TWI627117B - Substrate storage container - Google Patents

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TWI627117B
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Chiaki Matsutori
Tsuyoshi Nagashima
Takaharu Oyama
Shuichi Inoue
Hiroyuki Shida
Hiroki Yamagishi
Kazumasa Ohnuki
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Miraial Co Ltd
Shin Etsu Polymer Co Ltd
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Abstract

本發明提供一種具有前部保持構件的基板收納容器，所述前部保持構件具彈性並能支承基板。基板收納容器具備蓋體側基板支承部，其配置在作為蓋體的一部分、且當由蓋體封閉容器主體開口部時與基板收納空間相對的部分上，當由蓋體封閉容器主體開口部時，能支承多枚基板的邊緣部，蓋體側基板支承部包括蓋體側基板承接部和一對蓋體側腳部，一對蓋體側腳部分別連接於蓋體側基板承接部的一端部和另一端部。一對蓋體側腳部中一方的蓋體側腳部固定在蓋體腳部固定用凹部的外部，一對蓋體側腳部中另一方的蓋體側腳部固定在蓋體腳部固定用凹部的內部。

Description

基板收納容器
本發明涉及基板收納容器，尤其涉及將多枚半導體晶片等基板以並列狀態收納的基板收納容器。
作為收納半導體晶片等基板的容器，以往習知的結構為具備容器主體、蓋體、密封構件、基板支承板狀部、前部保持構件和內側基板支承部。
容器主體具有筒狀的壁部，其一端部形成有容器主體開口部、另一端部被封閉。容器主體內形成有基板收納空間。基板收納空間被壁部包圍而成，能收納多枚基板。
蓋體具有密封構件安裝部。密封構件安裝部固定有密封構件。此外，在作為蓋體的內表面且封閉容器主體開口部的部分上，形成有蓋體腳部固定用凹部。蓋體能相對於容器主體開口部進行裝拆，並能封閉容器主體開口部。
基板支承板狀部在基板收納空間內成對地設置在壁部上。當容器主體開口部未被蓋體封閉時，基板支承板狀部能在使鄰接的基板彼此分開規定的間隔並列的狀態下，支承多枚基板的邊緣部。
前部保持構件設置在蓋體的蓋體腳部固定用凹部內。前部保持構件具有前部保持構件腳部和前部保持構件基板承接部。前部保持構件基板承接部支承於前部保持構件腳部。前部保持構件腳部固定在作為蓋體的一部分、且形成有蓋體腳部固定用凹部的部分上。當利用蓋體封閉容器主體開口部時，前部保持構件能支承多枚基板的邊緣部。
內側基板支承部以和前部保持構件成對的方式，與基板支承 板狀部一體成型。內側基板支承部能支承多枚基板的邊緣部。當利用蓋體封閉容器主體開口部時，內側基板支承部通過與前部保持構件協同動作來支承多枚基板，從而在使鄰接的基板彼此分開規定的間隔並列的狀態下，保持多枚基板(參照專利文獻1)。
另外，內側基板支承部可以和側方基板支承部一體形成，或者與側方基板支承部單獨構成。
專利文獻1：日本專利公開公報特開2000-159288號
在前述的基板收納容器中，前部保持構件通過與內側基板支承部協同動作來支承基板。在該狀態下輸送基板收納容器。因此，要求前部保持構件具有所需的彈性，以極力抑制從基板收納容器的外部施加的衝擊借助前部保持構件和內側基板支承部傳遞到基板上。
本發明的目的是提供一種具有前部保持構件的基板收納容器，所述前部保持構件具有所需的彈性並能支承基板。
本發明的基板收納容器包括：容器主體，內部形成有能收納多枚基板的基板收納空間，且一端部具有開口周緣部，所述開口周緣部形成有連通於所述基板收納空間的容器主體開口部；蓋體，能相對於所述開口周緣部進行裝拆，且能封閉所述容器主體開口部；蓋體側基板支承部，配置在作為所述蓋體的一部分、且當利用所述蓋體封閉所述容器主體開口部時與所述基板收納空間相對的部分上，當利用所述蓋體封閉所述容器主體開口部時，所述蓋體側基板支承部能支承所述多枚基板的邊緣部；以及內側基板支承部，在所述基板收納空間的內部與所述蓋體側基板支承部成對配置，能支承所述多枚基板的邊緣部，當利用所述蓋體封閉所述容器主體開口部時，通過與所述蓋體側基板支承部協同動作來支承所述多枚基板，所述蓋體側基板支承部包括：蓋體側基板承接部；以及分別與所述蓋體側基板承接部的一端部和另一端部 連接的一對蓋體側腳部，在作為所述蓋體內表面的一部分、且封閉所述容器主體開口部的部分上，形成有在與縱深方向相反的方向上凹入的蓋體腳部固定用凹部，所述一對蓋體側腳部中的一方的蓋體側腳部固定在所述蓋體腳部固定用凹部的外部，所述一對蓋體側腳部中的另一方的蓋體側腳部固定在所述蓋體腳部固定用凹部的內部。
