接位置を変えることによって、
位置決め部材とアームの干渉を回避することができる。

【００１５】このため、パターン領域の大きさに応じて
アームの保持位置が変わったとしても、アーム上にレチ
クルを載置した状態で支障なくプリアライメント動作を
行うことができ、同一の装置でパターン領域の大きさの
異なるレチクルに対応することができる。又、プリアラ
イメント動作後何らかの事情でレチクルが斜めにずれた
りすることによってプリアライメント装置での吸着保持
ができず、位置決め部材に設けた落下防止用の爪にレチ
クルが保持されているような場合、速やかにアームをレ
チクル下に移動させてレチクルを取り出すことができ
る。

【００１６】次に、図２〜５を参照して搬送アームと位
置決め部材との位置関係を説明する。図２〜図５は、そ
れぞれ５インチレチクルでレチクル上のパターン領域の
大きさ（断面方向の寸法）が８７．５ｍｍ（露光装置の
倍率１／５：パターン領域のウエハ上での大きさは１
７．５ｍｍ）、５インチレチクルでレチクル上のパター
ン領域の大きさ（断面方向の寸法）が８７．５ｍｍ（露
光装置の倍率１／５，パターン領域のウエハ上での大き
さは２０ｍｍ）、６インチレチクルでレチクル上のパタ
ーン領域の最大の大きさ（断面方向の寸法）が１００ｍ
ｍ（露光装置の倍率は等倍）、６インチレチクルでレチ
クル上のパターン領域が１００ｍｍ（露光装置倍率は１
／５：パターン領域のウエハ上の大きさは２０ｍｍ）の
場合を示している。尚、同じサイズのレチクルでもパタ
ーン領域の大きさが異なるのは、使用する露光装置の光
学系によって視野の大きさが異なるためである。

【００１７】まず、図２（図２（Ｂ）は図２（Ａ）のＡ
Ａ断面図）において、レチクルＲ１の上面及ひ下面には
夫々ペリクルフレームＰＦＧ１，ＰＦＰ１がパターン領
域を囲むように設けられており、ペリクルフレームＰＦ
Ｇ１，ＰＦＰ１の左右の外側には比較的幅の広い余白部
分が存在する。プリアライメント装置の爪付位置決め部
材１３ｃ１，１３ｃ２は、アーム２３の基部側（紙面上
方側）の位置決め部材１３ｃ１の間隔の方がアーム２３
先端側の位置決め部材１３ｃ２の問隔より広くなってお
り、基部側と先端側でレチクルＲ１と接する位置が異な
っている。この状態でアーム２３は、位置決め部材１３
ｃ１とペリクルフレームＰＦＰ１の間に位置し、下側か
らレチクルＲ１を保持する。なお、このときアーム２３
の先端部はレチクルＲ１の端縁より若干内側の位置でと
どまっており、位置決め部材１３ｃ２とは干渉しない。

【００１８】さて次に、図３（図３（Ｂ）は図３（Ａ）
のＢＢ断面図）では、図２の場合よりパターン領域が大
きいのでアーム２３の間隔も広くなっている。このた
め、図２と同じ位置決め部材１３ｃ１，１３ｃ２の配置
ではアーム２３と位置決め部材１３ｃ１とがぶつかって
しまう。このような場合には、図に示されるようにプリ
アライメント装置本体を１８０度回転させて、アーム２
３基部側に間隔が狭い方の位置決め部材１３ｃ２を位置
させる。この状態でアーム２３は位置決め部材１３ｃ２
の外側に位置することになり位置決め部材１３ｃ１，１
３ｃ２と干渉することなくレチクルＲ２を保持すること
ができる。このときもアーム２３の先端部はレチクルＲ
２の端縁より若干内側でとどまっており、位置決め部材
１３ｃ１とは干渉しない。

