CN109659259B - 片盒取放机构及半导体湿法工艺浸泡槽抖动装置 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种片盒取放机构及半导体湿法工艺浸泡槽抖动装置，前者包括连接板、框架、挡板以及驱动传动装置，连接板用于连接框架和驱动传动装置，框架用于盛装片盒，挡板通过竖直转轴设置于框架上且能够在驱动传动装置的驱动下改变对框架内的片盒的夹压状态；后者包括前者。本发明提供的片盒取放机构及半导体湿法工艺浸泡槽抖动装置具有取放片盒效率高、操作简便、结构简单的优点。

Description

片盒取放机构及半导体湿法工艺浸泡槽抖动装置

技术领域

本发明涉及半导体湿法制备装置技术领域，尤其是涉及一种片盒取放机构及半导体湿法工艺浸泡槽抖动装置。

背景技术

随着半导体进入微纳米时代，对半导体制造工艺提出了更大的挑战，在传统的半导体湿法腐蚀制备工艺过程中，为了满足半导体片的腐蚀均匀性等其他工艺的要求，需要将盛装有半导体片和反应液的片盒进行一定的有序的机械振动，以保证腐蚀均匀性和反应速率。

但现有技术中的半导体湿法腐蚀工艺设备结构一般较为复杂，尤其是取放片盒的过程较为麻烦，往往需要将设备中的片盒夹固机构进行人工解锁或人工上锁，严重影响工艺效率。

公开于该背景技术部分的信息仅仅旨在加深对本发明总体背景技术的理解，而不应当被视为承认或以任何形式暗示该信息构成本领域技术人员所公知的现有技术。

发明内容

本发明是鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供一种片盒取放机构及半导体湿法工艺浸泡槽抖动装置。

该片盒取放机构能够在放置未反应的片盒前及片盒振动反应后处于解锁打开的状态，方便取放片盒；在对片盒进行振动时处于锁闭的状态，对片盒进行夹固限位；具有结构简单、使用效率高、操作简便的优点。

该半导体湿法工艺浸泡槽抖动装置包括上述的片盒取放机构，能够取得上述的片盒取放机构所有有益效果，在此不再赘述。

为实现本发明的目的采用如下的技术方案：

第一技术方案的发明为一种片盒取放机构，应用于半导体湿法工艺浸泡槽抖动装置，

所述片盒取放机构包括连接板、框架、挡板以及驱动传动装置，

以所述连接板的板面为水平面，

所述框架包括水平设置于所述连接板的下方的上框板、水平设置于所述上框板的下方的下框板以及竖直固定于所述上框板和所述下框板之间的支柱；

所述上框板的一侧具有凹口，在所述凹口的内部铰接有沿水平面延伸的水平转轴，所述连接板与所述上框板之间通过连接柱连接，且所述连接柱的一端与所述水平转轴的周面固定连接，所述连接柱的另一端与所述连接板固定连接；

在所述上框板与所述下框板之间还铰接有沿竖直方向延伸的竖直转轴，所述挡板的一侧固定于所述竖直转轴的周面上；

所述驱动传动装置包括导杆、滑块、倾斜杆、水平转动臂以及能够驱动所述倾斜杆升降的升降装置；

所述导杆的两端分别通过固定板固定于所述上框板的上表面上；

所述滑块套设于所述导杆上，且所述滑块能够沿所述导杆滑动；

所述倾斜杆的下端穿过所述连接板后与所述滑块铰接；

所述水平转动臂的一端与所述滑块固定连接；所述竖直转轴的上端穿过所述上框板后与所述水平转动臂的另一端固定连接；

所述升降装置配置成能够驱动所述倾斜杆升降以带动所述滑块沿所述导杆滑动从而带动所述水平转动臂驱动所述竖直转轴转动进而使所述挡板转动。

另外，第二技术方案的片盒取放机构，在第一技术方案的片盒取放机构基础上，所述水平转动臂包括水平设置的挡板推杆、倾斜连接臂以及挡板转臂，

所述挡板推杆的一端与所述滑块固定连接，所述倾斜连接臂的一端与所述挡板推杆的另一端铰接，所述倾斜连接臂的另一端与所述挡板转臂的一端铰接，所述挡板转臂的另一端与所述竖直转轴的上端固定连接。

