KR101650530B1 - 덮개 개폐 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 덮개 개폐 장치는, 용기 본체와, 용기 본체에 대해 개폐 가능한 바닥부를 이루는 덮개부와, 용기 본체에 대한 덮개부의 자물쇠 개방 및 자물쇠 폐쇄를 행하는 자물쇠 기구를 구비하는 포드가 재치(載置)되는 장치 본체(2)와, 상기 자물쇠 기구에 걸림결합하는 걸림결합 핀(35)을 이동시킴으로써, 상기 자물쇠 기구로 하여금 자물쇠를 열게 하기 위한 자물쇠 개방동작, 및 상기 자물쇠 기구로 하여금 자물쇠를 잠그게 하기 위한 자물쇠 폐쇄동작을 행하는 복수의 이동부(31)와, 상기 자물쇠 기구로 하여금 자물쇠를 열게 하는 경우에는, 복수의 이동부(31)를 연동시켜 복수의 이동부(31)가 자물쇠 개방동작을 행하게 하고, 상기 자물쇠 기구로 하여금 자물쇠를 잠그게 하는 경우에는, 복수의 이동부(31)를 연동시켜 복수의 이동부(31)가 자물쇠 폐쇄동작을 행하게 하는 연동부(32)와, 이동부(31) 및 연동부(32)를 일제히 구동시키는 하나의 에어 실린더(33)를 구비한다.

Description

덮개 개폐 장치{LID OPENING/CLOSING DEVICE}
본 발명은, 피(被)수납물을 수납하는 수납 용기에 대해, 용기 본체에 대한 덮개부의 개폐를 행하는 덮개 개폐 장치에 관한 것이다.
반도체 장치 또는 액정 표시 장치 등의 제조 공장의 클린 룸(clean room)에 있어서는, 반도체 웨이퍼 또는 유리 기판 등이 수납 용기에 수납된 상태로 반송된다. 이 때문에, 수납 용기와 각종 장치의 사이에서 피수납물을 이재(移載)할 때에는, 덮개 개폐 장치를 이용하여, 용기 본체에 대한 덮개부의 개폐를 행할 필요가 있다. 종래, 용기 본체에 대한 덮개부의 개폐를 신속하고도 또한 안정적으로 행하기 위하여, 수납 용기의 내외의 압력 차를 평형(平衡)으로 하는 압력 평형 기구를 덮개 개폐 장치에 설치하는 등, 여러 가지 기술이 제안되어 오고 있다(예컨대, 특허 문헌 1 참조).
일본 특허 공보 제3180600호
상술한 반도체 장치 또는 액정 표시 장치 등의 제조 공장에서는, 각종 부품의 반송 효율의 향상이 엄격하게 요구되기 때문에, 수납 용기와 각종 장치의 사이에서의 피수납물의 이재(移載)에 대해서도, 그 효율을 향상시키는 것은 매우 중요하다.
이에, 본 발명은, 저비용화를 도모할 수 있는 구성으로 용기 본체에 대한 덮개부의 개폐를 신속하고도 또한 안정적으로 행할 수 있는 덮개 개폐 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 덮개 개폐 장치는, 피수납물을 수납하는 용기 본체와, 용기 본체에 대해 개폐 가능한 바닥부를 이루며, 피수납물이 재치(載置)되는 덮개부와, 용기 본체에 대한 덮개부의 자물쇠 개방(開錠) 및 자물쇠 폐쇄(施錠)를 행하는 자물쇠 기구를 구비하는 수납 용기에 대하여, 용기 본체에 대한 덮개부의 개폐를 행하는 덮개 개폐 장치로서, 수납 용기가 재치되는 장치 본체와, 장치 본체에 수납 용기가 재치되었을 때에 자물쇠 기구에 걸림결합하는 걸림결합부를 가지며, 걸림결합부를 이동시킴으로써, 자물쇠 기구로 하여금 자물쇠를 열게 하기 위한 자물쇠 개방동작, 및 자물쇠 기구로 하여금 자물쇠를 잠그게 하기 위한 자물쇠 폐쇄동작을 행하는 복수의 이동부와, 자물쇠 기구로 하여금 자물쇠를 열게 하는 경우에는, 복수의 이동부를 연동시켜 복수의 이동부가 자물쇠 개방동작을 행하도록 하고, 자물쇠 기구로 하여금 자물쇠를 잠그게 하는 경우에는, 복수의 이동부를 연동시켜 복수의 이동부가 자물쇠 폐쇄동작을 행하게 하는 연동부와, 이동부 및 연동부에 대해 하나 설치되어, 이동부 및 연동부를 일제히 구동시키는 액추에이터를 구비한다.
상기 덮개 개폐 장치에서는, 수납 용기에 있어서 용기 본체에 대한 덮개부의 자물쇠 개방을 자물쇠 기구로 하여금 행하게 하는 경우에는, 연동부가, 복수의 이동부를 연동시켜 복수의 이동부가 자물쇠 개방동작을 행하게 한다. 한편, 수납 용기에 있어서 용기 본체에 대한 덮개부의 자물쇠 폐쇄를 자물쇠 기구로 하여금 행하게 하는 경우에는, 연동부가, 복수의 이동부를 연동시켜 복수의 이동부가 자물쇠 폐쇄동작을 행하게 한다. 이와 같이, 복수의 이동부에 의한 자물쇠 개방동작 및 자물쇠 폐쇄동작이 일제히 행해지기 때문에, 동작에 편차가 생기지 않아, 자물쇠 개방동작 및 자물쇠 폐쇄동작을 신속하고도 또한 적확하게 행할 수가 있다. 또한, 하나의 액추에이터가 이동부 및 연동부를 일제히 구동시키므로, 저비용화를 도모할 수가 있다. 또한, 기구의 조정을 행할 때에는, 액추에이터와 피구동 부분이 접속되는 개소(箇所)만 조정하면 충분하기 때문에, 유지관리(maintenance)가 용이하다는 점에서도, 저비용화를 도모할 수가 있다. 이상에 의해, 상기 덮개 개폐 장치에 의하면, 저비용화를 도모할 수 있는 구성으로 용기 본체에 대한 덮개부의 개폐를 신속하고도 또한 안정적으로 행할 수 있게 된다.
이동부의 각각은, 장치 본체에 회동(回動) 가능하게 지지되어 걸림결합부를 이동시키는 제 1 회동부재를 더 구비하며, 연동부는, 적어도 한 쌍의 제 1 회동부재를 연결하여 상기 제 1 회동부재를 회동시키는 제 1 연결부재를 가져도 무방하다. 이러한 구성에 의하면, 제 1 회동부재 및 연결부재를 포함하는 링크 기구라는 간이한 구성으로, 복수의 이동부의 각각을 확실하게 동작시킬 수가 있다.