【００１９】次に、図４（図４（Ｂ）は図４（Ａ）のＣ
Ｃ断面図）では、図２の場合と同様に、アーム２３の基
部側の位置決め部材１３ｄ１の間隔の方がアーム２３先
端側の位置決め部材１３ｄ２の間隔より広くなってい
る。この状態で、アーム２３は位置決め部材１３ｄ１と
ペリクルフレームＰＦＰ１の間に位置し、下側からレチ
クルＲ３を保持する。このときもアーム２３の先端部は
レチクルＲ３の端縁より若干内側にとどまっており位置
決め部材１３ｄ２とは干渉しない。

【００２０】次に、図５（図５（Ｂ）は図５（Ａ）のＤ
Ｄ断面図）では、パターン領域の大きさは図４の場合と
同じであるが、レチクル収納ケースの内部構造が図３の
レチクル収納ケースとは異なり、アーム２３の間隔が図
４の場合より広くなっている。このため図４と同じ状態
では位置決め部材１３ｄ１とアーム２３が干渉してしま
う。そこで、図に示されるようにプリアライメント装置
本体を図４の場合から１８０度回転させ、アーム２３基
部側に間隔の狭い方の位置決め部材１３ｄ２を位置させ
る。これにより、アーム２３は位置決め部材１３ｄ２の
外側の位置でレチクルＲ４を保持できる。なお、図４の
場合もアーム２３の先端部はレチクルＲ４の端縁より若
干内側にとどまっており位置決め部材１３ｄ１とは干渉
しない。

【００２１】上述のように、搬送アームの基部側と先端
側で位置決め部材の間隔を異ならせておけば、プリアラ
イメント装置本体を水平面内で回転させることによっ
て、アーム基部側の位置決め部材の当接位置をアームと
干渉しないように変えることができる。尚、アーム先端
側についてはレチクル端縁から若干内側にアーム先端が
位置するようにすることで、位置決め部材との干渉を避
けることができる。アーム先端部がレチクル端縁から突
き出るようにしなくとも、図２〜５の状態でレチクルを
安定して保持できることは言うまでもない。

【００２２】

【実施例】図１は本考案実施例によるプリアライメント
装置の構成を説明するための斜視図である。図におい
て、ベース板１には直交する２方向（Ｘ軸方向、Ｙ軸方
向）に４つの可動部材２が略十文字に配置されている。
これらの可動部材２は、Ｘ軸、Ｙ軸方向に直線運動を行
うため、リニアスライド３を介してベース板１上に直進
案内されている。

【００２３】又、エアシリンダ４は固定部材５によって
ベース板１に固定され、可動部材２の上方に配置されて
いる。エアシリンダ４のロッドはシリンダ用ポスト６を
介して可動部材２に接続され、エアシリンダ４の動きが
可動部材２に伝達されるようになっている。一方、エア
シリンダ４の駆動力に対して逆方向の力を発生する引張
バネ７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄの一端はベース板１に固定
されたバネポスト８に、もう一端は可動部材２に固定さ
れたバネポスト９に接続されている。即ち、可動部材２
はそれぞれエアシリンダ４によって外側方向（＋Ｘ方
向、−Ｘ方向、＋Ｙ方向、−Ｙ方向）に移動されるとと
もに、引張バネ７ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄによって中心方
向に引き寄せられる構成となっている。

【００２４】さてここで、上記の可動部材２は中心側に
配置される部分に爪形状部２ａを有しており、Ｘ軸方向
とＹ軸方向に２つずつ互いに爪形状部２ａが逆向きにな
るように配置されている。これらの可動部材２のストロ
ークはベース板１中央部に固定されたストローク制限コ
マ１０によって制限される。このストローク制限コマ１
０は十字形で、Ｘ軸方向に２箇所、Ｙ軸方向に２箇所切
欠き部が設けられ、各切欠き部にそれぞれ可動部材２の
爪形状部２ａが入り込んでおり、切欠き端に爪形状部２
ａが当接することによって可動部材２のストロークが制
限される。

