KR101657595B1 - 덮개 개폐 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 덮개 개폐 장치(1)는, 장치 본체(2)와, 자물쇠 개폐 기구(30)와, 용기 고정부(80)를 구비한다. 장치 본체에는, 용기 본체(71)와, 용기 본체에 대해 개폐 가능한 바닥부를 이루는 덮개부(72)와, 용기 본체에 대한 덮개부의 자물쇠 개방 및 자물쇠 폐쇄를 행하는 자물쇠 기구(74)를 구비하는 포드(pod; 70)가 재치(載置)된다. 자물쇠 개폐 기구는, 장치 본체에 포드가 재치되었을 때에 상기 자물쇠 기구에 걸림결합하는 걸림결합부(35)를 이동시킴으로써, 상기 자물쇠 기구로 하여금 자물쇠를 열게 하기 위한 자물쇠 개방(開錠)동작, 및 상기 자물쇠 기구로 하여금 자물쇠를 잠그게 하기 위한 자물쇠 폐쇄(施錠)동작을 행한다. 용기 고정부는, 자물쇠 기구로 하여금 자물쇠를 열게 하는 경우에, 자물쇠 개폐 기구와 연동하여, 용기 본체를 장치 본체에 고정시킨다.

Description

덮개 개폐 장치{LID-OPENING/CLOSING DEVICE}
본 발명은, 피(被)수납물을 수납하는 수납 용기에 대해, 용기 본체에 대한 덮개부의 개폐를 행하는 덮개 개폐 장치에 관한 것이다.
반도체 장치 또는 액정 표시 장치 등의 제조 공장의 클린 룸(clean room)에 있어서는, 반도체 웨이퍼 또는 유리 기판 등이 수납 용기에 수납된 상태로 반송된다. 이 때문에, 수납 용기와 각종 장치의 사이에서 피수납물을 이재(移載)할 때에는, 덮개 개폐 장치를 이용하여, 용기 본체에 대한 덮개부의 개폐를 행할 필요가 있다. 종래, 용기 본체에 대한 덮개부의 개폐를 신속히 행하기 위하여, 수납 용기의 내외의 압력 차를 평형(平衡)으로 하는 압력 평형 기구를 덮개 개폐 장치에 설치하는 등, 여러 가지 기술이 제안되고 있다(예컨대, 특허 문헌 1 참조).
일본 특허 공보 제3180600호
상술한 반도체 장치 또는 액정 표시 장치 등의 제조 공장에서는, 각종 부품의 반송 효율의 향상이 엄격히 요구된다. 이 때문에, 반송 효율을 향상시키기 위해서도, 덮개부를 용기 본체에 부착할 때에, 용기 본체의 부상(浮上) 및 위치 어긋남을 방지하여, 적확(的確)하게 덮개부를 부착할 것이 요구되고 있다.
이에, 본 발명은, 용기 본체에 덮개부를 적확하게 부착할 수 있는 덮개 개폐 장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 일 측면의 덮개 개폐 장치는, 피수납물을 수납하는 용기 본체와, 용기 본체에 대해 개폐 가능한 바닥부를 이루며, 피수납물이 재치(載置)되는 덮개부와, 용기 본체에 대한 덮개부의 자물쇠 개방(開錠) 및 자물쇠 폐쇄(施錠)를 행하는 자물쇠 기구를 구비하는 수납 용기에 대하여, 용기 본체에 대한 덮개부의 개폐를 행하는 덮개 개폐 장치로서, 수납 용기가 재치되는 장치 본체와, 장치 본체에 수납 용기가 재치되었을 때에 자물쇠 기구에 걸림결합하는 걸림결합부를 가지며, 걸림결합부를 이동시킴으로써, 자물쇠 기구로 하여금 자물쇠를 열게 하기 위한 자물쇠 개방동작, 및 자물쇠 기구로 하여금 자물쇠를 잠그게 하기 위한 자물쇠 폐쇄동작을 행하는 이동부와, 자물쇠 기구로 하여금 자물쇠를 열게 하는 경우에는, 이동부와 연동하여, 용기 본체를 장치 본체에 고정시키는 용기 고정부를 구비한다.
상기 덮개 개폐 장치에서는, 이동부를 이동시켜 자물쇠 기구로 하여금 자물쇠를 열게 하는 경우, 이동부와 연동하여 용기 고정부가 용기 본체를 장치 본체에 고정한다. 이와 같이, 자물쇠 기구의 자물쇠 개방동작과 연동하여 용기 본체가 장치 본체에 고정되기 때문에, 예컨대, 자물쇠 기구가 자물쇠 개방상태일 때에 덮개부를 부착하는 경우라 하더라도, 용기 본체의 부상(浮上) 및 덮개부의 위치 어긋남 등이 발생하는 것을 억제할 수가 있다. 따라서, 본 덮개 개폐 장치에 의하면, 용기 본체에 덮개부를 적확하게 부착할 수가 있다.
여기서, 이동부는, 걸림결합부를 갖는 동시에, 장치 본체에 회동 가능하게 지지되어 걸림결합부를 이동시키는 복수의 회동부재와, 적어도 한 쌍의 회동부재를 연결하여 상기 회동부재를 회동시키는 연결부재와, 장치 본체에 부착되어, 연결부재에 구동력을 부여하는 액추에이터를 더 구비하며, 용기 고정부는, 연결부재의 이동에 연동하는 것이 바람직하다. 이러한 구성에 의하면, 연결부재를 이용하여 적어도 한 쌍의 회동부재를 연결함으로써, 상기 한 쌍의 회동부재에 설치된 걸림결합부를 같은 타이밍으로 동작시킬 수가 있다. 이로써, 복수의 회동부재의 걸림결합부에 대응하여 설치된 복수의 자물쇠 기구의 자물쇠 개방동작 및 자물쇠 폐쇄동작을 일제히 행할 수 있다. 따라서, 복수의 자물쇠 기구의 자물쇠 개방동작 및 자물쇠 폐쇄동작에 편차가 생겨, 예컨대, 용기 본체의 부상 및 덮개부의 위치 어긋남 등이 발생하는 것을 억제할 수가 있다. 따라서, 상기 덮개 개폐 장치에 의하면, 용기 본체에 덮개부를 보다 적확하게 부착할 수가 있다.
용기 고정부는, 용기 본체를 가압하는 가압부재와, 가압부재를 용기 본체를 향해 가세(付勢)하는 바이어스(bias) 부재를 가지며, 이동부는, 자물쇠 폐쇄동작을 행할 때에는 바이어스 부재의 가세력(付勢力)에 대항하는 방향으로 가압부재를 용기 본체로부터 이격시키고, 자물쇠 개방동작을 행할 때에는 바이어스 부재에 의한 가압부재의 가세를 허용하도록 동작하는, 연동 부재를 더 갖는 것이 바람직하다. 이러한 구성에 의하면, 용기 본체의 고정시에는, 바이어스 부재의 가세력을 이용하여 가압부재를 용기 본체에 밀어붙일 수 있으므로, 용기 본체를 고정하기 위한 특별한 액추에이터 등이 불필요해져, 장치 구성을 간이한 것으로 할 수가 있다.
