CN115750869A - 基板容器、快拆式气阀及其安装方法和拆卸方法 - Google Patents

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Abstract

本发明公开一种基板容器、快拆式气阀及其安装方法和拆卸方法。其中，一快拆式气阀，包括：一快拆件，所述快拆件具有一环状结构；一基板容器，包括：一基座，所述基座具有一底板，所述底板具有一个或多个开口，所述开口具有至少一凹槽；所述环状结构可拆卸地结合于所述底板的一开口中；所述环状结构在一直径方向朝外延伸有一对耳部，而在一半径方向朝外延伸一把手；所述凹槽配置成限制所述把手在一第一位置和一第二位置之间移动，所述把手在所述第一位置状态和所述第二位置状态下，分别对应所述快拆件的一释放位置和一锁定位置。本发明利用可拆卸式的快拆件来提升更换基板容器器件的便利性，可以节省时间并且提升工作效率。

Description

基板容器、快拆式气阀及其安装方法和拆卸方法
技术领域
本发明涉及应用于基板(如光掩膜)容器的气阀技术领域，尤其涉及一种基板容器、一种快拆式气阀及其安装方法和拆卸方法。
背景技术
光学光刻技术是将设计好的线路经图案化制作在可透光的光掩膜上，再将光掩膜上的图案通过光源投影至晶片上，以在晶片上曝光显影出特定的图案。在光学光刻的过程中，任何附着在光掩膜上的微粒，都会造成投影成像品质恶化。尤其是近年来随着线程的微缩化，业界朝着更小、更高逻辑密度的晶片发展，微影设备使用的光波波长已经发展到极紫外光(Extreme Ultraviolet Light,EUV)范围，对于光掩膜上的微粒数量、粒径，甚至光掩膜容器内的洁净度，都有着更为严苛的要求。
为了在光掩膜容器内维持洁净度，目前已知的其中一种做法是在光掩膜容器上设置数量不等的充气阀，利用通入气体的方式维持洁净度。实际应用中，可以是通过充气阀通以一定流量的气体，维持光掩膜容器内气体的置换率，来优化光掩膜存放的环境。光掩膜容器在充气阀处设置有过滤膜，用来过滤气体中的微粒，在经过一定次数的使用之后，滤膜需要进行更换，以维持过滤的效果。
常见的一种光掩膜容器中，是将滤膜、充气阀或是其他相关的器件，通过多个螺丝紧固的方式组装结合至光掩膜容器的基座中。当需要更换其中的器件时，例如需要更换滤膜时，必须依序卸除多个螺丝，将基座的底板整个拆卸后，才能进行滤膜的更换。而滤膜更换完毕之后，又必须重新安装底板，依序拧上多个螺丝。如此装卸底板及多个螺丝的方式相当耗费工时，使得滤膜或是其他必要器件的更换非常缺乏效率。
发明内容
本发明目的在于提供一种快拆式气阀，以较佳的解决滤膜、充气阀等相关器件的快速更换问题。
本发明另一目的在于提供一种基板容器，以配合所述快拆式气阀，并较佳的解决滤膜、充气阀等相关器件的快速更换问题。
本发明又一目的在于提供一种快拆式气阀的安装方法，以较佳的解决滤膜、充气阀等相关器件的快速更换问题。
本发明还有一目的在于提供一种快拆式气阀的拆卸方法，以较佳的解决滤膜、充气阀等相关器件的快速更换问题。
本发明的技术方案是：
本发明目的在于提供一种快拆式气阀，应用于一基板容器，所述基板容器具有一盖板及一底板，所述快拆式气阀包括：一快拆件，具有一环状结构，所述环状结构具有一内径且可拆卸地结合于所述底板的一开口中；一垫圈套筒，具有一气流通道，所述气流通道用于供一气体进入或离开所述基板容器，所述垫圈套筒具有一外径，所述外径至少大于所述环状结构的内径；以及一阀体，设置于所述气流通道，用于限制所述气体的流动方向。所述环状结构在一直径方向朝外延伸有一对耳部，在一半径方向朝外延伸一把手，一对所述耳部与所述把手位于不同的水平高度。
在一具体实施例中，所述直径方向和所述半径方向不平行。
在一具体实施例中，所述环状结构具有一外侧面及一内侧面，一对所述耳部靠近所述环状结构的内侧面设置，所述把手靠近所述环状结构的外侧面设置。
