KR100440812B1 - 코너지지(cornerholding)기능을지니는레티클용기 - Google Patents

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KR100440812B1
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훈-엥 얍
테오도리코 에이. 크루즈
에릭 마그누센
크레이그 에스. 더닝
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에스브이지 리도그래피 시스템즈, 아이엔씨.
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Abstract

스프링 또는 굴곡부 (16) 및 링키지 (28, 30, 32) 에 의해 코너 지지부 (20, 34) 에 연결된 클램프 바 ( clamp bar ; 14 ) 를 지니는 레티클 ( reticle ) 과 같은 평평한 기판을 포함 및 지지하는 카세트 또는 용기 (10). 클램프 바 (10) 는 하단 코너 지지부 (20) 및 스프링 또는 굴곡부 (16) 에 피벗식으로 부착되고 상단 코너 지지부 (34) 에 연결됨으로써, 클램프 바 (14) 의 이동은 코너 지지부 (20, 34) 가 코너에서만 지지되는 레티클로 부터 이격상태로 피벗회전하도록 한다. 엘리베이션 바 ( elevation bar ; 38 ) 는 한 방향으로 레티클을 미리 위치 결정하는데 또한 사용된다. 본 발명은 반도체 디바이스를 제조하는 포토리도그래피에 사용되는 바와같은 레티클의 위치결정 및 취급을 상당히 용이하게 한다. 부가적으로, 본 발명은 미립자 오염을 크게 감소시킨다.

Description

코너 지지 ( corner holding ) 기능을 지니는 레티클 용기
본 발명은 일반적으로 포토리도그래피 ( photolithography ) 에서 사용되는 평평한 기판을 지지하는 것에 관한 것이며, 보다 구체적으로는 레티클 ( reticle ) 을 분리가능한 식으로 지지하는 용기 또는 카세트에 관한 것이다.
포토리도그래피는 반도체 디바이스의 제조에 종종 사용된다. 포토리도그래피에서, 레티클상에 담긴 이미지는 상부에 감광 레지스트를 지니는 웨이퍼상으로 투영된다. 제조공정 중에, 각기 다른 많은 레티클이 필요할 수도 있다. 이러한 서로 다른 레티클 각각은 오염이 없는 안전한 환경에서 유지되어야 한다. 기판 또는 레티클을 지지하는 이와같은 한가지 용기는 1983 년 12 월 27 일자 Abe 등에게 허여된 " 기판 지지용 용기 " 제목의 미합중국 특허 제 4,422,547 호에 개시되어 있다. 상기 특허에는 레티클, 마스크 또는 웨이퍼와 같은 평평한 기판을 지지하는 용기가 개시되어 있다. 상기 용기에는 문의 운동에 연결되는 접점부가 있음으로써, 문이 닫힐 경우 상기 접점부는 용기내에 배치된 기판 또는 레티클의 상단의 평평한 표면과 맞닿는다. 이러한 선행의 용기가 레티클을 지지하는 동안, 이것에는 단점이 있었다. 따라서, 레티클을 지지하는데 사용되는 용기 또는 카세트를 향상시킬 필요가 있다.
레티클에 손상을 입히거나 미립자 오염을 일으키지 않고 소정의 고정된 위치내에 레티클을 견고하고 분리가능한 식으로 지지하는 레티클 용기 또는 카세트에 대한 필요성이 부가적으로 존재한다.
본 발명의 목적은 용기 또는 카세트내에 레티클을 견고하고 분리가능한 식으로 지지하며 미립자 오염을 감소시키는 것이다.
도 1 은 본 발명의 상면도.
도 2 는 본 발명의 분해 사시도.
도 3 은 본 발명의 또 다른 실시예에 대한 상면도.
도 4A-B 는 코너 잠금 장치에 대한 부분 사시도.
도 5A-B 는 또 다른 코너 잠금 장치에 대한 부분 상면도.
본 발명은 복수개의 코너 지지부 ( corner support ) 에 부착 또는 연결된 변위가능한 클램프 바 ( clamp bar ) 를 지니는 레티클 용기를 포함한다. 상기 코너 지지부는 한쪽 단부에서 고정된 지지부에 그리고 다른 쪽 단부에서 클램프 바에 부착된다. 하나의 코너 지지부는 클램프 바에 부착된 링키지 ( linkage ) 에 의해 제어된다. 클램프 바의 움직임과 동시에, 복수개의 코너 지지부는 레티클의 코너로 부터 이격 상태로 피벗 회전된다. 코너 지지부는 소정의 위치에서 레티클을 견고하게 지지한다. 한 방향으로 초기의 임시 위치를 얻는데 엘리베이션 바 ( elevation bar ) 가 사용될 수 있다.
