DE69631627T2 - Substratbehälter mit Eckenhalterung - Google Patents

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Description

  • Die vorliegende Erfindung betrifft im Allgemeinen das Halten eines planen Substrats zur Verwendung bei der Photolithographie, insbesondere einen Behälter oder eine Kassette zum lösbaren Halten eines Substrats gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
  • Die Photolithographie wird häufig verwendet zur Herstellung von Halbleitervorrichtungen. Bei der Photolithographie wird ein auf einem Retikel enthaltenes Bild auf eine Halbleiterscheibe projiziert, auf der sich ein lichtempfindliches Photoresist befindet. Während des Fertigungsprozesses können viele unterschiedliche Retikel benötigt werden. Jedes dieser unterschiedlichen Retikel muss in einer sicheren kontaminationsfreien Umgebung gehalten werden. Ein solcher Behälter zum Halten eines Substrats oder Retikels ist offenbart in dem US-Patent 4 422 547 mit dem Titel „Behälter zum Halten eines Substrats", das am 27. Dezember 1983 an Abe et al erteilt wurde. Darin ist ein Behälter zum Halten eines planen Substrats wie eines Retikels, einer Maske oder einer Halbleiterscheibe offenbart. Der Behälter hat ein Kontaktelement, das so mit der Bewegung einer Tür gekoppelt ist, dass, wenn die Tür geschlossen ist, das Kontaktelement die plane Oberseite des im Behälter platzierten Substrats oder Retikels berührt. Während dieser bekannte Behälter einen Retikel hält, ist er doch nicht ohne Nachteile.
  • Ein Behälter gemäß dem Oberbegriff von Patentanspruch 1 ist in EP-A-338706 gezeigt. Der bekannte Behälter oder Träger ist in der Lage eine Halbleiterpackung lösbar zu tragen, die einen Packungskörper und eine Vielzahl von vom Körper ausgehenden Leitungen enthält. Der Behälter oder Träger enthält Eingriffsstifte, die aus dem Träger ragen und in Eingriffslöcher eines Rahmens der Halbleiterpackung eingesetzt werden können und hierdurch jegliche Bewegung der Packung in den X- und Y-Richtungen verhindern. Zum Verhindern einer Bewegung in der Z-Richtung sind dreieckige Vorsprünge unter der Packung und Halter für eine Gleitbewegung auf der anderen Seite der Packung vorgesehen. Die Halter werden durch eine Feder gegen und über die Ecken der Packung vorgespannt. Die Halter werden von Hand oder automatisch beiseite bewegt, um einen Packungskörper hereinzulassen. Daher besteht die Notwendigkeit, die zum Halten eines Retikels verwendeten Behälter oder Kassetten zu verbessern. Es wird zusätzlich ein Retikelbehälter oder eine Kassette benötigt, die ein Retikel in einer vorgegebenen festen Stellung sicher und lösbar hält, ohne das Retikel zu beschädigen oder zu einer Partikelkontamination beizutragen.
  • Die vorliegende Erfindung umfasst einen Behälter nach Patentanspruch 1 mit einer verschiebbaren Klemmstange, die mit mehreren Eckenträgern gekoppelt ist. Bei einer Bewegung der Klemmstange werden die mehreren Eckenträger von den Ecken eines Retikels weg geschwenkt. Die Eckenträger halten das Retikel sicher in einer vorgegebenen Position.
  • Die Eckenträger sind mit der Klemmstange verbunden.
  • Zum Erzielen einer anfänglichen, vorläufigen Position in einer Richtung kann eine Hebestange verwendet werden.
  • Ein Ziel der vorliegenden Erfindung besteht demnach im sicheren und lösbaren Halten eines Substrats, wie eines Retikels, in einem Behälter oder einer Kassette.
  • Ein weiteres Ziel der vorliegenden Erfindung ist die Verringerung der Partikelkontamination.
  • Es ist ein Vorteil der vorliegenden Erfindung, dass das Retikel in einer bekannten oder vorgegebenen Position innerhalb des Behälters oder der Kassette genau gehalten werden kann.
  • Ein weiterer Vorteil der vorliegenden Erfindung besteht darin, dass ein Retikel sicher gehalten werden kann und eine Bewegung innerhalb des Behälters oder der Kassette vermieden wird.
  • Ein Merkmal der vorliegenden Erfindung besteht darin, dass der Behälter so gebaut ist, dass er ein Substrat, etwa einen Retikel, an dessen Ecken hält.