在一具体实施例中，一对所述耳部具有一下表面，一对所述耳部的所述下表面用于抵持所述底板的一内侧面或所述开口的一内侧边缘。
在一具体实施例中，所述把手具有一上表面，所述把手的所述上表面用于抵持所述底板的一外侧面。
在一具体实施例中，一对所述耳部具有一下表面，所述把手具有一上表面，在所述快拆件结合于所述开口的状态下，一对所述耳部的所述下表面抵持所述底板的一内侧面或所述开口的一内侧边缘，所述把手的所述上表面抵持所述底板的一外侧面。
在一具体实施例中，所述环状结构的一对所述耳部和所述把手配置成在所述开口的一第一位置和一第二位置之间移动。
本发明另一目的在于提供一种基板容器，所述基板容器包括一基座，所述基座包括一盖板及一底板，所述底板具有一内侧面与一外侧面，所述底板至少形成有延伸于所述内侧面和所述外侧面之间的一开口。所述开口容置一快拆式气阀。所述快拆式气阀包括：一快拆件，具有一环状结构；一垫圈套筒，具有一气流通道，所述气流通道用于供一气体进入或离开所述基板容器；以及一阀体，设置于所述气流通道，并限制所述气体的流动方向；所述环状结构在一直径方向朝外延伸一对耳部，在一半径方向朝外延伸一把手，在所述快拆件结合于所述开口的状态下，所述把手位于所述底板的外侧面，一对所述耳部位于所述底板的内侧面，所述环状结构限制所述垫圈套筒自所述开口脱出。
在一具体实施例中，所述开口包括一中央通道及位于所述中央通道旁边的两个匹配通道，所述中央通道的形状匹配所述环状结构的形状，两个所述匹配通道的形状各自与一对所述耳部中的其中一个的形状匹配，所述快拆件的所述环状结构和一对所述耳部可进入所述开口。
在一具体实施例中，所述开口包括至少一凹槽，所述凹槽位于所述底板的外侧面，配置成在所述环状结构结合于所述底板的所述开口的状态下，容纳所述环状结构的所述把手。
在一具体实施例中，所述开口的凹槽配置成限制所述把手在一第一位置和一第二位置之间移动，在所述把手位于所述第一位置的状态下，所述环状结构位于一释放位置，在所述把手位于所述第二位置的状态下，所述环状结构位于一锁定位置。
在一具体实施例中，所述凹槽具有一滑动面，所述滑动面与所述底板的外侧面平行，在所述环状结构结合于所述开口的状态下，所述环状结构的所述把手接触所述滑动面，所述把手可滑动的设置于所述滑动面上。
在一具体实施例中，在所述把手接触所述滑动面的状态下，一对所述耳部的下表面与所述底板的一内侧面齐平或位于所述底板的内侧面的上方。
在一具体实施例中，在所述环状结构位于所述释放位置的状态下，一对所述耳部可自由进出所述开口，在所述环状结构位于锁定位置的状态下，一对所述耳部位于所述底板的内侧且抵持所述底板的内侧面，所述环状结构稳固结合于所述开口中。
本发明又一目的在于提供一种快拆式气阀的安装方法，用于安装至少一个快拆式气阀至一基板容器。所述快拆式气阀包括具有一环状结构的一快拆件、具有一气流通道的一垫圈套筒以及一阀体，其中所述环状结构在一直径方向朝外延伸一对耳部，且在一半径方向朝外延伸一把手。所述基板容器包括一基座，所述基座具有一盖板及一底板，所述底板至少形成有一开口，所述盖板设有对应所述开口的一套接部。所述安装方法包括：将所述阀体容置于所述垫圈套筒的所述气流通道；将所述垫圈套筒连接于所述套接部，所述垫圈套筒与所述套接部的一内侧面之间气密配合；以及将一对所述耳部穿过所述开口，所述把手可动地接触所述底板的一外侧面，一对所述耳部位于所述底板的一内侧面，限制所述垫圈套筒自所述开口脱出。
在一具体实施例中，所述开口包括一中央通道及位于所述中央通道旁边的两个匹配通道，所述中央通道的形状匹配所述环状结构的形状，两个所述匹配通道的形状各自与一对所述耳部中的其中一个的形状匹配，所述快拆件的所述环状结构和一对所述耳部可进入所述开口。
