JPWO2014057572A1

JPWO2014057572A1 - 基板収納容器

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Publication number: JPWO2014057572A1
Application number: JP2014540701A
Authority: JP
Inventors: 千明松鳥; 剛永島; 貴立小山; 井上　修一; 修一井上; 啓之志田; 裕樹山岸; 和正大貫
Original assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd; Miraial Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd; Miraial Co Ltd
Priority date: 2012-10-12
Filing date: 2012-10-12
Publication date: 2016-08-25
Anticipated expiration: 2032-10-12
Also published as: US20150279711A1; KR20150066540A; JP6177248B2; TWI627117B; WO2014057572A1; TW201414660A; US9698033B2

Abstract

好ましい弾性を有して基板を支持可能なフロントリテーナを有する基板収納容器である。基板収納容器は、蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部が閉塞されているときに基板収納空間に対向する部分に配置され、蓋体３によって容器本体開口部が閉塞されているときに、複数の基板の縁部を支持可能な蓋体側基板支持部７を備え、蓋体側基板支持部７は、蓋体側基板受け部７３と、蓋体側基板受け部７３の一端部と他端部とにそれぞれ接続された一対の蓋体側脚部７２１、７２２と、を備える。一対の蓋体側脚部のうちの一方の蓋体側脚部７２１は、蓋体脚部固定用凹部３４１の外部において固定され、一対の蓋体側脚部のうちの他方の蓋体側脚部７２２は、蓋体脚部固定用凹部３４１の内部において固定されている。

Description

本発明は、基板収納容器に関し、特に、半導体ウェーハ等の基板を並列させた状態で複数収納する基板収納容器に関する。

半導体ウェーハ等の基板を収納する容器としては、容器本体と、蓋体と、シール部材と、基板支持板状部と、フロントリテーナと、奥側基板支持部とを備える構成のものが、従来より知られている。

容器本体は、一端部に容器本体開口部が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部を有する。容器本体内には基板収納空間が形成されている。基板収納空間は、壁部により取り囲まれて形成されており、複数の基板を収納可能である。
蓋体は、シール部材取付部を有する。シール部材取付部には、シール部材が固定されている。また、蓋体の内面であって容器本体開口部を閉塞する部分には、蓋体脚部固定用凹部が形成されている。蓋体は、容器本体開口部に対して着脱可能であり、容器本体開口部を閉塞可能である。

基板支持板状部は、基板収納空間内において対をなすように壁部に設けられている。基板支持板状部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されていないときに、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板の縁部を支持可能である。

フロントリテーナは、蓋体の蓋体脚部固定用凹部内に設けられている。フロントリテーナは、フロントリテーナ脚部と、フロントリテーナ基板受け部とを有している。フロントリテーナ基板受け部は、フロントリテーナ脚部に支持されている。フロントリテーナ脚部は、蓋体の一部であって蓋体脚部固定用凹部を形成している部分に固定されている。フロントリテーナは、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、複数の基板の縁部を支持可能である。

奥側基板支持部は、フロントリテーナと対をなすように基板支持板状部と一体成型されている。奥側基板支持部は、複数の基板の縁部を支持可能である。奥側基板支持部は、蓋体によって容器本体開口部が閉塞されているときに、フロントリテーナと協働して複数の基板を支持することにより、隣接する基板同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板を保持する（特許文献１参照）。
なお、奥側基板支持部は、側方基板支持部と一体に形成されていてもよく、あるいは、側方基板支持部とは別体で構成されていてもよい。

特開２０００−１５９２８８号公報

前述のように基板収納容器においては、フロントリテーナは、奥側基板支持部と協働して基板を支持する。この状態で、基板収納容器は搬送される。このため、フロントリテーナは、好ましい弾性を有して、基板収納容器の外部から加わる衝撃が、フロントリテーナ及び奥側基板支持部を介して基板に伝達されることを、極力抑制することが要求される。

本発明は、好ましい弾性を有して基板を支持可能なフロントリテーナを有する基板収納容器を提供することを目的とする。

本発明は、複数の基板を収納可能な基板収納空間が内部に形成され、一端部に前記基板収納空間に連通する容器本体開口部が形成された開口周縁部を有する容器本体と、前記開口周縁部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、前記蓋体の部分であって前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記基板収納空間に対向する部分に配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記複数の基板の縁部を支持可能な蓋体側基板支持部と、前記基板収納空間の内部において前記蓋体側基板支持部と対をなすように配置され、前記複数の基板の縁部を支持可能であり、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記蓋体側基板支持部と協働して前記複数の基板を支持する奥側基板支持部と、を備え、前記蓋体側基板支持部は、蓋体側基板受け部と、前記蓋体側基板受け部の一端部と他端部とにそれぞれ接続された一対の蓋体側脚部と、を備え、前記蓋体の内面の一部であって、前記容器本体開口部を閉塞する部分には、前記奥行方向とは反対の方向に窪んだ蓋体脚部固定用凹部が形成され、前記一対の蓋体側脚部のうちの一方の蓋体側脚部は、前記蓋体脚部固定用凹部の外部において固定され、前記一対の蓋体側脚部のうちの他方の蓋体側脚部は、前記蓋体脚部固定用凹部の内部において固定されている基板収納容器に関する。
また、前記蓋体側基板受け部は、前記一方の蓋体側脚部の一部であって前記蓋体に固定されている部分を揺動軸心として揺動可能であることが好ましい。
また、前記蓋体側基板受け部は、前記蓋体脚部固定用凹部の内部に配置されておらず、前記奥行方向において前記蓋体脚部固定用凹部よりも奥側に配置されていることが好ましい。
また、前記蓋体は、シール部材取付部を有し、前記シール部材取付部に取り付けられ、前記開口周縁部に当接可能であり、前記開口周縁部と前記蓋体との間に介在して前記開口周縁部に密着して当接することにより、前記蓋体によって前記容器本体開口部を気密の状態で閉塞するシール部材を備え、前記一方の蓋体側脚部は、前記蓋体の部分であって、前記容器本体の一端部から当該一端部に対する他端部へと向かう方向である奥行方向において、前記シール部材取付部よりも奥側の部分に固定され、前記他方の蓋体側脚部は、前記蓋体の部分であって、前記奥行方向において、前記シール部材取付部よりも手前側の部分に固定されていることが好ましい。
また、前記蓋体側基板受け部は、前記容器本体の一端部と他端部とを結ぶ方向に直交する方向において対をなして配置され、前記対をなしている蓋体側基板受け部のうちの一方の前記蓋体側基板受け部に接続された蓋体側脚部と、前記対をなしている蓋体側基板受け部のうちの他方の前記蓋体側基板受け部に接続された蓋体側脚部とは、別体で構成されていることが好ましい。

