KR20210021269A - 연성 접촉부재를 갖는 밀봉식 레티클 저장장치 - Google Patents

연성 접촉부재를 갖는 밀봉식 레티클 저장장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 상부 리드, 하부 리드 및 연성 컨택트 부재를 포함하는 레티클 저장장치를 개시한다. 상부 리드에는 상단부와 상기 상단부를 둘러싸는 커버가 있다. 하부 리드는 캐리어 및 상기 캐리어를 둘러싸는 주변 구조를 갖는다. 연성 컨택트 부재는 상부 리드와 하부 리드가 서로 맞물릴 때 커버와 주변 구조 사이에서 측면으로 뻗어 있고, 두 리드 사이의 접촉을 완충시키기 위해 장치의 내부에서 외부로 뻗어 있도록 구성된다.

Description

연성 접촉부재를 갖는 밀봉식 레티클 저장장치{SEALED RETICLE STORAGE DEVICE WITH SOFT CONTACT}
본 발명은 레티클 저장장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 연성 접촉하는 밀봉식(즉, 밀폐) 레티클 포드에 관한 것이다.
공지의 레티클 포드는 일반적으로 외부 포드 및 내부 포드를 포함하고, 상기 외부 포드는 레티클 포드의 외층이고 내부 포드는 외부 포드에 수용된다. 외부 포드의 일부 유형은 상부 리드 및 하부 리드로 구성될 수 있다. 유사하게, 내부 포드는 내부에 레티클을 수용하면서 상부 리드 및 하부 리드로 구성될 수 있다.
극자외선(EUV) 레티클에 대한 오염 제어는 주로 미립자 및 먼지가 내부 포드로 유입되는 것을 방지하기 위해 내부 포드의 상부 및 하부 리드의 조합에 따른다. 상부 및 하부 리드를 갖는 내부 포드에 대한 종래의 설계는 밀봉 수단을 사용하여 포드의 내부 및 외부 간에 기류를 차단하기 위해 내부 포드 환경과 외부 환경 사이에 흐름 연통을 차단함으로써, 내부 포드내의 레티클이 오염되는 것을 방지한다. 그러나, 이러한 밀봉식 디자인에는 몇 가지 단점이 있을 수 있다. 예를 들어, 내부 포드의 상부 리드 및 하부 리드는 일반적으로 금속 구조이므로, 상부 리드와 하부 리드 사이의 단단한 충돌로 인해 입자를 생성하여 내부 포드에 수용된 웨이퍼가 오염될 수 있다. 더욱이, 내부 포드의 효과적인 밀봉은 상부 리드 및 하부 리드의 금속 접촉계면의 거칠기에 기초하여 결정될 수 있으며, 효과적인 밀봉을 달성하기 위해 상기 거칠기의 요건이 매우 높아야 한다. 비용이 상대적으로 증가한다.
따라서, 내부 포드에 저장된 레티클이 오염되지 않도록 하기 위해서 내부 포드의 종래의 밀봉식 디자인에 있는 상기 문제점을 극복할 필요가 여전히 있다.
본 발명의 목적은 하나의 상단부와 상기 상단부를 둘러싸는 하나의 커버를 포함하는 하나의 상부 리드; 하나의 캐리어와 상기 캐리어를 둘러싸는 하나의 주변 구조를 가지며, 상부 리드와 하부 리드가 서로 결합 시 상기 주변 구조가 상기 커버에 직면하는 하나의 하부 리드; 및 상기 상부 리드와 상기 하부 리드의 결합을 완충하기 위해 상기 상부 리드와 상기 하부 리드가 서로 결합되는 상기 커버와 상기 주변 구조 사이에 뻗어 있도록 구성된 하나의 연성 접촉부재를 포함하는 레티클 저장장치를 제공하는 것이다. 연성 접촉부재가 장치 내부에서 외부로 뻗어 있다.
바람직한 일 실시예에서, 상부 리드의 커버는 하향 결합면을 가지며, 연성 접촉부재는 하향 결합면을 따라 뻗어 있으며 감싼다.
바람직한 일 실시예에서, 연성 접촉부재는 하부 리드의 주변 구조의 상향 결합면과 접촉하도록 구성된 하향 씰링면을 갖는다.
