KR102385686B1 - 퀵-릴리즈 밸브 모듈, 상기 퀵-릴리즈 밸브 모듈이 제공된 레티클 포드, 및 상기 레티클 포드에 퀵-릴리즈 밸브 모듈을 신속하게 제공하기 위한 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 채널을 형성하는 가요성 그로밋 및 그 단부에 디스크부를 갖는 피스톤을 포함하고, 피스톤의 디스크부는 가요성 그로밋에 노출되는 퀵-릴리즈 밸브 모듈을 제공한다.

Description

퀵-릴리즈 밸브 모듈, 상기 퀵-릴리즈 밸브 모듈이 제공된 레티클 포드, 및 상기 레티클 포드에 퀵-릴리즈 밸브 모듈을 신속하게 제공하기 위한 방법{QUICK-RELEASE VALVE MODULE, RETICLE POD PROVIDED WITH QUICK-RELEASE VALVE MODULE, AND METHOD FOR QUICKLY PROVIDING QUICK-RELEASE VALVE MODULE ON A RETICLE POD}
본 발명은 퀵-릴리즈 밸브 모듈에 관한 것으로, 보다 상세하게는 레티클 포드의 외부 포드 상에 제공된 퀵-릴리즈 밸브 모듈에 관한 것이다.
Hewlett-Packard에 의해 개발된 SMIF(Standard Mechanical Interface) 시스템은 일반적으로 웨이퍼 및 레티클용 장치를 운송 및 보관하기 위해 반도체 산업에서 제조업체에 의해 채택된다. SMIF 시스템은 운송 및 보관 과정에서 웨이퍼 및 레티클을 둘러싼 공기가 상기 웨이퍼 및 레티클에 대해 고정된 상태를 유지하고 클린 룸의 입자가 상기 웨이퍼 및 레티클에 인접한 영역으로 들어가지 않도록 하는 역할을 한다.
따라서, 주변 환경의 공기 또는 입자가 용기로 유입되는 것을 방지하기 위해 SMIF 시스템의 운반 용기는 충분히 밀폐되어야 한다. 웨이퍼 표면의 산화 또는 그 위에서 유기 오염을 방지하기 위해, 질소, 불활성 가스 또는 탈수된 건조 가스(1% 미만의 물)와 같은 가스가 웨이퍼 용기에 추가로 충전될 수 있다. 결과적으로, 운송 컨테이너로부터 가스 누출을 방지할뿐만 아니라 가스의 원활한 충전을 보장하기 위해 운송 컨테이너 상에 밸브가 제공될 수 있다.
종래 기술의 밸브의 개폐는 전형적으로 내부에 배치된 금속 스프링에 의해 작동된다. 이러한 설계는 일반적으로 작동 스프링 사이 또는 스프링과 밸브 벽 사이에서 마찰을 일으켜 금속 입자가 운반 컨테이너로 들어가게 한다. 결과적으로, 웨이퍼 또는 레티클이 오염되고 전체 제조 공정에 영향을 미친다.
또한, 오늘날 시판되는 밸브는 제조 공정 동안 안정적인 수율을 유지하기 위해 탄성 피로로 인해 일정한 교체가 필요하다. 일반적으로, 개별 구성 요소가 아닌 전체 밸브 모듈을 교체해야 하므로 생산 비용이 증가한다.
대만 특허 제I423451호에 개시된 바와 같이, 종래 기술의 밸브는 전형적으로베이스 상에 제공된 밸브 시트에 배치된다; 밸브를 고정하기 위해 베이스에 커버가 제공된다. 따라서, 밸브를 교체하기 위해서는 운송 컨테이너 베이스의 후면 커버를 먼저 제거해야 하므로 밸브가 밸브 시트에서 분리될 수 있다. 밸브를 교체하는 이 방법은 교체 과정에서 장애물을 생성하여 운반 컨테이너 내 바닥에 입자가 부착되는 경향이 있다. 결과적으로, 입자가 밸브를 통해 용기로 들어가 레티클 또는 웨이퍼를 오염시킬 가능성이 있다.
웨이퍼 처리 기술이 발전함에 따라, EUV(극자외선) 리소그래피 프로세스와 같은 웨이퍼 관련 프로세스에서 입자가 운송 컨테이너로 들어가는 것을 방지하는 기술에 대한 요구가 증가하고 있다. 본 발명은 용이하게 조립될 수 있고, 운반 용기 상에 신속하게 장착될 수 있으며 용기로 들어가는 입자의 수를 감소시킬 수 있는 본체를 갖는 퀵-릴리즈 밸브 모듈을 제공한다; 본 발명은 또한 그 제조 방법을 제공한다. 본 발명에 따른 퀵-릴리즈 밸브 모듈 및 이의 제조 방법은 보다 우수한 산업상 이용가능성을 달성할 수 있다.
본 발명의 목적은, 밸브 모듈의 어셈블리 및 레티클 포드의 베이스에 상기 밸브 모듈 장착의 어려움과 같은 특정 단점을 극복하기 위해, 종래의 밸브 모듈과 함께 입자를 모으는 것을 방지할 수 있는 퀵-릴리즈 밸브 모듈 및 상기 밸브 모듈을 제조하는 방법을 제공하는 것이다.
상술한 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 공기 통로에 사용하도록 형성된 퀵-릴리즈 밸브 모듈로서, 채널을 정의하는 가요성 그로밋; 상기 채널에 적어도 부분적으로 수용된 원통형 베이스; 상기 채널로부터의 공기 흐름을 필터링하도록 구성된 필터 모듈; 상기 원통형 베이스 내에 수용되는 피스톤의 일단 및 피스톤의 타단에 디스크부를 갖는 피스톤; 및 상기 피스톤의 타단과 상기 필터 모듈 사이에 배치된 탄성 부재를 포함하고, 상기 피스톤의 디스크부가 가요성 그로밋에 노출된 퀵-릴리즈 밸브 모듈을 제공한다.
일 실시예에서, 피스톤은 내부 통로를 갖는 로드부와 상기 로드부로부터 반경방향으로 뻗어 있는 디스크부를 포함하고, 상기 로드부는 디스크부에 가해진 외력 하에서 원통형 베이스에 대해 상대적으로 슬라이딩 가능하며, 이에 의해 로드부의 내부 통로와 공기 통로가 서로 연통된다.
일 실시예에서, 디스크부는 외력이 가해지면 상기 가요성 그로밋의 채널을 밀봉하고 외력이 가해지지 않으면 상기 가요성 그로밋으로부터 이탈되도록 구성된다.
일 실시예에서, 필터 모듈은 탄성 부재에 대해 가압하기 위해 원통형 베이스에서 뻗어 있는지지 부재를 갖는다.
일 실시예에서, 가요성 그로밋은 채널의 에지로부터 반경방향으로 뻗어 있는 환형 씰링면을 갖고, 상기 환형 씰링면은 피스톤의 디스크부와 협력하여 씰링을 형성하도록 구성된다.
