KR20230034142A - 퀵릴리즈 밸브, 이를 구비한 기판 용기 및 이를 장착 및 탈착하는 방법 - Google Patents

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치아-호 츄앙
진-민 슈에
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구뎅 프리시젼 인더스트리얼 코포레이션 리미티드
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Abstract

본 발명에 따르면, 베이스의 바닥 개구에 탈착식으로 결합된 칼라를 갖는 퀵릴리즈 부재; 및 가스가 기판 용기에 출입하게 하는 유로를 갖는 슬리브를 포함하는 퀵릴리즈 밸브가 제공된다. 칼라는 직경 방향을 따라 외측으로 연장하는 한 쌍의 이어부 및 반경 방향을 따라 외측으로 연장하는 핸들을 갖는다. 이어부는 핸들과 실질적으로 다른 높이에 있다.

Description

퀵릴리즈 밸브, 이를 구비한 기판 용기 및 이를 장착 및 탈착하는 방법{Quick-release valve, substrate container having the same, and method of mounting and dismounting the same}
본 발명은 기판(예를 들어, 레티클) 용기에 적용 가능한 밸브에 관한 것으로, 보다 상세하게는 퀵릴리즈 밸브, 기판 용기에 퀵릴리즈 밸브를 장착하는 방법 및 기판 용기에서 퀵릴리즈 밸브를 탈착하는 방법에 관한 것이다.
광학 리소그래피는 광 투과성 레티클에 잘 설계된 회로를 패터닝한 다음 레티클 상의 패턴을 웨이퍼에 광학적으로 투영하여 웨이퍼 상에 특정 패턴을 노광 및 현상하는 것을 포함한다. 광학 리소그래피 공정 중에, 레티클에 부착된 입자는 투영 및 이미징 품질을 저하시킬 수 있다. 최근 몇 년 동안, 공정 소형화로 인해 로직 밀도가 더 높은 더 작은 칩 개발이 가능해짐에 따라, 리소그래피 장비에 사용되는 파장은 이미 극자외선(EUV) 범위에 들어갔다. 그 결과, 오늘날 광학 리소그래피 공정은 레티클에 부착된 입자의 양과 입자의 직경에 대한 엄격한 요건을 설정하여 레티클 용기의 청정도에 대한 요건이 엄격해졌다.
레티클 용기의 청정도를 유지하는 기존 기술 중 하나는 레티클 용기에 팽창 밸브를 제공하고 가스를 공급하여 레티클 용기의 청정도를 유지하는 것을 수반한다. 실제로, 예를 들어, 전술한 기술은 레티클 보관 환경을 최적화하기 위해 특정 유량에서 팽창 밸브를 통해 레티클 용기 내의 가스를 자주 바꾸는 것을 포함한다. 레티클 용기는 팽창 밸브와 함께 배치되고 가스로부터 입자를 걸러내도록 구성된 필터를 갖는다. 특정 횟수 사용 후에는, 여과 효과를 유지하기 위해 필터를 교체해야 한다.
종래의 레티클 용기에서, 필터, 팽창 밸브 또는 임의의 다른 요소는 나사로 레티클 용기의 베이스에 고정되고 결합된다. 상기 요소, 가령 필터를 변경하려면, 나사를 순서대로 제거한 다음 베이스의 바닥 플레이트를 제거해야 한다. 필터를 교체한 다음 바닥 플레이트를 제자리에 장착한 다음 나사를 순서대로 조인다. 바닥 플레이트를 장착하고 나사를 조이는 전술한 과정은 시간이 많이 걸리므로, 필터 또는 기타 임의의 필요한 요소의 교체 효율이 낮다.
본 발명은 상술한 단점 및 결함을 극복한 퀵릴리즈 밸브, 이를 구비한 기판 용기 및 이를 장착 및 분리하는 방법을 제안하고자 한다.
본 개시내용의 목적은 커버 플레이트 및 바닥 플레이트를 구비한 기판 용기에 적합한 퀵릴리즈 밸브를 제공하는 것이다. 퀵릴리즈 밸브는: 내경을 가지며 바닥 플레이트의 개구에 탈착 가능하게 결합되는 칼라를 갖는 퀵릴리즈 부재; 가스가 기판 용기에 출입할 수 있도록 하는 유로를 갖는 슬리브; 및 상기 유로에 배치되어 가스의 흐름방향을 제한하는 밸브를 포함하고, 상기 슬리브의 외경이 상기 칼라의 내경보다 적어도 더 크다. 상기 칼라는 직경 방향을 따라 외측으로 연장되는 한 쌍의 이어부(ear portion) 및 반경 방향을 따라 외측으로 연장되는 핸들을 가지며, 상기 이어부는 상기 핸들과 실질적으로 상이한 높이에 있다.
특정 실시예에서, 직경 방향과 반경 방향은 평행하지 않다.
특정 실시예에서, 칼라는 외측면과 내측면을 갖는다. 한 쌍의 이어부는 칼라의 내측면에 근접한다. 핸들은 칼라의 외측면에 근접한다.
특정 실시예에서, 한 쌍의 이어부는 각각 바닥 플레이트의 내측면 또는 개구의 내측 림에 대해 미는 하부면을 갖는다.
특정 실시예에서, 핸들은 바닥 플레이트를 밀기 위한 상부면을 갖는다.
특정 실시예에서, 한 쌍의 이어부는 각각 하부면을 갖고 핸들은 상부면을 가져, 한 쌍의 이어부의 하부면이 바닥 플레이트의 내측면 또는 개구의 내측 림을 밀고 퀵릴리즈 부재가 개구에 결합되자마자 핸들의 상부면이 바닥 플레이트의 외측면을 민다.