바람직한 일 실시예에서, 연성 접촉부재는 하향 씰링면 및 상기 하향 씰링면으로부터 아래로 뻗어 있는 적어도 하나의 리브를 가지며, 상기 적어도 리브는 하부 리드의 주변 구조의 상향 결합면과 접촉하도록 구성된다.
바람직한 일 실시예에서, 상부 리드의 커버는 하향 결합면 및 상기 하향 결합면으로부터 아래로 뻗어 있는 복수의 필라를 가지며, 주변 구조는 복수의 필라에 대응하는 복수의 수용 공동을 갖고, 복수의 필라 각각은 상부 리드와 하부 리드의 접촉을 완충하도록 구성된 적어도 하나의 탄성 구조를 갖는다.
본 발명의 다른 목적은 상단부 및 상기 상단부를 둘러싸는 커버를 갖는 상부 리드; 캐리어 및 상기 캐리어를 둘러싸는 주변 구조를 가지며, 상기 상부 리드와 상기 하부 리드가 서로 맞물릴 때 상기 주변 구조가 상기 커버와 대면하는 하부 리드; 상기 상부 리드의 커버의 하향 결합면을 따라 측면으로 뻗어 있는 제 1 연성 접촉부재; 및 상기 하부 리드의 주변 구조의 상향 결합면을 따라 측면으로 뻗어 있는 제 2 연성 접촉부재를 포함하고, 상기 상부 리드와 상기 하부 리드 사이의 접촉을 완충시키기 위해 상부 리드가 하부 리드와 맞물릴 때 상기 제 1 연성 접촉부재와 상기 제 2 연성 접촉부재가 서로 접촉하는 레티클 저장장치를 제공하는 것이다.
바람직한 일 실시예에서, 제 1 연성 접촉부재의 내부가 제 2 연성 접촉부재의 외부와 접촉한다.
바람직한 일 실시예에서, 제 1 연성 접촉부재의 적어도 일부가 상부 리드의 커버를 감싼다.
바람직한 일 실시예에서, 제 1 연성 접촉부재의 경도가 제 2 연성 접촉부재의 경도보다 크다.
본 발명의 원리에 의해 예시된 하기의 명세서 및 도면을 통해 본 발명의 장점 및 특징을 상세하게 논의할 것이다.
본 발명의 내용에 포함됨.
본 개시의 상기 및 다른 특징 및 장점은 하기의 상세한 설명 및 도면을 참조하여 더 잘 이해될 수 있다.
도 1a 및 도 1b는 각각 레티클 저장장치의 평면도 및 측면도를 도시한 것이다.
도 2는 레티클 저장장치의 사시도를 도시한 것이다.
도 3은 AA 라인에 따른 본 발명의 레티클 저장장치의 횡단면도이다.
도 4a 및 도 4b는 본 발명에 따른 레티클 저장장치의 다른 실시예를 도시한다.
도 5는 도 4a에 따른 상부 리드의 저면도이다.
도 6a 및 6b는 본 발명의 레티클 저장장치의 또 다른 실시예를 도시한다.
도 7a 및 7b는 본 발명의 레티클 저장장치의 다른 실시예를 나타내는 분해도 및 횡단면도이다.
도 8은 본 발명의 레티클 저장장치의 또 다른 실시예를 나타내는 횡단면도이다.
도 9는 BB 라인에 따른 본 발명의 레티클 저장장치를 나타내는 횡단면도이다.
도 10은 BB 라인에 따른 본 발명의 레티클 저장장치의 다른 실시예의 횡단면도이다.
도 11은 BB 라인에 따른 본 발명의 레티클 저장장치의 또 다른 실시예의 횡단면도이다.
도 12은 도 10의 필라의 구체적 구조를 도시한다.
도 13은 도 8에 따른 다른 구성을 도시한다.