용기 고정부는, 기단(基端) 측이 장치 본체에 회동 가능하게 지지되며 선단 측이 이동 가능하게 된 레버부를 더 구비하며, 가압부재는, 용기 본체와 탄성적으로 맞닿을 수 있는 탄성 롤러로서, 레버부의 선단 측에 회동 가능하게 부착되고, 바이어스 부재는, 레버부의 선단 측을 가세하는(힘을 가하는) 스프링이며, 연동 부재는, 연결부재의 이동에 수반하여 레버부와 맞닿음 및 이격이 가능한 상기 연결부재상의 위치에 고정되어, 레버 부재를 회동시키는 캠 종동자(cam follower)인 것이 바람직하다. 이러한 구성에 의하면, 용기 고정부를 회동 가능한 레버부로 하고, 캠 종동자에 의해 레버부를 회동시킴으로써, 용기 본체에 대한 탄성 롤러에 의한 가압동작 및 가압의 해제 동작을 이동부의 이동과 연동시킬 수가 있다. 이로써, 레버부를 회동시키기 위한 전용(專用)의 액추에이터 등이 불필요해져, 장치 구성을 간이한 것으로 할 수가 있으며, 전력의 절약화를 도모할 수가 있다.
본 발명의 일 측면에 의하면, 용기 본체에 덮개부를 적확하게 부착할 수 있는 덮개 개폐 장치를 제공할 수 있게 된다.
도 1은 본 발명의 일 실시형태의 덮개 개폐 장치를 구비하는 스토커(stocker)의 정면도이다.
도 2는 도 1의 II－II선을 따른 스토커의 단면도이다.
도 3은 도 1의 III－III선을 따른 스토커의 단면도이다.
도 4는 본 발명의 일 실시형태의 덮개 개폐 장치의 종단면도이다.
도 5는 도 4의 덮개 개폐 장치의 평면도이다.
도 6은 다른 상태에서의 도 4의 덮개 개폐 장치의 종단면도이다.
도 7은 도 4의 덮개 개폐 장치에 의해 덮개부가 개폐되는 포드(pod)의 저면도이다.
도 8은 도 7의 포드의 자물쇠 기구의 확대도이다.
도 9는 도 4의 IX－IX선을 따른 덮개 개폐 장치의 단면도이다.
도 10은 용기 고정부 주위의 확대 단면도이다.
도 11은 도 9에 있어서의 XI－XI선을 따른 단면도이다.
도 12는 도 9에 있어서의 XII－XII선을 따른 단면도이다.
도 13은 다른 상태에서의 도 9의 덮개 개폐 장치의 단면도이다.
이하, 본 발명의 일 실시 형태에 대해, 도면을 참조하여 상세하게 설명한다. 또한 각 도면에 있어서 동일 또는 상당 부분에는 동일 부호를 사용하고, 중복되는 설명은 생략한다.
［스토커의 구성］
도 1은, 본 발명의 일 실시형태의 덮개 개폐 장치를 구비하는 스토커의 정면도이다. 도 2는, 도 1의 II－II선을 따른 스토커의 단면도이며, 도 3은, 도 1의 III－III선을 따른 스토커의 단면도이다. 도 1~도 3에 나타내는 바와 같이, 스토커(50)는, 레티클용 회전선반(51)과, 포드용 회전선반(52)을 구비하고 있다. 레티클용 회전선반(51)은, 반도체 웨이퍼 또는 유리 기판 등의 표면에 소정의 패턴을 노광할 때에 사용되는 직사각형 판형상의 레티클(R)을 복수개 보관한다. 포드용 회전선반(52)은, 레티클(R)을 수납하여 반송하기 위한 포드(70)를 빈 상태로 복수개 보관한다. 또한, 레티클(R)을 보관하기 위한 포드(70)는, 전형적으로는, 반도체 등의 국제 규격인 SEMI 규격을 따른 구성을 가지고 있다. 이러한 스토커(50)는, 반도체 장치 또는 액정 표시 장치 등의 제조 공장의 클린 룸에 설치된다.
레티클용 회전선반(51)은, 구동부(53)에 의해 축선(CL) 주위를 회전하게 된다. 레티클용 회전선반(51)은, 그 회전 방향을 따라 병설(竝設)된 복수의 블록(51a)을 가지고 있다. 각 블록(51a)은, 레티클(R)을 상하 복수 단(段)에 보관할 수 있게 되어 있다. 포드용 회전선반(52)은, 레티클용 회전선반(51)의 하측에 있어서, 구동부(54)에 의해 축선(CL) 주위를 회전하게 된다. 포드용 회전선반(52)은, 그 회전 방향을 따라 복수의 포드(70)를 보관할 수 있게 되어 있다.
스토커(50)는, 또한, 레티클 반송 장치(55)와, 포드 반송 장치(56)와, 덮개 개폐 장치(1)를 구비하고 있다. 레티클 반송 장치(55)는, 승강 가이드(57)를 따라 승강하는 로봇 아암으로서, 덮개 개폐 장치(1)와 레티클용 회전선반(51)의 사이에서 레티클(R)을 반송한다. 포드 반송 장치(56)는, 승강 가이드(58)를 따라 승강하는 로봇 아암으로서, 덮개 개폐 장치(1)와 포드용 회전선반(52)의 사이에서 빈 포드(70)를 반송한다. 덮개 개폐 장치(1)는, 포드 오프너(pod opener)라 불리는 장치로서, 포드(70)의 개폐를 행한다. 덮개 개폐 장치(1)의 근방에는, 레티클(R)을 수납한 포드(70) 및 빈 포드(70)를 일시에 보관하는 포드용 고정선반(59)이 설치되어 있다.
상술한 회전선반(51, 52), 구동부(53, 54), 반송 장치(55, 56), 고정선반(59) 및 덮개 개폐 장치(1)는, 케이싱(61) 내에 배치되어 있다. 케이싱(61)에는, 예컨대 천정 주행차가 액세스할 수 있는 포트(62, 63)가 설치되어 있다. 레티클(R)을 수납한 포드(70)는, 포트(62)를 통해 케이싱(61) 내에 입고(入庫)된다. 한편, 레티클(R)을 수납한 포드(70)는, 포트(63)를 통해 케이싱(61) 밖으로 출고(出庫)된다.
케이싱(61)의 상벽에는, 클린 가스 공급 장치(64)가 설치되어 있다. 클린 가스 공급 장치(64)는, 예컨대 클린 에어 또는 질소 등의 클린 가스를 다운 플로우로 하여 케이싱(61) 내에 공급한다. 케이싱(61) 내에 공급된 클린 가스는, 케이싱(61)의 하부로부터 케이싱(61) 밖으로 배기된다.
여기서, 레티클(R)을 수납한 포드(70)가 입고되는 경우의 스토커(50)의 동작에 대해 설명한다. 예컨대 천정 주행차에 의해 포트(62)에 포드(70)가 반송되면, 상기 포드(70)는, 포드 반송 장치(56)에 의해 덮개 개폐 장치(1)로 반송된다. 포드(70)가 덮개 개폐 장치(1)로 반송되면, 상기 포드(70)에 수납되어 있던 레티클(R)은, 레티클 반송 장치(55)에 의해 레티클용 회전선반(51)에 저장(格納)된다. 그 한편으로, 덮개 개폐 장치(1)에 남겨진 빈 포드(70)는, 포드 반송 장치(56)에 의해 포드용 회전선반(52)에 저장된다. 또한, 다수의 포드(70)가 연속하여 케이싱(61) 내에 입고되는 것과 같은 경우에는, 포드(70)는, 포드용 고정선반(59)에 일시 보관되어, 덮개 개폐 장치(1)에 순차적으로 반송된다.