특정 실시예에서, 이어부 및 칼라의 핸들은 제1 위치와 제2 위치 사이에서 개구에 대해 이동하도록 구성된다.
본 발명의 다른 목적은 기판 용기를 제공하는 것이다. 기판 용기는 베이스를 포함한다. 베이스는 커버 플레이트와 바닥 플레이트로 구비한다. 바닥 플레이트에는 내측면과 외측면이 있다. 내측면과 외측면 사이에서 연장되는 적어도 하나의 개구가 바닥 플레이트에 형성되고 퀵릴리즈 밸브를 수용하도록 구성된다. 상기 퀵릴리즈 밸브는: 칼라가 있는 퀵릴리즈 부재; 가스가 기판 용기에 출입할 수 있도록 하는 유로를 갖는 슬리브; 및 상기 유로에 배치되어 가스의 흐름방향을 제한하는 밸브를 포함한다. 상기 칼라는 직경 방향을 따라 외부로 연장되는 한 쌍의 이어부 및 반경 방향을 따라 외부로 연장되는 핸들을 갖는다. 상기 퀵릴리즈 부재가 개구에 결합될 때, 핸들이 바닥 플레이트의 외측면에 있는 반면, 상기 한 쌍의 이어부는 바닥 플레이트의 내측면에 있어, 이에 의해 슬리브가 개구에서 빠져나가는 것을 상기 칼라가 방지한다.
특정 실시예에서, 개구는 중앙 채널 및 상기 중앙 채널 옆에 2개의 매칭 채널을 포함하고, 상기 중앙 채널은 형상이 칼라에 대응하고, 상기 매칭 채널은 형상이 한 쌍의 이어부에 대응하여, 이에 의해 칼라와 퀵릴리즈 부재의 이어부가 개구에 들어가도록 한다.
특정 실시예에서, 개구는 바닥 플레이트의 외측면에 형성되고 칼라가 바닥 플레이트의 개구에 결합될 때 상기 칼라의 핸들을 수용하도록 구성된 적어도 하나의 그루브를 더 포함한다.
특정 실시예에서, 개구의 그루브는 제1 위치와 제2 위치 사이에서 핸들의 움직임을 제한함으로써, 상기 핸들이 제1 위치에 있을 때 칼라가 풀림 위치에 있게 하고 상기 핸들이 제2 위치에 있을 때 칼라가 잠금 위치에 있게 한다.
특정 실시예에서, 슬라이드면에 의해 그루브가 정의되고, 상기 슬라이드면은 바닥 플레이트의 외측면과 평행하여 이에 의해 상기 칼라의 핸들이 상기 슬라이드면에 접촉되도록 하고, 칼라가 개구에 결합될 때 상기 핸들이 상기 슬라이드면을 가로질러 미끄러지게 한다.
특정 실시예에서, 핸들이 바닥 플레이트의 슬라이드면과 접촉할 때, 한 쌍의 이어부의 하부면은 상기 바닥 플레이트의 내측면과 실질적으로 동일 높이에 있거나 상기 바닥 플레이트의 내측면보다 위에 있다.
특정 실시예에서, 한 쌍의 이어부는 칼라가 풀림 위치에 있을 때 개구에 자유롭게 출입할 수 있고, 한 쌍의 이어부는 칼라가 잠금 위치에 있을 때 바닥 플레이트의 내측면에 놓이고 바닥 플레이트의 내측면에 대해 밀어내어 칼라가 개구에 단단히 결합된다.
본 개시내용의 또 다른 목적은 기판 용기 상에 적어도 하나의 퀵릴리즈 밸브를 장착하도록 구성된 퀵릴리즈 밸브를 장착하기 위한 방법으로서, 상기 퀵릴리즈 밸브는 칼라를 갖는 퀵릴리즈 부재, 유로를 갖는 슬리브, 및 밸브를 포함하고, 상기 칼라는 직경 방향을 따라 외부로 연장되는 한 쌍의 이어부 및 반경 방향을 따라 외부로 연장되는 핸들을 가지며, 상기 기판 용기는 커버 플레이트 및 바닥 플레이트가 있는 베이스를 포함하고, 상기 바닥 플레이트 그 위에 형성된 적어도 하나의 개구를 가지며, 상기 커버 플레이트는 개구에 대한 위치에 대응하는 피팅부를 갖고, 상기 장착 방법은; 슬리브의 유로에 밸브를 배치하는 단계; 상기 슬리브와 상기 피팅부의 내측면 사이에 기밀 밀봉을 형성하기 위해 상기 슬리브를 피팅부에 연결하는 단계; 및 핸들이 바닥 플레이트의 외측면과 이동가능하게 접촉하도록 하고 한 쌍의 이어부가 바닥 플레이트의 내측면에 있게 하여 상기 슬리브가 개구에서 이탈하는 것을 방지하기 위해 개구를 통해 한 쌍의 이어부를 통과시키는 단계를 포함하는 퀵릴리즈 밸브 장착 방법을 제공하는 것이다.
특정 실시예에서, 개구는 중앙 채널 및 상기 중앙 채널 옆에 2개의 일치된 채널을 포함하고, 상기 중앙 채널은 형상이 칼라에 대응하고, 상기 일치된 채널은 형상이 한 쌍의 이어부에 대응하여, 이에 의해 칼라와 퀵릴리즈 부재의 이어부가 개구에 들어가도록 한다.