제 1 연결부재에 의해 연결된 한 쌍의 제 1 회동부재는, 장치 본체에 수납 용기가 재치되었을 때에 덮개부에 대해 일방(一方)측 및 타방(他方)측의 각각에 위치하도록 복수 쌍 배치되어 있으며, 연동부는, 장치 본체에 회동 가능하게 지지되어 제 1 연결부재의 각각이 접속된 한 쌍의 제 2 회동부재와, 한 쌍의 제 2 회동부재를 연결하여 해당 제 2 회동부재를 회동시키는 제 2 연결부재를 더 구비하여도 무방하다. 이러한 구성에 의하면, 덮개부에 대해 일방측 및 타방측의 각각에 위치하도록 이동부가 복수 쌍 배치되는 경우에도, 복수의 이동부의 각각을 확실하게 동작시킬 수가 있다.
장치 본체는, 이동부, 연동부 및 액추에이터가 배치된 오목부와, 오목부를 덮고 있고, 수납 용기가 재치되는 재치면을 이루는 천판(天板, top panel)부를 가지며, 걸림결합부는, 제 1 회동부재에 세워져 설치(立設)된 걸림결합 핀이며, 천판부에는, 걸림결합 핀을 재치면으로부터 돌출시켜 자물쇠 개방동작의 위치와 자물쇠 폐쇄동작의 위치의 사이에서 이동할 수 있도록 하는 긴 구멍형상의 개구가 형성되어 있어도 무방하다. 직동(直動)식 기구(로드 등)로는, 체적 이동에 수반하여 공기가 밀려나오므로, 발생된 파티클이 확산되기 쉽다. 한편, 회동식 기구는, 일반적으로 직동식 기구에 비해 체적 이동이 적고(진정한 원판이라면 이론상은 제로), 또, 슬라이딩하는 부위를 특정하기 쉽기 때문에(예컨대 축 지지 부분 등), 발생된 파티클의 확산 억제 효과가 높다. 상기 구성에서는, 장치 본체의 오목부에 있어서 천판부의 개구를 향하는 위치에는, 회동식 기구인 제 1 회동부재가 위치하고, 직동식 기구는, 해당 위치로부터 이격되게 된다. 따라서, 발생된 파티클이 개구를 통해 장치 본체 밖으로 나오는 것을 적확하게 억제할 수 있어, 주위의 깨끗한 환경을 오염시키는 것을 방지할 수 있게 된다.
액추에이터는, 장치 본체에 부착된 실린더부와, 기단부가 실린더부 내에 삽입되고 또한 선단부가 제 2 연결부재에 부착된 로드부를 가지며, 실린더부 내에 대한 가스의 도입/도출에 의해 로드부가 슬라이딩하는 에어 실린더여도 무방하다. 이러한 구성에 의하면, 이동부 및 연동부에 구동력을 부여하는 액추에이터가 에어 실린더이기 때문에, 예컨대 랙 피니언(rack pinion) 기구를 이용하는 경우에 비해, 동작시의 발진(發塵)을 억제할 수 있는 동시에 기구의 간소화를 도모할 수가 있다. 따라서, 장치 내 및 그 근방의 분위기를 청정하게 유지하면서, 복수의 이동부의 각각을 확실히 동작시킬 수가 있다.
본 발명에 의하면, 저비용화를 도모할 수 있는 구성이며 용기 본체에 대한 덮개부의 개폐를 신속하고도 또한 안정적으로 행할 수 있는 덮개 개폐 장치를 제공할 수 있게 된다.
도 1은 본 발명의 일 실시형태의 덮개 개폐 장치를 구비하는 스토커(stocker)의 정면도이다.
도 2는 도 1의 II－II선을 따른 스토커의 단면도이다.
도 3은 도 1의 III－III선을 따른 스토커의 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시형태의 덮개 개폐 장치의 종단면도이다.
도 5는 도 4의 덮개 개폐 장치의 평면도이다.
도 6은 다른 상태에서의 도 4의 덮개 개폐 장치의 종단면도이다.
도 7은 도 4의 덮개 개폐 장치에 의해 덮개부가 개폐되는 포드의 저면도이다.
도 8은 도 7의 포드의 자물쇠 기구의 확대도이다.
도 9는 도 4의 IX－IX선을 따른 덮개 개폐 장치의 단면도이다.
도 10은 다른 상태에서의 도 9의 덮개 개폐 장치의 단면도이다.
이하, 본 발명의 적합한 실시 형태에 대해, 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 또한, 각 도면에 있어서 동일하거나 또는 그에 상당하는 부분에는 동일 부호를 사용하고, 중복되는 설명은 생략한다.
［스토커의 구성］
도 1은, 본 발명의 일 실시형태의 덮개 개폐 장치를 구비하는 스토커의 정면도이다. 도 2는, 도 1의 II－II선을 따른 스토커의 단면도이며, 도 3은, 도 1의 III－III선을 따른 스토커의 단면도이다. 도 1~3에 나타내는 바와 같이, 스토커(50)는, 레티클용 회전선반(51)과, 포드용 회전선반(52)을 구비하고 있다. 레티클용 회전선반(51)은, 반도체 웨이퍼 또는 유리 기판 등의 표면에 소정의 패턴을 노광할 때에 사용되는 직사각형 판형상의 레티클(R)을 복수개 보관한다. 포드용 회전선반(52)은, 레티클(R)을 수납하여 반송하기 위한 포드(70)를 빈 상태로 복수개 보관한다. 또한, 레티클(R)을 보관하기 위한 포드(70)는, 전형적으로는, 반도체 등의 국제 규격인 SEMI 규격에 따른 구성을 가지고 있다. 이러한 스토커(50)는, 반도체 장치 또는 액정 표시 장치 등의 제조 공장의 클린 룸에 설치된다.
레티클용 회전선반(51)은, 구동부(53)에 의해 축선(CL) 주위를 회전하게 된다. 레티클용 회전선반(51)은, 그 회전 방향을 따라 병설(竝設)된 복수의 블록(51a)을 가지고 있다. 각 블록(51a)은, 레티클(R)을 상하 복수 단(段)으로 보관할 수 있게 되어 있다. 포드용 회전선반(52)은, 레티클용 회전선반(51)의 하측에 있어서, 구동부(54)에 의해 축선(CL) 주위를 회전하게 된다. 포드용 회전선반(52)은, 그 회전 방향을 따라 복수의 포드(70)를 보관할 수 있게 되어 있다.
