JP2019192684A - 排気ノズルユニット、ロードポート、及びｅｆｅｍ - Google Patents

Abstract

【課題】従来から一般的に使用されている容器の底面に設けられているポートに対して接続可能であり、容器内の気体を容器の後側のポートを通じて容器の外部に排気可能な排気ノズルユニットを提供する。【解決手段】搬出入口４１を有する基板収納容器４から、容器４内の気体雰囲気を容器４の底面に有するポート４０を通して外部に排出可能な排気ノズルユニット９を、ポート４０の弁４０３を押圧することによって当該ポート４０を閉止状態から開放状態に切替可能なノズル９１と、ポート４０を開放状態にする使用姿勢（Ｎ１）とポート４０を閉止状態にする待機姿勢（Ｎ３）との間でノズル９１を昇降可能に保持するハウジング９２とを備えた構成にした。【選択図】図５

Description

本発明は、ウェーハ等の搬送対象物が収納可能な容器内の気体雰囲気を容器の底面に形成されたポートを介して外部に排出可能な排気ノズルユニット、また、このような排気ノズルユニットを備えたロードポート、さらにはロードポートと搬送空間を内部に有する搬送室とを備えたＥＦＥＭに関する。

例えば半導体の製造工程においては、歩留まりや品質の向上のため、クリーンルーム内でのウェーハの処理がなされている。近年では、ウェーハの周囲の局所的な空間についてのみ清浄度をより向上させる「ミニエンバイロメント方式」を取り入れ、ウェーハの搬送その他の処理を行う手段が採用されている。ミニエンバイロメント方式では、筐体の内部で略閉止されたウェーハ搬送室（以下「搬送室」）の壁面の一部を構成するとともに、高清浄な内部空間にウェーハ等の搬送対象物が収納された搬送容器（以下「容器」）を載置し、容器のドア（以下「容器ドア」）に密着した状態で当該容器ドアを開閉させる機能を有するロードポート（Load Port）が搬送室に隣接して設けられている。以下では、容器ドアに係合可能であって容器ドアを開閉させるロードポートのドアを「ロードポートドア」とする。

ロードポートは、搬送室との間で搬送対象物の出し入れを行うための装置であり、搬送室と容器（例えばＦＯＵＰ（Front-Opening Unified Pod））の間におけるインターフェース部として機能する。そして、ＦＯＵＰのドア（以下「ＦＯＵＰドア」）に対してロードポートドアを所定の隙間を介して対向する状態でこれらＦＯＵＰドア及びロードポートドアが同時に開けられると、搬送室内に配置された搬送ロボット（ウェーハ搬送装置）によって、ＦＯＵＰ内の搬送対象物を搬送室内に取り出したり、搬送対象物を搬送室内からＦＯＵＰ内に収納できるように構成されている。

ウェーハ周辺の雰囲気を適切に維持するために、上述のＦＯＵＰと呼ばれる格納ポッドが用いられ、ＦＯＵＰの内部にウェーハを収容して管理している。さらに、ウェーハに処理を行う処理装置と、ＦＯＵＰとの間でウェーハの受け渡しを行うために、搬送室と、ロードポートとを用いて構成されるＥＦＥＭ（Equipment Front End Module）が利用されている。

近年では素子の高集積化や回路の微細化が進められており、ウェーハ表面へのパーティクルや水分の付着が生じないように、ウェーハ周辺を高いクリーン度に維持することが求められている。そこで、ウェーハ表面が酸化するなど表面の性状が変化することがないよう、ＦＯＵＰの内部に窒素を充填して、ウェーハ周辺を不活性ガスである窒素雰囲気としたり、真空状態としたりすることも行われている。

さらに、ウェーハの最先端プロセスにおいては、搬送室上部に配置したファンフィルタユニットから常時流すダウンフローとして用いられる清浄な大気に含まれる酸素、水分などですら、ウェーハの性状を変化させるおそれがある。このため特許文献１のように、不活性ガスをＥＦＥＭ内に循環させる技術の実用化が求められている。

このような技術背景において、処理された後に容器に収容されるウェーハからアウトガスが放出され、特に処理直後のウェーハほどアウトガスの放出量も多く、容器に収容される処理前後のウェーハの表面が汚染され易く、品質向上を妨げる一因となっている。

特許文献２には、ウェーハ搬送室に接続されたＦＯＵＰ等の容器に、ウェーハ搬送室内に形成した下降気流の一部がベースの開口部を介して流入するように整流板を設け、ロードポートとして、容器のうち底面中央よりもベースの開口部から離間する位置に形成された底孔に連通可能なボトムノズルと、ボトムノズルを介して容器の内部の気体を容器の外部へ排出可能な気体排出流路とを有するものを適用するＥＦＥＭが開示されている。同文献では、このようなＥＦＥＭによれば、ベースの開口部を介してウェーハが搬出・搬入されている間、処理後のウェーハから放出されるアウトガスを、効果的に容器の外部に排出させることができる、と記載されている。すなわち、ベースの開口部は開口面積が広く、また、ウェーハ搬送室には高い清浄度を維持するために下降気流が形成されているため、整流板による下降気流の誘導により、容器の内部へウェーハ搬送室内の気体が容易に流入する。

また、ベースの開口部から離間した底孔から容器内部の気体が排出されるため、ウェーハが収納される容器の内部全体に、ベースの開口部から容器の底孔へ向かう気流が形成され、その気流が容器内のウェーハの表面近傍を通過することにより、アウトガスの排出が促進される。その結果、処理後のウェーハから生じるアウトガスによって容器内のウェーハが酸化又は汚染される事態を防止することができる。

特開２０１４−１１２６３１号公報 特開２０１７−１０８０４８号公報

ここで、引用文献２に記載のＥＦＥＭは、容器の内部空間全体に、搬送室内からの気流に沿ってアウトガスを容器内に滞留させることなく容器の外部に排出するために、容器の底部に設けられた複数のポート（底孔）のうち、ベースの開口部から相対的に遠い位置に形成されたポートから気体が排出されるように設定されている。すなわち、搬送空間の窒素ガスを容器内に流入させ、容器内部の奥方側から排気することで、容器内に載置された処理済みのウェーハから生じるアウトガスを容器の外部に排出して、容器内の環境を清浄に保ち、ウェーハ表面を酸化や汚染から守ることができる。

ところで、半導体製造現場（半導体製造ライン）では、容器であるＦＯＵＰの内部空間に対して、ＦＯＵＰの底部から窒素ガス（パージ用ガス）を注入してＦＯＵＰ内を窒素ガスに置換するボトムパージ機能を有するロードポートが用いられている。ここで、現在一般的に行われているボトムパージ処理においては、ＦＯＵＰの底部に設けられた複数のポートのうち、ベースの開口部から相対的に遠い位置に設けられたポートをロードポートの供給ノズルに接続するとともに、ベースの開口部から相対的に近い位置に設けられたポートをロードポートの排気ノズルに接続し、ＦＯＵＰ内部の奥方側（ＦＯＵＰドアから遠い側）から手前側（ＦＯＵＰドアに近い側）に向かう気流を形成してＦＯＵＰ内にパージ用ガスを充満する処理が行われている。

このように、現在、汎用的に用いられているＦＯＵＰは、ベースの開口部から遠い奥方側に供給ポートが存在する。そして、供給ポートには逆流を防止するための弁が設けられており、この供給ポートの弁がパージ用ガスの供給に伴う圧力で持ち上げられることで、ＦＯＵＰ内にパージ用ガスを供給することが可能になる。

したがって、特許文献２に記載の構成を実現するためには、容器として現在使用されている一般的なＦＯＵＰを用いることができず、新たな容器に全て変更する必要がある。半導体製造ラインでは大量の容器（ＦＯＵＰ）が既に広く使用されており、その全数を交換して同文献の構成を採用することはユーザにとって負担が大きく、製造現場に導入され難いと考えられる。

本発明は、このような課題に着目してなされたものであって、主たる目的は、容器内部における奥方側のポートを気体の供給圧力に依らずに強制的に開放状態にして、容器内の気体を排気することが可能な排気ノズルユニットを提供すること、また、このような排気ノズルユニットを備え、容器内部における奥方側のポートを通じて容器内の気体を容器の外部に排気可能なロードポート、さらにはＥＦＥＭを、従来の容器を利用して実現可能な技術を提供することにある。なお、本発明は、ＦＯＵＰ以外の容器であっても対応可能な技術である。

すなわち、本発明は、搬出入口を有する基板収納容器から、容器内の気体雰囲気を容器の底面に有するポートを通して外部に排出可能な排気ノズルユニットに関する。

そして、本発明に係る排気ノズルユニットは、ポートの弁を押圧することによって当該ポートを閉止状態から開放状態に切替可能なノズルと、ポートを開放状態にする使用姿勢とポートを閉止状態にする待機姿勢との間でノズルを昇降可能に保持するハウジングとを備えていることを特徴としている。

このような排気ノズルユニットであれば、ノズルを待機姿勢から使用姿勢に切り替えることによってポートを開放状態にすることができる。したがって、排気ノズルユニットから供給する気体の圧力に依ることなくポートを閉止状態から開放状態に切り替えることが可能であり、このような排気ノズルユニットを基板収納容器の底面に設けた任意のポートにそれぞれ接続することで、ポートのうち容器の搬出入口から相対的に遠い位置（容器内部において搬出入口から遠い奥方側の位置）に設けられたポートを、気体の供給圧力に依らずに強制的に開放状態にすることが可能である。その結果、容器の搬出入口から相対的に遠い位置に設けられたポート及びそのポートに接続した排気ノズルユニットを通じて容器内の気体雰囲気を容器の外部に排出することが可能であり、相対的に容器の搬出入口に近い位置（容器内部において搬出入口から近い手前側の位置）に設けられたポート及びそのポートに接続した排気ノズルユニットを通じて容器の外部に排気する構成と比較して、容器内のガス（容器内のウェーハから放出されるアウトガスを含む気体）を容器外に効率良く排出することができる。

以上のように、本発明によれば、多くの製造現場で既に使用されている容器をそのまま利用して、搬送空間内から取り込んで容器内に流入した気体を容器の奥方側のポートを通じて容器の外部に排気可能な排気ノズルユニットを実現することができる。

なお、相対的に容器の搬出入口から遠い位置（奥方側の位置）に設けられたポート（排気用ポート）と搬出入口との離間距離が、容器に収納されるウェーハの３分の２以上である場合が殆どであり、このこともまたウェーハから放出されるアウトガスを含む気体を容器外に効率良く排出することが可能な要因である。

本発明の排気ノズルユニットにおいて、ノズルが、ポートの外縁に密着可能な第１ノズルと、ポートの弁を押圧する第２ノズルとを備えたものであれば、第１ノズルをポートの外縁に密着させた気密状態で第２ノズルにより弁を押圧してポートを開放状態にすることができ、排気ノズルユニットとポートとの隙間を通じて容器内の気体が容器の外部へ流出する事態を防止できる。

特に、本発明の排気ノズルユニットとして、ノズルとハウジングとの間に動作調整空間を有するものを適用した場合には、動作調整空間に対してノズル制御用気体を出し入れすることによりノズルを使用姿勢と待機姿勢との間で動作させる構成を採用することができる。このような構成であれば、ノズルを駆動させるための専用の駆動機構が不要であり、簡素な構成でありながらノズルの姿勢変更の動作を制御することができる。

また、本発明に係るロードポートは、容器を載置する載置台と、載置台の所定箇所に配置された上述の構成の排気ノズルユニットとを備えていることを特徴としている。このようなロードポートであれば、上述した排気ノズルユニットの構成に基づく作用効果を奏し、容器内部における奥方側のポートを通じて容器内の気体を容器の外部に排気することが可能である。