  • Bei einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird ein Verriegelungsmechanismus verwendet, um ein unbeabsichtigtes Lösen des Retikels zu verhindern.
  • Diese und weitere Ziele, Vorteile und Merkmale sind aus der folgenden detaillierten Beschreibung ohne weiteres ersichtlich. In der beigefügten Zeichnung zeigen:
  • 1 eine Draufsicht einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
  • 2 eine auseinandergezogene Schrägansicht einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
  • 3 eine Draufsicht einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung;
  • 4A–B eine teilweise Schrägansicht eines Eckenverriegelungsmechanismus'; und
  • 5A–B eine teilweise Draufsicht eines weiteren Eckenverriegelungsmechanismus'.
  • AUSFÜHRLICHE BESCHREIBUNG DER ERFINDUNG
  • 1 erläutert die vorliegende Erfindung. In 1 ist ein Retikelkasten, ein Behälter oder eine Kassette mit einem Körper 12 dargestellt. Innerhalb des Körpers 12 befindet sich eine Klemmstange 14. Die Klemmstange 14 hat an beiden Enden einen Arm 15. Jeder Arm 15 ist an einem unteren Eckenträger 20 schwenkbar befestigt. Ein Stift 26 befestigt die Arme 15 an den unteren Eckenträgern 20. Die unteren Eckenträger 20 haben eine Vertiefung oder Ausnehmung, deren Form sich zur Aufnahme der Ecke eines Retikels 56 eignet. Das Retikel 56 ist typisch ein planes Glassubstrat mit dem Bild eines Musters, das durch Photolithographie auf eine Halbleiterplatte reproduziert werden soll. Ein Biegeelement oder eine Klemmstangenfeder 16 ist an einem Ende an den unteren Eckenträgern 20 befestigt und am anderen Ende an einem feststehenden Träger 18 sicher befestigt oder angebracht. Die feststehenden Träger 18 sind am Körper 12 sicher befestigt. Daher können sich die feststehenden Träger 18 gegenüber dem Körper 12 nicht bewegen. Einer der Arme 15 ist mit Hilfe eines Stifts 26 schwenkbar an einem Hebel 28 befestigt. Der Hebel 28 ist mit Hilfe eines Stifts 26 schwenkbar an einem Hebelträger 24 befestigt, der als Drehpunkt dient. Das andere Ende des Hebels 28 ist mit Hilfe eines Verbinders 30 mit einem Betätigungselement 32 für den oberen Eckenträger verbunden. Der Verbinder 30 ist mit einem Ende am Betätigungselement 32 festigt. Das andere Ende des Betätigungselements 32 ist mit Hilfe eines Stifts 26 am Körper 12 schwenkbar befestigt. Ein Arm 35 des oberen Eckenträgers ist an einem Ende mit Hilfe eines Stifts 26 am Körper 12 schwenkbar befestigt, und ist in der Mitte mit Hilfe eines Stifts 26 am Betätigungselement 32 befestigt. Am anderen Ende des Tragarms 35 ist ein oberer Eckenträger 34 befestigt. Der obere Eckenträger 34 hat eine Vertiefung oder Ausnehmung zur Aufnahme oder zum Halten einer Ecke des Retikels 56. Das Betätigungselement 32 und der Tragarm 35 sind an einer Trägerbefestigungsplatte 36 befestigt.
  • An einem Ende der Hebebiegeelemente oder Hebestangenfedern 40 ist eine Hebestange 38 befestigt. Die anderen Enden der Hebestangenfedern 40 sind an feststehenden Trägern 18 befestigt. An der Hebestange 38 sind Retikelhebeträger 39 befestigt. Die Klemmstange 14 die Hebestange 38 bewegen sich voneinander unabhängig. Am Körper 12 ist ein Handgriff 42 vorgesehen zur Erleichterung des Einsetzens und des Entfernens des Retikelkastens 10 und auch für dessen Tragen. Im Handgriff 42 kann eine Öffnung haben, durch die die Finger der Hand einer Bedienungsperson herumgelegt werden können, oder kann zur Erleichterung des Greifens einfach eine Vertiefung haben.
  • 2 zeigt in auseinander gezogener Ansicht die in 1 dargestellte vorliegende Erfindung. Jedoch zeigt 2 zusätzlich eine Abdeckung 44 und einen Verriegelungsmechanismus 46, 48, 50, 52 und 54. Die Abdeckung 44 ist am Körper 12 schwenkbar befestigt. An einer Ecke der Abdeckung 44 befindet sich ein Riegelgehäuse 46. Am Riegelgehäuse 46 befindet sich eine Riegelführung 48 zusammen mit einer Riegelfeder 50 und einem Riegel 52. Der Riegel 52 kann auf eine Riegelfalle 54 treffen, die am Körper 12 des Retikelkastens 10 befestigt ist. Die Abdeckung 44 gestattet einen Zutritt zum Innenraum des Körpers 12 für das anfängliche Platzieren eines Retikels 56.