本発明によれば、好ましい弾性を有して基板を支持可能なフロントリテーナを有する基板収納容器を提供することができる。

本実施形態に係る基板収納容器を示す斜視図である。本実施形態に係る基板収納容器を示す断面図である。本実施形態に係る基板収納容器の奥側基板支持部を示す側方拡大断面図である。本実施形態に係る基板収納容器の蓋を開いた状態を示す分解斜視図である。本実施形態に係る基板収納容器の容器本体の基板収容空間に基板を収納した状態を示す分解斜視図である。本実施形態に係る基板収納容器の蓋体を示す後方斜視図である。本実施形態に係る基板収納容器の蓋体を示す背面図である。図５のＡ−Ａ線に沿った断面図である。本実施形態に係る基板収納容器の蓋体を示す背面図であって、フロントリテーナが取り外された状態を示す背面図である。本実施形態に係る基板収納容器のフロントリテーナを示す背面図である。本実施形態に係る基板収納容器のフロントリテーナを示す平面図である。

以下、本発明の実施形態による基板収納容器について、図面を参照しながら説明する。図１は、本実施形態に係る基板収納容器を示す斜視図である。図２Ａは、本実施形態に係る基板収納容器を示す断面図である。図２Ｂは、本実施形態に係る基板収納容器の奥側基板支持部を示す側方拡大断面図である。図３Ａは、本実施形態に係る基板収納容器の蓋を開いた状態を示す分解斜視図である。図３Ｂは、本実施形態に係る基板収納容器の容器本体の基板収容空間に基板を収納した状態を示す分解斜視図である。図４は、本実施形態に係る基板収納容器の蓋体を示す後方斜視図である。図５は、本実施形態に係る基板収納容器の蓋体を示す背面図である。図６は、図５のＡ−Ａ線に沿った断面図である。図７は、本実施形態に係る基板収納容器の蓋体を示す背面図であって、フロントリテーナが取り外された状態を示す背面図である。図８Ａは、本実施形態に係る基板収納容器のフロントリテーナを示す背面図である。図８Ｂは、本実施形態に係る基板収納容器のフロントリテーナを示す平面図である。

ここで、説明の便宜上、後述の容器本体２から蓋体３へ向かう方向（図１における右上から左下へ向かう方向）を前方向Ｄ１１と定義し、その反対の方向を後方向Ｄ１２と定義し、これらを前後方向Ｄ１と定義する。また、後述の下壁２４から上壁２３へと向かう方向（図１における上方向）を上方向Ｄ２１と定義し、その反対の方向を下方向Ｄ２２と定義し、これらを上下方向Ｄ２と定義する。また、後述する第２側壁２６から第１側壁２５へと向かう方向（図１における右下から左上へ向かう方向）を左方向Ｄ３１と定義し、その反対の方向を右方向Ｄ３２と定義し、これらを左右方向Ｄ３と定義する。

また、基板収納容器１に収納される基板Ｗ（図３Ｂ等参照）は、円盤状のシリコンウェーハ、ガラスウェーハ、サファイアウェーハ等であり、産業に用いられる薄いものである。本実施形態における基板Ｗは、直径４５０ｍｍのシリコンウェーハである。

図１〜図３Ｂに示すように、基板収納容器１は、容器本体２と、蓋体３と、シール部材４と、基板支持板状部５と、フロントリテーナ７とを有している。

図３Ａに示すように、容器本体２は、一端部に容器本体開口部２１が形成され、他端部が閉塞された筒状の壁部２０を有する。容器本体２内には基板収納空間２７が形成されている。基板収納空間２７は、壁部２０により取り囲まれて形成されている。壁部２０の部分であって基板収納空間２７を形成している部分には、基板支持板状部５が配置されている。基板収納空間２７には、図３Ｂに示すように、複数の基板Ｗを収納可能である。

基板支持板状部５は、基板収納空間２７内において対をなすように壁部２０に設けられている。基板支持板状部５は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されていないときに、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。基板支持板状部５の奥側には、奥側基板支持部６が設けられている。奥側基板支持部６は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部の後部を支持可能である。

蓋体３は、容器本体開口部２１に対して着脱可能であり、容器本体開口部２１を閉塞可能である。フロントリテーナ７は、蓋体３の部分であって蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに基板収納空間２７に対向する部分に設けられている。フロントリテーナ７は、奥側基板支持部６と対をなすように配置されている。

フロントリテーナ７は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、複数の基板Ｗの縁部の前部を支持可能である。フロントリテーナ７は、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、奥側基板支持部６と協働して複数の基板Ｗを支持することにより、隣接する基板Ｗ同士を所定の間隔で離間させて並列させた状態で、複数の基板Ｗを保持する。以下、各部について、詳細に説明する。

