JP5756956B2 - 真空吸着装置 - Google Patents
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前記負圧流体の供給されるポートを有したボディと、
多孔質体からなり、前記ボディの下部に設けられ前記ワークを吸着する吸着面を有したパッドと、
前記パッドと前記ボディとの間に設けられ、該ボディに対して前記パッドを変位自在に保持する保持体と、
を備え、
前記保持体は、前記パッドに対して剛性が低く形成されると共に、前記パッドは、略一定厚さでプレート状に形成された本体部と、該本体部の周縁部において薄く形成されたリップ部とを有し、前記リップ部と前記ボディとの間に前記保持体が設けられることを特徴とする。
12、122…ボディ 14、52、126…パッド
16、102…シール部材 22…供給ポート
24…空間部 26…保持プレート
28…凹部 32…連通孔
38…本体部 40、54、72…リップ部
62…リブ 74、84…アーム部
76…ボルト 82…カバーシート
86…弾発部材 92…爪部
104…挿入孔 106…フックピン
108…係止プレート 110…環状溝
112…係合孔 124…アダプタ
128…窪み部 130…シート部
132、134…スカート部
Claims (5)
- 負圧流体の吸引作用下にワークを吸着する真空吸着装置において、
前記負圧流体の供給されるポートを有したボディと、
多孔質体からなり、前記ボディの下部に設けられ前記ワークを吸着する吸着面を有したパッドと、
前記パッドと前記ボディとの間に設けられ、該ボディに対して前記パッドを変位自在に保持する保持体と、
を備え、
前記保持体は、前記パッドに対して剛性が低く形成されると共に、前記パッドは、略一定厚さでプレート状に形成された本体部と、該本体部の周縁部において薄く形成されたリップ部とを有し、前記リップ部と前記ボディとの間に前記保持体が設けられることを特徴とする真空吸着装置。 - 請求項1記載の真空吸着装置において、
前記保持体は、前記ボディの内部の気密を保持するシール部材であることを特徴とする真空吸着装置。 - 請求項2記載の真空吸着装置において、
前記シール部材は、複数の気泡を内部に有し、該気泡がそれぞれ独立した単独気泡式のゴムスポンジから形成されることを特徴とする真空吸着装置。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載の真空吸着装置において、
前記ボディに設けられ、前記負圧流体の流通する連通孔を有し、且つ、前記ワークの吸着時において前記パッドを略平面状に保持可能な保持プレートを備えることを特徴とする真空吸着装置。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載の真空吸着装置において、
前記リップ部は、その内部で空孔が潰され前記負圧流体の通過を遮断すると共に、前記本体部に対して剛性が高く形成されることを特徴とする真空吸着装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010259906A JP5756956B2 (ja) | 2010-11-22 | 2010-11-22 | 真空吸着装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010259906A JP5756956B2 (ja) | 2010-11-22 | 2010-11-22 | 真空吸着装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012110982A JP2012110982A (ja) | 2012-06-14 |
JP5756956B2 true JP5756956B2 (ja) | 2015-07-29 |
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ID=46495752
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010259906A Active JP5756956B2 (ja) | 2010-11-22 | 2010-11-22 | 真空吸着装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5756956B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP4252977A1 (en) | 2022-03-28 | 2023-10-04 | SMC Corporation | Suction board |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017123400A (ja) * | 2016-01-07 | 2017-07-13 | 株式会社ディスコ | チャックテーブル |
JP6901095B2 (ja) * | 2017-05-03 | 2021-07-14 | マックスプランク−ゲセルシャフト・ツール・フェーデルング・デル・ヴィッセンシャフテン・エー・ファウ | 把持器具および把持器具を製造する方法 |
JP6944830B2 (ja) * | 2017-07-21 | 2021-10-06 | 東京エレクトロン株式会社 | ワーク保持機構及びワーク処理システム |
TWI638759B (zh) * | 2018-04-17 | 2018-10-21 | 威光自動化科技股份有限公司 | 異形薄片物件的負壓吸附器 |
WO2022024186A1 (ja) * | 2020-07-27 | 2022-02-03 | 日本電気硝子株式会社 | 吸着パッド |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0620766Y2 (ja) * | 1989-06-16 | 1994-06-01 | 忠 庄司 | 吸着具 |
JP2004055833A (ja) * | 2002-07-19 | 2004-02-19 | Fujitsu Ltd | 薄板状部材の吸着装置 |
JP4254749B2 (ja) * | 2005-05-31 | 2009-04-15 | 株式会社Inax | 被運搬体吸着保持用当接体及び吸着保持装置 |
JP5017983B2 (ja) * | 2006-09-21 | 2012-09-05 | 日本電気硝子株式会社 | 板状物の吸着パッド |
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2010
- 2010-11-22 JP JP2010259906A patent/JP5756956B2/ja active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP4252977A1 (en) | 2022-03-28 | 2023-10-04 | SMC Corporation | Suction board |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012110982A (ja) | 2012-06-14 |
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