  • Aus 1 und 2 ist der Betrieb des Retikelkastens 10 leicht ersichtlich. Im Allgemeinen wird der Retikelkasten oder die Kassette 10 in einem Retikelarchiv gehalten, das mit einem photolithographischen Werkzeug oder Ausrüstungsteil verbunden ist. Der Retikelkasten oder die Kassette 10 wird mit Hilfe des Handgriffs 42 in das Retikelarchiv eingesetzt oder daraus entfernt. Sobald der Retikelkasten 10 in einem Retikelarchiv positioniert ist, wird ein nicht gezeigter automatischer Arm durch eine Seitenöffnung eingesetzt und zum Entfernen des Retikels 56 aus dem geschlossenen Retikelkasten 10 verwendet. Das Retikel 56 wird aus dem Retikelkasten 10 entfernt für einen Transport zu einer Stelle, an der eine Projektionsoptik zum Abbilden des Retikels auf einem lichtempfindlichen Substrat, etwa einer Halbleiterscheibe, verwendet wird. Bei einem automatisierten photolithographischen Prozess ist es von Vorteil, das Retikel 56 an einem vorgegebenen Ort genau zu positionieren und auch sicher zu halten. Das Retikel 56 wird anfänglich innerhalb des Retikelkastens 10 positioniert durch lineares Bewegen oder Verschieben der Klemmstange 14 und der Hebestange 38. Beim Bewegen der Klemmstange 14 in der Y-Richtung werden die unteren Eckenträger 20 gegen eine durch Federn 16 erzeugte Vorspannkraft nach außen geschwenkt. Ein Arm 15 ist am Hebel 28 befestigt, bewirkt dessen Bewegung und drückt den Verbinder 30 nach oben. Die Anbringung des Verbinders 30 am Betätigungselement 32, das seinerseits mit dem Tragarm 35 schwenkbar verbunden ist, bewirkt ein Drehen und Auswärtsschwenken des oberen Eckenträgers 34. Die unteren Eckenträger 20 und der obere Eckenträger 34 befinden sich nun in einer Stellung zur Aufnahme der Ecken des Retikels 56. Vor dem Anbringen des Retikels 56 kann jedoch die Hebestange 38 an Anschlägen so positioniert werden, dass das Retikel in einer vorgegebenen Y-Richtung auf Trägern 39 vorpositioniert wird. Wenn demnach ein Retikel 56 im Retikelkasten oder in der Kassette 10 angeordnet ist und mit den Trägem 39 in Berührung steht, wird eine vorgegebene anfängliche Y-Position erzielt. Beim Lösen der Klemmstange 14 bewirken die Federn 16 eine Rückkehr der unteren Eckenträger 20 und des oberen Eckenträgers 34 in eine normale Stellung mit Berührung der Ecken des Retikels 56. Wie in 2 gezeigt, werden auf den unteren Eckenträgern 20 und dem oberen Eckenträger 34 Tragabdeckungen 22 verwendet. Die Tragabdeckungen 22 helfen ferner beim Festlegen und Halten des Retikels längs der Z-Achse oder -Richtung. Daher wird das Retikel 56 in den X-, Y- und Z-Richtungen sicher gehalten und genau positioniert. Das Retikel wird durch Niederziehen der Klemmstange 14 und bei Bedarf der Hebestange 38 freigegeben.