図３Ａ等に示すように、容器本体２の壁部２０は、奥壁２２と上壁２３と下壁２４と第１側壁２５と第２側壁２６とを有する。奥壁２２、上壁２３、下壁２４、第１側壁２５、及び第２側壁２６は、プラスチック材等により構成されており、第１実施形態では、ポリカーボネートにより一体成形されて構成されている。

第１側壁２５と第２側壁２６とは対向しており、上壁２３と下壁２４とは対向している。上壁２３の後端、下壁２４の後端、第１側壁２５の後端、及び第２側壁２６の後端は、全て奥壁２２に接続されている。上壁２３の前端、下壁２４の前端、第１側壁２５の前端、及び第２側壁２６の前端は、奥壁２２に対向する位置関係を有し、略長方形状をした容器本体開口部２１を形成する開口周縁部２８を構成する。

開口周縁部２８は、容器本体２の一端部に設けられており、奥壁２２は、容器本体２の他端部に位置している。壁部２０の外面により形成される容器本体２の外形は箱状である。壁部２０の内面、即ち、奥壁２２の内面、上壁２３の内面、下壁２４の内面、第１側壁２５の内面、及び第２側壁２６の内面は、これらによって取り囲まれた基板収納空間２７を形成している。開口周縁部２８に形成された容器本体開口部２１は、壁部２０により取り囲まれて容器本体２の内部に形成された基板収納空間２７に連通している。基板収納空間２７には後述のように、最大で２５枚の基板Ｗを収納可能である。

図３Ａに示すように、上壁２３及び下壁２４の部分であって、開口周縁部２８の近傍の部分には、基板収納空間２７の外方へ向かって窪んだラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂが形成されている。ラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂ、２４１Ａ、２４１Ｂは、上壁２３及び下壁２４の左右両端部近傍に１つずつ、計４つ形成されている。

図１、図２Ａ、図３Ａに示すように、上壁２３の外面においては、リブ２３３及びフランジ固定部２３４が上壁２３と一体成形されて設けられている。リブ２３３は、上壁２３の外面から上方向Ｄ２１へ突出し、複数設けられている。リブ２３３は、略前後方向Ｄ１へ延びるものと、略左右方向Ｄ３へ延びるものとを有している。フランジ固定部２３４には、トップフランジ２３５が固定される。トップフランジ２３５は、上壁２３に固定され、ＡＭＨＳ（自動ウェーハ搬送システム）、ＰＧＶ（ウェーハ基板搬送台車）等において基板収納容器１を吊り下げる際に、基板収納容器１において掛けられて吊り下げられる部分となる部材である。

図３Ａ、図３Ｂに示すように、下壁２４の外面には、容器本体脚部２４３が設けられている。容器本体脚部２４３は、下壁２４の左右両端縁に取り付けられており、下壁２４の左右両端縁に沿って前後方向Ｄ１に延びている。容器本体脚部２４３は、下壁２４を下側（下方向Ｄ２２の側）として容器本体２を水平な平坦面上に載置したときに、当該平坦面に当接して、容器本体２を安定して支持する。

図２Ａ、図３Ａに示すように、基板支持板状部５は、第１側壁２５及び第２側壁２６にそれぞれ設けられて、左右方向Ｄ３において対をなすようにして基板収納空間２７内に配置されている。具体的には、図２Ａに示すように、基板支持板状部５は、板部５１と板部支持部５２とを有している。板部５１と板部支持部５２とは、樹脂が一体成形されて構成されている。板部５１は、板状の弧形状を有している。板部５１は、第１側壁２５、第２側壁２６に、それぞれ２５枚ずつ計５０枚設けられている。隣接する板部５１は、上下方向Ｄ２において１０ｍｍ〜１２ｍｍ間隔で互いに離間して平行な位置関係で配置されている。なお、最も上に位置する板部５１の上方にも、板部５１と同一形状のものが配置されているが、これは、最も上に位置して基板収納空間２７内へ挿入される基板Ｗに対して、当該挿入の際のガイドの役割をする部材である。

また、第１側壁２５に設けられた２５枚の板部５１と、第２側壁２６に設けられた２５枚の板部５１とは、互いに左右方向Ｄ３において対向する位置関係を有している。また、５０枚の板部５１、及び、板部５１と略同形状の２枚のガイドの役割をする部材は、下壁２４の内面に平行な位置関係を有している。図２Ａに示すように、板部５１の上面には、凸部５１１が設けられている。板部５１に支持された基板Ｗは、凸部５１１の突出端にのみ接触し、面で板部５１に接触しない。

板部支持部５２は、図２Ａに示すように、上下方向Ｄ２に延びる部材により構成されている。第１側壁２５に設けられた２５枚の板部５１は、第１側壁２５側に設けられた板部支持部５２に接続されている。同様に、第２側壁２６に設けられた２５枚の板部５１は、第２側壁２６側に設けられた板部支持部５２に接続されている。

板部支持部５２は、第１側壁係止部（図示せず）を有している。第１側壁係止部は、第１側壁２５、第２側壁２６にそれぞれ設けられた側方板係止部（図示せず）に係止可能である。第１側壁係止部が側方板係止部に係止されることにより、基板支持板状部５は、第１側壁２５、第２側壁２６にそれぞれ固定される。
このような構成の基板支持板状部５により、複数の基板Ｗのうちの隣接する基板Ｗ同士を、所定の間隔で離間した状態で且つ互いに平行な位置関係とした状態で、複数の基板Ｗの縁部を支持可能である。

