JP2016213377A - パージノズル - Google Patents

Abstract

【課題】構造の複雑化を抑制しつつ、容器の内部にパージガスを確実に供給することができるパージノズルを提供する。【解決手段】パージノズル１０は、容器４が載置されるベース部２を上下方向に沿って貫通し、容器４の内部に供給するためのパージガスＰが流通する配管部２０と、配管部２０が挿通された挿通孔３３が設けられ、容器４の注入口４Ａに接触するノズル部３０と、配管部２０が挿通された内側領域６２が設けられ、上下方向におけるノズル部３０の位置を調整する位置調整部６０と、を備える。【選択図】図３

Description

本発明は、容器の内部にパージガスを供給するパージノズルに関する。

例えば、特許文献１には、半導体ウェハ等を収容する容器の内部に不活性ガス等のパージガスを供給するパージノズルが開示されている。このパージノズルは、パージガスの供給配管の端部に接続されていると共に、容器が載置されるベース部を貫通する取付孔に固定されている。このパージノズルは、容器がベース部に載置されると、容器の注入口に接触し、供給配管から容器の内部にパージガスを供給する。

特開２００５−１６７１６８号公報

上記のようなパージノズルでは、例えば容器の種類が変わること等によって注入口とパージノズルとの位置関係が変わった場合、注入口とパージノズルとが良好に接触せず、パージガスが容器の内部に確実に供給されないおそれがある。従来、そのような場合であってもパージガスが容器の内部に確実に供給されるように、パージノズルについて種々の工夫が提案されている。

本発明は、構造の複雑化を抑制しつつ、容器の内部にパージガスを確実に供給することができるパージノズルを提供することを目的とする。

本発明の一側面に係るパージノズルは、容器が載置されるベース部を所定方向に沿って貫通し、容器の内部に供給するためのパージガスが流通する配管部と、配管部が挿通された第１挿通領域が設けられ、容器の注入口に接触するノズル部と、配管部が挿通された第２挿通領域が設けられ、所定方向におけるノズル部の位置を調整する位置調整部と、を備える。

このパージノズルでは、ベース部を貫通する配管部によってパージガスの流路が形成されている。更に、配管部がノズル部の第１挿通領域及び位置調整部の第２挿通領域に挿通されていることで、所定方向と交差する方向へのノズル部及び位置調整部の移動が規制されていると共に、所定方向へのノズル部の案内が可能となっている。すなわち、配管部は、パージガスの流路の形成手段として機能するだけでなく、ノズル部及び位置調整部の位置決め手段並びにノズル部の案内手段としても機能する。これにより、ノズル部及び位置調整部の位置決め手段並びにノズル部の案内手段として機能する構成を配管部とは別に設けることが不要となる。また、このパージノズルでは、容器の注入口とパージノズルとの位置関係が変わった場合でも、所定方向におけるノズル部の位置の調整が可能であるため、容器の注入口にノズル部を確実に接触させることができる。よって、このパージノズルによれば、構造の複雑化を抑制しつつ、容器の内部にパージガスを確実に供給することが可能となる。

また、ノズル部は、第１挿通領域において配管部とノズル部との間の隙間を塞ぐ環状の弾性部材を有していてもよい。上記のように構成されたパージノズルでは、所定方向へのノズル部の案内が可能となっていることから、配管部とノズル部との間に隙間が形成され、この隙間からパージガスが漏れるおそれがある。この点、このパージノズルによれば、配管部とノズル部との間の隙間が環状の弾性部材によって塞がれているため、当該隙間からパージガスが漏れることを抑制することができる。

また、ノズル部は、所定方向に沿って移動可能であり、位置調整部は、所定方向に沿って容器側にノズル部を付勢する弾性体であってもよい。この構成によれば、弾性体の付勢力によって容器の注入口とノズル部とが密着した状態が保たれつつ、容器によってノズル部が移動させられる。したがって、容器の注入口とパージノズルとの位置関係が変わった場合でも、容器の内部にパージガスを確実に供給することができる。

また、配管部とノズル部との間に隙間が形成されていてもよい。この構成によれば、ノズル部が首振り構造となるため、例えばベース部の平面度に誤差がある場合でも、当該誤差に対応してノズル部の角度を変更させ、容器の注入口にノズル部を確実に接触させることができる。