【００２５】次に、各可動部材２の爪形状部２ａと反対
側（外側）にはそれぞれ形状の異なる連結部材１１ａ，
１１ｂ，１１ｃ，１１ｄが固定されている。Ｘ＋側の連
結部材１１ａはコの字形で、コの字の両外側には位置決
め回転子の連結部材１２が固定されている。この連結部
材１２には、小型レチクル用回転子１３ａ及び大型レチ
クル用回転子１３ｂがそれぞれレチクルＲのサイズに応
じた位置に配置されており、各回転子１３ａ，１３ｂは
Ｚ軸と平行な軸の回りに回転可能となっている。連結部
材１１ａと対向するＸ−側の連結部材１１ｄはＬ字形
で、レチクルＲの辺の略中央１箇所に小型レチクル用回
転子１３ａ及び大型レチクル用回転子１３ｂが配置され
ている。

【００２６】又、Ｙ＋側の連結部材１１ｃはコの字形を
しており、コの字の両内側には小型レチクル用の落下防
止爪付位置決め部材１３ｃが、コの字の両外側には大型
レチクル用落下防止用爪付位置決め部材１３ｄが固定さ
れている。連結部材１１ｃと対向するＹ−側の連結部材
は、形状は同じくコの字形であり、小型レチクル用爪付
位置決め部材１３ｃ及び大型レチクル用爪付位置決め部
材１３ｄが配置されているが、図２〜５で説明したよう
に爪付位置決め部材の間隔（小型用同志、大型用同志の
間隔）はＹ＋側とＹ−側で異なっている。

【００２７】上述した装置本体の上方には、電動モータ
などを駆動源として装置本体を水平面内で回転させる水
平回転機構１４が配置されており、連結棒１５を介して
ベース板１に固定されている。

【００２８】又、レチクル吸着部材１６は、ベース板１
の下方に適当な隙間をもって配置されており、３枚の板
バネ１７及びストッパピン１８によりベース板１に接続
されている。図に示されるように、板バネ１７の一端は
板バネポスト１９を介してベース板１に固定されてお
り、もう一端は板バネポスト１９を介して吸着部材１６
に固定されている。ストッパーピン１８は、頭部をベー
ス板１より上部に突き出し、軸はベース板１に穿設され
た軸径よりわずかに大きい穴を貫通して吸着部材１６に
固定されている。このストッパーピン１８の頭部がベー
ス板１の上面に係止されることによって吸着部材１６が
ベース板１に釣り下げられた状態となる。吸着部材１６
には外側に大型レチクル用吸着部２０が、内側に小型レ
チクル用吸着部２１が設けられており、図示しないバキ
ュームポンプによってレチクルＲを真空吸着するように
なっている。

【００２９】上記のごとく構成されたレチクルプリアラ
イメント装置の動作について以下に説明する。ここでは
ペリクル付の大型レチクルを例にとって説明する。図に
おいて、レチクルＲを載置した搬送アーム２３は装置本
体の下方に位置している。この搬送アーム２３の間隔
は、レチクルＲが収納されているケース（図９参照）の
内部構造に応じた間隔となっている。

【００３０】プリアライメント動作を行うに当たって
は、まず、図２〜５で説明したように、アーム２３と爪
付位置決め部材１３ｃ，１３ｄが干渉しないように、必
要に応じて回転機構１４によって装置本体を１８０度回
転させておく。

【００３１】次に、４つのエアシリンダ４によって、引
張バネ７ａ〜７ｄの引張力を上回る逆方向の真空力でロ
ッドをエアシリンダ４底部に引き寄せる。これにより、
４つの可動部材２はストローク制限コマ１０の外側の切
欠き端にぶつかる位置まで開く。このときのストローク
制限コマ１０付近の状態を図６に示す。即ち、図６は、
可動部材２の爪形状部２ａがストローク制限コマ１０の
切欠き部の空間内１０ａ，１０ｃにあり、外側の切欠き
端１０ｂにぶつかって止まっている状態を表している。
この４つの可動部材２が開くことにより爪付位置決め部
材１３ｄ、及び位置決め回転子１３ｂにより形成される
空間内をレチクルＲが通過可能と成る。この状態のま
ま、搬送アーム２３が上昇を開始してアーム２３上のレ
チクルＲが吸着部に接触する位置より数ｍｍ手前で停止
する。この位置でプリアライメント動作を行う。