일 실시예에서, 가요성 그로밋은 주변에 형성된 그루브를 가지며, 상기 그루브는 공기 통로에서 퀵-릴리즈 밸브 모듈을 잠그기 위해 사용되는 환형 고정 부재와 맞물리도록 구성된다.
일 실시예에서, 로드부에는 상기 로드부와 상기 원통형 베이스 사이를 씰링을 형성하는 씰링 링이 제공된다.
일 실시예에서, 피스톤의 디스크부에는 탄성 씰링 링 및 상기 탄성 씰링 링을 수용하는 그루브가 더 제공된다.
일 실시예에서, 피스톤의 디스크부에는 디스크부의 원주에 맞도록 내측으로 반경방향으로 뻗어 있는 탄성 씰링 밴드가 더 제공된다.
일 실시예에서, 피스톤의 디스크부에는 탄성 씰링 패드가 더 제공된다.
일 실시예에서, 퀵-릴리즈 밸브 모듈이 공기 통로에 수용될 때 공기 통로를 형성하는 밸브 시트와 씰링을 형성하도록 구성된 복수의 탄성 플랩을 더 포함한다.
일 실시예에서, 피스톤의 디스크부에 대면하는 측면에서 원통형 베이스에는 탄성 씰링 링이 더 제공된다.
일 실시예에서, 탄성 씰링 링은 디스크가 가스 충전 패널에 의해 가압될 때 디스크부와 원통형 베이스 사이에 씰링을 형성하도록 구성된다.
상술한 목적을 달성하기 위해, 레티클 포드 내에 상기의 퀵-릴리즈 밸브 모듈을 제공하기 위한 방법을 더 제공하고, 상기 레티클 포드는 베이스 보드를 갖는 베이스를 포함하고, 상기 베이스는 각각이 공기 통로를 형성하는 복수의 밸브 시트를 구비하며, 상기 베이스 보드는 상기 밸브 시트에 대응하는 복수의 개구를 갖는다. 상기 방법은 가요성 그로밋의 주변에 환형 고정 부재를 제공하는 단계; 상기 환형 고정 부재를 갖는 퀵-릴리즈 밸브 모듈을 베이스 보드의 개구를 통해 통과시키고, 베이스의 밸브 시트에 가요성 그로밋의 일부를 수용하는 단계; 및 밸브 시트에 퀵-릴리즈 밸브 모듈을 고정시키기 위해 환형 고정 부재가 개구의 에지에 대해 가압되도록 강제하는 단계를 포함한다.
상술한 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 채널이 내부에 정의된 가요성 그로밋, 상기 채널의 연장부에 수직인 제한면 및 상기 제한면에 인접한 측면; 및 상기 가요성 그로밋의 측면과 일치하고, 상기 가요성 그로밋을 선택적으로 설치하기 위해 레티클 포드 베이스 상에 형성된 개구의 적어도 하나의 노치와 협력하도록 구성된 적어도 하나의 이어부를 갖는 환형 고정 부재를 포함하는 퀵-릴리즈 밸브 모듈을 더 제공한다.
일 실시예에서, 환형 고정 부재는 가요성 그로밋의 제한면에 더 접촉한다.
일 실시예에서, 제한면에 인접한 측면은 그 위에 정의된 오목면을 더 포함하고, 환형 고정 부재는 측면의 오목면과 일치한다.
일 실시예에서, 가요성 그로밋은 채널의 에지로부터 뻗어 있는 환형 씰링면을 더 갖는다.
일 실시예에서, 이어부는 가요성 그로밋의 제한면으로부터 반경으로 돌출된다.
상술한 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 레티클 포드 내에 퀵-릴리즈 밸브 모듈을 적재하기 위한 방법을 더 제공한다. 상기 방법은: 적어도 하나의 노치를 갖는 개구가 형성되고 퀵-릴리즈 밸브 모듈을 수용하도록 구성된 베이스를 제공하는 단계; 가요성 그로밋 및 환형 고정 부재를 포함하는 퀵-릴리즈 밸브 모듈을 제공하는 단계; 및 상기 가요성 그로밋 및 이어부를 베이스의 개구 및 노치를 통해 통과시키고 환형 고정 부재를 회전시켜 가요성 그로밋을 선택적으로 설치하는 단계를 포함하고, 상기 가요성 그로밋은 내부에 형성된 채널, 상기 채널의 연장부에 수직인 제한면 및 상기 제한면에 인접한 측면을 가지며, 상기 환형 고정 부재는 가요성 그로밋의 측면과 일치하고 적어도 하나의 이어부를 갖는다.
일 실시예에서, 베이스는 개구를 형성하는 베이스 보드를 가지며, 상기 베이스 보드는 이어부의 회전 후에 이어부에 의해 밀려서 가요성 그로밋이 설치된다.
일 실시예에서, 베이스는 베이스는 레티클 포드의 내부에 결합된 밸브 시트를 가지며, 가요성 그로밋의 주변부 및 밸브 시트가 씰링을 형성하고, 상기 가요성 그로밋의 채널은 레티클 포드의 내부와 연통한다.
일 실시예에서, 환형 고정 부재는 가요성 그로밋의 제한면에 더 접촉한다.
일 실시예에서, 제한면에 인접한 측면에는 그 위에 정의된 오목면이 더 있고, 환형 고정 부재는 측면의 오목면과 일치한다.
본 발명의 내용에 포함됨.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 레티클 포드의 베이스에 배치된 퀵-릴리즈 밸브 모듈의 확대 개략도이다.
도 2a 내지 도 2c는 퀵-릴리즈 밸브 모듈을 레티클 포드의 베이스에 신속하게 장착하는 방법을 도시한 개략도이다.
도 3은 퀵-릴리즈 밸브 모듈의 외부로부터의 사시도이다.
도 4는 퀵-릴리즈 밸브 모듈의 분해도이다.
도 5는 퀵-릴리즈 밸브 모듈의 횡단면도이다.
도 6은 도 1의 확대 개략도에 도시된 퀵-릴리즈 밸브 모듈의 횡단면도이다.
도 7a는 가스 충전 공정 전의 퀵-릴리즈 밸브 모듈의 단면도이다.
도 7b는 가스 충전 공정 동안 퀵-릴리즈 밸브 모듈의 횡단면도이다.
도 8a는 본 발명의 일 실시예에 따른 탄성 씰링 링 및 상기 탄성 씰링 링을 수용하기 위한 그루브를 구비한 퀵-릴리즈 밸브 모듈의 횡단면도이다.
도 8b는 탄성 씰링 링과 가스 충전 장치 패널 사이에 기밀 씰을 갖는 퀵-릴리즈 밸브 모듈의 횡단면도이다.
도 9a는 본 발명의 다른 실시예에 따른 탄성 씰링 링을 갖는 가스 충전 공정이 시작되기 전의 퀵-릴리즈 밸브 모듈의 횡단면도이다.