본 개시의 일부를 형성하는 첨부 도면을 참조로 다양한 예시적인 실시예들을 상세히 설명할 것이다. 또한, 이들 실시예는 상기 실시예를 달성하기 위해 수행될 수 있는 예들과 함께 설명되며, 당업자가 상기 실시예를 달성할 수 있도록 충분한 상세 내용이 제공된다. 상기 실시예들의 기술 사상 및 범위를 벗어나지 않으면서, 다른 실시예들이 사용될 수 있고 다른 변경들도 이루어질 수 있다는 것이 이해될 것이다. 또한, 상기에도 불구하고, "일 실시예에서"라는 어구의 출현은 반드시 동일하거나 하나의 단일 실시예를 가리키는 것은 아니다. 그러므로, 하기의 상세한 설명은 제한적인 의미로 해석되지 않아야 하며, 상기 실시예들의 범위는 첨부된 청구 범위에 의해서만 정의된다.
전체 명세서 및 첨부된 청구 범위에 달리 명시되지 않는 한, 각각의 하기 용어는 아래에 구체적으로 정의된 의미를 갖는다. 본 명세서에서 사용 된 바와 같이, 달리 명시되지 않는 한, 용어 "또는"은 포괄적인 의미로 해석되며 용어 "및/또는"과 동등하다. 본 명세서에서 달리 명시되지 않는 한, 용어 "~에 따른"은 배타적인 의미로 해석되어서는 안되며, 본 명세서에 기술되지 않은 많은 다른 요소를 언급 할 수 있다. 또한, 전체 명세서에서, 용어 "a", "an" 및 "the"는 또한 복수의 의미로 사용된다. 용어 "in"은 본원에서 "in" 및 "on" 둘 모두를 의미하는 것으로 사용된다.
본 발명은 밀봉식 레티클 저장장치를 제공하는 것을 목적으로 한다. 도 1a 및 도 1b는 레티클 저장장치의 평면도 및 측면도를 도시한 것이다. 레티클 저장장치는 상부 리드(101) 및 하부 리드(102)을 포함한다. 레티클(미도시)이 상부 리드(101)와 하부 리드(102) 사이에 수용될 수 있다. 상기 레티클 저장장치의 특별한 특징은 상부 리드(101)가 하부 리드(102)과 맞물릴 때 수용된 레티클이 하나 이상의 연성(탄성) 접촉부재에 의해 밀봉된다는 것이다. 도시되지는 않았지만, 상기 레티클 저장장치는 외부 포드에 추가로 수용될 수 있다. 본 발명에 따른 레티클 저장장치는 주로 내부 포드에 관한 것이다. 상부 리드(101) 및 하부 리드(102)에는 외부 포드와 연결하기 위해 외주면 상에 구조물 또는 접촉물이 제공될 수 있다.
도 1a는 본 발명에 따른 레티클 저장장치가 중심 영역 및 상기 중심 영역을 둘러싸는 4 개의 에지를 갖는 것을 도시한 평면도이다. 상기 레티클 수용공간은 일반적으로 중심 영역 아래에 있다. 레티클 저장장치에는 중심 영역과 에지 사이에 연성 접촉부재(미도시)구조가 제공되어, 상부 리드(101)가 하부 리드(102)와 맞물릴 때 밀봉식 수용 공간이 형성되어, 레티클 저장장치에 기밀 밀봉을 제공한다. 공기 흐름이 도 1b의 상부 리드(101)와 하부 리드(102) 간에 하나 이상의 연성 접촉부재(미도시)에 의해 중단될 수 있다. 도 1a 및 도 2에 도시된 바와 같이, 상부 리드(101)에는 상부에 에어 백필링(air backfilling)에 사용되는 복수의 유입 구멍(번호가 매겨져 있지 않음), 및 미립자를 거르기 위해 사용되는 필러(미도시)가 더 제공될 수 있다.
도 2는 AA 라인 및 BB 라인을 갖는 본 발명에 따른 레티클 저장장치의 사시도를 도시한 것이다. 도 3, 도 4a, 4b 및 도 6a, 6b는 AA 라인에 따른 횡단면도로서, 연성 접촉부재의 구체적인 실시예를 도시한 것이다. 또한, 도 8은 BB 라인의 횡단면도이다.