此外優選的是，所述蓋體側基板承接部能以作為所述一方的蓋體側腳部的一部分、且固定在所述蓋體上的部分為擺動軸心進行擺動。
此外優選的是，所述蓋體側基板承接部不是配置在所述蓋體腳部固定用凹部的內部，而是在所述縱深方向上配置在比所述蓋體腳部固定用凹部靠向內側。
此外優選的是，所述蓋體具有密封構件安裝部，所述基板收納容器還包括密封構件，所述密封構件安裝於所述密封構件安裝部，且能抵接於所述開口周緣部，並通過介於所述開口周緣部與所述蓋體之間而緊密抵接於所述開口周緣部，從而利用所述蓋體以氣密狀態封閉所述容器主體開口部，所述一方的蓋體側腳部被固定在作為所述蓋體的一部分、且在縱深方向上比所述密封構件安裝部靠向內側的部分上，所述縱深方向是從所述容器主體的一端部朝向相對於所述一端部的另一端部的方向，所述另一方的蓋體側腳部被固定在作為所述蓋體的一部分、且在所述縱深方向上比所述密封構件安裝部靠向外側的部分上。
此外優選的是，所述蓋體側基板承接部在與所述容器主體的一端部和另一端部的連線方向垂直的方向上成對配置，成對的所述蓋體側基板承接部中的一方的所述蓋體側基板承接部上連接的蓋體側腳部，與成對的所述蓋體側基板承接部中的另一方的所述蓋體側基板承接部上連接的蓋體側腳部單獨構成。
根據本發明，可以提供一種具有前部保持構件的基板收納容 器，所述前部保持構件具有所需的彈性並能支承基板。
1‧‧‧基板收納容器
2‧‧‧容器主體
3‧‧‧蓋體
4‧‧‧密封構件
5‧‧‧基板支承板狀部
6‧‧‧內側基板支承部
7‧‧‧前部保持構件
20‧‧‧壁部
21‧‧‧容器主體開口部
22‧‧‧內側壁
23‧‧‧上壁
24‧‧‧下壁
25‧‧‧第一側壁
26‧‧‧第二側壁
27‧‧‧基板收納空間
28‧‧‧開口周緣部
31‧‧‧密封構件嵌合槽
33‧‧‧操作部
51‧‧‧板部
52‧‧‧板部支承部
60‧‧‧壁部基板支承部
62‧‧‧支承部上部
63‧‧‧支承部上部
67‧‧‧支承部固定構件
71‧‧‧縱框體
72‧‧‧前部保持構件腳部
73‧‧‧前部保持構件基板承接部
233‧‧‧肋
234‧‧‧凸緣固定部
235‧‧‧上部凸緣
243‧‧‧容器主體腳部
311‧‧‧密封構件安裝部
341‧‧‧蓋體腳部固定用凹部
342‧‧‧內表面左右端部平坦面
343‧‧‧前部保持構件卡止板部
344‧‧‧前部保持構件卡止部
511‧‧‧凸部
621‧‧‧第一抵接面
631‧‧‧第二抵接面
711‧‧‧縱框體
712‧‧‧縱框體
713‧‧‧第一蓋體卡止部
714‧‧‧第二蓋體卡止部
715‧‧‧捏手部
721‧‧‧前部保持構件腳部
722‧‧‧前部保持構件腳部
731‧‧‧承接部上部
732‧‧‧承接部下部
733‧‧‧前部保持構件第一抵接面
734‧‧‧前部保持構件第二抵接面
231A‧‧‧插銷卡合凹部
231B‧‧‧插銷卡合凹部
241A‧‧‧插銷卡合凹部
241B‧‧‧插銷卡合凹部
32A‧‧‧上側插銷部
341A‧‧‧底部平坦面
341B‧‧‧臺階狀面
341C‧‧‧中段平坦面
341D‧‧‧第一階狀面
341E‧‧‧第二階狀面
343A‧‧‧通孔
344A‧‧‧板狀卡止部
344B‧‧‧基部側支承部
344C‧‧‧連續基部
344D‧‧‧斷續基部
344E‧‧‧連接基部
圖1是表示本實施方式的基板收納容器的立體圖。
圖2A是表示本實施方式的基板收納容器的斷面圖。
圖2B是表示本實施方式的基板收納容器的內側基板支承部的側視放大斷面圖。
圖3A是表示本實施方式的基板收納容器的蓋體打開狀態的分解立體圖。
圖3B是表示在本實施方式的基板收納容器的容器主體的基板收納空間收納基板的狀態的分解立體圖。
圖4是表示本實施方式的基板收納容器的蓋體的後視立體圖。
圖5是表示本實施方式的基板收納容器的蓋體的後視圖。
圖6是沿圖5的A-A線的斷面圖。
圖7是表示本實施方式的基板收納容器的蓋體的後視圖，並且是表示取下前部保持構件的狀態的後視圖。
圖8A是表示本實施方式的基板收納容器的前部保持構件的後視圖。
圖8B是表示本實施方式的基板收納容器的前部保持構件的俯視圖。
以下，參照附圖說明本發明實施方式的基板收納容器。圖1是表示本實施方式的基板收納容器的立體圖。圖2A是表示本實施方式的基板收納容器的斷面圖。圖2B是表示本實施方式的基板收納容器的內側基板支承部的側視放大斷面圖。圖3A是表示本實施方式的基板收納容器的蓋體打開狀態的分解立體圖。圖3B是表示在本實施方式的基板收納容器的容器主體的基板收納空間收納基板的狀態的分解立體圖。圖4是表示本實施方式的基板收納容器的蓋體的後視立體圖。圖5是表示本實施方式的基板收納容器的 蓋體的後視圖。圖6是沿圖5的A-A線的斷面圖。圖7是表示本實施方式的基板收納容器的蓋體的後視圖，並且是表示取下前部保持構件的狀態的後視圖。圖8A是表示本實施方式的基板收納容器的前部保持構件的後視圖。圖8B是表示本實施方式的基板收納容器的前部保持構件的俯視圖。