また、ノズル部は、位置調整部を介してベース部に固定されており、位置調整部は、必要に応じて挿入される１又は複数のスペーサであってもよい。この構成によれば、ノズル部とベース部との間に介在させるスペーサの枚数又は厚さを変更することで、所定方向におけるノズル部の位置を調整することができる。したがって、容器の注入口とパージノズルとの位置関係が変わった場合でも、容器の内部にパージガスを確実に供給することができる。

また、第２挿通領域は、所定方向から見て、スペーサの外縁に開口していてもよい。この構成によれば、ノズル部をベース部に仮固定した状態で、ベース部とノズル部との間に対してスペーサを挿抜することができる。したがって、所定方向におけるノズル部の位置の調整における作業性を向上させることができる。

本発明によれば、構造の複雑化を抑制しつつ、容器の内部にパージガスを確実に供給することができるパージノズルを提供することができる。

第１実施形態のパージノズルが設けられたベース部の斜視図である。 容器が載置されていない状態での図１のII−II線断面図である。 容器が載置された状態での図１のII−II線断面図である。 第２実施形態のパージノズルの断面図である。 図４のパージノズルにおけるスペーサの平面図である。 図４のパージノズルにおいて、上下方向におけるノズル部の位置を調整する様子を示す斜視図である。

以下、本発明に係る実施形態について、図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、以下の説明において、同一又は相当要素には同一符号を用い、重複する説明は省略する。また、以下の説明において、「上」「下」「左」「右」等の方向は例示であり、使用時又は製造時における状態を限定しない。

［第１実施形態］
図１に示されるように、パージノズル１０は、ベース部（棚受け）２に設けられている。パージノズル１０及びベース部２は、例えば、クリーンルーム内に設置されたパージストッカの保管棚を構成している。保管棚においては、ベース部２に載置された容器４の内部にパージノズル１０からパージガスＰが供給されて、容器４の内部の清浄度が維持される（図３参照）。容器４は、例えば、半導体ウェハ若しくはガラス基板等を収容するＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod）、又はレチクルを収容するレクチルポッド等である。パージガスＰは、例えば、不活性ガス又は清浄乾燥空気等である。

ベース部２は、板状の支持部材であり、移載装置が保管棚に対して容器４を移載するために、上下方向（鉛直方向）から見て略Ｕ字形状に形成されている。ベース部２には、ベース部２から上側に突出する３本のキネマティックピン２Ａが設けられている。３本のキネマティックピン２Ａは、ベース部２に容器４が載置される際に、それぞれ、容器４の底面に設けられた３つの溝部に嵌まる。つまり、容器４は、保管棚において、３本のキネマティックピン２Ａによって位置決めされると共に支持される。

更に、ベース部２には、容器４の内部にパージガスＰを供給するパージノズル１０と、容器４の内部からパージガスＰを排出する排出ノズル７０と、が設けられている。パージノズル１０は、図２及び図３に示されるように、ベース部２を上下方向に沿って貫通する取付孔２Ｂに固定されている。パージノズル１０は、配管部２０と、ノズル部３０と、コイルスプリング（位置調整部）６０と、を備えている。

配管部２０は、流路が設けられた円筒状の本管部２２と、本管部２２の流路に連続する流路が設けられた継手部２４と、を有している。本管部２２は、取付孔２Ｂに挿通されており、ベース部２を上下方向（所定方向）に沿って貫通している。継手部２４は、ベース部２よりも下側に配置され、パージガスＰの供給配管８０に接続されている。これにより、配管部２０の流路と供給配管８０の流路とが連続し、配管部２０をパージガスＰが流通する。配管部２０は、後述する第２固定部材４６に継手部２４が固定されることで、ベース部２に固定されている。なお、配管部２０は、例えば供給配管８０の一部であってもよく、供給配管８０をベース部２の裏面に固定部材等を用いて固定することで、配管部２０をベース部２に固定するようにしてもよい。

ノズル部３０は、本体部３２と、接触部４０と、Ｏリング（弾性部材）５０と、を有している。本体部３２には、円柱形状の挿通孔（第１挿通領域）３３が設けられている。挿通孔３３には、配管部２０の本管部２２が挿通されている。本体部３２は、本管部２２が挿通孔３３に挿通されていることで、本管部２２に沿って上下方向に移動可能となっている。挿通孔３３の内面と本管部２２の外面との間の隙間は、例えば０．３ｍｍ以上０．５ｍｍ以下に設定されている。