도 3a 내지 도 3c에 도시된 바와 같이, 상부 리드(101)는 상단부(201) 및 상기 상단부(201)으로부터 수평 및 하향으로 뻗어 있는 커버(202)를 갖는다. 상기 커버(202)는 비교적 큰 두께를 갖는다. 단지 일부만 도시되어 있지만, 커버(202)가 상단부(201)를 둘러싸고 상부 리드(101)의 4 개의 에지를 향해 뻗어 있는 것으로 예상된다. 하부 리드(102)는 캐리어(203) 및 주변 구조(204)를 갖는다. 상기 캐리어(203)는 레티클을 운반하기 위한 운반면을 제공한다. 캐리어(203)는 레티클 수용 영역을 정의하기 위해 복수의 지지 또는 제한 피스를 제공할 수 있다. 하부 리드(102)의 4 개 에지를 따라 뻗어 있는 주변 구조(204)가 캐리어(203)를 둘러싸며 상기 캐리어(203)의 운반면보다 약간 낮다. 일부 실시예에서, 주변 구조(204)는 캐리어(203)의 운반면보다 높을 수 있다.
상부 리드(101)와 하부 리드(102)가 서로 맞물릴 때, 캐리어(203)와 상단부(201) 및 커버(202)가 레티클 수용 공간을 정의한다. 상부 리드(101)의 커버(202)는 서로 완전히 접촉하지 않고도 하부 리드(102)의 주변 구조(204)와 대면한다. 대안으로, 커버(202)와 주변 구조(204)는 서로 부분적으로 접촉할 수 있다 상부 리드(101)의 커버(202)는 하향 결합면(205)을 갖는 반면, 하부 리드(102)의 주변 구조(204)는 상향 결합면(206)을 갖는다. 상부 리드(101)가 하부 리드(102)와 맞물리는 경우, 하향 결합면(205)은 상향 결합면(206)을 향하고 양쪽 면은 평행하다. 일 실시예에서, 하향 결합면(205)은 상향 결합면(206)보다 면적이 더 크다. 연성 접촉부재(207)는 상부 리드(101)가 하부 리드(102)와 맞물릴 때 커버(202)와 주변 구조(204) 사이에서 뻗어 있도록 구성된다. 또한, 연성 접촉부재(207)는 장치의 내부에서 외부로 뻗어 있다. 상기 내부는 레티클 수용 공간의 측면인 반면, 상기 외부는 상기 장치 외부의 측면이다. 하향 결합면(205)에 장착된 연성 접촉부재(207)의 다양한 실시예가 후술될 것이다. 그러나, 일부 다른 실시예에서, 연성 접촉부재(207)는 하부 리드(102)의 주변 구조(204) 상에 장착될 수 있다. 연성 접촉부재로, 상부 리드(101)와 하부 리드(102) 간에 충돌이 완화될 수 있다.
본 발명에 따른 상기 연성 접촉부재는 상부 리드 및/또는 하부 리드보다 경도가 낮은 부재를 나타낸다. 일반적으로, 상부 리드 및 하부 리드는 금속으로 만들어지고 연성 접촉부재는 플라스틱 또는 수지와 같은 금속보다 경도가 상대적으로 덜한 물질에서 선택된다.
도 4a는 상부 리드과 하부 리드가 완전히 맞물리지 않은 본 발명에 따른 연성 접촉부재의 일 실시예를 도시한다. 연성 접촉부재(400)는 장치의 상기 내부 및 외부 주위에 형성된 특정 폴딩 구조를 가지며, 이는 상기 하향 결합면(205)의 주변 및 코너가 완전히 감싸지도록 한다. 연성 접촉부재(400)는 주변 구조(204)의 상향 결합면(206)에 전체적으로 평행한 하향 씰링면(401)을 가져, 상기 연성 접촉부재(400)의 하향 씰링면(401)이 유효하게 상향 접촉면(206)과 접촉해 에어 갭을 방지할 수 있다. 상기 도면에 도시된 바와 같이, 연성 접촉부재(400)는 하향 씰링면(401)과 반대측에 형성된 결합 부재(402)를 갖고, 상기 결합 부재(402)는 커버(202)에 삽입되거나 끼워 넣을 수 있어 연성 접촉부재(400)가 하향 결합면(205)에 단단히 부착될 수 있다. 다른 실시예에서, 결합 부재(402)는 무시될 수 있고, 연성 접촉부재(400)가 하향 결합면(205)에 부착될 수 있다.
