JP4054080B2 - レチクルボックスおよびコンテナ - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、概して、ホトリソグラフィで使用するための平らな基板の保持に関するものであり、特にレチクルを解放可能に保持するためのコンテナまたはカセットに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ホトリソグラフィは半導体の製造にしばしば使用される。ホトリソグラフィでは、レチクルに保持された画像が感光性のレジストを有するウェハに投影される。ホトリソグラフィ工程では、多くの種々異なるレチクルが必要である。これらの種々異なるレチクルはそれぞれ、異物の存在しない安全な環境に保持されなければならない。基板またはレチクルを保持するためのこのようなコンテナの１つが、１９８３年１２月２７日にアベその他に発行された“基板を保持するためのコンテナ”という名称の米国特許第４４２２５４７号明細書に開示されている。この明細書には、レチクル、マスク、またはウェハ等の平らな基板を保持するためのコンテナが開示されている。コンテナは、ドアの運動と連動するようになっている接触部材を有しており、ドアが閉鎖される時に、この接触部材が、コンテナに保持された基板もしくはレチクルの平らな上面に接触するようになっている。この従来のコンテナはレチクルを保持する一方で、不都合を有している。したがって、レチクルを保持するために使用するコンテナまたはカセットを改良する必要がある。さらに、レチクルを傷つけずにまたは微粒子異物の原因とならずに、所定の固定位置にレチクルを固くかつ解放可能に保持するレチクルコンテナまたはカセットが必要である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
したがって、本発明の課題は、コンテナまたはカセットにレチクルを固くかつ解放可能に保持することである。また、本発明の別の課題は微粒子異物を減じることである。
【０００４】
この課題を解決するために、本発明の構成では、本体と、締付けバーと、この締付けバーに取り付けられた複数の角隅支持部材とを有しており、該複数の角隅支持部材が旋回可能になっており、ばねが設けられており、このばねは、一方の端部で前記複数の角隅支持部材の少なくとも１つに取り付けられており、他方の端部で前記本体に取り付けられており、前記締付けバーが動かされたときに、前記複数の角隅支持部材が動くようになっており、前記本体には持上げバーが可動に結合されており、また該持上げバーにレチクル支持部材が取り付けられており、これにより、レチクルが１つの方向で所定の位置に位置することができるようにした。
【０００５】
【発明の効果】
本発明は、複数の角隅支持部材に取り付けられたまたは連結された移動可能な締付けバーを備えたレチクルボックスを有している。角隅支持部材は、一方の端部で定置の支持部材に、他方の端部で締付けバーに取り付けられている。角隅支持部材の１つは、締付けバーに取り付けられたリンク装置によって制御される。締付けバーの運動に基づいて、複数の角隅支持部材はレチクルの角隅から旋回離反される。角隅支持部材は、レチクルを所定の位置に固く保持する。持上げバーは、１つの方向での最初の予備位置を得るために使用される。
【０００６】
本発明の利点は、レチクルが、コンテナまたはカセット内の公知のまたは所定の位置に正確に保持されることである。
【０００７】
本発明の別の利点は、レチクルがコンテナまたはカセット内で動かないように固く保持されることである。
【０００８】
本発明の特徴は、レチクルがレチクルの角隅で保持されることである。
【０００９】
本発明の別の特徴は、レチクルが、比較的小さな直線運動で単一個所において加えられる比較的小さい力で解放されることである。
【００１０】
本発明の別の特徴は、レチクルの意図的でない解放を回避するためにロック機構が使用されていることである。
【００１１】
これらのおよび別の目的、利点、および特徴は、以下の詳細な説明を読むことにより容易に明らかとなる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を図面につき詳しく説明する。
【００１３】
図１は本発明を示している。図１には、本体１２を備えたレチクルボックス、コンテナまたはカセットが示されている。本体１２内部には締付けバー１４が配置されている、締付けバー１４は、どちらの側にもアーム１５を有している。各アーム１５は、底部角隅支持部材２０に旋回可能に支承されている。アーム１５は底部角隅支持部材２０にピンによって取り付けられている。底部角隅支持部材２０は、レチクル５６の角隅を嵌め込むために形成されたまたは適合させられた窪みまたは溝を有している。レチクル５６は通常、ホトリソグラフィによって半導体ウェハに再生されるべきパターン画像を備えた平らなガラス基板である。締付けバーばねもしくはたわみ部材１６が、一方の端部で底部角隅支持部材２０に取り付けられており、他方の端部で定置の支持部材１８に固く固定されているか、または取り付けられている。定置の支持部材１８は、本体１２に固く取り付けられている。したがって、定置の支持部材１８は、本体１２に対して不動である。一方のアーム１５は、ピン２６でレバー２８に旋回可能に支承されている。レバー２８は、支点として働くレバー支持部材２４にピン２６で旋回可能に支承されている。レバー２８の他方の端部は、コネクタ３０によって上部角隅支持部材アクチュエータ３２に連結されている。コネクタ３０は、アクチュエータ３２の一方の端部に取り付けられている。アクチュエータ３２の他方の端部は、本体１２にピン２６で旋回可能に支承されている。上部角隅支持部材アーム３５は、一方の端部で本体１２にピン２６で旋回可能に支承されており、かつ中央部においてピン２６でアクチュエータに取り付けられている。支持部材アーム３５の他方の端部は、この端部に取り付けられた上部角隅支持部材３４を有している。上部角隅支持部材３４は、レチクル５６の角隅を収容または保持するための窪みまたは溝を有している。アクチュエータ３２と支持アーム３５とは、支持部材取付けプレート３６に取り付けられている。