在此，為了便於說明，把從後述的容器主體2朝向蓋體3的方向(從圖1中的右上方朝向左下方的方向)定義為前方向D11，其相反的方向定義為後方向D12，並把以上兩者定義為前後方向D1。此外，把從後述的下壁24朝向上壁23的方向(圖1中的上方向)定義為上方向D21，其相反的方向定義為下方向D22，並把以上兩者定義為上下方向D2。此外，把從後述的第二側壁26朝向第一側壁25的方向(從圖1中的右下方朝向左上方的方向)定義為左方向D31，其相反的方向定義為右方向D32，把以上兩者定義為左右方向D3。
此外，基板收納容器1中收納的基板W(參照圖3B等)為圓盤狀的矽晶片、玻璃晶片、藍寶石晶片等，是工業上使用的薄晶片。本實施方式中的基板W為直徑450mm的矽晶片。
如圖1~圖3B所示，基板收納容器1具有容器主體2、蓋體3、密封構件4、基板支承板狀部5和前部保持構件7。
如圖3A所示，容器主體2具有筒狀的壁部20，所述壁部20的一端部形成有容器主體開口部21，另一端部封閉。容器主體2內形成有基板收納空間27。基板收納空間27由壁部20包圍而成。在作為壁部20的一部分、且形成基板收納空間27的部分上，配置有基板支承板狀部5。如圖3B所示，基板收納空間27能收納多枚基板W。
基板支承板狀部5在基板收納空間27內成對設置在壁部20上。當沒有利用蓋體3封閉容器主體開口部21時，基板支承板狀部5能在鄰接的基板W彼此以規定的間隔分開並列的狀態下，支 承多枚基板W的邊緣部。基板支承板狀部5的內側設有內側基板支承部6。當利用蓋體3封閉容器主體開口部21時，內側基板支承部6能支承多枚基板W的邊緣部的後部。
蓋體3能相對於容器主體開口部21進行裝拆，並能封閉容器主體開口部21。前部保持構件7設置於作為蓋體3的一部分、且在利用蓋體3封閉容器主體開口部21時與基板收納空間27相對的部分上。前部保持構件7與內側基板支承部6成對配置。
當利用蓋體3封閉容器主體開口部21時，前部保持構件7能支承多枚基板W的邊緣部的前部。當利用蓋體3封閉容器主體開口部21時，前部保持構件7通過與內側基板支承部6協同動作來支承多枚基板W，從而在鄰接的基板W彼此以規定的間隔分開並列的狀態下，保持多枚基板W。以下具體說明各部分。
如圖3A等所示，容器主體2的壁部20具有內側壁22、上壁23、下壁24、第一側壁25和第二側壁26。內側壁22、上壁23、下壁24、第一側壁25和第二側壁26由塑料材料等構成，在第一實施方式中由聚碳酸酯一體成型。
第一側壁25與第二側壁26對置，上壁23與下壁24對置。上壁23的後端、下壁24的後端、第一側壁25的後端以及第二側壁26的後端，全部與內側壁22連接。上壁23的前端、下壁24的前端、第一側壁25的前端以及第二側壁26的前端，具有與內側壁22相對的位置關係，並構成開口周緣部28，且所述開口周緣部28形成大致長方形的容器主體開口部21。
開口周緣部28設置在容器主體2的一端部，內側壁22位於容器主體2的另一端部。由壁部20的外表面形成的容器主體2的外形為箱狀。壁部20的內表面，即內側壁22的內表面、上壁23的內表面、下壁24的內表面、第一側壁25的內表面以及第二側壁26的內表面包圍形成基板收納空間27。形成在開口周緣部28的容器主體開口部21，與由壁部20包圍形成在容器主體2內部的 基板收納空間27連通。基板收納空間27如後所述，最多能收納25枚基板W。
如圖3A所示，在作為上壁23和下壁24的一部分、且位於開口周緣部28附近的部分上，形成有向基板收納空間27的外側方向凹入的插銷卡合凹部231A、231B、241A、241B。插銷卡合凹部231A、231B、241A、241B在上壁23和下壁24的左右兩端部附近分別形成有一個，共形成有四個。
如圖1、圖2A、圖3A所示，在上壁23的外表面上，設有與上壁23一體成型的肋233和凸緣固定部234。多個肋233從上壁23的外表面向上方向D21突出設置。肋233包括大致沿前後方向D1延伸的肋233以及大致沿左右方向D3延伸的肋233。上部凸緣235固定於凸緣固定部234。上部凸緣235是如下構件：固定於上壁23，且在AMHS(自動晶片輸送系統)、PGV(晶片基板輸送台車)等中懸吊基板收納容器1時，成為用於懸挂而吊起基板收納容器1的部分。
如圖3A、圖3B所示，在下壁24的外表面上設有容器主體腳部243。容器主體腳部243安裝在下壁24的左右兩端部邊緣，並沿下壁24的左右兩端部邊緣在前後方向D1上延伸。當以下壁24為下側(下方向D22側)把容器主體2承載在水平的平坦面上時，容器主體腳部243抵接於所述平坦面，從而穩定支承容器主體2。