따라서, 본 발명의 목적은 용기 또는 카세트내에 레티클을 견고하고 분리가능한 식으로 유지하는 것이다.
본 발명의 또 다른 목적은 미립자 오염을 감소시키는 것이다.
본 발명의 이점은 레티클이 용기 또는 카세트내의 알려진 또는 소정의 위치에서 정확하게 지지되는 것이다.
본 발명의 부가적인 이점은 레티클이 견고하게 지지되어 용기 또는 카세트 내에서의 움직임을 방지하는 것이다.
본 발명의 특징은 레티클이 레티클의 코너에서 지지되는 것이다.
본 발명의 또 다른 특징은 비교적 적은 직선 움직임을 갖는 단일 위치에서 가해지는 비교적 낮은 힘으로 분리되는 것이다.
본 발명의 또 다른 특징은 레티클의 비의도적인 분리를 방지하도록 잠금 장치가 사용되는 것이다.
상기 및 기타 목적, 이점 및 특징들은 다음의 상세한 설명에 비추어 쉽게 자명해질 것이다.
도 1 은 본 발명을 예시하고 있다. 도 1 에서는, 몸체부 (12) 를 지니는 레티클 상자인 용기 또는 카세트가 예시되어 있다. 몸체부 (12) 내에는 클램프 바 (14) 가 배치된다. 클램프 바 (14) 는 어느 한 단부에서 암 ( arm ; 15 ) 을 지닌다. 각각의 암 (15) 은 하부 코너 지지부 (20) 에 피벗 방식으로 부착된다. 핀(26) 은 암 (15) 을 하부 코너 지지부 (20) 에 부착시킨다. 하부 코너 지지부 (20) 는, 레티클 (56) 의 코너에 알맞은 형태를 취하거나 이에 적합한 그루브 ( groove ) 또는 결각 ( indentation ) 을 갖는다. 레티클 (56) 은 포토리도그래피에 의해 반도체 웨이퍼상에 재생되도록 패턴 이미지를 갖는 평평한 유리 기판인 것이 전형적이다. 클램프 바 스프링 또는 굴곡부 ( flexure ; 16 ) 는 한쪽 단부에서 하단 코너 지지부 (20) 에 부착되고 다른 쪽 단부에서는 고정 지지부 (18) 에 견고하게 조여지거나 부착된다. 고정 지지부 (18) 는 몸체부 (12) 에 견고하게 부착된다. 따라서, 고정 지지부 (18) 는 몸체부 (12) 에 대하여 이동할 수 없다. 암 (15) 중 하나는 핀 (26) 을 지닌 레버 (28) 에 피벗식으로 부착된다. 레버 (28) 는 지레받침으로 작용하는, 핀 (26) 을 지닌 레버 지지부 (24) 에 피벗식으로 부착된다. 커넥터 (30) 에 의해 상단 코너 지지부 작동기 (32) 에 연결된다. 커넥터 (30) 는 작동기 (32) 의 한쪽 단부에 부착된다. 작동기 (32) 의 다른쪽 단부는 핀 (26) 을 지닌 몸체부 (12) 에 피벗식으로 부착된다. 상단 코너 지지암 (35) 은 한쪽 단부에서 핀 (26) 을 지닌 몸체부 (12) 에 피벗식으로 부착되며, 핀 (26) 을 지닌 작동기 (32) 의 중간에 부착된다. 지지암 (35) 의 다른 쪽 단부는 상단 코너 지지부 (34) 에 부착되어 있다. 상단 코너 지지부 (34) 는 레티클 (56) 의 코너를 수용 또는 지지하는 그루브 또는 결각을 지닌다. 작동기 (32) 와 지지암 (35) 은 지지부 장착판 (36) 에 부착된다.
엘리베이션 바 (38) 는 엘리베이션 바 스프링 또는 굴곡부 (40) 의 한쪽 단부에 부착된다. 엘리베이션 바 스프링 또는 굴곡부 (40) 의 다른 쪽 단부는 고정지지부 (18) 에 부착된다. 엘리베이션 레티클 지지부 (39) 는 엘리베이션 바 (38) 에 부착된다. 클램프 바 (14) 와 엘리베이션 바 (38) 는 서로 무관하게 움직인다. 핸들 (42) 은 레티클 용기 (10) 의 이송 뿐만 아니라 삽입 및 제거를 용이하게 하도록 몸체부 (12) 상에 제공된다. 핸들 (42) 은 동작자의 손가락이 감겨질 수 있는 내부의 개구부, 또는 단순히 붙잡기 쉬운 요홈 ( depression ) 을 지닐 수 있다.
