KR200469116Y1 - 필터 - Google Patents

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KR200469116Y1
KR200469116Y1 KR2020110009355U KR20110009355U KR200469116Y1 KR 200469116 Y1 KR200469116 Y1 KR 200469116Y1 KR 2020110009355 U KR2020110009355 U KR 2020110009355U KR 20110009355 U KR20110009355 U KR 20110009355U KR 200469116 Y1 KR200469116 Y1 KR 200469116Y1
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주식회사 레인테크
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    • B01D29/01—Filters with filtering elements stationary during filtration, e.g. pressure or suction filters, not covered by groups B01D24/00 - B01D27/00; Filtering elements therefor with flat filtering elements
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Abstract

본 고안은 외부 배관과 연결되는 유체 배출 포트에 설치되어 이물질을 여과하는 필터에 관한 것으로서, 환형의 몸체와; 상기 몸체의 내부를 가로지르며 형성되는 매쉬; 및 상기 몸체에 형성되어, 상기 몸체를 상기 유체 배출 포트에 분리 가능하도록 고정하는 고정수단;을 포함하여, 필터의 설치 또는 교체를 위해 배관을 분리할 필요가 없어 설치 및 교체가 용이하여, 작업시간이 단축되어 생산성을 향상시킬 수 있다.

Description

필터{Filter}
본 고안은 필터에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 외부 배관과 연결되는 포트에 설치되어 이물질을 여과하는 필터에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자는 기판 상에 여러 가지 물질을 박막 형태로 증착하고 이를 패터닝하여 제조된다. 이를 위하여 증착 공정, 식각 공정, 세정 공정 및 건조 공정 등 여러 단계의 서로 다른 공정이 요구된다. 각각의 공정에서 기판은 해당 공정의 진행에 최적의 조건을 제공하는 공정 챔버에 장착되어 처리된다.
근래에는 반도체 소자의 고집적화에 따라 공정의 고정밀도와, 복잡화, 웨이퍼의 대구경화 등이 요구되고 있다. 또한 복합 공정의 증가나 매엽식화에 수반되는 쓰루풋(thoroughput)의 향상이라는 관점에서 반도체 소자 제조 공정을 일괄 처리할 수 있는 클러스터 타입(cluster type)의 반도체 제조 장치가 사용되고 있다.
클러스터 타입의 반도체 제조 장치는 실질적인 공정이 이루어지는 복수의 공정 챔버(process chamber)들과, 공정 챔버들 내부로 기판을 이송하거나 공정 챔버들 간에 기판을 이송하기 위한 이송 공간이 형성되어 있는 트랜스퍼 챔버(transfer chamber) 등을 구비한다. 또한, 반도체 제조 장치에는 기판 등의 자재가 수납되는 캐리어가 장착되는 로드 포트가 구비되며, 로드 포트와 트랜스퍼 챔버 사이에는 대기압 상태의 로드 포트와 진공 상태의 트랜스퍼 챔버 간의 기압 차를 조절하기 위한 에어락 챔버가 구비된다.
에어락 챔버는 예컨대 기판을 공정 챔버 내부로 인입시키기 위해서는 대기압 상태로 되었다가, 기판이 에어락 챔버 내에 인입되면 내부 공기를 배출시켜 고압의 진공 상태를 형성한다. 이와 같이 에어락 챔버는 대기압과 진공을 반복하여 형성함으로써 대기압 상태와 진공 상태를 번갈아가며 형성하여 기판이 이동되는 장소, 즉 공정 챔버의 환경과 일치시킨다.
도 1은 종래기술에 따른 에어락 챔버의 구조를 보여주는 도면이고, 도 2는 도 1에 도시된 에어락 챔버의 진공 포트에 설치되는 필터의 구조를 보여주는 도면이다.
