JPS5895812A - 基板の収納容器及び収納容器の装着装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本７発明は、ＩＣ，ＬＳＩ、ＶＬＳＩ　　等の半導体装
置を製造するためのレティクルやマスクあるいはウェハ
（以下「レティクル等」）の如き基板を収納する容器に
関する。

従来、この種の容器としては、レティクル等を一枚毎に
収納して、必要なときにこれらを取シ出すものが考えら
れている。このような容器は、防塵のために略密閉状態
でレティクル等を収納すると共に、必要なときには速や
かに取り出せるようになっていなければならない。この
ため従来の容器では、レティクル等を単に収納するのみ
であり、容器の運搬等の際に容器内でレティクル昏が摺
動してこれらが怒わぬ損傷（例えばガラス粉の付着等）
をこうむることがあった。

そこで本発明は、レティクル等の基板を略密閉状態で収
納しているときはその基板が摺動しないように押圧し、
その基板を出し入れするときはその抑圧を解除するよう
にした収納容器を得ることを目的とする。

次に本発明の犬施例を図面を参照して説明する。Ｊ　１
図は、レティクル等の基板を収納する容器いわゆるカセ
ットの斜視図である。

チリトリ状の底蓋１には、基板の周辺を支持するような
段部１ａと、これよりも収納する基板の厚み分身上高い
段部１ｂとが設けられている。さらに、基板を水平方向
に出し入れするだめの開口部を形成するだめの開口端面
１Ｃの反対側には、上蓋３がヒンジ２により同図中矢印
Ａの如く回転自在に軸支されている。

この上蓋３は、底蓋１の上面を密閉するように段部１ｂ
に載置可能である。また、上蓋３の先端面にはヒンジ４
により同図中矢印Ｂの如く回転自在に軸支された扉５が
設けられる。この扉５は、底蓋１の開口端面１Ｃと共同
して開口部を閉成又は、開放するためのものである。扉
５は、上蓋３を段部１ｂに載置した状態で収納された基
板を出し入れするために開閉される。尚、扉５の側端面
には、開閉のとき作用する溝５ａが設けられる。

また、底蓋１の両側面には、上蓋３を閉成状態に固定す
るためのＬ字形のロック部材６が同図中矢印Ｃの如く回
動自在に設けられている。

同、ロック部材６が上蓋３を係止す゛るときに底蓋１の
側面から突出しないように、その側面にはロック部材６
がはまり込む凹部１ｄが形成されている。そして、ロッ
ク部材６は上蓋３を固定するような方向に常に付勢され
ている。

一方、上蓋３の裏面、すなわち基板と対向する面側には
、ピアノ騙′の如き針金を屈曲させて形成された押え部
材Ｉを同図中矢印りの如く回転自在に軸支する一対の軸
受８が固着されている。この押え部材７には、収納した
基板の表面と当接する部分に、合成樹脂を被護した凸部
７ａ、７ｂと、この押え部材７に回転力を作用させるだ
めの凸部７ｃ、７ｄとが設けられている。この凸部７ａ
、７ｂと凸部７ｃ、、７ｄとは、互いに略直角方向に形
成されている。

また、上蓋３には突出ピン９ａ、９ｂが固着されており
、この突出ピン９ａ、９ｂと押え部材７の凸部７ｃ、７
ｄとの間には各々バネ１０．１１が接続されている。こ
のバネ１０．１１は付勢力としての引張力を発生する。

さらに、前記扉５の内側、すなわち底蓋１の開口端面１
Ｃと密接する面・１１１！ｌに突出ピン１２ａ、１２ｂ
が設けられている。この突出ピン１２ａ、１２ｂと押え
部材７の凸部７　ｃ　＋７ｄとの間には、付勢力として
の引張力を発生するバネ１３．１４がそれぞれ接続され
ている。それらのバネ１０と１１の形伏及び発生する付
勢力は共に等しく、バネ１３と１４も共に等しいものと
する。なお、第１図に示すように扉５が上４３とほぼ一
直Ｔ―になった状態では、バネ１３又は１４の付勢力の
方がバネ１０又は１１の付勢力よりも大きくなり、一方
扉５が上蓋３とほぼ直角になった状態では、その力関係
が逆転するように、バネ１０又は１１と１３又は１４の
バネ定数、掛は方等が定められている。