  • 3–5 zeigen eine weitere Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Die Ausführungsform gemäß 3–5 ist in Aufbau und Betrieb der in 1 und 2 gezeigten Ausführungsform ähnlich. Jedoch werden bei der in 3–5 gezeigten Ausführungsform Eckenverriegelungsmechanismen verwendet zum Verhindern einer unbeabsichtigten Bewegung des Retikels 56. Ein Retikelkasten 110 hat einen Körper 112. Eine Klemmstange 114 ist am Körper 112 befestigt. Die Klemmstange wird durch einen Führungspfosten 141 geführt. An jedem Ende der Klemmstange 114 sind untere Eckenträger 120 schwenkbar befestigt. Die unteren Eckenträger 120 sind mit Stiften 126 befestigt. Ein Klemmstangenbiegeelement oder eine Feder 116 ist an einem Ende an den unteren Eckenträgern 120 befestigt. Das andere Ende der Klemmstangenfeder 116 ist an feststehenden Klemmstangenfederträgern 118 befestigt. Ein Ende der Klemmstange 114 ist an einem Hebel 128 schwenkbar befestigt. Der Drehpunkt des Hebels 128 ist mit Hilfe eines Stifts 126 an einem Hebelträger 124 schwenkbar befestigt. Ein Ende des Hebels 128 ist an einem Verbinder 130 befestigt. Das andere Ende des Verbinders 130 ist an einem Betätigungselement 132 für den oberen Eckenträger befestigt. Das Betätigungselement 132 für den oberen Eckenträger ist mit Hilfe eines Stifts 126 mit einer Trägermontageplatte 136 schwenkbar verbunden. Ein oberer Eckenträger 134 ist am Betätigungselement 132 für den oberen Eckenträger ausgebildet. Mit einem Ende des Betätigungselements 132 für den oberen Eckenträger ist eine Stange 158 schwenkbar verbunden. Am anderen Ende der Stange 158 befindet sich ein abgewinkelter Teil 160. Die Stange 158 wird durch einen Träger 162 verschiebbar in ihrer Position gehalten. In einer federbelasteten oberen Tür 164 ist eine Öffnung 166 ausgebildet. Die Öffnung 166 ist so bemessen, dass sie den abgewinkelten Teil 160 der Stange 158 aufnimmt.
  • Gegenüber dem Ende mit dem Handgriff 142 ist einem der unteren Eckenträger 120 ein Federstreifen 170 zugeordnet. Der Federstreifen 170 erstreckt sich um eine Strecke, die ausreicht zum Berühren der Seitentür 168, wenn sie in ihre Öffnungsstellung niedergedrückt wird. Der Federstreifen 170 wird daher beim Öffnen der Seitentür 168 niedergedrückt. Im geschlossenen Zustand halten die unteren Eckenträger 120 und der obere Eckenträger 134 das Retikel 56 in einer sicheren Position. Die Retikelträger 139 helfen beim Positionieren des Retikels und tragen einen Teil des Retikelgewichts.
  • 4A und 4B erläutern klarer den Verriegelungsmechanismus, der einem der beiden unteren Eckenträger 120 zugeordnet ist. In 4A ist der Betrieb des Federstreifens 170 klar dargestellt. Wenn die federbelastete Tür 168 gemäß Pfeil 174 geöffnet ist, berührt sie das Ende des Federstreifens 170. Der Federstreifen 170 wird nach unten gedrückt. Eine am Federstreifen 170 ausgebildete Auflagefläche oder Schulter 172 wird ebenfalls nach unten bewegt. Ein Teil der Feder 116, die den unteren Eckenträger 120 hält, ruht auf der Schulter 172, wenn sich der Federstreifen 170 in der angehobenen oder normalen Stellung befindet. Dies hindert den unteren Eckenträger 120 am Herausbewegen aus seiner Position, wenn er von der Klemmstange 114 nach unten gezogen wird. Wenn demnach die Seitentür 168 geschlossen ist, ist der untere Eckenträger in seiner Stellung verriegelt und kann nicht bewegt werden. Wenn jedoch die Seitentür 168 offen ist, wird der Federstreifen 170 nach unten gedrückt und gibt den unteren Eckenträger 120 frei. Dies ermöglicht eine Freigabe des Retikels 56, wenn die Klemmstange 114 bewegt wird. Eine dem unteren Eckenträger 120 zugeordnete Abdeckung ist in 4B nicht gezeigt, sodass der Betrieb des Verriegelungsmechanismus' klarer gezeigt werden kann. 4B erläutert deutlicher die Schulter 172 und den Teil der Feder 116, der den unteren Eckenträger 120 hält.
