JPWO2013187104A1 - 蓋開閉装置 - Google Patents

Abstract

蓋開閉装置（１）は、容器本体（７１）と、容器本体に対して開閉可能な底部を成す蓋部（７２）と、容器本体に対する蓋部の開錠及び施錠を行う錠機構（７４）と、を備えるポッド（７０）が載置される装置本体（２）と、当該錠機構に係合する係合ピン（３５）を移動させることで、当該錠機構に開錠を行わせるための開錠動作、及び当該錠機構に施錠を行わせるための施錠動作を行う複数の移動部（３１）と、当該錠機構に開錠を行わせる場合には、複数の移動部を連動させて複数の移動部に開錠動作を行わせ、当該錠機構に施錠を行わせる場合には、複数の移動部を連動させて複数の移動部に施錠動作を行わせる連動部（３２）と、移動部及び連動部を一斉に駆動させる一つのエアシリンダ（３３）と、を備える。

Description

本発明は、被収納物を収納する収納容器について、容器本体に対する蓋部の開閉を行う蓋開閉装置に関する。

半導体装置又は液晶表示装置等の製造工場のクリーンルームにおいては、半導体ウェハ又はガラス基板等が収納容器に収納された状態で搬送される。そのため、収納容器と各種装置との間で被収納物を移載するに際しては、蓋開閉装置を用いて、容器本体に対する蓋部の開閉を行う必要がある。従来、容器本体に対する蓋部の開閉を迅速に且つ安定的に行うために、収納容器の内外の圧力差を平衡にする圧力平衡機構を蓋開閉装置に設けるなど、様々な技術が提案されている（例えば、特許文献１参照）。

特許第３１８０６００号公報

上述した半導体装置又は液晶表示装置等の製造工場では、各種部品の搬送効率の向上がシビアに要求されることから、収納容器と各種装置との間での被収納物の移載についても、その効率を向上させることは極めて重要である。

そこで、本発明は、低コスト化を図り得る構成で容器本体に対する蓋部の開閉を迅速に且つ安定的に行うことができる蓋開閉装置を提供することを目的とする。

本発明の蓋開閉装置は、被収納物を収納する容器本体と、容器本体に対して開閉可能な底部を成し、被収納物が載置される蓋部と、容器本体に対する蓋部の開錠及び施錠を行う錠機構と、を備える収納容器について、容器本体に対する蓋部の開閉を行う蓋開閉装置であって、収納容器が載置される装置本体と、装置本体に収納容器が載置されたときに錠機構に係合する係合部を有し、係合部を移動させることで、錠機構に開錠を行わせるための開錠動作、及び錠機構に施錠を行わせるための施錠動作を行う複数の移動部と、錠機構に開錠を行わせる場合には、複数の移動部を連動させて複数の移動部に開錠動作を行わせ、錠機構に施錠を行わせる場合には、複数の移動部を連動させて複数の移動部に施錠動作を行わせる連動部と、移動部及び連動部に対して一つ設けられ、移動部及び連動部を一斉に駆動させるアクチュエータと、を備える。

この蓋開閉装置では、収納容器において容器本体に対する蓋部の開錠を錠機構に行わせる場合には、連動部が、複数の移動部を連動させて複数の移動部に開錠動作を行わせる。一方、収納容器において容器本体に対する蓋部の施錠を錠機構に行わせる場合には、連動部が、複数の移動部を連動させて複数の移動部に施錠動作を行わせる。このように、複数の移動部による開錠動作及び施錠動作が一斉に行われるため、動作にばらつきが生じず、開錠動作及び施錠動作を迅速且つ的確に行うことができる。しかも、一つのアクチュエータが移動部及び連動部を一斉に駆動させるので、低コスト化を図ることができる。更に、機構の調整を行う際には、アクチュエータと被駆動部分とが接続される箇所のみを調整すれば足りるため、メンテナンスが容易であるという点からも、低コスト化を図ることができる。以上により、この蓋開閉装置によれば、低コスト化を図り得る構成で容器本体に対する蓋部の開閉を迅速に且つ安定的に行うことが可能となる。

移動部のそれぞれは、装置本体に回動可能に支持されて係合部を移動させる第１回動部材を更に有し、連動部は、少なくとも一対の第１回動部材を連結して当該第１回動部材を回動させる第１連結部材を有してもよい。この構成によれば、第１回動部材及び連結部材を含むリンク機構という簡易な構成で、複数の移動部のそれぞれを確実に動作させることができる。