このように、上蓋３には押え部材７」瞳８、バネ１０〜
１４等が設けられているので、底蓋１の段部１ｂには溝
１ｅ、１ｆが形成されるとともに、その段部１ｂの一部
を切り欠いて切欠部１ｇ、１ｈが形成されている。すな
わち、上蓋３を閉じて扉５を開口端面１Ｃに密接した状
態では、凸部７ｃ、軸受８、突出ピン９ａ、１２ａ及び
バネ１０．１３が縛１ｅの内部に入り込み、また凸部７
ｄ、軸受８、突出ピン９ｂ、１２ｂ及びバネ１１．１４
が１＃１ｆの内部に入り込む。そして、押え部材７の回
転軸となる部分８が切欠部１ｇ、Ｉｈを通る。

また、このカセットは、例えば複数個のカセットを積み
重ねるように保持可能なカートリッジに装着される。そ
のため、底蓋１の両ｔｉｌｔｌ面には、ガイド部材１５
が固定されている。

このガイド部材１５は、カートリッジに装着しやすいよ
うに、開目端面１Ｃ側の一部はテーパ部１５＆にし、ヒ
ンジ２１１４ｔｌには突起部１５ｈが形成されている。

このガイド部材１５の働きについては、後で詳しく説明
する。また、基板をこのカセット内に収納したとき、基
板が段部１ａ上を摺動するのを防止するために、底蓋１
の左右の段部１ａには基板の大きさに合わせてわずかな
突出部１ｊが２個ずつ設けられている。伺、押え部材７
の凸部７ａ、７−ｂは、レティクル等のパターン描画頭
載周辺の余白部と当接するように定められている。また
、ここでは、バネ１０と１３との組、及びバネ１１と１
４との組の２組を用いているが、押え部材７に剛性の高
い材質を用いた場合には、いずれか１組でよい。

レティクルやマスク等の基板をこのカセット内に収納す
るには、Ｍ１図のように上蓋３を開いた状態で、突出部
１Ｊにより基板の端面が規Ｉ１１］されるように、段部
１ａ上に載置する。そして、上Ｍ３を閉じて、ロック部
材６により、上蓋３と底蓋１とを固定する。このように
、上蓋３を開閉可能とすることによって、カセット内へ
基板を入れる作業及び取り出す作業が手により容易に行
なうことができる。尚、上述の底蓋１ど上蓋３とにより
本発明のケースを構成し、押え部材７、バネ１０〜１４
により基板押え手段を構成する。

次に、本発明の実施例によるカセットの動作について１
．さらに第２図を用いて説明する。

第２図（ａ）はカセットの扉５が閉じている状態を、第
２図＋：ｌ））は扉５が開いた状態をそれぞれ示す。伺
、前洟のように、バネ１０と１１の作用及びバネ１３と
１４の作用は互いに同一なので、第２図ではバネ１１と
バネ１４及び押え部材７の関係についてのみ示しである
。

′第２図（ａ）において、扉５が上蓋３とほぼ直角にな
った閉成状態では、バネ１１の引張力の方がバネ１４の
引張力よりも大きくなり、押え部材７が回転されてその
凸部７ｄは突出ビン９ｂ、の方へ付勢される。このため
、凸部７ｂは同図中の矢印Ｆ１方向に基板１００の表面
を押圧する。従って、基板１００は底蓋１の段部１ａに
押圧される。なお、この状態でも、バネ１４の付勢力は
作用しており、突出ビン１２ｂと共に、扉５は底蓋１の
開口端部１Ｃに押圧される。