도 4b는 상부 리드와 하부 리드가 서로 완전히 맞물리지 않는 본 발명에 따른 연성 접촉부재의 다른 실시예를 도시한다. 상술한 실시예와는 달리, 연성 접촉부재(400')는 적어도 하나의 리브(403)가 형성되고 아래로 뻗어 있는 하향 씰링면(401)을 갖는다. 이 실시예는 상기 내부 및 외부 주위에 각각 형성된 2 개의 리브(403)를 갖는다. 다른 실시예에서, 연성 접촉부재는 더 적거나 더 많은 리브(403)를 포함할 수 있다. 도면에 도시되지는 않았지만, 리브(403)는 커버(202)를 따라 연장될 수 있는 것으로 예상될 수 있다. 상부 리드(101)와 하부 리드(102)가 서로 맞물리는 경우, 리브(403)는 주변 구조(204)의 상향 결합면(206)과 접촉하여 레티클 수용 공간이 기밀하게 밀봉되도록 한다.
도 5는 도 4a에 따른 상부 리드(101)의 저면도를 도시한 것으로, 상단부(201)가 커버(202)에 의해 둘러싸이고, 연성 접촉부재(400)가 커버(202)를 따라 뻗어 있으며 하향 결합면을 감싼다. 이 실시예에서, 연성 접촉부재(400)는 상부 리드의 커버(202)를 따라 균등하게 뻗어 있다. 다른 가능한 실시예에서, 연성 접촉부재(400)는 연장부를 가로질러 기복을 가질 수 있다.
도 6a는 상부 리드과 하부 리드가 결합된 본 발명의 추가 실시예를 도시한다. 제 1 연성 접촉부재(600)는 커버(202)의 하향 결합면(205)에 장착되고 상기 하향 결합면(205)으로부터 높이를 하향 연장한다. 제 2 연성 접촉부재(601)는 주변 구조(204)의 상향 결합면(206)에 장착되고 상기 상향 결합면(206)으로부터 높이를 상향 연장한다. 제 1 및 제 2 연성 접촉부재(600 및 601)의 높이는 동일하거나 상이할 수 있다. 바람직하게는, 제 1 및 제 2 연성 접촉부재(600 및 601)의 높이는 동일해 상기 제 1 및 제 2 연성 접촉부재(600 및 601)가 상향 및 하향 결합면(205 및 206)과 각각 접촉하여 보다 나은 기밀 밀봉을 형성할 수 있다. 바람직하게는, 상부 리드(101) 및 하부 리드(102)가 서로 결합되는 경우, 제 1 연성 접촉부재(600)의 내부는 에어 갭을 형성하지 않도록 제 2 연성 접촉부재(601)의 외부와 완전히 접촉할 수 있다. 제 1 및 제 2 연성 접촉부재(600 및 601)는 하향 및 상향 결합면(205 및 206)에 각각 부분적으로 삽입되거나 끼워 넣을 수 있어 이동을 방지한다.
도 6b는 상부 리드와 하부 리드가 서로 맞물리지 않는 본 발명의 하나 이상의 실시예를 도시하고 있다. 상기 실시예와는 달리, 제 1 연성 접촉부재(600')는 하향 결합면(205)을 감싸는 측면 연장부를 더 포함한다. 따라서, 상부 리드(101)와 하부 리드(102)가 서로 결합하는 경우, 제 2 연성 접촉부재(601)는 제 1 연성 접촉부재의 내부와 접촉할뿐만 아니라 기밀 밀봉을 증가시키기 위해 연성 접촉부재(600')의 하향씰링면과 접촉한다. 상부 리드 및 하부 리드에 연성 접촉부재가 제공되는 경우에, 이들의 접촉 하에 임의의 접촉 부재에서의 과도한 변형이 바람직하지 않는데, 이는 이들 사이의 에어 갭을 방지하기 위한 것이다.