第１連結部材によって連結された一対の第１回動部材は、装置本体に収納容器が載置されたときに蓋部に対して一方の側及び他方の側のそれぞれに位置するように複数対配置されており、連動部は、装置本体に回動可能に支持されて第１連結部材のそれぞれが接続された一対の第２回動部材と、一対の第２回動部材を連結して当該第２回動部材を回動させる第２連結部材と、を更に有してもよい。この構成によれば、蓋部に対して一方の側及び他方の側のそれぞれに位置するように移動部が複数対配置される場合にも、複数の移動部のそれぞれを確実に動作させることができる。

装置本体は、移動部、連動部及びアクチュエータが配置された凹部と、凹部を覆っており、収納容器が載置される載置面を成す天板部と、を有し、係合部は、第１回動部材に立設された係合ピンであり、天板部には、係合ピンを載置面から突出させて開錠動作の位置と施錠動作の位置との間で移動可能とする長穴状の開口が設けられていてもよい。直動式機構（ロッド等）では、体積移動に伴って空気が押しのけられるので、発生したパーティクルが拡散し易い。一方、回動式機構は、一般的に直動式機構に比べて体積移動が少なく（真の円板なら理屈上はゼロ）、また、摺動する部位を特定し易い（例えば軸支部分等）ので、発生したパーティクルの拡散抑制効果が高い。上記構成では、装置本体の凹部において天板部の開口に臨む位置には、回動式機構である第１回動部材が位置し、直動式機構は、当該位置から離間することになる。従って、発生したパーティクルが開口を介して装置本体外に出るのを的確に抑制することができ、周囲のクリーンな環境を汚染することを防止することが可能となる。

アクチュエータは、装置本体に取り付けられたシリンダ部と、基端部がシリンダ部内に挿入され且つ先端部が第２連結部材に取り付けられたロッド部と、を有し、シリンダ部内に対するガスの導出入によってロッド部がスライドするエアシリンダであってもよい。この構成によれば、移動部及び連動部に駆動力を付与するアクチュエータがエアシリンダであるため、例えばラックピニオン機構を用いる場合に比べ、動作時の発塵を抑制することができると共に機構の簡素化を図ることができる。従って、装置内及びその近傍の雰囲気を清浄に維持しつつ、複数の移動部のそれぞれを確実に動作させることができる。

本発明によれば、低コスト化を図り得る構成で容器本体に対する蓋部の開閉を迅速に且つ安定的に行うことができる蓋開閉装置を提供することが可能となる。

本発明の一実施形態の蓋開閉装置を備えるストッカの正面図である。 図１のII−II線に沿ってのストッカの断面図である。 図１のIII−III線に沿ってのストッカの断面図である。 本発明の一実施形態の蓋開閉装置の縦断面図である。 図４の蓋開閉装置の平面図である。 別の状態での図４の蓋開閉装置の縦断面図である。 図４の蓋開閉装置によって蓋部が開閉されるポッドの底面図である。 図７のポッドの錠機構の拡大図である。 図４のIX−IX線に沿っての蓋開閉装置の断面図である。 別の状態での図９の蓋開閉装置の断面図である。

以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。なお、各図において同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明を省略する。
［ストッカの構成］

図１は、本発明の一実施形態の蓋開閉装置を備えるストッカの正面図である。図２は、図１のII−II線に沿ってのストッカの断面図であり、図３は、図１のIII−III線に沿ってのストッカの断面図である。図１〜３に示されるように、ストッカ５０は、レチクル用回転棚５１と、ポッド用回転棚５２と、を備えている。レチクル用回転棚５１は、半導体ウェハ又はガラス基板等の表面に所定のパターンを露光する際に使用される矩形板状のレチクルＲを複数保管する。ポッド用回転棚５２は、レチクルＲを収納して搬送するためのポッド７０を空の状態で複数保管する。なお、レチクルＲを保管するためのポッド７０は、典型的には、半導体等の国際規格であるＳＥＭＩ規格に従った構成を有している。このようなストッカ５０は、半導体装置又は液晶表示装置等の製造工場のクリーンルームに設置される。

レチクル用回転棚５１は、駆動部５３によって軸線ＣＬ周りを回転させられる。レチクル用回転棚５１は、その回転方向に沿って並設された複数のブロック５１ａを有している。各ブロック５１ａは、レチクルＲを上下複数段に保管することができるようになっている。ポッド用回転棚５２は、レチクル用回転棚５１の下側において、駆動部５４によって軸線ＣＬ周りを回転させられる。ポッド用回転棚５２は、その回転方向に沿って複数のポッド７０を保管することができるようになっている。

ストッカ５０は、更に、レチクル搬送装置５５と、ポッド搬送装置５６と、蓋開閉装置１と、を備えている。レチクル搬送装置５５は、昇降ガイド５７に沿って昇降するロボットアームであり、蓋開閉装置１とレチクル用回転棚５１との間でレチクルＲを搬送する。ポッド搬送装置５６は、昇降ガイド５８に沿って昇降するロボットアームであり、蓋開閉装置１とポッド用回転棚５２との間で空のポッド７０を搬送する。蓋開閉装置１は、ポッドオープナーと称される装置であり、ポッド７０の開閉を行う。蓋開閉装置１の近傍には、レチクルＲを収納したポッド７０及び空のポッド７０を一時保管するポッド用固定棚５９が設置されている。