【００１４】
持上げバー３８が、持上げバーばねもしくはたわみ部材４０の一方の端部に取り付けられている。持上げバーばねもしくはたわみ部材４０の他方の端部は、定置の支持部材１８に取り付けられている。持上げバー３８には、持上げレチクル支持部材３９が取り付けられている。締付けバー１４と持上げバー３８とは、互いに独立して動く。レチクルボックス１０の挿入、取り出しおよび運搬を容易にするために、本体１２にはハンドル４２が設けられている。ハンドル４２は、使用者の指を通して巻き付けることができるような開口、または単に掴み易くするための窪みを有していてもよい。
【００１５】
図２は、図１に示した本発明を分解図で示している。しかしながら、図２は付加的にカバー４４とラッチ機構４６，４８，５０，５２，５４とを示している。カバー４４は本体に旋回可能に取り付けられている。カバー４４の１つの角隅には、ラッチハウジング４６が設けられている。ラッチハウジング４６は、ラッチばね５０およびラッチ５２と共にラッチガイド４８を有している。ラッチ５２は、レチクルボックス１０の本体１２に取り付けられたラッチ捕捉部５４と係合するように適合させられている。カバー４４は、レチクル５６を最初に配置するために本体１２内部へのアクセスを許す。
【００１６】
図１および図２を参照することにより、レチクルボックス１０の働きを容易に理解することができる。一般的にレチクルボックス１０もしくはカセットは、ホトリソグラフィ工具または装置の一部に関連したレチクルライブラリに保持されている。レチクルボックス１０もしくはカセットは、ハンドル４２を用いてレチクルライブラリに挿入され、またレチクルライブラリから取り外される。レチクルボックス１０がレチクルライブラリ内に位置決めされると、オートメーション化されたアーム（図示せず）が、側部の開口を通って挿入され、閉鎖されたレチクルボックス１０からレチクル５６を取り出すために使用される。レチクル５６は、レチクルボックス１０から取り出され、投影光学系を用いて半導体ウェハのような感光基板にレチクルのパターンを転写する位置へ搬送される。オートメーション化されたホトリソグラフィ工程ではレチクル５６を所定の位置に正確に位置決めし、またレチクル５６を固く保持することが有利である。レチクル５６は先ず初めに、締付けバー１４および持上げバー３８を直線的に動かすか、または移動させることによってレチクルボックス１０内部に位置決めされる。締付けバー１４をＹ方向で下方へ動かす場合、底部角隅支持部材２０が、ばねもしくはたわみ部材１６によって生ぜしめられるバイアス力に抗して外方旋回させられる。一方のアーム１５はレバー２８に取り付けられており、レバーを動かし、コネクタ３０を上方へ押圧する。コネクタ３０はアクチュエータ３２に取り付けられており、次いでアクチュエータが支持アーム３５に旋回可能に結合されているので、上部角隅支持部材３４が外方へ回転または旋回させられる。この時点で底部角隅支持部材２０および上部角隅支持部材３４は、レチクル５６の角隅を収容する位置を占めている。しかしながら、レチクル５６の位置決めに先立ち、持上げバー３８がストッパに対して位置決めされ、レチクルが所定のＹ方向に支持部材３９で予め位置決めされる。つまり、レチクル５６がレチクルボックス１０もしくはカセットに配置されて、支持部材３９と接触すると、所定のＹ方向初期位置が得られる。クランプバー１４の解放に基づき、ばねもしくはたわみ部材１６により底部角隅支持部材２０および上部角隅支持部材３４がレチクル５６の角隅に接触する通常位置へ戻される。図２に示したように、支持部材カバー２２が底部角隅支持部材２０および上部角隅支持部材３４において使用されている。支持部材カバー２２はさらに、レチクルをＺ軸線またはＺ方向に沿って位置させかつ保持することを助成する。したがって、レチクル５６は固く保持され、Ｘ，ＹおよびＺ方向で正確に位置決めされる。締付けバー１４を、必要であれば持上げバー３８を引き下げることにより、レチクルは解放される。
【００１７】