如圖2A、圖3A所示，基板支承板狀部5分別設置於第一側壁25和第二側壁26，在左右方向D3上成對配置在基板收納空間27內。具體如圖2A所示，基板支承板狀部5具備板部51和板部支承部52。板部51與板部支承部52由樹脂一體成型。板部51具有板狀的弧形。在第一側壁25、第二側壁26上分別設有25枚板部51，共設有50枚板部51。鄰接的板部51在上下方向D2上以10mm~12mm的間隔彼此分開並以平行的位置關係配置。另外，位於最上方的板部51的上方也設有與板部51同一形狀的構 件，該構件用於針對插入基板收納空間27內的位於最上方的基板W，在其插入時發揮導向作用。
此外，設置於第一側壁25的25枚板部51和設置於第二側壁26的25枚板部51，具有在左右方向D3上彼此對置的位置關係。此外，50枚板部51以及與板部51大致同形狀的發揮導向作用的兩枚構件，具有與下壁24的內表面平行的位置關係。如圖2A所示，在板部51的上表面設有凸部511。被板部51支承的基板W僅接觸凸部511的突出端，而不是與板部51面接觸。
如圖2A所示，板部支承部52由沿上下方向D2延伸的構件構成。第一側壁25上設置的25枚板部51與第一側壁25側設置的板部支承部52連接。同樣，第二側壁26上設置的25枚板部51與第二側壁26側設置的板部支承部52連接。
板部支承部52具有第一側壁卡止部(未圖示)。第一側壁卡止部能卡止於分別設置在第一側壁25、第二側壁26上的側方板卡止部(未圖示)。通過使第一側壁卡止部卡止於側方板卡止部，基板支承板狀部5分別被固定於第一側壁25、第二側壁26。
利用這種結構的基板支承板狀部5，能在多枚基板W中的鄰接的基板W彼此以規定的間隔分開的狀態且具有彼此平行的位置關係的狀態下，支承多枚基板W的邊緣部。
如圖2A所示，內側基板支承部6具有壁部基板支承部60和支承部固定構件67。壁部基板支承部60在基板支承板狀部5的板部51的後端部與板部51一體成型。
另外，內側基板支承部6與基板支承板狀部5也可以單獨形成，即壁部基板支承部60可以與基板支承板狀部5的板部51單獨構成。
在支承部固定構件67中，分別對應於基板收納空間27中能收納的基板W的個數而設置壁部基板支承部60，具體而言，設有25個壁部基板支承部60。第一側壁25和第二側壁26上設置的壁 部基板支承部60在前後方向D1上具有與後述的前部保持構件7成對的位置關係。支承部固定構件67具有側壁後部卡止部(未圖示)。側壁後部卡止部能卡止於第一側壁25、第二側壁26上分別設置的內側基板支承部卡止部(未圖示)。通過使前述的第一側壁卡止部(未圖示)卡止於側方板卡止部(未圖示)，並且使側壁後部卡止部(未圖示)卡止於內側基板支承部卡止部(未圖示)，基板支承板狀部5被分別固定在第一側壁25、第二側壁26上。
如圖2B所示，壁部基板支承部60包括：具有第一抵接面621的支承部上部62；以及具有第二抵接面631的支承部上部63。
通過如後所述在基板收納空間27內收納基板W並關閉蓋體3，從而由內側基板支承部6和前部保持構件7支承基板W時，基板W的上表面的邊緣部的端部邊緣能抵接於第一抵接面621。通過在基板收納空間27內收納基板W並關閉蓋體3，從而由內側基板支承部6和前部保持構件7支承基板W時，基板W的下表面的邊緣部的端部邊緣能抵接於第二抵接面631。
如圖3A所示，蓋體3具有與容器主體2的開口周緣部28的形狀大致一致的大致長方形。蓋體3能相對於容器主體2的開口周緣部28進行裝拆，通過在開口周緣部28上安裝蓋體3，蓋體3能封閉容器主體開口部21。如圖6所示，在蓋體3的外周邊緣部上，沿蓋體3的外周邊緣部形成有密封構件嵌合槽31。蓋體3的形成有密封構件嵌合槽31的部分，構成密封構件安裝部311。
在密封構件安裝部311的密封構件嵌合槽31中，嵌入有環狀的密封構件4，所述密封構件4以能彈性變形的POE(聚氧化乙烯)製品、PEE製品為代表，可以採用聚酯類、聚烯烴類等各種熱塑性彈性體、氟橡膠製品、矽橡膠製品等。密封構件4環繞蓋體3的外周邊緣部配置。
密封構件4能與開口周緣部28抵接，所述開口周緣部28形成容器主體開口部21並作為容器主體2的一部分。通過使密封構 件4介於開口周緣部28和蓋體3之間並緊密抵接於開口周緣部28，從而能利用蓋體3以氣密狀態封閉容器主體開口部21。
更具體而言，在將蓋體3安裝在開口周緣部28上時，構成蓋體3的外周邊緣部的密封構件安裝部311借助密封構件4抵接於容器主體2的開口周緣部28的內周邊緣部。由此，密封構件4被蓋體3的外周邊緣部和開口周緣部28的內周邊緣部夾持而彈性變形，蓋體3將容器主體開口部21以密閉的狀態封閉。通過從開口周緣部28取下蓋體3，能使基板W進出容器主體2內的基板收納空間27。
