JPH01100938A

JPH01100938A - Ｉｃマスク用角形ガラス板のチャック機構

Info

Publication number: JPH01100938A
Application number: JP62258812A
Authority: JP
Inventors: Noboru Tatara; 多々良　登; Senji Shinpo; 新保　仙治
Original assignee: Hitachi Electronics Engineering Co Ltd
Current assignee: Hitachi High Tech Corp
Priority date: 1987-10-14
Filing date: 1987-10-14
Publication date: 1989-04-19

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】［産業上の利用分野］この発明は、ＩＣのパターンマスク用の角形ガラス板の
チャック機構に関するものである。

［従来の技術］半導体ＩＣの製造においては、石英などによる角形のガ
ラス板に回路のパターンを描いたマスク板を作り、これ
をシリコンウェハに投影して転写する方法が行われてい
る。ガラス板自身および回路パターンに欠陥があるとき
は、これより複製されるすべてのＩＣの欠陥となり、そ
の影響が太き、いのでマスク板の欠陥検査は厳重に行う
ことが必要である。

検査方法にはレーザビームを使用する光学式があり、ガ
ラス板の表面にレーザの微小のスポットを形成して走査
するものである。この場合、微小なスポットを形成する
ためにはレーデビームの焦点を正しくガラス板の表面に
合焦させることが必要である。また走査においては、ガ
ラス板の表面の座標を所定の位置に位置決め（水平方向
の位置決め）することが必要である。このために、検査
用光学装置に移動機構を設け、必要な上下移動および水
平移動が行われている。

一方、ガラス板は表面の欠陥を極度に嫌うなめ、搬送お
よび検査に際しては表面に接触しない支持方法が要求さ
れ、支持には周辺の側面、または４辺の狭い端部のみが
許されている。

第５図（ａ）、（ｂ）は角形ガラス板を搬送するために
従来から使用されているチャ・ツク機構のＩＰＡを示す
もので、角形ガラス板１の対向する２つのコーナー１ａ
、１ｂに対して、その対角線の方向に移動（矢印Ｃ）し
て接近する２本のアーム３−１および３−２を設ける。

２はアームの移動機構である。

各アームの先端部にはそれぞれ２個１ｊｌｌのローラー
４ａ、４ｂ、および４　ｃ、４　ｄが取りｆ寸けられ、
これらがコーナーの側面に当接して角形ガラス板がチャ
ックされるものである。このようなチャック機構におい
ては、角形ガラス板の位置決めはなされない、すなわち
第５図（ｂ）に示すように、ローラー４のコーナーに接
触する部分の断面はほぼ円弧であるので、接触位置はあ
る程度の変動があり、従って検査用光学装置５に対する
高さｈは必ずしも精度が良好ではない。このため、チャ
ックされた角形ガラス板を検査用光学装置に装着すると
き、高さのズレが大きくて受は渡しに不便があり、落下
方式の場合に衝撃などの不都合が生ずる。また図（ｃ）
に示すように、４個のローラー４により対向するコーナ
ーで押圧する方法では、角形ガラス板１が正しい実線の
位置より点線の位置に僅かではあるが回転する自由性が
ある。従って水平方向の位置決め精度もまた良好でなく
、光学装置に装着する際にやはり不便である。

以上に対して、もしチャックの段階で精度良く位置決め
してこの状態を保持（相対的に）して搬送し、容易に装
着できるか、あるいはチャックされたままで検査ができ
るならば、上記の不便不都合が回避されるとともに検査
装置の装着機構と取り扱いが簡易となり、検査時間の短
縮が期待できる。このような位置決め機能を有する角ガ
ラス板のチャック機構が望まれる次第である。

［発明の目的コこの発明は、上記したところに鑑みてなされたもので、
上下および水平方向の位置決め機能を有する角形ガラス
板のチャック機構を提供することを目的とするものであ
る。

