KR101627983B1 - 퍼지용 접이식 웨이퍼 캐리어 버퍼장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 본체프레임의 하단부에 형성된 선반이 접이식으로 구성된 웨이퍼 캐리버 버퍼장치에 웨이퍼 퍼지(purge)용 불활성 가스를 공급하기 위한 배관의 일부가 신축 및 이완될 수 있는 접이식 웨이퍼 캐리어 버퍼 장치에 관한 것으로, 다수의 수직부재와 다수의 수평 연결부재가 상호 연결되어 형성되고 상단에는 설치장소에 고정하기 위한 고정부재가 구비되는 본체프레임; 상기 본체프레임의 하부에 설치되어 그 상부면에 포웁(FOUP: Front Opening Unified Pod)이 안착가능한 다수의 안착대를 구비하는 선반; 및 외부로부터 공급되는 퍼지(purge)용 불활성 가스를 상기 다수의 포웁에 전달하는 공급관과 포웁을 거쳐 배출되는 가스를 외부로 배출하는 배출관에 각각 연결되도록 상기 본체프레임의 수직부재 일 측에 형성되어, 상기 선반의 이동 동작에 연동하여 선반의 이동 방향과 동일한 방향으로의 상대적인 축 방향 움직임을 허용하는 한 쌍의 벨로우즈(bellows)를 포함하여 이루어지며, 타 장치와의 간섭을 피할 수 있도록 본체프레임을 접이식으로 구성할 경우에도 포웁 내의 오염물을 제거할 수 있는 퍼지용 불활성 가스를 제공할 수 있다는 장점이 있다.

Description

퍼지용 접이식 웨이퍼 캐리어 버퍼장치 {Foldable Wafer Carrier Buffer Apparatus To Purge}
본 발명은 퍼지용 웨이퍼 캐리어 버퍼장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 본체프레임의 하단부에 형성된 선반이 접이식으로 구성된 웨이퍼 캐리버 버퍼장치에 웨이퍼 퍼지(purge)용 불활성 가스를 공급하기 위한 배관의 일부가 신축 및 이완될 수 있는 접이식 웨이퍼 캐리어 버퍼 장치에 관한 것이다.
반도체 소자의 제조 과정에 있어서, 실리콘 웨이퍼(이하, 간략히 '웨이퍼'라 함)는 소자에 필요한 재료의 층을 구축하기 위하여 다양한 제조 공정, 예를 들어 박막 형성 공정, 사진 공정, 식각 공정 등 여러 차례의 공정 단계를 거쳐 생산된다.
그리고 웨이퍼가 각각의 공정 단계를 거쳐 운반될 때에는 이와 접촉하는 가스, 화학 약품 및 제반 환경에 따라 웨이퍼의 청정도가 지속적으로 유지될 수 있어야 한다. 다만, 클린룸의 유지비용을 줄이기 위하여 일부 설비 내부에서는 높은 청정도를 유지하며, 기타 지역에서는 이보다 낮은 청정도가 유지되도록 서로 구분하여 운영하고 있다.
하지만, 아무리 클린룸을 청정하게 운영한다 하여도, 클린룸 내부 환경은 웨이퍼의 표면보다는 덜 청정할 수밖에 없으며, 이로 인해 운반 중인 웨이퍼는 클린룸 내부의 공기에 노출되어 상당 부분 오염이 발생한다. 이는 결과적으로 웨이퍼의 결함을 유발하거나 품질을 저하시키는 원인으로 작용하였다.
따라서 웨이퍼의 청정도 수준을 높게 보증하기 위해서, 그리고 웨이퍼의 운반 상 수납 편의성을 개선하기 위해서, 웨이퍼를 수납하고 운반시키기 위한 표준화된 웨이퍼 캐리어가 사용된다. 이들 웨이퍼 캐리어의 구체적인 예로서 두 가지 형태를 제시할 수 있다. 하나는 표준 기계 인터페이스(SMIF: Standard Mechanical Interface) 포드이며, 나머지 하나는 전방 개방 통합 포드(FOUP: Front Opening Unified Pod: 이하 '포웁'이라 함)이다.
