TW201813896A - 垂直固定機構傳送盒及使用其之傳送方法 - Google Patents

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Abstract

本發明係關於一種垂直固定機構傳送盒，用於傳送一容置盒，其中，該傳送盒中具有一承載底座以及一彈性件，該承載底座係用以承載該容置盒，該彈性件係可操作地於一開啟狀態及一固定狀態之間變換，當該容置盒係置於該承載底座上且該彈性件於該固定狀態時，該彈性件自該容置盒之上方朝該容置盒提供垂直向下彈性力以抵掣該容置盒。於本發明中，可利用一自動化運輸傳送系統移動該傳送盒。

Description

垂直固定機構傳送盒及使用其之傳送方法
本發明係有關於一種垂直固定機構傳送盒以及使用其之傳送方法，尤指一種用於承載一容置盒之傳送盒，以及使用該傳送盒，並利用自動化運輸傳送系統之傳送方法。
近年來半導體產業迅速發展，而其中微影技術(Lithography)係半導體產業中重要的製備程序之一，其主要原理係將設計好的圖形製作成有對應形狀的光罩，利用曝光原理，將光源通過光罩投射到矽晶圓上以曝光顯影該特定圖案。而由於半導體技術不斷創新及微細化發展的影響，任何附著於光罩上的塵埃顆粒都會造成投影成像的品質劣化，故用於圖型化的光罩須保持潔淨，一般皆是於無塵室的環境下操作，以避免污染。
然一般在搬運光罩時，是將光罩置於光罩盒中，光罩盒為具有氣密狀態之盒體，因此，當光罩被放置於光罩盒中時，可避免光罩受到塵埃顆粒之污染。而在搬運光罩時，一般是將光罩置於光罩盒中，並以人力進行搬運以傳送至下一階段的製程，但因現今的在半導體之製程中，由於晶圓尺寸已達到12吋或以上，使用的光罩其體積及重量亦隨之增加，若以人力搬運，可能會發生掉落的危險，造成搬運人員的安全上的疑慮或因光罩損壞光罩所造成成本的損失。
為了解決以上問題，可藉由晶圓廠的電腦整合自動化傳輸運送系統，利用機械手臂來傳送光罩盒，不僅運送過程安全迅速，可大幅降低人為操作的誤差，進而降低無塵室之建置及維護成本，更可確保光罩的潔淨，達到高生產良率以進行有效的工廠管理。
為達到上述之目的，本發明係提供一種用於承載光罩盒的傳送盒以及其傳送方法，該傳送盒內設有垂直固定機構，以將光罩盒穩固地定位於該傳送盒中，再利用配置於傳送盒上方的頭頂式升降搬運系統，配合自動化運輸傳送系統，以機械化運輸傳送盒。
本發明所揭露之傳送盒係用於乘載一容置盒，該傳送盒包括：一前開式盒體，具有一頂部、相對該頂部之一底部、一右側部、一左側部、及一後側部，以形成一內部空間、以及相對該後側部之一開口；一門體，用以封閉該前開式盒體之該開口；一承載底座，設置於該內部空間中且於該底部上，用以承載該容置盒；以及一彈性件，設置於該內部空間中且連接該頂部，並可操作地於一開啟狀態以及一固定狀態之間變換，於開啟狀態時，該彈性件被壓縮，於固定狀態時，該彈性件係被釋放而提供向下彈性力；其中，當該容置盒係置於該承載底座上且該彈性件於固定狀態時，該彈性件自該容置盒之上方朝容置盒提供向下彈性力以抵掣該容置盒。
於本發明之一實施態樣中，該傳送盒可更包括一固定卡件，係設置於該容置盒上方且與該彈性件相配，當該容置盒放置於該承載底座上時，該固定卡件可定位該容置盒的位置。
於本發明之一實施態樣中，該承載底座可包括一承載盤以及複數個承載腳，該承載盤具有一符合該容置盒輪廓之一凸緣，以固定該容置盒，而該承載腳係設置於該承載盤之底面並抵掣該前開式盒體之底部。