특정 실시예에서, 개구는 바닥 플레이트의 외측면배치되고 상기 칼라가 상기 바닥 플레이트의 개구에 결합될 때 상기 칼라의 핸들을 수용하도록 구성된 적어도 하나의 그루브를 포함한다.
특정 실시예에서, 한 쌍의 이어부가 개구를 통과한 후, 핸들이 상기 개구에 대해 상대적으로 제1 위치에서 제2 위치로 이동되어, 퀵릴리즈 부재가 풀림 상태에서 잠금 상태로 전환되고, 상기 퀵릴리즈 부재가 잠금 위치에 있을 때 한 쌍의 이어부가 바닥 플레이트의 내측면에 위치된다.
특정 실시예에서, 그루브는 상기 그루브에 있는 제1 위치와 제2 위치 사이의 개구에 결합된 칼라의 핸들의 움직임을 제한하여, 상기 제1 위치에서 상기 제2 위치로 핸들이 움직인 후에 퀵릴리즈 부재를 풀림 위치에서 잠금 위치로 전환되어, 상기 잠금 위치에서 슬리브가 개구에서 빠져나가는 것을 방지한다.
본 발명의 또 다른 목적은 전술한 장착 방법에 의해 장착된 퀵릴리즈 밸브를 개구로부터 제거하도록 구성된 퀵릴리즈 밸브 탈착 방법으로서, 한 쌍의 이어부가 잠금 위치에서 풀림 위치로 전환되게 하여, 이로써 풀림 위치에 있는 상기 한 쌍의 이어부가 개구에 자유롭게 출입할 수 있도록 핸들을 이동시키는 단계; 칼라가 슬리브를 제한하지 않도록 퀵릴리즈 부재를 상기 개구로부터 제거하는 단계; 및 상기 개구에서 상기 슬리브를 제거하는 단계를 포함하는 퀵릴리즈 밸브 탈착 방법을 제공하는 것이다.
특정 실시예에서, 풀림 위치는 한 쌍의 이어부가 개구 내에서 자유롭게 매칭된 채널로 각각 출입하게 하고, 상기 매칭된 채널은 형태가 이어부에 대응한다.
특정 실시예에서, 핸들을 이동시키는 단계는 핸들, 칼라 및 이어부를 동시에 이동시키도록 개구의 적어도 하나의 그루브 내에서 상기 핸들을 이동시키는 단계를 포함한다.
본 발명의 내용에 포함됨.
본 개시는 도면에 의해 도시되고, 비제한적이며 비배타적인 실시예에 의해 예시되고, 이하에서 설명된다. 도면은 축척에 맞춰 그려진 것이 아니라 본 개시내용의 구조적 특징 및 원리를 개시하기 위한 것이다.
도 1은 기판 용기의 3차원 분해도이다.
도 2는 기판 용기의 베이스의 바닥 플레이트 및 상기 바닥 플레이트에 배치된 퀵릴리즈 부재의 사시도이다.
도 3은 본 발명에 따른 슬리브에 결합되는 퀵릴리즈 부재의 사시도이다.
도 4는 도 3에 기초한 길이방향 분해도이다.
도 5는 도 1의 A면을 따라 절단한 단면도이다.
도 6은 본 발명에 따른 바닥 플레이트에 대해 풀림 위치에 있는 퀵릴리즈 부재의 개략도이다.
도 7은 본 발명에 따른 바닥 플레이트에 대해 잠금 위치에 위치한 퀵릴리즈 부재의 개략도이다.
도 8은 도 6의 BB선을 따라 취한 퀵릴리즈 부재와 바닥 플레이트의 연결을 e시한 횡단면도이다.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 바닥 플레이트의 개략도이다.
본 개시는 첨부 도면에 의해 도시되고, 특정 실시예에 의해 예시되며, 이하에서 설명된다. 그러나, 본 개시에 의해 청구된 요지는 다양한 방식으로 구체적으로 구현될 수 있고; 따라서, 본 개시내용의 청구범위는 본 명세서에 설명된 예시적인 특정 실시예로 국한되지 않고 상당히 광범위하다.
본 명세서에서 개시되는 "일 실시예"를 설명하는데 사용되는 기술 용어는 본 명세서에서 개시된 동일한 실시예에 반드시 적용되는 것은 아니다. 본 명세서에 개시된 소위 "변형 실시예" 및 "다른 실시예"는 본 명세서에 개시된 다른 특정 실시예에 반드시 적용되는 것은 아니다. 본 개시내용에 의해 청구된 요지는 본 명세서에 개시된 모든 특정 실시예의 조합에 의해 전체 또는 부분적으로 각각 정의되고 예시된다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 기판 용기의 개략도이다. 기판 용기(10)는 외부 케이스 어셈블리(15) 및 내부 케이스 어셈블리(16)를 포함한다. 외부 케이스 어셈블리(15)는 내부 케이스 어셈블리(16)를 수용한다. 내부 케이스 어셈블리(16)는 내부에 기판(20)을 수용한다. 외부 케이스 어셈블리(15)는 베이스(11)와 상부 커버(13)를 포함한다. 상부 커버(13)와 베이스(11)가 서로 맞물리면서 외부 케이스 어셈블리(15)의 외부와 내부를 분리하는 기밀 밀봉을 사이에 형성하여 외부 케이스 어셈블리(15)의 내부가 특정 반도체 공정의 청정도 요건을 충족하게 한다. 내부 케이스 어셈블리(16)는 베이스(12)와 서로 연계하여 작동하는 상부 커버(14)를 포함한다. 베이스(12)와 상부 커버(14)는 서로 맞물리면서 기판(20)을 수용하는 수용 공간을 그 사이에 형성한다. 이 실시예에서, 기판(20)은 예를 들어 고밀도 반도체 패터닝 프로세스에 적합한 극자외선(EUV) 레티클이다. 그러나, 변형 실시예에서, 기판(20)은 반도체 프로세스와 관련되고 고도의 청정도 표준을 충족하는 임의의 기판일 수 있다.
