CN112750737A - 基片浸泡机构及基片浸泡装置 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种基片浸泡机构及基片浸泡装置，涉及半导体技术领域，包括：容纳构件，用于容纳基片；承载构件，与容纳构件连接于第一位置；施力构件，与容纳构件连接于第二位置；第一驱动组件，与施力构件连接，以驱动施力构件，施力构件被驱动以相对于承载构件运动时，容纳构件被施力构件驱动，而以第一位置为基准改变姿态。利用本申请提供的基片浸泡机构，使得在将容纳构件置于基片浸泡槽时，能够盖面容纳构件的姿态以更好的浸泡效果，还能够在基片浸泡结束后通过往复改变容纳构件姿态来将残留液体快速送回基片浸泡槽，提高基片转运效率并防止生产环境被污染。

Description

基片浸泡机构及基片浸泡装置

技术领域

本申请涉及半导体技术领域，尤其是涉及一种基片浸泡机构及基片浸泡装置。

背景技术

现有技术中，在半导体基片制造工艺过程中，为了提高生产效率并节约人工成本，期望将制造工艺过程自动化运行和管理，即采用全自动的设备，来至少实现基片全程清洗过程中，使用机械手抓取基片，进行基片的传输。

在基片清洗过程之前，通常需要对基片进行浸泡。例如，在基片进行清洗前，使用槽式清洗设备对基片进行浸泡。槽式清洗设备内容纳有液体，基片需要被置入到槽式清洗设备内的液体中，并在浸泡一段时间后，从槽式清洗设备内的液体中取出，随后进行清洗。

在基片进行上述浸泡过程时，为了确保基片的浸泡效果，通常需要调整浸泡的姿态来获取更好的浸泡效果，当前机械手难以满足这种要求。此外，当结束浸泡而将基片从上述液体中取出时，基片上难免残留液体，如果静待液体重新滴落回槽式清洗设备，将导致基片的转运效率降低；而如果直接利用机械手对刚从液体中取出的基片进行转运，则会导致大量液体飞溅到生产环境中，对生产环境造成污染。

发明内容

本申请的目的在于提供一种基片浸泡机构，以在基片的浸泡的过程中调整基片的姿态，并快速去除结束浸泡后的基片上残留的液体；

本申请的第二目的在于提供一种基片浸泡装置，包括如上诉搜狐的基片浸泡机构。

第一方面，本申请提供一种基片浸泡机构，所述基片浸泡机构包括：

容纳构件，用于容纳基片；

承载构件，与所述容纳构件连接于第一位置；

施力构件，与所述容纳构件连接于第二位置；

第一驱动组件，与所述施力构件连接，以驱动所述施力构件，所述施力构件被驱动以相对于所述承载构件运动时，所述容纳构件被所述施力构件驱动，而以所述第一位置为基准改变姿态。

优选地，所述施力构件的部分与所述承载构件彼此配合。

优选地，所述承载构件包括：

导向部，所述施力构件的部分设置于所述承载构件的内部；

连接部，与所述导向部连接，并与所述容纳构件连接于第一位置。

优选地，所述导向部形成为杆状，所述连接部的部分与所述导向部的轴向方向呈夹角设置。

优选地，所述基片浸泡机构还包括：

连接组件，所述第一驱动组件设置于所述连接组件，所述承载构件还与所述连接组件连接。

优选地，所述连接组件包括至少两个以可拆卸的方式连接的连接构件。

优选地，所述基片浸泡机构还包括：

第二驱动组件，所述连接组件设置于所述第二驱动组件，以被所述第二驱动组件驱动而升降。

优选地，所述容纳构件包括：

主体，形成有用于置入或者取出基片的开口；

限定构件，设置于所述开口，并用于限定所述基片，所述限定构件在于置入或者取出所述基片的方向上位置能够被调节。

优选地，所述承载构件与所述容纳构件铰接于或者柔性连接于第一位置；和/或

所述施力构件与所述容纳构件铰接于或者柔性连接于第二位置。

第二方面，本申请提供一种基片浸泡装置，所述基片浸泡装置包括如上所述的基片浸泡机构。

利用本申请提供的基片浸泡机构，施力构件被驱动以相对于承载构件运动时，容纳构件被施力构件驱动，而以第一位置为基准改变姿态。从而使得在将容纳构件置于基片浸泡槽时，能够盖面容纳构件的姿态以获取更好的浸泡效果，还能够在基片浸泡结束后通过往复改变容纳构件姿态来将残留液体快速送回基片浸泡槽，提高基片转运效率并防止生产环境被污染。