도 1을 참조하면, 에어락 챔버(10)에는 내부의 기압을 조절하기 위한 진공 포트(12)가 형성되어 있고, 진공 포트(12)는 에어락 챔버(10)의 외부에서 진공 펌프(미도시)와 연결되는 배관(30)에 접속된다. 이때, 진공 포트(12)와 배관(30) 사이에는 에어락 챔버(10) 내의 공기를 배기할 때 공기 중에 포함된 이물질을 여과하기 위한 필터(20)가 설치된다.
필터(20)는 도 2에 도시된 바와 같이 스테인레스 스틸로 형성된 환형의 몸체(22)와, 몸체(22) 내부에 개재되는 매쉬(24) 그리고, 몸체(22) 가장자리에 결합되며 고무 등과 같은 합성 수지로 형성된 오링(26)을 포함한다. 이와 같은 필터(20)는 공정 챔버나 트랜스퍼 챔버 등에서 에어락 챔버로 유입된 공정 가스나 공정 부산물 등에 의해 몸체(22), 매쉬(24) 및 오링(26)이 부식되고, 에어락 챔버(10)에 진공을 형성하기 위해 인가되는 고압에 의해 매쉬(24)가 파열되기 쉬워 일정 기간마다 교체해야 한다.
그러나 종래의 필터(20)에는 별도의 고정수단이 형성되어 있지 않기 때문에, 필터(20)는 도 1에 도시된 바와 같이 별도의 고정수단(40, 42)를 이용하여 진공 포트(12)와 배관(30) 사이에 설치된다. 즉, 필터(20)의 설치는 에어락 챔버(10) 저면에서 필터(20)와 배관(30)을 배치시키고, 배관(30)의 플랜지를 클램프(42)로 지지시킨 후 볼트(40)를 클램프(42)에 관통시켜 에어락 챔버(10) 저면에 형성된 체결홈(14)에 고정함으로써 수행되고 있다.
따라서 종래에는 필터를 교체하기 위해서는 필터의 설치와는 반대 과정을 거쳐야하기 때문에 진공 포트에 연결된 배관을 분리해야 한다. 따라서 필터를 교체하는 과정은 매우 복잡하고, 그에 따라 교체에 많은 시간이 소요된다. 또한, 이와 같은 작업이 반복되면 진공 포트와 배관의 연결부위가 손상되어 에어락 챔버 내에 진공을 제대로 형성하기 어렵고, 이에 따라 에어락 챔버나 배관 등을 수리 또는 교체해야 하는 문제점이 있다.
KR 2000-0026468 A
본 고안은 설치 및 교체가 용이한 필터를 제공한다.
본 고안은 내구성이 우수한 필터를 제공한다.
본 고안은 반도체소자 제조장치의 유지보수를 용이하게 하는 필터를 제공한다.
본 고안의 실시 형태에 따른 필터는, 유체 배출 포트에 설치되는 필터로서, 환형의 몸체와; 상기 몸체의 내부를 가로지르며 형성되는 매쉬; 및 상기 몸체에 형성되어, 상기 몸체를 상기 유체 배출 포트에 분리 가능하도록 고정하는 고정수단;을 포함한다.
상기 몸체에는 외주면 측으로 개방된 복수 개의 홈이 형성되어 있고, 상기 고정수단은 상기 복수 개의 홈에 일부가 노출되어 회전 가능하도록 삽입되는 볼일 수도 있다. 이때, 상기 홈의 저면과 상기 볼 사이에 탄성체가 삽입될 수도 있다.
또한, 상기 고정수단은 나사산이고, 상기 유체 배출 포트의 내벽에는 나사산이 형성되어, 상기 몸체가 상기 유체 배출 포트에 나사결합하여 고정될 수도 있다.
그리고 상기 고정수단은 상기 몸체의 외주면에 돌출되어 형성되는 복수 개의 돌기이고, 상기 유체 배출 포트에는 상기 돌기가 삽입되는 복수 개의 삽입홈이 형성되고, 상기 삽입홈의 저면에는 수평방향으로 연장된 슬릿이 형성되어, 상기 몸체가 상기 유체 배출 포트에 삽입되어 회전하면, 상기 돌기가 상기 삽입홈의 저면에서 상기 슬릿 내부로 이동하여 고정될 수도 있다.