図２Ｄに示すように、奥側基板支持部６は、壁部基板支持部６０と支持部固定部材６７とを有している。壁部基板支持部６０は、基板支持板状部５の板部５１の後端部に、板部５１と一体で成形されている。
なお、奥側基板支持部６は、基板支持板状部５とは別体、即ち、壁部基板支持部６０は、基板支持板状部５の板部５１とは別体で構成されていてもよい。

支持部固定部材６７においては、それぞれ壁部基板支持部６０が、基板収納空間２７に収納可能な基板Ｗの一枚毎に対応した個数、具体的には、２５個設けられている。第１側壁２５及び第２側壁２６に設けられた壁部基板支持部６０は、前後方向Ｄ１において、後述するフロントリテーナ７と対をなすような位置関係を有している。支持部固定部材６７は、側壁後部係止部（図示せず）を有している。側壁後部係止部は、第１側壁２５、第２側壁２６にそれぞれ設けられた奥側基板支持部係止部（図示せず）に係止可能である。前述の第１側壁係止部（図示せず）が側方板係止部（図示せず）に係止されると共に、側壁後部係止部（図示せず）が奥側基板支持部係止部（図示せず）に係止されることによって、基板支持板状部５は、第１側壁２５、第２側壁２６にそれぞれ固定される。

壁部基板支持部６０は、図２Ｂに示すように、第１当接面６２１を有する支持部上部６２と第２当接面６３１を有する支持部上部６３とを有している。
第１当接面６２１には、後述のように基板収納空間２７内に基板Ｗが収納され、蓋体３が閉じられることにより、基板Ｗが奥側基板支持部６とフロントリテーナ７とによって支持されたときに、基板Ｗの上面の縁部の端縁が当接可能である。第２当接面６３１には、基板収納空間２７内に基板Ｗが収納され蓋体３が閉じられることにより、基板Ｗが奥側基板支持部６とフロントリテーナ７とによって支持されたときに、基板Ｗの下面の縁部の端縁が当接可能である。

図３Ａに示すように、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８の形状と略一致する略長方形状を有している。蓋体３は容器本体２の開口周縁部２８に対して着脱可能であり、開口周縁部２８に蓋体３が装着されることにより、蓋体３は、容器本体開口部２１を閉塞可能である。図６に示すように、蓋体３の外周縁部においては、シール部材嵌合溝３１が蓋体３の外周縁部に沿って形成されている。シール部材嵌合溝３１が形成された蓋体３の部分は、シール部材取付部３１１を構成する。
シール部材取付部３１１のシール部材嵌合溝３１においては、弾性変形可能なＰＯＥ（ポリオキシエチレン）製、ＰＥＥ製をはじめ、ポリエステル系、ポリオレフィン系など各種熱可塑性エラストマー、フッ素ゴム製、シリコンゴム製等の環状のシール部材４が嵌め込まれている。シール部材４は、蓋体３の外周縁部を一周するように配置されている。

シール部材４は、容器本体開口部２１を形成している容器本体２の部分である開口周縁部２８に当接可能である。シール部材４は、開口周縁部２８と蓋体３との間に介在して開口周縁部２８に密着して当接することにより、蓋体３によって容器本体開口部２１を気密の状態で閉塞可能である。

より具体的には、蓋体３が開口周縁部２８に装着されたときに、蓋体３の外周縁部を構成するシール部材取付部３１１は、シール部材４を介して容器本体２の開口周縁部２８の内周縁部に当接する。これにより、シール部材４は蓋体３の外周縁部と開口周縁部２８の内周縁部とにより挟まれて弾性変形し、蓋体３は、容器本体開口部２１を密閉した状態で閉塞する。開口周縁部２８から蓋体３が取り外されることにより、容器本体２内の基板収納空間２７に対して、基板Ｗを出し入れ可能となる。

蓋体３においては、ラッチ機構が設けられている。ラッチ機構は、蓋体３の左右両端部近傍に設けられており、図２Ａ、図３Ｂに示すように、蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出可能な２つの上側ラッチ部３２Ａと、蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出可能な２つの下側ラッチ部（図示せず）と、を備えている。２つの上側ラッチ部３２Ａは、蓋体３の上辺の左右両端近傍に配置されており、２つの下側ラッチ部は、蓋体３の下辺の左右両端近傍に配置されている。

図３Ａに示すように、蓋体３の外面においては操作部３３が設けられている。操作部３３を蓋体３の前側から操作することにより、上側ラッチ部３２Ａ、下側ラッチ部を蓋体３の上辺、下辺から突出させることができ、また、上辺、下辺から突出しない状態とさせることができる。上側ラッチ部３２Ａが蓋体３の上辺から上方向Ｄ２１へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２３１Ａ、２３１Ｂに係合し、且つ、下側ラッチ部が蓋体３の下辺から下方向Ｄ２２へ突出して、容器本体２のラッチ係合凹部２４１Ａ、２４１Ｂに係合することにより、蓋体３は、容器本体２の開口周縁部２８に固定される。

図４〜図７に示すように、蓋体３の内面の一部であって、容器本体開口部２１を閉塞する部分には、容器本体２の奥行方向とは反対の方向である前方に窪んだ蓋体脚部固定用凹部３４１が形成されている。蓋体脚部固定用凹部３４１は、蓋体３の左右方向Ｄ３の中央位置において、蓋体３の左右方向Ｄ３における幅の３分の１程度の幅を有して、上下方向Ｄ２において、蓋体３の上端部近傍から下端部近傍に至るまで形成されている。蓋体脚部固定用凹部３４１の上端及び下端は、蓋体３の縁部により形成されている。蓋体３の内面の部分であって、左右方向Ｄ３における蓋体脚部固定用凹部３４１の両脇の部分は、内面左右端部平坦面３４２により構成されている。