도 2 는 도 1 에 예시된 바와같은 본 발명을 전개도로 예시한다. 그렇지만, 도 2 에는 덮개부 (44) 및 래치 ( latch ) 장치 ( 46, 48, 50, 52, 54 ) 가 부가적으로 예시되어 있다. 덮개부 (44) 는 몸체부 (12) 에 피벗식으로 부착된다. 덮개부 (44) 의 한 코너에서는, 래치 하우징 ( latch housing ; 46 ) 이 들어있다. 래치 하우징 (46) 에는 래치 스프링 (50) 및 래치 (52) 와 함께 상부에 래치 가이드 (48) 가 있다. 래치 (52) 는 레티클 용기 (10) 의 몸체부 (12) 에 부착된 래치 캐치 ( latch catch ; 54 ) 와 만나는데 적합하다. 덮개부 (44) 는 레티클 (56) 을 초기에 배치하기 위해 몸체부 (12) 의 내부로의 접근을 허용한다.
도 1 및 도 2 에 있어서, 레티클 용기 (10) 의 동작은 쉽게 이해된다. 일반적으로, 레티클 용기 또는 카세트 (10) 는 포토리도그래피 도구 또는 장비 부품과 결합된 레티클 라이브러리 ( library ) 내에 지지된다. 레티클 용기 또는 카세트 (10) 는 핸들 (42) 을 지니는 레티클 라이브러리로 부터 삽입 및 제거된다. 일단 레티클 용기 (10) 가 레티클 라이브러리내에 위치하는 경우 자동식 암 (도시되지 않음 ) 은 측면 개구부를 통해 삽입되고 폐쇄된 레티클 용기 (10) 로 부터 레티클 (56) 을 제거하는데 사용된다. 레티클 (56) 은, 반도체 웨치퍼와 같은 감광 기판상에 레티클을 이미징하는데 투영 광학기기가 사용되는 위치로 이송하기 위해 레티클 용기 (10) 로 부터 제거된다. 자동화 포토리도그래픽 공정에서, 레티클 (56) 을 견고하게 지지하는 것 뿐만 아니라 레티클 (56) 을 소정의 위치에 정확히 배치하는 것이 유리하다. 레티클 (56) 은 클램프 바 (14) 와 엘리베이션 바 (38) 를 직선적으로 이동시켜 레티클 용기 (10) 내에서 초기에 위치 선정된다. Y 방향 아래로 클램프 바 (14) 를 이동시키는 경우, 하단 코너 지지부 (20) 는 스프링 또는 굴곡부 (16) 에 의해 형성된 바이어스 힘에 대하여 외부로 피벗 회전된다. 하나의 암 (15) 은 레버 (28) 에 부착되어 레버 (28) 가 이동되게 하여 커넥터 (30) 를 밀어올린다. 지지 암 (35) 에 또한 피벗식으로 연결된 작동기 (32) 에 부착된 커넥터 (30) 는 상단 코너 지지부 (34) 가 밖으로 피벗 회전하도록 한다. 하단 코너 지지부 (20) 와 상단 코너 지지부 (34) 는 현재 레티클 (56) 의 코너를 수용하는 위치에 있다. 그렇지만, 레티클 (56) 의 배치에 앞서, 엘리베이션 바 (38) 는 레티클이 소정의 Y 방향으로 지지부 (39) 상에 미리 위치 선정되도록 멈추개에 대하여 위치 선정될 수 있다. 따라서, 레티클 (56) 이 레티클 용기 또는 카세트 (10) 내에 배치되고 지지부 (39) 와 접촉해 있는 경우, 소정의 초기 Y 위치가 얻어진다. 클램프 바 (14) 가 풀리는 경우, 스프링 또는 굴곡부 (16) 는 하단 코너 지지부 (20) 및 상단 코너 지지부 (34) 가 레티클 (56) 의 코너와 접촉하는 정상 위치로 돌아가도록 한다. 도 2 에 예시된 바와같이, 지지 덮개부 (22) 는 하단 코너 지지부 (20) 및 상단 코너 지지부 (34) 상에 사용된다. 지지 덮개부 (22) 는 Z 축인 방향을 따라 레티클을 배치 및 지지하는데 부가적으로 도움을 준다. 따라서, 레티클 (56) 은 X, Y및 Z 축 방향으로 견고하게 지지되고 정확하게 위치선정된다. 레티클은 클램프 바 (14), 및 원하는 경우 엘리베이션 바 (38) 상에 끌어내림으로써 풀려진다.