上述した回転棚５１，５２、駆動部５３，５４、搬送装置５５，５６、固定棚５９及び蓋開閉装置１は、ケーシング６１内に配置されている。ケーシング６１には、例えば天井走行車がアクセスすることができるポート６２，６３が設置されている。レチクルＲを収納したポッド７０は、ポート６２を介してケーシング６１内に入庫される。一方、レチクルＲを収納したポッド７０は、ポート６３を介してケーシング６１外に出庫される。

ケーシング６１の上壁には、クリーンガス供給装置６４が設置されている。クリーンガス供給装置６４は、例えばクリーンエア又は窒素等のクリーンガスをダウンフローとしてケーシング６１内に供給する。ケーシング６１内に供給されたクリーンガスは、ケーシング６１の下部からケーシング６１外に排気される。

ここで、レチクルＲを収納したポッド７０が入庫される場合のストッカ５０の動作について説明する。例えば天井走行車によってポート６２にポッド７０が搬送されると、当該ポッド７０は、ポッド搬送装置５６によって蓋開閉装置１に搬送される。ポッド７０が蓋開閉装置１に搬送されると、当該ポッド７０に収納されていたレチクルＲは、レチクル搬送装置５５によってレチクル用回転棚５１に格納される。その一方で、蓋開閉装置１に残された空のポッド７０は、ポッド搬送装置５６によってポッド用回転棚５２に格納される。なお、多数のポッド７０が連続してケーシング６１内に入庫されるような場合には、ポッド７０は、ポッド用固定棚５９に一時保管され、蓋開閉装置１に順次搬送される。

次に、レチクルＲを収納したポッド７０が出庫される場合のストッカ５０の動作について説明する。レチクル搬送装置５５によってレチクル用回転棚５１から蓋開閉装置１にレチクルＲが搬送されると、当該レチクルＲは、ポッド搬送装置５６によってポッド用回転棚５２から蓋開閉装置１に搬送された空のポッド７０に収納される。そして、レチクルＲが収納されたポッド７０は、ポッド搬送装置５６によって蓋開閉装置１からポート６３に搬送され、例えば天井走行車によってポート６３から所定の搬送先に搬送される。なお、多数のポッド７０が連続してケーシング６１外に出庫されるような場合には、ポッド７０は、ポッド用固定棚５９に一時保管され、ポート６３に順次搬送される。
［蓋開閉装置の構成］

図４は、本発明の一実施形態の蓋開閉装置の縦断面図であり、図５は、図４の蓋開閉装置の平面図である。なお、以下の説明においては、蓋開閉装置１に対してレチクルＲが導出入される側を「前側」といい、その反対側を「後側」という。正立状態にある蓋開閉装置１を前側から見た場合における左側を単に「左側」といい、正立状態にある蓋開閉装置１を前側から見た場合における右側を単に「右側」という。

図４及び５に示されるように、蓋開閉装置１は、直方体箱状の装置本体２を備えている。装置本体２は、上壁３、下壁４、側壁５及び隔壁６を有している。装置本体２の内部空間は、隔壁６によって、レチクル導出入領域２ａと機器設置領域２ｂとに上下に分離されている。ただし、レチクル導出入領域２ａと機器設置領域２ｂとは、隔壁６の左側の領域及び右側の領域において連通している。上壁３には、断面矩形状の凹部３ａが設けられており、凹部３ａの底面には、断面矩形状の開口３ｂが設けられている。凹部３ａの底面は、ポッド搬送装置５６によって搬送されたポッド（収納容器）７０が載置される載置面１０となっている。なお、ポッド７０は、レチクル（被収納物）Ｒを収納する直方体箱状の容器本体７１と、レチクルＲが載置される矩形板状の蓋部７２と、を備えている。蓋部７２は、容器本体７１に対して開閉可能な底部を成している。容器本体７１の頂部には、ポッド搬送装置５６によって把持される被把持部７３が設けられている。蓋開閉装置１は、レチクルＲを収納するポッド７０について、容器本体７１に対する蓋部７２の開閉を行う装置である。

装置本体２内には、レチクル導出入領域２ａにおいて昇降する昇降台７が配置されている。昇降台７は、矩形板状の本体部８と、本体部８の下端部に設けられた矩形板状のフランジ部９と、を有している。昇降台７の上昇時には、本体部８は開口３ｂ内に配置され、フランジ部９は上壁３の内面に当接する。このとき、上壁３の開口３ｂは、フランジ部９に設けられた矩形環状の封止部材１１によって気密に閉鎖され、本体部８の上面８ａは、載置面１０（すなわち、凹部３ａの底面）と面一となる。