蓋体３は、左右方向Ｄ３における蓋体３の中央において上下に延びる仮想線Ｂを中心とした対称の構成を有している。このため、以下、主として右側（図５に示す左側）の部分の構成について詳述し、左側（図５に示す右側）の部分については、詳細な説明を省略する。

このように、蓋体３は、対称の構成を有しているため、蓋体３に固定されているフロントリテーナ７も、仮想線Ｂを中心として対照的に２つ設けられている。即ち、後述する他方の蓋体側基板受け部としてのフロントリテーナ基板受け部７３は、容器本体２の一端部と他端部とを結ぶ方向に直交する方向である左右方向Ｄ３において対をなして配置されている。対をなしているフロントリテーナ基板受け部７３のうちの、一方のフロントリテーナ基板受け部７３に接続されたフロントリテーナ脚部７２と、対をなしているフロントリテーナ基板受け部７３のうちの他方のフロントリテーナ基板受け部７３に接続されたフロントリテーナ脚部７２とは、別体で構成されている。

図６に示すように、蓋体３の内面の部分であって蓋体脚部固定用凹部３４１を形成している部分は、底部平坦面３４１Ａと階段状面３４１Ｂとを有している。底部平坦面３４１Ａは、内面左右端部平坦面３４２よりも前側（前方向Ｄ１１の側）に位置している。階段状面３４１Ｂは、左右方向Ｄ３における底部平坦面３４１Ａの両端に配置されている。階段状面３４１Ｂは、底部平坦面３４１Ａから１段高い位置にある中段平坦面３４１Ｃと、中段平坦面３４１Ｃに上がる第１段状面３４１Ｄと、中段平坦面３４１Ｃから更にもう一段高い位置である内面左右端部平坦面３４２に上がる第２段状面３４１Ｅと、を有している。

図７に示すように、左右方向Ｄ３における底部平坦面３４１Ａの両端部近傍の部分は、蓋体３と一体に成形されたフロントリテーナ係止板部３４３をそれぞれ１つずつ有している。この底部平坦面３４１Ａの両端部近傍は、奥行方向としての後方向Ｄ１２において、シール部材取付部３１１よりも手前側（前方向Ｄ１１の側）の部分に位置している。

一対のフロントリテーナ係止板部３４３は、上下方向Ｄ２に延び、一方のフロントリテーナ係止板部３４３の表面及び裏面は、他方のフロントリテーナ係止板部３４３の表面及び裏面と平行な位置関係となるように配置されている。フロントリテーナ係止板部３４３においては、図４に示すように、左右方向Ｄ３にフロントリテーナ係止板部３４３を貫通する貫通孔３４３Ａが形成されている。３４３Ａは、底部平坦面３４１Ａに隣接した位置関係で形成されている。

また、左右方向Ｄ３における各内面左右端部平坦面３４２の中央部分には、フロントリテーナ係止部３４４がそれぞれ１つずつ設けられている。この内面左右端部平坦面３４２の中央部分は、容器本体２の一端部から当該一端部に対する他端部へと向かう方向である奥行方向としての後方向Ｄ１２において、シール部材取付部３１１よりも奥側（後方向Ｄ１２の側）に位置している。
図７に示すように、フロントリテーナ係止部３４４は、板状係止部３４４Ａと基部側支持部３４４Ｂとを有している。板状係止部３４４Ａの表面及び裏面は、内面左右端部平坦面３４２に平行な位置関係で内面左右端部平坦面３４２から離間して、且つ、長手方向が上下方向Ｄ２に平行な位置関係で配置されている。

左側（左方向Ｄ３１の側）に配置された板状係止部３４４Ａの左端縁は、左側の内面左右端部平坦面３４２に配置され固定された基部側支持部３４４Ｂに接続されて固定されている。左側に配置された基部側支持部３４４Ｂは、連続基部３４４Ｃと、断続基部３４４Ｄと、接続基部３４４Ｅとを有している。連続基部３４４Ｃは、上下方向Ｄ２において蓋体３の上側（上方向Ｄ２１の側）の縁部近傍から下側（下方向Ｄ２２の側）の縁部近傍に至るまで延びる。断続基部３４４Ｄは、複数設けられ、連続基部３４４Ｃよりも短い。断続基部３４４Ｄは、長手方向の長さが短いものと長いものとを有している。断続基部３４４Ｄは、連続基部３４４Ｃと平行に延び、上下方向Ｄ２において所定の間隔を隔てて配置されている。

接続基部３４４Ｅは、複数設けられ、左右方向Ｄ３に平行な位置関係で延びている。複数の接続基部３４４Ｅは、対をなして配置されているものと、単独で配置されているものとを有している。対をなして配置されている接続基部３４４Ｅの右端は、長い断続基部３４４Ｄの上端近傍、下端近傍にそれぞれ接続されている。対をなして配置されている接続基部３４４Ｅの左端は、連続基部３４４Ｃに接続されている。単独で配置されている接続基部３４４Ｅの右端は、長さの短い断続基部３４４Ｄに接続されており、単独で配置されている接続基部３４４Ｅの左端は、連続基部３４４Ｃに接続されている。

図４〜図６に示すように、蓋体３の内面に対向する位置であって、左側（左方向Ｄ３１の側）のフロントリテーナ係止板部３４３から左側のフロントリテーナ係止部３４４に至るまでの位置には、フロントリテーナ７が設けられている。フロントリテーナ７は、図８Ａに示すように、上下方向Ｄ２に平行に延びる一対の縦枠体７１と、一対のフロントリテーナ脚部７２と、フロントリテーナ基板受け部７３とを有している。一対の縦枠体７１、フロントリテーナ脚部７２、及びフロントリテーナ基板受け部７３は、樹脂により一体成形され、互いに接続されている。