도 2와 함께 참조하면, 외부 케이스 어셈블리(15)의 베이스(11)는 커버 플레이트(120)와 바닥 플레이트(110)를 갖는다. 커버 플레이트(120)와 바닥 플레이트(110)는 함께 탈착 가능하게 결합되어, 베이스(11)가 내부에 (도 5에 도시된) 밸브와 (미도시된) 체결기구를 수용할 정도로 충분히 큰 내부 공간을 형성한다. 밸브는 가스가 기판 용기(10)의 수용 공간으로 출입하는 것을 허용한다. 이 실시예에서, 바닥 플레이트(110)에는 4개의 퀵릴리즈 밸브가 제공될 수 있으며, 그 중 2개는 가스가 기판 용기(10)로 들어가도록 하고 다른 2개는 가스가 기판 용기(10)를 빠져나가도록 하나, 본 개시는 이에 국한되지 않는다. 따라서, 임의의 다른 수의 퀵릴리즈 밸브가 임의의 다른 방식으로 배열될 수 있고 여전히 본 개시내용에 적용가능하다.
도 2에 도시된 바와 같이, 바닥 플레이트(110)의 네 모서리 각각에는 대략 원형의 개구(130)가 형성된다. 개구(130)는 각각 본 개시의 퀵릴리즈 부재(140)와 함께 작동하도록 구성된다. 개구(130)는 베이스(11)의 수용 공간과 연통되어 밸브가 개구(130)를 통해 베이스(11)에 삽입될 수 있다. 도 1에 도시된 바와 같이, 커버 플레이트(120)에도 개구(참조 번호 없음)가 형성되어 있고 밸브의 일단과 연통되도록 도 2의 개구(130)의 위치와 일치한다. 필터(미도시)는 바닥 플레이트(110)의 각 개구(130)와 커버 플레이트(120)의 대응하는 개구 사이의 임의의 위치에 배치된다. 실질적으로 둥근 개구가 바닥 플레이트(110)의 중앙에 형성되고 체결기구의 작동부(이 도면에는 도시되지 않음)에 적합하다. 체결기구는 베이스(11)와 상부 커버(13)를 함께 고정시키는 데 사용된다.
도 3은 슬리브(150)에 결합된 퀵릴리즈 부재(140)를 도시한다. 도 4는 도 3에 기초한 길이방향 분해도이다. 슬리브(150)는 외경(D1)을 갖는 원통 형상으로 상단부(151)와 하단부(152)를 갖는다. 슬리브(150)를 베이스(11)의 내부에 위치시키면, 도 5에 도시된 바와 같이. 상단부(151)가 커버 플레이트(120)의 내측면을 밀어내는 한편, 하단부(152)는 바닥 플레이트(110)의 내측면에 근접하여 도 2의 개구(130)를 통해 노출된다. 슬리브(150)의 상단부(151)와 하단부(152)는 구조상 약간의 차이가 있다. 상단부(151)는 커버 플레이트(120)의 내측면과 일치하도록 설계되어 베이스(11) 내부의 공기가 커버 플레이트(120) 외부로 누출되는 것을 방지한다. 하단부(152)는 퀵릴리즈 부재(140)와 일치하도록 설계되어 퀵릴리즈 부재(140)가 하단부(152)를 잡고 하단부(152)에 대해 회전할 수 있도록 한다.
슬리브(150)는 가스가 기판 용기(10)의 수용 공간으로 출입할 수 있도록 하는 유로(153)(flow passage)를 갖는다. 유로(153)에는 가스의 흐름방향을 규제하는 밸브(154)가 설치된다.
퀵릴리즈 부재(140)는 일반적으로 슬리브(150)와 맞물릴 수 있고 내경(D2)을 갖는 칼라(141)이다. 내경(D2)은 슬리브(150)의 외경(D1)보다 작아서 슬리브(150)가 칼라(141)를 통과할 수 없다. 환형 램프(142)가 칼라(141)의 내측면에 형성되고 슬리브(150)의 바닥 단부(152)와 접촉하도록 구성된다. 마찬가지로, 숄더부(155)가 슬리브(150)의 하단부(152)에 형성되고 도 5에 도시된 바와 같이 칼라(141)의 환형 램프(142)와 일치하도록 구성된다.
퀵릴리즈 부재(140)는 칼라(141)의 외측면으로부터 외부로 그리고 직경 방향(144)을 따라 측방향으로 연장되는 한 쌍의 이어부(143)를 더 갖는다. 한 쌍의 이어부(143)는 패널 형상이고 길이(L) 및 폭(W)만큼 칼라(141)로부터 외측으로 연장된다. 각각의 이어부(143)의 하부면은 퀵릴리즈 밸브가 베이스에 장착될 때 바닥 플레이트(110)의 내측면(도 5 참조) 또는 개구(130)의 내측 림에 접촉한다.
퀵릴리즈 부재(140)는 칼라(141)의 외측면으로부터 외부로 그리고 반경 방향(146)을 따라 측방향으로 연장되는 핸들(145)을 더 구비한다. 반경 방향(146)은 직경 방향(144)과 상이하여 한 쌍의 이어부(143) 사이에 핸들(145)이 배치된다. 또한, 핸들(145)과 이어부(143)는 각각 서로 다른 수직 위치에 위치한다. 도 3에 도시된 바와 같이, 한 쌍의 이어부(143)는 칼라(141)의 상부 가장자리에 연결되는 한편, 핸들(145)은 칼라(141)의 하부 가장자리에 위치된다. 핸들(145)의 상부면은 (도 8에 도시된 바와 같이) 퀵릴리즈 밸브가 베이스에 장착될 때 바닥 플레이트(110)의 외측면과 접촉한다. 칼라(141), 이어부(143) 및 핸들(145)은 일체로 형성된다.