도 3 내지 도 5 는 본 발명의 또 다른 실시예를 예시한다. 도 3 내지 도 5 에 예시된 실시예는 구조 및 동작에서 도 1 및 도 2 에 예시된 실시예와 유사하지만, 도 3 에 예시된 실시예에서는 비의도적인 레티클 (56) 의 움직임을 방지하는데 잠금 장치가 사용된다. 레티클 용기 (110) 에는 몸체부 (112) 가 있다. 클램프 바 (114) 는 몸체부 (112) 에 부착된다. 클램프 바는 가이드 포스트 ( guide post ; 141 ) 에 의해 안내된다. 클램프 바 (114) 의 각 단부상에는 피벗 식으로 장착된 하단 코너 지지부 (120) 가 있다. 하단 코너 지지부 (120) 는 핀 (126) 으로 부착된다. 클램프 바 스프링 또는 굴곡부 (116) 는 한 단부에서 하단 코너 지지부 (120) 에 부착된다. 클램프 바 스프링의 다른 쪽 단부는 클램프 바 스프링의 고정 지지부 (118) 에 부착된다. 클램프 바 (114) 의 한쪽 단부는 레버 (128) 에 피벗식으로 부착된다. 레버 (128) 의 지레 받침은 핀 (126) 으로 레버 지지부 (124) 에 피벗식으로 부착된다. 레버 (128) 의 한쪽 단부는 커넥터 (130) 에 부착된다. 커넥터 (130) 의 다른 쪽 단부는 상단 코너 지지부 작동기 (132) 에 부착된다. 상단 코너 지지부 작동기 (132) 는 핀 (126) 으로 지지부 장착판 (136) 에 피벗식으로 연결된다. 상단 코너 지지부 (134) 는 상단 코너 지지부 작동기 (132) 상에 형성된다. 상단 코너 지지부 작동기 (132) 의 한쪽 단부에 피벗식으로 로드 ( rod ; 158 ) 가 연결된다. 로드 (158) 의 다른 쪽 단부에는 경사진 부분 (160) 이 있다. 로드 (158) 는 지지부 (162) 에 의해 미끄럼식으로 위치가 유지된다. 스프링이 장착된상단 도어 (164) 에는 내부에 개구부 (166) 가 있다. 개구부 (166) 는 로드 (158) 의 경사진 부분 (160) 을 수용하도록 크기화되어 있다.
스프링 탭 (170) 은 핸들 (142) 이 있는 단부의 반대편에 위치한 하단 코너 지지부 (120) 중 하나와 결합된다. 스프링 탭 (170) 은 이것이 개방 위치내로 밀려 내려가는 경우 도어 (168) 와 접촉하기에 충분한 간격으로 연장된다. 따라서 스프링 탭 (170) 은 도어 (168) 의 개방과 동시에 밀려 내려간다. 하단 코너 지지부 (120) 및 상단 코너 지지부 (134) 는 폐쇄시 안정한 위치에 레티클 (56) 을 고정시킨다. 레티클 지지부 (139) 는 레티클 중량의 일부를 지탱할 뿐만 아니라 레티클을 위치선정시키는데 도움을 준다.
도 4A 및 도 4B 는 두 하단 코너 지지부 (120) 중 하나와 결합된 잠금 장치를 보다 명확하게 예시한다. 화살표 (174) 로 표시된 바와같이, 스프링 장착 도어 (168) 가 개방되는 경우, 이것은 스프링 탭 (170) 의 단부와 접촉한다. 스프링 탭 (170) 은 밀려 내려간다. 스프링 탭 (170) 상에 형성된 축수면 ( bearing surface ) 또는 쇼울더 ( shoulder ; 172 ) 는 또한 하부로 이동되도록 한다. 하부 코너 지지부 (120) 를 지탱하는 스프링 또는 굴곡부 (116) 의 일부는 스프링 탭 (170) 이 상승 또는 정상 위치에 있는 경우 쇼울더 (172) 상에 놓여있다. 이는 하단 코너 지지부 (120) 가 클램프 바 (114) 에 의해 밀려 내려가는 경우 위치를 벗어나는 것을 방지한다. 따라서, 도어 (168) 가 폐쇄되는 경우, 하단 코너 지지부는 위치가 고정되며 이동될 수 없다. 그렇지만, 도어 (168) 가 개방되는 경우, 스프링 탭 (170) 은 밀려 내려가서 하단 코너 지지부 (120) 를 풀어낸다. 이는 클램프 바 (114) 가이동되는 경우 레티클 (56) 이 풀려지는 것을 허용한다. 하단 코너 지지부 (120) 와 결합된 덮개부가 도 4B 에 도시되어 있지 않음으로, 잠금 장치의 작동이 보다 명확하게 보여질 수 있다. 도 4B 는 하단 코너 지지부 (120) 를 지탱하는 굴곡부 (116) 의 부분 및 쇼울더 (172) 를 보다 명확하게 예시한다.