於本發明之一實施態樣中，該彈性件可包括一彈簧；一內筒，設置於該容置空間中且固設於該前開式盒體之頂部，並套設至少部分之該彈簧；一外筒，可活動地套設於該內筒上；一卡榫凸塊及對應該卡榫凸塊之一滑槽，分別設置於該內筒之一外表面上或該外筒之一內表面上，該卡榫凸塊可活動地於該滑槽內滑動，該滑槽上遠離該傳送盒之頂部之一端係包括一第一止擋槽；以及一抵掣件，設置於該外筒之下方，並對應該容置盒；其中，當該卡榫凸塊滑動至第一止擋槽時，該彈性件處於開啟狀態，當該卡榫凸塊滑動至滑槽時，該彈性件係自該容置盒之上方朝容置盒提供向下彈性力以抵掣該容置盒。
根據上述之傳送盒，該滑槽上對應該第一止擋槽之一端可更包括一第二止擋槽，且該第二止擋槽包含一通口，其中，當該卡榫凸塊滑經第二止擋槽至該通口時，該內筒可與該外筒分離。
而於本發明之另一實施態樣中，該彈性件可包括一彈簧；一內筒，可活動地套設於該彈簧上；一外筒，設置於該容置空間中且固設於該前開式盒體之頂部 ，並套設至少部分之該內筒；一卡榫凸塊及對應該卡榫凸塊之一滑槽，分別設置於該內筒之一外表面上或該外筒之一內表面上，該卡榫凸塊可活動地於該滑槽內滑動，該滑槽上遠離該傳送盒之頂部之一端係包括一第一止擋槽；以及一抵掣件，設置於該外筒之下方，並對應該容置盒；其中，當該卡榫凸塊滑動至該第一止擋槽時，該彈性件處於開啟狀態，當該卡榫凸塊滑動至該滑槽時，該彈性件係自該容置盒之上方朝容置盒提供垂直向下彈性力以抵掣該容置盒。
根據上述之傳送盒，該滑槽上對應該第一止擋槽之一端可更包括一第二止擋槽，且該第二止擋槽包含一通口，且當該卡榫凸塊滑經第二止擋槽至該通口時，該內筒可與該外筒分離。
於本發明之一實施態樣中，該傳送盒可更包括一頭頂式升降搬運系統接頭(Overhead Host Transfer, OHT)，設置於該前開式盒體之內部空間中。
於本發明之又一實施態樣中，該傳送盒可更包括一感應裝置，設置於該前開式盒體之內部空間中。其中，該感應裝置係包括至少一選自由一溫度感應元件、一濕度感應元件、一壓力感應元件、以及一震動感應元件所組成的群組。
於本發明之再一實施態樣中，該前開式盒體之底部上具有至少一充氣孔。而該前開式盒體之後側部、左側部、以及右側部中至少一者為縷空結構。
本發明之另一目的係在於提供使用上述傳送盒之一種傳送容置盒的方法，其步驟可包括：將一容置盒置於一承載底座上；將一彈性件由一開啟狀態變換為一固定狀態，以固定該容置盒；關閉一門體，以封閉一前開式盒體之一開口；以及利用一自動化運輸傳送系統移動該傳送盒。
於本發明之一實施態樣中，該彈性件係包含一內筒、可活動地套設於該內筒之一外筒、以及設置於該內筒及該外筒中之一彈簧，其中固定該容置盒之步驟係：調整該外筒與該內筒的相對位置，以將該彈性件由開啟狀態變換為固定狀態。
於本發明之另一實施態樣中，其中該傳送盒更包括一頭頂式升降搬運系統接頭(OHT)，設置於該前開式盒體之上方，其中，利用一自動化運輸傳送系統移動該傳送盒之步驟係：利用一機械手臂抓取該頭頂式升降搬運系統接頭以移動該傳送盒。
以下係藉由特定的具體實施例說明本創作之實施方式，熟習此技藝之人士可由本說明書所揭示之內容輕易地了解本創作之其他優點與功效。惟需注意的是，以下圖式均為簡化之示意圖，圖式中之元件數目、形狀及尺寸可依實際實施狀況而隨意變更，且元件佈局狀態可更為複雜。本創作亦可藉由其他不同的具體實施例加以施行或應用，本說明書中的各項細節亦可基於不同觀點與應用，在不悖離本創作之精神下進行各種修飾與變更。
首先，請同時參閱第1圖及第2圖，其中，第1圖係本發明傳送盒1000之立體示意圖，第2圖為本發明傳送盒1000之剖面圖。如圖所示，該傳送盒1000係包括：一前開式盒體1、一門體2、一承載底座3、以及一彈性件4。其中，該前開式盒體1係具有一頂部11、相對該頂部11之一底部12、一右側部13、一左側部14、以及一後側部15，使得該前開式盒體1形成有一內部空間16、以及相對於該後側部15之一開口17，而該門體2係用以封閉該開口17；接著，該承載底座3係設置於該內部空間16中，且設置於該底部12上，以供承載一容置盒5；再者，該彈性件4則是設置於該內部空間16中，且設置於該頂部11，並可操作地於一開啟狀態以及一固定狀態之間變換，於該開啟狀態時，該彈性件4被壓縮(可參照第5圖)，該固定狀態時(如第1圖所示)，該彈性件4係被釋放而提供向下彈性力，而當該容置盒5被放置於該承載底座3上且該彈性件4於固定狀態時，該彈性件4自該容置盒5之上方朝容置盒5提供向下彈性力以抵掣該容置盒5。