挿通孔３３の内面には、本管部２２を囲むように環状の溝３４が設けられている。溝３４には、Ｏリング５０が配置されている。本体部３２の下面には、上下方向から見て挿通孔３３を囲むように環状の溝３５が設けられている。溝３５には、弾性体であるコイルスプリング６０の上端部が配置されている。本体部３２の上面には、上下方向から見て挿通孔３３を囲むように環状の溝３６が設けられている。溝３６には、接触部４０が取り付けられている。本体部３２の下端部には、外側に突出するフランジ部３７が設けられている。フランジ部３７の外径は、取付孔２Ｂの内径よりも小さくなっている。

接触部４０は、上下方向から見て挿通孔３３を囲むように環状に形成されている。接触部４０は、その下端部を溝３６に嵌め込むことで、本体部３２に固定されている。接触部４０の上面は、容器４がベース部２に載置された際に、容器４の底面に設けられた注入口４Ａ（図３参照）に接触する。これにより、接触部４０の内側の領域を介して配管部２０と容器４とが連通し、容器４の内部へのパージガスＰの供給が可能となる。

接触部４０は、容器４に繰り返し接触するため、耐久性が高いことが好ましい。具体的には、永久変形又は変質し難いことが好ましい。また、容器４の注入口４Ａに付着し難いことが好ましい。更に、容器４内の清浄度を保つために、アウトガスの発生量が少ないことが好ましい。接触部４０は、以上の要求を満たし得るゴム、樹脂、又はステンレス若しくはアルミニウム等の金属によって形成されている。ここでは、接触部４０は、フッ素ゴムにより形成されている。

パージノズル１０は、固定部材４２を更に備えている。固定部材４２は、環状の第１固定部材４４と、板状の第２固定部材４６と、を有している。第１固定部材４４には、２つの挿通孔４４Ａが設けられている。第２固定部材４６には、上下方向において２つの挿通孔４４Ａにそれぞれ対向するように、２つのボルト孔４６Ａが設けられている。また、第２固定部材４６の中央には、挿通孔４６Ｂが設けられている。挿通孔４６Ｂには、本管部２２が挿通された状態で固定されている。なお、ベース部２には、上下方向において２つの挿通孔４４Ａにそれぞれ対向するように、複数の挿通孔２Ｃが設けられている。

固定部材４２は、第１固定部材４４と第２固定部材４６とでベース部２を挟んだ状態で、２本の固定ボルト４８によってベース部２に固定されている。具体的には、固定部材４２は、各固定ボルト４８が挿通孔４４Ａ及び挿通孔２Ｃに挿通されてボルト孔４６Ａに締結されることで、ベース部２に固定されている。

これら第１固定部材４４と第２固定部材４６との間に、本体部３２のフランジ部３７が配置されている。これにより、上下方向における本体部３２の位置は、フランジ部３７が第１固定部材４４の下面に当接する上側位置と、フランジ部３７が第２固定部材４６の上面に当接する下側位置との間で規制されている。後述するように、本体部３２は、コイルスプリング６０によって上側に付勢されており、容器４がベース部２に載置されていないときには、上側位置に位置し（図２参照）、容器４がベース部２に載置されているときには、上側位置と下側位置との間に位置する（図３参照）。

挿通孔３３の内面に形成された溝３４内に配置されたＯリング５０は、本管部２２及び本体部３２によって圧縮されており、本管部２２及び本体部３２に密着している。これにより、本管部２２と本体部３２との間の隙間が塞がれ、当該隙間からパージガスＰが漏れることが抑制されている。すなわち、Ｏリング５０は、挿通孔３３において、配管部２０と本体部３２との間の隙間を塞いでいる。

コイルスプリング６０の内側領域（第２挿通領域）６２には、本管部２２が挿通されている。コイルスプリング６０の上端部は、本体部３２の溝３５に配置されている。コイルスプリング６０の下端部は、第２固定部材４６に当接している。コイルスプリング６０は、本体部３２及び第２固定部材４６によって圧縮された状態となっている。これにより、コイルスプリング６０は、上下方向に沿って容器４側（上側）に本体部３２を付勢している。

図１に示されるように、排出ノズル７０は、パージノズル１０と同様の構成を有している。排出ノズル７０は、供給配管８０に代えてパージガスＰの排出配管８２に接続されており、容器４からパージガスＰを排出する。なお、排出ノズル７０に代えて、パージノズル１０を更に設けてもよい。また、排出ノズル７０は、省略されてもよい。

