CN201917776U - 光罩盒的定位结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种光罩盒的定位结构，其包括有：一底座及一上盖；其中该底座上设一供安装晶圆片的安装座；该上盖内壁选定位置上设至少一定位元件，该多定位元件设一弹性本体，该弹性本体末端设一弹性的接触尖端，用以接触及压住该安装座上的一晶圆片表面；如此，可通过该多定位元件的接触尖端与该晶圆片表面的点接触，减少与该晶圆片接触的磨耗，避免产生磨耗的粉尘，而不影响该晶圆片的光照蚀刻电路的精准度。

Description

光罩盒的定位结构

技术领域

本实用新型关于一种光罩盒的定位结构，特别是指一种一光罩盒的上盖的晶圆片定位元件，以点接触一晶圆片表面，以减少接触的磨耗，避免产生粉尘的结构。

背景技术

一般现有的光罩盒的定位结构，请参阅第1、2图所示，其包括有：一底座11及一上盖12；其中，该底座11上设有一供安装晶圆片13的安装座111；该上盖12内壁选定位置上设有至少一个定位元件14，该多定位元件14设有一弹性本体141，该弹性本体141末端设有一扁平的弹性接触端142，用以接触及压住该安装座111上的一晶圆片13表面。

使用时，将该晶圆片13置放于该底座11的安装座111上，再将该上盖12盖住该底座11，使该多定位元件14的弹性接触端141接触及压住该安装座111上的晶圆片13上表面，以垂直限位该晶圆片13，避免运送时产生上、下跳动。

然而，该现有的光罩盒的定位结构虽可垂直限位该晶圆片13避免运送时产生上、下跳动，但是其是以扁平的弹性接触端141接触及压住该晶圆片13表面，由于扁平接触端141的接触为线接触，与该晶圆片13的接触面积大，运送时容易增加磨耗，产生粉尘(微粒尘屑)，而影响该晶圆片13的光照蚀刻电路的精准度。

由此可见，上述习用物品仍有诸多缺失，实非一良善的设计者，而亟待加以改良。

发明内容

鉴于上述现有光罩盒的定位结构所衍生的各项缺点，本案创作人乃亟思加以改良创新，并经多年苦心孤诣潜心研究后，终于成功研发完成本实用新型所述的光罩盒的定位结构。

本实用新型的一目的，在于提供一种光罩盒的定位结构，是一光罩盒的上盖的晶圆片定位元件，以点接触一晶圆片表面，而能减少与该晶圆片接触的磨耗。

本实用新型的另一目的，在于提供一种光罩盒的定位结构，是一光罩盒的上盖的晶圆片定位元件，可减少与一晶圆片接触的磨耗，避免产生磨耗的粉尘，而不影响该晶圆片的光照蚀刻电路的精准度。

本实用新型提供了一种光罩盒的定位结构，包括有：一底座及一上盖；其中，该底座上设有一供安装晶圆片的安装座；其特征在于：

该上盖内壁选定位置上设有至少一个定位元件，该多定位元件设有一弹性本体，该弹性本体末端设有一接触尖端，用以接触及压住该安装座上的一晶圆片表面，通过该多定位元件的接触尖端与该晶圆片表面的点接触。

实施时，该多定位元件以一螺丝锁固于该上盖的内壁选定位置上。

实施时，该多定位元件以一体成型固设于该上盖的内壁选定位置上。

实施时，该上盖由一内盖及一外盖所构成，该多定位元件设于该内盖的内壁选定位置上，该内盖连接于该外盖内壁上。

实施时，该多定位元件以一螺丝锁固于该内盖的内壁选定位置上。

实施时，该多定位元件以一体成型固设于该内盖的内壁选定位置上。

实施时，该多定位元件的弹性本体为一圆柱状弹性本体。

实施时，该弹性本体末端设有一具弹性的接触尖端。

实施时，该多定位元件的弹性本体可为一菱形弹性本体。

实施时，该上盖由一内盖及一外盖一体成型所构成，该多定位元件设于该内盖的内壁选定位置上。

可达成上述实用新型目的的光罩盒的定位结构，包括有：一底座及一上盖；其中，该底座上设有一供安装晶圆片的安装座；而该上盖内壁选定位置上设有至少一个定位元件，该多定位元件设有一弹性本体，该弹性本体末端设有一弹性的接触尖端，用以接触及压住该安装座上的一晶圆片表面；使用时，通过该多定位元件的接触尖端与该晶圆片表面的点接触，使能减少与该晶圆片接触的磨耗，避免产生磨耗的粉尘，而不影响该晶圆片的光照蚀刻电路的精准度。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