도 9b는 본 발명의 다른 실시예에 따른 탄성 씰링 링과 가스 충전 장치 패널 사이에 기밀 씰을 갖는 퀵-릴리즈 밸브 모듈의 횡단면도이다.
도 10a는 본 발명의 일 실시예에 따른 탄성 씰링 밴드를 갖는 퀵-릴리즈 밸브 모듈의 횡단면도이다.
도 10b는 탄성 씰링 밴드와 가스 충전 장치 패널 사이에 기밀 씰을 갖는 퀵-릴리즈 밸브 모듈의 횡단면도이다.
도 11은 본 발명의 일 실시예에 따른 탄성 씰링 패드와 가스 충전 장치 패널 사이에 기밀 씰을 갖는 퀵-릴리즈 밸브 모듈의 횡단면도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 구성의 개략도를 참조하여 본 발명의 실시예를 설명할 것이다. 개략도에 도시된 모양과 구성은 제조 기술, 설계 및/또는 허용오차로 인해 다를 수 있다. 그러므로, 본 명세서에 제공된 실시예는 본 발명을 특정 구성 요소 또는 형상으로 제한하는 것으로 해석되지 않아야 한다; 대신, 이들은 제조 공정에 의해 야기된 임의의 형태 차이를 포함해야 한다.
도 1에 도시된 바와 같이, 레티클 포드의 베이스(110)에는 복수의 밸브 시트(120), 상기 밸브 시트(120)에 대응하는 복수의 퀵-릴리즈 밸브 모듈(200) 및 상기 복수의 퀵-릴리즈 밸브 모듈(200)의 측면과 결합하는 복수의 환형 고정 부재(300)가 제공된다. 한 쌍의 이어부(ear portion)(310)가 각각의 환형 고정 부재(300)로부터 뻗어 있다. 이 실시예에서, 복수의 밸브 시트(120) 및 대응하는 퀵-릴리즈 밸브 모듈(200)이 베이스(110)의 네 모서리의 팁에 배치되는 것이 바람직하나, 다른 구성도 또한 가능하다.
하기의 설명은 레티클 포드의 베이스에 퀵-릴리즈 밸브 모듈(200)을 신속하게 장착하는 방법을 설명한다. 도 2a에 도시된 바와 같이, 레티클 포드의 베이스는 밸브 시트(120)의 개수에 대응하는 복수의 개구(131)를 갖는 베이스 보드(130)를 포함한다. 개구(131) 및 밸브 시트(120)의 내부는 공기 통로를 형성한다. 베이스 보드(130)는 또한 한 쌍의 오목한 노치(132)가 있으며, 각각의 노치는 환형 고정 부재(300)의 각각의 이어부(310)보다 더 크다. 이와 같이, 한 쌍의 이어부(310)는 한 쌍의 노치(132)를 통과할 수 있고, 환형 고정 부재(300)도 또한 개구(131)를 통과할 수 있다. 노치(132)의 형상 및 개수는 이어부(310)의 형상 및 개수에 대응하며, 본 명세서의 실시예에서 설명된 형상에 국한되지 않는다.
도 2b에 도시된 바와 같이, 사용자는 환형 고정 부재(300)를 갖는 퀵-릴리즈 밸브 모듈(200)이 개구(131) 및 한 쌍의 노치(132)를 통과하도록 한 다음, 퀵-릴리즈 밸브 모듈(200)을 밸브 시트(120)에 고정시킬 수 있다.
그 후, 도 2c에 도시된 바와 같이, 환형 고정 부재(300)의 한 쌍의 이어부(310)는 사용자에 의해 공구를 사용하여 또는 맨손으로 원주 방향으로 회전될 수 있어, 환형 고정 부재(300)는 한 쌍의 이어부(310)가 개구(131)의 에지에(노치(132)가 위치된 곳 이외의 위치에) 나사 결합되는 동안 퀵-릴리즈 밸브 모듈(200)이 밸브 시트(120)에 나사 결합되게 할 수 있다. 결과적으로, 환형 고정 부재(300)의 한 쌍의 이어부(310)는 베이스 보드(130)의 내부 공간 내의 표면에 가압 될 것이며, 이에 의해 퀵-릴리즈 밸브 모듈(200)이 느슨해지지 않고 밸브 시트(120) 내에 고정될 것이다.
종래 기술의 방법은 베이스 보드를 먼저 해체하고 밸브 시트에 고정된 밸브를 제거하고 다음에 꺼낼 것을 요구한다. 대조적으로, 본 발명은 레티클 포드 상에 퀵-릴리즈 밸브 모듈(200)을 배치하기 위한 상술한 바와 같은 방법을 제공하며, 이 방법에 의해 한 쌍의 이어부(310)가 개구(131)의 에지 또는 노치(132) 쌍으로 직접 나사 결합될 수 있다; 따라서, 퀵-릴리즈 밸브 모듈(200)은 베이스 보드를 해체하지 않고도 밸브 시트(120) 내에 직접 배치되거나 제거될 수 있다.
다음의 설명은 도 3 내지 도 5를 참조로 퀵-릴리즈 밸브 모듈(200)의 구조를 설명한다. 도 3은 퀵-릴리즈 밸브 모듈(200)의 외부로부터의 사시도이다; 도 4는 퀵-릴리즈 밸브 모듈(200)의 분해도이다; 도 5는 도 1의 확대 개략도에 도시된 퀵-릴리즈 밸브 모듈(200)의 횡단면도이다. 이들 도면에 도시된 바와 같이, 퀵-릴리즈 밸브 모듈(200)은 가요성 그로밋(210), 피스톤(220), 원통형 베이스(230), 씰링 링(240), 탄성 부재(250) 및 필터 모듈(260)을 포함하고, 가요성 그로밋(210)은 그 내에 수직방향으로 뻗어 있는 채널을 갖고 상기 가요성 그로밋(210)의 외부에 그루브가 형성된다. 그루브는 그 위에 장착된 환형 고정 부재(300)를 수용하기 위해 사용되며, 상기 환형 고정 부재(300)는 개구(131)에 수용된 퀵-릴리즈 밸브 모듈(200)의 내부와 결부하여 밸브 시트(120)의 내부에 의해 형성된 가스 채널을 잠그기 위해 사용된다. 또한, 가요성 그로밋(210)은 외부에 형성된 복수의 탄성 플랩(213)을 더 포함한다; 상기 탄성 플랩(213)은 밸브 시트(120)의 내벽과 맞물려 탄성력에 의해 기밀 씰을 형성한다. 원통형 베이스(230) 및 필터 모듈(260)이 채널(212) 내에 수용될 수 있고,가요성 그로밋(210)은 탄성력에 의해 원통형 베이스(230) 및 필터 모듈(260)에 밀착되어, 이들 중 3개가 기밀 씰을 형성한다. 원통형 베이스(230) 및 이에 대응하는 가요성 그로밋(210)이 한 피스로 형성되고 더 넓은 채널을 가지며, 이로부터 더 협소한 채널로 실린더를 연장시킨다. 또한, 가요성 그로밋(210)은 채널(212)의 에지로부터 반경방향으로 뻗어 있고 환형 씰링면(214)을 형성한다. 다른 가능한 실시예에서, 상기 가요성 그로밋은 더 크거나 더 작은 크기일 수 있지만, 유사한 기능을 제공하기 위해 여전히 유사한 연결을 갖도록 구성된다.