다음으로, 레티클(R)을 수납한 포드(70)가 출고되는 경우의 스토커(50)의 동작에 대해 설명한다. 레티클 반송 장치(55)에 의해 레티클용 회전선반(51)으로부터 덮개 개폐 장치(1)로 레티클(R)이 반송되면, 상기 레티클(R)은, 포드 반송 장치(56)에 의해 포드용 회전선반(52)으로부터 덮개 개폐 장치(1)로 반송된 빈 포드(70)에 수납된다. 레티클(R)이 수납된 포드(70)는, 포드 반송 장치(56)에 의해 덮개 개폐 장치(1)로부터 포트(63)로 반송되며, 예컨대 천정 주행차에 의해 포트(63)로부터 소정의 반송처(搬送處)로 반송된다. 또한, 다수의 포드(70)가 연속하여 케이싱(61) 밖으로 출고되는 것과 같은 경우에는, 포드(70)는, 포드용 고정선반(59)에 일시 보관되어, 포트(63)에 순차적으로 반송된다.
［덮개 개폐 장치의 구성］
도 4는, 본 발명의 일 실시형태의 덮개 개폐 장치의 종단면도이고, 도 5는, 도 4의 덮개 개폐 장치의 평면도이다. 또한, 이하의 설명에 있어서는, 덮개 개폐 장치(1)에 대해 레티클(R)이 도입/도출되는 쪽을 「앞쪽」이라 하고, 그 반대쪽을 「뒤쪽」이라 한다. 정립(正立) 상태에 있는 덮개 개폐 장치(1)를 앞쪽에서 본 경우에 있어서의 왼쪽을 단순히 「왼쪽」이라 하고, 정립 상태에 있는 덮개 개폐 장치(1)를 앞쪽에서 본 경우에 있어서의 오른쪽을 단순히 「오른쪽」이라 한다.
도 4 및 5에 나타내는 바와 같이, 덮개 개폐 장치(1)는, 직방체(直方體) 박스형상의 장치 본체(2)를 구비하고 있다. 장치 본체(2)는, 상벽(3), 하벽(4), 측벽(5) 및 격벽(隔壁)(6)을 가지고 있다. 장치 본체(2)의 내부 공간은, 격벽(6)에 의해, 레티클 도입/도출 영역(2a)과 기기 설치 영역(2b)으로 상하로 분리되어 있다. 단, 레티클 도입/도출 영역(2a)과 기기 설치 영역(2b)은, 격벽(6)의 왼쪽의 영역 및 오른쪽의 영역에 있어서 연통(連通)되어 있다. 상벽(3)에는, 단면(斷面)이 직사각형 형상인 오목부(3a)가 형성되어 있으며, 오목부(3a)의 바닥면에는, 단면이 직사각형 형상인 개구(3b)가 형성되어 있다. 오목부(3a)의 바닥면은, 포드 반송 장치(56)에 의해 반송된 포드(수납 용기; 70)가 재치(載置)되는 재치면(10)으로 되어 있다. 또한, 포드(70)는, 레티클(피수납물; R)을 수납하는 직방체 박스형상의 용기 본체(71)와, 레티클(R)이 재치되는 직사각형 판형상의 덮개부(72)를 구비하고 있다. 덮개부(72)는, 용기 본체(71)에 대해 개폐가 가능한 바닥부를 이루고 있다. 용기 본체(71)의 정상부(頂部)에는, 포드 반송 장치(56)에 의해 파지(把持)되는 피(被)파지부(73)가 설치되어 있다. 덮개 개폐 장치(1)는, 레티클(R)을 수납하는 포드(70)에 대해, 용기 본체(71)에 대한 덮개부(72)의 개폐를 행하는 장치이다.
장치 본체(2) 내에는, 레티클 도입/도출 영역(2a)에 있어서 승강하는 승강대(7)가 배치되어 있다. 승강대(7)는, 직사각형 판형상의 본체부(8)와, 본체부(8)의 하단부에 설치된 직사각형 판형상의 플랜지부(9)를 가지고 있다. 승강대(7)의 상승시에는, 본체부(8)는 개구(3b) 내에 배치되고, 플랜지부(9)는 상벽(3)의 내면에 맞닿는다. 이 때, 상벽(3)의 개구(3b)는, 플랜지부(9)에 설치된 직사각형 링형상의 시일 부재(11)에 의해 기밀(氣密)하게 폐쇄되며, 본체부(8)의 상면(8a)은, 재치면(10)(즉, 오목부(3a)의 바닥면)과 면 일치(단차가 없는 상태)된다.
장치 본체(2) 내에는, 승강대(7)를 승강시키는 에어 실린더(12)가 배치되어 있다. 에어 실린더(12)는, 하벽(4)의 내면에 고정된 실린더부(12a)와, 기단부가 실린더부(12a) 내에 삽입된 로드부(12b)를 가지고 있다. 로드부(12b)의 선단부는, 격벽(6)의 중앙 부분에 형성된 단면이 직사각형 형상인 개구(6a)를 통해, 승강대(7)의 하면에 고정되어 있다. 또한, 장치 본체(2) 내의 기기 설치 영역(2b)에는, 에어 실린더(12)에 대한 가스의 도입/도출을 조절하기 위한 전자 밸브 등, 각종 기기가 설치되어 있다. 승강대(7)를 승강시키기 위하여, 복수의 에어 실린더를 이용하여도 무방하고, 에어 실린더 대신에 다른 액추에이터를 이용하여도 무방하다.
장치 본체(2)의 앞쪽의 측벽(5)에는, 외부와 장치 본체(2) 내의 레티클 도입/도출 영역(2a)을 연통하는 단면이 직사각형 형상인 레티클 도입/도출구(導出入口; 5a)가 형성되어 있다. 레티클 도입/도출구(5a)는, 에어 실린더 등의 액추에이터에 의해 동작되는 폐쇄판(14)에 의해 안쪽으로부터 개폐된다. 폐쇄판(14)에 의한 레티클 도입/도출구(5a)의 폐쇄시에는, 레티클 도입/도출구(5a)는, 폐쇄판(14)에 설치된 직사각형 링형상의 시일 부재(15)에 의해 기밀(氣密)하게 폐쇄된다.
여기서, 레티클(R)을 수납한 포드(70)가 입고되는 경우의 덮개 개폐 장치(1)의 동작에 대해 설명한다. 도 4에 나타내는 바와 같이, 덮개 개폐 장치(1)는, 상벽(3)의 개구(3b)가 승강대(7)에 의해 기밀하게 폐쇄되고, 또한 레티클 도입/도출구(5a)가 폐쇄판(14)에 의해 기밀하게 폐쇄된 상태로, 대기한다. 이 상태에 있어서, 포드 반송 장치(56)에 의해 포트(62)로부터 덮개 개폐 장치(1)로 반송된 포드(70)가, 덮개 개폐 장치(1)의 재치면(10)에 재치되면, 해당 포드(70)의 자물쇠 기구는, 덮개 개폐 장치(1)에 의해 자물쇠 개방상태가 된다(상세에 대해서는 후술함).
계속해서, 도 6에 나타내는 바와 같이, 레티클(R)이 재치된 덮개부(72)와 함께 승강대(7)가 하강하여, 레티클 도입/도출 영역(2a)에 레티클(R)이 배치된다. 폐쇄판(14)이 동작하여 레티클 도입/도출구(5a)가 개방되면, 레티클 반송 장치(55)가 레티클 도입/도출구(5a)를 통해 레티클 도입/도출 영역(2a)에 액세스하여, 레티클 도입/도출 영역(2a)에 배치된 레티클(R)이 레티클용 회전선반(51)에 저장된다.
계속해서, 폐쇄판(14)이 동작하여 레티클 도입/도출구(5a)가 폐쇄판(14)에 의해 기밀하게 폐쇄되는 동시에, 덮개부(72)와 함께 승강대(7)가 상승하여 상벽(3)의 개구(3b)가 승강대(7)에 의해 기밀하게 폐쇄되면, 덮개 개폐 장치(1)의 재치면(10)에 재치된 빈 포드(70)의 자물쇠 기구는, 덮개 개폐 장치(1)에 의해 자물쇠 폐쇄상태가 된다(상세한 내용은 후술함). 자물쇠 기구가 자물쇠 폐쇄상태가 된 빈 포드(70)는, 포드 반송 장치(56)에 의해 포드용 회전선반(52)에 저장된다.