도 7a는 다른 실시예의 분해도를 도시하고, 도 7b는 그 단면도이다. 제 1 연성 접촉부재(700)는 커버(202)의 하향 결합면(205)에 장착된다. 제 2 연성 접촉부재(701)는 끼워 넣기 또는 고정에 의해 제 1 연성 접촉부재(700)에 장착된다. 제 1 연성 접촉부재(700)는 가령 PEEK와 같은 플라스틱의 제 2 연성 접촉부재(701)보다 단단한 재료이다. 즉, 실시예에 따른 제 1 연성 접촉부재(700)는 프레임과 유사하다.
도 8은 추가의 일 실시예의 횡단면도이다. 연성 접촉부재(800)는 주변 구조(204)를 따라 뻗어 있는 트렌치에 부분적으로 매립되어, 따라서 연성 접촉부재(800)가 노출되고 주변 구조(204)의 상향 결합면(206)으로부터 부분적으로 돌출될 수 있다. 커버(202)는 연성 접촉부재(800) 및 하향 결합면(205)과 접촉하여 기밀 밀봉을 형성한다. 연성 접촉부재(800)의 횡단면 형상은 임의의 대체 형상일 수 있다.
또한, 도 3, 도 4a, 4b, 도 6a, 6b, 도 7b 및 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 주변 구조(204)와 상기 캐리어(203) 사이에 적어도 하나의 트렌치(214)가 형성될 수 있다. 상술한 실시예는 연성 접촉부재에 의해 형성된 기밀 밀봉을 가짐에도 불구하고, 상기 트렌치(214)는 입자 포획을 추가로 보조하여, 입자가 캐리어로 점프하기 어렵게 할 수 있다
도 9는 상부 리드(101) 및 하부 리드(102)를 완충하기 위한 수단을 포함하는 본 발명에 따른 레티클 저장장치의 코너 구조를 도시한 BB 라인의 횡단면도이다. 상부 리드(101)의 커버(202)는 다수의 필라(212)를 포함하고, 이들 필라(212)는 상부 리드(101)의 4 개의 코너에 제공될 수 있거나, 커버 상에 상대적으로 큰 면적을 갖는 다른 위치 및 커버(202)로부터 아래에 연장해 제공될 수 있다. 다수의 대응하는 수용 공동(213)이 하부 리드(102)의 주변 구조(204) 상에 형성되고 대응하는 필라(212)를 수용하도록 구성되어 상부 리드(101)의 커버(202)가 하부 리드(102)의 주변 구조(204) 위로 들어올려져 효과적인 완충을 달성할 수 있다. 일 실시예에서, 필라(212)의 노출된 부분의 높이는 도면에 명확히 도시되진 않았지만 상부 리드(101)가 하부 리드(102) 위로 약간 들어올려질 수 있도록 유효 수용 깊이보다 크다. 상술한 연성 접촉부재(400, 400' 및 600')는 이러한 필라(212) 주위로 이동할 수 있거나 이러한 필라(212)과 일체로 형성될 수 있다.
도 10은 다른 실시예의 BB 라인에 따른 횡단면도이다. 확실히, 필라(912)는 각각 장착 부재(9121)와 맞물리는 스프링(9122) 및 상기 스프링(9122)의 하단에 연결된 탄성 단자(9123)인 2개의 탄성 구조를 갖는다. 탄성 단자(9123)의 재료는 PEEK 또는 플루오르화 고무일 수 있으며, 이는 하부 리드와의 접촉을 완충시키기에 적합한 임의의 형상으로 형성될 수 있다. 도 11은 필라의 추가 실시예를 도시한다. 도 12와 함께 참조하면, 필라(1012)는 탄성 프레임(1100) 및 상기 탄성 프레임(1100)의 하단에 연결된 단자(1101)를 갖는다. 탄성 프레임(1100)은 수직 압축 가능한 복수의 연결된 프레임으로 구성되고 각 프레임은 2 차원으로 연장된다. 탄성 프레임(1100)은 수직 압축 동안 필라(1100)에 완충을 제공하는 복수의 중공을 갖는다. 단자(1101)는 경성 또는 연성 재료에서 선택될 수 있고 하부 리드와 결합하기에 적합한 임의의 형상으로 형성될 수 있다.