为使本申请的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。

图1示出了本申请实施例提供的基片浸泡装置的装配图的示意图；

图2示出了图1中部分结构的放大图的示意图。

附图标记：

1-基片浸泡槽；2-安装平台；3-第一加强部；4-立柱构件；5-电动滑台；6-第一连接构件；7-第二连接构件；8-固定座；9-第一中介板件；10-第二中介板件；11-电动直线传动装置；12-导向杆；13-第二加强部；14-承载杆件；15-多规格基片片盒架。

具体实施方式

下面将结合附图对本申请的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。

在本申请的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。

另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本申请要求的保护范围之内。

本实施例提供的基片浸泡机构包括立柱构件、电动滑台、第一连接构件、第二连接构件、固定座、第一中介板件、第二中介板件、电动直线传动装置、导向杆、第二加强部、承载杆件和多规格基片片盒架。以下将结合图1和图2对基片浸泡机的前述部件的结构和连接关系进行详细描述。

为了便于描述基片浸泡机构的具体工作原理，在以下的描述中，将引入容纳用于浸泡基片的液体的基片浸泡槽1以及设置基片浸泡槽1周围的安装平台2。

以下将首先对与上述基片浸泡槽1形成配合的一系列结构进行描述，这些结构包括已经在以上的描述中予以提及的电动直线传动装置11、导向杆12、承载杆件14和多规格基片片盒架15。如图1所示，在实施例中，基片浸泡槽1内容纳有用于浸泡基片的液体，待浸泡的基片可以由前述多规格基片片盒架15所容纳。多规格基片片盒架15可以容纳多种不同规格的基片，作为一种示例，多规格基片片盒架15包括框架主体以及多个用于对基片进行限定的杆构件。

虽然图1并未完全示出多规格基片片盒架15的全部结构，但仍然可以参见图1，多规格基片片盒架15包括彼此顺次连接的四个板件，如此四个板件可以优选形成为大致矩形的框架并具有两个彼此相对的开口。在实施例中，堆叠的基片可以经由前述两个开口中的任意一个置入到框架主体内，并可以经由前述两个开口中的任意一个从框架主体中取出。

进一步地，如图1所示，这里将呈堆叠状的多个基片定义为基片组，基片组形成为实质上的圆柱体形状，因此基片组具有轴向方向。进一步参见图1，为了对基片组进行限位，框架主体还具有如下设置。框架主体的在基片组的轴向方向上的两个板件均可以形成有凸缘结构，以其中一个板件为例，该板件在图1中被示出，以下将之定义为上板件。第一凸缘结构和第二凸缘结构分别设置于上板件的彼此相对的两个边部，这两个边部分别参与形成框架主体的两个开口。

同理，图1中未示出的与上述上板件相对设置的下板件也对应设置有第一凸缘结构和第二凸缘结构。上述柱构件设置于两个彼此相对的凸缘结构之间，即设置在彼此相对的两个第一凸缘结构之间以及第二凸缘结构之间。图1张示出了两根杆构件，它们并排设置在两个两个彼此相对第一凸缘结构之间，同理，在框架主体的未示出的一侧，在两个彼此相对的第二凸缘结构之间，也可以并排设置有两个杆构件。通过这四根杆构件，基片组在框架主体的两个开口方向上的两侧被有效限定。

作为一种选择，杆构件可以和与之对应的凸缘结构通过紧固件例如螺钉连接，例如杆构件的端部形成有内螺纹孔，而凸缘结构形成有通孔。在实施例中，通孔的数量可以为多个，从而在基片的规格改变时，位于两侧开口的杆构件的位置能够调节，以确保杆构件始终对基片组的侧部进行限定。

进一步参见图1，当多规格基片片盒架15容纳基片组浸没到基片浸泡槽1内的液体中时，液体能够经由上述的框架主体的开口对基片组进行浸泡。在此基础上，本实施例利用电动直线传动装置11、导向杆12和承载杆件14来对多规格基片片盒架15在基片浸泡槽1中的姿态进行调整，进而调整基片组在基片浸泡槽1中的液体中的姿态，以下将结合图1进行具体描述。

参见图1，承载杆件14包括导向部和连接部。导向部可以形成为杆状，并形成有沿着其轴向贯穿导向部的通道，通道的作用将在以下的描述中进行说明。在实施例中，导向部可以沿着竖直方向布置，即导向部的轴向方向沿着竖直方向延伸，基于这一设置方式，连接部可以理解为设置于导向部的下方，而导向部的上端被固定，即相对于安装平台2固定，例如导向部可以固定在下述第二连接构件7，这将在随后的描述中进行具体描述。