在一具体实施例中，所述开口包括至少一凹槽，所述凹槽位于所述底板的外侧面，配置成在所述环状结构结合于所述底板的所述开口的状态下，容纳所述环状结构的所述把手。
在一具体实施例中，在一对所述耳部穿过所述开口的状态下，所述把手相对于所述开口从一第一位置移动至一第二位置，所述快拆件从一释放位置转换至一锁定位置，在所述锁定位置的状态下一对所述耳部位于所述底板的内侧面。
在一具体实施例中，所述凹槽限制了结合至所述开口的所述环状结构的所述把手在所述凹槽中的一第一位置和一第二位置之间移动，所述把手在所述第一位置的状态下和在所述第二位置的状态下，分别对应所述快拆件的一释放位置和一锁定位置，所述锁定位置限制所述垫圈套筒自所述开口脱出。
本发明还有一目的在于提供一种快拆式气阀的拆卸方法，用于从所述的安装方法将所述快拆式气阀从所述开口取出。所述拆卸方法包括：移动所述把手使一对所述耳部从一锁定位置转换至一释放位置，所述释放位置允许一对所述耳部自由进出所述开口；从所述开口中移除所述快拆件，使所述环状结构未限制所述垫圈套筒；以及从所述开口中移除所述垫圈套筒。
在一具体实施例中，所述释放位置允许一对所述耳部自由进出所述开口中的对应匹配通道，所述匹配通道的形状对应的与一对所述耳部的其中一个的形状匹配。
在一具体实施例中，所述的移动所述把手，是在所述开口的至少一凹槽中改变所述把手的位置，使所述把手、所述环状结构及一对所述耳部同步移动。
本发明的有益效果是：
一种基板容器、一种快拆式气阀及其安装方法和拆卸方法，可以使在快拆件相对于底板处于锁定位置的状态下，快拆件抵持垫圈套筒，避免垫圈套筒自基座脱出；在快拆件相对于底板处于释放位置的状态下，垫圈套筒可自基座脱离。快拆式气阀利用可拆卸式的快拆件来提升更换器件的便利性，可以节省时间并且提升工作效率。
附图说明
参照下列附图与说明，可更进一步理解本发明。非限制性与非穷举性实例是参照下列附图而描述。在附图中的构件并非必须为实际尺寸；重点在于说明结构及原理。
图1所示为一种基板容器的爆炸立体图；
图2所示为单独示出基板容器基座的一底板立体图，以及位于底板的多个快拆件；
图3所示为本发明快拆件结合于一垫圈套筒的立体图；
图4所示为图3的一纵向爆炸图；
图5所示为根据图1平面A的剖面图；
图6所示为本发明快拆件相对于底板位于一释放位置；
图7所示为本发明快拆件相对于底板位于一锁定位置；
图8所示为根据图6中B-B线的剖面图，示出本发明快拆件与底板的连接关系；
图9所示为本发明底板配置的另一实施例。
具体实施方式
以下将参考附图更完整说明本发明，并且通过示例示出特定具体实施例。不过，本发明可具体实施于许多不同形式，因此本发明权利要求的范围并不受限于本说明书所公开的任何具体实施例；具体实施例仅为示例。同样，本发明在于给权利要求提供合理宽泛的范围。
本说明书内使用的词汇“在一实施例”并不必要参照相同具体实施例，且本说明书内使用的“在其他(一些、某些)实施例”并不必要参照不同的具体实施例。其目的在于例如发明包括全部或部分具体实施例的组合。
图1所示为依照本发明一实施例的基板容器的示意图。基板容器10包括一外盒组件15及一内盒组件16。外盒组件15用于容置内盒组件16，内盒组件16用于容置一基板20。外盒组件15包括一基座11以及一上盖13，上盖13用于与基座11对接，于两者之间形成一密封状态，以隔离外盒组件15的内部与外部，从而使外盒组件15内部可以达到符合特定半导体工艺对于洁净度的要求。内盒组件16包括相互配合的基座12及上盖14，基座12及上盖14相互对接时，两者之间形成一容置空间，用于容置基板20。本实施例中，基板20例如是应用于高密度半导体图案化工艺的极紫外光光掩膜(EUV reticle)，然而在不同的实施例中，基板20可以是其他具有高洁净度要求并与半导体工艺相关的板体器件。