次に第２図（ａ）の状態から第２図（ｂ）の状態まで扉
５を開いていくと、突出ビン１２ｂとバネ１４との接続
点が両図に示すよう吟長さ４〜分だけ移動する。このた
め、バネ１４の一端が突出ビン１２ｂによって引っ張ら
れ、その付勢力が増大する。そして、扉５が第２図（ｂ
）の（ｉｔ　Ｒまで開く前に、バネ１４とバネ１１の付
勢力の大きさが逆転する。このとき、押え部材７が回転
してその凸部７ｂは、基板１００の表面から離れる。さ
らに扉５が上蓋３とほぼ平行になるまで開くと、バネ１
４の付勢力の方がバネ１１の付勢力よりも大きくなって
、凸部７ｂは、図中の矢印Ｆ２方向に、上蓋３の裏面を
押圧する。

尚、以上胱明したハネ１０，１１，１３゜１４は金属性
のコイルハネでもよいが、扉５の開閉によって金属同志
の結合部分から切り粉が発生することがある。そこで、
バネとして、合成樹脂、レリえばデルリン等を付勢力が
発生するような形状に加工して用いれば、たとえ切り粉
が出たとしても、金属の切り粉のように基板表面に１易
をつけることは微減される。

以上のように、不発明の実１通例によるカセットでは、
バネ１１又は１０とバネ１４又は１３とを設け、扉５の
閉成状・占と論、−′ｉ、１入・ルとに従ってそれぞれ
押え部材７の凸部７ａ、　７ｂに基板１００を押圧する
力を発生させている。

このため、基板１００を収納してカセットを搬送する際
、基板１００がカセット内で摺動したり、ガタついたシ
することが防止される。また扉５を開放して、基板１０
０をカセットの開口部から水平に取り出すときは、押え
部材７が基板１００から離れるので、凸部７ａ、　７ｂ
によって基板１００に傷を付けることがない。

次に、上述のカセットを装着して、基板の出し入れを行
なう装置について、第３図面の簡単な説明する。カセッ
トはカートリッジ２００に扉５が揃うように積み重ねら
れて、複数個が装着される。このとき、各カセットのガ
イド部材１５がカートリッジ２００の支柱部２００ａで
上下方向には移動可能に保持される。しかし着脱のため
横方向には可動である。そして、カセット内の基板を載
置するためのフォーク形状の載置板２０１と、カセット
の扉５を開閉するための開閉部材２０２とを一体に有す
る上下動装置２０３が設けられる。上下動装置２０３は
、同図中矢印Ｙの如く、支柱２００ａに沿って上下に移
動する。一方、載置板２０１は上下動装置２０３内に設
けられた不図示の水平移動・機構によって同図中矢印Ｘ
の如く移動可能とされている。また、開閉部材２０２は
通常は図示の如く、屈曲した先端部２０２ａが下方に位
置するように決められており、上下動装置２０３が上下
−すると、先端部２０２ａは各カセットの扉５の溝５ａ
と保合しつつ上下方向に移動する。そして、扉５を開放
するときは不図示の駆動源の作用で開閉部材２０２が溝
５ａに係合して約９０°回転する。

このような装置において、まず上下動装置２０３は載置
板２０１が所望とするカセットの扉５と対向するように
横方向に移動する。

そして、その状態で開閉部材２０２を回転して扉５を第
２図（ｂ）のように開放する。扉５が開くと、載置板２
０１がカセット内に進入する。このとき載置板２０１は
、４１図及び第２図において、基板１００と底蓋１との
間隙に挿入される。ａ、置板２０１が基板１００の下方
に位置すると、上下動装置２０３がわずかに上方へ移動
する。これにより、基板１００は底蓋１の段部１ａから
載置板２０１へ載せ替えられると共に、基板１００の裏
面は段部１ａの突出部１ｊよりもわずかに高くなる。

