JP2015088500A - ロードポート装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】雰囲気置換のための構成を、鍔部を有して一の開口が載置台上に位置する筒状のガス流通ノズルと、ガス流通ノズルが軸方向に貫通して鍔部によって第一の圧力調整室及び第二の圧力調整室に分離画定される圧力室を有するハウジング部と、ガス流通ノズルの他の開口が内部に開口して圧力室との位置関係が固定されるガス流通室と、第一の圧力調整室及び第二の圧力調整室の間に差圧を生成させて該差圧を鍔部に作用させてガス流通ノズルを軸方向に移動させる差圧生成手段と、により構築する。
【選択図】図1
Description
前記ポッドが載置される載置台と、
鍔部を有して一の開口が前記載置台上に位置する筒状のガス流通ノズルと、
前記ガス流通ノズルが軸方向に貫通し、前記鍔部によって第一の圧力調整室及び第二の圧力調整室に分離画定される圧力室を有するハウジング部と、
前記ガス流通ノズルの他の開口が内部に開口し、前記圧力室との位置関係が固定されるガス流通室と、
前記第一の圧力調整室及び前記第二の圧力調整室の間に差圧を生成させ、前記差圧を前記鍔部に作用させて前記ガス流通ノズルを前記軸方向に移動させる差圧生成手段と、を有することを特徴とする。
次に、気体供給排出機構10の内部構成の具体的な実施例について、図2等を参照して述べる。なお、以降の実施例について、先の図1において述べた構成と同じ作用効果を呈する構成については同じ参照番号を用いて示すこととし、詳細な説明は割愛する。本実施例の気体供給排出機構10では、ガス流通ノズル3とハウジング部7との間に複数のシール部材16a、16b、16cが配置される。第一のシール部材16aはガス流通ノズル3において鍔部5よりも他の開口3b側に配置され、ガス流通室11と第一の圧力調整室9aとの間の気密と、ガス流通ノズル3のハウジング部7に対する摺動とを確保する。第二のシール部材16bは鍔部5の外周面と圧力室9の内周面との間に配置され、第一の圧力調整室9aと第二の圧力調整室9bとの室分離を為し、これら室間での差圧の生成を容易とする。第三のシール部材16cはガス流通ノズル3において鍔部5よりも一の開口3a側に配置され、第二の圧力調整室9bと外部空間との間の気密と、ガス流通ノズル3のハウジング部7に対する摺動とを確保する。
Claims (3)
- ポッドの蓋を開閉して前記ポッドに対して被処理物の挿脱を可能とし、被処理物の処理装置に付随して、前記処理装置に対する前記被処理物の搬送を可能とするロードポート装置であって、
前記ポッドが載置される載置台と、
鍔部を有して一の開口が前記載置台上に位置する筒状のガス流通ノズルと、
前記ガス流通ノズルが軸方向に貫通し、前記鍔部によって第一の圧力調整室及び第二の圧力調整室に分離画定される圧力室を有するハウジング部と、
前記ガス流通ノズルの他の開口が内部に開口し、前記圧力室との位置関係が固定されるガス流通室と、
前記第一の圧力調整室及び前記第二の圧力調整室の間に差圧を生成させ、前記差圧を前記鍔部に作用させて前記ガス流通ノズルを前記軸方向に移動させる差圧生成手段と、を有することを特徴とするロードポート装置。 - 前記ガス流通室は、前記差圧により前記ガス流通ノズルが前記軸方向に移動する際の前記他の開口の移動範囲を含む大きさを有することを特徴とする請求項1に記載のロードポート装置。
- 前記差圧生成手段は、前記軸方向において前記一の開口側に配置される前記第二の圧力調整室の内部に対して気体の供給及び排出を為して前記内部の圧力を調整する圧力調整手段を有することを特徴とする請求項1又は2に記載のロードポート装置。
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