도 5는 도 1의 A면에 따른 횡단면도이고 퀵릴리즈 부재(140)가 잠금 위치에 있는 상태에서 커버 플레이트(120)와 바닥 플레이트(110) 사이의 수용 공간에 퀵릴리즈 밸브가 장착되는 것을 도시한다. 슬리브(150)의 상반부는 커버 플레이트(120) 내측면의 피팅부(121)에 수용된다. 상기 슬리브(150)의 원주면에는 밀폐 씰링이 형성되어 상기 피팅부(121)의 내벽에 접촉되어 피팅부(121)와 슬리브(150)의 원주면 사이의 갭을 통해 가스가 커버플레이트(120) 외부로 누출되지 않도록 한다.
퀵릴리즈 부재(140)가 바닥 플레이트(110)에 결합되고 잠금 위치에 위치될 때, 환형 램프(142)가 슬리브(150)의 숄더부(155)에 접촉하는 반면, 이어부(143)의 하부면이 바닥 플레이트(110)의 내측면에 닿아 슬리브(150)가 커버 플레이트(120)과 바닥 플레이트(110) 사이에 갇히게 되어, 바닥 플레이트(110)의 개구에서 슬리브(150)가 빠져나가는 것을 방지한다.
도 6은 퀵릴리즈 부재(140)가 바닥 플레이트(110)에 대해 풀림 위치에 위치하는 것을 도시한다. 도 7은 퀵릴리즈 부재(140)가 바닥 플레이트(110)에 대해 잠금 위치에 위치하는 것을 도시한다. 도 2에 도시된 바와 같이, 바닥 플레이트(110)는 복수의 개구(130)를 갖는다. 도 6 및 도 7은 각각 개구(130) 중 하나를 도시한다. 개구(130)는 (수용 공간을 정의하는) 바닥 플레이트(110)의 내측면에서 (외부 케이스 구성요소의 주변을 향하는) 바닥 플레이트(110)의 외측면으로 연장되고 슬리브(150)와 퀵릴리즈 부재(140)가 내부로 들어갈 수 있는 형상이다.
개구(130)는 각각 중앙 채널(131) 및 2개의 매칭 채널(132)을 포함한다. 도 6 및 도 7의 관점에 따르면, 중앙 채널(131)은 일반적으로 슬리브(150)의 외경(D1) 및 퀵릴리즈 부재(140)의 칼라(141)의 외경보다 약간 큰 직경을 갖는 원형이다; 따라서, 슬리브(150)와 퀵릴리즈 부재(140)가 개구(130)에 자유롭게 출입할 수 있을 뿐만 아니라 퀵릴리즈 부재(140)도 중앙 채널(131)에 위치할 때 자유롭게 회전할 수 있다. 매칭된 채널(132)은 중앙 채널(131)의 주변부로부터 외측으로 연장된다. 도 6 및 도 7의 관점에 따르면, 매칭된 채널(132)은 이어부(143)가 매칭된 채널(132)과 정렬될 때 퀵릴리즈 부재(140)가 개구(130)에 자유롭게 출입할 수 있도록 퀵릴리즈 부재(140)의 이어부(143)와 형상이 실질적으로 일치한다. 따라서, 퀵릴리즈 부재(140)는 특정 방향에서만 자유롭게 개구(130)에 출입할 수 있다.
개구(130) 각각은 중앙 채널(131) 옆에 그리고 매칭된 채널(132) 사이에 배치된 그루브(133)를 더 포함한다. 그루브(133)는 바닥 플레이트(110)의 외측면보다 약간 아래로 가라앉고 바닥 플레이트(110)의 만곡된 벽(참조 번호로 표시되지 않음)과 슬라이드면(134)에 의해 정의된다. 슬라이드면(134)은 바닥 플레이트(110)의 외측면과 평행하다. 퀵릴리즈 부재(140)가 중앙 채널(131)에 위치되면, 핸들(145)이 그루브(133)에 수용되고 그루브(133)의 제1 블록 표면(135)과 제2 블록 표면(136) 사이에 슬라이드면(134)을 가로질러 활주한다.
도 8은 본 개시에 따른 도 6의 BB선에 따른 횡단면도이다. 도면에 도시된 바와 같이, 퀵릴리즈 부재(140)가 풀림 위치에 위치하여 개구(130)에 수용되면, 핸들(145)은 실질적으로 바닥 플레이트(110)의 외측면(112)에 위치되고 그루브(133)의 슬라이드면(134)과 접촉하는 반면, 이어부(143) 중 하나는 실질적으로 바닥 플레이트(110)의 내측면(111) 위에 위치된다. 이어부(143)의 하부면은 내측면(111)과 같은 높이이거나 내측면(111)보다 약간 높다; 따라서, 퀵릴리즈 부재(140)가 도 7에 도시된 잠금 위치로 회전할 때, 이어부(143)는 바닥 플레이트(110)의 내측면에서 자유롭게 이동할 수 있다.