装置本体２内には、昇降台７を昇降させるエアシリンダ１２が配置されている。エアシリンダ１２は、下壁４の内面に固定されたシリンダ部１２ａと、基端部がシリンダ部１２ａ内に挿入されたロッド部１２ｂと、を有している。ロッド部１２ｂの先端部は、隔壁６の中央部分に設けられた断面矩形状の開口６ａを介して、昇降台７の下面に固定されている。なお、装置本体２内の機器設置領域２ｂには、エアシリンダ１２に対するガスの導出入を調節するための電磁弁等、各種機器が設置されている。昇降台７を昇降させるために、複数のエアシリンダを用いてもよいし、エアシリンダに代えて他のアクチュエータを用いてもよい。

装置本体２の前側の側壁５には、外部と装置本体２内のレチクル導出入領域２ａとを連通する断面矩形状のレチクル導出入口５ａが設けられている。レチクル導出入口５ａは、エアシリンダ等のアクチュエータによって動作させられる閉鎖板１４によって内側から開閉される。閉鎖板１４によるレチクル導出入口５ａの閉鎖時には、レチクル導出入口５ａは、閉鎖板１４に設けられた矩形環状の封止部材１５によって気密に閉鎖される。

ここで、レチクルＲを収納したポッド７０が入庫される場合の蓋開閉装置１の動作について説明する。図４に示されるように、蓋開閉装置１は、上壁３の開口３ｂが昇降台７によって気密に閉鎖され、且つレチクル導出入口５ａが閉鎖板１４によって気密に閉鎖された状態で、待機する。この状態において、ポッド搬送装置５６によってポート６２から蓋開閉装置１に搬送されたポッド７０が、蓋開閉装置１の載置面１０に載置されると、当該ポッド７０の錠機構は、蓋開閉装置１によって開錠状態にされる（詳細については後述する）。

続いて、図６に示されるように、レチクルＲが載置された蓋部７２と共に昇降台７が下降して、レチクル導出入領域２ａにレチクルＲが配置される。そして、閉鎖板１４が動作してレチクル導出入口５ａが開放されると、レチクル搬送装置５５がレチクル導出入口５ａを介してレチクル導出入領域２ａにアクセスし、レチクル導出入領域２ａに配置されたレチクルＲがレチクル用回転棚５１に格納される。

続いて、閉鎖板１４が動作してレチクル導出入口５ａが閉鎖板１４によって気密に閉鎖されると共に、蓋部７２と共に昇降台７が上昇して上壁３の開口３ｂが昇降台７によって気密に閉鎖されると、蓋開閉装置１の載置面１０に載置された空のポッド７０の錠機構は、蓋開閉装置１によって施錠状態にされる（詳細については後述する）。そして、錠機構が施錠状態にされた空のポッド７０は、ポッド搬送装置５６によってポッド用回転棚５２に格納される。

次に、レチクルＲを収納したポッド７０が出庫される場合のストッカ５０の動作について説明する。図４に示されるように、蓋開閉装置１は、上壁３の開口３ｂが昇降台７によって気密に閉鎖され、且つレチクル導出入口５ａが閉鎖板１４によって気密に閉鎖された状態で、待機する。この状態において、ポッド搬送装置５６によってポッド用回転棚５２から蓋開閉装置１に搬送された空のポッド７０が、蓋開閉装置１の載置面１０に載置されると、当該ポッドの錠機構は、蓋開閉装置１によって開錠状態にされる（詳細については後述する）。

続いて、図６に示されるように、蓋部７２と共に昇降台７が下降して、レチクル導出入領域２ａに蓋部７２が配置される。そして、閉鎖板１４が動作してレチクル導出入口５ａが開放されると、レチクル用回転棚５１からレチクルＲを搬送してきたレチクル搬送装置５５がレチクル導出入口５ａを介してレチクル導出入領域２ａにアクセスし、レチクル導出入領域２ａに配置され蓋部７２にレチクルＲが載置される。

続いて、閉鎖板１４が動作してレチクル導出入口５ａが閉鎖板１４によって気密に閉鎖されると共に、レチクルＲが載置された蓋部７２と共に昇降台７が上昇して上壁３の開口３ｂが昇降台７によって気密に閉鎖されると、蓋開閉装置１の載置面１０に載置されたポッド７０の錠機構は、蓋開閉装置１によって施錠状態にされる（詳細については後述する）。そして、錠機構が施錠状態にされたポッド７０は、ポッド搬送装置５６によってポート６２に搬送される。
［蓋開閉装置の錠開閉機構の構成］