상기 포웁(Foup)에 저장된 웨이퍼는 반송 중에 STB(에스티비;Side Track Buffer)라는 버퍼장치를 거쳐 각 공정 장비로 이송된다. 상기 STB는 공장의 천장에 상기 STB를 안내하기 위한 레일에 설치되어서, 공간 활용성을 높일 수 있다는 점과, 공정간의 이동 거리를 단축할 수 있다는 장점이 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 웨이퍼 캐리어 버퍼장치의 개략 구조도이다. 도 1에 도시되는 바와 같이, 다수의 수직부재(111)와 이를 연결하는 수평연결부재(113)에 의해 형성되고 상단에는 천장과 같은 설치장소에 고정하기 위한 고정부재(115)가 구비되는 본체프레임(110)과, 상기 본체프레임(110)의 하단에 설치되고 포웁이 안착가능한 다수의 안착대(121)가 구비되는 선반(120)을 포함하는 구조를 가진다.
이러한 종래의 웨이퍼 캐리어 버퍼장치는 프레임이 일체형으로 되어 있어 반도체 웨이퍼 보관 포웁 이송 로봇과 같은 다른 장치와의 간섭이 우려되어 위치 설정이 제한적이다. 즉, 종래의 웨이퍼 캐리어 버퍼장치(100)의 경우에는 고정 형상을 가지는 본체프레임(110)의 하단에 포웁 안착대(121)를 포함하는 선반(120)이 고정설치되는 일체형 구조를 가짐에 따라, 상하방향으로 항상 동일한 높이 상에 포웁이 위치할 수밖에 없고, 다른 포웁을 이송 중인 이송로봇이 선반(120) 등에 충돌될 수 있는 문제점이 있었다. 이에 상기 선반을 본체 프레임에 대하여 상·하 또는 전·후 방향으로 이동하기 위한 구성을 가진 웨이퍼 캐리어 버퍼장치가 개발될 필요가 있다.
한편, 반도체 제작 공정에 있어서, 수율은 경제성을 도모하는 데 매우 중요한 요소이다. 그런데 반도체 제작공정에서 수율이 낮아지는 이유는, 공정간의 이동시 산소나 먼지 등에 의해 웨이퍼가 노출되고, 이에 따라 웨이퍼가 오염될 수 있는 환경이 제공되기 때문이다. 따라서 웨이퍼를 수납하고 운반하는 웨이퍼 캐리어 내부의 수분을 제거하기 위하여, 가스밸브와 주입 포트에 접속된 체크밸브를 조절하여 웨이퍼 캐리어 내부로 불활성 가스를 주입하고, 배기 포트에 접속된 체크밸브와 진공펌프를 통해 웨이퍼 캐리어 내부의 수분과 불활성 가스를 강제 배기시키는 퍼지(purge) 과정이 필요하다.
그런데 불활성 가스인 질소(N2)를 웨이퍼 캐리어 버퍼 장치에 제공하기 위한 공급관은 하드(hard) 배관으로 이루어져 있어, 선반을 본체 프레임에 대하여 상·하 또는 전·후 방향으로 이동하기 위한 구성을 가진 웨이퍼 캐리어 버퍼장치에 적용하기에 한계가 있었다. 따라서 선반이 본체프레임으로부터 이완 또는 신축되는 형태로 접어지거나 늘어질 때 웨이퍼 캐리어를 퍼지하기 위한 가스를 공급하기 위한 배관이 접이식으로 구성될 필요가 있다.
대한민국 등록특허 제10-1398440호(공고일자: 2014년 6월 19일)
본 발명은 타 장치와의 간섭을 피하기 위해 본체프레임을 접이식으로 구성할 수 있도록 프레임과 함께 퍼지용 가스를 제공하기 위한 배관을 접이식으로 적용할 수 있는 접이식 웨이퍼 캐리어 버퍼장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명의 다른 목적은 퍼지(purge)용 배관에 연결할 수 있는 벨로우즈(bellows)를 가진 접이식 웨이퍼 캐리어 버퍼장치를 제공하는 것이다.
이러한 목적들을 달성하기 위한 본 발명에 따른 접이식 웨이퍼 캐리어 버퍼장치는 다수의 수직부재와 다수의 수평 연결부재가 상호 연결되어 형성되고 상단에는 설치장소에 고정하기 위한 고정부재가 구비되는 본체프레임; 상기 본체프레임의 하부에 설치되어 그 상부면에 포웁(FOUP: Front Opening Unified Pod)이 안착가능한 다수의 안착대를 구비하는 선반; 및 외부로부터 공급되는 퍼지(purge)용 불활성 가스를 상기 다수의 포웁에 전달하는 공급관과 포웁을 거쳐 배출되는 가스를 외부로 배출하는 배출관에 각각 연결되도록 상기 본체프레임의 수직부재 일 측에 형성되어, 상기 선반의 이동 동작에 연동하여 선반의 이동 방향과 동일한 방향으로의 상대적인 축 방향 움직임을 허용하는 한 쌍의 벨로우즈(bellows)를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따른 접이식 웨이퍼 캐리어 버퍼장치의 세부적 특징은 상기 한 쌍의 벨로우즈가 상기 선반의 전·후 이동 또는 상·하 이동에 연동하여 본체프레임의 전·후 방향 또는 상·하로 동작하는 점이다.