핸들(145)이 제1 정지위치(135)에 접촉되면, 퀵릴리즈 부재(140)가 바닥 플레이트(110)에 고정되지 않는다. 핸들(145)이 제2 정지위치(136)에 접촉되면, 도 7에 도시된 바와 같이 점선으로 표시된 한 쌍의 이어부(143)가 바닥 플레이트(110)의 내측면에 있어서 이어부(143)가 개구(130)를 빠져나가는 것을 방지한다. 도 5에 도시된 바와 같이, 퀵릴리즈 부재(140)는 잠금 위치에 있고 따라서 슬리브(150)의 상단과 하단이 피팅부(121)의 내측면과 커버 플레이트(120) 내측면 및 퀵릴리즈 부재(140)의 환형 램프(142)와 각각 맞닿는 한편, 퀵릴리즈 부재(140)의 이어부(143)는 바닥 플레이트(110)의 내측면에 대해 밀어 슬리브(150)가 베이스(11)에 견고하게 결합되도록 한다. 슬리브(150)의 바닥은 퀵릴리즈 부재(140)에 탄성적으로 접촉되어 잠금 위치에 있는 퀵릴리즈 부재(140)의 이어부(143)가 바닥 플레이트(110)의 내측면에 가압된다. 이때, 마찰에 의해 퀵릴리즈 부재(140)가 풀림 위치로 이동하지 못하게 된다.
도 8을 참조하부면, 바람직하게는, 그루브(133)의 깊이와 관련하여, 슬라이드면(134)과 바닥 플레이트(110)의 외측면(112) 사이의 수직 거리는 적어도 핸들(145)이 바닥 플레이트(110)의 외측면(112)과 같은 높이를 허용해야 한다. 대안으로, 핸들(145)이 그루브(133)에 완전히 수용되어야 하므로, 베이스(11)가 지면과 접촉할 때 핸들(145)이 충돌을 피할 수 있다.
실현 가능한 실시예에서, 슬라이드면은 무시될 수 있으며, 이는 그루브(133)가 제1 블록 표면(135), 제2 블록 표면(136) 및 만곡된 벽에 의해서만 정의된다는 것을 의미한다.
도 9는 본 개시의 다른 실시예를 도시한다. 본 개시를 선행 실시예와 구별하는 기술적 특징은 본 실시예에서 개구(130)에 하나 이상의 그루브, 즉, 그루브(133')가 형성되어, 퀵릴리즈 부재(140)와 개구(130)의 정렬 용이성을 향상시킨다는 점이다.
본 개시에 따르면, 본 발명의 퀵릴리즈 밸브를 밸브가 없는 베이스(11)에 장착하기 위해서는, 밸브(154)가 삽입된 슬리브(150)가 올바른 방향에 위치되고, 커버 플레이트(120)의 피팅부(121)에 결합되어 슬리브(150)의 외측면과 피팅부(121)의 내측면 간에 기밀 접촉이 가능해진다. 슬리브(150)는 필터와 함께 적소에 장착된다. 그런 후, 바닥 플레이트(110)와 커버 플레이트(120)을 함께 끼워 베이스(11)를 형성한다. 퀵릴리즈 부재(140)는 바닥 플레이트(110)의 개구(130)에 진입하기 위해 올바른 방향으로 위치된다. 올바른 방향은 칼라(141)를 중앙 채널(131)과 정렬하고 한 쌍의 이어부(143)를 매칭된 채널(132)과 정렬하는 데 필요한 방향이다. 퀵릴리즈 부재(140)가 개구(130)와 정렬되면, 퀵릴리즈 부재(140)가 개구(130)를 통과하여 이어부(143)가 바닥 플레이트(110)의 내측면에 완전히 놓일 때까지 그리고 핸들(145)이 그루브(133)에 수용될 때까지 슬리브(150)의 하단부(152)를 잡고 누른다. 그 후, 핸들(145)을 조작하여 퀵릴리즈 부재(140)가 개구(130) 내에서 회전하도록 하고 이어부(143)가 바닥 플레이트(110)의 내측면과 접촉할 때까지, 즉, 도 6의 잠금 위치에서 도 7의 풀림 위치로 전환할 때까지 동시에 회전하도록 한다.
베이스(11)에 있는 밸브의 필터를 교체하기 위해, 퀵릴리즈 부재(140)는 도 7에 도시된 바와 같이 핸들(145)에 의해 잠금 위치에서 풀림 위치로 전환된다. 이어부(143)가 바닥 플레이트(110)의 내측면과 더 이상 접촉하지 않게 되자마자, 슬리브(150)의 하단부(152)가 퀵릴리즈 부재(140)를 아래쪽으로 가압하여, 퀵릴리즈 부재(140)가 슬리브(150)에 국한되지 않게 된다. 퀵릴리즈 부재(140)가 개구(130)에서 제거된 후, 슬리브(150)는 도구를 사용하여 베이스(11)에서 제거된다. 대안으로, 바닥 플레이트(110)와 커버 플레이트(120)를 분리한 후 슬리브(150)를 제거하여 필터를 교체할 수 있다.
결론적으로, 본 발명의 전술한 실시예는 퀵릴리즈 밸브, 상기 퀵릴리즈 밸브를 갖는 기판 용기, 및 상기 퀵릴리즈 밸브의 장착 및 탈착 방법을 제공한다. 퀵릴리즈 밸브의 퀵릴리즈 부재가 바닥 플레이트에 대해 잠금 위치에 있을 때, 퀵릴리즈 부재는 슬리브를 잡아서 베이스로부터 슬리브의 분리를 방지한다. 퀵릴리즈 부재가 바닥 플레이트에 대해 풀림 위치에 있을 때, 슬리브가 베이스에서 분리된다. 퀵릴리즈 부재가 탈착 가능하므로, 퀵릴리즈 밸브를 간편하고 신속하게 교체하여 작업 효율을 높일 수 있다.