도 5A 및 도 5B 는 상단 코너 지지부 (134) 와 결합된 잠금 장치의 작동을 보다 명확하게 예시한다. 도 3 및 도 5A 와 도 5B 를 참조하면, 상단 코너 지지부 (134) 와 결합된 잠금 장치의 작동을 이해할 수 있다. 상단 도어 (164) 가 폐쇄되는 경우, 로드 (158) 의 경사진 부분 (160) 은 개구부 (166) 를 통해 연장된다. 따라서, 도 3 에 예시된 클램프 바 (114) 가 낮아진 경우, 레버 (128) 는 화살표 (176) 로 예시된 바와같이 피벗 회전하여 부착된 로드 (130) 를 밀어 올린다. 상단 코너 지지부 작동기 (132) 는 레티클로 부터 약간 후방으로 밀려 있으며, 초기 위치는 가상으로 도시되어 있다. 그렇지만 상단 코너 지지부 작동기 (132) 는 상단 도어 (164) 상의 개구부 (166) 의 한 에지에 부딪히는 경사진 부분 (160) 에 의해 구속된다. 바람직하기로는 상단 코너 지지부 (134) 의 움직임은 상단 도어 (164) 의 폐쇄시 있다해도 매우 미약하다. 따라서, 상단 도어 (164) 가 폐쇄 위치에 있는 경우, 상단 코너 지지부 (134) 는 레티클 (56) 을 견고하게 지지하는 위치에서 실질적으로 고정된다. 도 5B 는 상단 도어 (164) 가 레티클 (56) 로 부터 밖으로 개방되는 경우 잠금 장치의 풀림을 예시한다. 상단 도어 (164) 가 개방되는 경우, 경사진 부분 (160) 은 개구부 (166) 에 의해 한정되지 않으며 상단 코너 지지부 (134) 의 전·후방으로의 이동이 허용된다. 이는 상단 코너 지지부 작동기 (132)를 풀어내어, 작동기를 자유롭게 움직이게 한다. 따라서, 상단 코너 지지부 (134) 는 레티클 (156) 의 코너로 부터 이격 진동한다.
도 3 내지 도 5 에 예시된 레티클 용기 (110) 의 작동은 앞서 설명된 도 1 및 도 2 에 예시된 레티클 용기 (10) 의 작동과 실질직으로 유사하다. 그렇지만, 도 3-5 에 예시된 레티클 용기는 약간 상이한 연결장치를 지니며 내부에 들어있는 레티클 (56) 의 비의도적인 움직임을 방지하도록 코너 잠금 장치의 부가적인 특징을 갖는다.
알려진 소정의 위치에서 레티클을 견고하게 지지하는 경우, 본 발명은 반도체 디바이스의 제조에 사용되는 바와같은 포토리도그래픽 제조공정동안 레티클의 위치선정 및 취급을 상당히 용이하게 한다. 그렇지만, 레티클 (56) 의 지지를 기술한 반면에 본 발명은 임의의 평평한 기판을 지지하는데 적용될 수 있음을 이해해야 한다. 부가적으로, 매우 적은 이동 부품을 제공하고 코너에서만 레티클을 지지함으로써, 본 발명은 미립자 오염을 크게 감소시키는 것으로 밝혀졌다. 미립자 오염은 반도체 구성요소의 특징적 크기가 감소됨에 따라 더욱더 문제가 되고 있다. 레티클의 접촉 및 본 발명의 장치의 움직임은 최소로 유지되다. 부가적으로, 로드 ( load ) 또는 클램프 바 (14) 는 대략 0.25 인치, 즉 6 mm 정도로만 움직이는 것이 전형적이다. 본 발명은 ± 0.010 인치, 즉 0.25 mm 의 범위내의 위치선정 정확도를 또한 가능케 한다. 본 발명의 레티클 용기는 수직 및 수평 위치에서 레티클을 취급 및 이송하는 것을 상당히 용이하게 하며, 레티클이 견고하게 지지되도록 한다.
