JP2014036185A - パージノズルユニット、パージ装置、ロードポート - Google Patents
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Abstract
【解決手段】パージ対象容器100の底面に設けたポート101を通じてパージ対象容器内100の気体雰囲気を窒素又は乾燥空気の何れかからなるパージ用気体に置換可能なパージノズルユニット1を、下方から上方に向かうパージ用気体供給方向Aに沿って延伸するパージ用気体流路23を内部に形成したノズル本体2と、ノズル本体2の少なくとも上端部分を首振り動作可能に支持する傾動支持部3とを備えた構成にした。
【選択図】図2
Description
2…ノズル本体
22…球面部
23…パージ用気体流路
3…傾動支持部
31…球面軸受部
100…パージ対象容器(FOUP)
101…ポート
P…パージ装置
X…ロードポート
Claims (5)
- パージ対象容器の底面に設けたポートを通じて当該パージ対象容器内の気体雰囲気を窒素又は乾燥空気の何れかからなるパージ用気体に置換可能なパージノズルユニットであり、
下方から上方に向かうパージ用気体供給方向に沿って延伸するパージ用気体流路を内部に形成したノズル本体と、
前記ノズル本体の少なくとも上端部分を傾動可能に支持する傾動支持部とを備えていることを特徴とするパージノズルユニット。 - 前記傾動支持部が、ノズル本体の所定部分に形成した球面部を接触した状態で支持する球面軸受部を用いて構成したものである請求項1に記載のパージノズルユニット。
- 前記傾動支持部が、ノズル本体を弾性支持する弾性支持部材を用いて構成したものである請求項1に記載のパージノズルユニット。
- 請求項1乃至3の何れかに記載のパージノズルユニットを複数備え、パージ対象容器の底面に設けた複数のポートにそれぞれ前記パージノズルユニットの前記ノズル本体を連通させた状態で、前記パージ対象容器内の気体雰囲気を窒素又は乾燥空気に置換可能に構成していることを特徴とするパージ装置。
- クリーンルーム内において半導体製造装置に隣接して設けられ、搬送されてきたパージ対象容器であるFOUPを受け取り当該FOUP内に格納されているウェーハを前記半導体製造装置内と当該FOUP内との間でFOUPの前面に形成した搬出入口を介して出し入れするロードポートであって、
請求項4に記載のパージ装置を備えていることを特徴とするロードポート。
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