同时参考图2，外盒组件15的基座11具有一盖板120及一底板110。盖板120和底板110以可拆卸的方式结合而使基座11具有一内部空间，足够容纳气阀(如图5)及栓锁机构(未示出)。所述气阀用于供一气体进入或离开基板容器10的容置空间。本实施例展示底板110配置四个快拆气阀，其中两个用于供气体进入基板容器10，另外两个则是供气体离开基板容器10，但本发明不以此为限制，其他数量及配置方式的快拆式气阀均可被涵盖于本发明中。
如图2所示，底板110在靠近其四个角落处形成有类似圆形的开口130，且每一个开口130配置成与本发明快拆件140配合。这些开口130与基座11的容置空间连通，使气阀可以通过开口130而被放置入基座11中。如图1所示，盖板120上在相对于图2开口130的位置也形成有相应的开口(未编号)，以连通气阀的一端。一滤膜(未示出)可放置于底板110开口130和对应盖板120开口之间的任一位置。底板110的中央有一个类似圆形开口，其用于配置所述栓锁机构的操作部(本图省略未示出)，所述栓锁机构用于将基座11和上盖13锁定。
图3所示是本发明快拆件140结合于一垫圈套筒150。图4所示为图3的一纵向爆炸图。垫圈套筒150基本上为具有一外径D1的一筒状结构，其具有一顶端151及一底端152。当垫圈套筒150放置于基座11中时，如图5，顶端151抵持盖板120的一内侧面，底端152则靠近底板110的内侧面且通过图2的开口130暴露。垫圈套筒150的顶端151和底端152的结构可略有差异。顶端151配置成与盖板120的内侧面匹配使基座11中的空气不会从盖板120的内侧泄漏至外侧，底端152则配置成与快拆件140匹配使快拆件140可以抵持底端152并相对于底端152转动。
垫圈套筒150具有一气流通道153用于供一气体进入或离开基板容器10的容置空间。阀体154设置于气流通道153中，用于限制气体流动方向。
快拆件140基本上为可套接于垫圈套筒150的一环状结构141，其具有一内径D2，且内径D2小于垫圈套筒150的外径D1，使垫圈套筒150无法穿过环状结构141。此外，环状结构141的内侧形成有一环形斜面142用于抵持垫圈套筒150的底端。同样地，垫圈套筒150的底端152可形成有一肩部155，用于匹配环状结构141的环形斜面142，如图5所示。
快拆件140还具有一对耳部143，自环状结构141的外侧朝外沿着一直径方向144横向延伸。具体而言，该对耳部143为一平板状，自环状结构141向外延伸一长度L和一宽度W。该对耳部143的一下表面，用于当快拆式气阀安装至基座时，抵持底板110的一内侧面(如图5)或开口130的一内侧边缘。
快拆件140还具有一把手145，自环状结构141的外侧朝外沿着一半径方向146横向延伸，其中半径方向146不同于直径方向144，使把手145位于该对耳部143之间。此外，把手145和耳部143分别位于不同的纵向位置。如图3所示，该对耳部143连接于环状结构141的一上缘，而把手145位于环状结构141的一下缘。把手145的一上表面，用于当快拆式气阀安装至基座时，可接触底板110的一外侧面(如图8)。环状结构141、耳部143及把手145可为一体成形的构件。
图5为根据图1平面A的剖面示意图，所示为快拆式气阀通过快拆件140安装至盖板120和底板110之间的容置空间，且快拆件140处在一锁定位置。垫圈套筒150的上半部被容置于盖板120内侧的一套接部121，而垫圈套筒150的周围表面形成有密封环用于接触套接部121的内壁，使空气不会通过套接部121和垫圈套筒150周围表面之间的空隙泄漏至盖板120外侧。
当快拆件140结合于底板110且处在锁定位置时，环形斜面142抵持于垫圈套筒150的肩部155，而耳部143的下表面抵持于底板110的内侧面，使垫圈套筒150被限制在盖板120和底板110之间，防止垫圈套筒150自底板110的开口脱出。