また、本発明に係るＥＦＥＭは、搬出入口を有する容器と搬送空間との間で搬送対象物を搬送する搬送ロボットが配置される搬送室と、容器が載置される載置台を有するロードポートとを備えたものであって、ロードポートとして、容器内の気体雰囲気を環境ガスに置換可能なパージ装置を備えたものを適用し、パージ装置が、載置台の所定箇所に配置され、且つ容器の底面に１つ以上設けられたポートに接続される１つ以上の排気ノズルユニットを備えたものであり、排気ノズルユニットとして、ポートの弁を押圧することによって当該ポートを閉止状態から開放状態に切替可能なノズルと、ノズルを、ポートを開放状態にする使用姿勢とポートを閉止状態にする待機姿勢との間で昇降可能に保持するハウジングとを備えたものを適用していることを特徴としている。このようなＥＦＥＭであれば、ロードポートのパージ装置として上述した排気ノズルユニットを備えたものを適用しているため、容器内部における奥方側のポートを排気ノズルユニットで強制的に開放状態にして、当該ポートを通じて容器内の気体を容器の外部に排気することが可能である。

本発明に係るＥＦＥＭにおいて、搬送空間に形成された下降気流を、容器の内部に搬出入口を介して導入可能に構成すれば、搬送空間に形成した下降気流の一部であって容器の内部に導入した気流を容器内の気体雰囲気とともに、容器の搬出入口から相対的に遠い位置に設けられたポート及びそのポートに接続した排気ノズルユニットを通じて容器の外部に排出することが可能である。

本発明によれば、ポートの弁を下方から押圧することによって当該ポートを閉止状態から開放状態に切替可能なノズルと、ポートを開放状態にする使用姿勢とポートを閉止状態にする待機姿勢との間でノズルを昇降可能に保持するハウジングとを備えた排気ノズルユニットを容器の底面に設けられたポートに接続して、容器内部における奥方側のポートに接続した排気ノズルユニットのノズルを使用姿勢にすることによって、容器内の気体を容器内部における奥方側のポートを通じて容器の外部に排気可能な構成を、従来の容器を利用して実現することができる。

本発明の一実施形態に係るＥＦＥＭとその周辺装置の相対位置関係を示す模式的に示す側面図。 容器がフレームから離間し且つロードポートドアが全閉位置にある状態の同実施形態に係るロードポートの側断面を模式的に示す図。 同実施形態におけるノズルが待機姿勢にある時点の排気ノズルユニットとポートとの相対位置関係を一部断面にして模式的に示す図。 同実施形態におけるノズルが中間姿勢にある時点の排気ノズルユニットとポートとの相対位置関係を図３に対応して示す図。 同実施形態におけるノズルが使用姿勢にある時点の排気ノズルユニットとポートとの相対位置関係を図３に対応して示す図。 実施形態におけるロードポートを一部省略して示す斜視図。 図６のｘ方向矢視図。 図６のｙ方向矢視図。 容器がフレームに第１シール部を介して当接し且つロードポートドアが全閉位置にある状態を図２に対応して示す図。 ロードポートドアが開放位置にある状態を図２に対応して示す図。 同実施形態におけるウインドウユニットの全体斜視図。 図９の要部を拡大して模式的に示す図。 同実施形態においてノズルが待機姿勢にある排気ノズルユニットの全体外観図。 同実施形態においてノズルが使用姿勢にある排気ノズルユニットの全体外観図。 同実施形態における搬送空間内の下降気流を用いた容器内清浄化処理時の作用説明図。

以下、本発明の一実施形態を、図面を参照して説明する。

本実施形態に係る排気ノズルユニット９は、例えば図１に示すロードポート２の載置台２３の所定箇所に配置されるものである。図１には、クリーンルームに配置されるロードポート２及び搬送室３を備えたＥＦＥＭ（Equipment Front End Module）とその周辺装置の相対位置関係を模式的に示す。ＥＦＥＭ１は、例えば半導体の製造工程において用いられるものであり、以下の説明では、搬送対象物である例えばウェーハＷを基板収納容器４（例えば本実施形態ではＦＯＵＰ）と搬送室３（ウェーハ搬送室）の間で出し入れ処理する態様について説明する。なお、ＥＦＥＭで取り扱うウェーハのサイズはＳＥＭＩ（Semiconductor Equipment and Materials International）規格として標準化されているが、生産性向上の観点からウェーハの大径化が進められ、これまでの直径３００ｍｍから直径４５０ｍｍ乃至直径５００ｍｍのウェーハへの移行が推進されている。

また、以下の説明では、ＦＯＵＰ４、ロードポート２、搬送室３がこの順で並ぶ前後方向Ｄにおいて、搬送室３側を「後方」と定義し、ＦＯＵＰ４側を「前方」と定義し、前後方向Ｄ及び垂直方向Ｈに直交する方向を「側方」と定義する。

本実施形態におけるＦＯＵＰ４は、図１、図２及び図１２等に示すように、後面４２Ｂ（ベース２１側の面）に形成した搬出入口４１を通じて内部空間４Ｓを後方にのみ開放可能なＦＯＵＰ本体４２と、搬出入口４１を開閉可能なＦＯＵＰドア４３を備えている。ＦＯＵＰ４は、内部に複数枚の搬送対象物であるウェーハＷを上下方向Ｈに多段状に収容し、搬出入口４１を介してこれらウェーハＷを出し入れ可能に構成された既知のものである。

ＦＯＵＰ本体４２は、前壁、左右一対の側壁、上壁及び底壁を一体に有する。これら各壁によって囲まれる内部空間４ＳにウェーハＷを複数段所定ピッチで載せることが可能な棚部（ウェーハ載置部）を備えたものである。ＦＯＵＰ本体４２の底壁には、図１等に想像線（二点鎖線）で示すように、ポート４０が所定箇所に設けられている。ポート４０は、例えば、ＦＯＵＰ本体４２の底壁に形成したポート取付用貫通孔に嵌め込まれた中空筒状のグロメットシールを主体としてなり、チェック弁によって開閉可能に構成されたものである。

ポート４０の具体例として、図３乃至図５に示すように、例えば有底無蓋のグロメットシールからなる筒状の基台４０１と、基台４０１のうちＦＯＵＰ４の外部ＧＳに露出する部分である底部に形成した通気口４０２と、基台４０１の内部に形成した弁室４０４に移動可能に配置されたチェック弁４０３（本発明における「弁」に相当）と、チェック弁４０３を通気口４０２側に付勢する圧縮バネ４０５とを備えたものを挙げることができる。このようなポート４０は、通気口４０２をチェック弁４０３で閉止した閉止状態（図３及び図４参照）と、圧縮バネ４０５の付勢力に抗してチェック弁４０３が通気口４０２から離間する方向に移動して、通気口４０２を開放した開放状態（図５参照）との間で切替可能なものである。通気口４０２、チェック弁４０３及び圧縮バネ４０５により、開閉機構が構成されている。

なお、図３等に示すポート４０は、基台４０１の内部において圧縮バネ４０５を支持する支持板４０６と、支持板４０６の一部に形成された貫通口４０７と、貫通口４０７よりもＦＯＵＰ４の内部空間４Ｓに近い位置に設けられたフィルター４０８とを備えたものである。このようなポート４０は、ＦＯＵＰ４内に気体を供給する際の給気口（給気ポート）として機能したり、ＦＯＵＰ４内から気体を排出する際の排気口（排気ポート）として機能する。本実施形態では、ポート４０の閉止状態から開放状態への切替処理を、ロードポート２の載置台２３に設けたパージノズルユニット９（排気ノズルユニット）の動作に関連付けて行うことができるように構成している。

ＦＯＵＰ本体４２の上壁における上向面の中央部に、容器搬送装置（例えばＯＨＴ：Over Head Transport）等に把持されるフランジ部を設けている。また、ＦＯＵＰ本体４２の後端部には、他の部分よりも上方及び両側方に突出させた鍔部４５を設けている。つまり、ＦＯＵＰ本体４２のうち、ＦＯＵＰドア４３が配置される領域の周囲部分に鍔部４５を設けている。

ＦＯＵＰドア４３は、ロードポート２の後述する載置台２３に載置された状態においてロードポート２のロードポートドア２２と対面するものであり、概略板状をなす。ＦＯＵＰドア４３には、このＦＯＵＰドア４３をＦＯＵＰ本体４２にロックし得るラッチ部（図示省略）を設けている。ＦＯＵＰドア４３の内向き面４３１のうち搬出入口４１をＦＯＵＰドア４３で閉止した状態においてＦＯＵＰ本体４２に接触または近接する所定の部分にガスケット（図示省略）を設けている。そして、ＦＯＵＰドア４３の内向き面４３１よりも優先してガスケットをＦＯＵＰ本体４２に接触させて弾性変形させることで、ＦＯＵＰ４の内部空間４Ｓを密閉できるように構成されている。

本実施形態に係るロードポート２は、図１、図２、図６乃至図８に示すように、搬送室３の前壁面３Ａの一部を構成し、且つ搬送室３の内部空間３Ｓを開放するための開口部２１ａが形成された板状をなすベース２１と、ベース２１の開口部２１ａを開閉するロードポートドア２２と、ベース２１に略水平姿勢で設けた載置台２３とを備えている。ここで、搬送室３の内部空間３Ｓを開放するための開口部２１ａは、ベース２１によって仕切られる空間である搬送室３の内部空間３Ｓを開放するためにベース２１に形成された開口である。

ベース２１は、起立姿勢で配置され、載置台２３上に載置したＦＯＵＰ４の搬出入口４１と連通し得る大きさの開口部２１ａを有する略矩形板状のものである。本実施形態のロードポート２は、ベース２１を搬送室３に密着させた状態で使用可能なものである。また、ベース２１の下端には、キャスタ及び設置脚を有する脚部２４を設けている。本実施形態では、両側方に起立させた支柱２１１と、これら支柱２１１により支持されたベース本体２１２と、ベース本体２１２に略矩形状に開放された窓部２１３に取り付けられたウインドウユニット２１４とを備えたベース２１を適用している。

ウインドウユニット２１４は、ＦＯＵＰドア４３と対向する位置に設けられており、このウインドウユニット２１４に設けた開口部２１５が、搬送対象物（ウェーハＷ）が通過可能な開口部である。

ここで、本実施形態でいう略矩形とは、四辺を備える長方形を基本形状としながら四隅を円弧によって滑らかにつないだ形状をいう。なお、図示していないが、ベース本体２１２のうち搬送室３側の面（後面）の外周近傍には、矩形枠状に形成された弾性材としてのガスケットを設け、搬送室３のうちベース２１が装着される開口の縁部近傍にガスケットを接触させることで、ベース本体２１２と搬送室３との隙間を無くしている。

載置台２３は、ベース２１のうち高さ方向中央よりもやや上方寄りの位置に略水平姿勢で配置される水平基台２５（支持台）の上部に設けられる。この載置台２３は、ＦＯＵＰ本体４２の内部空間４Ｓを開閉可能とするＦＯＵＰドア４３をロードポートドア２２に対向させる向きでＦＯＵＰ４を載置可能なものである。また、載置台２３は、ＦＯＵＰドア４３がベース２１の開口部２１ａに接近する所定のドッキング位置（図９参照）と、ＦＯＵＰドア４３をドッキング位置よりもベース２１から所定距離離間した位置（図２参照）との間で、ベース２１に対して進退移動可能に構成されている。載置台２３は、図６に示すように、上向きに突出させた複数の突起（ピン）２３１を有し、これらの突起２３１をＦＯＵＰ４の底面に形成された穴（図示省略）に係合させることで、載置台２３上におけるＦＯＵＰ４の位置決めを図っている。なお、図２等では、載置台２３上におけるＦＯＵＰ４の載置状態として、載置台２３の上面にＦＯＵＰ４の底面が接触している状態を示している。しかしながら、実際には、載置台２３の上面よりも上方に突出している複数の位置決め用突起２３１が、ＦＯＵＰ４の底面に形成された有底の穴に係合することでＦＯＵＰ４を支持しており、載置台２３の上面とＦＯＵＰ４の底面は相互に接触せず、載置台２３の上面とＦＯＵＰ４の底面の間に所定の隙間が形成されるように規定されている。また、載置台２３に対してＦＯＵＰ４を固定するためのロック爪２３２を設けている。このロック爪２３２をＦＯＵＰ４の底面に設けた被ロック部（図示省略）に引っ掛けて固定したロック状態にすることで、位置決め用の突起２３１と協働してＦＯＵＰ４を載置台２３上における適正な位置に案内しながら固定することができる。また、ＦＯＵＰ４の底面に設けた被ロック部に対するロック爪２３２のロック状態を解除することでＦＯＵＰ４を載置台２３から離間可能な状態にすることができる。