蓋開閉装置１の錠開閉機構の説明に先立って、ポッド７０の錠機構について説明する。図７は、図４の蓋開閉装置によって蓋部が開閉されるポッドの底面図であり、図８は、図７のポッドの錠機構の拡大図である。図７に示されるように、ポッド７０においては、容器本体７１の底部に複数の錠機構７４が設けられている。より具体的には、錠機構７４は、容器本体７１の前側の側壁の底部に一対位置し、且つ容器本体７１の後側の側壁の底部に一対位置するように、容器本体７１の底部に複数設けられている。錠機構７４は、容器本体７１に対する蓋部７２の施錠及び開錠を行う。

図８に示されるように、各錠機構７４は、アーム７５と、圧縮バネ等の付勢部材７６と、を有している。アーム７５の基端部は、軸７７によって容器本体７１の底部に回動可能に軸支されている。一方、アーム７５の先端部には、係合部７８が設けられている。係合部７８は、蓋部７２に設けられた切欠き部７２ａに係合する。切欠き部７２ａは、各錠機構７４の係合部７８に対応するように蓋部７２に複数設けられており、対応する係合部７８側及び下側に開口している。なお、係合部７８には、下側に開口する長穴状の凹部７８ａが設けられている。この凹部７８ａには、後述する蓋開閉装置１の係合ピン（係合部）３５が係合する。

付勢部材７６は、容器本体７１とアーム７５との間に配置されており、係合部７８が切欠き部７２ａに係合するようにアーム７５を付勢する。これにより、蓋開閉装置１に対してポッド７０が搬送される場合には、係合部７８が切欠き部７２ａに係合させられて、錠機構７４が施錠状態となる（図８の（ａ）を参照）。一方、容器本体７１に対して蓋部７２が着脱される場合には、係合部７８が切欠き部７２ａから外されて、錠機構７４が開錠状態となる（図８の（ｂ）を参照）。このようにして、錠機構７４は、容器本体７１に対する蓋部７２の施錠及び開錠を行う。なお、以上の錠機構７４の構成は、一例であり、ＳＥＭＩ規格等に従った構成を有しているポッドにおいて、容器本体７１に対する蓋部７２の施錠及び開錠を行うことができるものであれば、他の構成であってもよい。

次に、蓋開閉装置１の錠開閉機構について説明する。図９は、図４のIX−IX線に沿っての蓋開閉装置の断面図である。図９に示されるように、錠開閉機構３０は、複数の移動部３１と、連動部３２と、エアシリンダ（アクチュエータ）３３と、を備えている。錠開閉機構３０は、上壁３に設けられた凹部３ｃ内に配置されている。凹部３ｃは、開口３ｂの周囲部分において、前側部分から右側部分を介して後側部分に渡るように、延在している。

複数の移動部３１は、蓋開閉装置１の載置面１０にポッド７０が載置されたときに、当該ポッド７０の各錠機構７４と上下方向において対向するように配置されている。各移動部３１は、板状の第１回動部材３４と、ラッチピン等の係合ピン３５と、を有している。第１回動部材３４は、ベアリング３６によって凹部３ｃの底面に回動可能に支持されている。前側の（すなわち、載置面１０にポッド７０が載置されたときに蓋部７２に対して前側（一方の側）に位置する）一対の第１回動部材３４のそれぞれにおいては、係合ピン３５は、ベアリング３６に対して左側の位置で第１回動部材３４の上面に立設されている。一方、後側の（すなわち、載置面１０にポッド７０が載置されたときに蓋部７２に対して後側（他方の側）に位置する）一対の第１回動部材３４のそれぞれにおいては、係合ピン３５は、ベアリング３６に対して右側の位置で第１回動部材３４の上面に立設されている。第１回動部材３４は、その可動範囲において装置本体２と非接触とされている（すなわち、装置本体２から離間している）。

図５に示されるように、各係合ピン３５は、天板部３ｄに複数設けられた長穴状の開口３ｅのそれぞれを介して載置面１０から上側に突出している。天板部３ｄは、凹部３ｃを覆っており、載置面１０を成している。長穴状の開口３ｅは、係合ピン３５を開錠動作の位置と施錠動作の位置との間で移動可能としている。これにより、蓋開閉装置１の載置面１０にポッド７０が載置されると、当該ポッド７０の各錠機構７４の凹部７８ａに、上下方向において対向する係合ピン３５が係合することになる。