図３〜図５には本発明の別の実施例が示されている。図３〜図５に示された実施例は、構造および働きにおいて図１および図２に示された実施例と類似しているが、図３〜図５の実施例では、レチクル５６の意図的でない動きを回避するために角隅ロック機構が使用されている。レチクルボックス１１０は本体１１２を有している。本体１１２には締付けバー１１４が取り付けられている。締付けバーは案内柱１４１によって案内されている。締付けバー１１４の各端部には、底部角隅支持部材１２０が旋回可能に取り付けられている。底部角隅支持部材１２０はピン１２６で取り付けられている。締付けバーばねもしくはたわみ部材１１６が一方の端部で底部角隅支持部材に取り付けられている。締付けバーばねもしくはたわみ部材１１６の他方の端部は、締付けバーばねが固定された支持部材１１８に取り付けられている。締付けバー１１４の一方の端部は、レバー１２８に旋回可能に支承されている。レバー１２８の支点はレバー支持部材１２４にピン１２６で旋回可能に支承されている。レバー１２８の一方の端部は、コネクタ１３０に取り付けられている。コネクタ１３０の他方の端部は上部角隅支持部材アクチュエータ１３２に取り付けられている。上部角隅支持部材アクチュエータ１３２は、支持部材取り付けプレート１３６にピン１２６で旋回可能に結合されている。上部角隅支持部材アクチュエータ１３２には上部角隅支持部材１３４が形成されている。上部角隅支持部材アクチュエータ１３２の一方の端部にはロッド１５８が旋回可能に結合されている。ロッド１５８の他方の端部には屈曲部１６０が設けられている。ロッド１５８は支持部材１６２によって所定の位置に摺動可能に保持されている。ばね負荷をかけられた上部ドア１６４は開口１６６を有している。開口１６６は、ロッド１５８の屈曲部１６０を収容する大きさになっている。ハンドルを備えた端部とは反対側の、一方の底部角隅支持部材１２０に、ばねタブ１７０が配置されている。ばねタブ１７０は、側部ドア１６８が開放位置へ押し下げられる時に、この側部ドアに接触するのに十分な距離だけ延びている。したがって、ばねタブ１７０は側部ドア１６８の開放と共に押し下げられる。底部角隅支持部材１２０および上部角隅支持部材１３４は、閉鎖時には、レチクル５６を堅固な位置に保持する。レチクル支持部材１３９は、レチクルの位置決めを助成し、またレチクルの重量の一部を支える。
【００１８】
図４Ａおよび図４Ｂは、２つの底部角隅支持部材１２０のうちの一方に関連したロック機構をより明確に示している。図４Ａには、ばねタブ１７０の働きが明確に示されている。ばね負荷をかけられたドア１６８が矢印１７４で示すように閉じられると、ドア１６８はばねタブ１７０の端部に接触する。ばねタブ１７０は下方へ押しつけられる。ばねタブ１７０に形成された支持面もしくは肩１７２も下方へ動かされる。底部角隅支持部材１２０を保持するばねまたはたわみ部材１１６の一部が、ばねタブ１７０が持ち上げられた位置もしくは通常位置にある場合は肩１７２に当て付けられる。これにより、締付けバー１１４によって引き下げられる時に底部角隅支持部材１２０が所定の位置から動くことが回避される。すなわち、側部ドア１６８が閉じられている場合、底部角隅支持部材は所定の位置にロックされて動くことができない。しかしながら、側部ドアが開かれている場合、ばねタブ１７０が下方へ押しつけられ、底部角隅支持部材１２０を解放する。これにより、レチクル５６は締付けバー１１４が動かされる場合に解放される。ロック機構の働きをより明確に示すために、底部角隅支持部材１２０に関連したカバーは図４Ｂには示されていないので、図４Ｂには、肩１７２および底部角隅支持部材を保持するたわみ部材１１６の一部がより明確に示されている。
【００１９】
図５Ａおよび図５Ｂは、上部角隅支持部材１３４に関連したロック機構の働きをさらに明確に示している。図３、図５Ａおよび図５Ｂを参照すると、上部角隅支持部材１３４に関連したロック機構の働きを理解することができる。上部ドアが閉じられている場合、ロッド１５８の屈曲部１６０は、開口１６６を貫通して延びている。すなわち、図３に示された締付けバー１１４が下げられると、レバー１２８は、矢印１７６によって示されているように、取り付けられたロッド１３０を上方へ押しながら旋回する。上部角隅支持部材１３２はレチクルから僅かに離れるように後方へ押圧され、この場合、元の位置は破線で示されている。しかしながら、上部角隅支持部材１３２は、上部ドア１６４の開口１６６の一方の縁部に衝突する屈曲部１６０によって制限される。有利には、上部ドア１６４が閉じられている場合には、上部角隅支持部材１３４の動きは、動くとしても極めて僅かである。すなわち、上部ドア１６４が閉鎖位置を占めている場合、上部角隅支持部材１３４は、レチクル１５６を確実に保持する位置で実質的にロックされている。図５Ｂは、上部ドア１６４がレチクル５６から外方へ開放されている場合のロック機構の解除を示している。上部ドア１６４が開放されている場合、屈曲部１６０は、開口１６６によって制限されず、後方へまたは上部角隅支持部材１３４に向かって動くことができる。これにより、上部角隅支持部材アクチュエータ１３２を解放し、自由に動くことができるようにする。すなわち、上部角隅支持部材１３４がレチクル１５６の角隅から旋回離反する。
【００２０】
図３〜図５に示されたレチクルボックス１１０の働きは、前に説明した図１および図２に示されたレチクルボックス１０の働きとほぼ類似している。しかしながら、図３〜図５に示されたレチクルボックスは、僅かに異なるリンク機構を有しており、またこのレチクルボックスに保持されたレチクル５６の意図的でない動きを回避するために角隅ロック機構の付加的特徴を有している。
【００２１】