そして、載置板２０１をカセット内から水平に引き出せ
ば、基板はカセット外に取り出せる。

このようにして、カセットから取り出された基板は、Ｉ
Ｃ製造用の露光装置や、ゴミのけ着や傷を検査する装置
等へ搬送するためのローダ装置に受は渡される。一方、
ゴミの付着が確認された基板は、ただちに洗浄工程へま
わすか、予備の同一の基板と取り替える必女がある。そ
れには、基板を前述とは逆にカセット内に戻した後その
基板を収納したカセットのみを、カートリッジ２１１０
からぬき出せばよい。そこで、第４凶の如く支柱部２０
０ａの内壁側に複故のローラ３００〜３０４を設けて、
この日−うでカセットのガイド部材１５を支持すれば、
カセットはきわめてスムーズに着脱できる。

すなわち第４図において、ローラ３００゜３０１．３０
２はガイド部材１５の下面を支持する。ローラ３０３は
ガイド部材１５の側面を転動すると共に、突起部１５ｂ
と当接して、カセットの装置時の位置決めを行なう。

上記ローラ３００〜３０３は、支柱部２００ａに回転自
在に設けられている。一方、カイト部材１５の上面を転
動するローラ３０４は、弾性部材３０５を介して支柱部
２００ａに取付けられている。この弾性部材３０５はロ
ーラ３０４が膚にガイド部材１５を押圧するような付勢
力を発生する。

カセットをカートリッジからぬき取るには、ガイド部材
１５が第４図中右方へ移動するように、第３図に示した
カセットを単に後方へ引き出せばよい。

以上、カセット内の基板１００を出し入れする装置につ
いて説明したが、他の実施例として載置板２０１を確実
に基板１００と底蓋１との間隙に挿入するために、第５
図に示すようにガイド部材１５のテーパ部１５ａ側の端
面に収納した基板の位置、例えば段部１ａの＾さに合わ
せて溝１５ｃを水平に設けておく。そし、で、前述の上
下動装置２０３には、このガイド部材１５のｍ　１５　
ｃに対向するような光゛電検出器を一体に設けておく。

この光成検出器は光を発生して、物体からの反射光を光
成検出するいわゆる反射型のフォトカプラである。

このフォトカプラは、なるべく焦点深度の浅いものを使
い、載置板２０１が基板１００と底蓋１との間隙に入い
る位置になったとき、溝１５ｃを検出するように位置決
めする。そして、載置板２０１をカセット内に挿入する
前に、上下動装置２０３をわずかに上下動する。フォト
カブラの光が溝１５ｃを照射して反射光が得られないと
きには上下ｄｉｉ２０３を停止すれば、載置板２０１は
正確に基板１００の下方に摺動することなく挿入できる
。

また、第６図のように、カセットの開口端面１ｃに反射
率の高い反射部材４００を設け、載置板２０１の先端部
には、反射型のフォトカブラ４０１を設けるようにして
も、載置板２０１の挿入位置を正確に検知することがで
きる。

次に、上記カートリッジをｆｉ数個藺用した場合のウェ
ハの搬送システムを説明する。第７図は搬送システムを
概略的に示す平面図、第８図（ａ）　、　（ｂ）は搬送
システムの作動図である。

第７図において、２個のウェハ供給カートリッジ２００
−１，２００−２及び２（固のウェハ受収カートリッジ
２００−３　、２００−４が準備されている。第１搬送
ベルト７０及び記２搬送ベルト７１はウェハ供給カート
リッジ２００−１に対向して直線状に配列されている。