상기 몸체는 알루미늄 또는 스테인레스 스틸로 형성될 수도 있다.
또한, 상기 매쉬는 상기 몸체에 융착되어 고정될 수도 있고, 상기 매쉬는 스테인레스 스틸로 형성될 수도 있다.
본 고안에 따른 필터는 필터를 형성하는 몸체에 고정수단이 형성되어 있어 에어락 챔버의 도어를 개방한 후 진공 포트에 직접 설치할 수 있다. 따라서 필터의 설치 또는 교체를 위해 배관을 분리할 필요가 없어 설치 및 교체가 용이하여, 작업시간이 단축되어 생산성을 향상시킬 수 있다. 또한, 본 고안에 따른 필터는 기존의 장비에 그대로 적용할 수도 있어, 필터의 구조 변경에 따른 추가적인 비용이 요구되지 않는다.
그리고 필터가 내화학성을 갖는 금속재질로 형성되어 있어 내구성이 우수하여 필터의 손상에 따른 진공 펌프의 손상을 방지할 수 있고, 필터의 교체 주기를 증가시켜 필터 교체에 따라 소요되는 유지비용을 절감할 수도 있다.
도 1은 종래기술에 따른 에어락 챔버의 구조를 보여주는 도면.
도 2는 도 1에 도시된 에어락 챔버의 진공 포트에 설치되는 필터의 구조를 보여주는 도면.
도 3은 본 고안의 실시 형태에 따른 필터의 구조를 보여주는 도면.
도 4는 본 고안의 실시 형태에 따른 필터의 사용 상태를 보여주는 도면.
도 5는 본 고안의 변형 예에 따른 필터의 사용 상태를 보여주는 도면.
도 6은 본 고안의 다른 변형 예에 따른 필터의 사용 상태를 보여주는 도면.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 고안의 실시 예를 상세히 설명하기로 한다. 그러나 본 고안은 이하에서 개시되는 실시 예에 한정되는 것이 아니라, 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 실시 예들은 본 고안의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 고안의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여, 본 고안의 바람직한 실시 예에 따른 필터를 더욱 상세히 설명한다.
본 고안에 따른 필터는 기체나 액체 등의 유체가 배출되는 다양한 유체 배출 포트에 설치될 수 있다. 본 실시 예에서는 반도체소자 제조장치 중 에어락 챔버의 진공 포트에 설치되는 필터에 대해 설명한다.
도 3은 본 고안의 실시 형태에 따른 필터의 구조를 보여주는 도면이다.
도 3을 참조하면, 필터(200)는 환형(環形)의 몸체(210)와, 몸체(210)의 내부를 가로지르며 형성되는 매쉬(220) 및 몸체(210)에 형성되어 몸체(210)를 에어락 챔버의 진공 포트에 분리 가능하도록 연결하는 고정수단(230)을 포함한다.
몸체(210)는 알루미늄, 스테인레스 스틸 등과 같은 금속 물질로 형성될 수 있다. 또한, 몸체(210)는 공정 가스나 공정 부산물 등에 의해 부식되는 것을 방지하기 위하여 양극 산화 처리할 수도 있다.
몸체(210)에는 외주면 측으로 개방된 복수 개의 홈(212)이 형성된다. 복수 개의 홈(212)은 몸체(210)의 중심점을 기준으로 일정한 각도, 예컨대 90°마다 형성될 수도 있다. 여기에서는 몸체(210)에 4개의 홈(212)이 형성된 것으로 설명하고 있으나, 홈(212)의 개수는 이에 한정되지 않고 더 많거나 더 적은 개수로 형성될 수도 있다. 또한, 홈(212)은 후술하는 고정수단(230)이 삽입될 수 있도록 내부가 거의 구형(求刑)을 이루며 형성될 수 있으며, 고정수단(230)이 홈(212) 내에서 회전 및 유동할 수 있도록 고정수단(230)보다 크게 형성되는 것이 좋다.