図９に示されるように、連動部３２は、板状の第１連結部材３７と、板状の第２回動部材３８と、板状の第２連結部材３９と、を有している。前側の第１連結部材３７は、凹部３ｃの前側部分において左右方向に延在するロッド状の部材であり、ベアリング３６に対して前側の位置で、前側の一対の第１回動部材３４のそれぞれに回動可能に取り付けられている。このようにして、前側の第１連結部材３７は、前側の一対の第１回動部材３４を連結し、当該第１回動部材３４を回動させる。一方、後側の第１連結部材３７は、凹部３ｃの後側部分において左右方向に延在するロッド状の部材であり、ベアリング３６に対して後側の位置で、後側の一対の第１回動部材３４のそれぞれに回動可能に取り付けられている。このようにして、後側の第１連結部材３７は、後側の一対の第１回動部材３４を連結し、当該第１回動部材３４を回動させる。第２回動部材３８、第１連結部材３７及び第２連結部材３９は、それぞれの可動範囲において装置本体２と非接触とされている。

一対の第２回動部材３８のそれぞれは、ベアリング４１によって凹部３ｃの底面に回動可能に支持されている。前側の第２回動部材３８には、ベアリング４１に対して前側の位置で、前側の第１連結部材３７の右側端部が回動可能に取り付けられている。このようにして、前側の第１連結部材３７は、前側の第２回動部材３８に接続されている。一方、後側の第２回動部材３８には、ベアリング４１に対して後側の位置で、後側の第１連結部材３７の右側端部が回動可能に取り付けられている。このようにして、後側の第１連結部材３７は、後側の第２回動部材３８に接続されている。

第２連結部材３９は、凹部３ｃの右側部分において前後方向に延在するロッド状の部材であり、ベアリング４１に対して右側の位置で、一対の第２回動部材３８のそれぞれに回動可能に取り付けられている。このようにして、第２連結部材３９は、一対の第２回動部材３８を連結し、当該第２回動部材３８を回動させる。

エアシリンダ３３は、移動部３１及び連動部３２を一斉に駆動させる（すなわち、移動部３１及び連動部３２に駆動力を付与する）アクチュエータである。エアシリンダ３３は、移動部３１及び連動部３２に対して一つ設けられ、第２連結部材３９の下側に配置されている。エアシリンダ３３は、装置本体２に回動可能に取り付けられたシリンダ部３３ａと、基端部がシリンダ部３３ａ内に挿入されたロッド部３３ｂと、を有している。ロッド部３３ｂの先端部は、第２連結部材３９の中間部に回動可能に取り付けられている。

ここで、ポッド７０の錠機構７４に開錠を行わせるための錠開閉機構３０の開錠動作について説明する。図５に示されるように、錠開閉機構３０は、天板部３ｄに設けられた長穴状の各開口３ｅにおいて係合ピン３５が内側（すなわち、開口３ｂ側）に位置した状態で、待機する。このとき、錠開閉機構３０の移動部３１、連動部３２及びエアシリンダ３３は、図９に示される状態にある。この状態で、蓋開閉装置１の載置面１０にポッド７０が載置されると、当該ポッド７０において施錠状態にある各錠機構７４の凹部７８ａに（図８の（ａ）を参照）、上下方向において対向する係合ピン３５が係合することになる。

続いて、図１０に示されるように、錠開閉機構３０では、シリンダ部３３ａに対するガスの導出入によってロッド部３３ｂが後側にスライドさせられる。これにより、前側の第２回動部材３８が平面視反時計回りに回動させられ、前側の第１連結部材３７が右側に移動させられる。更に、前側の一対の第１回動部材３４が平面視反時計回りに回動させられ、係合ピン３５が前側に移動させられる。その一方では、後側の第２回動部材３８が平面視反時計回りに回動させられ、後側の第１連結部材３７が左側に移動させられる。更に、後側の一対の第１回動部材３４が平面視反時計回りに回動させられ、係合ピン３５が後側に移動させられる。つまり、天板部３ｄに設けられた長穴状の各開口３ｅにおいて係合ピン３５が外側（すなわち、開口３ｂと反対側）に位置した状態となる。これより、ポッド７０の錠機構７４では、係合部７８が切欠き部７２ａから外されて、錠機構７４が開錠状態となり（図８の（ｂ）を参照）、容器本体７１から蓋部７２が取り外すことができるようになる。

次に、ポッド７０の錠機構７４に施錠を行わせるための錠開閉機構３０の施錠動作について説明する。錠開閉機構３０は、天板部３ｄに設けられた長穴状の各開口３ｅにおいて係合ピン３５が外側（すなわち、開口３ｂと反対側）に位置した状態で、待機する。このとき、錠開閉機構３０の移動部３１、連動部３２及びエアシリンダ３３は、図１０に示される状態にある。そして、当該ポッド７０において開錠状態にある各錠機構７４の凹部７８ａに（図８の（ｂ）を参照）、上下方向において対向する係合ピン３５が係合した状態にある。