次に、図３を参照して、ベース部２に容器４が載置される場合について説明する。図３に示されるように、容器４がベース部２に近づくと、まず、ノズル部３０の接触部４０が容器４の注入口４Ａに接触する。より具体的には、注入口４Ａを構成する開口の周縁部に接触する。そして、コイルスプリング６０の付勢力によって注入口４Ａと接触部４０とが密着した状態に保たれつつ、ノズル部３０が容器４によって押し下げられる。容器４がベース部２に更に近づくと、ベース部２のキネマティックピン２Ａが容器４の溝部に当接し、注入口４Ａと接触部４０とが密着した状態で、ベース部２に容器４が載置される。このように、コイルスプリング６０は、上下方向におけるノズル部３０の位置を調整する位置調整部として機能する。

なお、注入口４Ａとパージノズル１０との位置関係は、容器４の種類が変わることによって、変わる場合がある。また、注入口４Ａとパージノズル１０との位置関係は、組付誤差、経年変化等に起因するベース部２の平面度のばらつきによって、変わる場合がある。更に、注入口４Ａとパージノズル１０との位置関係は、同一種類の容器４が用いられていても、容器４の製造誤差等によって、変わる場合がある。パージノズル１０では、以上の場合であっても、容器４の注入口４Ａと接触部４０とが接触しさえすれば、コイルスプリング６０の付勢力によって注入口４Ａと接触部４０とが密着した状態に保たれつつ、ノズル部３０が容器４によって押し下げられることで、上下方向におけるノズル部３０の位置が自動的に調整されることとなる。これにより、容器４の注入口４Ａとパージノズル１０との位置関係が変わった場合でも、容器４の内部にパージガスＰを確実に供給することができる。

以上説明したように、パージノズル１０では、ベース部２を貫通する本管部２２によってパージガスＰの流路が形成されている。更に、本管部２２がノズル部３０の挿通孔３３及びコイルスプリング６０の開口部６２に挿通されていることで、水平方向（上下方向と交差する方向）へのノズル部３０及びコイルスプリング６０の移動が規制されていると共に、上下方向へのノズル部３０の案内が可能となっている。すなわち、本管部２２は、パージガスＰの流路の形成手段として機能すると共に、ノズル部３０及びコイルスプリング６０の位置決め手段並びにノズル部３０の案内手段としても機能する。これにより、ノズル部３０及びコイルスプリング６０の位置決め手段並びにノズル部３０の案内手段として機能する構成を本管部２２とは別に設けることが不要となる。

また、パージノズル１０では、容器４の注入口４Ａとパージノズル１０との位置関係が変わった場合でも、上下方向におけるノズル部３０の位置の調整が可能であるため、容器４の注入口４Ａにノズル部３０を確実に接触させることができる。よって、このパージノズル１０によれば、構造の複雑化を抑制しつつ、容器４の内部にパージガスＰを確実に供給することが可能となっている。

また、パージノズル１０によれば、配管部２０とノズル部３０との間の隙間が環状のＯリング５０によって塞がれているため、当該隙間からパージガスＰが漏れることを抑制することができる。更に、パージノズル１０によれば、配管部２０の外側にＯリング５０が配置されており、Ｏリング５０がパージガスＰの流路上に配置されていないことから、ノズル部３０の上下方向における摺動に起因してＯリング５０からパーティクルが剥離した場合でも、当該パーティクルが容器４内に混入してしまうことを抑制することができる。なお、配管部２０とノズル部３０との間の隙間においては、容器４側（上側）が陽圧となっていることから、発生したパーティクルが容器４と反対側（下側）に排出されることとなる。

また、パージノズル１０によれば、コイルスプリング６０の付勢力によって容器４の注入口４Ａとノズル部３０とが密着した状態が保たれつつ、容器４によってノズル部３０が移動させられる。したがって、容器４の注入口４Ａとパージノズル１０との位置関係が変わった場合でも、容器４の内部にパージガスＰを確実に供給することができる。また、容器４の注入口４Ａとパージノズル１０との位置関係が変わった場合に、それに対応して上下方向におけるノズル部３０の位置を変更する等の作業を行う必要がないことから、上下方向におけるノズル部３０の位置の調整における作業性を向上させることができる。