ロードポートドア２２は、ＦＯＵＰドア４３を連結して、ＦＯＵＰドア４３をＦＯＵＰ本体４２から取り外し可能な蓋連結状態と、ＦＯＵＰドア４３に対する連結状態を解除し、且つＦＯＵＰドア４３をＦＯＵＰ本体４２に取り付けた蓋連結解除状態との間で切替可能な連結機構２２１（図８参照）を備えている。ロードポートドア２２は、連結機構２２１によってＦＯＵＰドア４３を一体化した状態で保持したまま所定の移動経路に沿って移動可能なものである。本実施形態のロードポート２は、ロードポートドア２２を、図６乃至図９に示す位置、つまり、当該ロードポートドア２２が保持するＦＯＵＰドア４３によってＦＯＵＰ本体４２の内部空間４Ｓを密閉する全閉位置（Ｃ）と、図１０に示す位置、つまり、当該ロードポートドア２２が保持するＦＯＵＰドア４３をＦＯＵＰ本体４２から離間させて当該ＦＯＵＰ本体４２の内部空間４Ｓを搬送室３内に向かって開放させる開放位置（Ｏ）との間で少なくとも移動可能に構成している。本実施形態のロードポート２は、全閉位置（Ｃ）に位置付けたロードポートドア２２の起立姿勢を維持したまま図１０に示す開放位置（Ｏ）まで移動させることができ、さらに、図１０に示す開放位置（Ｏ）から図示しない全開位置まで起立姿勢を維持したまま下方向に移動可能に構成している。すなわち、全閉位置（Ｃ）と全開位置との間におけるロードポートドア２２の移動経路は、全閉位置（Ｃ）にあるロードポートドア２２をその高さ位置を維持したまま開放位置（Ｏ）まで搬送室３側へ移動させた経路（水平経路）と、開放位置（Ｏ）にあるロードポートドア２２をその前後位置を維持したまま下方へ移動させた経路（鉛直経路）とからなり、水平経路と鉛直経路が交わるポイントである開放位置（Ｏ）において、ロードポートドア２２の移動方向が水平方向から鉛直方向に、或いは鉛直方向から水平方向に切り替わる。開放位置（Ｏ）に位置付けたロードポートドア２２が鉛直方向及び水平方向の何れにも移動できるように、開放位置（Ｏ）に位置付けたロードポートドア２２に保持されるＦＯＵＰドア４３は、ロードポートドア２２と共にベース２１よりも後方の位置（ＦＯＵＰ本体４２から完全に離間し、搬送室３の内部空間３Ｓに配置される位置）に位置付けられる。

このようなロードポートドア２２の移動は、ロードポート２に設けたドア移動機構２７によって実現している。ドア移動機構２７は、図２及び図７等に示すように、ロードポートドア２２を支持する支持フレーム２７１と、スライド支持部２７２を介して支持フレーム２７１を前後方向Ｄに移動可能に支持する可動ブロック２７３と、可動ブロック２７３を上下方向Ｈに移動可能に支持するスライドレール２７４と、ロードポートドア２２の水平経路に沿った前後方向Ｄの移動、及び鉛直経路に沿った上下方向Ｈの移動を行わせるための駆動源（例えば図示しないアクチュエータ）とを備えている。このアクチュエータに対して制御部２Ｃから駆動指令を与えることで、ロードポートドア２２を前後方向Ｄ及び上下方向Ｈに移動させることができる。なお、前後移動用のアクチュエータと、上下移動用のアクチュエータとを別々に備えた態様であってもよいし、共通のアクチュエータを駆動源として前後移動及び上下移動を行う態様であってもよい。

支持フレーム２７１は、ロードポートドア２２の後部下方を支持するものである。この支持フレーム２７１は、下方に向かって延材した後に、ベース２１に形成したスリット状の挿通孔２１ｂを通過して搬送室３の外側（載置台２３側）に張り出した略クランク状のものである。本実施形態では、支持フレーム２７１を支持するためのスライド支持部２７２、可動ブロック２７３及びスライドレール２７４を搬送室３の外側に配置している。これらスライド支持部２７２、可動ブロック２７３、スライドレール２７４は、ロードポートドア２２を移動させる際の摺動箇所となる。本実施形態では、これらを搬送室３の外側に配置することで、ロードポートドア２２の移動時にパーティクルが万が一発生した場合であっても、挿通孔２１ｂを微小なスリット状に設定していることにより、搬送室３内にパーティクルが進入する事態を防止・抑制することができる。また、ドア移動機構２７のうち搬送室３の外側に配置されるパーツや部分、具体的には、支持フレーム２７１の一部、スライド支持部２７２、可動ブロック２７３及びスライドレール２７４を被覆するカバー２８を設けている。これにより、ベース２１に形成した上述の挿通孔２１ｂを通じて搬送室３内の環境ガスがＥＦＥＭ１の外部ＧＳに流出しないように設定している。

本実施形態に係るロードポート２は、図２、図９乃至図１２等に示すように、開口部２１ａの周縁近傍に設けた第１シール部５と、第２シール部６とを備え、ロードポートドア２２が閉状態にあって且つ第１シール部５を介してＦＯＵＰドア４３をベース２１に当接させた状態において、ＦＯＵＰドア４３及びロードポートドア２２が前後方向Ｄに所定の隙間を隔てて対向する空間を第１シール部５、第２シール部６によって外部ＧＳから仕切った密閉空間ＤＳが形成されるように構成している。本実施形態では、第１シール部５及び第２シール部６を上述のウインドウユニット２１４としてユニット化している。

ウインドウユニット２１４は、図６及び図１１に示すように、当該ウインドウユニット２１４のうちＦＯＵＰドア４３と対向する位置（図示例ではウインドウユニット２１４の中央部分）に略矩形状の開口部２１５を有する枠形状の窓枠部２１６を主体として構成されたものである。本実施形態では、窓枠部２１６の開口部２１５を通じて、ＦＯＵＰドア４３がロードポートドア２２に保持された状態で搬送室３内へ移動できるように構成している。窓枠部２１６の開口部２１５は、ベース２１の開口部２１ａそのものである。

第１シール部５は、ベース２１の前面のうち開口部２１ａの開口縁近傍領域において開口部２１ａを周回するように設けられ、ＦＯＵＰ４を載置した載置台２３をドッキング位置に位置付けた際に、ベース２１の開口部２１ａの周縁とＦＯＵＰ４との間をシールするものである（図１１参照）。ベース２１にウインドウユニット２１４を取り付けた構成を採用している本実施形態では、窓枠部２１６の前面２１６Ａのうち開口部２１５の開口縁近傍領域において開口部２１５を周回する位置に第１シール部５を設けている。このような第１シール部５は、ＦＯＵＰ４を載置した載置台２３をドッキング位置に位置付けた際に、ベース２１の開口部２１ａの周縁とＦＯＵＰ４との間に介在してシール機能を発揮する。

なお、図２、図９及び図１０では、第１シール部５及び第２シール部６を黒く塗りつぶした略楕円形状のマークで模式的に示している。また、図９及び図１０では、ＦＯＵＰ本体４２の後面４２Ｂ（シール面）がベース２１（ウインドウユニット２１４）に接触しているが、実際には、ＦＯＵＰ本体４２のシール面はベース２１（ウインドウユニット２１４）に接触せず、上述したように、ＦＯＵＰ本体４２のシール面とベース２１（ウインドウユニット２１４）の間に第１シール部５が介在している。

第２シール部６は、ベース２１の後面２１Ｂのうち開口部２１ａの開口縁近傍領域において開口部２１ａを周回するように設けられる。ベース２１にウインドウユニット２１４を取り付けた構成を採用している本実施形態では、窓枠部２１６の後面２１６Ｂのうち、ロードポートドア２２の前面、つまりベースの前面２１Ａの所定部分に設定したシール面（ロードポートドア２２における外縁部分に設定した面）に対向する位置に第２シール部６を周回させて取り付けている。そして、ロードポートドア２２を閉位置に位置付けた際に、第２シール部６を介してロードポートドア２２が窓枠部２１６の後面２１６Ｂに当接した状態になり、第２シール部６がベース２１の開口部２１ａの周縁とロードポートドア２２との間をシールする（図９参照）。その結果、ロードポートドア２２を閉位置に位置付けた状態では、搬送室３の内部空間３Ｓから搬送室３の外部ＧＳへのガスの流出や、搬送室３の外部ＧＳから搬送室３の内部空間３Ｓへのガスの流入を抑制することができる。なお、ロードポートドア２２の外周縁部には薄肉部を設定し、ロードポートドア２２のうち薄肉部を除く部分である中央部分は薄肉部よりも厚みの大きい厚肉部であり、この厚肉がベース２１の開口部２１ａ（窓枠部２１６の開口部２１５）から前方に向かって張り出す形態で開口部２１ａ（開口部２１５）に臨むように設定している。

本実施形態では、第１シール部材５及び第２シール部６として断面形状が略円形のＯリングを適用し、第１シール部５を構成するＯリングを第１シール部５の上辺部分５Ａ、下辺部分５Ｂ、左右の両側辺部分５Ｃに亘って配置するとともに、第２シール部６を構成するＯリングを第２シール部６の上辺部分６Ａ、下辺部分６Ｂ、左右の両側辺部分６Ｃに亘って配置している。

また、本実施形態のロードポート２は、ドッキング位置に位置付けた載置台２３上のＦＯＵＰ４がベース２１から離間する方向（前方）に移動することを規制する移動規制部Ｌを備えている。本実施形態では、移動規制部Ｌをウインドウユニット２１４としてユニット化している。

移動規制部Ｌは、ドッキング位置に位置付けた載置台２３上のＦＯＵＰ４がベース２１から離間する方向（後方）に移動することを規制する移動規制状態と、ドッキング位置に位置付けた載置台２３上のＦＯＵＰ４がベース２１から離間する方向へ移動することを許容する移動許容状態との間で切替可能なものである。すなわち、移動規制部Ｌは、移動規制状態になることで、所定のドッキング位置に位置付けた載置台２３上に載置されているＦＯＵＰ４を保持することが可能である。

本実施形態における移動規制部Ｌは、図１１等に示すように、ＦＯＵＰ本体４２のうちＦＯＵＰドア４３の周囲部分に設けられた鍔部４５に係合可能な係合片Ｌ１と、係合片Ｌ１を鍔部４５に係合させた状態でベース２１側に移動させる引き込み部Ｌ２とを備えている。このような移動規制部Ｌは、ＦＯＵＰ本体４２の鍔部４５を係合片Ｌ１とベース２１との間に挟み込む状態で保持可能なクランプ機能を発揮する。本実施形態では、ベース２１にウインドウユニット２１４を設けている。したがって、移動規制部Ｌは、ＦＯＵＰ本体４２の鍔部４５を係合片Ｌ１とウインドウユニット２１４の窓枠部２１６との間に挟み込む機能を有する。

係合片Ｌ１は、先端を含む全体が前後方向ＤにおいてＦＯＵＰ４に対面しない非対面姿勢と、ＦＯＵＰ４に対面する対面姿勢（図１１に示す姿勢）との間で姿勢変更可能なものである。本実施形態に係るロードポート２は、係合片Ｌ１を非対面姿勢にすることで、ＦＯＵＰ４を載置している載置台２３を、ＦＯＵＰドア４３が開口部２１５に接近する所定のドッキング位置と、ドッキング位置よりも搬送室３から所定距離離間した位置との間で移動させることができる。すなわち、移動規制部Ｌは、係合片Ｌ１を非対面姿勢にすることで移動許容状態になる。