第３搬送ベルト７３及び第４搬送ベルト７４はウェハ供
給カートリッジ２００−２に対向して直線状に配列され
ている。ｍｌモータＭ１には駆動軸１５を介して第１−
第４搬送ベルト１０〜７４を駆動する。第２及び第４搬
送ベルト７１．７４は駆動軸７５を中心に揺動自在とな
っている。第５搬送ベルト７６及び第６搬送へルト７７
は受取カートリッジ２００−３に対向して直線状に配列
されている。第７搬送ベルト７８及び第８搬送ベルトＴ
９は受取カートリッジ２００−４に対向して直、液状に
配列されている。第２モータＭ２は駆動軸８０を介して
第５〜第８搬送ベルト７６〜７９を駆動する。第６．第
８搬送ベルトｒｒ、７９は駆動軸８０を中心に揺動自在
となっている。第２．第４．第６及び第８搬送ベルト７
１．７４，７７．７９と直交する方向に第９〜第１２搬
送ベルト８１〜８４が直線状に配列されている。第４モ
ータＭ４は駆動軸８５を介して第９及び第１０搬送ベル
ト８１．８２を駆動する。第３モータＭ３は駆動軸８６
を介して第１１及び第１２　＝Ｎ送ベルト８３．８４を
、・駆動する。Ｊ　ｌ　Ｏｙｆｉ送ベルト８２は駆Ｊ４
８５を中心に揺動自在である。第１１搬送ベルト８３は
駆動軸８６を中心として揺動自在である。

第６モータＭ６の回転は駆動軸９（１，ギア９１を介し
て駆動軸９２に伝達される。、駆動１伯９０には第１カ
ム９３が設けられており、第１０搬送ベルト８２を揺動
させる。、駆動軸９２には第２．第３カム９４．９５が
設けられており、それぞれ第２搬送ベルト７１、第４搬
送ベルト７４を揺動させる。第５モータＭ５の回転は駆
動軸９６、ギア９７を介して駆動軸９Ｂに伝達される。

駆動軸９６には第４カム９９が設けられており、第１１
搬送ベルト８３を揺動させる。ｇ動細９８には第５゜第
６カム１００，１０１が設けられており、それぞれ第６
搬送ベルト７７、第８搬送へルト１９を揺動させる。

第１．第２ウェハセンサ１０２，１０３は、それぞれ第
１搬送ベルト７Ｇ、第３搬送ベルト７３にウェハが載置
されたか否かを検出する。第３ウエハセンサ１０４は第
１．第２搬送ベルト７０．７１によって、ウェハが第９
殿送ベルト８１上の所定位置まで搬送されたか否かを検
出する。第４ウエハセンサ１０５はウェハがＪ　３　ｒ
　第４　搬送ベルト７３．７４によって第９搬送ベルト
８１上の所定位置まで搬送されたか否かを検出する。第
５ウエハセンサ１０６は、第９搬送ベルト８１で送られ
てきたウェハが第１０　、　簗１１搬送ベルト８２．８
３によってセンタ合せ台（第８図中２２０）上ｔで搬送
されたか否かを検出する。

センタ合せ台はウェハＷの切欠きの位置決めのためにウ
ェハの中心状めを行なう。第６ウエハセンサ１０７は第
１１搬送ベルト８３で送られてきたウェハが第６搬送へ
ルト７７上の所定位置まで搬送されてきたか否かを検出
する。第７ウエハセンサ１０８は第６搬送ベルト７７で
送られてきたウェハが第５搬送べうかを検出する。第８
ウエハセンサ１０９は第１２搬送ベルト８４で搬送され
てきたウェハが第８搬送ベルト７９上の所定位置まで搬
送されてきたかとうかを検出する。第９ウエハセンサ１
１０は第８搬送ベルト７９で搬送されてきたウェハが第
７搬送ベルト７８上の所定位置まで搬送されてきたかど
うかを検出する。第１〜第９ウエハセンサ１０２〜１１
０は透過型あるいは反射型のフォトカブラを使用しであ
る。