图6所示为快拆件140相对于底板110位于一释放位置。图7所示为快拆件140相对于底板110位于一锁定位置。如图2所示底板110具有多个开口130，图6和图7分别示出这些开口130的其中一个。开口130从底板110的内侧面(定义容置空间)延伸至底板110的外侧面(面向外盒组件的周围)，并形成为允许垫圈套筒150和快拆件140进入的形状。
具体而言，开口130包括一中央通道131及两个匹配通道132。根据图6和图7所示，中央通道131基本上为一圆形，其具有一直径略大于垫圈套筒150的外径D1及快拆件140的环状结构141外径，使垫圈套筒150和快拆件140可自由地进出开口130，且当快拆件140位于中央通道131时可自由转动。匹配通道132从中央通道131的外围朝外延伸。根据图6和图7所示，匹配通道132的形状基本上与快拆件140的耳部143匹配，使快拆件140必须在耳部143对准匹配通道132时才能自由进出开口130。因此，快拆件140必须呈特定的方位才能自由进出开口130。
开口130还包括一凹槽133，其位于中央通道131的一侧，且位于这些匹配通道132之间。具体而言，凹槽133自底板110的外侧面略为向内凹入，且由底板110的一弯曲壁(未标号)和一滑动面134定义而成，其中滑动面134与底板110的外侧面平行。当快拆件140位于中央通道131时，把手145容置于凹槽133，并可于凹槽133的一第一止挡面135和一第二止挡面136之间在滑动面134上滑移。
图8所示为根据图6中B-B线的剖面图，其所示为当快拆件140位于释放位置而容置于开口130时，把手145位于底板110的外侧面112并抵持着凹槽的滑动面134，而其中一耳部143大致上位于底板110内侧面111的上方。具体而言，耳部143的下表面与内侧面111齐平或者略高于内侧面111，使快拆件140转动至图7的锁定位置时确保耳部143在底板110的内侧自由移动。
当把手145接触第一止挡面135时，快拆件140并未锁定于底板110。当把手145接触第二止挡面136时，如图7所示，以虚线描绘的该对耳部143位于底板110的内侧面，其限制耳部143脱离开口130。如同图5所示快拆件140位于锁定位置，而垫圈套筒150的顶端和底端分别抵持在盖板120和套接部121的内侧面及快拆件140的环形斜面142，而快拆件140的耳部143抵持于底板110的内侧面，使垫圈套筒150稳固于基座11中。此外，垫圈套筒150的底部弹性接触快拆件140，使位于锁定位置的快拆件140的耳部143被压制于底板110的内侧面。此时，摩擦力防止快拆件140跑到释放位置。
较佳地，所述凹槽133的深度，即图8底板110的外侧面112至滑动面134的垂直距离应至少使把手145与底板110外侧面112齐平。或者，凹槽133应完全容置把手145，避免基座11与平面接触时碰撞把手145。
在一可能的实施例中，所述凹槽133可省略滑动面，意即凹槽133仅由第一止挡面135、第二止挡面136和弯曲壁定义而成。
图9所示为本发明的另一实施例，与前者差异在于此开口130又多了一个凹槽133’。这样的配置有助于更便利的将快拆件140对准开口130。
根据上述说明，如欲安装本发明快拆式气阀至未装配有气阀的基座11，首先须将已插入有阀体154的垫圈套筒150以正确的方位结合于盖板120的套接部121，并使垫圈套筒150的一外侧面和套接部121的一内侧面形成气密接触。其中，垫圈套筒150可连同一滤膜一并安装。接着，将底板110和盖板120组装形成基座11。快拆件140以正确的方位进入底板110的开口130中，其中所述正确的方位是指环状结构141对准中央通道131，该对耳部143对准匹配通道132。当快拆件140对准开口130时，将快拆件140通过开口130抵持住垫圈套筒150的底端并加压，直到耳部143完全位于底板110的内侧，同时把手145容置于凹槽133中。接着，可操作把手145使快拆件140于开口130中转动，耳部143同步转动至接触底板110的内侧面，即从图6的释放位置转换至图7的锁定位置。