このような移動規制部Ｌは、係合片Ｌ１を非対面姿勢にした状態で、アンドッキング位置にある載置台２３を、ＦＯＵＰ４を載置したままドッキング位置に移動させた時点以降に、非対面姿勢にある係合片Ｌ１を搬送室３側に引き込む方向に移動させて非対面姿勢から対面姿勢に変更する。すると、係合片Ｌ１をＦＯＵＰ本体４２の後面４２Ｂにおいて外側方に張り出した鍔部４５に係合させることができる。そして、係合片Ｌ１を引き込み部Ｌ２によって搬送室３側引き込むことで、係合片Ｌ１とＦＯＵＰ４の鍔部４５との係合状態を維持したまま係合片Ｌ１が搬送室３側（後方）に引き込まれる。その結果、ＦＯＵＰ４の鍔部４５を係合片Ｌ１とベース２１の間に挟み込む状態になり、ドッキング位置に位置付けた載置台２３上のＦＯＵＰ４がベース２１から離間する方向に移動することを規制することができる。すなわち、移動規制部Ｌは、係合片Ｌ１を非対面姿勢から対面姿勢に変更させて、その係合片Ｌ１を引き込み部Ｌ２によってベース２１側に引き込むことで移動規制状態（図１１に示す状態）になる。このような移動規制部Ｌを、図２及び図８に示すように、ベース２１のうち略矩形状をなす開口部２１ａの両サイドにおける上端近傍及び下端近傍の合計４箇所にそれぞれ配置している。

本実施形態では、図９に示すように、ドッキング位置に位置付けた載置台２３に載置されているＦＯＵＰ４のうちＦＯＵＰ本体４２の後面４２Ｂが、所定寸法の隙間を隔ててベース２１の前面２１Ａ（窓枠部２１６の前面２１６Ａ）に接近し、その隙間を第１シール部５によってシール可能に構成している。また、本実施形態のロードポート２は、載置台２３を所定のドッキング位置に位置付けた時点以降、ロードポートドア２２が閉状態にあれば、ＦＯＵＰドア４３とロードポートドア２２が所定寸法の隙間を隔てて接近するとともに、ロードポートドア２２とベース２１との間を第２シール部６でシール可能に構成している。したがって、ロードポートドア２２とＦＯＵＰドア４３が所定寸法の隙間を隔てて対向する空間は、第１シール部５及び第２シール部６によって仕切られた密閉空間ＤＳになる。

本実施形態に係るロードポートドア２２は、図２及び図９等に示すように、密閉空間ＤＳに対してガスを注入するガス注入部７１と、密閉空間ＤＳの気体を排気するガス排出部７２とを備えている。ガス注入部７１は、例えば長尺のノズルを用いて構成したものであり、ノズルの一端（ガス注入方向下流端）をロードポートドア２２の外表面まで到達させるとともに、ノズルの他端（ガス注入方向上流端）近傍にガス注入バルブ７１ａを接続している。同様に、ガス排出部７２は、例えばノズルを用いて構成したものであり、ノズルの一端（ガス排出方向上流端）をロードポートドア２２の外表面まで到達させるとともに、ノズルの他端（ガス排出方向下流端）近傍にガス排出バルブ７２ａを接続している。このような構成により、ガス注入部７１によって密閉空間ＤＳに環境ガス（本実施形態では窒素ガス）を供給し、ガス排出部７２によって密閉空間ＤＳを排気することで、密閉空間ＤＳをガスパージすることが可能である。このようなＦＯＵＰドア４３及びロードポートドア２２が所定隙間を隔てて対向する密閉空間ＤＳをガスに置換するガスパージ処理を、以下では「ドアパージ処理」とする。本実施形態では、ドアパージ処理により、密閉空間ＤＳと外部ＧＳ（大気圧下）との差圧が例えば５００Ｐａ（Ｇ）以下、好ましくは３００Ｐａ（Ｇ）以下となるように設定している。

図２に示すように、ガス注入部７１のガス注入方向上流端、ガス注入バルブ７１ａ、ガス排出部７２のガス排出方向下流端、ガス排出バルブ７２ａは、上述のカバー２８によって被覆されている。なお、ガス注入部７１及びガス排出部７２を構成する各ノズルの所定部分は、ロードポートドア２２を厚み方向（前後方向Ｄ）に貫通している。ロードポートドア２２のうちノズルが貫通する部分に適宜のシール処理を施している。本実施形態では、フレキシブル性或いは伸縮性（蛇腹タイプも含む）に優れたノズルを適用している。ノズルの一部または全部をチューブで代用することもできる。図２等においてガス注入部７１及びガス排出部７２のうち搬送空間３Ｓに露出している部分は、実際には、ロードポートドア２２を搬送室３側から被覆するドアカバー（図示省略）内に収められている。

本実施形態のロードポート２は、ＦＯＵＰ４の内部空間４Ｓにパージ用気体を注入し、ＦＯＵＰ４の内部空間４Ｓの気体雰囲気を窒素ガスなどの環境ガス（パージ用気体）に置換可能なパージ装置Ｐを備えている（図６参照）。パージ装置Ｐは、載置台２３上に上端部を露出可能な状態で所定箇所に配置される複数のパージノズルユニット９（気体給排装置）を備えたものである。これら複数のパージノズルユニット９は、ＦＯＵＰ４の底面に設けたポート４０の位置に応じて載置台２３上の適宜位置に取り付けられ、ポート４０に接触した状態で接続可能なものである。ここで、パージノズルユニット９が、本発明に係る環境ガスの供給・排気を行う「排気ノズルユニット」に相当する。

パージノズルユニット９は、図３乃至図５、図１３及び図１４に示すように、ノズル９１と、ノズル９１を昇降可能な状態で保持するハウジング９２と、ハウジング９２及びノズル９１に亘って設けられノズル９１を待機姿勢（Ｎ３）と使用姿勢（Ｎ１）との間で動作させるべく拡縮する動作調整空間９３とを備えている。ノズル９１の待機姿勢（Ｎ３）は、図３及び図１３に示す姿勢、すなわちポート４０を閉止状態にする姿勢であり、ノズル９１の使用姿勢（Ｎ１）は、図５及び図１４に示す姿勢、すなわちポート４０を開放状態にする姿勢である。

ハウジング９２は、概略直方体形状をなすハウジング本体９２１と、ハウジング本体９２１の内壁において他の領域よりも内側に突出する内方突出部９２２と、ハウジング本体９２１の外壁から内壁に亘って貫通し且つノズル制御用気体（圧縮空気）を動作調整空間９３に対して出し入れ可能なノズル制御用気体ポート９２３（図１３参照）とを有するものである。ノズル制御用気体ポート９２３は、ハウジング９２とノズル９１との間に形成されている動作調整空間９３に連通している。ハウジング本体９２１の所定箇所には、ノズル９１の外周面に弾接して気密状態を形成するＯリング９２４（パッキン）を凹部に嵌合した状態で設けている。

ノズル９１は、ポート４０に接触する概略筒状の第１ノズル９１１と、第１ノズル９１１の内部空間に配置され且つポート４０の弁４０３を押圧可能な第２ノズル９１２とを有するものである。

第１ノズル９１１は、概略円筒状をなし、ポート４０の下向き面（基台４０１の下向き面）に密着し得る接触面９１４を上端に設定したものである。第１ノズル９１１の外周壁の所定部分には、ハウジング９２の内壁に摺接する大径部９１５と、ハウジング９２の内方突出部９２２に接触することで第１ノズル９１１の最下降位置を規定する段部９１６と、ハウジング９２の内方突出部９２２に摺接する小径部９１７とを高さ方向においてこの順に形成している。また、第１ノズル９１１の外周壁の所定部分には、他の部分よりも内側に突出し且つ当該第１ノズル９１１に対する第２ノズル９１２の最下降位置を規定する内方突出部９１８を設け、この内方突出部９１８に、第２ノズル９１２の外周壁に弾接して気密状態を形成するＯリング９１９（パッキン）を凹部に嵌合した状態で設けている。このような第１ノズル９１１のうち接触面９１４をポート４０の下向き面に密着させることによって、ポート４０が開放状態である場合にＦＯＵＰ４内の気体がポート４０とノズル９１との隙間から外部ＧＳへ流出することを防止できる（図４及び図５参照）。

第２ノズル９１２は、軸心部分に高さ方向に貫通する第１気体流路９１Ａを有する第２ノズル本体９１ａと、第２ノズル本体９１ａに下端部に組み付けられ且つ第１気体流路９１Ａに連通する第２気体流路９１Ｂを内部に有するノズルベース９１ｂとを備えたものである。ノズルベース９１ｂの外壁には、パージ用気体（窒素ガス）を第１気体流路９１Ａ及び第２気体流路９１Ｂに対して出し入れ可能なパージ用気体ポート９１ｃを形成している。ノズルベース９１ｂは、第２気体流路９１Ｂが略水平方向に延伸する姿勢で配置され、パージ用気体ポート９１ｃから第２気体流路９１Ｂに導入したパージ用気体は、第２気体流路９１Ｂから第１気体流路９１Ａに流れ、第２ノズル本体９１ａの上端部に形成した気体排出口９１ｄから排出される。

第２ノズル９１２の上端面（第２ノズル本体９１ａの上端面）は、ＦＯＵＰ４のポート４０に当接または押圧してポート４０の内部のチェック弁４０３を開放可能な押圧面９１ｅとして機能する。本実施形態の気体排出口９１ｄは、押圧面９１ｅから下端側へ向けて所定距離延伸するスリットによって形成したものである。本実施形態では、第２ノズル本体９１ａの上端部において複数の気体排出口９１ｄ（スリット）を周方向に所定ピッチで形成している。気体排出口９１ｄは、パージ用気体（窒素ガス）をＦＯＵＰ４内へ導入する噴射口として機能する。

本実施形態では、第２ノズル本体９１ａの少なくとも上端部を含む所定領域を第１ノズル９１１の内部空間に収容した状態で、第２ノズル９１２を第１ノズル９１１に対して昇降移動可能に構成している。第２ノズル９１２の外周壁のうち第１ノズル９１１の内部空間に収容される所定部分には、他の部分よりも外方に突出し且つ第１ノズル９１１の内周壁に摺接する大径部９１ｆと、第１ノズル９１１の内方突出部９１８に接触することで第２ノズル９１２の最下降位置を規定する段部９１ｇと、第１ノズル９１１の内方突出部９１８に摺接する小径部９１ｈとを高さ方向においてこの順に形成している。また、第２ノズル９１２の大径部９１ｆには、第１ノズル９１１の内周壁に弾接して気密状態を形成するＯリング９１ｉ（パッキン）を凹部に嵌合した状態で設けている。

なお、第２ノズル本体９１ａに形成した第１気体流路９１Ａとノズルベース９１ｂに形成した第２気体流路９１Ｂの相対位置は変更可能に構成することも可能であるが、本実施形態では、第１気体流路９１Ａと第２気体流路９１Ｂの相対位置を固定している。

動作調整空間９３は、ハウジング９２と第１ノズル９１１との間に形成される第１動作調整空間９３１と、第１ノズル９１１と第２ノズル９１２との間に形成される第２動作調整空間９３２とを有する。