필터 모듈(260)은 여과막 캡(262)을 수용 및 고정하기 위한 여과막 홀더(261)를 포함하여, 유체가 통과할 수 있게 한다(독자의 편의를 위해, 여과막 캡을 통과하는 유체의 상세 내용은 도면에 도시하지 않았다). 여과막 홀더(261)와 여과막 캡(262) 사이에 여과막(263)이 배치되어 있다. 여과막(263)은 여과막 캡(262)에 의해 여과막 홀더(261)에 고정될 수 있고, 이에 의해 여과막 홀더(261) 및 여과막 캡(262) 사이에 고정될 수 있다. 또한, 여과막 홀더(261)가 여과막 캡(262)을 수용하는 면의 반대쪽에, 여과막 홀더(261)는 그 측면의 중심면으로부터 뻗어 있는지지 부재(2611)를 포함하며, 상기 지지 부재(2611)의 축은 피스톤(220)의 축에 가깝거나 피스톤의 축과 동일한다. 지지 부재(2611)가 뻗어 있는 동일한 측에서, 복수의 락킹 부재(2612)가 그 주변 에지 근처에서 여과막 홀더(261)의 표면으로부터 뻗어 있다. 복수의 락킹 부재(2612)에 의해 형성된 원주는 원통형 베이스(230)의 더 넓은 채널에 의해 형성된 내경에 근사하거나 내경과 같은 외경을 갖는다. 이와 같이, 필터 모듈(260)은 복수의 락킹 부재(2612)에 의해 원통형 베이스(230) 상에 락킹될 수 있다.
도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 피스톤(220)은 직선 로드부(221) 및 상기 직선 로드부(221)로부터 뻗어 있는 디스크부(222)를 포함하고; 디스크부(222)는 환형 씰링면(214)과 결부하여 기밀 씰을 형성할 수 있다. 복수의 중공 에어 홀(223)이 직선 로드부(221)의 벽에 배치되고; 에어 홀(223)은 가스가 피스톤(220)의 내부 및 외부를 통과하도록 한다. 또한, 에어 링(223)의 상부 에지에는 씰링 링(240)이 배치된다. 구체적으로, 씰링 링(240)은 바람직하게는 직선 로드부(221)의 외벽 및 에어 홀(223) 부근에 배치된다. 더욱이, 원통형 베이스(230)의 내부를 향하는 피스톤(220)의 단부에 탄성 부재(250)가 배치된다. 탄성 부재(250)는 원통형 베이스(230)의 내부를 대면하는 피스톤(220)의 단부에 직접 배치될 수 있다. 탄성 부재(250)는 직선 로드부(221)의 단부에 직접 배치될 수 있다; 바람직하게, 직선 로드부(221)는 탄성 부재(250)를 수용하기 위한 공간을 포함하므로, 탄성 부재(250)는 외부 요인으로 인해 떨어지지 않고 직선 로드부(221)의 단부에 고정될 수 있다.
따라서, 씰링 링(240) 및 탄성 부재(250)가 제공되는 상기 피스톤(220)이 원통형 베이스(230)의 협소한 채널 내에 배치된다. 보다 구체적으로, 피스톤(220)의 직선 로드부(221)의 외경은 원통형 베이스(230)의 협소한 채널의 내경과 동일하므로, 직선 로드부(221)의 외벽은 원통형 베이스(230)의 협소한 채널의 내벽에 끼워 질 수 있다. 직선 로드부의 일단에 씰링 링(240) 및 탄성 부재(250)가 제공된다. 씰링 링(240) 및 탄성 부재(250)는 원통형 베이스(230)의 더 넓은 채널에 의해 형성된 내부 공간 내에 배치된다. 대조적으로, 직선 로드부(221)의 타단은 원통형 베이스(2)의 협소한 채널 내에 슬라이딩할 수 있다. 한편, 직선 로드부(221)로부터 뻗어 있는 디스크부(222)는 피스톤(220) 및 원통형 베이스(230)의 외부에 배치된다.
필터 모듈(260)이 원통형 베이스(230)에 고정됨에 따라, 필터 모듈(260)의 지지 부재(2611)가 원통형 베이스(230)의 더 넓은 채널 내부에 배치되고 피스톤(220)의 축과 정렬된다. 따라서, 지지 부재(2611)가 피스톤(220)의 탄성 부재(250)와 접촉할 수 있다. 피스톤(220)이 작동되지 않을 때, 상술한 바와 같이, 지지 부재(2611)를 누르지 않을 것이다. 구성 요소는 도 4에 도시된 같이 퀵-릴리즈 밸브 모듈의 구조로 도 2에 도시된 바와 같은 외관을 형성한다.
다음의 설명은 사용자가 도 6 및 도 4를 참조로 퀵-릴리즈 밸브 모듈을 조립하는 방법을 설명한다. 먼저, 여과막(263)이 여과막 홀더(261)에 평평하게 놓이고, 그런 후, 여과막 캡(262)이 여과막 홀더(261)에 고정되어 필터 모듈(260)을 형성한다; 다음으로, 탄성 부재(250)가 직선 로드부(221)에 배치되어 고정된다. 이들 단계는 전체 밸브 모듈을 조립하기 전에 준비 작업을 구성하고 다른 순서로 자유롭게 배열될 수 있다.
이어서, 원통형 베이스(230)는 가요성 그로밋(210) 내에 배치되고 피스톤(220)의 직선 로드부(221)는 원통형 베이스(230)의 협소한 채널을 통해 원통형 베이스(230) 내에 배치된다. 씰링 링(240)이 원통형 베이스(230)의 더 넓은 채널을통하여 배치되고 에어 홀(223)의 상부 에지 바로 위의 직선 로드부(221)에 고정된다; 씰링 링(240)으로 인해, 피스톤은 원통형 베이스(230)로부터 떨어지지 않을 것이다. 다음으로, 필터 모듈(260)의 지지 부재(2611)가 직선 로드부(221)의 축과 정렬되고, 필터 모듈(260)이 원통형 베이스(230)에 고정되어 (도 2에 도시된 바와 같이) 퀵-릴리즈 밸브 모듈(200)을 형성한다. 마지막으로, 환형 고정 부재(300)가 디스크부(222)에 가까운 단부에서 퀵-릴리즈 밸브 모듈(200)의 가요성 그로밋(210)의 외부에 끼워져 결합된다.