另外，第三技术方案的片盒取放机构，在第一技术方案的片盒取放机构基础上，所述升降装置包括壁板和设置于所述壁板上的升降气缸，所述倾斜杆的上端穿过所述壁板后与所述升降气缸的活塞杆的自由端连接。

另外，第四技术方案的片盒取放机构，在第三技术方案的片盒取放机构基础上，在所述活塞杆的自由端还设有气缸连接板，且所述倾斜杆的上端与通过销轴与所述气缸连接板铰接。

另外，第五技术方案的片盒取放机构，在第一技术方案的片盒取放机构基础上，所述片盒取放机构还具有升降套筒，所述倾斜杆设置于所述升降套筒的内部。

另外，第六技术方案的片盒取放机构，在第一技术方案的片盒取放机构基础上，所述片盒取放机构还具有压紧装置，所述压紧装置包括压板和沿竖直方向延伸的弹簧，

所述压板水平设置于所述上框板和所述下框板之间，

且所述支柱穿过所述压板与所述压板活动连接，在所述支柱的位于所述压板和所述上框板之间套设所述弹簧。

另外，第七技术方案的片盒取放机构，在第一技术方案的片盒取放机构基础上，以所述上框板的具有凹口的一侧为所述框架的前侧，所述竖直转轴能够带动所述挡板转动从而覆盖或远离所述框架的前表面。

另外，第八技术方案的片盒取放机构，在第一技术方案的片盒取放机构基础上，在所述导杆上还套设有直线轴承，且所述滑块通过所述直线轴承安装于所述导杆上。

另外，第九技术方案提供了一种半导体湿法工艺浸泡槽抖动装置，该半导体湿法工艺浸泡槽抖动装置包括第一至第八技术方案中任一项所述的片盒取放机构。

另外，第十技术方案的半导体湿法工艺浸泡槽抖动装置，在第九技术方案的半导体湿法工艺浸泡槽抖动装置，所述半导体湿法工艺浸泡槽抖动装置还包括支座、电动滑台及滑台块，

所述电动滑台沿竖直方向设置于所述支座上，

所述滑台块设置于所述电动滑台的竖直滑动侧面上，所述滑台块配置成在所述电动滑台的驱动下能够沿所述电动滑台的竖直滑动侧面往返运动，且所述升降装置固定于所述滑台块上。

结合以上技术方案，本发明带来的有益效果分析如下：

本发明提供的片盒取放机构，应用于半导体湿法工艺浸泡槽抖动装置，该片盒取放机构包括连接板、框架、挡板以及驱动传动装置；

以连接板的板面为水平面，框架包括水平设置于连接板的下方的上框板、水平设置于上框板的下方的下框板以及竖直固定于上框板和下框板之间的支柱；

上框板的一侧具有凹口，在凹口的内部铰接有沿水平面延伸的水平转轴，连接板与上框板之间通过连接柱连接，且连接柱的一端与水平转轴的周面固定连接，连接柱的另一端与连接板固定连接；

在上框板与下框板之间还铰接有沿竖直方向延伸的竖直转轴，挡板的一侧固定于竖直转轴的周面上；

驱动传动装置包括导杆、滑块、倾斜杆、水平转动臂以及能够驱动倾斜杆升降的升降装置；

导杆的两端分别通过固定板固定于上框板的上表面上；滑块套设于导杆上，且滑块能够沿导杆滑动；倾斜杆的下端穿过连接板后与滑块铰接；水平转动臂的一端与滑块固定连接；竖直转轴的上端穿过上框板后与水平转动臂的另一端固定连接；

升降装置配置成能够驱动倾斜杆升降以带动滑块沿导杆滑动从而带动水平转动臂驱动竖直转轴转动进而使挡板转动。

当该片盒取放机构在待机状态时，挡板处于远离框架的打开状态，此时便于往框架内摆放未反应的片盒或取出框架中振动反应后的片盒；当该片盒取放机构在工作状态时，升降装置驱动倾斜杆向下运动，此时倾斜杆驱动框架绕绕水平转轴转动从而使框架进入倾斜状态，且倾斜杆向下运动过程中还会推动滑块沿导杆朝向水平转轴运动，从而通过水平转动臂驱动竖直转轴转动，以使挡板处于覆盖框架的关闭状态，此时便于对框架内的片盒进行夹固限位，当片盒振动反应完成后，升降装置驱动倾斜杆向上运动，当该片盒取放机构复位成待机状态。该片盒取放机构具有结构简单、待机状态方便取放片盒、工作状态对片盒进行夹固限位牢固、使用过程高效便捷的优点。