본 발명에 따른 접이식 웨이퍼 캐리어 버퍼장치의 다른 세부적 특징은 상기 한 쌍의 벨로우즈가 용접형 벨로우즈(welded bellows) 또는 성형 벨로우즈중 선택된 어느 하나 이상인 점이다.
본 발명에 따른 접이식 웨이퍼 캐리어 버퍼장치의 또 다른 세부적 특징은 상기 불활성 가스가 질소(N2)인 점이다.
본 발명에 따른 접이식 웨이퍼 캐리어 버퍼장치의 또 다른 세부적 특징은 상기 한 쌍의 벨로우즈가 실린더와 피스톤을 포함하는 공압(空壓) 실린더 기구에 동작하는 점이다.
본 발명에 따른 접이식 웨이퍼 캐리어 버퍼장치의 또 다른 세부적 특징은 상기 공압(空壓) 실린더 기구에 대한 에어(Air)의 공급 및 배출을 제어하는 에어방향 제어밸브를 더 포함하는 점이다.
본 발명에 따른 접이식 웨이퍼 캐리어 버퍼장치는 타 장치와의 간섭을 피할 수 있도록 본체프레임을 접이식으로 구성할 경우에도 포웁 내의 오염물을 제거할 수 있는 퍼지용 불활성 가스를 제공할 수 있다는 장점이 있다.
도 1은 종래 기술에 따른 포웁 방식 웨이퍼 캐리어 버퍼장치의 예시도이다.
도 2a 내지 도 2d는 본 발명의 일 실시 예에 따른 접이식 웨이퍼 캐리어 버퍼장치의 벨로우즈가 늘어진 상태의 예시도이다.
도 3a 내지 도 3d는 본 발명의 일 실시 예에 따른 접이식 웨이퍼 캐리어 버퍼장치의 벨로우즈가 신축된 상태의 예시도이다.
도 4a 내지 도 4d는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 접이식 웨이퍼 캐리어 버퍼장치의 벨로우즈가 늘어진 상태의 예시도이다.
도 5a 내지 도 5d는 본 발명의 일 실시 예에 따른 접이식 웨이퍼 캐리어 버퍼장치의 벨로우즈가 신축된 상태의 예시도이다.
도 6a 내지 도 6c는 벨로우즈의 상태를 제어하기 위한 공압실린더의 동작 상태를 나타낸 예시도이다.
도 7은 제어가스의 온/오프 여부에 따른 벨로우즈의 상태 변화를 나타낸 예시도이다.
도 8은 벨로우즈가 포함된 퍼지(purge) 배관을 나타낸 예시도이다.
이하, 본 발명과 관련된 접이식 웨이퍼 캐리어 버퍼장치에 대하여 도면을 참조하여 상세하 게 설명한다. 이하의 설명에서 설명되는 구성요소에 대한 접미사 "모듈" 및 "부"는 명세서 작성의 용이함만이 고려되어 부여되거나 혼용되는 것으로서, 그 자체로 서로 구별되는 의미 또는 역할을 갖는 것은 아니다.
본 발명에 따른 접이식 웨이퍼 캐리어 버퍼장치는 포웁(Foup)이 안착되는 다수의 안착대를 구비한 선반을 필요에 따라 상·하 또는 전·후로 이동시켜야 할 때, 상기 포웁에 퍼지(purge)용 불활성 가스인 질소(N2)를 공급하기 위한 배관이 프레임과 함께 접이식으로 이루어져야 한다. 따라서 본 발명에 따른 접이식 웨이퍼 캐리어 버퍼장치는 배관이 상·하 또는 전·후로 접어질 수 있는 두 가지의 형태로 구현될 수 있는데, 상기 퍼지용 불활성 가스를 공급 및 배출하기 위한 배관에는 벨로우즈(bellows)를 적용한다.