第1图为习用的立体分解图。

第2图为习用的部分剖面图。

第3图为本实用新型的立体分解图。

第4图为本实用新型的部分剖面图。

第5图为本实用新型另一实施例的部分剖面图。

具体实施方式

请参阅以下有关本实用新型一较佳实施例的详细说明及其附图，将可进一步了解本实用新型的技术内容及其目的功效：

本实用新型所提供的一种光罩盒的定位结构，请参阅图3、图4所示，主要包括有：一底座5及一上盖6。

其中，该底座5上设有一供安装晶圆片的安装座51。

该上盖6内壁选定位置上设有至少一个定位元件61，该多定位元件61设有一弹性本体62，该弹性本体62末端设有一具弹性的接触尖端621，用以接触及压住该安装座51上的一晶圆片7表面。

通过上述构件的组成，请参阅图4所示，通过该多定位元件61的接触尖端621与该晶圆片7表面的点接触，使能减少与该晶圆片7接触的磨耗，避免产生磨耗的粉尘(微粒尘屑)，而不影响该晶圆片7后续的光照蚀刻电路的精准度。

再者，使用时，是将该晶圆片7置放于该底座5的安装座51上，再将该上盖6盖住该底座5，使该多定位元件61的接触尖端621接触及压住该安装座51上的晶圆片7表面，藉以垂直限位该晶圆片7，避免运送时产生上、下跳动。

请参阅第3、4图所示，该多定位元件61是以一螺丝8锁固于该上盖6的内壁选定位置上。

该多定位元件61是以一体成型固设于该上盖6的内壁选定位置上。

请参阅第3、4图所示，该上盖6可由一内盖601及一外盖602所构成，其中，该多定位元件61设于该内盖601的内壁选定位置上，该内盖601可连接于该外盖602内壁上，组成该上盖6。

该多定位元件61是以一螺丝8锁固于该内盖601的内壁选定位置上。

该多定位元件61是以一体成型固设于该内盖601的内壁选定位置上。

另，该上盖6可由一内盖601及一外盖602一体成型所构成，该多定位元件61设于该内盖601的内壁选定位置上。

该多定位元件61是以一螺丝8锁固于该内盖601的内壁选定位置上。

该多定位元件61是以一体成型固设于该内盖601的内壁选定位置上。

请参阅图3、图4所示，该多定位元件61的弹性本体62可为一圆柱状弹性本体62。

该多定位元件61的弹性本体62可为一矩形弹性本体62。

请参阅第5图所示，该多定位元件61的弹性本体62可为一菱形弹性本体62。

该多定位元件61的弹性本体62可为一橡胶材质或一塑胶材质。

本实用新型所提供的光罩盒的定位结构，与前述现有技术相互比较时，更具有下列的优点：

1.为该光罩盒的上盖6的晶圆片定位元件61，以点接触一晶圆片7表面，而能减少与该晶圆片7接触的磨耗。

2.为该光罩盒的上盖6的晶圆片定位元件61，可减少与一晶圆片7接触的磨耗，避免产生磨耗的粉尘，而不影响该晶圆片7的光照蚀刻电路的精准度。

上列详细说明是针对本实用新型的一可行实施例的具体说明，惟该实施例并非用以限制本实用新型的专利范围，凡未脱离本实用新型技艺精神所为的等效实施或变更，例如：等变化的等效性实施例，均应包含于本案的专利范围中。

Claims (10)

1.一种光罩盒的定位结构，包括有：一底座及一上盖；其中，该底座上设有一供安装晶圆片的安装座；其特征在于：

该上盖内壁选定位置上设有至少一个定位元件，该多定位元件设有一弹性本体，该弹性本体末端设有一接触尖端，用以接触及压住该安装座上的一晶圆片表面，通过该多定位元件的接触尖端与该晶圆片表面的点接触。

2.根据权利要求1所述的光罩盒的定位结构，其特征在于，该多定位元件以一螺丝锁固于该上盖的内壁选定位置上。

3.根据权利要求1所述的光罩盒的定位结构，其特征在于，该多定位元件以一体成型固设于该上盖的内壁选定位置上。

4.根据权利要求1所述的光罩盒的定位结构，其特征在于，该上盖由一内盖及一外盖所构成，该多定位元件设于该内盖的内壁选定位置上，该内盖连接于该外盖内壁上。

5.根据权利要求4所述的光罩盒的定位结构，其特征在于，该多定位元件以一螺丝锁固于该内盖的内壁选定位置上。

6.根据权利要求4所述的光罩盒的定位结构，其特征在于，该多定位元件以一体成型固设于该内盖的内壁选定位置上。

7.根据权利要求1所述的光罩盒的定位结构，其特征在于，该多定位元件的弹性本体为一圆柱状弹性本体。

8.根据权利要求1所述的光罩盒的定位结构，其特征在于，该弹性本体末端设有一具弹性的接触尖端。

9.根据权利要求1所述的光罩盒的定位结构，其特征在于，该多定位元件的弹性本体可为一菱形弹性本体。

10.根据权利要求1所述的光罩盒的定位结构，其特征在于，该上盖由一内盖及一外盖一体成型所构成，该多定位元件设于该内盖的内壁选定位置上。

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