부가적으로, 바람직한 실시예가 예시 및 기술되었지만, 본 발명의 참뜻과 범위에 벗어나지 않고 여러가지 수정이 이루어질 수 있다는 사실은 당업자에게 명백할 것이다.
본 발명에서는, 매우 적은 부품을 제공하고 코너에서만 레티클을 지지함으로써, 알려진 소정의 위치에서 레티클을 견고하게 지지하는 경우, 반도체 디바이스의 제조에 사용되는 바와같은 포토리도그래피 제조공정 동안 레티클의 위치선정 및 취급이 상당히 용이해지며, 미립자 오염을 크게 감소시킬 수 있다.

Claims (19)

  1. 몸체부 ;
    상기 몸체부에 대해 이동 가능하게 설치되는 클램프 바(clamp bar);
    레티클의 코너부에 접촉되어 그 레티클을 지지할 수 있도록, 상기 레티클의 코너부에 대해 이격 이동 및 접근이동 가능하게 배치되며, 상기 클램프 바에 연결된 복수개의 코너 지지부 ( corner support ) ; 및
    한쪽 단부에서 상기 복수개의 코너 지지부 중 적어도 하나에 부착되고 다른 쪽 단부에서 상기 몸체부에 부착되어, 상기 적어도 하나의 코너 지지부를 상기 레티클의 코너부에 대해 접근되는 방향으로 탄성바이어스시키도록 배치된 스프링을 포함하며,
    상기 클램프 바가 일방향으로 이동되는 경우, 상기 복수개의 코너 지지부가 상기 레티클의 코너부에 대해 접근되는 방향으로 이동되어 그 복수개의 코너 지지부가 상기 레티클의 코너부에 접촉되면서 그 레티클을 지지하고,
    상기 클램프 바가 타방향으로 이동되는 경우, 상기 복수개의 코너 지지부가 상기 레티클의 코너부에 대해 이격되는 방향으로 이동되는 것을 특징으로 하는 레티클 용기 ( reticle box ).
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 복수개의 코너 지지부 중 두개는 피벗식으로 상기 클램프 바에 직접 부착되어 연결되며, 상기 복수개의 지지부 중 하나는 링키지 (linkage ) 를 통해 상기 클램프 바에 연결되는 것을 특징으로 하는 레티클 용기.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 스프링은 굴곡부 ( flexure ) 인 것을 특징으로 하는 레티클 용기.
  4. 제 1 항에 있어서, 가동적으로 상기 몸체부에 연결된 엘리베이션 바 ( elevation bar ) 및 상기 엘리베이션 바에 부착된 레티클 지지부를 부가적으로 포함하여, 상기 레티클은 한 방향으로 소정의 위치내에 배치될 수 있는 것을 특징으로 하는 레티클 용기.
  5. 평평한 기판을 지지하는 용기 ( container ) 에 있어서,
    몸체부 ;
    상기 몸체부에 대해 이동 가능하게 설치되며, 제 1 및 제 2 암(arm)을 지니는 클램프 바 ;
    상기 평평한 기판의 하나의 코너부에 대해 이격 이동 및 접근 이동 가능하게 배치되어 상기 제 1 암 상에 장착된 제 1 코너 지지부 ;
    상기 평평한 기판의 다른 하나의 코너부에 대해 이격 이동 및 접근 이동 가능하게 배치되어 상기 제 2 암 상에 장착된 제 2 코너 지지부 ;
    상기 평평한 기판의 또 다른 하나의 코너부에 대해 이격 이동 및 접근 이동 가능하게 배치되어 상기 클램프 바에 링키지를 통해 연결되어 있는 제 3 코너 지지부;
    상기 클램프 바를 상기 제 3 코너 지지부에 연결하는 링키지; 및
    상기 제 1, 제 2 및 제 3 코너 지지부를 상기 평평한 기판의 코너부에 대해 접근되는 방향으로 탄성바이어스시키도록 배치되어 상기 클램프 바에 연결된 스프링;을 포함하여,
    상기 클램프 바가 일방향으로 이동되는 경우, 상기 제 1, 제 2, 제 3 코너 지지부가 상기 평평한 기판의 코너부들에 대해 접근되는 방향으로 이동되어 그 제 1, 제 2, 제 3 코너 지지부가 상기 평평한 기판의 코너부들에 접촉되면서 그 평평한 기판을 지지하고,
    상기 클램프 바가 상기 스프링에 반하여 타방향으로 이동되는 경우, 상기 제 1, 제 2, 제 3 코너 지지부가 상기 평평한 기판의 코너부들에 대해 이격되는 방향으로 이동되는 것을 특징으로 하는 평평한 기판의 지지 용기.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 스프링은 굴곡부인 것을 특징으로 하는 평평한 기판의 지지 용기.