스토커(50)는, 또한, 레티클 반송 장치(55)와, 포드 반송 장치(56)와, 덮개 개폐 장치(1)를 구비하고 있다. 레티클 반송 장치(55)는, 승강 가이드(57)를 따라 승강하는 로봇 아암으로서, 덮개 개폐 장치(1)와 레티클용 회전선반(51)의 사이에서 레티클(R)을 반송한다. 포드 반송 장치(56)는, 승강 가이드(58)를 따라 승강하는 로봇 아암으로서, 덮개 개폐 장치(1)와 포드용 회전선반(52)의 사이에서 빈 포드(70)를 반송한다. 덮개 개폐 장치(1)는, 포드 오프너(pod opener)라 불리는 장치로서, 포드(70)의 개폐를 행한다. 덮개 개폐 장치(1)의 근방에는, 레티클(R)을 수납한 포드(70) 및 빈 포드(70)를 일시적으로 보관하는 포드용 고정선반(59)이 설치되어 있다.
상술한 회전선반(51, 52), 구동부(53, 54), 반송 장치(55, 56), 고정선반(59) 및 덮개 개폐 장치(1)는, 케이싱(61) 내에 배치되어 있다. 케이싱(61)에는, 예컨대 천정 주행차가 액세스할 수 있는 포트(62, 63)가 설치되어 있다. 레티클(R)을 수납한 포드(70)는, 포트(62)를 통해 케이싱(61) 내에 입고(入庫)된다. 한편, 레티클(R)을 수납한 포드(70)는, 포트(63)를 통해 케이싱(61) 밖으로 출고(出庫)된다.
케이싱(61)의 상벽에는, 클린 가스 공급 장치(64)가 설치되어 있다. 클린 가스 공급 장치(64)는, 예컨대 클린 에어 또는 질소 등의 클린 가스를 다운 플로우(down flow)로 하여 케이싱(61) 내에 공급한다. 케이싱(61) 내에 공급된 클린 가스는, 케이싱(61)의 하부로부터 케이싱(61) 밖으로 배기된다.
여기서, 레티클(R)을 수납한 포드(70)가 입고되는 경우의 스토커(50)의 동작에 대해 설명한다. 예컨대 천정 주행차에 의해 포트(62)에 포드(70)가 반송되면, 해당 포드(70)는, 포드 반송 장치(56)에 의해 덮개 개폐 장치(1)로 반송된다. 포드(70)가 덮개 개폐 장치(1)로 반송되면, 해당 포드(70)에 수납되어 있던 레티클(R)은, 레티클 반송 장치(55)에 의해 레티클용 회전선반(51)에 저장(格納)된다. 그 한편으로, 덮개 개폐 장치(1)에 남겨진 빈 포드(70)는, 포드 반송 장치(56)에 의해 포드용 회전선반(52)에 저장된다. 또한, 다수의 포드(70)가 연속해서 케이싱(61) 내에 입고되는 것과 같은 경우에는, 포드(70)는, 포드용 고정선반(59)에 일시적으로 보관되어, 덮개 개폐 장치(1)에 순차적으로 반송된다.
다음으로, 레티클(R)을 수납한 포드(70)가 출고되는 경우의 스토커(50)의 동작에 대해 설명한다. 레티클 반송 장치(55)에 의해 레티클용 회전선반(51)으로부터 덮개 개폐 장치(1)로 레티클(R)이 반송되면, 해당 레티클(R)은, 포드 반송 장치(56)에 의해 포드용 회전선반(52)으로부터 덮개 개폐 장치(1)로 반송된 빈 포드(70)에 수납된다. 그리고, 레티클(R)이 수납된 포드(70)는, 포드 반송 장치(56)에 의해 덮개 개폐 장치(1)로부터 포트(63)로 반송되며, 예컨대 천정 주행차에 의해 포트(63)로부터 소정의 반송처로 반송된다. 또한, 다수의 포드(70)가 연속해서 케이싱(61) 밖으로 출고되는 것과 같은 경우에는, 포드(70)는, 포드용 고정선반(59)에 일시적으로 보관되며, 포트(63)에 순차적으로 반송된다.
［덮개 개폐 장치의 구성］
도 4는, 본 발명의 일 실시형태의 덮개 개폐 장치의 종단면도이며, 도 5는, 도 4의 덮개 개폐 장치의 평면도이다. 또한, 이하의 설명에 있어서는, 덮개 개폐 장치(1)에 대하여 레티클(R)이 도입/도출되는 쪽을 「앞쪽」이라 하고, 그 반대쪽을 「뒤쪽」이라 한다. 정립(正立) 상태에 있는 덮개 개폐 장치(1)를 앞쪽에서 본 경우에 있어서의 왼쪽을 단순히 「왼쪽」이라 하고, 정립 상태에 있는 덮개 개폐 장치(1)를 앞쪽에서 본 경우에 있어서의 오른쪽을 단순히 「오른쪽」이라 한다.
도 4 및 5에 나타내는 바와 같이, 덮개 개폐 장치(1)는, 직방체(直方體) 박스형상의 장치 본체(2)를 구비하고 있다. 장치 본체(2)는, 상벽(3), 하벽(4), 측벽(5) 및 격벽(6)을 가지고 있다. 장치 본체(2)의 내부 공간은, 격벽(6)에 의해, 레티클 도입/도출 영역(2a)과 기기 설치 영역(2b)으로 상하로 분리되어 있다. 단, 레티클 도입/도출 영역(2a)과 기기 설치 영역(2b)은, 격벽(6)의 왼쪽의 영역 및 오른쪽의 영역에 있어서 연통(連通)되어 있다. 상벽(3)에는, 단면(斷面)이 직사각형 형상인 오목부(3a)가 형성되어 있으며, 오목부(3a)의 바닥면에는, 단면이 직사각형 형상인 개구(3b)가 형성되어 있다. 오목부(3a)의 바닥면은, 포드 반송 장치(56)에 의해 반송된 포드(수납 용기; 70)가 재치되는 재치면(10)으로 되어 있다. 또한, 포드(70)는, 레티클(피수납물; R)을 수납하는 직방체 박스형상의 용기 본체(71)와, 레티클(R)이 재치되는 직사각형 판형상의 덮개부(72)를 구비하고 있다. 덮개부(72)는, 용기 본체(71)에 대해 개폐 가능한 바닥부를 이루고 있다. 용기 본체(71)의 정상부(頂部)에는, 포드 반송 장치(56)에 의해 파지(把持)되는 피(被)파지부(73)가 설치되어 있다. 덮개 개폐 장치(1)는, 레티클(R)을 수납하는 포드(70)에 대해, 용기 본체(71)에 대한 덮개부(72)의 개폐를 행하는 장치이다.
장치 본체(2) 내에는, 레티클 도입/도출 영역(2a)에 있어서 승강하는 승강대(7)가 배치되어 있다. 승강대(7)는, 직사각형 판형상의 본체부(8)와, 본체부(8)의 하단부에 설치된 직사각형 판형상의 플랜지부(9)를 가지고 있다. 승강대(7)의 상승시에는, 본체부(8)는 개구(3b) 내에 배치되고, 플랜지부(9)는 상벽(3)의 내면에 맞닿는다. 이 때, 상벽(3)의 개구(3b)는, 플랜지부(9)에 설치된 직사각형 링형상의 시일 부재(11)에 의해 기밀(氣密)하게 폐쇄되며, 본체부(8)의 상면(8a)은, 재치면(10)(즉, 오목부(3a)의 바닥면)과 면 일치(面一)(단차가 없는 상태)된다.