スイッチ１１１，１１２はそれぞれギア９１゜９７の回
転位置（位相）を検出することによって、第２．４４．
第６．ｄ８．第１０及び４１１搬送ベルト７１，７４，
７７．７９゜８２．８３がアップ位置及びダウン位置の
いずれにあるかを検出する。第５．第６モータＭ５．Ｍ
６は第２．第４．第６．記８．第１０及び第１１搬送ベ
ルト７１．７４，７７．７９゜８２．８３がアップ位置
とダウン位置との間でｈｌｚ　ｂｊｒする分の正逆回転
をする。第２．第４゜４６及び第８搬送ベルト７１，７
４．７７及び７９は同一位相でアップ位置とダウン位置
の間を揺動する。第１０．第１１搬送ベルト８２．８３
は同一位相でアップ位置とダウン位置との間を揺動する
ものであり、その揺動は第２！２送ベルト７１等とは逆
位相である。

この４勤位相を得るように第１〜第６カム（ロータリカ
ム）のカム面は設定されている。

次に、第８図（ａ）、（ｂ）を参照しつつ動作を説明す
る。さて、ウェハ供給カートリッジ２０Ｇ−１，２００
−２及びウェハ受取カートリッジ２００−３，２００−
４を第７図に図示の位置にセットすると、まずスイッチ
１１１．１１２の状態から第２．第４．第６及び第８搬
送ベルト７１．７４，７７．７９（以下、第１揺動ベル
ト群という）と、第１０、第１１搬送ベルト８２．８３
（以下、第２揺動ベルト群という）の揺動位相を検出す
る。このとき、第１揺動ベルト群はアップ位置を、また
第２淫励ベルト群はダウン位１青を初期位置であると定
めておき、この初朋立１讃が得られるように第５．第６
モータＭ５゜Ｍ６を制御する。第１揺動ベルト群はアッ
プ位１置では第１．第３．第５及び５に７搬送ベルト７
０，７３，７６．７８とほぼ同一平面上に位置しており
、第９．第１２搬送ベルト８１．８４のベルト而（略水
平）よりも所定分たけ高くなっている。ａ＋２４ｄＪベ
ルト群はダウン位置では駆動軸８５．８６を中心にして
センタ合せ台の方へ傾斜している。この状態は第８図（
、）に示されている。

この初期位置設定が終了すると、載置板２０１、上下動
装置２０３０作用によりウェハ供給カートリッジ２００
−１のカセットから取出されたウェハＷが第１搬送ベル
ト７゜上に載置される。すると、第１ウエハセシサ１０
２がウェハを検知する。そのためｒＪｌモータＭ１が回
転してａ　１　ｒ　４２搬送ベルト７０．７１を駆動し
てウェハＷを第９搬送べルト８１の方へと送り出す（こ
のとき第３゜第４搬送ベルト７３．７４も駆動されるが
上記ウェハの搬送には関係しない）Ｑそして、第３ウエ
ハセンサ１０４がウェハＷを検知するとＷｆ、ｌモータ
Ｍ１は回転停止する。このときウェハは第９誠送ベルト
８１上に位置している。同時に第３ウエハセンサ１０４
の出力によりＭ、ｓ、ｍ６モ一タＭ５．Ｍ６が回転して
、第１揺動ベルト群をダウン位置に、また第２揺動ベル
ト群をアップ位置にそれぞれ揺動させる。Ｊ５．’Ｍ６
ｍ６モ一タ、Ｍ６の回転はスイッチ１１１，１１２によ
ってモニタされており、上記アップ・ダウン動作が完了
すると〆に５．第６モータは回転停止する。そして、第
２殿送ベルト７１がダウン位置に達する少し前にウェハ
ｗＶｉ第９　搬送ベルト８１上に移し換えられる。この
状態は第８図（ｂ）に示されている。一方、スイッチ１
１１　、１１２によって第１揺動ベルト群がダウン位置
に達したことが検出されると、第３．第４モータＭ３．
Ｍ４が回転し、第９〜第１１旙送ベルト８１〜８３０作
用によってウェハＷはセンタ合せ台の方へと搬送される
。ウェハＷが第ｉｏ、第１１搬送ベルト８２．８３によ
ってセンタ合せ台上にもたらされるとき、第５ウエハセ
ンサ１０６の出力は、例えばｌ　ｍｌのパルス１δ号と
して得られる。即ち、ウェハＷが該センサ上に達する前
と通過した後とはＬ（ロー）レベルで、該センサ上を通
過している途中ではＨ（ハイ）レベルのパルスである。