  7. 제 5 항에 있어서, 상기 링키지는 상기 클램프 바에 부착된 레버와, 상기 레버에 부착된 커넥터와, 상기 커넥터에 부착되고 상기 제 3 코너 지지부에 연결된 작동기를 포함하는 것을 특징으로 하는 평평한 기판의 지지 용기.
  8. 제 5 항에 있어서, 상기 몸체부에 가동적으로 연결된 엘리베이션 바 및 상기 엘리베이션 바에 부착된 레티클 지지부를 부가적으로 포함하여, 레티클은 한 방향으로 소정의 위치내에 배치될 수 있는 것을 특징으로 하는 평평한 기판의 지지 용기.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 엘리베이션 바는 굴곡부에 의해 상기 몸체부에 연결되는 것을 특징으로 하는 평평한 기판의 지지 용기.
  10. 제 5 항에 있어서, 상기 몸체부에 부착된 덮개부 및 상기 덮개부에 부착된 래치 ( latch ) 를 부가적으로 포함하는 평평한 기판의 지지 용기.
  11. 몸체부 ;
    상기 몸체부에 대해 이동 가능하게 설치되며, 제 1 및 제 2 암을 지니는 클램프 바 ;
    레티클의 하나의 코너부에 대해 이격이동 및 접근이동 가능하게 배치되어 상기 제 1 암상에 장착된 제 1 코너 지지부 ;
    제 1 단부 및 제 2 단부를 지니는 제 1 굴곡부로서, 상기 제 1 굴곡부의 제 1 단부는 상기 제 1 코너 지지부에 부착되고 상기 제 1 굴곡부의 제 2 단부는 상기 몸체부에 부착되어, 상기 클램프 바가 상기 몸체부로 부터 멀리 밀려나는 경우, 상기 제 1 코너 지지부는 상기 제 1 굴곡부에 의해 제공되는 바이어스 힘에 반하여이동하는 제 1 굴곡부 ;
    상기 레티클의 다른 하나의 코너부에 대해 이격이동 및 접근이동 가능하도록 배치되어 상기 제 2 암상에 장착된 제 2 코너 지지부 ;
    제 1 단부 및 제 2 단부를 지니는 제 2 굴곡부로서, 상기 제 2 굴곡부의 제 1 단부는 상기 제 2 코너 지지부에 부착되고 상기 제 2 굴곡부의 제 2 단부는 상기 몸체부에 부착되어, 상기 클램프 바가 상기 몸체부로 부터 멀리 밀려나는 경우, 상기 제 2 코너 지지부는 상기 제 2 굴곡부에 의해 제공되는 바이어스 힘에 반하여 이동하는 제 2 굴곡부 ;
    상기 암에 부착된 레버 ;
    상기 레버에 부착된 커넥터 ;
    한쪽 단부에서 상기 몸체부에 그리고 다른 단부에서 상기 커넥터에 피벗식으로 연결된 작동기 ;
    한쪽 단부에서 상기 몸체부에 그리고 상기 작동기에 피벗식으로 연결된 지지암 ;
    상기 레티클의 또 다른 하나의 코너부에 대해 이격이동 및 접근이동 가능하도록 배치되어 상기 지지암의 말단부에 부착된 제 3 코너 지지부 ; 및
    상기 몸체부에 부착된 덮개부;를 포함하여,
    상기 클램프 바가 상기 몸체부에 대해 접근되는 방향으로 이동되는 경우, 상기 제 1, 제 2 , 제 3 코너 지지부가 상기 레티클의 코너부들에 대해 접근되는 방향으로 이동되어 그 제 1, 제 2, 제 3 코너 지지부가 상기 레티클의 코너부들에 접촉되면서 그 레티클을 지지하고,
    상기 클램프 바가 상기 몸체부로부터 이격 이동되는 경우, 상기 제 1, 제 2, 제 3 코너 지지부가 상기 레티클의 코너부들에 대해 이격되는 방향으로 이동되어 상기 제 1, 제 2, 제 3 코너 지지부에 의한 레티클의 지지상태가 해제되는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로하는 레티클 용기.