第１動作調整空間９３１は、第１ノズル９１１を、図３に示す姿勢、すなわち第１ノズル９１１をポート４０から離間させた離間姿勢（Ｐ２）と、図４及び図５に示す姿勢、すなわちポート４０に密着させる密着姿勢（Ｐ１）との間で動作させるべく拡縮する空間である。本実施形態では、第１ノズル９１１の径方向において第１ノズル９１１の外周壁のうち少なくとも段部９１６とハウジング９２の内周壁とが所定の隙間を隔てて対面する微小スペースを第１動作調整空間９３１に設定している。第１ノズル９１１が離間姿勢（Ｐ２）にある場合、第１動作調整空間９３１は最小スペース（図３参照）であり、第１ノズル９１１が離間姿勢（Ｐ２）から密着姿勢（Ｐ１）に切り替わる過程で第１動作調整空間９３１は少なくとも高さ方向に漸次大きくなり、第１ノズル９１１が密着姿勢（Ｐ１）になった場合に第１動作調整空間９３１は最大スペース（図４及び図５参照）となる。

すなわち、ハウジング９２のノズル制御用気体ポート９２３からノズル制御用気体（本実施形態では圧縮空気）が導入されておらず、第１ノズル９１１が離間姿勢（Ｐ２）にある状態で、ハウジング９２のノズル制御用気体ポート９２３からノズル制御用気体（本実施形態では圧縮空気）を導入すると、その導入量（供給量）に応じて第１動作調整空間９３１が少なくとも高さ方向に拡大して、第１ノズル９１１が上方に移動して密着姿勢（Ｐ１）に切り替わる。なお、第１ノズル９１１の下端部には、密着姿勢（Ｐ１）にある第１ノズル９１１がハウジング９２に接触することで第１ノズル９１１のそれ以上の上昇移動を規制する第１ノズルストッパ９２９を設けている。

また、第１ノズル９１１が密着姿勢（Ｐ１）にある状態で、第１動作調整空間９３１のノズル制御用気体（本実施形態では圧縮空気）をハウジング９２のノズル制御用気体ポート９２３から排出すると、第１動作調整空間９３１が少なくとも高さ方向に縮小して、第１ノズル９１１を下方に移動させて離間姿勢（Ｐ２）に切り替わる。離間姿勢（Ｐ２）では、第１ノズル９１１の段部９１６がハウジング９２の内方突出部９２２に接触することで第１ノズル９１１の最下降位置を規定し、適切な離間姿勢（Ｐ２）を維持できる。

第２動作調整空間９３２は、第２ノズル９１２を、図５に示す姿勢、すなわちポート４０の弁４０３を押圧することによりポート４０を開放する押圧姿勢（Ｑ１）と、図３及び図４に示す姿勢、すなわちポート４０の弁４０３から離間することによりポート４０を閉止する離間姿勢（Ｑ２）との間で動作させるべく拡縮する空間である。本実施形態では、第２ノズル９１２の径方向におい第２ノズル９１２の外周壁のうち少なくとも段部９１ｇと第１ノズル９１１の内周壁とが所定の隙間を隔てて対面する微小スペースを第２動作調整空間９３２に設定している。第２ノズル９１２が離間姿勢（Ｑ２）にある場合、第２動作調整空間９３２は最小スペース（図３及び図４参照）であり、第２ノズル９１２が離間姿勢（Ｑ２）から押圧姿勢（Ｑ１）に切り替わる過程で第２動作調整空間９３２は少なくとも高さ方向に漸次大きくなり、第２ノズル９１２が押圧姿勢（Ｑ１）になった場合に第２動作調整空間９３２は最大スペース（図５参照）となる。

本実施形態のパージノズルユニット９は、第１動作調整空間９３１と第２動作調整空間９３２とを相互に連通させる連通路９３３を有する。連通路９３３は、図３乃至図５において破線で示すように、第１ノズル９１１の所定箇所に、第１ノズル９１１の径方向に延伸する貫通孔によって形成されたものである。第１ノズル９１１における連通路９３３の形成箇所は、１箇所であってもよいし、複数箇所（第１ノズル９１１の周方向に所定ピッチで形成した構成）であってもよい。

このような連通路９３３を有する構成により、ハウジング９２のノズル制御用気体ポート９２３からノズル制御用気体を第１動作調整空間９３１に導入することができるとともに、連通路９３３を経由して第２動作調整空間９３２にも導入することができる。特に、本実施形態では、ハウジング９２のノズル制御用気体ポート９２３からノズル制御用気体を第１動作調整空間９３１に導入することで、先ず第１ノズル９１１が上昇移動して離間姿勢（Ｐ２）から密着姿勢（Ｐ１）切り替わり、続いて第２ノズル９１２が上昇移動して離間姿勢（Ｑ２）から押圧姿勢（Ｑ１）に切り替わるように構成している。

また、第１動作調整空間９３１及び第２動作調整空間９３２に導入されたノズル制御用気体である圧縮空気を抜く（排気）することで、第１動作調整空間９３１及び第２動作調整空間９３２がそれぞれ元の広さ（拡大前の広さ）に戻り、密着姿勢（Ｐ１）にある第１ノズル９１１を下方に移動させて離間姿勢（Ｐ２）に変更できるとともに、押圧姿勢（Ｑ１）にある第２ノズル９１２を下方に移動させて離間姿勢（Ｑ２）に変更できる。

したがって、本実施形態のパージノズルユニット９は、動作調整空間９３に対する圧縮空気の出し入れ処理を実施することによって、ノズル９１を図３及び図１３に示す待機姿勢（Ｎ３）から、図４に示す中間姿勢（Ｎ２）を経て、図５及び図１４に示す使用姿勢（Ｎ１）に段階的に切り替えることができる。ここで、ノズル９１の待機姿勢（Ｎ３）は、第１ノズル９１１及び第２ノズル９１２が何れも離間姿勢（Ｐ２、Ｑ２）にある姿勢である。また、ノズル９１の中間姿勢（Ｎ２）は、第１ノズル９１１が密着姿勢（Ｐ１）にあり且つ第２ノズル９１２が離間姿勢（Ｑ２）にある姿勢であり、ノズル９１の使用姿勢（Ｎ１）は、第１ノズル９１１が密着姿勢（Ｐ１）にあり且つ第２ノズル９１２が押圧姿勢（Ｑ１）にある姿勢である。なお、ノズル９１が待機姿勢（Ｎ３）及び中間姿勢（Ｎ２）にある場合、ポート４０の閉止状態は維持され、ノズル９１が使用姿勢（Ｎ１）にある場合、第２ノズル９１２の押圧面９１ｅがポート４０を押し上げることによりポート４０は開放状態になる。

また、ノズル９１が使用姿勢（Ｎ１）にある場合、動作調整空間９３に導入されている圧縮空気を排気すると、ノズル９１は中間姿勢（Ｎ２）を経て、待機姿勢（Ｎ３）へ戻る。すなわち、本実施形態によれば、ノズル制御用気体（圧縮空気）を出し入れすることによって、ノズル９１を構成する第１ノズル９１１及び第２ノズル９１２をそれぞれ個別に昇降移動させることができる。

以上に詳述した本実施形態におけるパージノズルユニット９は、ユニット化した状態でロードポート２の載置台２３における複数の所定箇所（本実施形態では図６に示すように載置台２３の四隅近傍）に、ハウジング９２の適宜箇所に形成した取付孔を利用して取り付けることができる。そして、複数のパージノズルユニット９は、載置台２３上に載置されるＦＯＵＰ４内の気体雰囲気をパージ用気体に置換可能なパージ装置Ｐの一部として機能する。

なお、本実施形態のロードポート２は、載置台２３上にＦＯＵＰ４が載置されていない状態であれば、各パージノズルユニット９を載置台２３の上面よりも下方に位置付けている。そして、載置台２３に設けた例えば加圧センサの被押圧部をＦＯＵＰ４のうち底面部が押圧したことを検出した際に、制御部２Ｃからの信号によって、各パージノズルユニット９を上方に進出させて、つまりノズル９１を待機姿勢（Ｎ３）から中間姿勢（Ｎ２）に切り替えることで、ＦＯＵＰ４のポート４０（注入口、排出口）に接触するように構成している。そして、ノズル９１を中間姿勢（Ｎ２）から使用姿勢（Ｎ１）に切り替えることで、各ポート４０が閉止状態から開放状態になる。

本実施形態では、このようなパージ装置Ｐを用いたボトムパージ処理は、ＦＯＵＰ４の底部に設けられた複数のポート４０のうち、ベース２１の開口部２１ａから相対的に近い位置に設けられたポート４０に接続したパージノズルユニット９（Ｓ）を「供給ノズル」として機能させるとともに、ベース２１の開口部２１ａから相対的に遠い位置に設けられたポート４０に接続したパージノズルユニット９（Ｖ）を「排気ノズル」として機能させている（図１及び図２参照）。すなわち、本実施形態における「ボトムパージ処理」は、ＦＯＵＰ４の底面のうち、ＦＯＵＰ４の内部空間４Ｓにおいて搬出入口４１から近い手前側（以下、「手前側」）の位置から当該ＦＯＵＰ４内に窒素ガスや不活性ガス又はドライエア等の適宜選択された気体である環境ガス（パージ用ガスとも称され、主に窒素ガスやドライエアが用いられる）を注入し、ＦＯＵＰ４の底面のうち、ＦＯＵＰ４の内部空間４Ｓにおいて搬出入口４１から遠い奥方側（以下、「奥方側」）の位置からＦＯＵＰ４内の気体雰囲気を排出することで、ＦＯＵＰ４内にパージ用ガスを充満する処理である。したがって、ボトムパージ処理時には、ＦＯＵＰ４内において手前側から奥方側に向かう気流が形成される。

このように構成したロードポート２は、制御部２Ｃから各部に駆動指令を与えることで所定の動作を実行する。本実施形態のＥＦＥＭ１は、このようなロードポート２を搬送室３の前壁面３Ａに複数（例えば３台）並べて配置している。

ＥＦＥＭ１は、図１に示すように、共通のクリーンルーム内に相互に隣接する位置に設けたロードポート２及び搬送室３を主体として構成されたものである。ＥＦＥＭ１の作動は、ロードポート２のコントローラ（図６に示す制御部２Ｃ）や、ＥＦＥＭ１全体のコントローラ（図１に示す制御部３Ｃ）によって制御される。

搬送室３のうちロードポート２を配置した前壁面３Ａに対向する後壁面３Ｂには例えば処理装置Ｍ（半導体処理装置）が隣接して設けられる。クリーンルームにおいて、処理装置Ｍの内部空間ＭＳ、搬送室３の内部空間３Ｓ及びロードポート２上に載置されるＦＯＵＰ４の内部空間４Ｓは高清浄度に維持される。一方、ロードポート２を配置した空間、換言すれば処理装置Ｍ外、ＥＦＥＭ１外は比較的低清浄度となる。なお、図１は、ロードポート２及び搬送室３の相対位置関係、及びこれらロードポート２及び搬送室３を備えたＥＦＥＭ１と、処理装置Ｍとの相対位置関係を模式的に示した側面図である。

処理装置Ｍは、相対的に搬送室３に近い位置に配置したロードロック室と、相対的に搬送室３から遠い位置に配置した処理装置本体とを備えたものである。本実施形態では、図１に示すように、ＥＦＥＭ１の前後方向Ｄにおいてロードポート２、搬送室３、処理装置Ｍをこの順で相互に密接させて配置している。なお、処理装置Ｍの作動は、処理装置Ｍのコントローラ（図１に示す制御部ＭＣ）によって制御される。ここで、処理装置Ｍ全体のコントローラである制御部ＭＣや、ＥＦＥＭ１全体のコントローラである制御部３Ｃは、ロードポート２の制御部２Ｃの上位コントローラである。

搬送室３は、搬送対象物であるウェーハＷをＦＯＵＰ４と処理装置Ｍとの間で搬送可能な搬送ロボット３１を内部空間３Ｓに設けている。搬送ロボット３１は、例えば複数のリンク要素を相互に水平旋回可能に連結し、先端部にハンドを設けたアームと、アームの基端部を構成するアームベースを旋回可能に支持し且つ搬送室３の幅方向（ロードポート２の並列方向）に走行する走行部とを備え、アーム長が最小になる折畳状態と、アーム長が折畳状態時よりも長くなる伸長状態との間で形状が変わるリンク構造（多関節構造）のものである。なお、搬送室３の側面にバッファステーション、アライナの何れか一方または両方を配置したＥＦＥＭ１を構成することも可能である。