벨로우즈(bellows)는 관(管)의 돌출부위 끝에 용접한 쭈글쭈글한 쇠 테두리의 형상을 가지는 것으로 관(管)과 종단 이음관과의 상대적인 축 방향 움직임을 허용하면서 그 사이의 가스 또는 액체물을 밀폐시키고자 할 때 사용하는 기구 장치를 나타낸다. 일반적으로 벨로우즈(bellows)의 종류로는 용접형 벨로우즈(Welded bellows)와 성형 벨로우즈(Formed bellows)가 있다. 용접형 벨로우즈는 0.02~0.05㎜의 초미니 박판을 비소모 전극봉에 불활성 가스를 이용하여 모재 사이에서 발생하는 아크열로 2겹 또는 용도에 따라 다층의 다이아프램(diaphragm)을 용접하여 제작한다. 성형 벨로우즈는 연신율이 우수한 박판 재료를 튜브로 만든 다음 외측에 벨로우즈 성형 금형을 넣어 튜브 내부에 고압의 유체압력을 가하여 성형한다. 본 발명의 바람직한 실시 예에서는 용접형 벨로우즈(welded bellows)를 사용한다.
본 발명에서의 벨로우즈(bellows)를 구동하기 위해서는 실린더와 피스톤을 포함하는 공압(空壓) 실린더 기구를 구비하며, 상기 공압(空壓) 실린더 기구에 대한 에어(Air)의 공급 및 배출을 제어할 수 있는 에어 방향 제어밸브를 구비한다.
도 2a 내지 도 3d는 본 발명의 일 실시 예에 따른 접이식 웨이퍼 캐리어 버퍼장치는 선반이 상·하로 이동하는 경우에 대한 구성을 나타낸 것이다. 도 2a 내지 도 2d는 선반을 상·하로 이동시키기 위한 제어용 에어(air)가 오프(off)되어 선반이 본체 프레임의 하부방향으로 내려져 유지된 경우의 예시도이다. 본 발명의 일실시 예에 따른 접이식 웨이퍼 캐리어 버퍼장치(210)의 구성을 살펴보면 도 2a에 도시된 바와 같이, 다수의 수직부재(111)와 다수의 수평 연결부재(113)가 상호 연결되어 형성되고 상단에는 설치장소에 고정하기 위한 고정부재가 구비되는 본체프레임(110)과, 상기 본체프레임(110)의 하부에 설치되어 그 상부면에 포웁(FOUP: Front Opening Unified Pod)이 안착가능한 다수의 안착대(121)를 구비하는 선반(120); 및 외부로부터 공급되는 퍼지(purge)용 불활성 가스를 상기 다수의 포웁에 전달하는 공급관과 포웁을 거쳐 배출되는 가스를 외부로 배출하는 배출관에 각각 연결되도록 상기 본체프레임(110)의 수직부재(111) 일 측에 형성된 벨로우즈(bellows)(131)를 포함하여 이루어진다.
도 2b는 도 2a의 반대 방향에서 바라본 접이식 웨이퍼 캐리어 버퍼장치를 나타낸 예시도이다. 도시된 바와 같이, 제어용 에어(air)를 공급하지 않아(Off) 한 쌍의 벨로우즈(131)가 이완된 상태이다. 도 2c는 본 발명에 따른 접이식 웨이퍼 캐리어 버퍼장치(210)를 전면에서 바라본 상태의 예시도로서, 벨로우즈(131)가 이완된 상태를 확인할 수 있다. 도 2d는 본 발명에 따른 접이식 웨이퍼 캐리어 버퍼장치(210)를 우측면에서 바라본 상태의 예시도이다.
도 3a 내지 도 3d는 이송로봇과의 충돌을 방지하기 위해 선반을 상·하로 이동시키기 위한 제어용 에어(air)가 온(on) 상태로 되어 선반이 본체 프레임에 대해 상부방향으로 들어 올려진 상태로 유지된 경우의 사시도이다. 도 3a에서 보는 바와 같이 에어방향 제어밸브(150)를 통해 제어용 에어가 공급되어 공압실린더(141)에 공급되는 에어에 의해 실린더가 공압실린더(141) 내부로 들어간 상태를 나타내고 있다. 이때, 선반(120)도 본체프레임(110) 방향으로 올라가게 되고 한 쌍의 벨로우즈(131)도 동일하게 본체프레임의 수직부재(111) 방향으로 수축하게 된다.