10: 기판 용기
11, 12: 베이스
13, 14: 상부 커버
15: 외부 케이스 어셈블리
16: 내부 케이스 어셈블리
20: 기판
110: 바닥 플레이트
111: 내측면
112; 외측면
120: 커버 플레이트
121: 피팅부
130: 개구
131: 중앙 채널
132: 매칭된 채널
133, 133': 그루브
134: 슬라이드면
135: 제1 블록 표면
136: 제2 블록 표면
140: 퀵릴리즈 부재
141: 칼라
142: 환형 램프
143: 이어부
144: 직경 방향
145: 핸들
150: 슬리브
151: 상단부
152: 하단부
153: 유로
154: 밸브
155: 숄더부

Claims (22)

  1. 커버 플레이트 및 바닥 플레이트를 갖는 기판 용기용으로 구성된 퀵릴리즈 밸브로서, 상기 퀵릴리즈 밸브는:
    내경을 가지며 바닥 플레이트의 개구에 탈착 가능하게 결합되는 칼라를 갖는 퀵릴리즈 부재;
    가스가 기판 용기에 출입할 수 있도록 하는 유로를 갖는 슬리브; 및
    상기 유로에 배치되어 가스의 흐름방향을 제한하는 밸브를 포함하고,
    상기 슬리브의 외경이 상기 칼라의 내경보다 적어도 더 크며,
    상기 칼라는 직경 방향을 따라 외측으로 연장되는 한 쌍의 이어부(ear portion) 및 반경 방향을 따라 외측으로 연장되는 핸들을 가지며, 상기 이어부는 상기 핸들과 실질적으로 상이한 높이에 있는 퀵릴리즈 밸브.
  2. 제1항에 있어서,
    직경 방향과 반경 방향이 평행하지 않은 퀵릴리즈 밸브.
  3. 제1항에 있어서,
    칼라는 외측면과 내측면이 있고, 핸들은 상기 칼라의 외측면에 비교적 인접하고, 한 쌍의 이어부는 상기 칼라의 내측면에 비교적 인접한 퀵릴리즈 밸브. 칼라.
  4. 제1항에 있어서,
    한 쌍의 이어부는 각각 바닥 플레이트의 내측면 또는 개구의 내측 림에 대해 미는 하부면을 갖는 퀵릴리즈 밸브.
  5. 제1항에 있어서,
    핸들은 바닥 플레이트를 미는 상부면을 갖는 퀵릴리즈 밸브.
  6. 제1항에 있어서,
    한 쌍의 이어부 각각은 하부면을 갖고, 핸들은 상부면이 있어, 퀵릴리즈 부재가 개구에 결합되는 즉시 상기 한 쌍의 이어부의 하부면이 바닥 플레이트의 내측면 또는 개구의 내측 림을 밀게 하고 핸들의 상부면이 바닥 플레이트를 밀게 하는 퀵릴리즈 밸브.
  7. 제4항에 있어서,
    이어부 및 칼라의 핸들은 제1 위치와 제2 위치 사이에서 개구에 대해 이동하도록 구성되는 퀵릴리즈 밸브.
  8. 커버 플레이트 및 바닥 플레이트를 포함하는 베이스를 구비하고, 상기 바닥 플레이트는 내측면과 외측면이 있으며, 상기 바닥 플레이트는 내측면으로부터 외측면으로 연장되어 형성되고 퀵릴리즈 밸브를 수용하도록 구성된 적어도 하나의 개구를 갖는 기판 용기로서,
    상기 퀵릴리즈 밸브는:
    칼라가 있는 퀵릴리즈 부재;
    가스가 기판 용기에 출입할 수 있도록 하는 유로를 갖는 슬리브; 및
    상기 유로에 배치되어 가스의 흐름방향을 제한하는 밸브를 포함하고,
    상기 칼라는 직경 방향을 따라 외부로 연장되는 한 쌍의 이어부 및 반경 방향을 따라 외부로 연장되는 핸들을 가지며, 상기 퀵릴리즈 부재가 개구에 결합될 때, 핸들이 바닥 플레이트의 외측면에 있는 반면, 상기 한 쌍의 이어부는 바닥 플레이트의 내측면에 있어, 이에 의해 슬리브가 개구에서 빠져나가는 것을 상기 칼라가 방지할 수 있는 기판 용기.
  9. 제8항에 있어서,
    개구는 중앙 채널 및 상기 중앙 채널 옆에 2개의 매칭 채널을 포함하고, 상기 중앙 채널은 형상이 칼라에 대응하고, 상기 매칭 채널은 형상이 한 쌍의 이어부에 대응하여, 이에 의해 칼라와 퀵릴리즈 부재의 이어부가 개구에 들어가도록 하는 기판 용기.
  10. 제9항에 있어서,
    개구는 바닥 플레이트의 외측면에 형성되고 칼라가 바닥 플레이트의 개구에 결합될 때 상기 칼라의 핸들을 수용하도록 구성된 적어도 하나의 그루브를 더 포함하는 기판 용기.
  11. 제10항에 있어서,
    개구의 그루브는 제1 위치와 제2 위치 사이에서 핸들의 움직임을 제한함으로써, 상기 핸들이 제1 위치에 있을 때 칼라가 풀림 위치에 있게 하고 상기 핸들이 제2 위치에 있을 때 칼라가 잠금 위치에 있게 하는 기판 용기.