매쉬(220)는 스테인레스 스틸로 형성되며, 융착 등의 부착방법을 통해 몸체(210)의 내주면에 고정된다. 이와 같이 매쉬(220)를 몸체(210)에 융착시키면 매쉬(220)는 몸체(210)와 일체화되어, 에어락 챔버 내에 진공을 형성하기 위하여 고압이 인가되더라도 쉽게 파손되지 않는다.
고정수단(230)은 금속재질, 예컨대 스테인레스 스틸로 형성된 볼일 수 있으며, 몸체(210)에 형성된 복수 개의 홈(212)에 각각 삽입된다. 고정수단(230)은 일부가 몸체(210)의 외주면 측으로 돌출되도록 홈(212) 내부에 삽입된다. 홈(212) 내부에 삽입된 고정수단(230)은 홈(212) 내에서 자유롭게 회전할 수 있다. 즉, 본 고안의 실시 형태에 따른 필터(200)는 에어락 챔버 내부에서 진공 포트에 설치되는데, 진공 포트 내에 필터(200)를 삽입하는 과정에서 진공 포트의 내벽에 부딪히면서 고정수단(230)이 회전한다. 이에 필터(200)가 진공 포트 내벽과 마찰을 크게 일으키지 않으면서 진공 포트 내에 삽입될 수 있다.
또한, 고정수단(230)을 홈(212)에 삽입하기 이전에 홈(212)에 내부에 스프링 등의 탄성체(232)가 삽입될 수도 있다. 이와 같이 홈(212) 저면과 고정수단(230) 사이에 탄성체(232)가 개재되면, 고정수단(230)에 가해지는 압력에 따라 탄성체(232)가 신축하면서 고정수단(230)이 홈(212) 내부에서 유동할 수 있게 된다. 즉, 평상시에는 도 3의 (d)에 도시된 바와 같이 탄성체(232)가 신장하여 고정수단(230)을 몸체(210) 외측으로 밀어내고 있다. 이후, 도 3의 (c)에 도시된 바와 같이 고정수단(230)에 가해진 외력이 탄성체(232)에 전달되면 탄성체(232)는 수축하여 고정수단(230)은 홈(212) 내부측으로 이동한다. 또한, 고정수단(230)에 가해진 외력이 해제되면, 도 3의 (d)에 도시된 바와 같이 탄성체(232)는 다시 신장하여 고정수단(230)을 몸체(210) 외측으로 밀어내게 된다. 이와 같은 고정수단(230)의 움직임은 후술하는 필터(200)의 사용 상태를 통해 보다 명확하게 설명될 수 있다.
도 4는 본 고안의 실시 형태에 따른 필터의 사용 상태를 보여주는 도면이다.
도 4의 (a)를 참조하면, 에어락 챔버(100)에는 내부의 공기를 배출하기 위한 진공 포트(110)가 형성되어 있고, 진공 포트(110)는 에어락 챔버(100) 외부에서 진공 펌프(미도시)와의 연결을 위한 배관(300)과 연결되어 있다. 진공 포트(110)의 하부측은 배관(300)과 연결을 위해 배관(300)의 직경과 거의 같은 직경을 갖도록 형성되고, 상부측은 에어락 챔버(100) 내의 공기를 원활하게 배출시키기 위하여 하부측보다 큰 직경을 갖도록 형성되어, 진공 포트(110) 내부에는 단턱(112)이 형성된다. 본 고안의 실시 형태에 따른 필터(200)는 진공 포트(110) 내에 삽입되어 단턱(112) 상에 안착된다.
도 4의 (a)에 도시된 바와 같이, 필터(200)의 고정수단(230)은 진공 포트(110)에 삽입되기 이전에 탄성체(232)의 신장에 의해 몸체(210)의 외측으로 이동하여 있다. 이에 몸체(210) 중심점에서 고정수단(230)의 외곽까지의 길이는 진공 포트(110)의 반경보다 약간 길게 형성된다.