도 3b는 도 3a의 반대 방향에서 바라본 접이식 웨이퍼 캐리어 버퍼장치를 나타낸 예시도이다. 도시된 바와 같이, 에어방향 제어밸브(150)를 이용하여 제어용 에어(air)를 공급하여(On) 한 쌍의 벨로우즈(131)가 본체프레임의 수직부재(111) 방향으로 수축된 상태이다. 도 3c는 본 발명에 따른 접이식 웨이퍼 캐리어 버퍼장치(210)를 전면에서 바라본 상태의 예시도로서, 벨로우즈(131)가 수축된 상태를 확인할 수 있다. 도 3d는 본 발명에 따른 접이식 웨이퍼 캐리어 버퍼장치(210)를 우측면에서 바라본 상태의 예시도이다.
도 4a 내지 도 4d는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 접이식 웨이퍼 캐리어 버퍼장치(220)의 선반이 본체프레임의 전방으로 나와있는 상태의 예시도이다. 도 4a 내지 도 4d에서 보는 바와 같이, 선반(120)이 본체프레임의 전방으로 이동한 상태를 나타낸다. 본체프레임의 일측에는 상기 선반(120)의 위치를 제어하기 위한 공압실린더(142)가 선반(120)의 이동 축 방향에 일치하도록 구비된다.
상기 선반(120)의 이동 동작에 연동하여 선반(120)의 이동 방향과 동일한 방향으로 이완된 상태를 갖는 한 쌍의 벨로우즈(bellows)(132)가 형성되어 있다. 도 4b는 도 4a의 반대 방향에서 바라본 접이식 웨이퍼 캐리어 버퍼장치를 나타낸 예시도이다. 도시된 바와 같이, 제어용 에어(air)를 공급하지 않아(Off) 한 쌍의 벨로우즈(132)가 이완된 상태이다. 도 4c는 본 발명에 따른 접이식 웨이퍼 캐리어 버퍼장치(220)를 전면에서 바라본 상태의 예시도로서, 벨로우즈(132)가 이완된 상태를 확인할 수 있다. 도 4d는 본 발명에 따른 접이식 웨이퍼 캐리어 버퍼장치(220)를 우측면에서 바라본 상태의 예시도이다.
도 5a 내지 도 5d는 본 발명의 다른 실시 예에 따른 접이식 웨이퍼 캐리어 버퍼장치의 선반이 본체프레임 방향으로 신축된 상태의 예시도이다. 공압실린더(142)에 제어용 가스가 공급되어(On) 이송로봇과의 충돌을 방지하기 위해 선반을 본체프레임 방향으로 이동시키기 위한 제어용 에어(air)가 온(on) 상태로 되어 선반(120)이 본체프레임 방향으로 이동된 상태를 나타낸 예시도이다. 도 5a에서 보는 바와 같이 에어방향 제어밸브(150)를 통해 제어용 에어가 공급되어 공압실린더(142)에 공급되는 에어에 의해 실린더가 공압실린더(142) 내부로 들어간 상태를 나타내고 있다. 이때, 선반(120)도 본체프레임(110) 방향으로 신축하게 되고 한 쌍의 벨로우즈(132)도 동일하게 본체프레임의 수직부재(111) 방향으로 수축하게 된다.
도 5b는 도 5a의 반대 방향에서 바라본 접이식 웨이퍼 캐리어 버퍼장치를 나타낸 예시도이다. 도시된 바와 같이, 에어방향 제어밸브(150)를 이용하여 제어용 에어(air)를 공급하여(On) 한 쌍의 벨로우즈(132)가 본체프레임의 수직부재(111) 방향으로 수축된 상태이다. 도 5c는 본 발명에 따른 접이식 웨이퍼 캐리어 버퍼장치(220)를 전면에서 바라본 상태의 예시도로서, 벨로우즈(132)가 수축된 상태를 확인할 수 있다. 도 5d는 본 발명에 따른 접이식 웨이퍼 캐리어 버퍼장치(220)를 우측면에서 바라본 상태의 예시도이다.
도 6a 내지 도 6c는 벨로우즈의 상태를 제어하기 위한 공압실린더의 동작 상태를 나타낸 예시도이다. 도 6a는 공압실린더를 제어하기 위한 제어 에어가 공급되지 않아(Off) 공압실린더의 실린더가 몸체로부터 이완된 상태를 나타낸 것으로 에어방향 제어밸브(150)에는 프로세스 에어가 항시 공급되는데 에어(Air) 공급 방향과 배기 방향을 나타낸다. 한편, 도 6b는 프로세스 에어가 항시 공급되는 상태에서 선반이 본체 프레임 방향으로 신축될 때, 제어 에어가 공급되어(On) 실린더가 공압실린더의 몸체 내부로 인입된 상태를 나타낸다. 한편, 도 6c는 실린더가 공압실린더의 몸체 외부로 이완된 상태를 나타낸 단면도로서, 제어 에어가 실린더 몸체의 하단부를 통해 공급되고 실린더 몸체의 상부로 배기되는 것을 알 수 있다.