在蓋體3上設有插銷機構。如圖2A、圖3B所示，插銷機構設置在蓋體3的左右兩端部附近，具備能從蓋體3的上邊向上方向D21突出的兩個上側插銷部32A，以及能從蓋體3的下邊向下方向D22突出的兩個下側插銷部(未圖示)。兩個上側插銷部32A配置在蓋體3的上邊的左右兩端附近，兩個下側插銷部配置在蓋體3的下邊的左右兩端附近。
如圖3A所示，在蓋體3的外表面上設有操作部33。通過從蓋體3的前側對操作部33進行操作，可以使上側插銷部32A、下側插銷部從蓋體3的上邊、下邊突出，或者成為不從上邊、下邊突出的狀態。通過使上側插銷部32A從蓋體3的上邊朝上方向D21突出並卡合於容器主體2的插銷卡合凹部231A、231B，且使下側插銷部從蓋體3的下邊朝下方向D22突出並卡合於容器主體2的插銷卡合凹部241A、241B，蓋體3被固定在容器主體2的開口周緣部28上。
如圖4~圖7所示，在作為蓋體3內表面的一部分、且封閉容器主體開口部21的部分上，形成有蓋體腳部固定用凹部341，該蓋體腳部固定用凹部341朝向與容器主體2的縱深方向相反的方向即前方凹入。在蓋體3的左右方向D3的中央位置上，蓋體腳部固定用凹部341的寬度為蓋體3的左右方向D3上的寬度的三分之 一左右，並且在上下方向D2上，蓋體腳部固定用凹部341從蓋體3的上端部附近形成到下端部附近。蓋體腳部固定用凹部341的上端和下端由蓋體3的邊緣部形成。作為蓋體3內表面的一部分、且左右方向D3上的蓋體腳部固定用凹部341兩側的部分，由內表面左右端部平坦面342構成。
蓋體3具有以虛擬線B為中心對稱的結構，該虛擬線B在左右方向D3上的蓋體3的中央沿上下延伸。因此，以下主要說明右側(圖5所示的左側)部分的結構，並省略左側(圖5所示的右側)部分的詳細說明。
這樣，由於蓋體3具有對稱的結構，所以固定在蓋體3上的前部保持構件7也以虛擬線B為中心對稱設置兩個。即，作為後述另一方的蓋體側基板承接部的前部保持構件基板承接部73，在與容器主體2的一端部和另一端部的連線方向垂直的方向即左右方向D3上成對配置。成對的前部保持構件基板承接部73中的一方的前部保持構件基板承接部73上連接的前部保持構件腳部72，與成對的前部保持構件基板承接部73中的另一方的前部保持構件基板承接部73上連接的前部保持構件腳部72單獨構成。
如圖6所示，作為蓋體3內表面的一部分、且形成有蓋體腳部固定用凹部341的部分，具有底部平坦面341A和臺階狀面341B。底部平坦面341A位於比內表面左右端部平坦面342靠向前側(前方向D11側)。臺階狀面341B配置在左右方向D3上的底部平坦面341A的兩端。臺階狀面341B包括：比底部平坦面341A高一階的中段平坦面341C；向中段平坦面341C爬升的第一階狀面341D；以及從中段平坦面341C進一步向更高一階的內表面左右端部平坦面342爬升的第二階狀面341E。
如圖7所示，在左右方向D3上的底部平坦面341A的兩端部附近的部分，分別設有一個與蓋體3一體成型的前部保持構件卡止板部343。所述底部平坦面341A的兩端部附近在作為縱深方向 的後方向D12上，位於比密封構件安裝部311更靠外側(前方向D11側)的部分上。
一對前部保持構件卡止板部343在上下方向D2上延伸，並配置為一方的前部保持構件卡止板部343的表面和背面，與另一方的前部保持構件卡止板部343的表面和背面具有平行的位置關係。如圖4所示，在前部保持構件卡止板部343上，形成有在左右方向D3上貫穿前部保持構件卡止板部343的通孔343A。通孔343A以和底部平坦面341A鄰接的位置關係形成。
此外，在左右方向D3上的各內表面左右端部平坦面342的中央部分，分別設有一個前部保持構件卡止部344。所述內表面左右端部平坦面342的中央部分，在從容器主體2的一端部朝向相對於所述一端部的另一端部的方向、即作為縱深方向的後方向D12上，位於比密封構件安裝部311靠向內側(後方向D12側)。
如圖7所示，前部保持構件卡止部344包括板狀卡止部344A和基部側支承部344B。板狀卡止部344A的表面和背面配置為，以平行於內表面左右端部平坦面342的位置關係與內表面左右端部平坦面342分開，且在長邊方向上具有與上下方向D2平行的位置關係。
配置在左側(左方向D31側)的板狀卡止部344A的左端部邊緣，連接並固定在基部側支承部344B上，且基部側支承部344B配置並固定在左側的內表面左右端部平坦面342上。配置在左側的基部側支承部344B具有連續基1部344C、斷續基部344D和連接基部344E。連續基部344C在上下方向D2上，從蓋體3的上側(上方向D21側)的邊緣部附近延伸至下側(下方向D22側)的邊緣部附近。斷續基部344D設有多個，且比連續基部344C短。斷續基部344D包括長邊方向的長度短的斷續基部344D和長邊方向的長度長的斷續基部344D。斷續基部344D與連續基部344C平行延伸，在上下方向D2上以規定的間隔配置。