於本實施方式中，該容置盒5係指容置光罩之光罩盒。然本發明之該容置盒5並不受限於光罩盒，可為本領域中任一種容置盒。
本發明之該門體2上係設置有固鎖裝置(圖未示)，使得該門體2可穩固地固鎖在該前開式盒體10之開口17上。而於本發明中，該門體2之固鎖裝置可為本領域中習知之任一種固鎖裝置，例如可為壓按式或旋轉式，只要可將該門體2蓋合並固定於該前開式盒體1之開口17上之固鎖裝置皆可使用，並無特別的限制。
另外，如圖所示，本發明之傳送盒1000中可更包括一固定卡件6，係設置於該容置盒5上方且與該彈性件4相配，當該容置盒5係置於該承載底座3上時，該固定卡件6可定位該容置盒5的位置，且藉由形成於該固定卡件6上對應該彈性件4的凹槽，可卡合該彈性件4，可穩固該彈性件4施力的位置，避免該彈性件4與該容置盒5間產生位移。
再者，如圖所示，本發明之傳送盒1000可更包括一底座7，該底座7係設置於該前開式盒體1之下方，以支撐該前開式盒體1，且由於該前開式盒體1之底部12因其製備方法（如射出成型之脫模）的關係，可能導致有一傾斜角度，故該底座7係與該傾斜的底部12可呈一角度，以保持該前開式盒體1之水平。
接著，請參照第3圖，其係該承載底座3之立體示意圖。詳細而言，該承載底座3係包括一承載盤31以及複數個承載腳32，該承載盤31具有一上表面311以及一底面312，該承載盤31之上表面係具有一符合該容置盒5輪廓之一凸緣3111，使得該容置盒5置於該承載盤31上時，其位置可被固定以避免水平的位移。而於該承載盤31之底面312上係設置五個承載腳32，以抵掣該前開式盒體1之該底部12，且所述承載腳32較佳為具有彈性的材料，以提供減震的功能。此外，如上述，該前開式盒體1之底部12因其製備方法的關係，可能導致有一傾斜角度，故該承載盤31之底部可呈一傾斜角度、或者藉由分別調整所述承載腳32距離底面312的位置，使得該承載盤31之上表面311可呈水平，進而保持放置於該承載盤31上之該容置盒5的水平。再者，該承載盤31上表面之凸緣3111的態樣並無特別限制，可為環繞該容置盒5輪廓之連續凸緣，亦可為不連續的凸緣，只要符合該容置盒5之輪廓且可以固定該容置盒5的位置，並可避免其水平位移之即可。而該承載腳32的數量亦無特別的限制，只要可能使得該承載底座3穩固地設置於該前開式盒體1之底部12上，並穩固底承載該容置盒5即可，而其數量較佳係大於三。
接著，請再參照第4圖，其係繪示該彈性件4之立體爆炸示意圖，該彈性元件係包括：一彈簧41、一內筒42、一外筒43、卡榫凸塊421及對應該卡榫凸塊之滑槽431、以及一抵掣件432。其中，該內筒42係固設於該前開式盒體1之頂部11，該內筒42套設部分之該彈簧41，該外筒43係可活動地套設至該內筒42上，該卡榫凸塊421係如圖所示設置於該內筒42之外表面上，而該滑槽431係對應該卡榫凸塊421而設置於該外筒43之內表面上，使得該卡榫凸塊421可活動地於該滑槽431內滑動。此外，該滑槽431上遠離該前開式盒體1之該頂部11之一端係包括一第一止擋槽4311，而該滑槽431上對應該第一止擋槽4311之一端更包括一第二止擋槽4312，且該第二止擋槽4312更連接一通口4313。再者， 該抵掣件432係設置於該外筒43之下方，並對應該容置盒5。