搬送室３は、ロードポート２及び処理装置Ｍが接続されることによって、内部空間３Ｓが略密閉された状態となる。搬送室３内は、図示しないガス供給口及びガス排出口を用いて環境ガス（例えば窒素ガスまたは不活性ガス）によるパージ処理を行うことで、環境ガス濃度を高めることが可能となっている。そして、ウェーハ搬送室３の上部にファンフィルタユニット３２を設けて下方に向けてガスを送出し、下部に設けたケミカルフィルタよりガスの吸引を行う。吸引したガスは、循環ダクト３２１を介して上部のファンフィルタユニット３２に向けて戻される。こうすることで、搬送室３の内部空間３Ｓで上方から下方に向かう気流であるダウンフロー（下降気流）を形成する。したがって、搬送室３内の環境ガスを循環させて清浄な状態に維持することができる。また、搬送室３の内部空間３ＳにウェーハＷの表面を汚染するパーティクルが存在した場合であっても、ダウンフローによってパーティクルを下方に押し下げ、搬送中のウェーハＷの表面へのパーティクルの付着を抑制することが可能となる。図１には、ファンフィルタユニット３２によるガスの流れを矢印で模式的に示している。

本実施形態のロードポート２は、制御部２Ｃから各部に駆動指令を与えることで所定の動作を実行する。本実施形態では、ロードポート２が有する制御部２Ｃから各部に駆動指令を与えるように構成している。制御部２Ｃは、ＣＰＵ、メモリ及びインターフェースを備えた通常のマイクロプロセッサ等により構成されるもので、メモリには予め処理に必要なプログラムが格納してあり、ＣＰＵは逐次必要なプログラムを取り出して実行し、周辺ハードリソースと協働して所期の機能を実現するものとなっている。

次に、ＥＦＥＭ１の使用方法及び作用と併せて、ＥＦＥＭ１の動作フローを説明する。

先ず、搬送室３のうちロードポート２を配置した共通の前壁面３Ａに沿って延伸する直線上の搬送ライン（動線）で作動するＯＨＴ等の容器搬送装置によりＦＯＵＰ４がロードポート２の上方まで搬送され、載置台２３上に載置される。この際、例えば載置台２３に設けた位置決め用突起２３１がＦＯＵＰ４の位置決め用凹部に嵌まる。また、制御部２Ｃが、載置台２３上のロック爪２３２をロック状態にする（ロック処理）。具体的には、ＦＯＵＰ４の底面に設けた被ロック部（図示省略）に対して、載置台２３上のロック爪２３２を引っ掛けて固定することでロック状態になる。これにより、ＦＯＵＰ４を載置台２３上の所定の正規位置に載置して固定することができる。本実施形態では、搬送室３の幅方向に３台並べて配置したロードポート２の載置台２３にそれぞれＦＯＵＰ４を載置することができる。また、ＦＯＵＰ４が載置台２３上に所定の位置に載置されているか否かを検出する着座センサ（図示省略）によりＦＯＵＰ４が載置台２３上の正規位置に載置されたことを検出するように構成することもできる。

本実施形態では、搬送室３内に設けたファンフィルタユニット３２を駆動させることにより、搬送室３の内部空間３Ｓに下降気流を生じさせ、清浄度の高い気体（環境ガス）を搬送空間３Ｓで循環させている。

次いで、本実施形態のロードポート２では、制御部２Ｃが、図２に示す位置にある載置台２３を図９に示すドッキング位置まで移動させる（ドッキング処理）。すなわち、図２に示す位置にある載置台２３をベース２１に向かって移動させて、ベース２１のうち開口部２１ａの周縁における最もＦＯＵＰ本体４２に近いベース最前面２１ＡにＦＯＵＰ４の後面（相互に面一なＦＯＵＰ本体４２の後面４２Ｂ及びＦＯＵＰドア４３の外向き面）を所定距離まで接近させる。このドッキング処理を実行するまでは、移動規制部Ｌが、係合片Ｌ１を非対面姿勢にした移動許容状態に維持されている。なお、図２等における符号２１Ｂが指す面は、ベース２１のうち開口部２１ａ（窓枠部２１６の開口部２１５）の周縁においてＦＯＵＰ本体４２から最も遠いベース最後面である。

そして、載置台２３を所定のドッキング位置まで移動させると、本実施形態のロードポート２では、制御部２Ｃが、移動規制部Ｌを用いてＦＯＵＰ４の少なくとも両サイドを保持して固定する処理を行う。具体的には、移動規制部Ｌの引き込み部Ｌ２によって係合片Ｌ１をベース２１側に引き込む。すると、係合片Ｌ１は非対面姿勢から対面姿勢に切り替わり、ＦＯＵＰ本体４２の鍔部４５に係合した状態になる。この状態で、ドッキング位置に位置付けた載置台２３上のＦＯＵＰ４の鍔部４５を、移動規制部Ｌの係合片Ｌ１とベース最前面２１Ａ（窓枠部２１６の前面２１６Ａ）との間で挟み込むことができる。すなわち、容器クランプ処理は、移動規制部Ｌを移動許容状態から移動規制状態に切り替える処理で実現できる。

なお、移動規制部Ｌを移動許容状態から移動規制状態に切り替えるタイミングは、載置台２３をドッキング位置に位置付けた時点以降であればよく、載置台２３をドッキング位置に位置付けた直後に、移動規制部Ｌを移動許容状態から移動規制状態に切り替える構成にしてもよい。また、載置台２３をドッキング位置に位置付けてから所定時間経過後に、移動規制部Ｌを移動許容状態から移動規制状態に切り替える構成にしてもよい。

本実施形態のロードポート２では、容器クランプ処理を終了した時点で、ベース２１の開口部２１ａ（窓枠部２１６の開口部２１５）の近傍において、ドッキング位置に位置付けた載置台２３上に載置されているＦＯＵＰ４のうちシール面に設定したＦＯＵＰ本体４２の後面４２Ｂが、ベース２１の第１シール部５に弾接し、第１シール部５の弾性変形によりＦＯＵＰ４とベース２１の間に良好なシール領域を形成することができる。すなわち、本実施形態のロードポート２では、容器クランプ処理を実施することによって、ＦＯＵＰ４とベース２１の間に良好なシール領域を形成する処理（シール処理）を同時に実施することができる。本実施形態のロードポート２では、容器クランプ処理を経ることによって、ドッキング位置に位置付けた載置台２３上のＦＯＵＰ４を移動規制部Ｌで固定した状態を維持することができる。このため、第１シール部５に弾接するＦＯＵＰ４がベース２１から離間する方向に移動したり、傾動する事態を防止することができる。

本実施形態のロードポート２では、制御部２Ｃが、容器クランプ処理及びシール処理に続いて、密閉空間ＤＳに窒素ガスを供給するとともに、それまで密閉空間ＤＳに留まっていたガス（大気）をガス排出部７２よって排出する処理を行う（ドアパージ処理）。ドアパージ処理は、適宜のガス供給源から供給される窒素ガスを密閉空間ＤＳ内に注入して、密閉空間ＤＳ内を窒素ガスに置換する処理である。具体的には、ドアパージ用ガス注入バルブ７１ａを開くことで、ガス注入部７１から窒素ガスを密閉空間ＤＳに供給すると同時に、ドアパージ用ガス排出バルブ７２ａを開くことで、それまで密閉空間ＤＳに留まっていたガス（大気）をガス排出部７２より排出する処理である。ここで、大気とは、ウェーハＷを酸化させるなど、ウェーハＷの性状を変化させるおそれのある酸素、水分、パーティクルなどを包含する。なお、ＦＯＵＰドア４３の内部が中空であり、ＦＯＵＰドア４３の後面に形成した孔（ドア保持用孔等）を通じてＦＯＵＰドア４３の内部空間が密閉空間ＤＳと連通する構成であれば、本実施形態のドアパージ処理によってＦＯＵＰドア４３の内部空間を窒素ガスに置換することが可能である。なお、ガス注入部７１から密閉空間ＤＳにガスを注入するガス注入動作と、ガス排出部７２から密閉空間ＤＳにガスを排出する排出動作を繰り返してもよい。本実施形態のロードポート２は、ドアパージ処理中においても第１シール部５及び第２シール部６のシール状態を維持することができる。また、ドアパージ処理に伴って密閉空間ＤＳが陽圧状態にある場合に密閉空間ＤＳ内から密閉空間ＤＳ外へ向かう圧力を受けて少なくとも第１シール部５の１箇所でシール状態が解除される部分（優先開放部分）を設定しておくこともできる。この場合、優先開放部分（シールが破れた箇所）の近傍であって且つ密閉空間ＤＳの外である大気圧下ＧＳに排気ユニットを設けることで、優先開放部分から密閉空間ＤＳの外へ漏洩する少なくともドアパージ用ガス等の気体を排気ユニットによって効率良く排気することが可能である。優先開放部分を通じて密閉空間ＤＳ外へ漏洩するガス量が微量（作業者の危険とならない程度の量）であれば排気ユニットを省略することができる。

本実施形態のロードポート２では、制御部２Ｃが、ドアパージ処理に続いて、連結機構２２１を蓋連結状態に切り替える（蓋連結処理）。この処理により、予め全閉位置（Ｃ）で待機させているロードポートドア２２にＦＯＵＰドア４３を連結機構２２１で連結して密着状態で保持することができる。また、ＦＯＵＰ本体４２からＦＯＵＰドア４３を取り外し可能な状態になる。また、本実施形態のロードポート２では、載置台２３上の正規位置にＦＯＵＰ４が載置された時点で、制御部２Ｃが、載置台２３に設けた例えば加圧センサの被押圧部をＦＯＵＰ４のうち底面部が押圧したことを検出する。これをきっかけに、制御部２Ｃが、載置台２３に設けたパージノズルユニット９（全てのパージノズルユニット９）を載置台２３の上面よりも上方へ進出させる駆動命令（信号）を与える。すると、各パージノズルユニット９が待機姿勢（Ｎ３）から中間姿勢（Ｎ２）を経て使用姿勢（Ｎ１）になり、ＦＯＵＰ４の各ポート４０に連結し、各ポート４０は閉止状態から開放状態に変更する。そして、上述したように、本実施形態では、ＦＯＵＰ４の底部に設けられた複数のポート４０のうち、ベース２１の開口部２１ａから相対的に近い位置に設けられたポート４０に接続したパージノズルユニット９（Ｓ）を「供給ノズル」として機能させるとともに、ベース２１の開口部２１ａから相対的に遠い位置に設けられたポート４０に接続したパージノズルユニット９（Ｖ）を「排気ノズル」として機能させることで、ＦＯＵＰ４の内部空間４Ｓに窒素ガスを供給し、その窒素ガスがＦＯＵＰ４内において手前側から奥方側へ流れる窒素ガスの気流を形成し、ＦＯＵＰ４内の気体雰囲気を排出し、ＦＯＵＰ４の内部空間４Ｓを窒素ガスに置換して、ＦＯＵＰ４内の水分濃度及び酸素濃度をそれぞれ所定値以下にまで低下させてＦＯＵＰ４内におけるウェーハＷの周囲環境を低湿度環境及び低酸素環境にする（ボトムパージ処理）。