이후, 필터(200)를 진공 포트(110) 내에 삽입하면 고정수단(230)은 진공 포트(110)의 내벽에 의해 가압되고, 이에 탄성체(232)가 수축하면서 고정수단(230)은 몸체(210) 내측으로 이동하게 된다. 그리고 도 4의 (b)에 도시된 바와 같이 필터(200)가 진공 포트(110) 내에 완전히 삽입된 이후에는 몸체(210) 중심점에서 고정수단(230)의 외곽까지의 길이와 진공 포트(110)의 반경이 동일해지면서 진공 포트(110) 내에 고정되게 된다. 이때, 고정수단(230)은 홈(212) 내부에 삽입된 탄성체(232)에 의해 가압되어 진공 포트(110)의 내벽을 지지함으로써 필터(200)가 진공 포트(110) 내에서 이탈하는 것을 방지한다.
이와 같은 구성을 통해 필터는 진공 포트 내에 삽입하는 간단한 방법만으로도 설치 및 교체가 가능하여 필터를 설치 또는 교체하는데 소요되는 시간을 감소시킬 수 있다. 또한 주기적인 필터 교체에 따른 장비의 손상도 방지할 수 있다.
한편, 상기 설명에서는 고정수단이 구형의 볼인 것으로 설명하고 있으나, 고정수단은 몸체에 다양한 형상으로 형성될 수도 있다.
도 5는 본 고안의 변형 예에 따른 필터의 사용 상태를 보여주는 도면이다.
예컨대 도 5의 (a)에 도시된 것처럼, 고정수단은 몸체의 외주면을 따라 형성되는 나사산(252)일 수도 있다. 이와 같이 고정수단으로 나사산(252)을 이용하는 경우에는 몸체(250)가 진공 포트(110)에 나사결합 할 수 있도록 진공 포트(110)의 내벽에도 나사산(114)을 형성해야 한다. 이와 같은 경우, 필터는 도 5의 (b)에 도시된 바와 같이 회전을 통해 진공 포트(110)에 삽입되므로, 필터의 회전을 용이하게 하기 위해 몸체(250) 상부면에 공구홈(254)을 형성하는 것이 좋다.
도 6은 본 고안의 다른 변형 예에 따른 필터의 사용 상태를 보여주는 도면이다.
도 6의 (a)를 참조하면, 고정수단은 몸체(260)의 외주면에 돌출되어 형성되는 돌기(262)일 수도 있다. 돌기(262)는 몸체(260)의 외주면에 일정한 간격을 가지며 형성될 수 있으며, 필터가 진공 포트 내에 안정적으로 고정될 수 있도록 적어도 2개 이상 형성되는 것이 좋다. 또한, 돌기(262)는 몸체(260)와 일체로 형성될 수도 있으며, 융착 등의 부착방법으로 통해 부착된 것일 수도 있다.
이와 같이 고정수단을 돌기(262)를 이용하는 경우, 진공 포트에는 돌기(262)가 삽입될 수 있는 삽입홈(115)이 형성될 수 있다. 이때, 삽입홈(115)의 저면에는 삽입홈(115)과 수평방향으로 연장된 슬릿(116)이 형성될 수 있다.
도 6의 (b)에 도시된 바와 같이, 필터를 진공 포트 내에 삽입한 후, 필터를 일 방향으로 회전시키면 몸체(260) 외주면에 형성된 돌기(262)가 슬릿(116) 내로 삽입되어 고정됨으로써, 필터가 진공 포트 내에 고정되게 된다. 이때, 필터의 회전을 용이하게 하기 위해 몸체(260)의 상부면에 공구홈(264)이 형성될 수도 있다.