  • 5A und 5B zeigen deutlicher den Betrieb des Verriegelungsmechanismus', der dem oberen Eckenträger 134 zugeordnet ist. Aus 3 und 5A und 5B ist der Betrieb des Verriegelungsmechanismus' ersichtlich, der dem oberen Eckenträger 134 zugeordnet ist. Wenn die obere Tür 164 geschlossen ist, erstreckt sich der abgewinkelte Teil 160 der Stange 158 durch die Öffnung 166. Wenn demnach die in 3 dargestellte Klemmstange 114 abgesenkt wird, schwenkt der Hebel 128 und drückt die daran befestigte Stange 130 nach oben wie durch einen Pfeil 176 dargestellt. Das Betätigungselement 132 für den oberen Eckenträger wird vom Retikel leicht weggedrückt, wobei die ursprüngliche Stellung gestrichelt dargestellt ist. Das Betätigungselement 132 des oberen Eckenträgers wird jedoch durch den abgewinkelten Teil 160 zurückgehalten, der auf eine Kante der Öffnung 166 an der oberen Tür 164 trifft. Die Bewegung des oberen Eckenträgers 134 ist vorzugsweise nur sehr gering, wenn überhaupt vorhanden, wenn die obere Tür 164 geschlossen ist. Wenn demnach die obere Tür 164 sich in der geschlossenen Stellung befindet, ist der obere Eckenträger 134 im wesentlichen in seiner Position verriegelt und hält das Retikel 156 sicher. 5B zeigt das Lösen des Verriegelungsmechanismus', wenn die obere Tür 164 weg vom Retikel 56 nach außen geöffnet ist. Wenn die obere Tür 164 geöffnet ist, ist der abgewinkelte Teil 160 durch die Öffnung 166 nicht begrenzt und kann sich rückwärts oder zum oberen Eckenträger 134 bewegen. Dies löst das Betätigungselement 132 für den oberen Eckenträger und macht es frei beweglich. Demnach schwenkt der obere Eckenträger 134 weg von der Ecke des Retikels 156.
  • Der Betrieb des Retikelkastens 110 gemäß 3–5 ist im wesentlichen ähnlich dem Betrieb des Retikelkastens 10 gemäß 1 und 2, die oben beschrieben sind. Jedoch hat der Retikelkasten gemäß 3–5 einen geringfügig unterschiedlichen Gestängemechanismus und besitzt das zusätzliche Merkmal eines Eckenverriegelungsmechanismus' zum Verhindern einer unbeabsichtigten Bewegung des darin enthaltenen Retikels 56.
  • Beim sicheren Halten eines Retikels in einer bekannten vorgegebenen Position erleichtert die vorliegende Erfindung bedeutend das Positionieren und Handhaben eines Retikels während eines photolithographischen Herstellungsprozesses, wie er bei der Herstellung von Halbleitervorrichtungen verwendet wird. Während das Halten eines Retikels 56 beschrieben wurde, sei jedoch hervorgehoben, dass die vorliegende Erfindung auch beim Halten eines beliebigen ebenen Substrats anwendbar ist. Durch Vorsehen sehr weniger sich bewegender Teile und durch Halten des Retikels nur an den Ecken hat sich zusätzlich erwiesen, dass die vorliegende Erfindung die Partikelkontamination bedeutend verringert. Die Partikelkontamination wird in zunehmendem Maß ein Problem, wenn die Merkmalsgrößen der Halbleiterkomponenten verringert werden. Der Kontakt des Retikels und die Bewegung des Mechanismus' der vorliegenden Erfindung werden auf einem Minimum gehalten. Zusätzlich bewegt sich die Belastungs- oder Klemmstange 14 typisch nur um ungefähr 0,25 Zoll (1 Zoll = 2,54 cm) oder 6 mm. Die vorliegende Erfindung gestattet auch das genaue Positionieren innerhalb eines Bereichs von ± 0,010 Zoll oder 0,25 mm. Der Retikelkasten der vorliegenden Erfindung erleichert stark das Handhaben und Transportieren von Retikeln sowohl in einer senkrechten als auch in einer waagrechten Position und ermöglicht das sichere Halten der Retikel.
  • Obwohl die bevorzugte Ausführungsform dargestellt und beschrieben wurde, ist dem Fachmann zusätzlich ersichtlich, dass verschiedene Abänderungen gemacht werden können, ohne dass vom Bereich dieser Erfindung gemäß den Patentansprüchen abgegangen wird.

Claims (16)

  1. Behälter (10; 110) zum Halten eines planen Substrats (56), der umfasst: einen Körper (12; 112); und eine Vielzahl von Eckenträgern (20, 34; 120, 134), die das Substrat (56) sicher in einer vorgegebenen Position halten; wobei an wenigstens einem Eckenträger (20, 120) eine Feder (16, 116) angebracht ist und das andere Ende der Feder an dem Körper (12, 112) angebracht ist, dadurch gekennzeichnet, dass: die Vielzahl von Eckenträgern (20, 34; 120, 134) mit einer Klemmstange (14; 114) verbunden sind, um das Substrat (56) sicher in der vorgegebenen Position zu halten, so dass, wenn die Klemmstange (14; 114) gegen die Spannkraft der Feder (16; 116) bewegt wird, die Vielzahl von Eckenträgern von den Ecken des Substrats (56) weg geschwenkt werden.