また、パージノズル１０では、挿通孔３３の内面と本管部２２の外面との間に隙間が形成されており、ノズル部３０が首振り構造となっているため、例えばベース部２の平面度に誤差がある場合でも、当該誤差に対応してノズル部３０の角度を変更させ、容器４の注入口４Ａにノズル部３０の接触部４０を確実に接触させることができる。なお、挿通孔３３の内面と本管部２２の外面との間の隙間は、本体部３２の本管部２２に対する摺動を可能としつつ、本体部３２と本管部２２との間の隙間をなるべく小さくするために、例えば０．１ｍｍ程度に設定することが考えられる。これに対して、パージノズル１０では、当該隙間は、０．３ｍｍ以上０．５ｍｍ以下に設定されている。これにより、ノズル部３０の角度を好適に変更させ、容器４の注入口４Ａにノズル部３０の接触部４０を確実に接触させることが可能となっている。

［第２実施形態］
図４に示されるように、パージノズル１１０は、配管部２０と、ノズル部１３０と、スペーサ（位置調整部）１６０と、を備えている。

ノズル部１３０は、本体部１３２と、接触部４０と、Ｏリング５０と、を有している。本体部１３２は、第１本体部１３２Ａ及び第２本体部１３２Ｂを含んでいる。第１本体部１３２Ａには、挿通孔（第１挿通領域）１３３Ａが設けられている。第２本体部１３２Ｂには、挿通孔（第１挿通領域）１３３Ｂが設けられている。挿通孔１３３Ａ，１３３Ｂには、本管部２２が挿通されている。第１本体部１３２Ａ及び第２本体部１３２Ｂは、本管部２２が挿通孔１３３Ａ，１３３Ｂに挿通されていることで、本管部２２に沿って上下方向に移動可能となっている。なお、本体部１３２、接触部４０、及びＯリング５０を一体構造としてノズル部１３０を構成してもよい。

第１本体部１３２Ａの下面には、本管部２２を囲むように環状の溝１３４が設けられている。溝１３４には、Ｏリング５０が配置されている。第１本体部１３２Ａの上面には、上下方向から見て挿通孔１３３Ａを囲むように環状の溝３６が設けられている。溝３６には、接触部４０が取り付けられている。第１本体部１３２Ａには、２つの挿通孔１４４が設けられている。第２本体部１３２Ｂには、上下方向において２つの挿通孔１４４とそれぞれ対向するように、２つの挿通孔１４６が設けられている。第１本体部１３２Ａ及び第２本体部１３２Ｂは、２本の固定ボルト１４８によってベース部２に固定されている。具体的には、第１本体部１３２Ａ及び第２本体部１３２Ｂは、挿通孔１４４，１４６に挿通された固定ボルト１４８が、ベース部２に設けられたボルト孔２Ｄに締結されることで、ベース部２に固定されている。なお、第１本体部１３２Ａ及び第２本体部１３２Ｂは、取り扱いを容易にするために、固定ボルト１４８による固定とは別に、例えばネジ等によって互いに締結されていてもよい。

スペーサ１６０は、互いに同形状の複数（図４の例では、４枚）のシート状部材であり、ベース部２とノズル部１３０（第２本体部１３２Ｂ）との間に配置されている。図５に示されるように、スペーサ１６０は、上下方向から見て略Ｕ字形状に形成されており、開口部１６２と、一対の切り欠き部１６６と、を有している。開口部（第２挿通領域）１６２には、本管部２２が挿通されている。開口部１６２は、上下方向から見て、スペーサ１６０の外縁に開口している。開口部１６２の幅は、本管部２２の外径以上となっている。これにより、スペーサ１６０は、配管部２０に対して水平方向に挿抜可能となっている。一対の切り欠き部１６６は、スペーサ１６０を外縁から矩形状に切り欠いたような形状を有し、開口部１６２を挟むように配置されている。これら一対の切り欠き部１６６のそれぞれに、固定ボルト１４８が挿通（配置）されている。なお、切り欠き部１６６は、成形後にスペーサ１６０を外縁から切り欠くことにより形成されてもよく、成形時に形成されてもよい。

パージノズル１１０では、スペーサ１６０の枚数によって上下方向におけるノズル部１３０の位置が規定される。したがって、スペーサ１６０の枚数を変更することで、上下方向におけるノズル部１３０の位置を調整することができる。この調整の際には、図６に示されるように、固定ボルト１４８を緩めることにより、ノズル部１３０をベース部２に仮固定した状態で、ベース部２とノズル部１３０との間に対してスペーサ１６０を挿抜することができる。