장치 본체(2) 내에는, 승강대(7)를 승강시키는 에어 실린더(12)가 배치되어 있다. 에어 실린더(12)는, 하벽(4)의 내면에 고정된 실린더부(12a)와, 기단부가 실린더부(12a) 내에 삽입된 로드부(12b)를 가지고 있다. 로드부(12b)의 선단부는, 격벽(6)의 중앙 부분에 형성된 단면이 직사각형 형상인 개구(6a)를 통해, 승강대(7)의 하면에 고정되어 있다. 또한, 장치 본체(2) 내의 기기 설치 영역(2b)에는, 에어 실린더(12)에 대한 가스의 도입/도출을 조절하기 위한 전자 밸브 등, 각종 기기가 설치되어 있다. 승강대(7)를 승강시키기 위해, 복수의 에어 실린더를 이용하여도 무방하고, 에어 실린더 대신에 다른 액추에이터를 이용하여도 무방하다.
장치 본체(2) 앞쪽의 측벽(5)에는, 외부와 장치 본체(2) 내의 레티클 도입/도출 영역(2a)을 연통하는 단면이 직사각형 형상인 레티클 도입/도출구(5a)가 형성되어 있다. 레티클 도입/도출구(5a)는, 에어 실린더 등의 액추에이터에 의해 동작되는 폐쇄판(14)에 의해 안쪽으로부터 개폐된다. 폐쇄판(14)에 의한 레티클 도입/도출구(5a)의 폐쇄시에는, 레티클 도입/도출구(5a)는, 폐쇄판(14)에 설치된 직사각형 링형상의 시일 부재(15)에 의해 기밀(氣密)하게 폐쇄된다.
여기서, 레티클(R)을 수납한 포드(70)가 입고되는 경우의 덮개 개폐 장치(1)의 동작에 대해 설명한다. 도 4에 나타내는 바와 같이, 덮개 개폐 장치(1)는, 상벽(3)의 개구(3b)가 승강대(7)에 의해 기밀하게 폐쇄되고, 또한 레티클 도입/도출구(5a)가 폐쇄판(14)에 의해 기밀하게 폐쇄된 상태로, 대기한다. 이 상태에 있어서, 포드 반송 장치(56)에 의해 포트(62)로부터 덮개 개폐 장치(1)로 반송된 포드(70)가, 덮개 개폐 장치(1)의 재치면(10)에 재치되면, 해당 포드(70)의 자물쇠 기구는, 덮개 개폐 장치(1)에 의해 자물쇠 개방상태가 된다(상세한 내용은 후술함).
계속해서, 도 6에 나타내는 바와 같이, 레티클(R)이 재치된 덮개부(72)와 함께 승강대(7)가 하강하여, 레티클 도입/도출 영역(2a)에 레티클(R)이 배치된다. 그리고, 폐쇄판(14)이 동작하여 레티클 도입/도출구(5a)가 개방되면, 레티클 반송 장치(55)가 레티클 도입/도출구(5a)를 통해 레티클 도입/도출 영역(2a)에 액세스하여, 레티클 도입/도출 영역(2a)에 배치된 레티클(R)이 레티클용 회전선반(51)에 저장된다.
계속해서, 폐쇄판(14)이 동작하여 레티클 도입/도출구(5a)가 폐쇄판(14)에 의해 기밀하게 폐쇄되는 동시에, 덮개부(72)와 함께 승강대(7)가 상승하여 상벽(3)의 개구(3b)가 승강대(7)에 의해 기밀하게 폐쇄되면, 덮개 개폐 장치(1)의 재치면(10)에 재치된 빈 포드(70)의 자물쇠 기구는, 덮개 개폐 장치(1)에 의해 자물쇠 폐쇄상태가 된다(상세한 내용은 후술함). 그리고, 자물쇠 기구가 자물쇠 폐쇄상태가 된 빈 포드(70)는, 포드 반송 장치(56)에 의해 포드용 회전선반(52)에 저장된다.
다음으로, 레티클(R)을 수납한 포드(70)가 출고되는 경우의 스토커(50)의 동작에 대해 설명한다. 도 4에 나타내는 바와 같이, 덮개 개폐 장치(1)는, 상벽(3)의 개구(3b)가 승강대(7)에 의해 기밀하게 폐쇄되고, 또한 레티클 도입/도출구(5a)가 폐쇄판(14)에 의해 기밀하게 폐쇄된 상태로, 대기한다. 이 상태에 있어서, 포드 반송 장치(56)에 의해 포드용 회전선반(52)으로부터 덮개 개폐 장치(1)로 반송된 빈 포드(70)가, 덮개 개폐 장치(1)의 재치면(10)에 재치되면, 해당 포드의 자물쇠 기구는, 덮개 개폐 장치(1)에 의해 자물쇠 개방상태가 된다(상세한 내용은 후술함).
계속해서, 도 6에 나타내는 바와 같이, 덮개부(72)와 함께 승강대(7)가 하강하여, 레티클 도입/도출 영역(2a)에 덮개부(72)가 배치된다. 그리고, 폐쇄판(14)이 동작하여 레티클 도입/도출구(5a)가 개방되면, 레티클용 회전선반(51)으로부터 레티클(R)을 반송해 온 레티클 반송 장치(55)가 레티클 도입/도출구(5a)를 통해 레티클 도입/도출 영역(2a)에 액세스하여, 레티클 도입/도출 영역(2a)에 배치되며 덮개부(72)에 레티클(R)이 재치된다.
계속해서, 폐쇄판(14)이 동작하여 레티클 도입/도출구(5a)가 폐쇄판(14)에 의해 기밀하게 폐쇄되는 동시에, 레티클(R)이 재치된 덮개부(72)와 함께 승강대(7)가 상승하여 상벽(3)의 개구(3b)가 승강대(7)에 의해 기밀하게 폐쇄되면, 덮개 개폐 장치(1)의 재치면(10)에 재치된 포드(70)의 자물쇠 기구는, 덮개 개폐 장치(1)에 의해 자물쇠 폐쇄상태가 된다(상세한 내용은 후술함). 그리고, 자물쇠 기구가 자물쇠 폐쇄상태가 된 포드(70)는, 포드 반송 장치(56)에 의해 포트(62)로 반송된다.