欲更换基座11中气阀的滤膜，首先需将快拆件140从图7的锁定位置通过操作把手145而转换到图6的释放位置。在耳部143不再接触底板110的内侧面的状态下，垫圈套筒150底端的施压将快拆件140向下推挤，使快拆件140未限制垫圈套筒150。快拆件140自开口130移除后，可使用工具将垫圈套筒150自基座11中移除。或者，先将底板110和盖板120分离后才移除垫圈套筒150，使滤膜得以更换。
综上，本发明前述实施例的快拆式气阀、具有快拆式气阀的基板容器及其安装和拆卸方法，当快拆件相对于底板处于锁定时，快拆件用于抵持垫圈套筒，避免垫圈套筒自基座脱出；当快拆件相对于底板处于释放位置时，垫圈套筒可自基座脱离。快拆式气阀利用可拆卸式的快拆件来提升更换器件的便利性，可以节省时间并且提升工作效率。

Claims (22)

1.一种快拆式气阀，其特征在于，应用于一基板容器，所述基板容器具有一盖板及一底板，所述快拆式气阀包括：
一快拆件，具有一环状结构，所述环状结构具有一内径且可拆卸地结合于所述底板的一开口中；
一垫圈套筒，具有一气流通道，所述气流通道用于供一气体进入或离开所述基板容器，所述垫圈套筒具有一外径，所述外径至少大于所述环状结构的内径；以及一阀体，设置于所述气流通道，用于限制所述气体的流动方向；
所述环状结构在一直径方向朝外延伸有一对耳部，在一半径方向朝外延伸一把手，一对所述耳部与所述把手位于不同的水平高度。
2.如权利要求1所述的快拆式气阀，其特征在于，所述直径方向和所述半径方向不平行。
3.如权利要求1所述的快拆式气阀，其特征在于，所述环状结构具有一外侧面及一内侧面，一对所述耳部靠近所述环状结构的内侧面设置，所述把手靠近所述环状结构的外侧面设置。
4.如权利要求1所述的快拆式气阀，其特征在于，一对所述耳部具有一下表面，一对所述耳部的所述下表面用于抵持所述底板的一内侧面或所述开口的一内侧边缘。
5.如权利要求1所述的快拆式气阀，其特征在于，所述把手具有一上表面，所述把手的所述上表面用于抵持所述底板。
6.如权利要求1所述的快拆式气阀，其特征在于，一对所述耳部具有一下表面，所述把手具有一上表面，在所述快拆件结合于所述开口的状态下，一对所述耳部的所述下表面抵持所述底板的一内侧面或所述开口的一内侧边缘，所述把手的所述上表面抵持所述底板。
7.如权利要求4所述的快拆式气阀，其特征在于，所述环状结构的一对所述耳部和所述把手配置成在所述开口的一第一位置和一第二位置之间移动。
8.一种基板容器，其特征在于，所述基板容器包括一基座，所述基座包括一盖板及一底板，所述底板具有一内侧面与一外侧面，所述底板至少形成有延伸于所述内侧面和所述外侧面之间的一开口，所述开口容置一快拆式气阀，所述快拆式气阀包括：
一快拆件，具有一环状结构；
一垫圈套筒，具有一气流通道，所述气流通道用于供一气体进入或离开所述基板容器；以及
一阀体，设置于所述气流通道，限制所述气体的流动方向；
所述环状结构在一直径方向朝外延伸一对耳部，在一半径方向朝外延伸一把手，在所述快拆件结合于所述开口的状态下，所述把手位于所述底板的外侧面，一对所述耳部位于所述底板的内侧面，所述环状结构限制所述垫圈套筒自所述开口脱出。
9.如权利要求8所述的基板容器，其特征在于，所述开口包括一中央通道及位于所述中央通道旁边的两个匹配通道，所述中央通道的形状匹配所述环状结构的形状，两个所述匹配通道的形状各自与一对所述耳部中的其中一个的形状匹配，所述快拆件的环状结构和一对所述耳部可进入所述开口。
10.如权利要求9所述的基板容器，其特征在于，所述开口包括至少一凹槽，所述凹槽位于所述底板的外侧面，配置成在所述环状结构结合于所述底板的所述开口的状态下，容纳所述环状结构的所述把手。