【００３２】この状態では、図１に仮想線で示している
ように、レチクルＲが回転子１３ｂ及び爪付位置決め部
材１３ｄで形成される空間内に停止しており、まずＸ軸
方向の２つのエアエアシリンダ４の真空力を解除するこ
とにより引張バネ７ａ，７ｂの力で可動部材２が内側に
引き寄せられ、位置決め回転子１３ｂはレチクルＲを両
側からはさむように押圧する。

【００３３】図７はこのときのストローク制限コマ１０
と可動部材２の位置関係を示す図である。図に示される
ように、Ｘ＋側の切欠き部の空間１０ａよりもＸ−側の
切欠き部の空間１０ｃの方がＸ軸方向に長く設定されて
おり、Ｘ軸＋側及び−側のエアシリンダ４の真空力が解
除されているときには、Ｘ軸＋側と−側の位置決め回転
子１３ｂの間隔はレチクルＲの幅より小さくなり、回転
子１３ｂでレチクルＲ端面が押圧される。又、引張バネ
７ａの引張力を引張バネ７ｂよりも強く設定することに
より、Ｘ軸＋側の位置決め回転子１３ｂがＸ軸−側の位
置決め回転子１３ｂよりも強い力でレチクルＲを押圧す
る。このストロークと押圧力の違いにより、Ｘ軸＋側の
可動部材２の爪形状部２ａ分が内側切欠き端１０ｄにぶ
つかって停止し、Ｘ軸−側の爪形状部２ａ分は内側切欠
き端１０ｄに接触する手前で停止することになる。即
ち、Ｘ軸＋側の位置決め回転子１３ｂがＸ軸方向のプリ
アライメントの基準となる。上述した回転子１３ｂの開
閉動作を数回繰り返すことによってレチクルＲがＸ＋側
の回転子１３ｂに合わせて位置決めされＸ軸方向のプリ
アライメントが動作を完了する。

【００３４】続いて、Ｙ軸方向のプリアライメントを行
うわけであるが、Ｘ軸方向は引張バネ７ａ，７ｂの引張
力によってプリアライメント状態が維持されている。エ
アエアシリンダ４の真空力により開状態にあったＹ軸方
向の爪付位置決め部材１３ｄは真空力を解除することに
よって、引張バネ７ｃ，７ｄに内側に引っ張られレチク
ルＲをはさむように押圧する。

【００３５】Ｙ軸方向においてはＹ−側の切欠き部の空
間１０ａよりもＹ＋側の切欠き部の空間１０ｃの方がＹ
軸方向に長くなっており、かつ引張バネ７ｄの引張力を
引張バネ７ｃよりも強く設定してある。このため、Ｙ軸
＋側の爪形状部２ａが内側切欠き端１０ｄにぶつかって
停止し、Ｙ軸＋側の爪形状部２ａは内側切欠き端１０ｄ
に接触する手前で停止する。即ち、Ｙ軸＋側の爪付位置
決め部材１３ｄがＹ軸方向のプリアライメントの基準と
なる。Ｘ軸方向と同様に爪付位置決め部材１３ｄの開閉
動作を繰り返すことによりＹ軸方向のプリアライメント
が行われる。その際、レチクルＲはＹ軸方向に動くこと
になるが、引張バネ７ａ，７ｂの作用により回転子１３
ｂがレチクルＲを押圧しながら接触回転することにより
Ｘ軸方向のプリアライメントが維持される。