本実施形態のロードポート２では、制御部２Ｃが、蓋連結処理に続いて、ＦＯＵＰドア４３をロードポートドア２２とともに移動させて、ベース２１の開口部２１ａ及びＦＯＵＰ４の搬出入口４１を開放して、ＦＯＵＰ４内の密閉状態を解除する処理（容器密閉解除処理）を実行する。具体的には、制御部２Ｃが、図１０に示すように、ロードポートドア２２をドア移動機構２７により全閉位置（Ｃ）からチャンバ５の内部空間５Ｓにおいて搬送室３側に向かって上述の水平経路に沿って上述の開放位置（Ｏ）まで移動させ、さらに、上述の開放位置（Ｏ）に到達したロードポートドア２２を上述の鉛直経路に沿って所定距離降下させて全開位置（図示省略）に位置付ける。この容器密閉解除処理を実行する時点では、上述のドアパージ処理及びボトムパージ処理によって密閉空間ＤＳ及びＦＯＵＰ４の内部空間４Ｓは窒素ガスで充填されているため、ロードポートドア２２を搬送室３の内部空間３Ｓ側に移動させる処理時に、ドアパージ処理実行前の時点でＦＯＵＰドア４３に付着しているパーティクル等が舞うことを防止することができる。

容器密閉解除処理により、ＦＯＵＰ本体４２の内部空間４Ｓ及び搬送室３の内部空間３Ｓが相互に連通した状態になる。搬送空間３Ｓ内で生じている下降気流の気体（環境ガス）も清浄に維持されている。ここで、容器密閉解除処理を実施する際、密閉空間ＤＳの体積（容積）が増加すると密閉空間ＤＳは負圧になり易く、外部空間ＧＳから密閉空間ＤＳに大気が入り込むおそれがある。そこで、本実施形態では、外部空間ＧＳに対して密閉空間ＤＳが陽圧の状態で容器密閉解除処理を実施する。具体的には、容器密閉解除処理を実行する時点においてもガス注入部７１から窒素ガスを供給し続ける。このようにして、本実施形態では、密閉空間ＤＳが少なくとも負圧でない状態で容器密閉解除処理を行うように設定している。また、容器密閉解除処理は、搬送空間３Ｓに対して密閉空間ＤＳが同程度の圧で開放することが好ましい。なお、外部空間ＧＳと搬送空間３Ｓの差圧は、３乃至５００Ｐａ（Ｇ）であり、好ましくは５乃至１００Ｐａ（Ｇ）である。

そして、本実施形態のＥＦＥＭ１では、容器密閉解除処理を実行することによって、ＦＯＵＰ本体４２の内部空間４Ｓと搬送室３の内部空間３Ｓとが連通した状態になり、図１５に示すように、搬送空間３Ｓ内で生じている下降気流の一部が、ベース２１の開口部２１ａ及びＦＯＵＰ４の搬出入口４１を介してＦＯＵＰ本体４２の内部空間４Ｓに流入する。本実施形態では、容器密閉解除処理直後または直前に、ロードポート２の載置台２３に設けたパージノズルユニット９のうち少なくとも「排気ノズル」として機能するパージノズルユニット９（Ｖ）、つまり相対的にベース２１の開口部２１ａから遠い位置に設けたパージノズルユニット９（Ｖ）を使用姿勢（Ｎ１）に設定しておくことにより、ＦＯＵＰ４のポート４０のうち使用姿勢（Ｎ１）にあるパージノズルユニット９（Ｖ）に接続されているポート４０、つまりベース２１の開口部２１ａから相対的に遠い位置に設けられたポート４０を開放状態にする。その結果、本実施形態のＥＦＥＭ１は、搬送空間３Ｓ内からＦＯＵＰ本体４２の内部空間４Ｓに流入した気体を、ＦＯＵＰ４のポート４０のうちベース２１の開口部２１ａから相対的に遠い位置に設けられたポート４０から排出することができる。さらに、「排気ノズル」として機能するパージノズルユニット９（Ｖ）による強制排気を実行する（吸引する）ことで、ＦＯＵＰ４内において手前側から奥方側に向かう気流を強制的に形成することができる。図１５では、搬送室３内及びＦＯＵＰ４内の気体の流れを矢印で模式的に示している。なお、ウェーハＷに対する処理内容やウェーハＷのサイズ、仕様等に応じて強制排気または自然排気の何れかを適宜選択することが可能である。

本実施形態に係るＥＦＥＭ１は、このようなＦＯＵＰ４内において手前側から奥方側に向かう気流を形成して、搬送空間３Ｓ内で生じている下降気流の一部をＦＯＵＰ４内全体に行き渡らせて排気ノズルとして機能するパージノズルユニット９（Ｖ）からＦＯＵＰ４の外に排出する処理（搬送空間３Ｓ内の下降気流を用いた容器内清浄化処理）を実施する。なお、図１５に示すように、搬送空間３Ｓ内で生じている下降気流の一部をＦＯＵＰ４内に案内するガイド板３Ｇを備えた構成であれば、ガイド板３Ｇを備えていない構成と比較して、搬送空間３Ｓ内の下降気流をＦＯＵＰ４内に効率良く流入させることが可能である。

また、搬送空間３Ｓ内の下降気流を用いた容器内清浄化処理時に、ロードポート２の載置台２３に設けたパージノズルユニット９のうち「供給ノズル」として機能するパージノズルユニット９（Ｓ）、つまり相対的にベース２１の開口部２１ａに近い位置に設けたパージノズルユニット９を使用姿勢（Ｎ１）に設定しておき、ＦＯＵＰ４のポート４０のうち使用姿勢にあるパージノズルユニット９（Ｓ）に接続されているポート４０、つまりベース２１の開口部２１ａに相対的に近い位置に設けられたポート４０を開放状態に維持し、供給ノズルとして機能するパージノズルユニット９（Ｓ）から適宜のパージ用気体をＦＯＵＰ４内に供給するように設定してもよい。この場合、下降気流の一部とともにパージ用気体もＦＯＵＰ４内において手前側から奥方側に向かって流れ、排気ノズルとして機能するパージノズルユニット９（Ｖ）から排出することができる。

そして、本実施形態のＥＦＥＭ１は、搬送空間３Ｓ内の下降気流を用いた容器内清浄化処理を継続して実行したまま、ＦＯＵＰ本体４２の内部空間４Ｓと搬送室３の内部空間３Ｓとを連通させた状態で、搬送室３の内部空間３Ｓに設けた搬送ロボット３１がＦＯＵＰ４内にアクセスして、ウェーハＷに対する搬送処理を実施する（搬送処理）。搬送処理において実施可能な搬送処理内容は、搬送ロボット３１がハンドでＦＯＵＰ４内のウェーハＷを取り出す処理や、処理装置Ｍによる適宜の処理を終えた処理済みのウェーハＷをハンドでＦＯＵＰ４内に入れる処理である。例えば搬送処理によってＦＯＵＰ４内のウェーハＷを搬送室３内に搬送した場合、搬送室３内に搬送されたウェーハＷは、搬送ロボット３１によって処理装置Ｍ（具体的にはロードロック室）に搬送したり、バッファステーション又はアライナに搬送される。また、処理装置Ｍによる適宜の処理を終えた処理済みのウェーハＷは、搬送ロボット３１によって処理装置Ｍの内部空間ＭＳからＦＯＵＰ４の内部空間４Ｓに直接収納されたり、バッファステーションを経由してからＦＯＵＰ４の内部空間４Ｓに順次収納される。本実施形態のロードポート２では、ＦＯＵＰ４に対する搬送ロボット３１の次のアクセスを実行する場合、搬送処理を繰り返し行う。

上述の通り、本実施形態のＥＦＥＭ１は、搬送処理の実行中、搬送空間３Ｓ内の下降気流を用いた容器内清浄化処理を継続して実行することにより、ＦＯＵＰ４内において搬出入口４１に近い内部空間４Ｓの手前側から内部空間４Ｓの奥方側に向かう気流がウェーハＷの表面近傍を通過し、処理済みのウェーハＷから放出されるアウトガスをＦＯＵＰ４の外部に排出することができる。その結果、ＦＯＵＰ４内のウェーハＷが処理後のウェーハＷ１から生じるアウトガスにより酸化または汚染される事態を防止・抑制できる。特に、搬送室３に、搬送空間３Ｓ内の下降気流の一部をＦＯＵＰ４側に誘導するガイド部（ガイド板３Ｇ）を配置したことにより、ＦＯＵＰ４内に環境ガスをスムーズ且つ効率良く流入させることができる。

本実施形態に係るロードポート２では、ＦＯＵＰ４内のウェーハＷが全て処理装置Ｍによる処理工程を終えたものになると、制御部２Ｃが、ドア移動機構２７によりロードポートドア２２を全閉位置（Ｃ）に移動させて、ベース２１の開口部２１ａ及びＦＯＵＰ４の搬出入口４１を閉止して、ＦＯＵＰ４の内部空間４Ｓを密閉する処理（容器密閉処理）を実行する。続いて、制御部２Ｃが、連結機構２２１を蓋連結状態から蓋連結解除状態に切り替える処理（蓋連結解除処理）を実行する。この処理により、連結機構２２１によるロードポートドア２２とＦＯＵＰドア４３の連結状態（蓋連結状態）を解除して、ＦＯＵＰ本体４２にＦＯＵＰドア４３を取り付けることができる。その結果、ベース２１の開口部２１ａ及びＦＯＵＰ４の搬出入口４１はそれぞれロードポートドア２２、ＦＯＵＰドア４３によって閉止されて、ＦＯＵＰ４の内部空間４Ｓは密閉状態になる。

なお、本実施形態に係るロードポート２では、ドアパージ処理を停止すると、密閉空間ＤＳの圧力は低下する傾向にあるが、上述した密閉空間ＤＳの陽圧状態ではないことに起因する不具合の発生を回避するためには、密閉空間ＤＳの陽圧状態を維持することが肝要である。

続いて、本実施形態に係るロードポート２では、制御部２Ｃが、移動規制部ＬによるＦＯＵＰ４の固定状態（クランプ状態）を解除する容器クランプ解除処理を行い、次いで、載置台２３をベース２１から離間する方向に移動させる処理（ドッキング解除処理）を実行した後、載置台２３上のロック爪２３２でＦＯＵＰ４をロックしている状態を解除する（ロック解除処理）。これにより、所定の処理を終えたウェーハＷを格納したＦＯＵＰ４は、各ロードポート２の載置台２３上から容器搬送装置に引き渡され、次工程へと運び出される。

なお、搬送空間３Ｓ内の下降気流を利用した容器内清浄化処理時に排気ノズルとして機能するパージノズルユニット９（Ｖ）による吸引を実行する構成であれば、容器密閉処理と同時または容器密閉処理後の適宜のタイミングで、排気ノズルとして機能するパージノズルユニット９（Ｖ）による吸引を停止する。また、搬送空間３Ｓ内の下降気流を利用した容器内清浄化処理時に供給ノズルとして機能するパージノズルユニット９（Ｓ）からパージ用気体をＦＯＵＰ４内に供給する構成であれば、容器密閉処理と同時または容器密閉処理後の適宜のタイミングで、パージ用気体の供給処理を停止する。一方、搬送空間３Ｓにおいては清浄度の高い気体による下降気流を形成し続けることで、搬送空間３Ｓの高い清浄度を維持することができる。なお、排気ノズルとして機能するパージノズルユニット９（Ｖ）による吸引処理を実行し続けた場合には、ＦＯＵＰ４内が負圧状態または負圧に近い状態になり、ＦＯＵＰドア４３をＦＯＵＰ４内に向かって押し付けることで、ＦＯＵＰ４内の高い密閉性を確保することが可能である。

また、使用姿勢（Ｎ１）にあるパージノズルユニット９を中間姿勢（Ｎ２）、あるいは中間姿勢（Ｎ２）を経て待機姿勢（Ｎ３）に切り替えるタイミングは、ロードポート２の載置台２３上から容器搬送装置に引き渡される前の適宜のタイミングであればよい。

以上のように、本実施形態に係るパージノズルユニット９（排気ノズルユニット）は、ＦＯＵＰ４の底面に設けられたポート４０の弁４０３を押圧することによって当該ポート４０を閉止状態から開放状態に切替可能なノズル９１と、ノズル９１を昇降可能に保持するハウジング９２とを備えているため、ノズル９１を待機姿勢（Ｎ３）から使用姿勢（Ｎ１）に切り替えることによってポート４０を開放状態にすることができる。