［덮개 개폐 장치의 자물쇠 개폐 기구의 구성］
덮개 개폐 장치(1)의 자물쇠 개폐 기구의 설명에 앞서, 포드(70)의 자물쇠 기구에 대해 설명한다. 도 7은, 도 4의 덮개 개폐 장치에 의해 덮개부가 개폐되는 포드의 저면도이고, 도 8은, 도 7의 포드의 자물쇠 기구의 확대도이다. 도 7에 나타내는 바와 같이, 포드(70)에 있어서는, 용기 본체(71)의 바닥부에 복수의 자물쇠 기구(74)가 설치되어 있다. 보다 구체적으로는, 자물쇠 기구(74)는, 용기 본체(71)의 앞쪽의 측벽의 바닥부에 한 쌍이 위치하고, 또한 용기 본체(71)의 뒤쪽의 측벽의 바닥부에 한 쌍이 위치하도록, 용기 본체(71)의 바닥부에 복수로 설치되어 있다. 자물쇠 기구(74)는, 용기 본체(71)에 대한 덮개부(72)의 자물쇠 폐쇄 및 자물쇠 개방을 행한다.
도 8에 나타내는 바와 같이, 각 자물쇠 기구(74)는, 아암(75)과, 압축 스프링 등의 바이어스(付勢, bias) 부재(76)를 가지고 있다. 아암(75)의 기단부는, 축(77)에 의해 용기 본체(71)의 바닥부에 회동 가능하게 축 지지되어 있다. 한편, 아암(75)의 선단부에는, 걸림결합부(78)가 설치되어 있다. 걸림결합부(78)는, 덮개부(72)에 형성된 절결(切缺)부(72a)에 걸림결합한다. 절결부(72a)는, 각 자물쇠 기구(74)의 걸림결합부(78)에 대응하도록 덮개부(72)에 복수로 형성되어 있으며, 대응하는 걸림결합부(78)측 및 하측으로 개구되어 있다. 또한, 걸림결합부(78)에는, 하측으로 개구되는 긴 구멍 형상의 오목부(78a)가 형성되어 있다. 상기 오목부(78a)에는, 후술하는 덮개 개폐 장치(1)의 걸림결합 핀(걸림결합부; 35)이 걸림결합한다.
바이어스 부재(76)는, 용기 본체(71)와 아암(75)의 사이에 배치되어 있으며, 걸림결합부(78)가 절결부(72a)에 걸림결합하도록 아암(75)에 대해 힘을 가한다(가세한다). 이로써, 덮개 개폐 장치(1)에 대해 포드(70)가 반송되는 경우에는, 걸림결합부(78)가 절결부(72a)에 걸림결합하게 되어, 자물쇠 기구(74)가 자물쇠 폐쇄상태가 된다(도 8의 (a) 참조). 한편, 용기 본체(71)에 대해 덮개부(72)가 탈부착되는 경우에는, 걸림결합부(78)가 절결부(72a)로부터 떼어져, 자물쇠 기구(74)가 자물쇠 개방상태가 된다(도 8의 (b) 참조). 이와 같이 하여, 자물쇠 기구(74)는, 용기 본체(71)에 대한 덮개부(72)의 자물쇠 폐쇄 및 자물쇠 개방을 행한다. 또한, 이상의 자물쇠 기구(74)의 구성은, 일례이며, SEMI 규격 등에 따른 구성을 가지고 있는 포드에 있어서, 용기 본체(71)에 대한 덮개부(72)의 자물쇠 폐쇄 및 자물쇠 개방을 행할 수 있는 것이라면, 다른 구성이어도 무방하다.
다음으로, 덮개 개폐 장치(1)의 자물쇠 개폐 기구에 대해 설명한다. 도 9는, 도 4의 IX－IX선을 따른 덮개 개폐 장치의 단면도이다. 도 9에 나타내는 바와 같이, 자물쇠 개폐 기구(30)는, 복수의 이동부(31)와, 연동부(32)와, 에어 실린더(액추에이터; 33)를 구비하고 있다. 자물쇠 개폐 기구(30)는, 상벽(3)에 형성된 오목부(3c) 내에 배치되어 있다. 오목부(3c)는, 개구(3b)의 주위 부분에 있어서, 앞쪽 부분으로부터 오른쪽 부분을 통해 뒤쪽 부분에 걸치도록 연장되어 있다.
복수의 이동부(31)는, 덮개 개폐 장치(1)의 재치면(10)에 포드(70)가 재치되었을 때에, 해당 포드(70)의 각 자물쇠 기구(74)와 상하 방향에 있어서 대향하도록 배치되어 있다. 각 이동부(31)는, 판 형상의 제 1 회동부재(34)와, 래치 핀(latch pin) 등의 걸림결합 핀(35)을 가지고 있다. 제 1 회동부재(34)는, 베어링(36)에 의해 오목부(3c)의 바닥면에 회동 가능하게 지지되어 있다. 앞쪽의(즉, 재치면(10)에 포드(70)가 재치되었을 때에 덮개부(72)에 대해 앞쪽(일방측)에 위치하는) 한 쌍의 제 1 회동부재(34)의 각각에 있어서는, 걸림결합 핀(35)은, 베어링(36)에 대해 왼쪽의 위치에서 제 1 회동부재(34)의 상면에 세워져 설치되어 있다. 한편, 뒤쪽의(즉, 재치면(10)에 포드(70)가 재치되었을 때에 덮개부(72)에 대해 뒤쪽(타방측)에 위치하는) 한 쌍의 제 1 회동부재(34)의 각각에 있어서는, 걸림결합 핀(35)은, 베어링(36)에 대해 오른쪽의 위치에서 제 1 회동부재(34)의 상면에 세워져 설치되어 있다. 제 1 회동부재(34)는, 그 가동 범위에 있어서 장치 본체(2)와 비접촉으로 되어 있다(즉, 장치 본체(2)로부터 이격되어 있다).
도 5에 나타내는 바와 같이, 각 걸림결합 핀(35)은, 천판부(3d)에 복수로 형성된 긴 구멍형상의 개구(3e)의 각각을 통해 재치면(10)으로부터 상측으로 돌출되어 있다. 천판부(3d)는, 오목부(3c)를 덮고 있으며, 재치면(10)을 이루고 있다. 긴 구멍형상의 개구(3e)는, 걸림결합 핀(35)을 자물쇠 개방동작의 위치와 자물쇠 폐쇄동작의 위치의 사이에서 이동할 수 있게 되어 있다. 이로써, 덮개 개폐 장치(1)의 재치면(10)에 포드(70)가 재치되면, 해당 포드(70)의 각 자물쇠 기구(74)의 오목부(78a)에, 상하 방향에 있어서 대향되는 걸림결합 핀(35)이 걸림결합하게 된다.