另外，发明提供的半导体湿法工艺浸泡槽抖动装置包括该片盒取放机构，能够取得该片盒取放机构所有有益效果，在此不再赘述。

本发明的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点在说明书、权利要求书以及附图所特别指出的结构来实现和获得。

附图说明

为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明提供的片盒取放机构的具体实施例的结构示意图；

图2为本发明提供的半导体湿法工艺浸泡槽抖动装置的具体实施例的整体结构示意图。

图标：100-连接板；110-连接柱；210-上框板；211-水平转轴；212-竖直转轴；220-下框板；230-支柱；300-挡板；410-导杆；420-滑块；430-倾斜杆；440-水平转动臂；510-升降气缸；520-气缸连接板；530-升降套筒；540-壁板；610-压板；620-弹簧；710-支座；720-电动滑台；730-滑台块。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

下面根据本发明提供的片盒取放机构及半导体湿法工艺浸泡槽抖动装置的结构，对其具体实施例进行说明。

图1为本发明提供的片盒取放机构的具体实施例的结构示意图；图2为本发明提供的半导体湿法工艺浸泡槽抖动装置的具体实施例的整体结构示意图。

如图1和图2所示，本实施例提供了一种片盒取放机构，应用于半导体湿法工艺浸泡槽抖动装置，该片盒取放机构包括连接板100、框架、挡板300以及驱动传动装置，以连接板100的板面为水平面，框架包括水平设置于连接板100的下方的上框板210、水平设置于上框板210的下方的下框板220以及竖直固定于上框板210和下框板220之间的支柱230。

上框板210的一侧具有凹口，在凹口的内部铰接有沿水平面延伸的水平转轴211，连接板100与上框板210之间通过连接柱110连接，且连接柱110的一端与水平转轴211的周面固定连接，连接柱110的另一端与连接板100固定连接。

在上框板210与下框板220之间还铰接有沿竖直方向延伸的竖直转轴212，挡板300的一侧固定于竖直转轴212的周面上。

驱动传动装置包括导杆410、滑块420、倾斜杆430、水平转动臂440以及能够驱动倾斜杆430升降的升降装置。

导杆410的两端分别通过固定板固定于上框板210的上表面上。

滑块420套设于导杆410上，且滑块420能够沿导杆410滑动。

倾斜杆430的下端穿过连接板100后与滑块420铰接。

水平转动臂440的一端与滑块420固定连接；竖直转轴212的上端穿过上框板210后与水平转动臂440的另一端固定连接。

升降装置配置成能够驱动倾斜杆430升降以带动滑块420沿导杆410滑动从而带动水平转动臂440驱动竖直转轴212转动进而使挡板300转动。

当该片盒取放机构在待机状态时，挡板300处于远离框架的打开状态，此时便于往框架内摆放未反应的片盒或取出框架中振动反应后的片盒；当该片盒取放机构在工作状态时，升降装置驱动倾斜杆430向下运动，此时倾斜杆430驱动框架绕绕水平转轴211转动从而使框架进入倾斜状态，且倾斜杆430向下运动过程中还会推动滑块420沿导杆410朝向水平转轴211运动，从而通过水平转动臂440驱动竖直转轴212转动，以使挡板300处于覆盖框架的关闭状态，此时便于对框架内的片盒进行夹固限位，当片盒振动反应完成后，升降装置驱动倾斜杆430向上运动，当该片盒取放机构复位成待机状态。该片盒取放机构具有结构简单、待机状态方便取放片盒、工作状态对片盒进行夹固限位牢固、使用过程高效便捷的优点。

进一步地，水平转动臂440包括水平设置的挡板300推杆、倾斜连接臂以及挡板300转臂，挡板300推杆的一端与滑块420固定连接，倾斜连接臂的一端与挡板300推杆的另一端铰接，倾斜连接臂的另一端与挡板300转臂的一端铰接，挡板300转臂的另一端与竖直转轴212的上端固定连接。