請再參考第2圖所繪示的彈性件4，其係繪示當該彈性件4處於固定狀態時的態樣，當該卡榫凸塊421滑動至該滑槽431時，該彈性件4係自該容置盒5上方朝該容置盒5提供垂直的向下彈性力，並藉由該抵掣件432以抵掣固定該容置盒5。另外，當該前開式盒體1中並未放置容置盒5時，該卡榫凸塊421可滑經該第二止擋槽4312以至該通口4313，使得該內筒42與該外筒43分離，如此一來，可視需要更換該外筒43。
接著請再參考第5圖，第5圖係繪示當該彈性件4處於開啟狀態時的態樣，此時，該卡榫凸塊421滑動至該第一止擋槽4311，固定該外筒43及該內筒42之相互位置，該外筒43套設大部分之該內筒42，且該彈簧41被壓縮。當該彈性件4處於開啟狀態時，可將該容置盒5放入或移出該傳送盒1000。
然而，於另一實施態樣中之彈性件4，該外筒43及該內筒42的設置位置係互相交換，如第6圖所繪示之立體爆炸示意圖，該外筒43係固設於該前開式盒體1之頂部12，而該內筒42係套設部分之該彈簧41，該外筒43則係可活動地套設於該內筒42上，且該抵掣件432係設置於該內筒42之下方以抵掣該容置盒5。此外，在此實施態樣中，第一止擋槽4311係指該滑槽431上鄰近該前開式盒體1之該頂部11之一端，而該滑槽上431對應該第一止擋槽4311之一端更包括第二止擋槽4312，且該第二止擋槽4312更連接一通口4313。如圖所示，該卡榫凸塊421係設置於內筒42之外表面上，而該滑槽431係對應該卡榫凸塊421而設置於該外筒43之內表面上，使得該卡榫凸塊421可活動地於該滑槽431內滑動。
然而，除上述之態樣以外，該彈性件4可為本領域中其他習知可提供向下彈性力以垂直固定該容置件之任何一種彈性件，並無特別的限制。
再者，本發明所提供之該傳送盒1000，更包括一頭頂式升降搬運系統接頭8(Overhead Host Transfer, 以下稱OHT接頭)，設置於該前開式盒體1之上方，請參照第1圖，該OHT接頭8係為一矩形且周邊具有凸出邊緣之一板狀物。在12吋以上的晶圓廠中，主要由晶圓搬運盒來載運晶圓片，但載運晶圓片之晶圓搬運盒具有一定之重量，非工作人員可輕易搬運，故於晶圓搬運上常透過自動化傳輸系統，藉由機械手臂來抓取OHT接頭之凸出邊緣，並將晶圓搬運盒搬運之機台上。而本發明中，設置於該前開式盒體1上方之OHT接頭8有相同的功能，可供對應的機械手臂抓取。此外，於本發明中，該OHT接頭8的大小及形狀並無特別的限制，只需符合機械手臂抓取的形狀即可。而該OHT接頭8設置於該前開式盒體1上方之方法並無特別的限制，可為螺絲鎖固，或是以卡榫方式固定皆可。
另外，本發明所提供之傳送盒1000可更包括至少一感應裝置9，設置於該前開式盒體1之內部空間16中，以即時監控該傳送盒1000中的溫度、濕度、壓力、或震動等等的環境變化，故該感應裝置9可包含至少一選自由一溫度感應元件、一濕度感應元件、一壓力感應元件、一震動感應元件所組成之群組，而該感應裝置於該前開式盒體1之內部空間16的設置位置無特別的限制，可依需求而定。舉例而言，如第7圖所示，可於該承載盤31上設置具有震動感應元件91之感應裝置9(震動感應裝置)，以監控設置於其上的容置盒5的震動程度，以及，可於該前開式盒體1之內部空間16上設置一具有溫度感應元件92之感應裝置9(溫度感應裝置)以監控整體傳送盒內部空間16之溫度。該感應裝置9亦可同時具有多種感應元件，如同時具有溫度感應元件及濕度感應元件之感應裝置，使得該感應裝置可同時監測傳送盒內部之溫度及濕度，可視需求而設置。此外，該些感應裝置9可藉由無線傳輸即時傳送相關數據至雲端與即時監控系統。
