TWM449886U - 充氣逆止閥及具有充氣逆止閥的精密元件收納裝置 - Google Patents

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Description

充氣逆止閥及具有充氣逆止閥的精密元件收納裝置
本創作係關於一種充氣逆止閥以及具有充氣逆止閥的精密元件收納裝置。
現今的半導體精密元件的製程多區分為數個處理腔體，利用精密元件收納裝置在各處理腔體之間搬移精密元件。
為了使精密元件的保存與運輸過程中保持無汙染的清潔狀態，並為了隔絕精密元件與大氣的接觸，在精密元件收納裝置中充入氣體便是目前解決的手段之一。
因此目前市面上的精密元件收納裝置會設有一個逆止閥，使得充入精密元件收納裝置的氣體不會外洩。逆止閥的原理是利用彈簧與閥門，也就是利用彈簧的彈力抵住閥門。當充入氣體時，進氣的力量會大於彈簧的彈力，因此能推動閥門，而達成充氣的目的，使得精密元件收納裝置內充滿氣體，例如氮氣。
一般而言，充氣裝置在提供氣體到精密元件收納裝置時，進氣的推力並不會太大，僅需大於逆止閥彈簧的彈力 即可。但是逆止閥彈簧的彈力也不可過大，否則進氣的推力若無法使閥門完全打開，會導致精密元件收納裝置內的氣體不足，就未能達到清潔精密元件的功效。
然而，若將逆止閥彈簧的彈力降低，利用精密元件收納裝置在各處理腔體之間搬移的過程中，任何的晃動或震動都會很容易導致逆止閥的彈簧被震開，也就是非正常的開啟閥門，進而造成精密元件收納裝置的漏氣。
有鑑於此，有必要提供一種氣密性較佳的充氣逆止閥及具有充氣逆止閥的精密元件收納裝置。
本創作之目的是提供一種氣密性較佳的充氣逆止閥及具有充氣逆止閥的精密元件收納裝置。
本創作的精密元件收納裝置包括：一收納本體、一門體及至少一充氣逆止閥。收納本體具有一開口。門體對應於該開口，以密封精密元件收納裝置的開口。在收納本體或門體上設有一貫穿孔，該充氣逆止閥係嵌合於該貫穿孔，以控制氣體的進出。
本創作的充氣逆止閥包括：一上蓋部及一下蓋部。上蓋部包括一上蓋固定部、一第一彈性元件、一上閥門及一蓋 體。第一彈性元件位於上閥門與蓋體之間，並藉由第一彈性元件提供彈力作用在上閥門。下蓋部包括一下蓋固定部、一第二彈性元件、一移動控制部及一下閥門。移動控制部位於第二彈性元件與下閥門之間，且第二彈性元件提供彈力作用在移動控制部，並透過該移動控制部使該第二彈性元件的彈力作用在該下閥門。移動控制部具有一突出部。
上蓋固定部與下蓋固定部相對應結合，蓋體嵌合於上蓋固定部上，以使第一彈性元件、上閥門、第二彈性元件、移動控制部及下閥門位於上蓋固定部與下蓋固定部之內。該移動控制部的突出部突出於下蓋固定部之外，當移動控制部的突出部被外力移動時，下閥門所受來自第二彈性元件的彈力即被移除。
上閥門向下延伸一第一柱體，且下閥門向上延伸一第二柱體，該第一柱體與第二柱體彼此相對應結合，形成一閥門，以控制氣體的進出。
在一實施例中，上閥門與下閥門為一體成型。
第二彈性元件是一彈簧，且移動控制部更包括一溝槽，該溝槽係對應於彈簧，以使彈簧的一部分嵌入溝槽。
此外，第二彈性元件也可以是一彈片。該彈片與移動 控制部結合為一體。
為能讓 貴審查委員能更瞭解本創作之技術內容，特舉數個較佳具體實施例說明如下。應可了解的是以下所提的上、下、左、右等方向僅是用以說明相對位置，並非用以限制本創作。另外，圖示的元件數量也只是用以舉例說明，並非用以限制本創作。
請先參考圖1及圖2，本創作提供的精密元件收納裝置，其包括：一收納本體1、一門體3及至少一充氣逆止閥2。收納本體1具有一開口12。門體3對應於該開口12，門體3可密封精密元件收納裝置的開口12。如圖1所示，收納本體1上設有貫穿孔11，充氣逆止閥2係嵌合於貫穿孔11，以控制氣體的進出(以下將有進一步說明)。應可了解的是，嵌設有充氣逆止閥2的貫穿孔11亦可被設在門體3(圖未示)。貫穿孔11設置的位置及數量是對應於承載介面(load port)的充氣裝置50(顯示在圖5)。
請同時參考圖3與圖4，本創作的充氣逆止閥2包括：一上蓋部20a及一下蓋部20b。上蓋部20a包括一上蓋固定部24、一第一彈性元件22、一上閥門23及一蓋體21。第一彈性元件22位於上閥門23與蓋體21之間，並藉由第一 彈性元件22提供彈力作用在上閥門23。在本實施例中，第一彈性元件22是一彈簧，該彈簧22的一部份被嵌入上閥門23的固定槽231。藉此固定彈簧22。
蓋體21包括主蓋體211、濾網212及隔網213。由於濾網212及隔網213都與傳統的濾網及隔網相同，因此未在此多贅述。為了增加氣密性，還可在上閥門23與上蓋固定部24之間設有一墊圈29。藉由主蓋體211扣合蓋住上蓋固定部24，可將濾網212、隔網213、第一彈性元件22、上閥門23、墊圈29等組件固定在主蓋體211與上蓋固定部24之間。