図６に示すように、フロントリテーナ基板受け部７３は、蓋体３の部分であって、中段平坦面３４１Ｃの左端部（左方向Ｄ３１の端部）から、左右方向Ｄ３における左側のフロントリテーナ係止部３４４と左側のフロントリテーナ係止板部３４３との中央部に至るまでの部分に対向するように配置されている。蓋体側基板受け部としてのフロントリテーナ基板受け部７３は、蓋体脚部固定用凹部３４１内に配置されておらず、奥行方向（後方向Ｄ１２）において蓋体脚部固定用凹部３４１よりも奥側（後方向Ｄ１２の側）に配置されている。
図８Ａに示すように、フロントリテーナ基板受け部７３は、フロントリテーナ第１当接面７３３を有する受け部上部７３１と、フロントリテーナ第２当接面７３４を有する受け部下部７３２とを有している。

フロントリテーナ第１当接面７３３には、基板収納空間２７内に基板Ｗが収納され蓋体３が閉じられることにより、基板Ｗが奥側基板支持部６とフロントリテーナ７とによって支持されたときに、基板Ｗの上面の縁部の端縁の前部が当接する。フロントリテーナ第２当接面７３４には、基板収納空間２７内に基板Ｗが収納され蓋体３が閉じられることにより、基板Ｗが奥側基板支持部６とフロントリテーナ７とによって支持されたときに、基板Ｗの下面の縁部の端縁の前部が当接する。これにより、フロントリテーナ基板受け部７３は、複数の基板Ｗの縁部を支持することができる。

フロントリテーナ基板受け部７３の一端部である左端部（左方向Ｄ３１の端部）は、一対のフロントリテーナ脚部７２のうちの一方のフロントリテーナ脚部７２１の右端部（右方向Ｄ３２の端部）に接続されている。フロントリテーナ基板受け部７３の他端部である右端部は、一対のフロントリテーナ脚部７２のうちの他方のフロントリテーナ脚部７２２の左端部に接続されている。

図６に示すように、一方のフロントリテーナ脚部７２１は、フロントリテーナ基板受け部７３の左端部から内面左右端部平坦面３４２に近づくように延び、内面左右端部平坦面３４２の手前で直角に折れ曲がり、内面左右端部平坦面３４２に平行にフロントリテーナ係止部３４４へ近づくように長く延びている。この長く延びる部分は、一方のフロントリテーナ脚部７２１の３分の２以上を占めている。そして、内面左右端部平坦面３４２から離間するように直角に折れ曲がって少し延び、再び直角に折れ曲がりフロントリテーナ係止部３４４へ近づくように少し延び、再び直角に折れ曲がり内面左右端部平坦面３４２へ近づくように延び、一方のフロントリテーナ脚部７２の左端部は、一方の縦枠体７１１に接続されている。

図６に示すように、他方のフロントリテーナ脚部７２２は、中段平坦面３４１Ｃに近づくように延び、中段平坦面３４１Ｃの手前で鈍角に折れ曲がり、フロントリテーナ係止板部３４３の近傍へ至るまで直線状に延びている。そして、鈍角に折れ曲がり、底部平坦面３４１Ａに接近するように少し延び、他方の縦枠体７１２に接続されている。このようなフロントリテーナ基板受け部７３及び対をなしているフロントリテーナ脚部７２は、上下方向Ｄ２に２５個並列した状態で設けられている。

図８Ａに示すように、一方の縦枠体７１１は、第１蓋体係止部７１３を有している。第１蓋体係止部７１３は、一方の縦枠体７１の幅方向における縦枠体７１の縁部であって、板状の端部により構成されている。第１蓋体係止部７１３は、図６に示すように、フロントリテーナ係止部３４４の板状係止部３４４Ａと内面左右端部平坦面３４２との間に入り込むことにより、一方の縦枠体７１は、フロントリテーナ係止部３４４に係止される。

また、図８Ａに示すように、第１蓋体係止部７１３には、他方の縦枠体７１２から一方の縦枠体７１１へと向かう方向に突出するつまみ部７１５が設けられている。つまみ部７１５を蓋体３に接近させる方向へ押圧し、断続基部３４４Ｄ同士の間の隙間（図７参照）に挿入することにより、第１蓋体係止部７１３を、フロントリテーナ係止部３４４の板状係止部３４４Ａと内面左右端部平坦面３４２との間に、容易に入り込ませることができる。

また、図８Ａに示すように、他方の縦枠体７１２は、第２蓋体係止部７１４を有している。第２蓋体係止部７１４は、他方の縦枠体７１の幅方向における縦枠体７１の縁部であって、波状に形成されている板状の端部の、特に傑出して突出している端部により構成されている。第２蓋体係止部７１４は、図４に示すように、フロントリテーナ係止板部３４３の貫通孔３４３Ａに挿入されている。これにより、図６に示すように、他方の縦枠体７１２は、フロントリテーナ係止板部３４３に係止される。