Ｅｒ’ｊ１Ｍ点を解決するための手段］この発明はＩＣ
マスク用角形ガラス板のチャック機構であって、互いに
平行に置かれ、連係された移動機構により水平方向に互
いに等距離づつ接近できる２個のアームを具備し、該２
ｆｌｌのアームのそれぞれに、水平面に対して直角でか
つ互いに直角をなし、上記アームの接近により角形ガラ
ス板の対向する２つのコーナーの側面を押圧して、水平
方向（ＸおよびＹ軸方向、および回転方向）の位置決め
をなす適当な高さ寸法の押圧面と、該押圧面の下部の上
記側面が押圧されたコーナーが位置する場所に、山形の
断面を有し該山形の頂点（頂線）が上記のコーナーの底
面に接触して上記角形ガラス板の上下方向の位置決めを
なして支持する山形突起部と３有するチャック部を設け
たことを特徴とするものである。

［作用］この発明によるＩＣマスク用角形ガラス板のチャック機
構においては、角形ガラス板は別途適当な載置台に載置
されて、２個のアームの中間の位置に搬送されているも
のとする。ここで連係された移動機構により２個のアー
ムが互いに等距離づつ角形ガラス板に接近する。各チャ
ック部の押圧面は直角をなしているので、対向するコー
ナーの側面に正しく当接して、水平方向の位置決めを行
う、この場合、２個のチャック部は互いに等距離づつ移
動して接近するので、この方向に関してはチャックされ
た角形ガラス板の位置は常に一定であり、またこれと直
角方向も当然一定であり、すなわち水平方向の位置決め
がなされる４次に、押圧面の下部に設けられた山形突起
部の頂点（頂線）にコーナーの底面が接触して角形ガラ
ス板の上下方向の位置決めがなされる。ただし、上記に
おいてはまず押圧面の上方の位置で角形ガラス板と押圧
チャックする。ついで移動機構による押圧力を緩めると
、角形ガラス板は自重により落下して山形突起部に接触
し、その後再び押圧して安定に保持するものである。な
お、上記の自重落下の際にコーナ一部が衝撃を受けない
ように落下距離を必要最小限に定める。また上記のアー
ムの動作は移動機構の制御により行う。

［実施例］第１図（ａ）、（ｂ）、　（ｃ）はこの発明によるＩＣ
−’スフ用角形ガラス板のチャック機構のチャック部の
実施例における構造図で、図（１）において角形ガラス
板１の対向するコーナー１ａ、Ｉｂに対して矢印Ｃ（コ
ーナーの対角線）の方向に移動する２個のアーム３−１
　、３−２を設ける。各アームの先端部には図（ｂ）で
示すチャック部３ａを設け、チャック部には水平面に直
角で、互いに直角をなす適当な高さ寸法の押圧面６と、
その下部に山形突起部７とを設ける。コーナーの両側か
らチャック部が接近し押圧面がコーナーの側面に当接し
て押圧する。

ただしこの状態では、両アームの接近距離が相対的に任
意であるので、押圧支持された角形ガラス板の水平方向
の位置は不定であるが、この点については後述する′ア
ーム移動機構の作用により位置決めがなされる。

次に、チャック部の押圧力を緩めて角形ガラス板を落下
させ、山形突起部の頂点（頂線）にコーナーの底面を接
触させる。この頂点の高さ位置を所定とすることによっ
て上下方向の位置決めがなされる４次に、第１図（（）はチャック部の取り付は方向の１例
で、アーム３に対して角度（４５度）をなしてチャック
部３ａ−１，３ａ−２を取り付けたもので。

装置全体の構造、配置の都合によりこの形式を使用する
が、要するにチャ・ｌり部が対角線方向に移動すること
が必要である。

第２図は第１図に示したチャック部の動作の説明図であ
る０図（イ）において角形ガラス板１は載置台８により
搬送されて所定の位置に停止しており、″これに対して
互いに離間しているチャック部３（、ａ−１，３ａ−２
が、それぞれ対向したコーナーに向かって移動（矢印Ｃ
１）シて側面を押圧する。この場合、角形ガラス板は押
圧面の上部で押圧されている。ここで前記したようにチ
ャック部の押圧力を緩めると矢印Ｃ２の方向に微小距離
（図示δ）戻るので角形ガラス板は自重落下して図（旧
″に示すようにコーナーの底面が突起部の頂点に接触し
て支持される。ついで再び押圧力（矢印Ｃｓ）を加える
と角形ガラス板は図（八）のように押圧して保持される
。なお、図（イ）における載置台８は、チャックの後適
時に退避するものである。