  12. 제10항에 있어서,
    슬라이드면에 의해 그루브가 정의되고, 상기 슬라이드면은 바닥 플레이트의 외측면과 평행하여 이에 의해 상기 칼라의 핸들이 상기 슬라이드면에 접촉되도록 하고, 칼라가 개구에 결합될 때 상기 핸들이 상기 슬라이드면을 가로질러 미끄러지게 하는 기판 용기.
  13. 제12항에 있어서,
    핸들이 바닥 플레이트의 슬라이드면과 접촉할 때, 한 쌍의 이어부의 하부면은 상기 바닥 플레이트의 내측면과 실질적으로 동일 높이에 있거나 상기 바닥 플레이트의 내측면보다 위에 있는 기판 용기.
  14. 제11항에 있어서,
    한 쌍의 이어부는 칼라가 풀림 위치에 있을 때 개구에 자유롭게 출입할 수 있고, 한 쌍의 이어부는 칼라가 잠금 위치에 있을 때 바닥 플레이트의 내측면에 놓이고 바닥 플레이트의 내측면에 대해 밀어내어 칼라가 개구에 단단히 결합되는 기판 용기.
  15. 기판 용기 상에 적어도 하나의 퀵릴리즈 밸브를 장착하도록 구성된 퀵릴리즈 밸브 장착 방법으로서,
    상기 퀵릴리즈 밸브는 칼라를 갖는 퀵릴리즈 부재, 유로를 갖는 슬리브, 및 밸브를 포함하고, 상기 칼라는 직경 방향을 따라 외부로 연장되는 한 쌍의 이어부 및 반경 방향을 따라 외부로 연장되는 핸들을 가지며, 상기 기판 용기는 커버 플레이트 및 바닥 플레이트가 있는 베이스를 포함하고, 상기 바닥 플레이트 그 위에 형성된 적어도 하나의 개구를 가지며, 상기 커버 플레이트는 개구에 대한 위치에 대응하는 피팅부를 갖고,
    상기 장착 방법은;
    슬리브의 유로에 밸브를 배치하는 단계;
    상기 슬리브와 상기 피팅부의 내측면 사이에 기밀 밀봉을 형성하기 위해 상기 슬리브를 피팅부에 연결하는 단계; 및
    핸들이 바닥 플레이트의 외측면과 이동가능하게 접촉하도록 하고 한 쌍의 이어부가 바닥 플레이트의 내측면에 있게 하여 상기 슬리브가 개구에서 이탈하는 것을 방지하기 위해 개구를 통해 한 쌍의 이어부를 통과시키는 단계를 포함하는 퀵릴리즈 밸브 장착 방법.
  16. 제15항에 있어서,
    개구는 중앙 채널 및 상기 중앙 채널 옆에 2개의 일치된 채널을 포함하고, 상기 중앙 채널은 형상이 칼라에 대응하고, 상기 일치된 채널은 형상이 한 쌍의 이어부에 대응하여, 이에 의해 칼라와 퀵릴리즈 부재의 이어부가 개구에 들어가도록 하는 퀵릴리즈 밸브 장착 방법.
  17. 제15항에 있어서,
    개구는 바닥 플레이트의 외측면에 배치되고 칼라가 상기 바닥 플레이트의 개구에 결합될 때 상기 칼라의 핸들을 수용하도록 구성된 적어도 하나의 그루브를 포함하는 퀵릴리즈 밸브 장착 방법.
  18. 제16항에 있어서,
    한 쌍의 이어부가 개구를 통과한 후, 핸들이 상기 개구에 대해 상대적으로 제1 위치에서 제2 위치로 이동되어, 퀵릴리즈 부재가 풀림 상태에서 잠금 상태로 전환되고, 상기 퀵릴리즈 부재가 잠금 위치에 있을 때 한 쌍의 이어부가 바닥 플레이트의 내측면에 위치되는 퀵릴리즈 밸브 장착 방법.
  19. 제17항에 있어서,
    그루브는 상기 그루브에 있는 제1 위치와 제2 위치 사이의 개구에 결합된 칼라의 핸들의 움직임을 제한하여, 상기 제1 위치에서 상기 제2 위치로 핸들이 움직인 후에 퀵릴리즈 부재를 풀림 위치에서 잠금 위치로 전환되어, 상기 잠금 위치에서 슬리브가 개구에서 빠져나가는 것을 방지하는 퀵릴리즈 밸브 장착 방법.
  20. 제15항에 따른 장착된 퀵릴리즈 밸브를 개구로부터 제거하도록 구성된 퀵릴리즈 밸브 탈착 방법으로서,
    한 쌍의 이어부가 잠금 위치에서 풀림 위치로 전환되게 하여, 이로써 풀림 위치에 있는 상기 한 쌍의 이어부가 개구에 자유롭게 출입할 수 있도록 핸들을 이동시키는 단계;
    칼라가 슬리브를 제한하지 않도록 퀵릴리즈 부재를 상기 개구로부터 제거하는 단계; 및
    상기 개구에서 상기 슬리브를 제거하는 단계를 포함하는 퀵릴리즈 밸브 탈착 방법.
  21. 제20항에 있어서,
    풀림 위치는 한 쌍의 이어부가 개구 내에서 자유롭게 매칭된 채널로 각각 출입하게 하고, 상기 매칭된 채널은 형태가 이어부에 대응하는 퀵릴리즈 밸브 탈착 방법.
  22. 제20항에 있어서,
    핸들을 이동시키는 단계는 핸들, 칼라 및 이어부를 동시에 이동시키도록 개구의 적어도 하나의 그루브 내에서 상기 핸들을 이동시키는 단계를 포함하는 퀵릴리즈 밸브 탈착 방법.
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