再者，請參照第8圖，其係繪示本發明傳送盒1000之底面，該底面係形成有四個充氣孔121，以利通入氮氣，以確保該傳送盒1000內部的清潔。另外，如第8圖所繪示，該前開式盒體1之後側部15與左側部14及右側部13間的連接面為鏤空結構18，係由於該容置盒5的體積過大，故該鏤空結構18可使得一部分之容置盒5凸出於該傳送盒1000。然而，該鏤空結構18可視需求而形成，若所承載之容置盒5面積不大而可放置於該傳送盒1000內，則不需形成該鏤空結構；同時，該鏤空結構可為多個間隔排列，或者為一長形的鏤空結構，並無特別的限制。
接著，係詳細描述使用本發明所提供之傳送盒以傳送容置盒的方法，首先，將該傳送盒內之該彈性件轉換為開啟狀態，此時，將該容置盒放置於該承載底座上，並藉由該承載盤上之凸緣固定該容置盒之位置；接著轉動該彈性件之外筒，調整該外筒與該內筒的相對位置，使得內筒上的卡榫凸塊由該第一止擋槽滑動至該滑槽上，並藉由該外筒下方之該抵掣件，將該彈性件中的彈簧所提供該向下彈性力抵掣對應之該固定卡件，將該彈性件由開啟狀態變換為固定狀態，以垂直固定該容置盒；接著關閉該門體，以封閉該前開式盒體之開口；以及，利用自動化運輸傳送系統，使用機械手臂抓取該前開式盒體上方之OHT接頭以移動該傳送盒。
本發明所提供之傳送盒可承載裝有光罩之容置盒，並配合晶圓廠中既有的自動化運輸傳送系統來傳送容置盒，可避免人工搬運的缺點，並可提高生產良率及有利於的工廠管理。
上述的實施例僅用來例舉本創作的實施態樣，以及闡釋本創作的技術特徵，並非用來限制本創作的保護範疇。任何熟悉此技術者可輕易完成的改變或均等性的安排均屬於本創作所主張的範圍，本創作的權利保護範圍應以申請專利範圍為準。
1000‧‧‧傳送盒
1‧‧‧前開式盒體
11‧‧‧頂部
12‧‧‧底部
121‧‧‧充氣孔
13‧‧‧右側部
14‧‧‧左側部
15‧‧‧後側部
16‧‧‧內部空間
17‧‧‧開口
18‧‧‧縷空結構
2‧‧‧門體
3‧‧‧承載底座
31‧‧‧承載盤
311‧‧‧上表面
312‧‧‧底面
3111‧‧‧凸緣
32‧‧‧承載腳
4‧‧‧彈性件
41‧‧‧彈簧
42‧‧‧內筒
421‧‧‧卡榫凸塊
43‧‧‧外筒
431‧‧‧滑槽
4311‧‧‧第一止擋槽
4312‧‧‧第二止擋槽
4313‧‧‧通口
5‧‧‧容置盒
6‧‧‧固定卡件
7‧‧‧底座
8‧‧‧OHT接頭
9‧‧‧感應裝置
91‧‧‧震動感應元件
92‧‧‧溫度感應元件
第1圖係本發明一實施態樣之傳送盒之立體示意圖。 第2圖係本發明一實施態樣之傳送盒之剖面圖。 第3圖係本發明一實施態樣之傳送盒中承載底座之立體示意圖。 第4圖係本發明一實施態樣之傳送盒中彈性件之立體爆炸示意圖。 第5圖係本發明一實施態樣之傳送盒中彈性件於開啟狀態之示意圖。 第6圖係本發明另一實施態樣之傳送盒中彈性件之立體爆炸示意圖。 第7圖係本發明一實施態樣之傳送盒中設置感應裝置之示意圖。 第8圖係本發明一實施態樣之傳送盒之底面示意圖。

Claims (15)

  1. 一種傳送盒，用於傳送一容置盒，該傳送盒包括： 一前開式盒體，具有一頂部、相對該頂部之一底部、一右側部、一左側部、及一後側部，以形成一內部空間、以及相對該後側部之一開口； 一門體，用以封閉該前開式盒體之該開口； 一承載底座，設置於該內部空間中且於該底部上，用以承載該容置盒；以及 一彈性件，設置於該內部空間中且連接該頂部，並可操作地於一開啟狀態以及一固定狀態之間變換，於開啟狀態時，該彈性件被壓縮，於固定狀態時，該彈性件係被釋放而提供向下彈性力； 其中，當該容置盒係置於該承載底座上且該彈性件於該固定狀態時，該彈性件自該容置盒之上方朝容置盒提供向下彈性力以抵掣該容置盒。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之傳送盒，其中，更包括一固定卡件，係設置於該容置盒上方且與該彈性件相配，當該容置盒係放置於該承載底座上時，該固定卡件可定位該容置盒的位置。