このように、一方の縦枠体７１１がフロントリテーナ係止部３４４に係止され、他方の縦枠体７１２がフロントリテーナ係止板部３４３に係止されることにより、フロントリテーナ７は、蓋体３に固定される。
即ち、一方の蓋体側脚部としての左側（左方向Ｄ３１の側）のフロントリテーナ脚部７２１は、蓋体３の部分であって、容器本体２の一端部から当該一端部に対する他端部へと向かう方向である奥行方向としての後方向Ｄ１２において、シール部材取付部３１１よりも奥側（後方向Ｄ１２の側）の部分で、且つ蓋体脚部固定用凹部３４１の外部の部分に、縦枠体７１１及びフロントリテーナ係止部３４４を介して固定されている。
また、他方の蓋体側脚部としての右側（右方向Ｄ３２の側）のフロントリテーナ脚部７２２は、蓋体３の部分であって、奥行方向としての後方向Ｄ１２において、シール部材取付部３１１よりも手前側（前方向Ｄ１１の側）の部分で、且つ蓋体脚部固定用凹部３４１の内部の部分に、縦枠体７１２及びフロントリテーナ係止板部３４３を介して固定されている。一方の蓋体側脚部としての左側のフロントリテーナ脚部７２１が蓋体３に固定されている位置と、他方の蓋体側脚部としての右側のフロントリテーナ脚部７２２が蓋体３に固定されている位置との間の、前後方向Ｄ１における距離は０ｍｍ〜５０ｍｍ程度であり、本実施形態では２５ｍｍ程度である。

このようにフロントリテーナ７は蓋体３に固定され、一方のフロントリテーナ脚部７２１は、上述のような構成を有しているため、蓋体側基板受け部（フロントリテーナ基板受け部７３）は、一方の蓋体側脚部としてのフロントリテーナ脚部７２１の一部であって蓋体３に固定されている部分、即ち、一方の蓋体側脚部の一部であって一方の縦枠体７１１に接続されている部分を揺動軸心として揺動可能である。
フロントリテーナ係止部３４４に対する第１蓋体係止部７１３の係止が解除され、且つフロントリテーナ係止板部３４３に対する第２蓋体係止部７１４の係止が解除されることにより、フロントリテーナ７は蓋体３から取り外される。

上記構成の本実施形態による基板収納容器１によれば、以下のような効果を得ることができる。
蓋体側基板支持部（フロントリテーナ７）は、一対の蓋体側脚部（フロントリテーナ脚部７２１、７２２）と、一端部が一方の蓋体側脚部に接続され、他端部が他方の蓋体側脚部に接続された蓋体側基板受け部（フロントリテーナ基板受け部７３）とを備えている。一方の蓋体側脚部（フロントリテーナ脚部７２１）は、蓋体３の部分であって、容器本体２の一端部から当該一端部に対する他端部へと向かう方向である奥行方向において、シール部材取付部３１１よりも奥側（後方向Ｄ１２の側）の部分に固定され、他方の蓋体側脚部（フロントリテーナ脚部７２２）は、蓋体３の部分であって、奥行方向において、シール部材取付部３１１よりも手前側（前方向Ｄ１１の側）の部分に固定されている。

より具体的には、一方の蓋体側脚部（一方のフロントリテーナ脚部７２１）は、蓋体脚部固定用凹部３４１の外部において固定され、他方の蓋体側脚部（他方のフロントリテーナ脚部７２２）は、蓋体脚部固定用凹部３４１の内部において固定されている。

このため、蓋体３の部分であって、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、基板収納容器１に収納されている円盤形状の基板の中心からの距離が、略等しくなる２点の部分（内面左右端部平坦面３４２の部分であってフロントリテーナ係止部３４４が設けられている部分と、底部平坦面３４１Ａの部分であって、フロントリテーナ係止板部３４３が設けられている部分）において、一方の蓋体側脚部と、他方の蓋体側脚部とをそれぞれ１つずつ固定することができる。この結果、一方の蓋体側脚部において弾性変形可能な量と、他方の蓋体側脚部において弾性変形可能な量とに大きな違いを生じさせず、好ましい弾性によりバランスよく蓋体側基板受け部を支持することができる。従って、基板収納容器１の搬送時等に、基板収納容器１の外部から加わる衝撃が、蓋体側基板支持部（フロントリテーナ７）において、効果的に吸収され、フロントリテーナ７を介して基板に伝達されることを、極力抑制することができる。

また、蓋体３の左右方向Ｄ３における両端近傍部分には、蓋体３を容器本体２に対して固定させるためのラッチ機構が設けられるため、蓋体脚部固定用凹部３４１の左右方向Ｄ３の幅は比較的小さく構成される。フロントリテーナ７を蓋体脚部固定用凹部３４１の内部に収納するような構成とする場合には、左右方向Ｄ３において対をなして配置される蓋体側基板受け部（フロントリテーナ基板受け部７３）間の幅が必然的に小さくなる。

これに対して本実施形態では、前述のように、蓋体脚部固定用凹部３４１の内部にフロントリテーナ７が収容される構成を有しておらず、フロントリテーナ７を構成する一方の縦枠体７１１が蓋体脚部固定用凹部３４１の外部に配置されているため、蓋体側基板受け部（フロントリテーナ基板受け部７３）間の幅を大きく確保することができる。この結果、対をなして配置された蓋体側基板受け部（フロントリテーナ基板受け部７３）は、基板Ｗの縁部を強くしっかりと支持することができる。

また、一方の蓋体側脚部（フロントリテーナ脚部７２２）が蓋体脚部固定用凹部３４１の内部に固定されている場合と比較して、一方の蓋体側脚部（フロントリテーナ脚部７２２）は、蓋体３の部分であって、容器本体２の一端部から当該一端部に対する他端部へと向かう方向である奥行方向において、シール部材取付部３１１よりも奥側（後方向Ｄ１２の側）の部分に固定されているため、蓋体３によって容器本体開口部２１が閉塞されているときに、基板収納容器１に収納されている円盤形状の基板Ｗの中心から、当該固定されている部分までの距離を小さくすることができる。
このため、蓋体側脚部（フロントリテーナ脚部７２）の撓みを小さくすることができ、基板を支持し損なう保持エラーを抑制することができる。