다음으로, 레티클(R)을 수납한 포드(70)가 출고되는 경우의 스토커(50)의 동작에 대해 설명한다. 도 4에 나타내는 바와 같이, 덮개 개폐 장치(1)는, 상벽(3)의 개구(3b)가 승강대(7)에 의해 기밀하게 폐쇄되고, 또한 레티클 도입/도출구(5a)가 폐쇄판(14)에 의해 기밀하게 폐쇄된 상태로, 대기한다. 이 상태에 있어서, 포드 반송 장치(56)에 의해 포드용 회전선반(52)으로부터 덮개 개폐 장치(1)로 반송된 빈 포드(70)가, 덮개 개폐 장치(1)의 재치면(10)에 재치되면, 해당 포드의 자물쇠 기구는, 덮개 개폐 장치(1)에 의해 자물쇠 개방상태가 된다(상세한 내용은 후술함).
계속해서, 도 6에 나타내는 바와 같이, 덮개부(72)와 함께 승강대(7)가 하강하여, 레티클 도입/도출 영역(2a)에 덮개부(72)가 배치된다. 폐쇄판(14)이 동작하여 레티클 도입/도출구(5a)가 개방되면, 레티클용 회전선반(51)으로부터 레티클(R)을 반송해 온 레티클 반송 장치(55)가 레티클 도입/도출구(5a)를 통해 레티클 도입/도출 영역(2a)에 액세스하여, 레티클 도입/도출 영역(2a)에 배치되고 덮개부(72)에 레티클(R)이 재치된다.
계속해서, 폐쇄판(14)이 동작하여 레티클 도입/도출구(5a)가 폐쇄판(14)에 의해 기밀하게 폐쇄되는 동시에, 레티클(R)이 재치된 덮개부(72)와 함께 승강대(7)가 상승하여 상벽(3)의 개구(3b)가 승강대(7)에 의해 기밀하게 폐쇄되면, 덮개 개폐 장치(1)의 재치면(10)에 재치된 포드(70)의 자물쇠 기구는, 덮개 개폐 장치(1)에 의해 자물쇠 폐쇄상태가 된다(상세한 내용은 후술함). 자물쇠 기구가 자물쇠 폐쇄상태가 된 포드(70)는, 포드 반송 장치(56)에 의해 포트(62)로 반송된다.
［덮개 개폐 장치의 자물쇠 개폐 기구의 구성］
덮개 개폐 장치(1)의 자물쇠 개폐 기구의 설명에 앞서, 포드(70)의 자물쇠 기구에 대해 설명한다. 도 7은, 도 4의 덮개 개폐 장치에 의해 덮개부가 개폐되는 포드의 저면도이고, 도 8은, 도 7의 포드의 자물쇠 기구의 확대도이다. 도 7에 나타내는 바와 같이, 포드(70)에 있어서는, 용기 본체(71)의 바닥부에 복수의 자물쇠 기구(74)가 설치되어 있다. 보다 구체적으로는, 자물쇠 기구(74)는, 용기 본체(71)의 앞쪽 측벽의 바닥부에 한 쌍이 위치하고, 또한 용기 본체(71)의 뒤쪽 측벽의 바닥부에 한 쌍이 위치하도록, 용기 본체(71)의 바닥부에 복수로 설치되어 있다. 자물쇠 기구(74)는, 용기 본체(71)에 대한 덮개부(72)의 자물쇠 폐쇄 및 자물쇠 개방을 행한다.
도 8에 나타내는 바와 같이, 각 자물쇠 기구(74)는, 아암(75)과, 압축 스프링 등의 바이어스(付勢, bias) 부재(76)를 가지고 있다. 아암(75)의 기단부는, 축(77)에 의해 용기 본체(71)의 바닥부에 회동 가능하게 축 지지되어 있다. 한편, 아암(75)의 선단부에는, 걸림결합부(78)가 설치되어 있다. 걸림결합부(78)는, 덮개부(72)에 형성된 절결부(72a)에 걸림결합한다. 절결부(72a)는, 각 자물쇠 기구(74)의 걸림결합부(78)에 대응하도록 덮개부(72)에 복수로 형성되어 있으며, 대응하는 걸림결합부(78)측 및 하측으로 개구되어 있다. 또한, 걸림결합부(78)에는, 하측으로 개구하는 긴 구멍형상의 오목부(78a)가 형성되어 있다. 상기 오목부(78a)에는, 후술하는 덮개 개폐 장치(1)의 걸림결합부(35A~35D)가 걸림결합한다.
바이어스 부재(76)는, 용기 본체(71)와 아암(75)의 사이에 배치되어 있으며, 걸림결합부(78)가 절결부(72a)에 걸림결합하도록 아암(75)을 가세(付勢)한다. 이로써, 덮개 개폐 장치(1)에 대해 포드(70)가 반송되는 경우에는, 걸림결합부(78)가 절결부(72a)에 걸림결합되어, 자물쇠 기구(74)가 자물쇠 폐쇄상태가 된다(도 8의 (a) 참조). 한편, 용기 본체(71)에 대해 덮개부(72)가 탈부착되는 경우에는, 걸림결합부(78)가 절결부(72a)로부터 떼어져, 자물쇠 기구(74)가 자물쇠 개방상태가 된다(도 8의 (b) 참조). 이와 같이 하여, 자물쇠 기구(74)는, 용기 본체(71)에 대한 덮개부(72)의 자물쇠 폐쇄 및 자물쇠 개방을 행한다. 또한, 이상의 자물쇠 기구(74)의 구성은, 일례이며, SEMI 규격 등에 따른 구성을 갖고 있는 포드에 있어서, 용기 본체(71)에 대한 덮개부(72)의 자물쇠 폐쇄 및 자물쇠 개방을 행할 수 있는 것이라면, 다른 구성이어도 무방하다.
다음으로, 덮개 개폐 장치(1)의 자물쇠 개폐 기구에 대해 설명한다. 도 9는, 도 4의 IX－IX선을 따른 덮개 개폐 장치의 단면도이다. 도 9에 나타내는 바와 같이, 자물쇠 개폐 기구(이동부; 30)는, 상벽(3)에 형성된 오목부(3c) 내에 배치되어 있다. 오목부(3c)는, 개구(3b)의 주위 부분에 있어서, 앞쪽 부분으로부터 오른쪽 부분을 통해 뒤쪽 부분에 걸치도록, 연장되어 있다.
자물쇠 개폐 기구(30)는, 판 형상의 제 1 회동부재(34A, 34B, 34C, 34D)와, 래치 핀(latch pin) 등의 걸림결합부(35A, 35B, 35C, 35D)와, 판 형상의 제 1 연결부재(37A, 37B)와, 판 형상으로 형성된 한 쌍의 제 2 회동부재(38)와, 판 형상의 제 2 연결부재(39)와, 에어 실린더(액추에이터; 33)를 가지고 있다. 제 1 회동부재(34A~34D)는, 각각 베어링(36)에 의해 오목부(3c)의 바닥면에 회동 가능하게 지지되어 있다. 제 1 회동부재(34A~34D)는, 덮개 개폐 장치(1)의 재치면(10)에 포드(70)가 재치되었을 때에, 해당 포드(70)의 각 자물쇠 기구(74)와 상하 방향에 있어서 대향하도록 배치되어 있다.