第３図はアーム３の移動機構図で、２ｆｌのアーム３−
１．３−２にはラック９ａ、９ｂが固定され、両者を係
合するピニオン９Ｃがモータ９ｄの駆動により回転して
、アーム３はアーム台ｌＯに設けられたレール１０ａに
沿って移動する。ラック９ａと９ｂは連係しているので
、それぞれの移動量は等しく（反対方向）、予めアーム
３−１４−２を基準位置におくことにより、各種の大き
さの角形ガラス板に対してそれぞれに相当する一定位置
でチャーｖりすることができる。なお、第３図において
、アーム台！０は移動台１１の上にスライド棒１３によ
り支持されて、駆動機構１２により上下動するもので、
移動台１１の移動の際などに使用される。

第４図はこの発明によるＩＣマスク用角形ガラス板のチ
ャック機構を欠陥検査装置に適用した実施例の構造斜視
図を示す、ベースｇ１１２にＸ、Ｙ方向にレール１４と
１５を設け、それぞれに、載置台８に対する移動台１６
および前記アームに対する移動台ＩＩを乗せる。移動台
１６の移動により載置台８に載置された角形ガラス板１
は上記したアームのチャック位置に搬送される。チャッ
クされた角形ガラス板１は移動台Ｉｆにより検査用光学
装置５の所定位置に搬送されるものである。

［発明の効果］以上の説明により明らかなように、この発明によるＩＣ
マスク用角形ガラス板のチャック機構によれば、連係し
た移動機構により互いに等距離づつ接近する２個のアー
ムに設けられたチャック部により、角形ガラス板を接触
が許容されるコーナーの端部で支持し、上下方向および
水平方向（Ｘ。

Ｙおよび回転方向）に精度良く位置決めされるので、従
来の機構において検査用光学装置における角形ガラス板
の受は渡しの際に生じた不便または衝撃などの不都合は
除去される。また、光学装置における位置決めが簡易化
され、もしくは要求される精度によってはチャックされ
たままで所定の検査を行うことが可能となるものである
。なお、この発明はＩＣマスク用の角形ガラス板に限ら
ず、池の用途の角板のチャックにも適用でき、各種の検
査、製造装置に応用できる効果には大きいものがある。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）、（ｂ）および（ｃ）は、この発明による
ＩＣマスク用角形ガラス板のチャ・ツク機構のチャック
部の実施例における構造図、第２図は第１図のチャック
部の動作の説明図、第３図はこの発明によるＩＣマスク
用角形ガラス板におけるアームの移動機構図、第４図は
この発明によるＩＣマスク用角形ガラス板のチャック機
構を適用した検査装置における角形ガラス板の搬送機構
の斜視外観図、第５図（ａ）、（ｂ）および（ｃ）は、
従来の角形ガラス板のチャック機構におけるチャーＩり
部の構造と欠点の説明図である。１−・・角形ガラス板、　　２・・・アーム移動機構。３・・・アーム、　　　　　　３ａ・・・チャ・ツク部
、５・・・検査用光学装置、　６・・・押圧面。７・・・山形突起部、　　　８・・・ａ置台。９・・・アーム移動機構、　　９ａ、９ｂ・・・ラック
、９Ｃ・・・ピニオン、　　　　９ｄ・・・モータ、Ｉ
Ｏ・・・アーム台、１１．１６・・・移動台、１２・・
・ベース磐、　　　　　　１３・・・スライド欅。１１’＋ａ、Ｉ４，１５・・・レール。

Claims

【特許請求の範囲】

　互いに平行に置かれ、連係された移動機構により水平
方向に互いに等距離づつ接近できる２個のアームを具備
し、該２個のアームのそれぞれに、水平面に対して直角
で、かつ互いに直角をなし、上記アームの接近により角
形ガラス板の対向する２つのコーナーの側面を押圧して
、水平方向（ＸおよびＹ軸方向、または回転方向）の位
置決めをなす適当な高さ寸法の押圧面と、該押圧面の下
部で上記側面が押圧されたコーナーが位置する場所に、
山形の断面を有し該山形の頂点（頂線）が上記コーナー
の底面に接触して上記角形ガラス板の上下方向の位置決
めをなして支持する山形突起部とを有するチャック部を
設けたことを特徴とするＩＣマスク用角形ガラス板のチ
ャック機構。