  2. Behälter nach Anspruch 1, wobei: zwei (20; 120) der Vielzahl von Eckenträgern schwenkbar direkt an der Klemmstange (14; 114) angebracht sind und einer (34; 134) der Vielzahl von Trägern über ein Verbindungsgestänge (28, 30, 32; 128, 130, 132) an der Klemmstange angebracht ist.
  3. Behälter nach Anspruch 1 oder 2, der des Weiteren umfasst: eine Hebestange (38), die beweglich mit dem Körper (12) verbunden ist; und Hebe-Substratträger (39), die an der Hebestange (38) angebracht sind, so dass das Substrat (56) an einer vorgegebenen Position in Bezug auf eine Querrichtung in dem Behälter angeordnet werden kann.
  4. Behälter nach einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei die Klemmstange (14; 114) einen ersten und einen zweiten Arm (15) hat, ein erster Eckenträger (20; 120) mit dem ersten Arm (15) verbunden ist und ein zweiter Eckenträger (20; 120) mit dem zweiten Arm (15) verbunden ist, und wobei ein Verbindungsgestänge (28, 30, 32; 128, 130, 132) die Klemmstange (14; 114) mit einem dritten Eckenträger (34; 134) koppelt, so dass, wenn die Klemmstange (14; 114) gegen die Feder (16; 116) bewegt wird, sich der erste, der zweite und der dritte Eckenträger von Ecken des planen Substrats (56) weg bewegen.
  5. Behälter nach einem der Ansprüche 2 bis 4, wobei: das Verbindungsgestänge (28, 30, 32; 128, 130, 132) einen Hebel (28; 128), der an der Klemmstange (14; 114) angebracht ist; einen Verbinder (30; 130), der an dem Hebel angebracht ist; und ein Betätigungselement (32; 132) enthält, das an dem Verbinder angebracht ist, wobei das Betätigungselement mit dem dritten Eckenträger (34; 134) verbunden ist.
  6. Behälter nach Anspruch 3, wobei: die Hebestange (38) mit dem Körper (12) durch eine Feder (40) verbunden ist.
  7. Behälter nach einem der Ansprüche 1 bis 6, der des Weiteren umfasst: eine Abdeckung (44), die an dem Körper (12) angebracht ist; und eine Verriegelung (46, 48, 50, 52, 54), die an der Abdeckung angebracht ist.
  8. Behälter nach Anspruch 1, wobei die Klemmstange (14) einen ersten und einen zweiten Arm hat, ein erster Eckenträger (20) mit dem ersten Arm (15) verbunden ist und ein zweiter Eckenträger (20) mit dem zweiten Arm (15) verbunden ist, wobei der Behälter des Weiteren umfasst: eine erste Feder (16) mit einem ersten und einem zweiten Ende, wobei das erste Ende der ersten Feder an dem ersten Eckenträger (20) angebracht ist und das zweite Ende der ersten Feder an dem Körper (12) angebracht ist, so dass, wenn die Klemmstange (14) von dem Körper (12) weggezogen wird, sich der erste Eckenträger (20) gegen eine Spannkraft bewegt, die durch die erste Feder (16) erzeugt wird; eine zweite Feder (16) mit einem ersten Ende und einem zweiten Ende, wobei das erste Ende der zweiten Feder an dem zweiten Eckenträger (20) angebracht ist und das zweite Ende der zweiten Feder an dem Körper (12) angebracht ist, so dass, wenn die Klemmstange (14) von dem Körper (12) weggezogen wird, sich der zweite Träger (20) gegen eine Spannkraft bewegt, die durch die zweite Feder erzeugt wird; einen Hebel (28), der an dem zweiten Arm (15) angebracht ist; einen Verbinder (30), der an dem Hebel (28) angebracht ist; ein Betätigungselement (32), das schwenkbar an einem Ende mit dem Körper (12) und am anderen Ende mit dem Verbinder verbunden ist; einen Tragarm (35), der schwenkbar an einem Ende mit dem Körper (12) und zwischendrin mit dem Betätigungselement (32) verbunden ist; einen dritten Eckenträger (34), der an dem anderen Ende des Tragarms (35) angebracht ist; und eine Abdeckung (44), die an dem Körper (12) angebracht ist, so dass, wenn die Klemmstange (14) von dem Körper (12) wegbewegt wird, der erste, der zweite und der dritte Eckenträger (20, 34) veranlasst werden, sich von Ecken eines Substrats (56) wegzubewegen, das in den Behälter (10) eingelegt ist.