도 13은 도 8의 다른 구성으로, 적어도 하나의 고정핀(1300)이 상부 리드의 상단부(201)에 제공되고 아래로 뻗어 있다. 고정핀(1300)은 상부 리드에 대해 상대적으로 이동될 수 없는 부재이다. 횡단면도에 도시된 바와 같이, 고정핀(1300)은 일반적으로 T 자형으로 형성되고, 그 상단은 캡(1301)에 의해 고정된다. 상부 리드와 하부 리드가 서로 맞물리는 경우, 고정핀(1300)의 단자는 레티클(R)의 상면과 접촉하고, 이에 의해 고정핀(1300)은 높이를 가지며 상부 리드를 약간 들어 올릴 수 있지만, 고정핀(1300)의 높이는 커버(202)가 연성 접촉부재(800)로부터 분리되지 않도록 선택되므로, 따라서 레티클 수용 공간에 대한 기밀 밀봉이 유지될 수 있다.
무엇보다도, 본 발명에 따른 레티클 저장장치는 상부 리드와 하부 리드 사이에 연성 접촉부재를 제공하여 장치 또는 내부 포드에 기밀 밀봉을 제공하고, 장치에 입자 방지 효과를 향상시키는 설계를 제공한다.
상술한 세부 사항은 상기 실시예의 조합의 제조 및 사용에 관한 철저한 설명을 제공한다. 이러한 설명의 기술 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양한 실시예가 이루어질 수 있다. 따라서, 이들 실시예는 첨부된 청구범위에 포함될 것이다.
101: 상부 리드
102: 하부 리드
201: 상단부
202: 커버
203: 캐리어
204: 주변 구조
205: 하향 결합면
206: 상향 결합면
207: 접촉부재
212: 필라
213: 수용 공동
214: 트렌치
400、400: 연성 접촉부재
401: 하향 씰링면
402: 결합 부재
403: 리브
600、600: 제 1 연성 접촉부재
601: 제 2 연성 접촉부재
700: 제 1 연성 접촉부재
701: 제 2 연성 접촉부재
800: 연성 접촉부재
912: 필라
9121: 장착 부재
9122: 스프링
9123: 탄성 단자
1012: 필라
1100: 탄성 프레임
1101: 단자
1300: 고정핀
1301: 캡

Claims (20)

  1. 하나의 상단부와 상기 상단부를 둘러싸는 하나의 커버를 포함하는 하나의 상부 리드;
    하나의 캐리어와 상기 캐리어를 둘러싸는 하나의 주변 구조를 가지며, 상부 리드와 하부 리드가 서로 결합 시 상기 주변 구조가 상기 커버에 직면하는 하나의 하부 리드; 및
    상기 상부 리드와 상기 하부 리드의 결합을 완충하기 위해 상기 상부 리드와 상기 하부 리드가 서로 결합되는 상기 커버와 상기 주변 구조 사이에 뻗어 있도록 구성된 하나의 연성 접촉부재를 포함하는 레티클 저장장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    연성 접촉부재가 장치 내부에서 외부로 뻗어 있는 레티클 저장장치.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상부 리드의 커버는 하향 결합면을 가지며, 연성 접촉부재는 하향 결합면을 따라 뻗어 있으며 감싸는 레티클 저장장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    연성 접촉부재는 하부 리드의 주변 구조의 상향 결합면과 접촉하도록 구성된 하향 씰링면을 갖는 레티클 저장장치.
  5. 제 2 항에 있어서,
    연성 접촉부재는 하향 씰링면 및 상기 하향 씰링면으로부터 아래로 뻗어 있는 적어도 하나의 리브를 가지며, 상기 적어도 리브는 하부 리드의 주변 구조의 상향 결합면과 접촉하도록 구성되는 레티클 저장장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상부 리드의 커버는 하향 결합면 및 상기 하향 결합면으로부터 아래로 뻗어 있는 복수의 필라를 가지며, 주변 구조는 복수의 필라에 대응하는 복수의 수용 공동을 갖고, 복수의 필라 각각은 상부 리드와 하부 리드의 접촉을 완충하도록 구성된 적어도 하나의 탄성 구조를 갖는 레티클 저장장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    주변 구조 및 하부 리드의 캐리어는 그 사이에 적어도 하나의 트렌치를 정의하는 레티클 저장장치.