連接基部344E設有多個，並以和左右方向D3平行的位置關係延伸。多個連接基部344E包括成對配置的連接基部344E以及單獨配置的連接基部344E。成對配置的連接基部344E的右端與長度長的斷續基部344D的上端附近、下端附近分別連接。成對配置的連接基部344E的左端與連續基部344C連接。單獨配置的連接基部344E的右端與長度短的斷續基部344D連接，單獨配置的連接基部344E的左端與連續基部344C連接。
如圖4~圖6所示，在與蓋體3的內表面相對的位置、即從左側(左方向D31側)的前部保持構件卡止板部343至左側的前部保持構件卡止部344的位置上，設有前部保持構件7。如圖8A所示，前部保持構件7具有沿上下方向D2平行延伸的一對縱框體71、一對前部保持構件腳部72和前部保持構件基板承接部73。一對縱框體71、前部保持構件腳部72和前部保持構件基板承接部73由樹脂一體成型，並彼此連接。
如圖6所示，前部保持構件基板承接部73與作為蓋體3的一部分、且從中段平坦面341C的左端部(左方向D31的端部)至左右方向D3上的左側的前部保持構件卡止部344和左側的前部保持構件卡止板部343的中央部為止的部分相對配置。作為蓋體側基板承接部的前部保持構件基板承接部73不是配置在蓋體腳部固定用凹部341內，而是在縱深方向(後方向D12)上配置在比蓋體腳部固定用凹部341靠向內側(後方向D12側)。
如圖8A所示，前部保持構件基板承接部73包括：具有前部保持構件第一抵接面733的承接部上部731；以及具有前部保持構件第二抵接面734的承接部下部732。
通過在基板收納空間27內收納基板W並關閉蓋體3，從而由內側基板支承部6和前部保持構件7支承基板W時，基板W上表面的邊緣部的端部邊緣的前部抵接於前部保持構件第一抵接面733。通過在基板收納空間27內收納基板W並關閉蓋體3，從而 由內側基板支承部6和前部保持構件7支承基板W時，基板W下表面的邊緣部的端部邊緣的前部抵接於前部保持構件第二抵接面734。由此，前部保持構件基板承接部73可以支承多枚基板W的邊緣部。
作為前部保持構件基板承接部73的一端部的左端部(左方向D31的端部)，與一對前部保持構件腳部72中的一方的前部保持構件腳部721的右端部(右方向D32的端部)連接。作為前部保持構件基板承接部73的另一端部的右端部，與一對前部保持構件腳部72中的另一方的前部保持構件腳部722的左端部連接。
如圖6所示，一方的前部保持構件腳部721從前部保持構件基板承接部73的左端部以接近內表面左右端部平坦面342的方式延伸，並在內表面左右端部平坦面342的跟前彎折為直角後，以平行於內表面左右端部平坦面342並接近前部保持構件卡止部344的方式加長延伸。所述加長延伸的部分占據一方的前部保持構件腳部721的三分之二以上。而後，以離開內表面左右端部平坦面342的方式彎折成直角後略微延伸，並再次彎折成直角以接近前部保持構件卡止部344的方式略微延伸，而後再次彎折成直角並以接近內表面左右端部平坦面342的方式延伸，從而一方的前部保持構件腳部721的左端部與一方的縱框體711連接。
如圖6所示，另一方的前部保持構件腳部722以接近中段平坦面341C的方式延伸，並在中段平坦面341C的跟前彎折為鈍角，直至前部保持構件卡止板部343的附近直線狀延伸。而後，彎折為鈍角，以接近底部平坦面341A的方式略微延伸後，與另一方的縱框體712連接。這種前部保持構件基板承接部73和成對的前部保持構件腳部72在上下方向D2上以25個並列的狀態設置。
如圖8A所示，一方的縱框體711具有第一蓋體卡止部713。第一蓋體卡止部713由作為一方的縱框體71寬度方向上的縱框體71邊緣部分的、板狀的端部構成。如圖6所示，通過使第一蓋體 卡止部713進入前部保持構件卡止部344的板狀卡止部344A和內表面左右端部平坦面342之間，一方的縱框體71被卡止於前部保持構件卡止部344。
此外，如圖8A所示，第一蓋體卡止部713設有在從另一方的縱框體712朝向一方的縱框體711的方向突出的捏手部715。通過將捏手部715朝向接近蓋體3的方向按壓，並插入斷續基部344D彼此之間的間隙(參照圖7)，可以使第一蓋體卡止部713容易地進入前部保持構件卡止部344的板狀卡止部344A與內表面左右端部平坦面342之間。
此外，如圖8A所示，另一方的縱框體712具有第二蓋體卡止部714。第二蓋體卡止部714由作為另一方的縱框體71寬度方向上的縱框體71邊緣部分的、形成波浪狀的板狀端部的特別明顯突出的端部構成。如圖4所示，第二蓋體卡止部714插入前部保持構件卡止板部343的通孔343A。由此，如圖6所示，另一方的縱框體712被卡止於前部保持構件卡止板部343。
如上所述，通過使一方的縱框體711卡止於前部保持構件卡止部344，另一方的縱框體712卡止於前部保持構件卡止板部343，從而將前部保持構件7固定於蓋體3。