  9. Behälter nach Anspruch 8, der des Weiteren umfasst: eine Hebestange (38), die beweglich mit dem Körper (12) verbunden ist; und Hebeträger (39), die an der Hebestange (38) angebracht sind, so dass das Substrat (56) in einer vorgegebenen Position in Bezug auf eine Querrichtung in dem Behälter angeordnet werden kann.
  10. Behälter nach Anspruch 9, wobei: die Hebestange (38) mit dem Körper (12) durch eine Feder (40) verbunden ist.
  11. Behälter nach einem der Ansprüche 8 bis 10, der des Weiteren umfasst: eine Verriegelung (46, 48, 50, 52, 54), die an der Abdeckung (44) angebracht ist.
  12. Behälter nach Anspruch 1, der umfasst: einen Arretiermechanismus (170), der mit wenigstens einem der Vielzahl von Eckenträgern (120, 134) verbunden ist, wobei der Arretiermechanismus eine Bewegung des wenigstens einen der Vielzahl von Eckenträgern (120, 134) verhindert, bis er gelöst wird, so dass, wenn der Arretiermechanismus (158, 170) gelöst wird und die Klemmstange (114) bewegt wird, sich die Vielzahl von Eckenträgern (120, 134) bewegen.
  13. Behälter nach Anspruch 12, wobei der Arretiermechanismus eine Federlasche (170) ist.
  14. Behälter nach Anspruch 12, wobei: der Arretiermechanismus ein Verbindungsgestänge (158) ist, das mit der Klemmstange (114) und dem wenigstens einen (134) der Vielzahl von Eckenträgern gekoppelt ist.
  15. Behälter nach Anspruch 12, wobei: der Arretiermechanismus (158, 170) durch das Öffnen einer Tür (164, 168) gelöst wird.
  16. Behälter nach einem der Ansprüche 1 bis 15, der einen Retikel-Kasten (10) zum Aufnehmen eines Retikel (56) bildet.
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Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10154646A (ja) * 1996-11-22 1998-06-09 Nikon Corp 搬送装置
JPH10310145A (ja) * 1997-05-13 1998-11-24 Zeon Kasei Co Ltd 薄板用コンテナ
US5972727A (en) * 1998-06-30 1999-10-26 Advanced Micro Devices Reticle sorter
US6280646B1 (en) 1999-07-16 2001-08-28 Micron Technology, Inc. Use of a chemically active reticle carrier for photomask etching
US6239863B1 (en) 1999-10-08 2001-05-29 Silicon Valley Group, Inc. Removable cover for protecting a reticle, system including and method of using the same
US6507390B1 (en) 2000-02-10 2003-01-14 Asml Us, Inc. Method and apparatus for a reticle with purged pellicle-to-reticle gap
US6847434B2 (en) * 2000-02-10 2005-01-25 Asml Holding N.V. Method and apparatus for a pellicle frame with porous filtering inserts
US6307619B1 (en) 2000-03-23 2001-10-23 Silicon Valley Group, Inc. Scanning framing blade apparatus
KR100597035B1 (ko) * 2001-03-01 2006-07-04 에이에스엠엘 네델란즈 비.브이. 마스크핸들링방법, 마스크, 그를 위한 그리퍼를 포함하는기구 또는 장치, 디바이스 제조방법 및 그 디바이스
US6736386B1 (en) * 2001-04-10 2004-05-18 Dupont Photomasks, Inc. Covered photomask holder and method of using the same
DE20106909U1 (de) * 2001-04-21 2002-08-29 Acr Automation In Cleanroom Transportbox für optische Masken
US6809793B1 (en) 2002-01-16 2004-10-26 Advanced Micro Devices, Inc. System and method to monitor reticle heating
TWI319123B (en) * 2002-02-22 2010-01-01 Asml Holding Nv System and method for using a two part cover for protecting a reticle
US6822731B1 (en) * 2003-06-18 2004-11-23 Asml Holding N.V. Method and apparatus for a pellicle frame with heightened bonding surfaces
US6862817B1 (en) * 2003-11-12 2005-03-08 Asml Holding N.V. Method and apparatus for kinematic registration of a reticle