そこで、該パルス信号のＨレベルからＬレベルへの立下
り時点に、ウェハＷがセンタ合せ台のほぼ中央部に達す
る°ように第５ウエハセンサ１０６の位置等を定めてお
く。そして該立下りを検出すると第３．第４モータＭ３
゜Ｍ４の回転を停止させる。同時に、パルス信号の立下
り検出に同期して第５．第６モータＭ５．Ｍ５を回転さ
せて、第１揺動ベルト群をアップ位置に、また第２揺動
ベルト群をダウン位置に一切換える。この動作によって
ウェハＷはセンタ合せ台上に載置される。この状態で搬
送系の作動は一旦停止される。

ウェハＷは、センタ合せ台２２０でセンタ合せを行なわ
れた後、ウェハは押上悸２２１によっていったん押上げ
られ、その状態からスライダ装置（不図示）によって露
出装置ＮＳＲへ送られ、そこで所定の回路パターンを露
出され、再びスライダ装置によってセンタ合せ台上に搬
送されてくる。すると、搬送系は動作を再開する。

このとき（１）ｄｉ揺動ベルト群はアップ位置に、Ｉ＄
２揺動揺動ベルトゲウン位置にあり、スライダ装置によ
って搬送されてきたウェハを一旦押上棒２２１で受取り
、その後に押上棒２２１を下げてセンタ合せ台２２０に
載置し、その後に第１揺動ベルト群をダウン位置に、ま
た第２揺動ベルト群をアップ位置に切換える（２）第１
揺動ベルト群をダウン位置に、第２揺動ベルト群をアッ
プ位置に予め切換えておき、次にスライダ装置によって
押上棒２２１上にウェハＷを載置し、続いて押上棒２２
２を下げてウェハＷを第２揺動ベルト群の上に移し換え
るという２励１乍が考えられる。これはいずれを木杭し
てもよい。

さ−ｃ、Ａｔ　ｏ、ｇ１１搬送ベルト上にウェハＷが移
し換えられると、第３．Ｊ４モータＭ３．Ｍ４が第９〜
巣１２搬送ベルト８１〜８４を、駆動して、ウェハＷを
し、↓６戯送ベルト７７の方へとＪ送する。そして’ｌ
　’ｙＸ　６ウエハセンサ１０７がウェハＷを・険却す
ると第３゜第４モータＭ３．Ｍ４の回転を停止し、第５
゜す３６モ一タＭ５．Ｍ６を回転させる。これによって
第１揺励ベルト群はアップ位置へ切換えられる。これに
よってウェハＷは第６搬送ベルト７７に移される。第１
揺動ベルト詳がアップ位置になると、今度は第２モータ
Ｍ２によって’Ｊｒ　５　＋　＞Ｚ　６搬送ベルト７６
．７７を駆動する（そのための論理的判断として第６ウ
エハセンサ１０７がウェハを検知していることと第１揺
動ベルト群がアップ位１ｉになったことのアンド出力が
利用される）。次に、５ｇ７ウエハセンサ１０８がウェ
ハを検）、Ｉ］すると、第２モータＭ２の回転は停止さ
れる。第５搬送ベルト７６上のウェハは上述した如き載
置板２０１によってウェハ受取カートリッジ２００−３
内のカセットに収納される。