即，作為一方的蓋體側腳部的左側(左方向D31側)的前部保持構件腳部721，借助縱框體711和前部保持構件卡止部344被固定在作為蓋體3的一部分、且在從容器主體2的一端部朝向相對於所述一端部的另一端部的方向即作為縱深方向的後方向D12上，比密封構件安裝部311靠向內側(後方向D12側)的部分、且蓋體腳部固定用凹部341的外部的部分上。
此外，作為另一方的蓋體側腳部的右側(右方向D32側)的前部保持構件腳部722，借助縱框體712和前部保持構件卡止板部343被固定在作為蓋體3的一部分，且在作為縱深方向的後方向D12上比密封構件安裝部311靠向外側(前方向D11側)的部分、 且蓋體腳部固定用凹部341內部的部分上。作為一方的蓋體側腳部的左側的前部保持構件腳部721固定在蓋體3上的位置、與作為另一方的蓋體側腳部的右側的前部保持構件腳部722固定在蓋體3上的位置之間的前後方向D1上的距離為0mm~50mm左右，本實施方式中為25mm左右。
如上所述，由於前部保持構件7固定在蓋體3上，一方的前部保持構件腳部721具有上述的結構，所以蓋體側基板承接部(前部保持構件基板承接部73)，能以作為一方的蓋體側腳部的前部保持構件腳部721的一部分的、固定在蓋體3上的部分，即作為一方的蓋體側腳部的一部分、且與一方的縱框體711連接的部分為擺動軸心進行擺動。
通過解除第一蓋體卡止部713相對於前部保持構件卡止部344的卡止，且解除第二蓋體卡止部714相對於前部保持構件卡止板部343的卡止，可以從蓋體3取下前部保持構件7。
按照上述結構的本實施方式的基板收納容器1，可以得到以下的效果。
蓋體側基板支承部(前部保持構件7)包括一對蓋體側腳部(前部保持構件腳部721、722)和蓋體側基板承接部(前部保持構件基板承接部73)，該蓋體側基板承接部的一端部與一方的蓋體側腳部連接，另一端部與另一方的蓋體側腳部連接。一方的蓋體側腳部(前部保持構件腳部721)被固定在作為蓋體3的一部分、且在從容器主體2的一端部朝向相對於所述一端部的另一端部的方向即縱深方向上，比密封構件安裝部311靠向內側(後方向D12側)的部分上，另一方的蓋體側腳部(前部保持構件腳部722)被固定在作為蓋體3的一部分、且在縱深方向上比密封構件安裝部311靠向外側(前方向D11側)的部分上。
更具體而言，一方的蓋體側腳部(一方的前部保持構件腳部721)固定在蓋體腳部固定用凹部341的外部，另一方的蓋體側腳 部(另一方的前部保持構件腳部722)固定在蓋體腳部固定用凹部341的內部。
因此，在作為蓋體3的一部分、且當利用蓋體3封閉容器主體開口部21時從基板收納容器1中收納的圓盤狀的基板的中心的距離大致相等的兩點部分(作為內表面左右端部平坦面342的一部分、且設有前部保持構件卡止部344的部分，和作為底部平坦面341A的一部分、且設有前部保持構件卡止板部343的部分)上，可以分別固定一方的蓋體側腳部和另一方的蓋體側腳部。其結果，一方的蓋體側腳部能彈性變形的量與另一方的蓋體側腳部能彈性變形的量不會產生大幅偏差，可以利用所需的彈性平衡良好地支承蓋體側基板承接部。因此，輸送基板收納容器1時等從基板收納容器1的外部施加的衝擊，在蓋體側基板支承部(前部保持構件7)上被有效吸收，可以極力抑制所述衝擊借助前部保持構件7傳遞到基板上。
此外，由於在蓋體3的左右方向D3上的兩端附近部分，設有用於將蓋體3固定到容器主體2的插銷機構，所以蓋體腳部固定用凹部341的左右方向D3上的寬度較小。當把前部保持構件7收納在蓋體腳部固定用凹部341的內部時，在左右方向D3上成對配置的蓋體側基板承接部(前部保持構件基板承接部73)之間的寬度必然變小。
對此在本實施方式中，如上所述，由於不在蓋體腳部固定用凹部341的內部收容前部保持構件7，而是將構成前部保持構件7的一方的縱框體711配置在蓋體腳部固定用凹部341的外部，所以能够確保加大蓋體側基板承接部(前部保持構件基板承接部73)之間的寬度。其結果，成對配置的蓋體側基板承接部(前部保持構件基板承接部73)可以强力牢固地支承基板W的邊緣部。
此外，相比於一方的蓋體側腳部(前部保持構件腳部722)固定在蓋體腳部固定用凹部341內部的情况，由於一方的蓋體側腳 部(前部保持構件腳部722)固定在作為蓋體3的一部分、且在從容器主體2的一端部朝向相對於所述一端部的另一端部的方向即縱深方向上，比密封構件安裝部311靠向內側(後方向D12側)的部分上，所以當利用蓋體3封閉容器主體開口部21時，可以縮短從基板收納容器1收納的圓盤狀的基板W的中心到所述被固定的部分為止的距離。
因此，可以減小蓋體側腳部(前部保持構件腳部72)的撓曲，可以抑制基板支承失敗的保持錯誤的發生。
此外，由於一方的蓋體側腳部(前部保持構件腳部721)，能以作為一方的蓋體側腳部的一部分、且固定在蓋體3上的部分為擺動軸心進行擺動，所以能够由擺動得到柔軟的彈性。