この状態で、容器本体７１に蓋部７２が取り付けられると、図９に示されるように、錠開閉機構３０では、シリンダ部３３ａに対するガスの導出入によってロッド部３３ｂが前側にスライドさせられる。これにより、前側の第２回動部材３８が平面視時計回りに回動させられ、前側の第１連結部材３７が左側に移動させられる。更に、前側の一対の第１回動部材３４が平面視時計回りに回動させられ、係合ピン３５が後側に移動させられる。その一方では、後側の第２回動部材３８が平面視時計回りに回動させられ、後側の第１連結部材３７が右側に移動させられる。更に、後側の一対の第１回動部材３４が平面視時計回りに回動させられ、係合ピン３５が前側に移動させられる。つまり、図５に示されるように、天板部３ｄに設けられた長穴状の各開口３ｅにおいて係合ピン３５が内側（すなわち、開口３ｂ側）に位置した状態となる。これより、ポッド７０の錠機構７４では、係合部７８が切欠き部７２ａに係合して、錠機構７４が施錠状態となる（図８の（ａ）を参照）。

以上説明したように、蓋開閉装置１では、複数の移動部３１が、第１回動部材３４を回動させて係合ピン３５を移動させることで、ポッド７０の錠機構７４に施錠を行わせるための施錠動作、及びポッド７０の錠機構７４に開錠を行わせるための開錠動作を行う。そして、ポッド７０の錠機構７４に施錠を行わせる場合には、連動部３２が、複数の移動部３１を連動させて複数の移動部３１に施錠動作を行わせる。一方、ポッド７０の錠機構７４に開錠を行わせる場合には、連動部３２が、複数の移動部３１を連動させて複数の移動部３１に開錠動作を行わせる。このように、複数の移動部３１による開錠動作及び施錠動作が一斉に行われるため、動作にばらつきが生じず、開錠動作及び施錠動作を迅速且つ的確に行うことができる。しかも、一つのエアシリンダ３３が移動部３１及び連動部３２を一斉に駆動させるので、低コスト化を図ることができる。更に、錠開閉機構３０の調整を行う際には、エアシリンダ３３と被駆動部分である第２連結部材３９とが接続される箇所のみを調整すれば足りるため、メンテナンスが容易であるという点からも、低コスト化を図ることができる。以上により、蓋開閉装置１によれば、低コスト化を図り得る構成で容器本体７１に対する蓋部７２の開閉を迅速に且つ安定的に行うことが可能となる。

各移動部３１は、装置本体２に回動可能に支持されて係合ピン３５を移動させる第１回動部材３４を有し、連動部３２は、一対の第１回動部材３４を連結して当該第１回動部材３４を回動させる第１連結部材３７を有している。これにより、第１回動部材３４及び第１連結部材３７を含むリンク機構という簡易な構成で、複数の移動部３１のそれぞれを確実に動作させることができる。

第１連結部材３７によって連結された一対の第１回動部材３４は、装置本体２の載置面１０にポッド７０が載置されたときに蓋部７２に対して前側及び後側のそれぞれに位置するように複数対配置されており、連動部３２は、装置本体２に回動可能に支持されて第１連結部材３７のそれぞれが接続された一対の第２回動部材３８と、一対の第２回動部材３８を連結して当該第２回動部材３８を回動させる第２連結部材３９と、を更に有している。これにより、蓋部７２に対して前側及び後側のそれぞれに位置するように移動部３１が複数対配置される場合にも、複数の移動部３１のそれぞれを確実に動作させることができる。

蓋開閉装置１によれば、錠開閉機構３０においてパーティクルが発生したとしても、周囲のクリーンな環境を汚染することを防止することが可能となる。その理由は、次のとおりである。すなわち、直動式機構（ロッド等）では、体積移動に伴って空気が押しのけられるので、発生したパーティクルが拡散し易い。一方、回動式機構は、一般的に直動式機構に比べて体積移動が少なく（真の円板なら理屈上はゼロ）、また、摺動する部位を特定し易い（例えば本実施形態においては、軸支部分であるベアリング３６等）ので、発生したパーティクルの拡散抑制効果が高い。蓋開閉装置１では、装置本体２の凹部３ｃにおいて天板部３ｄの開口３ｅに臨む位置には、回動式機構である第１回動部材３４が位置し、直動式機構は、当該位置から離間することになる。従って、蓋開閉装置１によれば、発生したパーティクルが天板部３ｄの開口３ｅ介して装置本体２外に出るのを的確に抑制することができ、その結果、周囲のクリーンな環境を汚染することを防止することが可能となる。