US7720558B2 (en) * 2004-09-04 2010-05-18 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for mapping carrier contents
CN101084471B (zh) * 2004-12-23 2012-08-29 Asml荷兰有限公司 支持结构与光刻设备
JP4581681B2 (ja) * 2004-12-27 2010-11-17 株式会社ニコン レチクル保護装置および露光装置
US7607543B2 (en) 2005-02-27 2009-10-27 Entegris, Inc. Reticle pod with isolation system
US20060201848A1 (en) * 2005-03-14 2006-09-14 Ting-Yu Lin Method for reducing mask precipitation defects
TWI387040B (zh) * 2006-12-19 2013-02-21 Applied Materials Inc 感測承載件中基板之設備
DE102007047186B4 (de) * 2007-10-02 2014-01-09 Carl Zeiss Sms Gmbh Aufnahmevorrichtung zur Aufnahme einer Photolithographiemaske
WO2013142083A2 (en) * 2012-03-22 2013-09-26 Nikon Corporation Mirror assembly with heat transfer mechanism
KR101650530B1 (ko) * 2012-06-14 2016-08-23 무라다기카이가부시끼가이샤 덮개 개폐 장치
TW201446101A (zh) * 2013-05-30 2014-12-01 Hon Hai Prec Ind Co Ltd 承載裝置
US11197733B2 (en) 2017-04-12 2021-12-14 Mako Surgical Corp. Packaging systems and methods for mounting a tool on a surgical device
CN108919603A (zh) * 2018-09-07 2018-11-30 无锡中微掩模电子有限公司 一种集成电路掩模版用新型多片盒
US11690680B2 (en) 2019-03-19 2023-07-04 Mako Surgical Corp. Trackable protective packaging for tools and methods for calibrating tool installation using the same
US11395711B2 (en) 2019-06-05 2022-07-26 Stryker European Operations Limited Packaging systems and methods for mounting a tool on a surgical device using the same

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3615006A (en) * 1969-06-26 1971-10-26 Ibm Storage container
JPS5895812A (ja) * 1981-12-01 1983-06-07 Nippon Kogaku Kk <Nikon> 基板の収納容器及び収納容器の装着装置
JPS59103438U (ja) * 1982-12-28 1984-07-12 富士通株式会社 マスクハンドリング用治具
US4776462A (en) * 1985-09-27 1988-10-11 Canon Kabushiki Kaisha Container for a sheet-like article
US4886169A (en) * 1987-10-13 1989-12-12 Texas Instruments Incorporated Bellows clamp actuator
JPH01100938A (ja) * 1987-10-14 1989-04-19 Hitachi Electron Eng Co Ltd Ｉｃマスク用角形ガラス板のチャック機構
US4958214A (en) * 1988-04-22 1990-09-18 Control Data Corporation Protective carrier for semiconductor packages
JPH0310251A (ja) * 1989-06-08 1991-01-17 Hitachi Electron Eng Co Ltd 板状ワーク搬送装置
KR930006273Y1 (ko) * 1990-08-08 1993-09-17 삼성전관 주식회사 기판이 수납되는 카세트의 위치고정장치
US5154380A (en) * 1990-08-31 1992-10-13 Mihai Risca Container holder
US5066245A (en) * 1990-11-09 1991-11-19 Amp Incorporated Retention device for flat pack sockets
JP3089590B2 (ja) * 1991-07-12 2000-09-18 キヤノン株式会社 板状物収納容器およびその蓋開口装置
US5161789A (en) * 1991-08-27 1992-11-10 Rogers Winston L Universal clamping device
JPH05251302A (ja) * 1992-03-05 1993-09-28 Nec Kyushu Ltd 縮小投影露光装置
JPH0758192A (ja) * 1993-08-12 1995-03-03 Nikon Corp 基板収納ケース
JPH07153661A (ja) * 1993-11-30 1995-06-16 Fuji Electric Co Ltd レティクル取出・収納装置
EP0660655B1 (de) * 1993-12-27 1998-01-28 GOLD INDUSTRIES Co. Ltd. Behältereinrichtungen-Zusammenbau zum Transportieren von Präzisionsvorrichtung

Also Published As

Publication number Publication date
US5727685A (en) 1998-03-17
KR970023650A (ko) 1997-05-30
CA2188196A1 (en) 1997-04-20
JP2007279766A (ja) 2007-10-25
JP4054080B2 (ja) 2008-02-27
KR100440812B1 (ko) 2004-10-14
EP0769807A3 (de) 1997-05-02
EP0769807A2 (de) 1997-04-23
EP0769807B1 (de) 2004-02-25
JPH09218502A (ja) 1997-08-19
DE69631627D1 (de) 2004-04-01

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