11.如权利要求10所述的基板容器，其特征在于，所述开口的凹槽配置成限制所述把手在一第一位置和一第二位置之间移动，在所述把手位于所述第一位置的状态下，所述环状结构位于一释放位置，在所述把手位于所述第二位置的状态下，所述环状结构位于一锁定位置。
12.如权利要求10所述的基板容器，其特征在于，所述凹槽具有一滑动面，所述滑动面与所述底板的外侧面平行，在所述环状结构结合于所述开口的状态下，所述环状结构的所述把手接触所述滑动面，所述把手可滑动的设置于所述滑动面上。
13.如权利要求12所述的基板容器，其特征在于，在所述把手接触所述滑动面的状态下，一对所述耳部的下表面与所述底板的一内侧面齐平或位于所述底板的内侧面的上方。
14.如权利要求11所述的基板容器，其特征在于，在所述环状结构位于所述释放位置的状态下，一对所述耳部可自由进出所述开口，在所述环状结构位于所述锁定位置的状态下，一对所述耳部位于所述底板的内侧且抵持所述底板的内侧面，所述环状结构稳固结合于所述开口中。
15.一种快拆式气阀的安装方法，其特征在于，用于安装至少一个快拆式气阀至一基板容器，所述快拆式气阀包括具有一环状结构的一快拆件、具有一气流通道的一垫圈套筒以及一阀体，其中所述环状结构在一直径方向朝外延伸一对耳部，且在一半径方向朝外延伸一把手，所述基板容器包括一基座，所述基座具有一盖板及一底板，所述底板至少形成有一开口，所述盖板设有对应所述开口的一套接部，所述安装方法包括：
将所述阀体容置于所述垫圈套筒的所述气流通道；
将所述垫圈套筒连接于所述套接部，所述垫圈套筒与所述套接部的一内侧面之间气密配合；以及
将一对所述耳部穿过所述开口，所述把手可动地接触所述底板的一外侧面，一对所述耳部位于所述底板的一内侧面，限制所述垫圈套筒自所述开口脱出。
16.如权利要求15所述的安装方法，其特征在于，所述开口包括一中央通道及位于所述中央通道旁边的两个匹配通道，所述中央通道的形状匹配所述环状结构的形状，两个所述匹配通道的形状各自与一对所述耳部中的其中一个的形状匹配，所述快拆件的所述环状结构和一对所述耳部可进入所述开口。
17.如权利要求15所述的安装方法，其特征在于，所述开口包括至少一凹槽，所述凹槽位于所述底板的外侧面，配置成在所述环状结构结合于所述底板的所述开口的状态下，容纳所述环状结构的所述把手。
18.如权利要求16所述的安装方法，其特征在于，在一对所述耳部穿过所述开口的状态下，所述把手相对于所述开口从一第一位置移动至一第二位置，所述快拆件从一释放位置转换至一锁定位置，在所述锁定位置的状态下一对所述耳部位于所述底板的内侧面。
19.如权利要求17所述的安装方法，其特征在于，所述凹槽限制了结合至所述开口的所述环状结构的所述把手在所述凹槽中的一第一位置和一第二位置之间移动，所述把手在所述第一位置的状态下和在所述第二位置的状态下，分别对应所述快拆件的一释放位置和一锁定位置，所述锁定位置限制所述垫圈套筒自所述开口脱出。
20.一种快拆式气阀的拆卸方法，其特征在于，用于从权利要求15所述的安装方法将所述快拆式气阀从所述开口取出，所述拆卸方法包括：
移动所述把手使一对所述耳部从一锁定位置转换至一释放位置，所述释放位置允许一对所述耳部自由进出所述开口；
从所述开口中移除所述快拆件，使所述环状结构未限制所述垫圈套筒；以及
从所述开口中移除所述垫圈套筒。
21.如权利要求20所述的拆卸方法，其特征在于，所述释放位置允许一对所述耳部自由进出所述开口中的对应匹配通道，所述匹配通道的形状对应的与一对所述耳部的其中一个的形状匹配。
22.如权利要求20所述的拆卸方法，其特征在于，所述的移动所述把手，是在所述开口的至少一凹槽中改变所述把手的位置，使所述把手、所述环状结构及一对所述耳部同步移动。
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