以上説明したパージノズル１１０によれば、ノズル部１３０とベース部２との間に介在させるスペーサ１６０の枚数を変更することで、上下方向におけるノズル部１３０の位置を調整することができる。したがって、容器４の注入口４Ａとパージノズル１１０との位置関係が変わった場合でも、容器４の内部にパージガスＰを確実に供給することができる。したがって、パージノズル１１０によっても、上記第１実施形態のパージノズル１０と同様に、構造の複雑化を抑制しつつ、容器４の内部にパージガスＰを確実に供給することが可能となっている。

また、パージノズル１１０によれば、ノズル部１３０をベース部２に仮固定した状態で、ベース部２とノズル部３０と間に対してスペーサ１６０挿抜することができる。したがって、上下方向におけるノズル部１３０の位置の調整における作業性を向上させることができる。

また、パージノズル１１０によれば、ノズル部１３０がベース部２に固定ボルト１４８で固定されていることから、容器４がベース部２に載置された場合にノズル部１３０が移動することがなく、容器４の注入口４Ａにノズル部１３０を確実に接触させることができる。

以上、本発明の好適な実施形態について説明したが、本発明は、上記実施形態に限られるものではなく、各請求項に記載した要旨を変更しない範囲で変形し、又は他のものに適用してもよい。

例えば、上記第１実施形態では、弾性体としてコイルスプリング６０を用いたが、弾性体は、上下方向に沿って容器４側にノズル部３０を付勢可能であればよく、これに限定されない。例えば、弾性体は、板バネを分散配置したものであってもよく、又はゴムを環状に成形したもの等であってもよい。

また、上記第２実施形態では、開口部１６２が上下方向から見てスペーサ１６０の外縁に開口していたが、スペーサ１６０の外縁に開口していなくてもよい。例えば、開口部１６２は、スペーサ１６０に設けられた貫通孔であってもよい。この場合、上下方向におけるノズル部１３０の位置を調整する際には、ノズル部１３０を取り外した後、スペーサ１６０を本管部２２に沿って上下方向に挿抜すればよい。また、上記第２実施形態では、複数のスペーサ１６０を互いに同じ厚さとし、スペーサ１６０の枚数によって上下方向におけるノズル部１３０の位置を調整したが、複数のスペーサ１６０の少なくとも一部を互いに異なる厚さとし、複数のスペーサ１６０の厚さの総和を変更することによって上下方向におけるノズル部１３０の位置を調整してもよい。また、この場合又は上記第２実施形態において、ノズル部１３０とベース部２との間に介在させるスペーサ１６０は、一枚であってもよい。また、当該スペーサ１６０は、必要に応じて挿入されるものであり、例えば挿入されていなくてもよい。

２…ベース部、４…容器、４Ａ…注入口、１０，１１０…パージノズル、２０…配管部、３０，１３０…ノズル部、３３，１３３Ａ，１３３Ｂ…挿通孔（第１挿通領域）、５０…Ｏリング（弾性部材）、６０…コイルスプリング（位置調整部）、６２…内側領域（第２挿通領域）、１６０…スペーサ（位置調整部）、１６２…開口部（第２挿通領域）、Ｐ…パージガス。

Claims (6)

1. 容器が載置されるベース部を所定方向に沿って貫通し、前記容器の内部に供給するためのパージガスが流通する配管部と、
   前記配管部が挿通された第１挿通領域が設けられ、前記容器の注入口に接触するノズル部と、
   前記配管部が挿通された第２挿通領域が設けられ、前記所定方向における前記ノズル部の位置を調整する位置調整部と、を備える、パージノズル。
2. 前記ノズル部は、前記第１挿通領域において前記配管部と前記ノズル部との間の隙間を塞ぐ環状の弾性部材を有する、請求項１記載のパージノズル。
3. 前記ノズル部は、前記所定方向に沿って移動可能であり、
   前記位置調整部は、前記所定方向に沿って前記容器側に前記ノズル部を付勢する弾性体である、請求項１又は２記載のパージノズル。
4. 前記配管部と前記ノズル部との間に隙間が形成されている、請求項３記載のパージノズル。
5. 前記ノズル部は、前記位置調整部を介して前記ベース部に固定されており、
   前記位置調整部は、必要に応じて挿入される１又は複数のスペーサである、請求項１又は２記載のパージノズル。
6. 前記第２挿通領域は、前記所定方向から見て、前記スペーサの外縁に開口している、請求項５記載のパージノズル。

Images