JP2012004380A - 基板収納容器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体ウェーハW収納用の容器本体1と、容器本体1の正面2を開閉する蓋体10とを備え、蓋体10の半導体ウェーハWに対向する対向裏面12に、半導体ウェーハWを保持するフロントリテーナ30を装着する。フロントリテーナ30を、対向裏面12の両側部に装着される一対の支柱31と、各支柱31から対向裏面12の中央部方向に伸長する第一の弾性片34と、第一の弾性片34の先端部に連結されて蓋体10に固定される一対の分割支柱44と、一対の分割支柱44間に架設される第二の弾性片46とから構成し、第一、第二の弾性片34・46に、半導体ウェーハWの前部周縁を保持溝40・40Aで保持する第一、第二の保持ブロック39・39Aを形成する。
【選択図】図2
Description
フロントリテーナは、蓋体の基板に対向する対向面に取り付けられる一対の支柱と、各支柱から蓋体の対向面中央部方向に伸びる第一の弾性片と、この第一の弾性片に連結されて蓋体に固定される一対の分割支柱と、この一対の分割支柱間に架設される第二の弾性片とを含み、第一、第二の弾性片に、基板の周縁部を保持溝で保持する第一、第二の保持ブロックをそれぞれ設けたことを特徴としている。
また、施錠機構を、蓋体に回転可能に支持されて外部から操作される回転プレートと、この回転プレートの回転に伴い蓋体の上下方向にスライドする複数のスライドプレートと、各スライドプレートのスライドに伴い蓋体から出没する回転可能な複数の施錠爪とから構成し、複数のスライドプレートをフロントリテーナの支柱と第一の弾性片との少なくともいずれか一方に間接的に対向させることができる。
また、第一の弾性片は、支柱から蓋体の対向面中央部方向に伸びる屈曲伸長部と、この屈曲伸長部に形成されて容器本体の内方向に膨出する膨出部と、この膨出部と分割支柱とを連結する屈曲連結部とを含み、膨出部の表面側に第一の保持ブロックを形成し、膨出部の裏面側には、蓋体の凹部に接離可能(接触したり、離れたりする)に嵌まる凸部を突出形成することが可能である。
また、請求項3記載の発明によれば、第一、第二の弾性片の保持力を大小異ならせるので、第一、第二ブロックの保持溝から基板が脱落したり、回転するのを防ぐことができ、しかも、第二の弾性片が基板を保持する保持力が過度に弱化しないので、基板の安定支持が期待できる。
また、請求項5記載の発明によれば、第二の弾性片が上下方向に位置ずれするのを規制したり、基板、蓋体、フロントリテーナの間で衝撃や振動の伝播を緩和することが可能になる。
2 正面
3 支持片
4 規制部
7 リムフランジ
10 蓋体
11 蓋本体
12 対向裏面
14 リブ
15 リブ溝(凹部)
19 施錠機構
20 回転プレート
21 スライドプレート
30 フロントリテーナ
31 支柱
34 第一の弾性片
35 屈曲伸長部
36 膨出部
37 屈曲連結部
38 タグ(凸部)
39 第一の保持ブロック
39A 第二の保持ブロック
40 保持溝
41 凹み溝
42 傾斜誘導面
43 内壁面
40A 保持溝
41A 凹み溝
42A 傾斜誘導面
43A 内壁面
44 分割支柱
46 第二の弾性片
47 湾曲部
48 バー部
49 タグ(凸部)
W 半導体ウェーハ(基板)
Claims (6)
- 基板を収納する容器本体と、この容器本体の開口した正面を開閉する蓋体とを備え、この蓋体に、基板の周縁部を保持するフロントリテーナを取り付けた基板収納容器であって、
フロントリテーナは、蓋体の基板に対向する対向面に取り付けられる一対の支柱と、各支柱から蓋体の対向面中央部方向に伸びる第一の弾性片と、この第一の弾性片に連結されて蓋体に固定される一対の分割支柱と、この一対の分割支柱間に架設される第二の弾性片とを含み、第一、第二の弾性片に、基板の周縁部を保持溝で保持する第一、第二の保持ブロックをそれぞれ設けたことを特徴とする基板収納容器。 - 蓋体に、容器本体の正面に嵌め合わされた蓋体を施錠する施錠機構を設け、この施錠機構の少なくとも一部に、フロントリテーナの支柱と第一の弾性片との少なくともいずれか一方をオーバーラップさせるようにした請求項1記載の基板収納容器。
- 第一の弾性片が基板を保持する保持力をAとし、第二の弾性片が基板を保持する保持力をBとした場合、A>Bとした請求項1又は2記載の基板収納容器。
- 第一の弾性片は、支柱から蓋体の対向面中央部方向に伸びる屈曲伸長部と、この屈曲伸長部に形成されて容器本体の内方向に膨出する膨出部と、この膨出部と分割支柱とを連結する屈曲連結部とを含み、膨出部の表面側に第一の保持ブロックを形成し、膨出部の裏面側には、蓋体の凹部に接離可能に嵌まる凸部を突出形成した請求項1、2、又は3記載の基板収納容器。
- 第二の弾性片は、一対の分割支柱にそれぞれ形成される湾曲部と、この一対の湾曲部間に架設されるバー部とを含み、湾曲部の表面側に第二の保持ブロックを形成し、湾曲部の裏面側には、蓋体の凹部に接離可能に嵌まる凸部を突出形成した請求項1ないし4いずれかに記載の基板収納容器。
- 第一、第二の保持ブロックの保持溝を、ブロックに形成されて基板の周縁部を挟み持つ凹み溝と、ブロックに傾斜形成されて凹み溝に基板の周縁部を誘導する一対の傾斜誘導面とから断面略Y字形に形成し、凹み溝の対向する一対の内壁面をそれぞれ傾斜させてそれらの間の傾斜角θ1を30〜50°とし、各傾斜誘導面を凹み溝の内壁面端部に連続させてその傾斜角θ2を100〜120°とした請求項1ないし5いずれかに記載の基板収納容器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010138503A JP5483351B2 (ja) | 2010-06-17 | 2010-06-17 | 基板収納容器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010138503A JP5483351B2 (ja) | 2010-06-17 | 2010-06-17 | 基板収納容器 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012004380A true JP2012004380A (ja) | 2012-01-05 |
JP5483351B2 JP5483351B2 (ja) | 2014-05-07 |
Family
ID=45536024
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010138503A Active JP5483351B2 (ja) | 2010-06-17 | 2010-06-17 | 基板収納容器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5483351B2 (ja) |
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---|---|
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