此外，由於蓋體側基板承接部(前部保持構件基板承接部73)沒有配置在蓋體腳部固定用凹部341內，而是在縱深方向(後方向D12)上配置在比蓋體腳部固定用凹部341靠向內側(後方向D12側)，例如即使在把直徑450mm程度的大直徑的基板W收納在基板收納容器1中時，也可以容易地用蓋體側基板承接部支承基板W的邊緣部。
此外，蓋體側基板承接部(前部保持構件基板承接部73)，在與容器主體2的一端部和另一端部的連線方向垂直的方向(左右方向D3)上成對配置，成對的蓋體側基板承接部中的一方的蓋體側基板承接部(左側的前部保持構件基板承接部73)上連接的蓋體側腳部，與成對的蓋體側基板承接部中的另一方的蓋體側基板承接部(右側的前部保持構件基板承接部73)上連接的蓋體側腳部單獨構成。
因此，可以容易地製造蓋體側基板支承部。此外，可以容易地在蓋體3上安裝蓋體側基板支承部。
本發明不限於上述的實施方式，可以在申請專利範圍記載的技術範圍內進行各種變形。
例如，容器主體和蓋體的形狀、容器主體中能收納的基板的枚數、尺寸，不限於本實施方式中的容器主體2和蓋體3的形狀、容器主體2中能收納的基板W的枚數、尺寸。例如，前部保持構件基板承接部和前部保持構件腳部的形狀及結構不限於本實施方式的形狀及結構。
此外，基板支承板狀部5的鄰接的板部51以彼此分開且平行的位置關係配置，但是也可以不是嚴格平行的位置關係，只要並列即可。

Claims (4)

  1. 一種基板收納容器，其特徵在於包括：容器主體，內部形成有能收納多枚基板的基板收納空間，且一端部具有開口周緣部，所述開口周緣部形成有連通於所述基板收納空間的容器主體開口部；蓋體，能相對於所述開口周緣部進行裝拆，且能封閉所述容器主體開口部；蓋體側基板支承部，配置在作為所述蓋體的一部分且當利用所述蓋體封閉所述容器主體開口部時與所述基板收納空間相對的部分上，當利用所述蓋體封閉所述容器主體開口部時，所述蓋體側基板支承部能支承所述多枚基板的邊緣部；以及內側基板支承部，在所述基板收納空間的內部與所述蓋體側基板支承部成對配置，能支承所述多枚基板的邊緣部，當利用所述蓋體封閉所述容器主體開口部時，通過與所述蓋體側基板支承部協同動作來支承所述多枚基板；所述蓋體側基板支承部包括：蓋體側基板承接部；以及分別與所述蓋體側基板承接部的一端部和另一端部連接的一對蓋體側腳部；所述蓋體側基板承接部能以作為所述一方的蓋體側腳部的一部分且固定在所述蓋體上的部分為擺動軸心進行擺動；在作為所述蓋體內表面的一部分、且封閉所述容器主體開口部的部分上，形成有在與縱深方向相反的方向上凹入的蓋體腳部固定用凹部；所述一對蓋體側腳部中的一方的蓋體側腳部固定在所述蓋體腳部固定用凹部的外部，所述一對蓋體側腳部中的另一方的蓋體側腳部固定在所述蓋體腳部固定用凹部的內部；作為所述蓋體內表面的一部分且形成有所述蓋體腳部固定用凹部的部分具有底部平坦面和配置在所述底部平坦面的兩端的臺 階狀面，所述臺階狀面具有比所述底部平坦面高一階的中段平坦面；所述一對蓋體側腳部中的一方的蓋體側腳部在所述蓋體腳部固定用凹部的外部固定於所述蓋體，且所述一對蓋體側腳部中的另一方的蓋體側腳部固定在比固定所述一方的蓋體側腳部的所述蓋體的部分靠近所述容器主體的一端部側的所述蓋體腳部固定用凹部的內部，固定所述一方的蓋體側腳部的所述蓋體的部分比沿所述中段平坦面延伸的所述另一方的蓋體側腳部的部分靠近所述容器主體的另一端部側。
  2. 如請求項1所記載之基板收納容器，其中，所述蓋體側基板承接部不是配置在所述蓋體腳部固定用凹部的內部，而是在所述縱深方向上配置在比所述蓋體腳部固定用凹部靠向內側。
  3. 如請求項1所記載之基板收納容器，其中，所述蓋體具有密封構件安裝部；所述基板收納容器還包括密封構件，所述密封構件安裝於所述密封構件安裝部，且能抵接於所述開口周緣部，並通過介於所述開口周緣部與所述蓋體之間而緊密抵接於所述開口周緣部，從而利用所述蓋體以氣密狀態封閉所述容器主體開口部；所述一方的蓋體側腳部被固定在作為所述蓋體的一部分、且在縱深方向上比所述密封構件安裝部靠向內側的部分上，所述縱深方向是從所述容器主體的一端部朝向相對於所述一端部的另一端部的方向，所述另一方的蓋體側腳部被固定在作為所述蓋體的一部分、且在所述縱深方向上比所述密封構件安裝部靠向外側的部分上。
  4. 如請求項1至3中任一項所記載之基板收納容器，其中， 所述蓋體側基板承接部在與所述容器主體的一端部和另一端部的連線方向垂直的方向上成對配置；成對的所述蓋體側基板承接部中的一方的所述蓋體側基板承接部上連接的蓋體側腳部，與成對的所述蓋體側基板承接部中的另一方的所述蓋體側基板承接部上連接的蓋體側腳部單獨構成。
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