상술한 바와 같은 퀵-릴리즈 밸브 모듈(200)은 다른 시판되는 밸브보다 더 신속하게 배치 및 조립될 수 있다. 밸브 모듈은 레티클에 손상을 줄 수 있는 마찰로 인한 입자를 생성함이 없이 보다 효율적으로 조립될 수 있다. 퀵-릴리즈 밸브 모듈(200)은 밸브 모듈의 구성 부품이 과도하게 사용되어 교체가 필요할 때, 전체 밸브를 교체할 필요 없이 보다 신속하고 편리하게 교체될 수 있다는 점에서 더 유리하다. 예를 들어, 입자가 여과막(263) 상에 쌓여 막을 교체할 필요가 있는 경우, 간단히 여과막 캡(262)을 들어내, 여과막(263)을 교체하고, 캡을 다시 넣음으로써 교체를 수행할 수 있다. 탄성 피로 또는 손상으로 인해 씰링 링(240) 또는 탄성 부재(250)를 교체할 필요가 있는 경우, 간단히 필터 모듈(260)을 열고 탄성 부재(250) 또는 씰링 링(240)을 직선 로드부(221)에 교체함으로써 교체를 수행할 수 있다.
(도 4에 도시된) 가요성 그로밋(210)은 내벽(211)에 대체로 수직인 제한면(215) 및 상기 제한면(215)에 인접한 측면(216)을 더 포함한다. 제한면(215) 및 측면(216)이 가요성 그로밋(210)의 주변부에 제시되고, 제한면(215)은 가요성 그로밋(210)의 외부에 형성된 플랜지(번호가 매겨지지 않음)에 의해 형성될 수 있고, 제한면(215)은 환형 씰링면(214)에 대체로 평행하여 환형 고정 부재(300) 및 이어부(310)를 제한한다. 측면(216)은 환형 씰링면(214)과 제한면(215) 사이에서 뻗어 있다. 대안으로, 측면(216)은 상기 플랜지의 직경보다 작은 직경을 갖는 표면이다. 제한면(215) 및 측면(216)은 환형 고정 부재(300)와 매칭 및 연결하기 위한 매칭부를 형성한다. 도면에 도시된 바와 같이, 측면(216)은 환형 고정 부재(300)와 매칭을 위해 그 위에 형성된 오목면(번호가 매겨지지 않음)을 더 가질 수 있다. 오목면은 환형 고정 부재(300)가 제한면(215)에 접촉할 수 있도록 제한면(215)에 연결된다. 이어부(310)는 제한면(215)을 반경방향으로 돌출시킨다. 이어부(310)는 가요성 그로밋(210)과 일체로 될 수 있다.
도 7a는 가스 충전 공정 전의 퀵-릴리즈 밸브 모듈의 횡단면도이다. 도면에 도시된 바와 같이, 퀵-릴리즈 밸브 모듈(200)의 피스톤(220)에 외력이 아직 가해지지 않았다(즉, 피스톤(220)이 가스 충전 패널(400)에 의해 가압되지 않았다); 따라서, 직선 로드부(221)의 그루브에 배치된 탄성 부재(250)가 지지 부재(2611)에 의해서만 약간 가압되고, 씰링 링(240)은 원통형 베이스(230)의 내부 공간 근처의 협소한 채널의 개구 단부에 가압된다. 이는 피스톤(220)이 원통형 베이스(230)의 채널 내에서 미끄러지지 않도록 보장한다. 한편, 피스톤(220)의 디스크부(222)는 가요성 그로밋과 접촉하지 않고 원통형 베이스(230)와 함께 갭(G)을 형성한다. 에어 홀(223)이 이제 원통형 베이스(230)의 협소한 채널 내에 위치되고, 씰링 링(240)이 협소한 채널의 개구 단부를 차단하여 기밀 씰을 형성한다고 가정하면, 유체(가스)가 피스톤(220)에 의해 형성된 경로를 따라 원통형 베이스(230)의 내부 공간으로 흐르지 않을 것이다. 즉, 퀵-릴리즈 밸브 모듈(200) 및 이에 연결된 밸브 시트(120)에 의해 생성된 경로를 통해 유체가 레티클 포드 내로 흐를 수 없다.
도 7b는 가스 충전 공정 동안 퀵-릴리즈 밸브 모듈(200)의 횡단면도이다. 퀵-릴리즈 밸브 모듈(200)은 이제 레티클 포드의 베이스(110)에 위치된 밸브 시트(120) 상에 배치된다(밸브 시트(120)는 설명의 편의를 위해 도 7b에 도시되지 않았다). 레티클 포드에 가스 충전 공정이 수행될 때, 가스 충전 패널(400)은 피스톤(220)의 디스크부(222)에 상하 방향으로 접합되고(이해하기 쉽게 하기 위해, 도 7b에 도시된 가스 충전 패널(400)은 실제 방향에 비해 거꾸로된 방향으로 디스크부(222)에 접합된다; 즉, 실제 공정에서 가스 충전 패널(400)은 상단에 배치되어 하방을 대면하는 반면, 퀵-릴리즈 밸브 모듈(200)은 하단에 배치되어 디스크부(222)가 상방을 대면한다), 디스크부(222)를 가요성 그로밋(210)과 원통형 베이스(230) 둘 다에 의해 형성된 외부면으로 밀어, 디스크부(222)가 외부면에 완전히 접착되도록 해 기밀 씰을 형성한다. 한편, 가스 충전 패널(400)은 갭(G)의 길이를 이동시키기 위해 피스톤(220)의 디스크부(222)를 구동한다; 따라서, 직선 로드부(221)는 원통형 베이스(230) 내에서 더 넓은 채널의 내부 공간을 향해 갭(G)의 길이를 슬라이딩시킨다. 이 공정 동안, 에어 홀(223)도 또한 원통형 베이스(230)의 더 협소한 채널로부터 원통형 베이스(230)의 더 넓은 채널의 내부 공간을 향해 슬라이딩(또는 노출)된다. 또한, 씰링 링(240)도 유사한 방식으로 원통형 베이스(230)의 더 넓은 채널을 향해 이동한다. 결과적으로, 유체의 흐름이 차단되지 않는다.
가스 충전 패널(400)이 디스크부(222)를 가요성 그로밋(210)과 원통형 베이스(230) 모두에 의해 형성된 외부면으로 완전히 밀면, 피스톤(220)은 움직이지 않게 된다. 그리고, 가스 충전 패널(400)의 추진력이 탄성 부재(250)의 탄성 회복력보다 크므로, 피스톤(220)은 뒤로 밀리지 않을 것이다; 다시 말해, 피스톤(220)은 제자리에 고정되고 더 이상 미끄러지지 않을 것이다.