进一步地，连接部可以包括沿着水平方向或者大致沿着水平方向延伸的延伸部分以及铰接部分，其中，延伸部分的一端与导向部的下端连接，另一端与铰接部分连接。铰接部分可以被设置为沿着竖直方向或者大致竖直方向延伸，其末端可以铰接于多规格基片片盒架15的框架主体的上板件的第一铰接位置，这使得多规格基片片盒架15能够绕着第一铰接位置进行枢转。

在此基础上，以下将具体描述导向杆12的设置方式。仍然参见图1，上述承载构件的导向部的通道套设于导向杆12的外侧部，因此，可以理解的是，导向杆12的延伸方向与承载构件的导向部相同。其中，导向杆12的下端可以铰接于多规格基片片盒架15的框架主体的上板件的第二铰接位置。如图1所示，在实施例中，第二铰接位置可以位于上板件的中部，第一铰接位置可以位于上板件的边缘附近。

进一步地，电动直线传动装置11设置于多规格基片片盒架15的上方，其设置方式将在随后的描述中进行说明。电动直线传动装置11用于输出直线运动，在实施例中，电动直线传动装置11的输出端可以与上述导向杆12的上端连接。如此，当电动直线传动装置11的输出端向下运动时，导向杆12整体上在承载构件的导向部的通道内向下滑动，这将推动多规格基片片盒架15相对于第一铰接位置枢转，从而改变自身姿态；反之当电动直线传动装置11的输出端向上运动时，导向杆12向上运动，这一过程中，多规格基片片盒架15的姿态以相对于导向杆12向下运动时相反的方式被改变。

如此，能够满足基片在基片浸泡槽1以姿态可变的方式浸泡。当然，电动直线传动装置11、导向杆12和承载杆件14的作用并不仅限于此，它们还用于在基片浸泡结束之后，迅速去除残留在基片和多规格基片片盒架15上的液体，这一部分的作用将在随后的描述中具体说明，以下将首先描述电动直线传动装置11的选用以及电动传动装置的设置方式。

在实施例中，电动直线传动装置11可以形成为电动推杆，如此推杆的末端可以理解为上述输出端。此外，还需要说明的是，在一些未在附图中给出的示例中，导向杆12未与承载构件的导向部的通道配合，即通道并未套设在导向杆12的外侧部，这也就是说，导向杆12也可以是相对独立地与多规格基片片盒架15进行铰接，在这样的设置方式中，允许第二铰接位置和第一铰接位置之间具有更大的距离，这有利于增加多规格基片片盒架15的姿态调整范围。而相对地，图1给出的示例则具有明显地紧凑化优势，这是因为导向杆12和承载构件装配在了一起，并且导向杆12的大部分位于承载构件内部，此外，承载构件的导向部的通道具有对导向杆12进行导向的作用，尤其有利于下述去除残留在基片和多规格基片片盒架15上的液体的过程的实施，以下将进行具体说明。

参见图1，安装平台2上设置有沿着竖直方向延伸的立柱构件4，电动滑台5设置于立柱构件4。在此基础上，第一连接构件6设置于电动滑台5，结合图1和图2，虽然图2中并未标注第一连接构件6，但第一连接构件6的结构仍然被清楚地示出。尤其参见图2，第一连接构件6可以形成为角形构件，即包括彼此呈一定夹角的两个板件，在实施例中，为了确保第一连接构件6的稳定性，第一连接构件6的两个板件形成为90度夹角，并且二者之间设置有加强肋。

仍然参见图2，第一连接构件6的一个板件设置于电动滑台5，另一个板件沿着水平方向延伸，因此，在电动滑台5的驱动下，第一连接构件6能够沿着竖直方向运动。

仍然结合图1和图2，图2同样未标注第二连接构件，但清楚地示出了第二连接构件7的结构。具体而言，第二连接构件7可以形成为板构件，其一部分与第一连接构件6的呈水平延伸的板件以重叠的方式可拆卸地安装，并在整体上沿着水平方向延伸。

在此基础上，在第二连接构件7的上端面还设置有固定座8，固定座8的形状可以与第一连接构件6的结构相同，即包括两块彼此垂直的板件以及连接它们的加强肋，其中的一块板件与第二连接构件7的上端面可拆卸地连接，其中另一块板件与第一中介板件9连接，这在图2中被尤其示出。具体地，第一中介板件9也可以形成为角形构件，其一块板件与上述电动推杆连接，另一块板件与固定座8连接，这也就是说，电动推杆经由第一中介板件9可拆卸地安装于固定座8，进而安装于第二连接板件的上端面。