本発明は、公知の所定位置にレチクルを確実に保持する場合に、半導体の製造に使用されるホトリソグラフィの製造過程の間レチクルの位置決めおよび取り扱いを著しく容易にする。しかし、レチクル５６の保持が説明されているが、本発明は如何なる平らな基板の保持にも適用可能である。その上、本発明は、極めて僅かな可動部分を提供し、レチクルを角隅だけで保持することによって、微粒子異物を著しく減じることが判った。半導体構成要素の特有の大きさが小さくなるにしたがって、微粒子異物がより問題になりつつある。レチクルの接触および本発明の機構の運動は最小限に保たれている。その上、負荷装置または締付けバー１４は通常、約０．２５インチもしくは６ミリメートルしか動かない。また、本発明により、±０．０１０インチもしくは０．２５ミリメートルの範囲の位置決め精度も可能となる。本発明のレチクルボックスにより、鉛直位置および水平位置でのレチクルの取り扱いおよび運搬が著しく容易となり、またレチクルを確実に保持することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例の上部平面図である。
【図２】本発明の実施例の斜視分解図である。
【図３】本発明の別の実施例の上部平面図である。
【図４】角隅ロック機構の部分的な斜視図である。
【図５】別の角隅ロック機構の部分的な上部平面図である。
【符号の説明】
１０，１１０ レチクルボックス、 １２，１１２ 本体、 １４，１１４ 締付けバー、 １５ アーム、 １６，１１６ 締付けバーばねもしくはたわみ部材、 １８，１１８ 支持部材、 ２０，１２０ 底部角隅支持部材、 ２２支持部材カバー、 ２４，１２４ レバー支持部材、 ２６，１２６ ピン、２８，１２８ レバー、 ３０，１３０ コネクタ、 ３２ アクチュエータ、 ３４，１３４ 上部角隅支持部材、 ３５ 支持部材アーム、 ３６，１３６ 支持部材取付けプレート、 ３８ 持上げバー、 ３９ 持上げレチクル支持部材、 ４０ 持上げバーばねもしくはたわみ部材、 ４２，１４２ ハンドル、 ４４ カバー、 ４６ ラッチハウジング、 ４８ ラッチガイド、 ５０ ラッチばね、 ５２ ラッチ、 ５４ ラッチ捕捉部、 ５６ レチクル、１３２ 上部角隅支持部材アクチュエータ、 １３９ レチクル支持部材、 １４１ 案内柱、 １５８ ロッド、 １６０ 屈曲部、 １６２ 支持部材、１６４ 上部ドア、 １６６ 開口、 １６８ 側部ドア、 １７０ ばねタブ、 １７２ 肩、 １７４ 矢印
【発明の属する技術分野】
本発明は、概して、ホトリソグラフィで使用するための平らな基板の保持に関するものであり、特にレチクルを解放可能に保持するためのコンテナまたはカセットに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
ホトリソグラフィは半導体の製造にしばしば使用される。ホトリソグラフィでは、レチクルに保持された画像が感光性のレジストを有するウェハに投影される。ホトリソグラフィ工程では、多くの種々異なるレチクルが必要である。これらの種々異なるレチクルはそれぞれ、異物の存在しない安全な環境に保持されなければならない。基板またはレチクルを保持するためのこのようなコンテナの１つが、１９８３年１２月２７日にアベその他に発行された“基板を保持するためのコンテナ”という名称の米国特許第４４２２５４７号明細書に開示されている。この明細書には、レチクル、マスク、またはウェハ等の平らな基板を保持するためのコンテナが開示されている。コンテナは、ドアの運動と連動するようになっている接触部材を有しており、ドアが閉鎖される時に、この接触部材が、コンテナに保持された基板もしくはレチクルの平らな上面に接触するようになっている。この従来のコンテナはレチクルを保持する一方で、不都合を有している。したがって、レチクルを保持するために使用するコンテナまたはカセットを改良する必要がある。さらに、レチクルを傷つけずにまたは微粒子異物の原因とならずに、所定の固定位置にレチクルを固くかつ解放可能に保持するレチクルコンテナまたはカセットが必要である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
したがって、本発明の課題は、コンテナまたはカセットにレチクルを固くかつ解放可能に保持することである。また、本発明の別の課題は微粒子異物を減じることである。
【０００４】
この課題を解決するために、本発明の構成では、本体と、締付けバーと、この締付けバーに取り付けられた複数の角隅支持部材とを有しており、該複数の角隅支持部材が旋回可能になっており、ばねが設けられており、このばねは、一方の端部で前記複数の角隅支持部材の少なくとも１つに取り付けられており、他方の端部で前記本体に取り付けられており、前記締付けバーが動かされたときに、前記複数の角隅支持部材が動くようになっており、前記本体には持上げバーが可動に結合されており、また該持上げバーにレチクル支持部材が取り付けられており、これにより、レチクルが１つの方向で所定の位置に位置することができるようにした。
【０００５】
【発明の効果】
本発明は、複数の角隅支持部材に取り付けられたまたは連結された移動可能な締付けバーを備えたレチクルボックスを有している。角隅支持部材は、一方の端部で定置の支持部材に、他方の端部で締付けバーに取り付けられている。角隅支持部材の１つは、締付けバーに取り付けられたリンク装置によって制御される。締付けバーの運動に基づいて、複数の角隅支持部材はレチクルの角隅から旋回離反される。角隅支持部材は、レチクルを所定の位置に固く保持する。持上げバーは、１つの方向での最初の予備位置を得るために使用される。
【０００６】
本発明の利点は、レチクルが、コンテナまたはカセット内の公知のまたは所定の位置に正確に保持されることである。