  12. 제 11 항에 있어서, 상기 몸체부에 가동식으로 연결된 엘리베이션 바 및 상기 엘리베이션 바에 부착된 레티클 지지부를 부가적으로 포함하여, 레티클은 한 방향으로 소정의 위치내에 배치될 수 있는 것을 특징으로 하는 레티클 용기.
  13. 제 12 항에 있어서, 상기 엘리베이션 바는 굴곡부에 의해 상기 몸체부에 연결되는 것을 특징으로 하는 레티클 용기.
  14. 제 11 항에 있어서, 상기 덮개부에 부착된 래치를 부가적으로 포함하는 레티클 용기.
  15. 몸체부 ;
    상기 몸체부에 대해 이동 가능하게 설치되는 클램프 바 ;
    레티클의 코너부에 접촉되어 그 레티클을 지지할 수 있도록, 상기 레티클의 코너부에 대해 이격 이동 및 접근 이동 가능하게 배치되며, 상기 클램프 바에 연결된 복수개의 코너 지지부 ;
    상기 복수개의 코너 지지부를 상기 레티클의 코너부에 대해 접근되는 방향으로 탄성 바이어스 시키도록 배치된 스프링 ; 및
    상기 복수개의 코너 지지부 중 적어도 하나에 연결된 잠금 장치로서, 풀려질때까지 상기 복수개의 코너 지지부의 적어도 하나의 이동을 방지하는 잠금 장치를 포함하여,
    상기 클램프 바가 일방향으로 이동되는 경우, 상기 복수개의 코너 지지부가 상기 레티클의 코너부에 대해 접근되는 방향으로 이동되어 그 복수개의 코너 지지부가 상기 레티클의 코너부에 접촉되면서 그 레티클을 지지하고,
    상기 잠금 장치가 풀려지고 상기 클램프 바가 타방향으로 이동되는 경우, 상기 복수개의 코너 지지부가 상기 레티클의 코너부들에 대해 이격되는 방향으로 이동되어 상기 복수개의 코너 지지부에 의한 상기 레티클의 지지상태가 해제되는 것을 특징으로 하는 레티클 용기.
  16. 제 15 항에 있어서, 상기 잠금 장치는 스프링 탭인 것을 특징으로 하는 레티클 용기.
  17. 제 15 항에 있어서, 상기 잠금 장치는 상기 클램프 바 및 상기 복수개의 코너 지지부 중 적어도 하나에 연결된 링키지인 것을 특징으로 하는 레티클 용기.
  18. 제 15 항에 있어서, 상기 잠금 장치는 도어(door)의 개방에 의해 풀려지는 것을 특징으로 하는 레티클 용기.
  19. 몸체부 ;
    상기 몸체부에 대해 이동 가능하게 설치되는 클램프 바;
    레티클의 코너부에 접촉되어 그 레티클을 지지할 수 있도록, 상기 레티클의 코너부에 대해 이격이동 및 접근이동 가능하게 배치되며, 상기 클램프 바에 연결된 복수개의 코너 지지부 ;
    상기 복수개의 코너 지지부를 상기 레티클의 코너부에 대해 접근되는 방향으로 탄성 바이어스시키도록 배치된 스프링 ;
    풀려질때 까지 상기 복수개의 코너 지지부 중 적어도 하나의 이동을 방지하도록 상기 복수개의 코너 지지부 중 적어도 하나에 연결된 잠금 수단 ;
    상기 몸체부에 부착된 도어로서, 상기 도어가 개방되는 경우 상기 잠금 수단을 풀 수 있는 도어;를 포함하여,
    상기 클램프 바가 일방향으로 이동되는 경우, 상기 복수개의 코너 지지부가 상기 레티클의 코너부에 대해 접근되는 방향으로 이동되어 그 복수개의 코너 지지부가 상기 레티클의 코너부에 접촉되면서 그 레티클을 지지하고,
    상기 잠금 장치가 풀어지고 상기 클램프 바가 타방향으로 이동되는 경우, 상기 복수개의 코너 지지부가 상기 레티클의 코너부들에 대해 이격되는 방향으로 이동되어 상기 복수개의 코너 지지부에 의한 상기 레티클의 지지상태가 해제되는 것을 특징으로 하는 레티클 용기.
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