【００３６】図８は、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向のプリアライ
メント動作が完了したときのストローク制限コマ１０と
爪形状部２ａの位置関係を示している。図に示されるよ
うに、Ｘ＋側、Ｙ−側では可動部材２の爪形状部２ａの
位置が内側切欠き端１０ｄによって規定されており、Ｘ
＋側の回転子１３ｂ、Ｙ−側の爪付位置決め部材１３ｄ
の位置を基準としてレチクルＲのプリアライメントがな
される。

【００３７】以上のようにしてプリアライメント動作が
完了すると、次にレチクルＲの保持動作に移る。まず、
エアシリンダ４によって位置決め回転子１３ｂ及び爪付
位置決め部材１３ｄを開状態とする。次に搬送アーム２
３を上昇させて吸着部２０にレチクルＲを運ぶ。搬送ア
ーム２３はレチクルＲが吸着部２０に接触するよりさら
にわずかに上昇して吸着部２０にレチクルＲを押しつけ
る。このとき吸着部材１６は板バネ１７によって適度な
反力を発生させながらわずかに上昇する。また、ストッ
パーピン１８は軸径よりもわずかに人きい穴を通過する
ので吸着部材１６の垂直方向のガイドの役割を果たす。

【００３８】レチクルＲが吸着部２０に押しつけられて
いる間に真空力によりレチクルＲを吸着保持し、レチク
ルＲが吸着部２０に保持された状態で爪付位置決め部材
１３ｄを閉じる。本実施例ではアーム２３と位置決め部
材１３ｄが干渉しないように必要に応じて装置本体を回
転させてあるので、アーム２３と位置決め部材１３ｄを
閉じたときに両者がぶつかることはない。その後搬送ア
ーム２３は下降してプリアライメント装置本体から離れ
る。プリアライメント装置は、レチクルＲを吸着保持し
た状態で、露光装置内のレチクルステージ、異物検査装
置内のレチクルスライダー等の別の装置にレチクルＲを
運ぶ。

【００３９】上述のように、搬送アーム２３が下降する
前に位置決め部材１３ｄが閉じるのは、アーム２３の下
降中あるいはその後に吸着エラー等によってレチクルＲ
の吸着保持が不可能となった場合に、爪形状部２ａでレ
チクルＲを受け止めてレチクルＲが落下破損するのを防
止するためである。

【００４０】又、仮にアーム２３がプリアライメント装
置から離れた後に吸着エラーとなって爪形状部２ａでレ
チクルＲが保持されている状態となった場合でも、本実
施例では位置決め部材１３ｄとアーム２３との位置関係
が互いに干渉しないようになっているので、搬送アーム
２３でレチクルＲを受け取ることが可能であり、より安
全にレチクルＲをプリアライメント装置より取り出すこ
とができる。

【００４１】尚、上記の実施例では小型レチクル用と大
型レチクル用の回転子と位置決め部材を設けているが、
いずれか一方のサイズに合わせた回転子と位置決め部材
だけを設けても良い。その場合、異なるサイズのレチク
ルには対応できないが、同じサイズのレチクルでパター
ン領域の大きさが異なる場合に対応することができ、従
来に比べて煩雑さが軽減される。

【００４２】又、上記の実施例では可動部材２を略十文
字に配置して中央部にストローク制限コマ１０を配置し
ているが、回転子や位置決め部材を開閉させる機構自体
は上記の実施例の構成になんら制約されるものではな
い。

【００４３】又、上記の実施例においては、プリアライ
メントされたレチクルをプリアライメント装置が吸着保
持して露光装置等に運ぶようになっているが、吸着保持
部材は必ずしも必要ではなく、プリアライメント後搬送
アームでレチクルを露光装置等に運ぶようにしても良
い。

【００４４】

【考案の効果】以上のように、本考案では、対向する爪
付位置決め部材間でレチクルに対する当接位置が異な
り、搬送アーム２３の間隔にあわせて装置本体を回転さ
せるようになっているので、アーム２３の間隔が可変で
あっても位置決め部材とアームの干渉を避けることがで
きる。従って、本考案によれば、内部構造の異なるレチ
クルケースに収納されているパターン領域の大きさの異
なるレチクルについても同じプリアライメント装置で対
応することができ、プリアライメント工程の煩雑さや設
備面の過大な負荷が軽減される。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案実施例によるプリアライメント装置の構
成を示す斜視図である。