【０００７】
本発明の別の利点は、レチクルがコンテナまたはカセット内で動かないように固く保持されることである。
【０００８】
本発明の特徴は、レチクルがレチクルの角隅で保持されることである。
【０００９】
本発明の別の特徴は、レチクルが、比較的小さな直線運動で単一個所において加えられる比較的小さい力で解放されることである。
【００１０】
本発明の別の特徴は、レチクルの意図的でない解放を回避するためにロック機構が使用されていることである。
【００１１】
これらのおよび別の目的、利点、および特徴は、以下の詳細な説明を読むことにより容易に明らかとなる。
【００１２】
【発明の実施の形態】
以下に本発明の実施の形態を図面につき詳しく説明する。
【００１３】
図１は本発明を示している。図１には、本体１２を備えたレチクルボックス、コンテナまたはカセットが示されている。本体１２内部には締付けバー１４が配置されている、締付けバー１４は、どちらの側にもアーム１５を有している。各アーム１５は、底部角隅支持部材２０に旋回可能に支承されている。アーム１５は底部角隅支持部材２０にピンによって取り付けられている。底部角隅支持部材２０は、レチクル５６の角隅を嵌め込むために形成されたまたは適合させられた窪みまたは溝を有している。レチクル５６は通常、ホトリソグラフィによって半導体ウェハに再生されるべきパターン画像を備えた平らなガラス基板である。締付けバーばねもしくはたわみ部材１６が、一方の端部で底部角隅支持部材２０に取り付けられており、他方の端部で定置の支持部材１８に固く固定されているか、または取り付けられている。定置の支持部材１８は、本体１２に固く取り付けられている。したがって、定置の支持部材１８は、本体１２に対して不動である。一方のアーム１５は、ピン２６でレバー２８に旋回可能に支承されている。レバー２８は、支点として働くレバー支持部材２４にピン２６で旋回可能に支承されている。レバー２８の他方の端部は、コネクタ３０によって上部角隅支持部材アクチュエータ３２に連結されている。コネクタ３０は、アクチュエータ３２の一方の端部に取り付けられている。アクチュエータ３２の他方の端部は、本体１２にピン２６で旋回可能に支承されている。上部角隅支持部材アーム３５は、一方の端部で本体１２にピン２６で旋回可能に支承されており、かつ中央部においてピン２６でアクチュエータに取り付けられている。支持部材アーム３５の他方の端部は、この端部に取り付けられた上部角隅支持部材３４を有している。上部角隅支持部材３４は、レチクル５６の角隅を収容または保持するための窪みまたは溝を有している。アクチュエータ３２と支持アーム３５とは、支持部材取付けプレート３６に取り付けられている。
【００１４】
持上げバー３８が、持上げバーばねもしくはたわみ部材４０の一方の端部に取り付けられている。持上げバーばねもしくはたわみ部材４０の他方の端部は、定置の支持部材１８に取り付けられている。持上げバー３８には、持上げレチクル支持部材３９が取り付けられている。締付けバー１４と持上げバー３８とは、互いに独立して動く。レチクルボックス１０の挿入、取り出しおよび運搬を容易にするために、本体１２にはハンドル４２が設けられている。ハンドル４２は、使用者の指を通して巻き付けることができるような開口、または単に掴み易くするための窪みを有していてもよい。
【００１５】
図２は、図１に示した本発明を分解図で示している。しかしながら、図２は付加的にカバー４４とラッチ機構４６，４８，５０，５２，５４とを示している。カバー４４は本体に旋回可能に取り付けられている。カバー４４の１つの角隅には、ラッチハウジング４６が設けられている。ラッチハウジング４６は、ラッチばね５０およびラッチ５２と共にラッチガイド４８を有している。ラッチ５２は、レチクルボックス１０の本体１２に取り付けられたラッチ捕捉部５４と係合するように適合させられている。カバー４４は、レチクル５６を最初に配置するために本体１２内部へのアクセスを許す。
【００１６】
図１および図２を参照することにより、レチクルボックス１０の働きを容易に理解することができる。一般的にレチクルボックス１０もしくはカセットは、ホトリソグラフィ工具または装置の一部に関連したレチクルライブラリに保持されている。レチクルボックス１０もしくはカセットは、ハンドル４２を用いてレチクルライブラリに挿入され、またレチクルライブラリから取り外される。レチクルボックス１０がレチクルライブラリ内に位置決めされると、オートメーション化されたアーム（図示せず）が、側部の開口を通って挿入され、閉鎖されたレチクルボックス１０からレチクル５６を取り出すために使用される。レチクル５６は、レチクルボックス１０から取り出され、投影光学系を用いて半導体ウェハのような感光基板にレチクルのパターンを転写する位置へ搬送される。オートメーション化されたホトリソグラフィ工程ではレチクル５６を所定の位置に正確に位置決めし、またレチクル５６を固く保持することが有利である。レチクル５６は先ず初めに、締付けバー１４および持上げバー３８を直線的に動かすか、または移動させることによってレチクルボックス１０内部に位置決めされる。締付けバー１４をＹ方向で下方へ動かす場合、底部角隅支持部材２０が、ばねもしくはたわみ部材１６によって生ぜしめられるバイアス力に抗して外方旋回させられる。一方のアーム１５はレバー２８に取り付けられており、レバーを動かし、コネクタ３０を上方へ押圧する。