레티클 포드에 대한 가스 충전 공정이 시작될 때, 가압 유체(압축 가스)가 가스 충전 패널(400)로부터 공급된다. 유체는 가스 충전 패널(400)로부터 도 7b에 도시된 화살표 방향을 따라 피스톤(220)의 직선 로드부(221) 내부로 유동한 후, 직선 로드부(221)의 에어 홀(223)을 통해 원통형 베이스(230)의 더 넓은 채널로 흘러, 최종적으로 필터 모듈(260) 밖으로 흘러 나간다. 유체가 필터 모듈(260)을 통해 유동하면, 유체 내에 있는 입자가 여과막(263)에 흡수되고, 따라서 필터 모듈(260)로부터 유출되는 유체는 깨끗해질 것이다.
도 7a에 도시된 바와 같이, 레티클 포드 단부에 대한 가스 충전 공정이 종료되면, 가스 충전 패널(400)은 가스 공급을 중단하고 디스크부(222)로부터 멀어 질 것이다. 한편, 탄성 부재(250)는 지지 부재(2611)에 의해 가압되고 있기 때문에 탄성 반발력을 갖고, 또한 가스 충전 패널(400)로부터 오는 추진력이 이제 사라진다; 결과적으로, 피스톤(220)은 씰링 링(240)이 원통형 베이스(230)의 협소한 채널의 단부에 결합될 때까지 탄성 부재(250)로부터 탄성 반발력의 도움으로 초기 위치를 향해 슬라이딩한다. 마침내, 피스톤(220)은 이동이 중지되고, 디스크부(222)는 초기 위치로 다시 이동하며, 여기서 가요성 그로밋(210) 및 원통형 베이스(230)에 의해 형성된 디스크부(222) 및 외부면은 그 사이에 갭(G)을 유지한다.
탄성 씰링 부재의 다양한 실시예를 아래에 상세히 설명한다. 이러한 탄성 씰링 부재는 다른 이형 유체가 레티클 포드로 유입되는 것을 방지하고 내부로 유동하는 유체의 순도를 약화시키도록 퀵-릴리즈 밸브 모듈(200)에 대해 보다 나은 기밀 씰을 제공하는 역할을 한다. 탄성 씰링 밴드 및 상기 탄성 씰링 밴드를 수용하기 위한 그루브를 구비한 퀵-릴리즈 밸브 모듈의 횡단면도를 도시한 도 8a 및 또한 탄성 씰링 밴드 및 가스 충전 장치 패널에 의해 형성된 기밀 씰을 갖는 퀵-릴리즈 밸브 모듈의 횡단면도를 도시한 도 8b를 참조하라. 도 8a에서, O-링과 같은 탄성 씰링 링(510)은 가스 충전 패널(400)과 접촉하는 디스크부(222)의 측면 상에 배치되고, 디스크부(222)의 동일한 측면에, 탄성 씰링 링(510)을 수용하기 위한 그루브(511)가 또한 상기 면에 배치된다. 도 8b에 도시된 바와 같이, 가스 충전 패널(400)이 디스크부(222)를 밀 때, 기밀 씰이 형성되고, 탄성 씰링 링(510)은 디스크부(222)와 가스 충전 패널(400) 사이에 위치된다.
본 발명은 탄성 씰링 링(510)의 다른 실시예를 더 제공한다. 도 9a는 가스 충전 공정이 시작되기 전에 상이한 유형의 탄성 씰링 링(510)을 갖는 퀵-릴리즈 밸브 모듈(200)의 횡단면도이다. 도 9b는 탄성 씰링 링(510) 및 가스 충전 패널(400)에 의해 형성된 기밀 씰을 갖는 퀵-릴리즈 밸브 모듈(200)의 횡단면도이다. 도 9a 및 도 9b에서, 탄성 씰링 링(510)은 피스톤의 디스크부(222)를 대면하는 원통형 베이스(230)의 단부 둘레에 추가로 배치되며, 탄성 씰링 링(510)은 원통형 베이스(230)의 단부에 단단히 부착되고, 퀵-릴리즈 밸브 모듈(200)을 향해 갭(G) 위치에서 볼 때 가요성 그로밋(210)의 환형 씰링면(214)으로부터 돌출된다. 가스 충전 패널(400)이 디스크부(222)를 밀 때, 탄성 씰링 링(510)은 디스크부(222)에 의해 압착 및 변형될 것이며, 기밀 씰이 디스크부(222)와 원통형 베이스(230) 사이에 형성될 것이다; 따라서, 입자는 가요성 그로밋(210)과 디스크부(222) 사이의 갭을 통해 퀵-릴리즈 밸브 모듈(200)의 내부 공간으로 들어갈 수 없다. 또한, 디스크부의 표면을 가공하여 (상술한 바와 같이) 그루브를 형성할 필요가 없다. 대안으로, 탄성 씰링 링(510)은 원통형 베이스(230)를 바라보며 디스크부(222) 상 에 형성되거나 배치될 수 있다.
도 10a는 탄성 씰링 밴드를 갖는 퀵-릴리즈 밸브 모듈의 횡단면도이다. 도 10b는 탄성 씰링 밴드와 가스 충전 장치 패널 사이에 기밀 씰이 형성된 퀵-릴리즈 밸브 모듈의 횡단면도이다. 도 10a에서, 반경방향으로 내측으로 뻗어 있는 탄성 씰링 밴드(520)가 디스크부(222) 상에 배치되고 디스크부의 원주에 맞으며, 여기서 탄성 씰링 밴드(520)의 두께는 갭(G)의 폭보다 작고, 피스톤(220)의 동작에 영향을 끼치지 않는다. 도 10b는 가스 충전 패널(400)이 디스크부(222)를 밀 때, 탄성 씰링 밴드(520)가 디스크부(222)의 원주와 가스 충전 패널(400)의 원주 사이에 위치되어 기밀 씰을 형성할 것임을 보여준다.
도 11은 탄성 씰링 패드를 구비한 퀵-릴리즈 밸브 모듈의 횡단면도를 도시한다. 도 11에 도시된 바와 같이, 탄성 씰링 패드(530)는 가스 충전 패널(400)이 접촉하는 측의 디스크부(222)의 표면 상에 배치된다. 가스 충전 장치 패널(400)이 디스크부(222)를 밀 때, 탄성 씰링 패드(530)는 디스크부(222)와 가스 충전 패널(400) 사이에 위치되어 기밀 씰을 형성할 것이다.
요약하면, 도 8 내지 도 11에 도시된 바와 같이 탄성 씰링 부재(예를 들어, 탄성 씰링 링(510), 탄성 씰링 밴드(520) 및 탄성 씰링 패드(530))를 사용해 디스크부(222)를 밀면서 디스크부(222)와 완전히 접촉하지 않은 경우 생성되는 채널을 통해 외부 공기가 퀵-릴리즈 밸브 모듈로 유입되는 것을 방지할 수 있다. 이와 같이, 퀵-릴리즈 밸브 모듈로 유동하는 유체의 순도가 더 증가될 수 있다. 또한, 외부로부터의 가스 입자가 퀵-릴리즈 밸브 모듈의 메커니즘을 손상시키는 것을 방지 할 수 있으므로, 밸브 모듈의 수명이 연장될 수 있다. 또한, 이들 탄성 씰링 부재가보다 용이하게 교체될 수 있다는 것을 고려하면, 저가의 구성 요소를 사용하여 향상된 밀봉 능력이 달성될 수 있다.