도 7은 제어 에어의 공급 여부(On/Off)에 따른 벨로우즈의 상태 변화를 나타낸 예시도이다. 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시 예 및 다른 실시 예에 따른 벨로우즈(131, 132)는 제어 에어가 공급되지 않을 때(Off) 이완된 상태를 갖는다. 한편 공압실린더를 통해 제어 에어가 공급될 때(On) 공압실린더의 실린더가 신축되면서 선반의 이동 방향과 동일한 방향으로 신축될 때, 벨로우즈(131, 132)가 신축되는 것을 나타낸다.
도 8은 벨로우즈가 포함된 퍼지(purge)용 배관(130)을 나타낸 예시도로서, 벨로우즈가 상·하 방향으로 신축 및 이완되는 실시 예에 따른 것이며 벨로우즈가 본체프레임의 전·후로 동작하는 경우도 이와 유사하므로 이에 대한 설명은 생략한다. 포웁(Foup) 내의 웨이퍼를 퍼지(purge)하기 위한 불활성 가스인 질소(N2)가 이동하는 경로를 나타내고 있다. 녹색으로 표시된 배관은 외부로부터 제공되는 포웁 내부로 퍼지용 가스를 공급하기 위한 퍼지 가스 공급라인을 나타내며, 붉은 색으로 표시된 배관은 웨이퍼 캐리어 내부의 습기와 불활성 가스를 외부로 배출하기 위한 배기라인을 나타낸다.
100, 210, 220: 웨이퍼 캐리어 버퍼장치 110: 본체프레임
111: 수직부재 113: 수평부재
115: 고정부재 120: 선반
121: 안착부 130: 배관
131, 132: 벨로우즈 141, 142: 공압실린더
150: 에어방향 제어밸브

Claims (7)

  1. 다수의 수직부재와 다수의 수평 연결부재가 상호 연결되어 형성되고 상단에는 설치장소에 고정하기 위한 고정부재가 구비되는 본체프레임;
    포웁(FOUP: Front Opening Unified Pod)이 안착되며, 상기 본체프레임의 하부에 설치되는 다수의 안착대를 구비하는 선반; 및
    외부로부터 공급되는 퍼지(purge)용 불활성 가스를 다수의 상기 포웁(FOUP)에 전달하는 공급관과 포웁을 거쳐 배출되는 가스를 외부로 배출하는 배출관에 각각 연결되도록 상기 본체프레임의 수직부재 일 측에 형성되어, 상기 선반의 이동 동작에 연동하여 선반의 이동 방향과 동일한 방향으로의 상대적인 축 방향 움직임을 허용하는 한 쌍의 벨로우즈(bellows)를 포함하여 이루어지는 접이식 웨이퍼 캐리어 버퍼장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 한 쌍의 벨로우즈는,
    상기 선반의 전·후 이동에 연동하여 본체프레임의 전·후 방향으로 동작하는 것을 특징으로 하는 접이식 웨이퍼 캐리어 버퍼장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 한 쌍의 벨로우즈는,
    상기 선반의 상·하 이동에 연동하여 본체프레임의 수직 방향으로 동작하는 것을 특징으로 하는 접이식 웨이퍼 캐리어 버퍼장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 한 쌍의 벨로우즈는 용접형 벨로우즈(welded bellows) 또는 성형 벨로우즈중 선택된 어느 하나 이상인 것을 특징으로 하는 접이식 웨이퍼 캐리어 버퍼장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 불활성 가스는 질소(N2)인 것을 특징으로 하는 접이식 웨이퍼 캐리어 버퍼장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 한 쌍의 벨로우즈는 실린더와 피스톤을 포함하는 공압(空壓) 실린더 기구에 동작하는 것을 특징으로 하는 접이식 웨이퍼 캐리어 버퍼장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 공압(空壓) 실린더 기구에 대한 에어(Air)의 공급 및 배출을 제어하는 에어방향 제어밸브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 접이식 웨이퍼 캐리어 버퍼장치.
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