コネクタ３０はアクチュエータ３２に取り付けられており、次いでアクチュエータが支持アーム３５に旋回可能に結合されているので、上部角隅支持部材３４が外方へ回転または旋回させられる。この時点で底部角隅支持部材２０および上部角隅支持部材３４は、レチクル５６の角隅を収容する位置を占めている。しかしながら、レチクル５６の位置決めに先立ち、持上げバー３８がストッパに対して位置決めされ、レチクルが所定のＹ方向に支持部材３９で予め位置決めされる。つまり、レチクル５６がレチクルボックス１０もしくはカセットに配置されて、支持部材３９と接触すると、所定のＹ方向初期位置が得られる。クランプバー１４の解放に基づき、ばねもしくはたわみ部材１６により底部角隅支持部材２０および上部角隅支持部材３４がレチクル５６の角隅に接触する通常位置へ戻される。図２に示したように、支持部材カバー２２が底部角隅支持部材２０および上部角隅支持部材３４において使用されている。支持部材カバー２２はさらに、レチクルをＺ軸線またはＺ方向に沿って位置させかつ保持することを助成する。したがって、レチクル５６は固く保持され、Ｘ，ＹおよびＺ方向で正確に位置決めされる。締付けバー１４を、必要であれば持上げバー３８を引き下げることにより、レチクルは解放される。
【００１７】
図３〜図５には本発明の別の実施例が示されている。図３〜図５に示された実施例は、構造および働きにおいて図１および図２に示された実施例と類似しているが、図３〜図５の実施例では、レチクル５６の意図的でない動きを回避するために角隅ロック機構が使用されている。レチクルボックス１１０は本体１１２を有している。本体１１２には締付けバー１１４が取り付けられている。締付けバーは案内柱１４１によって案内されている。締付けバー１１４の各端部には、底部角隅支持部材１２０が旋回可能に取り付けられている。底部角隅支持部材１２０はピン１２６で取り付けられている。締付けバーばねもしくはたわみ部材１１６が一方の端部で底部角隅支持部材に取り付けられている。締付けバーばねもしくはたわみ部材１１６の他方の端部は、締付けバーばねが固定された支持部材１１８に取り付けられている。締付けバー１１４の一方の端部は、レバー１２８に旋回可能に支承されている。レバー１２８の支点はレバー支持部材１２４にピン１２６で旋回可能に支承されている。レバー１２８の一方の端部は、コネクタ１３０に取り付けられている。コネクタ１３０の他方の端部は上部角隅支持部材アクチュエータ１３２に取り付けられている。上部角隅支持部材アクチュエータ１３２は、支持部材取り付けプレート１３６にピン１２６で旋回可能に結合されている。上部角隅支持部材アクチュエータ１３２には上部角隅支持部材１３４が形成されている。上部角隅支持部材アクチュエータ１３２の一方の端部にはロッド１５８が旋回可能に結合されている。ロッド１５８の他方の端部には屈曲部１６０が設けられている。ロッド１５８は支持部材１６２によって所定の位置に摺動可能に保持されている。ばね負荷をかけられた上部ドア１６４は開口１６６を有している。開口１６６は、ロッド１５８の屈曲部１６０を収容する大きさになっている。ハンドルを備えた端部とは反対側の、一方の底部角隅支持部材１２０に、ばねタブ１７０が配置されている。ばねタブ１７０は、側部ドア１６８が開放位置へ押し下げられる時に、この側部ドアに接触するのに十分な距離だけ延びている。したがって、ばねタブ１７０は側部ドア１６８の開放と共に押し下げられる。底部角隅支持部材１２０および上部角隅支持部材１３４は、閉鎖時には、レチクル５６を堅固な位置に保持する。レチクル支持部材１３９は、レチクルの位置決めを助成し、またレチクルの重量の一部を支える。
【００１８】
図４Ａおよび図４Ｂは、２つの底部角隅支持部材１２０のうちの一方に関連したロック機構をより明確に示している。図４Ａには、ばねタブ１７０の働きが明確に示されている。ばね負荷をかけられたドア１６８が矢印１７４で示すように閉じられると、ドア１６８はばねタブ１７０の端部に接触する。ばねタブ１７０は下方へ押しつけられる。ばねタブ１７０に形成された支持面もしくは肩１７２も下方へ動かされる。底部角隅支持部材１２０を保持するばねまたはたわみ部材１１６の一部が、ばねタブ１７０が持ち上げられた位置もしくは通常位置にある場合は肩１７２に当て付けられる。これにより、締付けバー１１４によって引き下げられる時に底部角隅支持部材１２０が所定の位置から動くことが回避される。すなわち、側部ドア１６８が閉じられている場合、底部角隅支持部材は所定の位置にロックされて動くことができない。しかしながら、側部ドアが開かれている場合、ばねタブ１７０が下方へ押しつけられ、底部角隅支持部材１２０を解放する。これにより、レチクル５６は締付けバー１１４が動かされる場合に解放される。ロック機構の働きをより明確に示すために、底部角隅支持部材１２０に関連したカバーは図４Ｂには示されていないので、図４Ｂには、肩１７２および底部角隅支持部材を保持するたわみ部材１１６の一部がより明確に示されている。
【００１９】