앞쪽의(즉, 재치면(10)에 포드(70)가 재치되었을 때에 덮개부(72)에 대해 앞쪽에 위치하는) 제 1 회동부재(34A, 34B)에 있어서, 걸림결합부(35A, 35B)는, 베어링(36)에 대해 왼쪽의 위치에서 제 1 회동부재(34A, 34B)의 각각의 상면에 세워져 설치(立設)되어 있다. 앞쪽의 제 1 회동부재(34A)의 하면에는, 베어링(36)에 대해 오른쪽의 위치에 스프링 걸림결합부(42A)가 세워져 설치되어 있다. 한편, 뒤쪽의(즉, 재치면(10)에 포드(70)가 재치되었을 때에 덮개부(72)에 대해 뒤쪽에 위치하는) 제 1 회동부재(34C, 34D)에 있어서, 걸림결합부(35C, 35D)는, 베어링(36)에 대해 오른쪽의 위치에서 제 1 회동부재(34C, 34D)의 각각의 상면에 세워져 설치되어 있다. 뒤쪽의 제 1 회동부재(34D)의 하면에는, 베어링(36)에 대해 왼쪽의 위치에 스프링 걸림결합부(42D)가 세워져 설치되어 있다.
앞쪽의 제 1 연결부재(37A)는, 오목부(3c)의 앞쪽 부분에 있어서 좌우 방향으로 연장되어 있는 로드 형상의 부재로서, 베어링(36)에 대해 앞쪽의 위치에서, 앞쪽의 한 쌍의 제 1 회동부재(34A, 34B)의 각각에 회동 가능하게 부착되어 있다. 이와 같이 하여, 앞쪽의 제 1 연결부재(37A)는, 앞쪽의 한 쌍의 제 1 회동부재(34A, 34B)를 연결하여, 해당 제 1 회동부재(34A, 34B)를 회동시킨다. 한편, 뒤쪽의 제 1 연결부재(37B)는, 오목부(3c)의 뒤쪽 부분에 있어서 좌우 방향으로 연장되어 있는 로드 형상의 부재로서, 베어링(36)에 대해 뒤쪽의 위치에서, 뒤쪽의 한 쌍의 제 1 회동부재(34C, 34D)의 각각에 회동 가능하게 부착되어 있다. 이와 같이 하여, 뒤쪽의 제 1 연결부재(37B)는, 뒤쪽의 한 쌍의 제 1 회동부재(34C, 34D)를 연결하여, 해당 제 1 회동부재(34C, 34D)를 회동시킨다.
한 쌍의 제 2 회동부재(38)의 각각은, 베어링(41)에 의해 오목부(3c)의 바닥면에 회동 가능하게 지지되어 있다. 앞쪽의 제 2 회동부재(38)에는, 베어링(41)에 대해 앞쪽의 위치에서, 앞쪽의 제 1 연결부재(37A)의 오른쪽 단부가 회동 가능하게 부착되어 있다. 이와 같이 하여, 앞쪽의 제 1 연결부재(37A)는, 앞쪽의 제 2 회동부재(38)에 접속되어 있다. 한편, 뒤쪽의 제 2 회동부재(38)에는, 베어링(41)에 대해 뒤쪽의 위치에서, 뒤쪽의 제 1 연결부재(37B)의 오른쪽 단부가 회동 가능하게 부착되어 있다. 이와 같이 하여, 뒤쪽의 제 1 연결부재(37B)는, 뒤쪽의 제 2 회동부재(38)에 접속되어 있다.
제 2 연결부재(39)는, 오목부(3c)의 오른쪽 부분에 있어서 전후 방향으로 연장되어 있는 로드 형상의 부재로서, 베어링(41)에 대해 오른쪽의 위치에서, 한 쌍의 제 2 회동부재(38)의 각각에 회동 가능하게 부착되어 있다. 이와 같이 하여, 제 2 연결부재(39)는, 한 쌍의 제 2 회동부재(38)를 연결하여, 해당 제 2 회동부재(38)를 회동시킨다.
에어 실린더(33)는, 제 1 연결부재(37A, 37B)에 구동력을 부여하는 액추에이터로서, 제 2 연결부재(39)의 하측에 배치되어 있다. 에어 실린더(33)는, 장치 본체(2)에 회동 가능하게 부착된 실린더부(33a)와, 기단부가 실린더부(33a) 내에 삽입된 로드부(33b)를 가지고 있다. 로드부(33b)의 선단부는, 제 2 연결부재(39)의 중간부에 회동 가능하게 부착되어 있다.
도 9에 나타내는 바와 같이, 상벽(3)에 있어서의 앞쪽의 가장자리부 근방에는, 용기 고정부(80A)가 설치되어 있다. 마찬가지로, 상벽(3)에 있어서의 뒤쪽의 가장자리부 근방에는, 용기 고정부(80B)가 설치되어 있다. 이하, 용기 고정부(80A, 80B)의 상세에 대해 설명한다. 도 10은, 용기 고정부 주위의 확대 단면도로서, 도 10(a)는 앞쪽에 설치된 용기 고정부, 도 10(b)는 뒤쪽에 설치된 용기 고정부를 나타내고 있다. 도 11은, 도 9에 있어서의 XI－XI선을 따른 단면도이며, 도 12는, 도 9에 있어서의 XII－XII선을 따른 단면도이다.
도 10(a), 도 11및 도 12에 나타내는 바와 같이, 용기 고정부(80A)는, 레버부(81A), 탄성 롤러(가압부재; 82A), 스프링 걸림결합부(84A), 스프링(바이어스 부재; 85A)을 구비하고 있다. 레버부(81A)는, 기단측이 스페이서(86A)를 통해 상벽(3)에 연결되어 있다. 또한, 스페이서(86A)는, 상벽(3)에 있어서의 앞쪽의 가장자리부 근방으로부터 제 1 연결부재(37A)상으로 연장되며, 제 1 연결부재(37A) 상에 있어서 레버부(81A)의 기단측과 회동 가능하게 연결되어 있다. 또한, 레버부(81A)와 스페이서(86A)간의 연결 부분은, 개구(3b)에 있어서의 좌우 방향의 대략 중간 위치로 되어 있다. 레버부(81A)의 선단은 왼쪽을 향해 연장되어 있다.
탄성 롤러(82A)는, 레버부(81A)의 선단측의 상면에 회동 가능하게 부착되는 동시에, 용기 본체(71)의 외주면과 탄성적으로 맞닿을 수 있게 되어 있다. 스프링 걸림결합부(84A)는, 레버부(81A)의 선단의 하면에 세워져 설치되어 있다. 스프링(85A)은, 일단이 제 1 회동부재(34A)의 하면에 세워져 설치된 스프링 걸림결합부(42A)에 걸림결합하고, 타단이 스프링 걸림결합부(84A)에 걸림결합한다. 스프링(85A)은, 스프링 걸림결합부(42A)와 스프링 걸림결합부(84A)를 서로 근접시키는 방향으로 양자(兩者)를 가세(付勢)한다.
여기서, 제 1 연결부재(37A)의 상면에는, 제 1 연결부재(37A)의 이동에 수반하여 레버부(81A)와 맞닿음 및 이격(離隔)이 가능한 캠 종동자(연동 부재; 45A)가 설치되어 있다. 레버부(81A)에는, 캠 종동자(45A)와 맞닿는 부위에 캠면(83A)이 설치되어 있다. 캠 종동자(45A)와 캠면(83A)이 맞닿음에 따라, 레버부(81A)의 선단측(탄성 롤러(82A)측)이 개구(3b)로부터 멀어지도록, 레버부(81A)가 회동한다. 구체적으로는, 제 1 연결부재(37A)가, 왼쪽으로 슬라이딩했을 때에, 캠 종동자(45A)와 캠면(83A)이 맞닿고, 캠 종동자(45A)가 캠면(83A)을 앞쪽으로 밀어냄에 따라, 레버부(81A)가 회동한다. 반대로, 제 1 연결부재(37A)가, 오른쪽으로 슬라이딩했을 때에, 캠 종동자(45A)와 캠면(83A)이 이격되며, 스프링(85A)의 가세력(付勢力)에 의해 레버부(81A)의 선단측이 개구(3b)측으로 이동하도록 레버부(81A)가 회동한다.