这样的结构能够使滑块420沿导杆410时，通过水平转动臂440同步带动挡板300转臂转动，以调节挡板300与框架的相对位置关系，便于从框架内取放片盒或者便于固定框架内的片盒。

另外，升降装置包括壁板540和设置于壁板540上的升降气缸510，倾斜杆430的上端穿过壁板540后与升降气缸510的活塞杆的自由端连接。

具体地，如图2所示，壁板540用于与抖动升降装置的设备连接，将气缸作为倾斜杆430驱动件，气缸较一些其他的可实现倾斜杆430升降驱动功能的驱动元件相比，如直线电机、步进电机加齿轮齿条传动机构，气缸的结构较为简单、安装使用都很方便，而且适用一些恶劣环境且不造成污染。

进一步地，在活塞杆的自由端还设有气缸连接板520，且倾斜杆430的上端与通过销轴与气缸连接板520铰接。

具体地，如图2所示，设置该气缸连接板520，不仅简化了活塞杆与倾斜杆430的连接传动方式，而且还方便拆卸维护气缸或倾斜杆430。

另外，片盒取放机构还具有升降套筒530，倾斜杆430设置于升降套筒530的内部。

具体地，如图2所示，设置该升降套筒530，不仅起到将连接承重连接板100的作用，而且升降套筒530套设于倾斜杆430外部还增加了倾斜杆430耐弯折强度，提高了倾斜杆430结构强度。

另外，片盒取放机构还具有压紧装置，压紧装置包括压板610和沿竖直方向延伸的弹簧620，压板610水平设置于上框板210和下框板220之间，且支柱230穿过压板610与压板610活动连接，在支柱230的位于压板610和上框板210之间套设弹簧620。

设置上述的压紧装置能够对放置在框架内的片盒进一步进行夹压固定，尤其是在框架内放置较小规格的的片盒时，该压紧装置同样能使片盒夹压固定于框架内，提高了框架的适用范围。

另外，以上框板210的具有凹口的一侧为框架的前侧，竖直转轴212能够带动挡板300转动从而覆盖或远离框架的前表面。

具体地，如图1和图2所示，当滑块420处于远离框架的前侧的导杆410端部时，此时挡板300远离框架的前表面，便于取放片盒；当滑块420处于靠近框架的前侧的导杆410端部时，此时挡板300覆盖框架的前表面，便于夹压固定片盒。

当然，上述挡板覆盖或远离框架的侧表面也可以是对应于上述框板的其他侧表面，相对应地，对上述凹口和驱动传动装置进行空间位置适应性调换。

另外，在导杆410上还套设有直线轴承，且滑块420通过直线轴承安装于导杆410上。

设置上述的直线轴承，能够减小滑块420沿导杆410移动时的摩擦力，更便于滑块420在导杆410上移动。

另外，本发明还提供了一种半导体湿法工艺浸泡槽抖动装置，该半导体湿法工艺浸泡槽抖动装置包括上述的片盒取放机构，能够达到上述的片盒取放机构所有有益效果，在此不再赘述。

进一步地，该半导体湿法工艺浸泡槽抖动装置还具有支座710、电动滑台720及滑台块730，电动滑台720沿竖直方向设置于支座710上，滑台块730设置于电动滑台720的竖直滑动侧面上，滑台块730配置成在电动滑台720的驱动下能够沿电动滑台720的竖直滑动侧面往返运动，且升降装置设置于滑台块730上。

上述的半导体湿法工艺浸泡槽抖动装置结构简单，能够实现对片盒取放机构的上下振动。

以上对本发明的具体结构进行了说明，下面说明其使用方式。

上述的该片盒取放机构在待机状态时，挡板处于远离框架的打开状态，此时便于往框架内摆放未反应的片盒或取出框架中振动反应后的片盒；当该片盒取放机构在工作状态时，升降装置驱动倾斜杆向下运动，此时倾斜杆驱动框架绕绕水平转轴转动从而使框架进入倾斜状态，且倾斜杆向下运动过程中还会推动滑块沿导杆朝向水平转轴运动，从而通过水平转动臂驱动竖直转轴转动，以使挡板处于覆盖框架的关闭状态，此时便于对框架内的片盒进行夹固限位，当片盒振动反应完成后，升降装置驱动倾斜杆向上运动，当该片盒取放机构复位成待机状态。该片盒取放机构具有结构简单、待机状态方便取放片盒、工作状态对片盒进行夹固限位牢固、使用过程高效便捷的优点。