도 9에 나타내는 바와 같이, 연동부(32)는, 판 형상의 제 1 연결부재(37)와, 판 형상의 제 2 회동부재(38)와, 판 형상의 제 2 연결부재(39)를 가지고 있다. 앞쪽의 제 1 연결부재(37)는, 오목부(3c)의 앞쪽 부분에 있어서 좌우 방향으로 연장되어 있는 로드 형상의 부재로서, 베어링(36)에 대해 앞쪽의 위치에서, 앞쪽의 한 쌍의 제 1 회동부재(34)의 각각에 회동 가능하게 부착되어 있다. 이와 같이 하여, 앞쪽의 제 1 연결부재(37)는, 앞쪽의 한 쌍의 제 1 회동부재(34)를 연결하여, 해당 제 1 회동부재(34)를 회동시킨다. 한편, 뒤쪽의 제 1 연결부재(37)는, 오목부(3c)의 뒤쪽 부분에 있어서 좌우 방향으로 연장되어 있는 로드 형상의 부재로서, 베어링(36)에 대해 뒤쪽의 위치에서, 뒤쪽의 한 쌍의 제 1 회동부재(34)의 각각에 회동 가능하게 부착되어 있다. 이와 같이 하여, 뒤쪽의 제 1 연결부재(37)는, 뒤쪽의 한 쌍의 제 1 회동부재(34)를 연결하여, 해당 제 1 회동부재(34)를 회동시킨다. 제 2 회동부재(38), 제 1 연결부재(37) 및 제 2 연결부재(39)는, 각각의 가동 범위에 있어서 장치 본체(2)와 비접촉으로 되어 있다.
한 쌍의 제 2 회동부재(38)의 각각은, 베어링(41)에 의해 오목부(3c)의 바닥면에 회동 가능하게 지지되어 있다. 앞쪽의 제 2 회동부재(38)에는, 베어링(41)에 대해 앞쪽의 위치에서, 앞쪽의 제 1 연결부재(37)의 오른쪽 단부가 회동 가능하게 부착되어 있다. 이와 같이 하여, 앞쪽의 제 1 연결부재(37)는, 앞쪽의 제 2 회동부재(38)에 접속되어 있다. 한편, 뒤쪽의 제 2 회동부재(38)에는, 베어링(41)에 대해 뒤쪽의 위치에서, 뒤쪽의 제 1 연결부재(37)의 오른쪽 단부가 회동 가능하게 부착되어 있다. 이와 같이 하여, 뒤쪽의 제 1 연결부재(37)는, 뒤쪽의 제 2 회동부재(38)에 접속되어 있다.
제 2 연결부재(39)는, 오목부(3c)의 오른쪽 부분에 있어서 전후 방향으로 연장되어 있는 로드 형상의 부재로서, 베어링(41)에 대해 오른쪽의 위치에서, 한 쌍의 제 2 회동부재(38)의 각각에 회동 가능하게 부착되어 있다. 이와 같이 하여, 제 2 연결부재(39)는, 한 쌍의 제 2 회동부재(38)를 연결하여, 해당 제 2 회동부재(38)를 회동시킨다.
에어 실린더(33)는, 이동부(31) 및 연동부(32)를 일제히 구동시키는(즉, 이동부(31) 및 연동부(32)에 구동력을 부여하는) 액추에이터이다. 에어 실린더(33)는, 이동부(31) 및 연동부(32)에 대해 하나가 설치되며, 제 2 연결부재(39)의 하측에 배치되어 있다. 에어 실린더(33)는, 장치 본체(2)에 회동 가능하게 부착된 실린더부(33a)와, 기단부가 실린더부(33a) 내에 삽입된 로드부(33b)를 가지고 있다. 로드부(33b)의 선단부는, 제 2 연결부재(39)의 중간부에 회동 가능하게 부착되어 있다.
여기서, 포드(70)의 자물쇠 기구(74)로 하여금 자물쇠를 열게 하기 위한 자물쇠 개폐 기구(30)의 자물쇠 개방동작에 대해 설명한다. 도 5에 나타내는 바와 같이, 자물쇠 개폐 기구(30)는, 천판부(3d)에 형성된 긴 구멍형상의 각 개구(3e)에 있어서 걸림결합 핀(35)이 안쪽(즉, 개구(3b)쪽)에 위치한 상태로, 대기한다. 이 때, 자물쇠 개폐 기구(30)의 이동부(31), 연동부(32) 및 에어 실린더(33)는, 도 9에 도시된 상태에 있다. 이 상태에서, 덮개 개폐 장치(1)의 재치면(10)에 포드(70)가 재치되면, 해당 포드(70)에 있어서 자물쇠 폐쇄상태에 있는 각 자물쇠 기구(74)의 오목부(78a)에(도 8의 (a) 참조), 상하 방향에 있어서 대향되는 걸림결합 핀(35)이 걸림결합하게 된다.
계속해서, 도 10에 나타내는 바와 같이, 자물쇠 개폐 기구(30)에서는, 실린더부(33a)에 대한 가스의 도입/도출에 의해 로드부(33b)가 뒤쪽으로 슬라이딩된다. 이로써, 앞쪽의 제 2 회동부재(38)가 상방에서 볼 때 반시계방향으로 회동되어, 앞쪽의 제 1 연결부재(37)가 오른쪽으로 이동된다. 또한, 앞쪽의 한 쌍의 제 1 회동부재(34)가 상방에서 볼 때 반시계방향으로 회동되어, 걸림결합 핀(35)이 앞쪽으로 이동된다. 그 한편으로는, 뒤쪽의 제 2 회동부재(38)가 상방에서 볼 때 반시계방향으로 회동되어, 뒤쪽의 제 1 연결부재(37)가 왼쪽으로 이동된다. 또한, 뒤쪽의 한 쌍의 제 1 회동부재(34)가 상방에서 볼 때 반시계방향으로 회동되어, 걸림결합 핀(35)이 뒤쪽으로 이동된다. 즉, 천판부(3d)에 형성된 긴 구멍형상의 각 개구(3e)에 있어서 걸림결합 핀(35)이 바깥쪽(즉, 개구(3b)와 반대측)에 위치한 상태가 된다. 이것으로부터, 포드(70)의 자물쇠 기구(74)에서는, 걸림결합부(78)가 절결부(72a)로부터 분리되며, 자물쇠 기구(74)가 자물쇠 개방상태가 되어(도 8의 (b) 참조), 용기 본체(71)로부터 덮개부(72)를 떼어낼 수 있게 된다.
다음으로, 포드(70)의 자물쇠 기구(74)로 하여금 자물쇠를 잠그게 하기 위한 자물쇠 개폐 기구(30)의 자물쇠 폐쇄동작에 대해 설명한다. 자물쇠 개폐 기구(30)는, 천판부(3d)에 형성된 긴 구멍형상의 각 개구(3e)에 있어서 걸림결합 핀(35)이 바깥쪽(즉, 개구(3b)와 반대측)에 위치한 상태로, 대기한다. 이 때, 자물쇠 개폐 기구(30)의 이동부(31), 연동부(32) 및 에어 실린더(33)는, 도 10에 도시된 상태에 있다. 그리고, 해당 포드(70)에 있어서 자물쇠 개방상태에 있는 각 자물쇠 기구(74)의 오목부(78a)에(도 8의 (b) 참조), 상하 방향에 있어서 대향되는 걸림결합 핀(35)이 걸림결합한 상태에 있다.