한편, 용기 고정부(80B)는, 도 10(b)에 나타내는 바와 같이, 용기 고정부(80A)와 마찬가지로, 레버부(81B), 탄성 롤러(가압부재; 82B), 스프링 걸림결합부(84B), 스프링(바이어스 부재; 85B)을 구비하고 있다. 레버부(81B)는, 기단측이 스페이서(86B)를 통해 상벽(3)에 연결되어 있다. 또한, 스페이서(86B)는, 상벽(3)에 있어서의 뒤쪽의 가장자리부 근방으로부터 제 1 연결부재(37B) 상으로 연장되며, 제 1 연결부재(37B) 상에 있어서 레버부(81B)의 기단측과 회동 가능하게 연결되어 있다. 또한, 레버부(81B)와 스페이서(86B)간의 연결 부분은, 개구(3b)에 있어서의 좌우 방향의 대략 중간 위치로 되어 있다. 레버부(81B)의 선단은 오른쪽을 향해 연장되어 있다.
탄성 롤러(82B)는, 레버부(81B)의 선단측의 상면에 회동 가능하게 부착되는 동시에, 용기 본체(71)의 외주면과 탄성적으로 맞닿을 수 있게 되어 있다. 스프링 걸림결합부(84B)는, 레버부(81B) 선단의 하면에 세워져 설치되어 있다. 스프링(85B)은, 일단이 제 1 회동부재(34D)의 하면에 세워져 설치된 스프링 걸림결합부(42D)에 걸림결합하고, 타단이 스프링 걸림결합부(84B)에 걸림결합한다. 스프링(85B)은, 스프링 걸림결합부(42D)와 스프링 걸림결합부(84B)를 서로 근접시키는 방향으로 양자를 가세한다.
여기서, 제 1 연결부재(37B)의 상면에는, 제 1 연결부재(37B)의 이동에 수반하여 레버부(81B)와 맞닿음 및 이격이 가능한 캠 종동자(연동 부재; 45B)가 설치되어 있다. 레버부(81B)에는, 캠 종동자(45B)와 맞닿는 부위에 캠면(83B)이 설치되어 있다. 캠 종동자(45B)와 캠면(83B)이 맞닿음에 따라, 레버부(81B)의 선단측(탄성 롤러(82B)측)이 개구(3b)로부터 멀어지도록, 레버부(81B)가 회동한다. 구체적으로는, 제 1 연결부재(37B)가, 오른쪽으로 슬라이딩했을 때에, 캠 종동자(45B)와 캠면(83B)이 맞닿으며, 캠 종동자(45B)가 캠면(83B)을 뒤쪽으로 밀어냄으로써, 레버부(81B)가 회동한다. 반대로, 제 1 연결부재(37B)가, 왼쪽으로 슬라이딩했을 때에, 캠 종동자(45B)와 캠면(83B)이 이격되며, 스프링(85B)의 가세력에 의해 레버부(81B)의 선단측이 개구(3b) 측으로 이동하도록 레버부(81B)가 회동한다.
도 5에 나타내는 바와 같이, 각 걸림결합부(35A~35D)는, 상벽(3)의 일부를 이루며 또한 오목부(3c)를 덮는 천판(天板, top panel)부(3d)에 복수로 형성된 긴 구멍형상의 개구(3e)의 각각을 통해 상측으로 돌출되어 있다. 용기 고정부(80A, 80B)는, 천판부(3d)에 형성된 개구(3f, 3g)의 각각을 통해 상측으로 돌출되어 있다. 이로써, 덮개 개폐 장치(1)의 재치면(10)에 포드(70)가 재치되면, 해당 포드(70)의 각 자물쇠 기구(74)의 오목부(78a)에, 상하 방향에 있어서 대향되는 걸림결합부(35A~35D)가 걸림결합하게 된다. 용기 고정부(80A, 80B)의 탄성 롤러(82A, 82B)가, 각각 용기 본체(71)의 외주면에 대향된다.
여기서, 포드(70)의 자물쇠 기구(74)로 하여금 자물쇠를 열게 하기 위한 자물쇠 개폐 기구(30)의 자물쇠 개방(開錠) 동작에 대해 설명한다. 도 5에 나타내는 바와 같이, 자물쇠 개폐 기구(30)는, 천판부(3d)에 형성된 긴 구멍형상의 각 개구(3e)에 있어서 걸림결합부(35A~35D)가 안쪽(즉, 개구(3b)쪽)에 위치하며, 용기 고정부(80A)의 탄성 롤러(82A) 및 용기 고정부(80B)의 탄성 롤러(82B)가 바깥쪽(즉, 개구(3b)로부터 이격하는 쪽)에 위치한 상태로, 대기한다. 이 때, 자물쇠 개폐 기구(30)의 제 1 연결부재(37A, 37B), 제 2 연결부재(39), 및 에어 실린더(33)는, 도 9에 도시된 상태에 있다. 이 상태에서, 덮개 개폐 장치(1)의 재치면(10)에 포드(70)가 재치되면, 해당 포드(70)에 있어서 자물쇠 폐쇄상태에 있는 각 자물쇠 기구(74)의 오목부(78a)에(도 8의 (a) 참조), 상하 방향에 있어서 대향되는 걸림결합부(35A~35D)가 걸림결합하게 된다.
계속해서, 도 13에 나타내는 바와 같이, 자물쇠 개폐 기구(30)에서는, 실린더부(33a)에 대한 가스의 도입/도출에 의해 로드부(33b)가 뒤쪽으로 슬라이딩된다. 이로써, 앞쪽의 제 2 회동부재(38)가 상방에서 볼 때 반시계방향으로 회동되어, 앞쪽의 제 1 연결부재(37A)가 오른쪽으로 이동된다. 또한, 앞쪽의 제 1 회동부재(34A, 34B)가 상방에서 볼 때 반시계방향으로 회동되어, 걸림결합부(35A, 35B)가 앞쪽으로 이동된다. 그 한편으로는, 뒤쪽의 제 2 회동부재(38)가 상방에서 볼 때 반시계방향으로 회동되어, 뒤쪽의 제 1 연결부재(37B)가 왼쪽으로 이동된다. 또한, 뒤쪽의 한 쌍의 제 1 회동부재(34C, 34D)가 상방에서 볼 때 반시계방향으로 회동되어, 걸림결합부(35A~35D)가 뒤쪽으로 이동된다. 즉, 천판부(3d)에 형성된 긴 구멍형상의 각 개구(3e)에 있어서 걸림결합부(35A~35D)가 바깥쪽(즉, 개구(3b)와 반대쪽)에 위치한 상태가 된다. 이것으로부터, 포드(70)의 자물쇠 기구(74)에서는, 걸림결합부(78)가 절결부(72a)로부터 떼어져, 자물쇠 기구(74)가 자물쇠 개방상태가 되어(도 8의 (b) 참조), 용기 본체(71)로부터 덮개부(72)를 떼어낼 수 있게 된다.
