JPS59103438U - マスクハンドリング用治具 - Google Patents

マスクハンドリング用治具

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Publication number
JPS59103438U
JPS59103438U JP1982199616U JP19961682U JPS59103438U JP S59103438 U JPS59103438 U JP S59103438U JP 1982199616 U JP1982199616 U JP 1982199616U JP 19961682 U JP19961682 U JP 19961682U JP S59103438 U JPS59103438 U JP S59103438U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
frame
mask handling
handling jig
jig
pawl
Prior art date
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Pending
Application number
JP1982199616U
Other languages
English (en)
Inventor
勝広 佐藤
彰 小林
Original Assignee
富士通株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 富士通株式会社 filed Critical 富士通株式会社
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Publication of JPS59103438U publication Critical patent/JPS59103438U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案にかかる治具の平面図、第２図は第１図
の■−■線に沿う断面図、第３１図は第１図の矢印■の
方向に見た側面図、第４図は第１図の治具の一部の拡大
断面図、第５図は第１図の治具のつめとワイヤの配置を
示す平面図、第６図は第１図の治具のつめの引っ込んだ
ときの状態を示す平面図である。 １・・・治具、２・・・枠、３・・・取手、４・・・つ
め、５・・・抑え板、６・・・マスク、７．１２・・・
はね、ａ、３ａ。 ３ｂ、　　８ｃ、　　８ｄ、　　３ｅ、　　３ｆ−ワイ
ヤ、９，１０゜１３・・・支点、１１・・・ボタン。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. Ｕ字型枠、枠に装着されたつめと抑え板、枠の１辺に固
    定された取手から成り、断面コの字型のつめは枠の各辺
    の直角方向に往復運動可能に配設され、回動可能な抑え
    板は枠の開放端部に枠の辺に直角な位置と同一方向の位
    置とをとり得る如くに配設し、つめは枠に固定した取手
    に装置したボタンの押しおよび戻しによりガラス基板開
    放位置と係合位置をとり、抑え板の回動によりガラス基
    板開放位置と係合位置とをとり得る構成としたことを特
    徴とするマスクハンドリング用治具。
JP1982199616U 1982-12-28 1982-12-28 マスクハンドリング用治具 Pending JPS59103438U (ja)

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JP1982199616U JPS59103438U (ja) 1982-12-28 1982-12-28 マスクハンドリング用治具

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JP1982199616U JPS59103438U (ja) 1982-12-28 1982-12-28 マスクハンドリング用治具

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS59103438U true JPS59103438U (ja) 1984-07-12

Family

ID=30425142

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1982199616U Pending JPS59103438U (ja) 1982-12-28 1982-12-28 マスクハンドリング用治具

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JP (1) JPS59103438U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007279766A (ja) * 1995-10-19 2007-10-25 Asml Us Inc レチクルボックスおよびコンテナ

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007279766A (ja) * 1995-10-19 2007-10-25 Asml Us Inc レチクルボックスおよびコンテナ

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