  3. 如申請專利範圍第1項所述之傳送盒，其中，該承載底座係包括一承載盤以及複數個承載腳，該承載盤具有一符合該容置盒輪廓之一凸緣以固定該容置盒，該承載腳係設置於該承載盤之底面並抵掣該前開式盒體之底部。
  4. 如申請專利範圍第1項所述之傳送盒，該彈性件係包括： 一彈簧； 一內筒，設置於該內部空間中且固設於該前開式盒體之頂部 ，並套設至少部分之該彈簧； 一外筒，可活動地套設於該內筒上； 至少一卡榫凸塊及對應該卡榫凸塊之至少一滑槽，分別設置於該內筒之一外表面上或該外筒之一內表面上，該卡榫凸塊可活動地於該滑槽內滑動，該滑槽上遠離該前開式盒體之頂部之一端係包括一第一止擋槽；以及 一抵掣件，設置於該外筒之下方，並對應該容置盒； 其中，當該卡榫凸塊滑動至該第一止擋槽時，該彈性件處於開啟狀態，當該卡榫凸塊滑動至該滑槽時，該彈性件係自該容置盒之上方朝該容置盒提供向下彈性力以抵掣該容置盒。
  5. 如申請專利範圍第4項所述之傳送盒，其中，該滑槽上對應該第一止擋槽之一端更包括一第二止擋槽，且該第二止擋槽係包含一通口，而當該卡榫凸塊滑經該第二止擋槽至該通口時，該內筒與該外筒分離。
  6. 如申請專利範圍第1項所述之傳送盒，該彈性件係包括： 一彈簧； 一內筒，可活動地套設於該彈簧上； 一外筒，設置於該內部空間中且固設於該前開式盒體之頂部 ，並套設至少部分之該內筒； 至少一卡榫凸塊及對應該卡榫凸塊之至少一滑槽，分別設置於該內筒之一外表面上或該外筒之一內表面上，該卡榫凸塊可活動地於該滑槽內滑動，該滑槽上遠離該前開式盒體之頂部之一端係包括一第一止擋槽；以及 一抵掣件，設置於該外筒之下方，並對應該容置盒； 其中，當該卡榫凸塊滑動至該第一止擋槽時，該彈性件處於開啟狀態，當該卡榫凸塊滑動至該滑槽時，該彈性件係自該容置盒之上方朝容置盒提供向下彈性力以抵掣該容置盒。
  7. 如申請專利範圍第6項所述之傳送盒，其中，該滑槽上對應該第一止擋槽之一端更包括一第二止擋槽，且該第二止擋槽係包含一通口，而當該卡榫凸塊滑經該第二止擋槽至該通口時，該內筒與該外筒分離。
  8. 如申請專利範圍第1項所述之傳送盒，更包括一頭頂式升降搬運系統接頭(OHT)，設置於該前開式盒體之上方。
  9. 如申請專利範圍第1項所述之傳送盒，更包括至少一感應裝置，設置於該前開式盒體之該內部空間中。
  10. 如申請專利範圍第9項所述之傳送盒，其中，該感應裝置係包括至少一選自由一溫度感應元件、一濕度感應元件、一壓力感應元件、以及一震動感應元件所組成之群組。
  11. 如申請專利範圍第1項所述之傳送盒，其中，該前開式盒體之底部上具有至少一充氣孔。
  12. 如申請專利範圍第1項所述之傳送盒，該前開式盒體之後側部、左側部、以及右側部中至少一者為鏤空結構。
  13. 一種傳送容置盒的方法，其特徵在於使用如申請專利範圍第1項所述之傳送盒，其步驟包括： 將一容置盒置於一承載底座上； 將一彈性件由一開啟狀態變換為一固定狀態，以固定該容置盒； 關閉一門體，以封閉一前開式盒體之一開口；以及 利用一自動化運輸傳送系統移動該傳送盒。
  14. 如申請專利範圍第13項所述之方法，其中該彈性件包含一內筒、可活動地套設於該內筒之一外筒、及設置於該內筒及外筒中之一彈簧，其中固定該容置盒之步驟係： 調整該外筒與該內筒的相對位置，以將該彈性件由開啟狀態變換為固定狀態。
  15. 如申請專利範圍第13項所述之方法，其中該傳送盒更包括一頭頂式升降搬運系統接頭(OHT)，設置於該前開式盒體之上方，其中，利用一自動化運輸傳送系統移動該傳送盒之步驟係： 利用一機械手臂抓取該頭頂式升降搬運系統接頭以移動該傳送盒。
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