앞쪽의 제 1 연결부재(37A)가 오른쪽으로 이동되며, 제 1 회동부재(34A)가 상방에서 볼 때 반시계방향으로 회동됨에 따라, 스프링 걸림결합부(42A)에 걸림결합하는 스프링(85A)의 가세력에 의해 레버부(81A)의 선단측(탄성 롤러(82A)가 부착된 쪽)이 개구(3b)측으로 이동된다. 이 때, 캠 종동자(45A)는 캠면(83A)으로부터 이격되므로, 레버부(81A)의 선단측의 개구(3b)측으로의 이동이 허용된다. 그 한편으로는, 뒤쪽의 제 1 연결부재(37B)가 왼쪽으로 이동되며, 제 1 회동부재(34D)가 상방에서 볼 때 반시계방향으로 회동됨에 따라, 스프링 걸림결합부(42D)에 걸림결합하는 스프링(85B)의 가세력에 의해 레버부(81B)의 선단측(탄성 롤러(82B)가 부착된 쪽)이 개구(3b)측으로 이동된다. 이 때, 캠 종동자(45B)는 캠면(83B)으로부터 이격되므로, 레버부(81B)의 선단측의 개구(3b)측으로의 이동이 허용된다.
즉, 자물쇠 개폐 기구(30)의 자물쇠 개방동작에 연동하여 탄성 롤러(82A, 82B)가 개구(3b)측으로 이동함에 따라, 용기 본체(71)의 외주면이 탄성 롤러(82A, 82B)에 의해 끼워져, 장치 본체(2)에 대해 용기 본체(71)가 고정된다. 또한, 탄성 롤러(82A, 82B)에 의한 용기 본체(71)의 고정은, 스프링(85A, 85B)의 가세력에 의해 행해지고 있다. 따라서, 용기 본체(71)의 크기에 편차가 생겼다 하더라도, 용기 본체(71)를 적절히 고정할 수가 있다.
다음으로, 포드(70)의 자물쇠 기구(74)로 하여금 자물쇠를 잠그게 하기 위한 자물쇠 개폐 기구(30)의 자물쇠 폐쇄(施錠) 동작에 대해 설명한다. 자물쇠 개폐 기구(30)는, 천판부(3d)에 형성된 긴 구멍형상의 각 개구(3e)에 있어서 걸림결합부(35A~35D)가 바깥쪽(즉, 개구(3b)와 반대쪽)에 위치한 상태로, 대기한다. 이 때, 자물쇠 개폐 기구(30)의 제 1 연결부재(37A, 37B), 제 2 연결부재(39), 및 에어 실린더(33)는, 도 13에 도시된 상태에 있다. 해당 포드(70)에 있어서 자물쇠 개방상태에 있는 각 자물쇠 기구(74)의 오목부(78a)에(도 8의 (b) 참조), 상하 방향에 있어서 대향되는 걸림결합부(35A~35D)가 걸림결합한 상태에 있다.
이 상태에서, 용기 본체(71)에 덮개부(72)가 부착되면, 도 9에 나타내는 바와 같이, 자물쇠 개폐 기구(30)에서는, 실린더부(33a)에 대한 가스의 도입/도출에 의해 로드부(33b)가 앞쪽으로 슬라이딩된다. 이로써, 앞쪽의 제 2 회동부재(38)가 상방에서 볼 때 시계방향으로 회동되어, 앞쪽의 제 1 연결부재(37A)가 왼쪽으로 이동된다. 또한, 앞쪽의 한 쌍의 제 1 회동부재(34A, 34B)가 상방에서 볼 때 시계방향으로 회동되어, 걸림결합부(35A, 35B)가 뒤쪽으로 이동된다. 그 한편으로는, 뒤쪽의 제 2 회동부재(38)가 상방에서 볼 때 시계방향으로 회동되어, 뒤쪽의 제 1 연결부재(37B)가 오른쪽으로 이동된다. 또한, 뒤쪽의 한 쌍의 제 1 회동부재(34C, 34D)가 상방에서 볼 때 시계방향으로 회동되어, 걸림결합부(35C, 35D)가 앞쪽으로 이동된다. 즉, 도 5에 나타내는 바와 같이, 천판부(3d)에 형성된 긴 구멍형상의 각 개구(3e)에 있어서 걸림결합부(35A~35D)가 안쪽(즉, 개구(3b)측)에 위치한 상태가 된다. 이것으로부터, 포드(70)의 자물쇠 기구(74)에서는, 걸림결합부(78)가 절결부(72a)에 걸림결합하여, 자물쇠 기구(74)가 자물쇠 폐쇄상태가 된다(도 8의 (a) 참조).
앞쪽의 제 1 연결부재(37A)가 왼쪽으로 이동되며, 제 1 회동부재(34A)가 상방에서 볼 때 시계방향으로 회동됨에 따라, 스프링(85A)에 의한 레버부(81A)의 선단측(탄성 롤러(82A)가 부착된 쪽)의 가세(bias, 付勢)가 해제된다. 이와 함께, 제 1 연결부재(37A)의 왼쪽으로의 이동에 수반하여, 캠 종동자(45A)가 용기 고정부(80A)의 캠면(83A)에 맞닿아, 캠 종동자(45A)가 레버부(81A)의 선단측을 스프링(85A)의 가세력에 대항하는 방향(앞쪽)으로 밀어낸다. 이로써, 탄성 롤러(82A)에 의한 용기 본체(71)의 고정이 해제된다. 그 한편으로는, 뒤쪽의 제 1 연결부재(37B)가 오른쪽으로 이동되며, 제 1 회동부재(34D)가 상방에서 볼 때 시계방향으로 회동됨에 따라, 스프링(85B)에 의한 레버부(81B)의 선단측(탄성 롤러(82B)가 부착된 쪽)의 가세가 해제된다. 이와 함께, 제 1 연결부재(37B)의 오른쪽으로의 이동에 수반하여, 캠 종동자(45B)가 용기 고정부(80B)의 캠면(83B)에 맞닿아, 캠 종동자(45B)가 레버부(81B)의 선단측을 스프링(85B)의 가세력에 대항하는 방향(뒤쪽)으로 밀어낸다. 이로써, 탄성 롤러(82B)에 의한 용기 본체(71)의 고정이 해제된다.
이상 설명한 바와 같이, 덮개 개폐 장치(1)에서는, 자물쇠 개폐 기구(30)의 제 1 연결부재(37A, 37B) 등을 이동시켜 포드(70)의 자물쇠 기구(74)의 자물쇠 개방을 행하는 경우, 제 1 연결부재(37A, 37B)와 연동하여 용기 고정부(80A, 80B)가, 용기 본체(71)를 장치 본체(2)에 고정한다. 이와 같이, 자물쇠 기구(74)의 자물쇠 개방동작과 연동하여 용기 본체(71)가 장치 본체(2)에 고정되므로, 예컨대, 자물쇠 기구(74)가 자물쇠 개방상태일 때에 덮개부(72)를 부착하는 경우라 하더라도, 용기 본체(71)의 부상(浮上) 및 덮개부(72)의 위치 어긋남 등이 발생되는 것을 억제할 수 있다. 따라서, 상기 덮개 개폐 장치(1)에 의하면, 용기 본체(71)에 덮개부(72)를 적확하게 부착할 수가 있다.