また、一方の蓋体側脚部（フロントリテーナ脚部７２１）は、一方の蓋体側脚部の一部であって蓋体３に固定されている部分を揺動軸心として揺動可能であるため、揺動による柔軟な弾性を得ることができる。

また、蓋体側基板受け部（フロントリテーナ基板受け部７３）は、蓋体脚部固定用凹部３４１内に配置されておらず、奥行方向（後方向Ｄ１２）において蓋体脚部固定用凹部３４１よりも奥側（後方向Ｄ１２の側）に配置されているため、例えば、直径が４５０ｍｍ程度の直径の大きな基板Ｗを基板収納容器１に収納する場合であっても、容易に蓋体側基板受け部で基板Ｗの縁部を支持することができる。

また、蓋体側基板受け部（フロントリテーナ基板受け部７３）は、容器本体２の一端部と他端部とを結ぶ方向に直交する方向（左右方向Ｄ３）において対をなして配置され、対をなしている蓋体側基板受け部のうちの一方の蓋体側基板受け部（左側のフロントリテーナ基板受け部７３）に接続された蓋体側脚部と、対をなしている蓋体側基板受け部のうちの他方の蓋体側基板受け部（右側のフロントリテーナ基板受け部７３）に接続された蓋体側脚部とは、別体で構成されている。
このため、蓋体側基板支持部の製造を容易とすることができる。また、蓋体側基板支持部の蓋体３への取付けを容易とすることができる。

本発明は、上述した実施形態に限定されることはなく、特許請求の範囲に記載された技術的範囲において変形が可能である。
例えば、容器本体及び蓋体の形状や、容器本体に収納可能な基板の枚数、寸法は、本実施形態における容器本体２及び蓋体３の形状や、容器本体２に収納可能な基板Ｗの枚数、寸法に限定されない。例えば、フロントリテーナ基板受け部やフロントリテーナ脚部の形状や構成は、本実施形態の形状や構成に限定されない。

また、基板支持板状部５の隣接する板部５１は、互いに離間して平行な位置関係で配置されていたが、厳密に平行な位置関係でなくてもよく、並列されていればよい。

１基板収納容器
２容器本体
３蓋体
７フロントリテーナ
２０壁部
２１容器本体開口部
２２奥壁
２７基板収納空間
２８開口周縁部
７２フロントリテーナ脚部
７３フロントリテーナ基板受け部
３１１シール部材取付部
３４１蓋体脚部固定用凹部
３４１Ａ底部平坦面
３４２内面左右端部平坦面
３４３フロントリテーナ係止板部
３４４フロントリテーナ係止部
７２１一方のフロントリテーナ脚部
７２２他方のフロントリテーナ脚部

Claims

複数の基板を収納可能な基板収納空間が内部に形成され、一端部に前記基板収納空間に連通する容器本体開口部が形成された開口周縁部を有する容器本体と、
前記開口周縁部に対して着脱可能であり、前記容器本体開口部を閉塞可能な蓋体と、
前記蓋体の部分であって前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに前記基板収納空間に対向する部分に配置され、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記複数の基板の縁部を支持可能な蓋体側基板支持部と、
前記基板収納空間の内部において前記蓋体側基板支持部と対をなすように配置され、前記複数の基板の縁部を支持可能であり、前記蓋体によって前記容器本体開口部が閉塞されているときに、前記蓋体側基板支持部と協働して前記複数の基板を支持する奥側基板支持部と、を備え、
前記蓋体側基板支持部は、蓋体側基板受け部と、前記蓋体側基板受け部の一端部と他端部とにそれぞれ接続された一対の蓋体側脚部と、を備え、
前記蓋体の内面の一部であって、前記容器本体開口部を閉塞する部分には、奥行方向とは反対の方向に窪んだ蓋体脚部固定用凹部が形成され、
前記一対の蓋体側脚部のうちの一方の蓋体側脚部は、前記蓋体脚部固定用凹部の外部において固定され、前記一対の蓋体側脚部のうちの他方の蓋体側脚部は、前記蓋体脚部固定用凹部の内部において固定されている基板収納容器。
前記蓋体側基板受け部は、前記一方の蓋体側脚部の一部であって前記蓋体に固定されている部分を揺動軸心として揺動可能である請求項１に記載の基板収納容器。
前記蓋体側基板受け部は、前記蓋体脚部固定用凹部の内部に配置されておらず、前記奥行方向において前記蓋体脚部固定用凹部よりも奥側に配置されている請求項１に記載の基板収納容器。
前記蓋体は、シール部材取付部を有し、
前記シール部材取付部に取り付けられ、前記開口周縁部に当接可能であり、前記開口周縁部と前記蓋体との間に介在して前記開口周縁部に密着して当接することにより、前記蓋体によって前記容器本体開口部を気密の状態で閉塞するシール部材を備え、
前記一方の蓋体側脚部は、前記蓋体の部分であって、前記容器本体の一端部から当該一端部に対する他端部へと向かう方向である奥行方向において、前記シール部材取付部よりも奥側の部分に固定され、前記他方の蓋体側脚部は、前記蓋体の部分であって、前記奥行方向において、前記シール部材取付部よりも手前側の部分に固定されている請求項１記載の基板収納容器。
前記蓋体側基板受け部は、前記容器本体の一端部と他端部とを結ぶ方向に直交する方向において対をなして配置され、
前記対をなしている蓋体側基板受け部のうちの一方の前記蓋体側基板受け部に接続された蓋体側脚部と、前記対をなしている蓋体側基板受け部のうちの他方の前記蓋体側基板受け部に接続された蓋体側脚部とは、別体で構成されている請求項１〜請求項４のいずれかに記載の基板収納容器。