  8. 제 1 항에 있어서,
    상부 리드 및 하부 리드는 연성 접촉부재에 의해 밀봉된 레티클 수용 공간을 정의하는 레티클 저장장치.
  9. 제 8 항에 있어서,
    상부 리드는 레티클 수용 공간의 기밀 밀봉을 깨뜨리지 않고 상기 레티클 수용 공간 내에 수용된 레티클과 접촉하기 위해 그로부터 뻗어 있는 적어도 하나의 고정핀을 더 갖는 레티클 저장장치.
  10. 상단부 및 상기 상단부를 둘러싸는 커버를 갖는 상부 리드;
    캐리어 및 상기 캐리어를 둘러싸는 주변 구조를 가지며, 상기 상부 리드와 상기 하부 리드가 서로 맞물릴 때 상기 주변 구조가 상기 커버와 대면하는 하부 리드;
    상기 상부 리드의 커버의 하향 결합면을 따라 측면으로 뻗어 있는 제 1 연성 접촉부재; 및
    상기 하부 리드의 주변 구조의 상향 결합면을 따라 측면으로 뻗어 있는 제 2 연성 접촉부재를 포함하고,
    상기 상부 리드와 상기 하부 리드 사이의 접촉을 완충시키기 위해 상부 리드가 하부 리드와 맞물릴 때 상기 제 1 연성 접촉부재와 상기 제 2 연성 접촉부재가 서로 접촉하는 레티클 저장장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    제 1 연성 접촉부재의 내부가 제 2 연성 접촉부재의 외부와 접촉하는 레티클 저장장치.
  12. 제 10 항에 있어서,
    제 1 연성 접촉부재의 적어도 일부가 상부 리드의 커버를 감싸는 레티클 저장장치.
  13. 제 10 항에 있어서,
    제 1 연성 접촉부재의 경도가 제 2 연성 접촉부재의 경도보다 큰 레티클 저장장치.
  14. 제 10 항에 있어서,
    상부 리드의 커버는 하향 결합면 및 상기 하향 결합면으로부터 아래로 뻗어 있는 복수의 필라를 가지며, 주변 구조는 상기 복수의 필라에 상응하는 복수의 수용 공동을 가지며, 복수의 필라 각각은 상부 리드과 하부 리드의 접촉을 완충하도록 구성된 적어도 하나의 탄성 구조를 갖는 레티클 저장장치.
  15. 제 10 항에 있어서,
    주변 구조 및 하부 리드의 캐리어가 그 사이에 적어도 하나의 트렌치를 정의하는 레티클 저장장치.
  16. 제 10 항에 있어서,
    상부 리드 및 하부 리드는 제 1 및 제 2 연성 접촉부재에 의해 기밀하게 밀봉된 레티클 수용 공간을 정의하는 레티클 저장장치.
  17. 제 16 항에 있어서,
    상부 리드는 레티클 수용 공간의 기밀 밀봉을 깨뜨리지 않고 상기 레티클 수용 공간 내에 수용된 레티클과 접촉하기 위해 그로부터 뻗어 있는 적어도 하나의 고정핀을 더 포함하는 레티클 저장장치.
  18. 상단부 및 상기 상단부를 둘러싸는 커버를 갖는 상부 리드;
    캐리어 및 상기 캐리어를 둘러싸는 주변 구조를 갖는 하부 리드; 및
    상부 리드에서 아래로 뻗어 있고 캡으로 고정되는 하나 이상의 고정핀을 포함하고,
    상부 리드와 하부 리드가 서로 맞물릴 때 커버가 주변 구조를 대면하는 레티클 저장장치.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상부 리드의 커버는 하향 결합면 및 상기 하향 결합면으로부터 아래로 뻗어 있는 복수의 필라를 가지며, 주변 구조는 복수의 필라에 대응하는 복수의 수용 공동을 갖고, 복수의 필라 각각은 하나 이상의 탄성 구조를 갖는 레티클 저장장치.
  20. 제 18 항에 있어서,
    상부 리드와 하부 리드가 서로 맞물릴 때 커버와 주변 구조 사이에서 뻗어 있도록 구성된 적어도 하나의 연성 접촉부재를 더 포함하는 레티클 저장장치.
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