図５Ａおよび図５Ｂは、上部角隅支持部材１３４に関連したロック機構の働きをさらに明確に示している。図３、図５Ａおよび図５Ｂを参照すると、上部角隅支持部材１３４に関連したロック機構の働きを理解することができる。上部ドアが閉じられている場合、ロッド１５８の屈曲部１６０は、開口１６６を貫通して延びている。すなわち、図３に示された締付けバー１１４が下げられると、レバー１２８は、矢印１７６によって示されているように、取り付けられたロッド１３０を上方へ押しながら旋回する。上部角隅支持部材１３２はレチクルから僅かに離れるように後方へ押圧され、この場合、元の位置は破線で示されている。しかしながら、上部角隅支持部材１３２は、上部ドア１６４の開口１６６の一方の縁部に衝突する屈曲部１６０によって制限される。有利には、上部ドア１６４が閉じられている場合には、上部角隅支持部材１３４の動きは、動くとしても極めて僅かである。すなわち、上部ドア１６４が閉鎖位置を占めている場合、上部角隅支持部材１３４は、レチクル１５６を確実に保持する位置で実質的にロックされている。図５Ｂは、上部ドア１６４がレチクル５６から外方へ開放されている場合のロック機構の解除を示している。上部ドア１６４が開放されている場合、屈曲部１６０は、開口１６６によって制限されず、後方へまたは上部角隅支持部材１３４に向かって動くことができる。これにより、上部角隅支持部材アクチュエータ１３２を解放し、自由に動くことができるようにする。すなわち、上部角隅支持部材１３４がレチクル１５６の角隅から旋回離反する。
【００２０】
図３〜図５に示されたレチクルボックス１１０の働きは、前に説明した図１および図２に示されたレチクルボックス１０の働きとほぼ類似している。しかしながら、図３〜図５に示されたレチクルボックスは、僅かに異なるリンク機構を有しており、またこのレチクルボックスに保持されたレチクル５６の意図的でない動きを回避するために角隅ロック機構の付加的特徴を有している。
【００２１】
本発明は、公知の所定位置にレチクルを確実に保持する場合に、半導体の製造に使用されるホトリソグラフィの製造過程の間レチクルの位置決めおよび取り扱いを著しく容易にする。しかし、レチクル５６の保持が説明されているが、本発明は如何なる平らな基板の保持にも適用可能である。その上、本発明は、極めて僅かな可動部分を提供し、レチクルを角隅だけで保持することによって、微粒子異物を著しく減じることが判った。半導体構成要素の特有の大きさが小さくなるにしたがって、微粒子異物がより問題になりつつある。レチクルの接触および本発明の機構の運動は最小限に保たれている。その上、負荷装置または締付けバー１４は通常、約０．２５インチもしくは６ミリメートルしか動かない。また、本発明により、±０．０１０インチもしくは０．２５ミリメートルの範囲の位置決め精度も可能となる。本発明のレチクルボックスにより、鉛直位置および水平位置でのレチクルの取り扱いおよび運搬が著しく容易となり、またレチクルを確実に保持することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例の上部平面図である。
【図２】本発明の実施例の斜視分解図である。
【図３】本発明の別の実施例の上部平面図である。
【図４】角隅ロック機構の部分的な斜視図である。
【図５】別の角隅ロック機構の部分的な上部平面図である。
【符号の説明】
１０，１１０ レチクルボックス、 １２，１１２ 本体、 １４，１１４ 締付けバー、 １５ アーム、 １６，１１６ 締付けバーばねもしくはたわみ部材、 １８，１１８ 支持部材、 ２０，１２０ 底部角隅支持部材、 ２２支持部材カバー、 ２４，１２４ レバー支持部材、 ２６，１２６ ピン、２８，１２８ レバー、 ３０，１３０ コネクタ、 ３２ アクチュエータ、 ３４，１３４ 上部角隅支持部材、 ３５ 支持部材アーム、 ３６，１３６ 支持部材取付けプレート、 ３８ 持上げバー、 ３９ 持上げレチクル支持部材、 ４０ 持上げバーばねもしくはたわみ部材、 ４２，１４２ ハンドル、 ４４ カバー、 ４６ ラッチハウジング、 ４８ ラッチガイド、 ５０ ラッチばね、 ５２ ラッチ、 ５４ ラッチ捕捉部、 ５６ レチクル、１３２ 上部角隅支持部材アクチュエータ、 １３９ レチクル支持部材、 １４１ 案内柱、 １５８ ロッド、 １６０ 屈曲部、 １６２ 支持部材、１６４ 上部ドア、 １６６ 開口、 １６８ 側部ドア、 １７０ ばねタブ、 １７２ 肩、 １７４ 矢印
Claims (15)
- レチクルボックスであって、
本体と、
締付けバーと、
該締付けバーに取り付けられた複数の角隅支持部材とを有しており、該複数の角隅支持部材が旋回可能になっており、
ばねが設けられており、
該ばねは一方の端部で前記複数の角隅支持部材の少なくとも１つに取り付けられており、
他方の端部で前記本体に取り付けられており、
前記締付けバーが動かされた時に、前記複数の角隅支持部材が動くようになっており、
前記本体には持上げバーが可動に結合されており、
また該持上げバーにレチクル支持部材が取り付けられており、
これにより、レチクルが１つの方向で所定の位置に位置することができるようになっていることを特徴とする、
レチクルボックス。 - 前記複数の支持部材のうちの１つが、リンク装置を介して前記締付けバーに取り付けられている、請求項１記載のレチクルボックス。
- 前記ばねがたわみ部材である、請求項１記載のレチクルボックス。
- 平らな基板を保持するためのコンテナであって、
本体と、
第１と第２とのアームを有する締付けバーと、
第１のアームに直接旋回可能に取り付けられた第１の角隅支持部材と、
第２のアームに直接旋回可能に取り付けられた第２の角隅支持部材と、
第３の角隅支持部材と、
該第３の角隅支持部材に前記締付けバーを結合するリンク装置とを有しており、