この動作を一周期としてウェハ供給カートリッジ２００
−１のウェハは順次露光装置ＮＳＨにて露光され、そし
てウェハ受取カートリッジ・２００−３に収納されてゆ
く。ウェハ供給カートリッジ２００−１内のウェハの処
理が終了すると、次はウェハ供給カートリッジ２０Ｇ−
２内のウェハが第ｘ、ｇ２．第５、第６搬送ベルト７０
，７１，７６．７７の代りに第３．第４．第７．第８搬
送ベルト？３．７４．７８．７９を直用して搬送される
。このとき、嬉１．第３．第６．第７ウエハセンサ１０
’２，１０４，１０７，１０８の代りに、第２．第４．
第８．第、９ウニ／１センサ１０３，１０５，１０９，
１１０の出力が開用される。その他の動作は前述同様で
ある。

以上の実施例によれば、ウェハ供：給、受取カートリッ
ジを複式切換使用できるのでウェハ供給、受取カートリ
ッジの取替を間断なく行なうことができる。従って、作
業効率が飛躍的に向上する。′まだ、第ｌ、第２揺動ベ
ルト群を第５．第６モータＭ５．Ｍ６によって同時制御
してウェハの搬送を行なうので構造も比較的コンパクト
にまとめることができる。

以上説明したように、本発明によれば、レティクル等の
基板は、カセットの扉を閉じた状態では常にカセット内
に押圧されるから、カセットをカートリッジに着脱する
際等振動によって基板がカセット内を摺動することが防
止され、基板のエッヂとカセットの内壁とが当接して微
小なガラス粉や、その池のゴミを発生することがないと
いう効果が優られる。

また、扉を開いた状態では、基板をカセット内に押圧す
る押え部材７が基板から離れるので、基板を開口部から
出し入れする際に、押え部材によって傷付けることも防
ぐことができる。

さらに、実施例のように押え部材は、２種類のバネによ
って付勢され、そのうち１つのバネは、扉と押え部材と
を接続しているから、扉は閉成時には、開目端面に押圧
され、振動等によって不用意に開くことも防止される。

【図面の簡単な説明】

ｇｉ図は本発明の一実施例（収納容器）を示す斜悦図、
第２図（ａ）及び（ｂ）はその作動を示す部分断面図で
ある。 第３図は収納容器と組み合わせて開用されるカートリッ
ジの斜視図、第４図及び第５図はそれぞれガイド部材１
５の変形例を示す正面図及び側面図、第６図は基板の挿
入状態を検知する装置の斜視図である。 第７図は本発明によるカートリッジを使用した搬送シス
テムを示す平面図、第８図（ａ）。 （ｂ）は搬送システムの作動を示すための、第７区の矢
視側面図である。 〔主要部分の符号の説明〕 １・・・・・底板１ 出願人　二　日本光学工業株式会社

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、　レティクル、マスクの如き基板を収納し、該基板
   を、その表面と略平行に出し入れする位置に開口部を設
   けたケースと；前記開口部を略密閉する如く、開閉自在
   に設けられた扉部材と；該扉部材の開閉動作に連動して
   、前記基板と圧接及び離間する如く作動する基板押え手
   段とを備えたことを特徴とする基板の収納容器。 ２、　前記基板押え手段は、前記基板の表面と当接する
   第１位置と、その表面から離れた第２位置とに変位可能
   な作動部材と；該作動部材を、前ｄｅ扉部材の閉成時に
   は前記第１位置に、開放時には前記第２位置に付勢する
   付勢部材とを含むことを特徴とする特許請求の範囲第１
   項記載の収納容器。 ３、　前記付勢部材は、前記作動部材を常に前記第１位
   置に付勢する第１のバネと；前記扉部材と作動部材とを
   接続し、前記扉部材の開放時には、前記第１のバネのけ
   勢力に抗した付勢力を発生する第２のバネとを含むこと
   を特徴とする特許請求の範囲第２項記載の収納容器。