进一步地，仍然参见图2，导向杆12的上端经由第二中介板件10安装于电动推杆的输出端，作为一种示例，导向杆12的末端开设有垂直于其轴向的通孔，第二中介板件10形成有与该通孔对应的通孔，导向杆12与第二中介板件10利用销轴装配在一起，如此能够实现导向杆12和第二中介板件10的快速拆装。还需要说明的是，以上各个可拆卸连接的目的也在于便于拆装。

由此，当电动滑台5驱动第一连接构件6升降时，第二连接构件7、固定座8、第一中介板件9、第二中介板件10、电动直线传动装置11(电动推杆)、导向杆12、承载构件和多规格基片片盒架15均同步升降，通过这种升降运动，多规格基片片盒架15能够实现浸没在基片浸泡槽1以及从基片浸泡槽1取出的目的。而在多规格基片片盒架15从基片浸泡槽1取出后，由于多规格基片片盒架15和基片组均残留有液体，这时利用电动直线传动装置11驱动导向杆12反复升降，使得多规格基片片盒架15往复摆转，能够有效将残留的液体甩回基片浸泡槽1，进而加快了液体清理的时间，提高了转运效率，还避免了残留液体在转运过程中大量飞溅而污染生产环境的情况出现。

在“抖动”多规格基片片盒架15的过程中，多规格基片片盒架15和基片的惯性将可能导致导向杆12不稳定，但这种不稳定很大程度上因为承载构件对导向杆12的限定而消除了。此外，考虑到进一步提高基片浸泡机构的稳定性，第二连接构件7的下端面沿着其延伸方向设置有条形的第二加强部13。同样处于稳定性考量，下述安装平台2的下方的与第二连接构件7的延伸方向相同的两个边部也分别设置有两个条形的第一加强部3。

本实施例还提供一种基片浸泡装置，包括如上所述的基片浸泡机构、基片浸泡槽1和安装平台2，也包括如上有益效果，在此不再赘述。

以上所述仅为本申请的优选实施例，并非因此限制本申请的保护范围，凡是在本申请的创新构思下，利用本申请说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本申请的保护范围内。

Claims (10)

1.一种基片浸泡机构，其特征在于，所述基片浸泡机构包括：

容纳构件，用于容纳基片；

承载构件，与所述容纳构件连接于第一位置；

施力构件，与所述容纳构件连接于第二位置；

第一驱动组件，与所述施力构件连接，以驱动所述施力构件，所述施力构件被驱动以相对于所述承载构件运动时，所述容纳构件被所述施力构件驱动，而以所述第一位置为基准改变姿态。

2.根据权利要求1所述的基片浸泡机构，其特征在于，所述施力构件的部分与所述承载构件彼此配合。

3.根据权利要求2所述的基片浸泡机构，其特征在于，所述承载构件包括：

导向部，所述施力构件的部分设置于所述承载构件的内部；

连接部，与所述导向部连接，并与所述容纳构件连接于第一位置。

4.根据权利要求3所述的基片浸泡机构，其特征在于，

所述导向部形成为杆状，所述连接部的部分与所述导向部的轴向方向呈夹角设置。

5.根据权利要求1所述的基片浸泡机构，其特征在于，所述基片浸泡机构还包括：

连接组件，所述第一驱动组件设置于所述连接组件，所述承载构件还与所述连接组件连接。

6.根据权利要求5所述的基片浸泡机构，其特征在于，所述连接组件包括至少两个以可拆卸的方式连接的连接构件。

7.根据权利要求5所述的基片浸泡机构，其特征在于，所述基片浸泡机构还包括：

第二驱动组件，所述连接组件设置于所述第二驱动组件，以被所述第二驱动组件驱动而升降。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的基片浸泡机构，其特征在于，所述容纳构件包括：

主体，形成有用于置入或者取出基片的开口；

限定构件，设置于所述开口，并用于限定所述基片，所述限定构件在于置入或者取出所述基片的方向上位置能够被调节。

9.根据权利要求1至7中任一项所述的基片浸泡机构，其特征在于，所述承载构件与所述容纳构件铰接于或者柔性连接于第一位置；和/或

所述施力构件与所述容纳构件铰接于或者柔性连接于第二位置。

10.一种基片浸泡装置，其特征在于，所述基片浸泡装置包括如权利要求1至9中任一项所述的基片浸泡机构。

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