이 상태에서, 용기 본체(71)에 덮개부(72)가 부착되면, 도 9에 나타내는 바와 같이, 자물쇠 개폐 기구(30)에서는, 실린더부(33a)에 대한 가스의 도입/도출에 의해 로드부(33b)가 앞쪽으로 슬라이딩된다. 이로써, 앞쪽의 제 2 회동부재(38)가 상방에서 볼 때 시계방향으로 회동되어, 앞쪽의 제 1 연결부재(37)가 왼쪽으로 이동된다. 또한, 앞쪽의 한 쌍의 제 1 회동부재(34)가 상방에서 볼 때 시계방향으로 회동되어, 걸림결합 핀(35)이 뒤쪽으로 이동된다. 그 한편으로는, 뒤쪽의 제 2 회동부재(38)가 상방에서 볼 때 시계방향으로 회동되어, 뒤쪽의 제 1 연결부재(37)가 오른쪽으로 이동된다. 또한, 뒤쪽의 한 쌍의 제 1 회동부재(34)가 상방에서 볼 때 시계방향으로 회동되어, 걸림결합 핀(35)이 앞쪽으로 이동된다. 즉, 도 5에 나타내는 바와 같이, 천판부(3d)에 형성된 긴 구멍형상의 각 개구(3e)에 있어서 걸림결합 핀(35)이 안쪽(즉, 개구(3b)쪽)에 위치한 상태가 된다. 이것으로부터, 포드(70)의 자물쇠 기구(74)에서는, 걸림결합부(78)가 절결부(72a)에 걸림결합하여, 자물쇠 기구(74)가 자물쇠 폐쇄상태가 된다(도 8의 (a) 참조).
이상 설명한 바와 같이, 덮개 개폐 장치(1)에서는, 복수의 이동부(31)가, 제 1 회동부재(34)를 회동시켜 걸림결합 핀(35)을 이동시킴으로써, 포드(70)의 자물쇠 기구(74)로 하여금 자물쇠를 잠그게 하기 위한 자물쇠 폐쇄동작, 및 포드(70)의 자물쇠 기구(74)로 하여금 자물쇠를 열게 하기 위한 자물쇠 개방동작을 행한다. 그리고, 포드(70)의 자물쇠 기구(74)로 하여금 자물쇠를 잠그게 하는 경우에는, 연동부(32)가, 복수의 이동부(31)를 연동시켜 복수의 이동부(31)가 자물쇠 폐쇄동작을 행하게 한다. 한편, 포드(70)의 자물쇠 기구(74)로 하여금 자물쇠를 열게 하는 경우에는, 연동부(32)가, 복수의 이동부(31)를 연동시켜 복수의 이동부(31)가 자물쇠 개방동작을 행하게 한다. 이와 같이, 복수의 이동부(31)에 의한 자물쇠 개방동작 및 자물쇠 폐쇄동작이 일제히 행해지기 때문에, 동작에 편차가 생기지 않으며, 자물쇠 개방동작 및 자물쇠 폐쇄동작을 신속하고도 또한 적확하게 행할 수가 있다. 또한, 하나의 에어 실린더(33)가 이동부(31) 및 연동부(32)를 일제히 구동시키므로, 저비용화를 도모할 수가 있다. 또한, 자물쇠 개폐 기구(30)의 조정을 행할 때에는, 에어 실린더(33)와 피구동부분인 제 2 연결부재(39)가 접속되는 개소(箇所)만 조정하면 충분하기 때문에, 유지관리가 용이하다는 점에서도, 저비용화를 도모할 수가 있다. 이상에 의해, 덮개 개폐 장치(1)에 의하면, 저비용화를 도모할 수 있는 구성으로 용기 본체(71)에 대한 덮개부(72)의 개폐를 신속하고도 또한 안정적으로 행할 수 있게 된다.
각 이동부(31)는, 장치 본체(2)에 회동 가능하게 지지되어 걸림결합 핀(35)을 이동시키는 제 1 회동부재(34)를 가지며, 연동부(32)는, 한 쌍의 제 1 회동부재(34)를 연결하여 해당 제 1 회동부재(34)를 회동시키는 제 1 연결부재(37)를 가지고 있다. 이로써, 제 1 회동부재(34) 및 제 1 연결부재(37)를 포함하는 링크 기구라는 간이한 구성으로, 복수의 이동부(31)의 각각을 확실히 동작시킬 수가 있다.
제 1 연결부재(37)에 의해 연결된 한 쌍의 제 1 회동부재(34)는, 장치 본체(2)의 재치면(10)에 포드(70)가 재치되었을 때에 덮개부(72)에 대해 앞쪽 및 뒤쪽의 각각에 위치하도록 복수 쌍이 배치되어 있으며, 연동부(32)는, 장치 본체(2)에 회동 가능하게 지지되어 제 1 연결부재(37)의 각각이 접속된 한 쌍의 제 2 회동부재(38)와, 한 쌍의 제 2 회동부재(38)를 연결하여 해당 제 2 회동부재(38)를 회동시키는 제 2 연결부재(39)를 더 가지고 있다. 이로써, 덮개부(72)에 대해 앞쪽 및 뒤쪽의 각각에 위치하도록 이동부(31)가 복수 쌍으로 배치되는 경우에도, 복수의 이동부(31)의 각각을 확실히 동작시킬 수가 있다.
덮개 개폐 장치(1)에 의하면, 자물쇠 개폐 기구(30)에 있어서 파티클이 발생하였다 하더라도, 주위의 깨끗한 환경을 오염시키는 것을 방지할 수 있게 된다. 그 이유는, 다음과 같다. 즉, 직동식 기구(로드 등)에서는, 체적 이동에 수반하여 공기가 밀려나올 수 있으므로, 발생된 파티클이 확산되기 쉽다. 한편, 회동식 기구는, 일반적으로 직동식 기구에 비해 체적 이동이 적고(진정한 원판이라면 이론상으로는 제로), 또, 슬라이딩하는 부위를 특정하기 쉽기 때문에(예컨대 본 실시 형태에 있어서는, 축 지지부분인 베어링(36) 등), 발생된 파티클의 확산 억제 효과가 높다. 덮개 개폐 장치(1)에서는, 장치 본체(2)의 오목부(3c)에 있어서 천판부(3d)의 개구(3e)를 향하는 위치에는, 회동식 기구인 제 1 회동부재(34)가 위치하고, 직동식 기구는, 해당 위치로부터 이격되게 된다. 따라서, 덮개 개폐 장치(1)에 의하면, 발생된 파티클이 천판부(3d)의 개구(3e)를 통해 장치 본체(2) 밖으로 나오는 것을 적확하게 억제할 수 있으며, 그 결과, 주위의 깨끗한 환경을 오염시키는 것을 방지할 수 있게 된다.