上述的半导体湿法工艺浸泡槽抖动装置在使用时，首先通过片盒取放机构对放置在框架内的片盒进行倾斜夹固，然后在通过电动滑台及滑台块对片盒取放机构进行上下振动，待片盒振动完成后，片盒取放机构复位，且此时挡板处于远离框架的打开的状态，便于取出振动完成后的片盒。

以上对本发明的具体实施例的结构进行了说明，但是不限于此。

例如，在上述的片盒取放机构具体实施方式中，水平转动臂包括水平设置的挡板推杆、倾斜连接臂以及挡板转臂，挡板推杆的一端与滑块固定连接，倾斜连接臂的一端与挡板推杆的另一端铰接，倾斜连接臂的另一端与挡板转臂的一端铰接，挡板转臂的另一端与竖直转轴的上端固定连接。

但是不限于此，上述的水平转动臂也可省略上述的倾斜连接臂，将挡板推杆的另一端与挡板转臂通过移动副连接，例如在挡板转臂与挡板推杆连接的端部设置腰形孔，在挡板推杆与挡板转臂连接的端部设置一个装卡于腰形孔的卡头，当挡板推杆随滑块沿导杆移动时，卡头在腰形孔内移动，挡板转臂驱动竖直转轴转动，同样可实现滑块移动挡板同步转动的功能。

另外，在上述的片盒取放机构具体实施方式中，升降装置包括壁板和设置于壁板上的升降气缸，倾斜杆的上端穿过壁板后与升降气缸的活塞杆的自由端连接。

但是不限于此，升降装置也可不设置上述的升降气缸，改为设置成直线电机，同样不影响驱动倾斜杆升降运动的功能，但是按照具体实施方式的结构，设置上述的升降气缸，能达到安装方便、简化连接结构的有益效果。

另外，在上述的片盒取放机构具体实施方式中，在活塞杆的自由端还设有气缸连接板，且倾斜杆的上端与通过销轴与气缸连接板铰接。

但是不限于此，也可不设置上述的气缸连接板，将活塞杆与倾斜杆通过联轴器或一些其他连接件连接，同样可实现气缸与活塞杆的传动连接功能，但是按照具体实施方式的结构，设置上述的气缸连接板，能达到简化活塞杆与倾斜杆的连接传动方式、方便拆卸维护气缸或倾斜杆的有益效果。

另外，在上述的片盒取放机构具体实施方式中，片盒取放机构还具有升降套筒，倾斜杆设置于升降套筒的内部。

但是不限于此，也可不设置上述的升降套筒，改为设置一些其他杆组，能实现连接承重连接板的作用即可，但是按照具体实施方式的结构，设置上述的套设于倾斜杆外部的升降套筒，能达到增加倾斜杆耐弯折强度，提高倾斜杆使用寿命的有益效果。

另外，在上述的片盒取放机构具体实施方式中，片盒取放机构还具有压紧装置，压紧装置包括压板和沿竖直方向延伸的弹簧，压板水平设置于上框板和下框板之间，且支柱穿过压板与压板活动连接，在支柱的位于压板和上框板之间套设弹簧。

但是不限于此，上述的压紧装置也可设置为支柱螺母，在支柱周面上设置外螺纹，支柱螺母螺接套设于螺纹上，通过支柱螺母旋紧压合压板，以完成对片盒的夹压固定。

另外，在上述的片盒取放机构具体实施方式中，在导杆上还套设有直线轴承，且滑块通过直线轴承安装于导杆上。

但是不限于此，也可不设置上述的直线轴承，同样不影响滑块沿导杆移动的功能，但是按照具体实施方式的结构，在导杆上设置上述的直线轴承，能达到减小滑块沿导杆移动时的摩擦力、便于滑块在导杆上移动的有益效果。