移動部３１及び連動部３２に駆動力を付与するアクチュエータとして、エアシリンダ３３が用いられている。これにより、例えばラックピニオン機構を用いる場合に比べ、動作時の発塵を抑制することができると共に機構の簡素化を図ることができる。従って、装置１内及びその近傍の雰囲気を清浄に維持しつつ、複数の移動部３１のそれぞれを確実に動作させることができる。

回動部材３４，３８及び連結部材３７，３９が板状の部材であるため、錠開閉機構３０の高さを抑えることができ、その結果、蓋開閉装置１の小型化を図ることが可能となる。

以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。例えば、本発明の蓋開閉装置の対象は、レチクルＲを収納するポッド７０に限定されず、他の被収納物を収納する他の収納容器であってもよい。移動部及び連動部に駆動力を付与するアクチュエータとして、エアシリンダ３３以外のアクチュエータを用いてもよい。上述した全ての構成の形状及び材料としては、上述したもの限定されず、様々な形状及び材料を適用することができる。本発明の第１連結部材及び第２連結部材は、上述したロッド状の部材に限定されない。第１連結部材及び第２連結部材がワイヤ等の他の連結部材であっても、上述したものと同様の動作機構を実現することができる。錠開閉機構３０の開錠動作及び施錠動作は、回動部材３４，３８の回動方向及び連結部材３７，３９の移動方向を上述した場合と逆方向にしても実現することができる。

本発明によれば、低コスト化を図り得る構成で容器本体に対する蓋部の開閉を迅速に且つ安定的に行うことができる蓋開閉装置を提供することが可能となる。

１…蓋開閉装置、２…装置本体、３ｃ…凹部、３ｄ…天板部、３ｅ…開口、１０…載置面、３１…移動部、３２…連動部、３３…エアシリンダ（アクチュエータ）、３４…第１回動部材、３５…係合ピン（係合部）、３７…第１連結部材、３８…第２回動部材、３９…第２連結部材、７０…ポッド（収納容器）、７１…容器本体、７２…蓋部、７４…錠機構、Ｒ…レチクル（被収納物）。

Claims (5)

1. 被収納物を収納する容器本体と、前記容器本体に対して開閉可能な底部を成し、前記被収納物が載置される蓋部と、前記容器本体に対する前記蓋部の開錠及び施錠を行う錠機構と、を備える収納容器について、前記容器本体に対する前記蓋部の開閉を行う蓋開閉装置であって、
   前記収納容器が載置される装置本体と、
   前記装置本体に前記収納容器が載置されたときに前記錠機構に係合する係合部を有し、前記係合部を移動させることで、前記錠機構に前記開錠を行わせるための開錠動作、及び前記錠機構に前記施錠を行わせるための施錠動作を行う複数の移動部と、
   前記錠機構に前記開錠を行わせる場合には、複数の前記移動部を連動させて複数の前記移動部に前記開錠動作を行わせ、前記錠機構に前記施錠を行わせる場合には、複数の前記移動部を連動させて複数の前記移動部に前記施錠動作を行わせる連動部と、
   前記移動部及び前記連動部に対して一つ設けられ、前記移動部及び前記連動部を一斉に駆動させるアクチュエータと、を備える、蓋開閉装置。
2. 前記移動部のそれぞれは、前記装置本体に回動可能に支持されて前記係合部を移動させる第１回動部材を更に有し、
   前記連動部は、少なくとも一対の前記第１回動部材を連結して当該第１回動部材を回動させる第１連結部材を有する、請求項１記載の蓋開閉装置。
3. 前記第１連結部材によって連結された一対の前記第１回動部材は、前記装置本体に前記収納容器が載置されたときに前記蓋部に対して一方の側及び他方の側のそれぞれに位置するように複数対配置されており、
   前記連動部は、前記装置本体に回動可能に支持されて前記第１連結部材のそれぞれが接続された一対の第２回動部材と、一対の前記第２回動部材を連結して当該第２回動部材を回動させる第２連結部材と、を更に有する、請求項２記載の蓋開閉装置。
4. 前記装置本体は、前記移動部、前記連動部及び前記アクチュエータが配置された凹部と、前記凹部を覆っており、前記収納容器が載置される載置面を成す天板部と、を有し、
   前記係合部は、前記第１回動部材に立設された係合ピンであり、
   前記天板部には、前記係合ピンを前記載置面から突出させて前記開錠動作の位置と前記施錠動作の位置との間で移動可能とする長穴状の開口が設けられている、請求項２又は３記載の蓋開閉装置。
5. 前記アクチュエータは、前記装置本体に取り付けられたシリンダ部と、基端部が前記シリンダ部内に挿入され且つ先端部が前記第２連結部材に取り付けられたロッド部と、を有し、前記シリンダ部内に対するガスの導出入によって前記ロッド部がスライドするエアシリンダである、請求項３記載の蓋開閉装置。

Images