110: 베이스
120: 복수의 밸브 시트
130: 베이스 보드
131: 복수의 개구
132: 노치
200: 퀵-릴리즈 밸브 모듈
210: 가요성 그로밋
213: 탄성 플랩
214: 환형 씰링면
215: 제한면
216: 측면
220: 피스톤
221: 직선 로드부
222: 디스크부
223: 에어 홀
230: 원통형 베이스
240: 씰링 링
250: 탄성 부재
260: 필터 모듈
261: 여과막 홀더
262: 여과막 캡
263: 여과막
300: 환형 고정 부재
310: 한 쌍의 이어부
400 :가스 충전 패널
510: 탄성 씰링 링
520: 탄성 씰링 밴드
530: 탄성 씰링 패드
2611: 지지 부재
2612: 락킹 부재

Claims (35)

  1. 공기 통로에 사용하도록 형성된 퀵-릴리즈 밸브 모듈로서,
    채널을 정의하는 가요성 그로밋;
    상기 채널에 적어도 부분적으로 수용된 원통형 베이스;
    상기 채널로부터의 공기 흐름을 필터링하도록 구성된 필터 모듈;
    상기 원통형 베이스 내에 수용되는 피스톤의 일단 및 피스톤의 타단에 디스크부를 갖는 피스톤; 및
    상기 피스톤의 타단과 상기 필터 모듈 사이에 배치된 탄성 부재를 포함하고,
    상기 피스톤의 디스크부가 가요성 그로밋의 외부에 노출되고,
    상기 디스크부는 외력이 작용되면 가요성 그로밋의 채널을 밀봉하도록 구성되고, 외력이 작용하지 않으면 가요성 그로밋으로부터 이탈되도록 구성되는, 퀵-릴리즈 밸브 모듈.
  2. 제 1 항에 있어서,
    피스톤은 내부 통로를 갖는 로드부와 상기 로드부로부터 반경방향으로 뻗어 있는 디스크부를 포함하고, 상기 로드부는 디스크부에 가해진 외력 하에서 원통형 베이스에 대해 상대적으로 슬라이딩 가능하며, 이에 의해 로드부의 내부 통로와 공기 통로가 서로 연통되는 퀵-릴리즈 밸브 모듈.
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서,
    필터 모듈은 탄성 부재에 대해 가압하기 위해 원통형 베이스에서 뻗어 있는지지 부재를 갖는 퀵-릴리즈 밸브 모듈.
  5. 제 1 항에 있어서,
    가요성 그로밋은 채널의 에지로부터 반경방향으로 뻗어 있는 환형 씰링면을 갖고, 상기 환형 씰링면은 피스톤의 디스크부와 협력하여 씰링을 형성하도록 구성되는 퀵-릴리즈 밸브 모듈.
  6. 제 2 항에 있어서,
    가요성 그로밋은 주변에 형성된 그루브를 가지며, 상기 그루브는 공기 통로에서 퀵-릴리즈 밸브 모듈을 잠그기 위해 사용되는 환형 고정 부재와 맞물리도록 구성되는 퀵-릴리즈 밸브 모듈.
  7. 제 2 항에 있어서,
    로드부에는 상기 로드부와 원통형 베이스 사이를 씰링을 형성하는 씰링 링이 제공되는 퀵-릴리즈 밸브 모듈.
  8. 제 1 항에 있어서,
    피스톤의 디스크부에는 탄성 씰링 링 및 상기 탄성 씰링 링을 수용하는 그루브가 더 제공되는 퀵-릴리즈 밸브 모듈.
  9. 제 1 항에 있어서,
    피스톤의 디스크부에는 디스크부의 원주에 끼우도록 내측으로 반경방향으로 뻗어 있는 탄성 씰링 밴드가 더 제공되는 퀵-릴리즈 밸브 모듈.
  10. 제 1 항에 있어서,
    피스톤의 디스크부에는 탄성 씰링 패드가 더 제공되는 퀵-릴리즈 밸브 모듈.
  11. 제 1 항에 있어서,
    퀵-릴리즈 밸브 모듈이 공기 통로에 수용될 때 공기 통로를 형성하는 밸브 시트와 씰링을 형성하도록 구성된 복수의 탄성 플랩을 더 포함하는 퀵-릴리즈 밸브 모듈.
  12. 제 1 항에 있어서,
    피스톤의 디스크부에 대면하는 측면에서 원통형 베이스에는 탄성 씰링 링이 더 제공되는 퀵-릴리즈 밸브 모듈.
  13. 제 12 항에 있어서,
    탄성 씰링 링은 디스크가 가스 충전 패널에 의해 가압될 때 디스크부와 원통형 베이스 사이에 씰링을 형성하도록 구성되는 퀵-릴리즈 밸브 모듈.
  14. 퀵-릴리즈 밸브 모듈이 제공된 레티클 포드로서,
    상기 레티클 포드는 베이스 보드를 갖는 베이스를 포함하고, 상기 베이스에는 각각이 공기 통로를 형성하는 복수의 밸브 시트가 제공되고, 상기 베이스 보드는 밸브 시트에 대응하는 복수의 개구를 가지며, 각각의 밸브 시트에는 퀵-릴리즈 밸브 모듈이 제공되며,
    상기 퀵-릴리즈 밸브 모듈은:
    채널을 정의하는 가요성 그로밋;
    상기 채널에 적어도 부분적으로 수용된 원통형 베이스;
    상기 채널로부터의 공기 흐름을 필터링하기 위해 상기 원통형 베이스에 결합되는 필터 모듈;
    상기 원통형 베이스 내에 수용된 부분을 갖고, 가요성 그로밋의 외부에 노출되는 디스크부를 갖는 피스톤;
    상기 피스톤과 상기 필터 모듈 사이에 배치된 탄성 부재; 및
    상기 가요성 그로밋의 주변부에 연결되는 환형 고정 부재를 포함하고,
    상기 피스톤의 일부는 탄성 부재로 인해 원통형 베이스에 대해 상대적으로 슬라이딩 가능하고, 환형 고정 부재는 베이스 보드의 개구의 가장자리에 대해 밀어서 퀵-릴리즈 밸브 모듈이 밸브 시트에 고정되고,
    상기 디스크부는 외력이 작용되면 가요성 그로밋의 채널을 밀봉하도록 구성되고, 외력이 작용하지 않으면 가요성 그로밋으로부터 이탈되도록 구성되는, 레티클 포드.
  15. 제 14 항에 있어서,
    피스톤은 내부 통로를 갖는 로드부와 상기 로드부로부터 반경방향으로 뻗어 있는 상기 디스크부를 포함하고, 상기 로드부는 레티클 포드 디스크부에 가해지는 외력 하에서 원통형 베이스에 상대적으로 슬라이딩 가능하며, 이에 의해 상기 로드부의 내부 통로와 공기 통로가 서로 연통되는 레티클 포드.