【図２】図２（Ａ）は本考案における搬送アームと位置
決め部材の位置関係について説明するための平面図、図
２（Ｂ）は図２（Ａ）のＡＡ断面図である。

【図３】図３（Ａ）は本考案における搬送アームと位置
決め部材の位置関係について説明するための平面図、図
３（Ｂ）は図３（Ａ）のＢＢ断面図である。

【図４】図４（Ａ）は本考案における搬送アームと位置
決め部材の位置関係について説明するための平面図、図
４（Ｂ）は図４（Ａ）のＣＣ断面図である。

【図５】図５（Ａ）は本考案における搬送アームと位置
決め部材の位置関係について説明するための平面図、図
５（Ｂ）は図５（Ａ）のＤＤ断面図である。

【図６】位置決め回転子及び爪付位置決め部材が開状態
のときのストローク制限コマ付近の平面図である。

【図７】Ｘ軸方向のプリアライメントを行なった状態で
のストローク制限コマ付近の平面図である。

【図８】Ｘ軸及びＹ軸方向のプリアライメントを行った
状態でのストローク制限コマ付近の平面図である。

【図９】図９（Ａ）、（Ｂ）はレチクル収納ケースの構
造を示す断面図であり、（Ａ）が図２、図４に対応し、
（Ｂ）が図３、図５に対応する。又、図９（Ｃ）は左側
が図９（Ａ）に対応する平面図であり、右側が図９
（Ｂ）に対応する平面図である。

【符号の説明】

Ｒ…レチクル、２…可動部材、４…エアシリンダ、７
ａ，７ｂ，７ｃ，７ｄ…引張バネ、１０…ストローク制
限コマ、１３ａ，１３ｂ…位置決め回転子、１３ｃ，１
３ｄ…爪付位置決め部材、１４…水平回転機構、２３…
搬送用アーム。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 高田 建義 栃木県大田原市実取770番地 株式会社 栃木ニコン内 (56)参考文献 特公 平１−36255（ＪＰ，Ｂ２) (58)調査した分野(Int.Cl.⁶，ＤＢ名) H01L 21/027

Claims (3)

(57)【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】 相互の間隔が可変である一対の搬送用ア
   ームによって水平に保持された半導体素子製造用の角形
   基板を水平面内で位置決めするためのプリアライメント
   装置において、 装置本体に支持され、前記水平面内の一方向に互いに対
   向するように配置された一対の位置決め部材であって、
   前記基板の端面に接する回転子をそれぞれ有する一対の
   回転子付位置決め部材と、 装置本体に支持されて、前記水平面内の前記一方向と直
   交する方向に互いに対向するように配置された一対の位
   置決め部材であって、前記基板の端面に当接する少なく
   とも２つの当接部と該当接部に延設され前記基板の端縁
   部を支持する少なくとも２つの爪部とをそれぞれ有し、
   かつ対向する位置決め部材間で前記当接部の間隔が異な
   る一対の爪付位置決め部材と、 前記回転子付位置決め部材同志及び爪付位置決め部材同
   志を、所定の範囲で互いに離間する方向に移動させると
   ともに、対をなす位置決め部材の一方を装置の基準位置
   に合わせて互いに接近する方向に付勢する駆動手段と、 前記搬送アームの間隔に応じて、前記装置本体を水平面
   内で回転させる回転手段とを備えたことを特徴とする基
   板プリアライメント装置。
2. 【請求項２】 前記回転手段は、前記装置本体を１８０
   度回転させる回転手段であることを特徴とする請求項１
   の基板プリアライメント装置。
3. 【請求項３】 前記搬送アーム上で位置決めされた前記
   基板を水平に吸着保持する保持部材を備えたことを特徴
   とする請求項１の基板プリアライメント装置。