제 1 회동부재(34A~34D)에 각각 걸림결합부(35A~35D)를 설치하여, 제 1 회동부재(34A~34D)를 제 1 연결부재(37A, 37B), 제 2 회동부재(38), 및 제 2 연결부재(39)에 의해 연결한다. 이로써, 제 1 회동부재(34A~34D)에 설치된 걸림결합부(35A~35D)를 같은 타이밍으로 동작시킬 수가 있다. 따라서, 복수의 걸림결합부(35A~35D)에 대응하여 설치된 복수의 자물쇠 기구(74)의 자물쇠 개방동작 및 자물쇠 폐쇄동작을 일제히 행할 수 있다. 이로써, 복수의 자물쇠 기구(74)의 자물쇠 개방동작 및 자물쇠 폐쇄동작에 편차가 생겨, 예컨대, 용기 본체(71)의 부상 및 덮개부(72)의 위치 어긋남 등이 발생하는 것을 억제할 수가 있다. 따라서, 상기 덮개 개폐 장치(1)에 의하면, 용기 본체(71)에 덮개부(72)를 보다 적확하게 부착할 수가 있다.
용기 고정부(80A, 80B)에 의한 용기 본체(71)의 고정시에는, 스프링(85A, 85B)의 가세력을 이용하여 탄성 롤러(82A, 82B)를 용기 본체(71)에 밀어붙일 수 있으므로, 용기 본체(71)를 고정하기 위한 특별한 액추에이터 등이 불필요해져, 장치 구성을 간이한 것으로 할 수가 있다.
용기 고정부(80A, 80B)의 레버부(81A, 81B)를 회동 가능하게 하고, 캠 종동자(45A, 45B)에 의해 레버부(81A, 81B)를 회동시킴으로써, 용기 본체(71)에 대한 탄성 롤러(82A, 82B)에 의한 가압동작 및 가압의 해제동작을 제 1 연결부재(37A, 37B)의 이동과 연동시킬 수가 있다. 이로써, 레버부(81A, 81B)를 회동시키기 위한 전용(專用)의 액추에이터 등이 불필요해져, 장치 구성을 간이한 것으로 할 수 있어 전력 절약화를 도모할 수가 있다.
이상, 본 발명의 일 실시형태에 대해 설명했지만, 본 발명은, 상기 실시 형태로 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 본 발명의 덮개 개폐 장치의 대상은, 레티클(R)을 수납하는 포드(70)로 한정되지 않으며, 다른 피수납물을 수납하는 다른 수납 용기여도 무방하다. 자물쇠 개폐 기구(30)에 구동력을 부여하는 액추에이터로서, 에어 실린더(33) 이외의 액추에이터를 이용하여도 무방하다. 상술한 모든 구성의 형상 또는 재료로서는, 상술한 것으로 한정되지 않으며, 여러 가지 형상 또는 재료를 적용할 수가 있다. 본 발명의 연결부재는, 상술한 로드형상의 부재로 한정되지 않는다. 연결부재가 와이어 등의 다른 연결부재라 하더라도, 상술한 바와 같은 동작 기구를 실현할 수가 있다. 자물쇠 개폐 기구(30)의 자물쇠 개방동작 및 자물쇠 폐쇄동작은, 회동부재(34A~34D 및 38)의 회동 방향 및 연결부재(37A, 37B 및 39)의 이동 방향을 상술한 경우와 반대방향으로 하여도 실현할 수가 있다.
(산업상의 이용 가능성)
본 발명의 일 측면에 의하면, 용기 본체에 덮개부를 적확하게 부착할 수 있는 덮개 개폐 장치를 제공할 수 있게 된다.
1; 덮개 개폐 장치
2; 장치 본체
30; 자물쇠 개폐 기구(이동부)
33; 에어 실린더(액추에이터)
34A~34D; 제 1 회동부재(회동부재)
35A~35D; 걸림결합부
37A, 37B; 제 1 연결부재(연결부재)
38; 제 2 회동부재
39; 제 2 연결부재
45A, 45B; 캠 종동자(연동 부재)
70; 포드(수납 용기)
71; 용기 본체
72; 덮개부
74; 자물쇠 기구
80A, 80B; 용기 고정부
85A, 85B; 스프링(바이어스(bias, 付勢) 부재)
R; 레티클(피(被)수납물)

Claims (4)

  1. 피수납물을 수납하는 용기 본체와, 상기 용기 본체에 대해 개폐 가능한 바닥부를 이루며, 상기 피수납물이 재치(載置)되는 덮개부와, 상기 용기 본체에 대한 상기 덮개부의 자물쇠 개방(開錠) 및 자물쇠 폐쇄(施錠)를 행하는 자물쇠 기구를 구비하는 수납 용기에 대하여, 상기 용기 본체에 대한 상기 덮개부의 개폐를 행하는 덮개 개폐 장치로서,
    상기 수납 용기가 재치되는 장치 본체와,
    상기 장치 본체에 상기 수납 용기가 재치되었을 때에 상기 자물쇠 기구에 걸림결합하는 걸림결합부를 가지며, 상기 걸림결합부를 이동시킴으로써, 상기 자물쇠 기구로 하여금 상기 자물쇠를 열게 하기 위한 자물쇠 개방동작, 및 상기 자물쇠 기구로 하여금 상기 자물쇠를 잠그게 하기 위한 자물쇠 폐쇄동작을 행하는 이동부와,
    상기 자물쇠 기구로 하여금 상기 자물쇠를 열게 하는 경우에는, 상기 이동부와 연동하여, 상기 용기 본체를 상기 장치 본체에 고정시키는 용기 고정부를 구비하고,
    상기 이동부는,
    상기 걸림결합부를 갖는 동시에, 상기 장치 본체에 회동 가능하게 지지되어 상기 걸림결합부를 이동시키는 복수의 회동부재와,
    적어도 한 쌍의 상기 회동부재를 연결하여 해당 회동부재를 회동시키는 연결부재와,
    상기 장치 본체에 부착되어, 상기 연결부재에 구동력을 부여하는 액추에이터를 더 구비하며,
    상기 용기 고정부는, 상기 연결부재의 이동에 연동하고,
    상기 연결부재는, 상기 적어도 한 쌍의 회동부재의 각각에 회동가능하게 부착되어 이들 회동부재를 연결하며, 상기 연결부재의 이동에 따라서 이들 회동부재를 일제히 회동시키고,
    상기 연결부재의 이동에 수반하여 상기 용기 고정부와 맞닿음 및 이격 가능한 연동 부재가 상기 연결부재에 구비되어 있으며, 상기 용기 고정부는, 상기 연결부재의 이동에 수반하여 상기 연동 부재와 맞닿음 또는 이격됨으로써, 상기 연결부재의 이동에 연동하는,
    덮개 개폐 장치.
  2. 삭제
  3. 제 1항에 있어서,
    상기 용기 고정부는, 상기 용기 본체를 가압하는 가압부재와, 상기 가압부재를 상기 용기 본체를 향해 가세(付勢)하는 바이어스(bias) 부재를 가지며,
    상기 연동 부재는, 상기 자물쇠 폐쇄동작을 행할 때에는 상기 바이어스 부재의 가세력에 대항하는 방향으로 상기 가압부재를 상기 용기 본체로부터 이격(離隔)시키고, 상기 자물쇠 개방동작을 행할 때에는 상기 바이어스 부재에 의한 상기 가압부재의 가세를 허용하도록 동작하는,
    덮개 개폐 장치.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 용기 고정부는, 기단측이 상기 장치 본체에 회동 가능하게 지지되며 선단측이 이동 가능하게 된 레버부를, 더 구비하며,
    상기 가압부재는, 상기 용기 본체와 탄성적으로 맞닿을 수 있는 탄성 롤러로서, 상기 레버부의 선단측에 회동 가능하게 부착되고,
    상기 바이어스 부재는, 상기 레버부의 선단측을 가세하는 스프링이며,
    상기 연동 부재는, 상기 연결부재의 이동에 수반하여 상기 레버부와 맞닿음 및 이격이 가능한 상기 연결부재상의 위치에 고정되어, 상기 레버부를 회동시키는 캠 종동자(cam follower)인,
    덮개 개폐 장치.
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