  16. 제 14 항에 있어서,
    필터 모듈은 탄성 부재에 대해 가압하기 위해 원통형 베이스에서 뻗어 있는지지 부재를 갖는 레티클 포드.
  17. 제 15 항에 있어서,
    가요성 그로밋은 채널의 에지로부터 반경방향으로 뻗어 있는 환형 씰링면을 가지며, 상기 환형 씰링면은 피스톤의 디스크부와 협력하여 씰링을 형성하도록 구성되는 레티클 포드.
  18. 제 15 항에 있어서,
    피스톤의 디스크부에는 탄성 씰링 링 및 상기 탄성 씰링 링을 수용하는 그루브가 더 제공되는 레티클 포드.
  19. 제 15 항에 있어서,
    피스톤의 디스크부와 대면하는 측면에서 원통형 베이스에는 탄성 씰링 링이 더 제공되는 레티클 포드.
  20. 제 19 항에 있어서,
    탄성 씰링 링은 디스크가 가스 충전 패널에 의해 가압될 때 디스크부와 원통형 베이스 사이에 씰링을 형성하도록 구성되는 레티클 포드.
  21. 제 15 항에 있어서,
    피스톤의 디스크부에는 디스크부의 원주에 맞도록 내측으로 반경방향으로 뻗어 있는 탄성 씰링 밴드가 더 제공되는 레티클 포드.
  22. 제 15 항에 있어서,
    피스톤의 디스크부에는 탄성 씰링 패드가 더 제공되는 레티클 포드.
  23. 제 14 항에 있어서,
    퀵-릴리즈 밸브 모듈이 공기 통로에 수용될 때 공기 통로를 정의하는 밸브 시트와 씰링을 형성하도록 구성된 복수의 탄성 플랩을 더 포함하는 레티클 포드.
  24. 제 14 항에 있어서,
    환형 고정 부재는 그로부터 뻗어 있는 한 쌍의 이어부를 가지며, 베이스 보드의 각각의 개구는 상기 한 쌍의 이어부에 적합한 한 쌍의 노치를 가지고 있어 퀵-릴리즈 밸브 모듈이 개구를 통과할 수 있고 한 쌍의 이어부가 개구의 가장자리에 밀 때 밸브 시트에 고정되는 레티클 포드.
  25. 레티클 포드 내에 제 1 항에 따른 퀵-릴리즈 밸브 모듈을 제공하기 위한 방법으로서,
    상기 레티클 포드는 베이스 보드를 갖는 베이스를 포함하고, 상기 베이스는 각각이 공기 통로를 형성하는 복수의 밸브 시트를 구비하며, 상기 베이스 보드는 상기 밸브 시트에 대응하는 복수의 개구를 갖고, 상기 방법은:
    가요성 그로밋의 주변에 환형 고정 부재를 제공하는 단계;
    상기 환형 고정 부재를 갖는 퀵-릴리즈 밸브 모듈을 베이스 보드의 개구를 통해 통과시키고, 베이스의 밸브 시트에 가요성 그로밋의 일부를 수용하는 단계; 및
    밸브 시트에 퀵-릴리즈 밸브 모듈을 고정시키기 위해 환형 고정 부재가 개구의 에지에 대해 가압되도록 강제하는 단계를 포함하는 퀵-릴리즈 밸브 모듈을 제공하기 위한 방법.
  26. 채널이 내부에 정의된 가요성 그로밋, 상기 채널의 연장부에 수직인 제한면 및 상기 제한면에 인접한 측면; 및
    상기 가요성 그로밋의 측면과 일치하고, 상기 가요성 그로밋을 선택적으로 설치하기 위해 레티클 포드 베이스 상에 형성된 개구의 적어도 하나의 노치와 협력하도록 구성된 적어도 하나의 이어부를 갖는 환형 고정 부재를 포함하는 퀵-릴리즈 밸브 모듈.
  27. 제 26 항에 있어서,
    환형 고정 부재는 가요성 그로밋의 제한면에 더 접촉하는 퀵-릴리즈 밸브 모듈.
  28. 제 26 항에 있어서,
    제한면에 인접한 측면은 그 위에 정의된 오목면을 더 포함하고, 환형 고정 부재는 측면의 오목면과 일치하는 퀵-릴리즈 밸브 모듈.
  29. 제 26 항에 있어서,
    가요성 그로밋은 채널의 에지로부터 뻗어 있는 환형 씰링면을 더 갖는 퀵-릴리즈 밸브 모듈.
  30. 제 26 항에 있어서,
    이어부는 가요성 그로밋의 제한면으로부터 반경으로 돌출되는 퀵-릴리즈 밸브 모듈.
  31. 적어도 하나의 노치를 갖는 개구가 형성되고 퀵-릴리즈 밸브 모듈을 수용하도록 구성된 베이스를 제공하는 단계;
    가요성 그로밋 및 환형 고정 부재를 포함하는 퀵-릴리즈 밸브 모듈을 제공하는 단계; 및
    상기 가요성 그로밋 및 이어부를 베이스의 개구 및 노치를 통해 통과시키고 환형 고정 부재를 회전시켜 가요성 그로밋을 선택적으로 설치하는 단계를 포함하고,
    상기 가요성 그로밋은 내부에 형성된 채널, 상기 채널의 연장부에 수직인 제한면 및 상기 제한면에 인접한 측면을 가지며, 상기 환형 고정 부재는 가요성 그로밋의 측면과 일치하고 적어도 하나의 이어부를 갖는 레티클 포드에 퀵-릴리즈 밸브 모듈을 적재하는 방법.
  32. 제 31 항에 있어서,
    베이스는 개구를 형성하는 베이스 보드를 가지며, 상기 베이스 보드는 이어부의 회전 후에 상기 이어부에 의해 밀려져 상기 가요성 그로밋이 설치되는 레티클 포드에 퀵-릴리즈 밸브 모듈을 적재하는 방법.
  33. 제 31 항에 있어서,
    베이스는 레티클 포드의 내부에 결합된 밸브 시트를 가지며, 가요성 그로밋의 주변부 및 밸브 시트가 씰링을 형성하고, 상기 가요성 그로밋의 채널은 레티클 포드의 내부와 연통하는 레티클 포드에 퀵-릴리즈 밸브 모듈을 적재하는 방법.
  34. 제 31 항에 있어서,
    환형 고정 부재는 가요성 그로밋의 제한면에 더 접촉하는 레티클 포드에 퀵-릴리즈 밸브 모듈을 적재하는 방법.
  35. 제 31 항에 있어서,
    제한면에 인접한 측면에는 그 위에 정의된 오목면이 더 있고, 환형 고정 부재는 측면의 오목면과 일치하는 레티클 포드에 퀵-릴리즈 밸브 모듈을 적재하는 방법.
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