이동부(31) 및 연동부(32)에 구동력을 부여하는 액추에이터로서, 에어 실린더(33)가 이용되고 있다. 이로써, 예컨대 랙 피니언(rack and pinion) 기구를 이용하는 경우에 비해, 동작시의 발진(發塵)을 억제할 수 있는 동시에 기구의 간소화를 도모할 수가 있다. 따라서, 장치(1) 내 및 그 근방의 분위기를 청정하게 유지하면서, 복수의 이동부(31)의 각각을 확실히 동작시킬 수가 있다.
회동부재(34, 38) 및 연결부재(37, 39)가 판 형상의 부재이기 때문에, 자물쇠 개폐 기구(30)의 높이를 억제할 수 있으며, 그 결과, 덮개 개폐 장치(1)의 소형화를 도모할 수 있게 된다.
이상, 본 발명의 일 실시형태에 대해 설명하였으나, 본 발명은, 상기 실시형태로 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 본 발명의 덮개 개폐 장치의 대상은, 레티클(R)을 수납하는 포드(70)로 한정되지 않으며, 다른 피수납물을 수납하는 다른 수납 용기여도 무방하다. 이동부 및 연동부에 구동력을 부여하는 액추에이터로서, 에어 실린더(33) 이외의 액추에이터를 이용하여도 무방하다. 상술한 모든 구성의 형상 및 재료로서는, 상술한 것으로 한정되지 않으며, 다양한 형상 및 재료를 적용할 수 있다. 본 발명의 제 1 연결부재 및 제 2 연결부재는, 상술한 로드형상의 부재로 한정되지 않는다. 제 1 연결부재 및 제 2 연결부재가 와이어 등의 다른 연결부재라 하더라도, 상술한 것과 같은 동작 기구(機構)를 실현할 수가 있다. 자물쇠 개폐 기구(30)의 자물쇠 개방동작 및 자물쇠 폐쇄동작은, 회동부재(34, 38)의 회동 방향 및 연결부재(37, 39)의 이동 방향을 상술한 경우와 역방향으로 하여도 실현할 수가 있다.
(산업상의 이용 가능성)
본 발명에 의하면, 저비용화를 도모할 수 있는 구성으로 용기 본체에 대한 덮개부의 개폐를 신속하고도 또한 안정적으로 행할 수 있는 덮개 개폐 장치를 제공할 수 있게 된다.
1; 덮개 개폐 장치
2; 장치 본체
3c; 오목부
3d; 천판(天板)부
3e; 개구
10; 재치(載置)면
31; 이동부
32; 연동부
33; 에어 실린더(액추에이터)
34; 제 1 회동부재
35; 걸림결합 핀(걸림결합부)
37; 제 1 연결부재
38; 제 2 회동부재
39; 제 2 연결부재
70; 포드(수납 용기)
71; 용기 본체
72; 덮개부
74; 자물쇠 기구
R; 레티클(피수납물)

Claims (5)

  1. 피수납물을 수납하는 용기 본체와, 상기 용기 본체에 대해 개폐 가능한 바닥부를 이루며, 상기 피수납물이 재치(載置)되는 덮개부와, 상기 용기 본체에 대한 상기 덮개부의 자물쇠 개방(開錠) 및 자물쇠 폐쇄(施錠)를 행하는 자물쇠 기구를 구비하는 수납 용기에 대해, 상기 용기 본체에 대한 상기 덮개부의 개폐를 행하는 덮개 개폐 장치로서,
    상기 수납 용기가 재치되는 장치 본체와,
    상기 장치 본체에 상기 수납 용기가 재치되었을 때에 상기 자물쇠 기구에 걸림결합하는 걸림결합부를 가지며, 상기 걸림결합부를 이동시킴으로써, 상기 자물쇠 기구로 하여금 상기 자물쇠를 열게 하기 위한 자물쇠 개방동작, 및 상기 자물쇠 기구로 하여금 상기 자물쇠를 잠그게 하기 위한 자물쇠 폐쇄동작을 행하는 복수의 이동부와,
    상기 자물쇠 기구로 하여금 상기 자물쇠를 열게 하는 경우에는, 복수의 상기 이동부를 연동시켜 복수의 상기 이동부가 상기 자물쇠 개방동작을 행하게 하고, 상기 자물쇠 기구로 하여금 상기 자물쇠를 잠그게 하는 경우에는, 복수의 상기 이동부를 연동시켜 복수의 상기 이동부가 상기 자물쇠 폐쇄동작을 행하게 하는 연동부와,
    상기 이동부 및 상기 연동부에 대해 하나가 설치되며, 상기 이동부 및 상기 연동부를 일제히 구동시키는 액추에이터를 구비하고,
    상기 이동부의 각각은, 상기 장치 본체에 회동 가능하게 지지되어 상기 걸림결합부를 이동시키는 제 1 회동부재를 더 구비하며,
    상기 연동부는, 적어도 한 쌍의 상기 제 1 회동부재를 연결하여 상기 제 1회동부재를 회동시키는 제 1 연결부재를 가지고,
    상기 제 1 연결부재에 의해 연결된 한 쌍의 상기 제 1 회동부재는, 상기 장치 본체에 상기 수납 용기가 재치되었을 때에 상기 덮개부에 대해 일방측 및 타방측의 각각에 위치하도록 복수 쌍 배치되어 있으며,
    상기 연동부는, 상기 장치 본체에 회동 가능하게 지지되어 상기 제 1 연결부재의 각각이 접속된 한 쌍의 제 2 회동부재와, 한 쌍의 상기 제 2 회동부재를 연결하여 해당 제 2 회동부재를 회동시키는 제 2 연결부재를 더 갖는, 덮개 개폐 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1항에 있어서,
    상기 장치 본체는, 상기 이동부, 상기 연동부 및 상기 액추에이터가 배치된 오목부와, 상기 오목부를 덮고 있으며, 상기 수납 용기가 재치되는 재치면을 이루는 천판(天板)부를 가지고,
    상기 걸림결합부는, 상기 제 1 회동부재에 세워져 설치된 걸림결합 핀이며,
    상기 천판부에는, 상기 걸림결합 핀을 상기 재치면으로부터 돌출시켜 상기 자물쇠 개방동작의 위치와 상기 자물쇠 폐쇄동작의 위치의 사이에서 이동 가능하도록 하는 긴 구멍형상의 개구가 형성되어 있는, 덮개 개폐 장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 액추에이터는, 상기 장치 본체에 부착된 실린더부와, 기단부가 상기 실린더부 내에 삽입되고, 또한 선단부가 상기 제 2 연결부재에 부착된 로드(lod)부를 가지며, 상기 실린더부 내에 대한 가스의 도입/도출에 의해 상기 로드부가 슬라이딩하는 에어 실린더인, 덮개 개폐 장치.
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