이와 같이, 본 고안의 상세한 설명에서는 구체적인 실시 예에 관해 설명하였으나, 본 고안의 범주에서 벗어나지 않는 한도 내에서 여러 가지 변형이 가능함은 물론이다. 그러므로, 본 고안의 범위는 설명된 실시 예에 국한되어 정해져서는 안되며, 후술하는 실용신안등록청구범위뿐만 아니라 이 청구범위와 균등한 것들에 의해 정해져야 한다.
10, 100 : 에어락 챔버 12, 110 : 진공 포트
14 : 체결홈 20, 200 : 필터
22, 210, 250 : 몸체 24, 220 : 매쉬
26 : 오링 30, 300 : 배관
40 : 볼트 112 : 단턱
114, 252 : 나사산 212 : 홈
230 : 고정수단 232 : 탄성체
254 : 공구홈

Claims (8)

  1. 유체 배출 포트에 설치되는 필터로서,
    환형의 몸체와;
    상기 몸체의 내부를 가로지르며 형성되는 매쉬; 및
    상기 몸체에 형성되어, 상기 몸체를 상기 유체 배출 포트에 분리 가능하도록 고정하는 고정수단;
    을 포함하고
    상기 몸체에는 외주면 측으로 개방된 복수 개의 홈이 형성되어 있고,
    상기 고정수단은 상기 복수 개의 홈에 일부가 노출되어 회전 가능하도록 삽입되는 볼인 필터.
  2. 삭제
  3. 청구항 1에 있어서,
    상기 홈의 저면과 상기 볼 사이에 탄성체가 삽입된 필터.
  4. 삭제
  5. 유체 배출 포트에 설치되는 필터로서,
    환형의 몸체와;
    상기 몸체의 내부를 가로지르며 형성되는 매쉬; 및
    상기 몸체에 형성되어, 상기 몸체를 상기 유체 배출 포트에 분리 가능하도록 고정하는 고정수단;
    을 포함하고,
    상기 고정수단은 상기 몸체의 외주면에 돌출되어 형성되는 복수 개의 돌기이고,
    상기 유체 배출 포트에는 상기 돌기가 삽입되는 복수 개의 삽입홈이 형성되고, 상기 삽입홈의 저면에는 수평방향으로 연장된 슬릿이 형성되어,
    상기 몸체가 상기 유체 배출 포트에 삽입되어 회전하면, 상기 돌기가 상기 삽입홈의 저면에서 상기 슬릿 내부로 이동하여 고정되는 필터.
  6. 청구항 1, 3 및 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 몸체는 알루미늄 또는 스테인레스 스틸로 형성된 필터.
  7. 청구항 1, 3 및 청구항 5 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 매쉬는 상기 몸체에 융착되어 고정된 필터.
  8. 청구항 7에 있어서,
    상기 매쉬는 스테인레스 스틸로 형성된 필터.
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Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100231753B1 (ko) 1993-04-19 1999-11-15 존 씨. 메티유 유체 유동 필터 및 그의 제조 방법
KR20020072465A (ko) * 2001-03-10 2002-09-16 엘지전자주식회사 싸이클론 집진장치의 집진필터 장탈착 구조
KR20060088076A (ko) * 2005-01-31 2006-08-03 가부시키가이샤 사가미하라쇼우카이 집진장치용 백 필터 및 집진장치용 백 필터의 장착방법
JP3141329U (ja) * 2008-02-15 2008-05-01 株式会社山本 浴槽湯口装置のフィルタカバー

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100231753B1 (ko) 1993-04-19 1999-11-15 존 씨. 메티유 유체 유동 필터 및 그의 제조 방법
KR20020072465A (ko) * 2001-03-10 2002-09-16 엘지전자주식회사 싸이클론 집진장치의 집진필터 장탈착 구조
KR20060088076A (ko) * 2005-01-31 2006-08-03 가부시키가이샤 사가미하라쇼우카이 집진장치용 백 필터 및 집진장치용 백 필터의 장착방법
JP3141329U (ja) * 2008-02-15 2008-05-01 株式会社山本 浴槽湯口装置のフィルタカバー

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