前記第１、第２および第３の角隅支持部材を所定の位置に押圧する、前記締付けバーに連結されたばねが設けられており、
これにより、該ばねに抗して前記締付けバーが動かされた時に、前記第１、第２および第３の角隅支持部材が平らな基板の角隅から離反せしめられるようになっており、
前記本体には持上げバーが可動に結合されており、
また該持上げバーにレチクル支持部材が取り付けられており、
これにより、レチクルが１つの方向で所定の位置に位置することができるようになっていることを特徴とする、
平らな基板を保持するためのコンテナ。 - 前記ばねがたわみ部材である、
請求項４記載の平らな基板を保持するためのコンテナ。 - 前記リンク装置は、
前記締付けバーに取り付けられたレバーと、
該レバーに取り付けらたコネクタと、
該コネクタに取り付けられたアクチュエータとをさらに備え、
該アクチュエータは、前記第３の角隅支持部材に結合されている、
請求項４記載の平らな基板を保持するためのコンテナ。 - 前記持上げバーが、たわみ部材によって前記本体に結合されている、
請求項４記載の平らな基板を保持するためのコンテナ。 - 前記本体に取り付けられたカバーと、
該カバーに取り付けられたラッチとをさらに備える、
請求項４記載の平らな基板を保持するためのコンテナ。 - レチクルボックスであって、
本体と、
第１と第２とのアームを備えた締付けバーと、
第１のアームに直接旋回可能に取り付けられた第１の角隅支持部材とを有しており、
第１の端部と第２の端部とを備えた第１のたわみ部材が設けられており、該第１のたわみ部材の第１の端部が、前記第１の角隅支持部材に取り付けられており、前記第１のたわみ部材の第２の端部が、前記本体に取り付けられており、これにより、前記締付けバーが前記本体から引き離された時に、前記第１の角隅支持部材が、前記第１のたわみ部材によって加えられた押圧力に抗して移動するようになっており、
第２のアームには第２の角隅支持部材が直接旋回可能に取り付けられており、
第１の端部と第２の端部とを備えた第２のたわみ部材が設けられており、該第２のたわみ部材の第１の端部が、前記第２の角隅支持部材に取り付けられており、前記第２のたわみ部材の第２の端部が、前記本体に取り付けられており、これにより、前記締付けバーが前記本体から引き離された時に、前記第２の角隅支持部材が、前記第２のたわみ部材によって加えられた押圧力に抗して移動するようになっており、
第２のアームにはレバーが取り付けられており、
該レバーにはコネクタが取り付けられており、
アクチュエータが、一方の端部において前記本体に、他方の端部において前記コネクタに旋回可能に結合されており、
支持アームが、一方の端部で前記本体に、および前記アクチュエータに旋回可能に結合されており、
前記支持アームの末端部には、第３の角隅支持部材が取り付けられており、
前記本体には、カバーが取り付けられており、
前記締付けバーが前記本体から離反させられた時に、第１、第２および第３の角隅支持部材が、レチクルボックスに配置されたレチクルの角隅から離反させられるようになっており、
前記本体には持上げバーが可動に結合されており、
また該持上げバーにレチクル支持部材が取り付けられており、
これにより、レチクルが１つの方向で所定の位置に位置することができるようになっていることを特徴とする、
レチクルボックス。 - 前記持上げバーが、たわみ部材によって前記本体に結合されている、
請求項９記載のレチクルボックス。 - 前記カバーにはラッチが取り付けられている、
請求項９記載のレチクルボックス。 - レチクルボックスであって、
本体と、
締付けバーと、
該締付けバーに連結された複数の角隅支持部材とを有しており、該複数の角隅支持部材が旋回可能になっており、
該複数の角隅支持部材を所定の位置に押圧するばねを有しており、
前記複数の角隅支持部材の少なくとも１つに、ロック機構が連結されており、
該ロック機構が、ロック解除するまで前記複数の角隅支持部材の少なくとも１つの動きを阻止し、
これにより、前記ロック機構が解除され、締付けバーが移動させられた時に、前記複数の角隅支持部材が動くようになっており、
前記ロック機構が、ドアの開放によりロック解除されるようになっていることを特徴とする、
レチクルボックス。 - 前記ロック機構がばねタブである、
請求項１２記載のレチクルボックス。 - 前記ロック機構が、前記締付けバーと前記複数の角隅支持部材の少なくとも１つとに連結されたリンク装置である、
請求項１２記載のレチクルボックス。 - レチクルボックスであって、
本体と、
締付けバーと、
該締付けバーに連結された複数の角隅支持部材とを有しており、該複数の角隅支持部材が旋回可能になっており、
該複数の角隅支持部材を所定の位置へ押圧するばねを有しており、
ロック手段が設けられており、該ロック手段が、ロック解除されるまで前記複数の角隅支持部材の少なくとも１つの動きを阻止するために、前記複数の角隅支持部材の少なくとも１つに連結されており、
前記本体にドアが取り付けられており、該ドアの開放時に、該ドアは前記ロック機構を解除することができ、
これにより、ロック機構が解除されて前記締付けバーが移動させられた時に、前記複数の角隅支持部材が移動するようになっていることを特徴とする
レチクルボックス。
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