したがって、パージノズルユニット９から供給する気体の圧力に依ることなくポート４０を閉止状態から開放状態に切り替えることが可能であり、このようなパージノズルユニット９をＦＯＵＰ４の底面に設けた各ポート４０にそれぞれ接続することで、ポート４０のうちＦＯＵＰ４の搬出入口４１から相対的に遠い位置（奥方側の位置）に設けられて従来であれば供給ポートとして機能するポート４０を、気体の供給圧力に依らずに強制的に開放状態にすることが可能であり、当該ポート４０を排気ポートとして機能させることが可能である。

そして、搬送室３の搬送空間３Ｓに下降気流を形成している本実施形態に係るＥＦＥＭ１によれば、下降気流の一部であってＦＯＵＰ４の内部に流入した気流を、ＦＯＵＰ４の搬出入口４１から相対的に遠い位置（奥方側の位置）に設けられたポート４０及びそのポート４０に接続したパージノズルユニット９（Ｖ）を通じてＦＯＵＰ４の外部に排出することが可能であり、相対的にＦＯＵＰ４の搬出入口４１に近い位置（手前側の位置）に設けられたポート４０及びそのポート４０に接続したパージノズルユニット９を通じてＦＯＵＰ４の外部に排気する構成と比較して、搬送空間３Ｓに形成した下降気流の一部であってＦＯＵＰ４の内部４Ｓに導入した気流を、ＦＯＵＰ４の内部空間４Ｓ全体に亘って手前側から奥方側に向かう気流にすることが可能であり、ＦＯＵＰ４内のガス（ＦＯＵＰ４内のウェーハＷから放出されるアウトガスを含む気体）をＦＯＵＰ４外に効率良く排出することができる。

また、本実施形態では、「排気ノズル」として機能させているパージノズルユニット９（Ｖ）を使用姿勢（Ｎ１）にした状態、すなわちポート４０の弁４０３をノズル９１で押し上げて通気した状態で、当該パージノズルユニット９（Ｖ）からＦＯＵＰ４内の気体を吸引して所定箇所に回収する場合、回収した気体は、搬送室３の下降気流を形成する気体として再利用することが可能である。再利用する気体にはアウトガスが含まれるが、搬送室３内に設けた循環ダクト３２１にて循環させて、ファンフィルタユニット３２を通過することで清浄化され、アウトガスは取り除かれる。

さらに、本実施形態のＥＦＥＭ１は、配管の切り替えにより、相対的にＦＯＵＰ４の搬出入口４１から遠い位置（後側の位置）に設けられたポート４０及びそのポート４０に接続したパージノズルユニット９を通じてＦＯＵＰ４の内部に所定の気体を供給し、相対的にＦＯＵＰ４の搬出入口４１に近い位置（前側の位置）に設けられたポート４０及びそのポート４０に接続したパージノズルユニット９を通じてＦＯＵＰ４の外部に排気する構成を一時的または継続的的に選択することも可能である。

以上のように、本実施形態に係る排気ノズルユニット９、ロードポート２及びＥＦＥＭ１によれば、多くの製造現場で使用されている既存のＦＯＵＰ４をそのまま利用して、搬送空間３Ｓ内から取り込んでＦＯＵＰ４内に流入した気体を、ＦＯＵＰ４の底部に設けられた複数のポート４０のうち奥方側のポート４０を通じてＦＯＵＰ４の外部に排気することが可能である。

特に、本実施形態では、ノズル９１として、ポート４０の外縁に密着可能な第１ノズル９１１と、ポート４０の弁４０３を押圧する第２ノズル９１２とを備えたものを適用しているため、ポート４０を開放させるのみならずポート４０に密着することにより、ポート４０とノズル９１との隙間を通じてＦＯＵＰ４の外部に所定の気体が漏洩してしまうことを回避することができる。したがって、排気ノズルとして機能するノズルの排気効率と、供給ノズルとして機能するノズルの供給効率の両方が向上する。

加えて、本実施形態に係る排気ノズルユニット９では、動作調整空間９３に対してノズル制御用気体を出し入れすることによりノズル９１を待機姿勢（Ｎ３）と使用姿勢（Ｎ１）との間で動作させる構成を採用しているため、ノズル９１を駆動させるための専用の駆動機構が不要であり、簡素な構成でありながらノズル９１の姿勢変更の動作を制御することができる。

さらに、本実施形態では、第１動作調整空間９３１及び第２動作調整空間９３２を相互に連通させて、ノズル制御用気体を第１動作調整空間９３１へ出し入れすることで、第２動作調整空間９３２も附随して拡縮可能に構成しているため、簡素な構成で第１ノズル９１１及び第２ノズル９１２の動作を制御することができる。

このような本実施形態に係る排気ノズルユニット９、ロードポート２及びＥＦＥＭ１は、多くの製造現場で使用されている既存のＦＯＵＰ４をそのまま利用して、搬送室３の搬送空間３Ｓに形成した下降気流の一部であってＦＯＵＰ４の内部に流入した気流を、ＦＯＵＰ４の内部空間４Ｓにおいて手前側から奥方側に向かう気流としてＦＯＵＰ４の内部空間４Ｓ全体に流通させることができ、このような気流を形成するための専用のＦＯＵＰを新たに用意する必要がなく、製造現場（製造ライン）に導入し易い。

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態の構成に限られるものではない。例えば、上記実施形態では動作調整空間に導入する気体として圧縮空気を例示したが、窒素ガスや他の不活性ガス、或いは乾燥させた空気を用いてもよい。

また、上述の実施形態では、排気ノズルユニットのノズルとして、第１ノズル及び第２ノズルを備え、第１ノズル及び第２ノズルを個別に昇降移動（２段階昇降移動）可能に構成したものを例示したが、第１ノズル及び第２ノズルを一斉に昇降移動可能に構成したノズルであってもよい。

また、排気ノズルユニットとして、上端面である押圧面から下方に所定寸法離間した位置に開口を設け、当該開口が気体排出口として機能する第２ノズルを備えたものを適用することが可能である。

上述の実施形態では、動作調整空間に対してノズル制御用気体を導入するノズル制御用気体ポートをハウジングの１箇所にのみ形成し、動作調整空間とノズル制御用気体ポートを１対１の関係で形成した態様を例示したが、１つの動作調整空間に連通するノズル制御用気体ポートを複数形成した構成を採用してもよい。

上記実施形態では、ノズル制御用気体ポートに対するノズル制御用気体の出し入れ処理のみでノズルの昇降移動を制御する態様を開示したが、バネ等の弾性体を用いてノズルを弾性付勢することでノズルを待機姿勢と使用姿勢の間で切替可能に構成したり、適宜のメカニカルな機構によりノズルを待機姿勢と使用姿勢の間で切替可能に構成することも可能である。

ノズルは、第１ノズルと第２ノズルとに区別不能な単体のノズル本体で構成することもできる。また、第１ノズルと第２ノズルとに区別可能であるものの、両者を一体的に組み付けることで単体のノズル本体と見なすことが可能なノズルを適用することも可能である。これら場合、ノズルとハウジングとの間に形成する動作調整空間も相互に仕切られていない１つの空間で足りる。

さらには、ハウジングに対するノズルの昇降移動を、電磁石を用いた電磁式で実現したパージノズルユニットであってもよい。例えば、気体流路を有するノズル本体に永久磁石を設け、電磁石が設けられたハウジングにて上下方向に摺動するよう保持することで昇降可能な排気ノズルユニットを構成してもよい。また、気体流路を有するノズル本体の側部に流体圧により駆動するシリンダ駆動機構を設けることで昇降可能な排気ノズルユニットを構成してもよい。

また、本発明に係る排気ノズルユニット（気体給排装置）をロードポートの載置台に対して後付けで取付可能に構成し、現在使用されている一般的なロードポートを適用しつつ、パージノズルユニットを本発明に係る排気ノズルユニットに変更することで、上述の実施形態と同様の作用効果を奏するように構成することもできる。

各排気ノズルユニットと容器のポートとの嵌合部分は、排気ノズルユニットに設けたパッキン等によって密閉状態になるように構成してもよい。

上述の実施形態では、容器としてウェーハ搬送に用いられるＦＯＵＰを採用した。しかし本発明における容器はこれに限定されず、ＭＡＣ(Multi Application Carrier)、Ｈ−ＭＡＣ(Horizontal-MAC)、ＦＯＳＢ(Front Open Shipping Box)などを採用することが可能である。また、容器はウェーハ収容容器に限定されず、不活性ガスを充填した状態で搬送される電子部品のような収容物（搬送対象物）を収容する密閉容器であってもよい。

上述の実施形態ではボトムパージ処理等に用いる環境ガスやノズル制御用気体として窒素ガスを例にしたが、これに限定されず、乾燥ガス、アルゴンガスなど所望のガス（不活性ガス）を用いることができる。

また、容器ドア（上述の実施形態におけるＦＯＵＰドア４３）が、閉位置から全開位置に移動する過程で一時的に傾斜姿勢となる（部分円弧状の軌跡を描くような動作を伴う）ものであっても構わない。

その他、各部の具体的構成についても上記実施形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。

１…ＥＦＥＭ
２…ロードポート
２３…載置台
３…搬送室
３１…搬送ロボット
３Ｓ…搬送空間
４…基板収納容器，容器（ＦＯＵＰ）
４１…搬出入口
４０…ポート
９…排気ノズルユニット（パージノズルユニット）
９１…ノズル
９１１…第１ノズル
９１２…第２ノズル
９２…ハウジング
９３…動作調整空間
Ｐ…パージ装置
Ｗ…搬送対象物（ウェーハ）

Claims (6)

1. 搬出入口を有する基板収納容器から、当該容器内の気体雰囲気を当該容器の底面に有するポートを通して外部に排出可能な排気ノズルユニットであって、
   前記ポートの弁を押圧することによって当該ポートを閉止状態から開放状態に切替可能なノズルと、
   前記ノズルを、前記ポートを開放状態にする使用姿勢と前記ポートを閉止状態にする待機姿勢との間で昇降可能に保持するハウジングとを備えていることを特徴とする排気ノズルユニット。
2. 前記ノズルは、前記ポートの外縁に密着可能な第１ノズルと、前記弁を押圧する第２ノズルとを備えたものである請求項１に記載の排気ノズルユニット。
3. 前記ノズルと前記ハウジングとの間に動作調整空間を有し、前記動作調整空間に対してノズル制御用気体を出し入れすることにより前記ノズルを前記使用姿勢と前記待機姿勢との間で動作させる請求項１又は２に記載の排気ノズルユニット
4. 前記容器を載置する載置台と、
   前記載置台の所定箇所に配置された請求項１乃至３の何れかに記載の排気ノズルユニットとを備えていることを特徴とするロードポート。
5. 搬出入口を有する容器と搬送空間との間で搬送対象物を搬送する搬送ロボットが配置される搬送室と、前記容器が載置される載置台を有するロードポートとを備えるＥＦＥＭであって、
   前記ロードポートは、前記容器内の気体雰囲気を環境ガスに置換可能なパージ装置を備えたものであり、
   前記パージ装置は、前記載置台の所定箇所に配置され、且つ前記容器の底面に１つ以上設けられたポートに接続される１つ以上の排気ノズルユニットを備えたものであり、
   前記排気ノズルユニットは、前記ポートの弁を押圧することによって当該ポートを閉止状態から開放状態に切替可能なノズルと、前記ノズルを、前記ポートを開放状態にする使用姿勢と前記ポートを閉止状態にする待機姿勢との間で昇降可能に保持するハウジングとを備えていることを特徴とするＥＦＥＭ。
6. 前記搬送空間には下降気流が形成され、前記下降気流を、前記容器の内部に前記搬出入口を介して導入可能に構成している請求項５に記載のＥＦＥＭ。

Images