另外，本发明的片盒取放机构，可由上述实施方式的各种结构组合而成，同样能够发挥上述的效果。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种片盒取放机构，应用于半导体湿法工艺浸泡槽抖动装置，其特征在于：

所述片盒取放机构包括连接板、框架、挡板以及驱动传动装置，

以所述连接板的板面为水平面，

所述框架包括水平设置于所述连接板的下方的上框板、水平设置于所述上框板的下方的下框板以及竖直固定于所述上框板和所述下框板之间的支柱；

所述上框板的一侧具有凹口，在所述凹口的内部铰接有沿水平面延伸的水平转轴，所述连接板与所述上框板之间通过连接柱连接，且所述连接柱的一端与所述水平转轴的周面固定连接，所述连接柱的另一端与所述连接板固定连接；

在所述上框板与所述下框板之间还铰接有沿竖直方向延伸的竖直转轴，所述挡板的一侧固定于所述竖直转轴的周面上；

所述驱动传动装置包括导杆、滑块、倾斜杆、水平转动臂以及能够驱动所述倾斜杆升降的升降装置；

所述导杆的两端分别通过固定板固定于所述上框板的上表面上；

所述滑块套设于所述导杆上，且所述滑块能够沿所述导杆滑动；

所述倾斜杆的下端穿过所述连接板后与所述滑块铰接；

所述水平转动臂的一端与所述滑块固定连接；所述竖直转轴的上端穿过所述上框板后与所述水平转动臂的另一端固定连接；

所述升降装置配置成能够驱动所述倾斜杆升降以带动所述滑块沿所述导杆滑动从而带动所述水平转动臂驱动所述竖直转轴转动进而使所述挡板转动。

2.根据权利要求1所述的片盒取放机构，其特征在于：

所述水平转动臂包括水平设置的挡板推杆、倾斜连接臂以及挡板转臂，

所述挡板推杆的一端与所述滑块固定连接，所述倾斜连接臂的一端与所述挡板推杆的另一端铰接，所述倾斜连接臂的另一端与所述挡板转臂的一端铰接，所述挡板转臂的另一端与所述竖直转轴的上端固定连接。

3.根据权利要求1所述的片盒取放机构，其特征在于：

所述升降装置包括壁板和设置于所述壁板上的升降气缸，所述倾斜杆的上端穿过所述壁板后与所述升降气缸的活塞杆的自由端连接。

4.根据权利要求3所述的片盒取放机构，其特征在于：

在所述活塞杆的自由端还设有气缸连接板，且所述倾斜杆的上端与通过销轴与所述气缸连接板铰接。

5.根据权利要求1所述的片盒取放机构，其特征在于：

所述片盒取放机构还具有升降套筒，所述倾斜杆设置于所述升降套筒的内部。

6.根据权利要求1所述的片盒取放机构，其特征在于：

所述片盒取放机构还具有压紧装置，所述压紧装置包括压板和沿竖直方向延伸的弹簧，

所述压板水平设置于所述上框板和所述下框板之间，

且所述支柱穿过所述压板与所述压板活动连接，在所述支柱的位于所述压板和所述上框板之间套设所述弹簧。

7.根据权利要求1所述的片盒取放机构，其特征在于：

以所述上框板的具有凹口的一侧为所述框架的前侧，所述竖直转轴能够带动所述挡板转动从而覆盖或远离所述框架的前表面。

8.根据权利要求1所述的片盒取放机构，其特征在于：

在所述导杆上还套设有直线轴承，且所述滑块通过所述直线轴承安装于所述导杆上。

9.一种半导体湿法工艺浸泡槽抖动装置，其特征在于：包括权利要求1-8中任一项所述的片盒取放机构。

10.根据权利要求9所述半导体湿法工艺浸泡槽抖动装置，其特征在于：所述半导体湿法工艺浸泡槽抖动装置还包括支座、电动滑台及滑台块，

所述电动滑台沿竖直方向设置于所述支座上，

所述滑台块设置于所述电动滑台的竖直滑动侧面上，所述滑台块配置成在所述电动滑台的驱动下能够沿所述电动滑台的竖直滑动侧面往返运动，且所述升降装置固定于所述滑台块上。

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