下蓋部20b包括一下蓋固定部25、一第二彈性元件28、一移動控制部27及一下閥門26。移動控制部位於第二彈性元件與下閥門之間，且第二彈性元件28提供彈力作用在移動控制部27，並透過移動控制部27使第二彈性元件28的彈力同時作用在下閥門26。較佳者，第二彈性元件28是一彈簧，且該移動控制部27更包括一溝槽272，該溝槽272對應於彈簧28，以使彈簧28的一部分嵌入該溝槽272。藉此固定彈簧28。此外，在不同實施例中，第二彈性元件28也可以是一彈片。彈片與移動控制部27結合為一體(圖未顯示)，例如可設計為在移動控制部27上側的周圍向上翹起數個塑膠片體(圖未顯示)。
較佳者，上閥門23向下延伸一第一柱體230，且下閥門26向上延伸一第二柱體260。第一柱體230套入第二柱體260內使彼此相對應結合，形成一閥門，以控制氣體的進出(以下將有詳細說明)。雖然上閥門23與下閥門26在本圖示為兩個分開的組件，然實際上，若能克服模具射出成型，上閥門23與下閥門26亦可為一體成型的單一組件(one piece)。
上蓋固定部24與下蓋固定部25相對應結合，蓋體21嵌合於上蓋固定部24上，藉此第一彈性元件22、上閥門23、第二彈性元件28、移動控制部27及下閥門26被固定在上蓋固定部24與下蓋固定部25之內。
請同時參考圖5，以下將說明利用本創作的充氣逆止閥2控制氣體的進出。當充氣裝置50尚未接觸本創作的充氣逆止閥2時，藉由第一彈性元件22與第二彈性元件28提供的彈力(方為向下的彈力)，上閥門23與下閥門26形成的閥門是向下分別緊靠在上蓋固定部24的底緣及下蓋固定部25的底緣，而且由於上閥門23未設有通氣孔，因此精密元件收納裝置(圖1所示)內的氣體不會(向下)外漏。此時受第二彈性元件28提供的彈力，移動控制部27的突出部271向下延伸並穿透過下蓋固定部25的穿孔251而突出於下蓋固定部25之外。
請參考圖6，欲對精密元件收納裝置內部充氣時，充氣裝置50沿著件號方向移動，移動控制部27的突出部271受充氣裝置50的推力而移動時，下閥門26所受來自第二彈性元件28的彈力即被移除。
此時，請參考圖7，充氣裝置50進行充氣時，其進氣的力量只需克服第一彈性元件22的彈力，即可使氣體流向(如箭號所示)為經由下蓋固定部25的進氣口250，透過下閥門26的進氣口261、移動控制部27的進氣口270、上蓋固定部24的進氣口240、及蓋體21而到達精密元件收納裝置的內部(關於進氣口請參考圖4的標號)。
由於本創作的移動控制部與第二彈性元件的作用，使得原本僅受第一彈性元件的彈力控制的閥門增加了第二彈性元件的彈力壓迫，因此在精密元件收納裝置的搬運過程中，不易因搖晃而導致漏氣。而且，利用移動控制部控制第二彈性元件，充氣裝置的進氣力量也不用太大，因此不會有充氣不足的問題。
綜上所陳，本創作無論就目的、手段及功效，在在均顯示其迥異於習知技術之特徵，懇請 貴審查委員明察，早日賜准專利，俾嘉惠社會，實感德便。惟應注意的是，上述諸多實施例僅係為了便於說明而舉例而已，本創作所主張之權利範圍自應以申請專利範圍所述為準，而非僅限 於上述實施例。
1‧‧‧收納本體
3‧‧‧門體
2‧‧‧充氣逆止閥
12‧‧‧開口
11‧‧‧貫穿孔
20a‧‧‧上蓋部
20b‧‧‧下蓋部
24‧‧‧上蓋固定部
22‧‧‧第一彈性元件
23‧‧‧上閥門
21‧‧‧蓋體
231‧‧‧固定槽
211‧‧‧主蓋體
212‧‧‧濾網
213‧‧‧隔網
29‧‧‧墊圈
25‧‧‧下蓋固定部
28‧‧‧第二彈性元件
27‧‧‧移動控制部
26‧‧‧下閥門
230‧‧‧第一柱體
260‧‧‧第二柱體
272‧‧‧溝槽
251‧‧‧穿孔
261、270、240‧‧‧進氣口
271‧‧‧突出部
50‧‧‧充氣裝置
圖1是關於本創作的精密元件收納裝置之分解示意圖。
圖2是關於本創作的充氣逆止閥之立體圖。
圖3是關於本創作的充氣逆止閥之分解示意圖。
圖4是依據圖3的另一視角的分解示意圖。
圖5是依據圖2的剖面示意圖。
圖6是依據圖5，顯示充氣裝置50作用在充氣逆止閥的剖面示意圖。
圖7是依據圖6，利用箭頭方向顯示氣體流向。
24‧‧‧上蓋固定部
22‧‧‧第一彈性元件
23‧‧‧上閥門
21‧‧‧蓋體
29‧‧‧墊圈
25‧‧‧下蓋固定部
28‧‧‧第二彈性元件
27‧‧‧移動控制部
26‧‧‧下閥門
230‧‧‧第一柱體
260‧‧‧第二柱體
271‧‧‧突出部
50‧‧‧充氣裝置

Claims (10)

  1. 一種充氣逆止閥，其包括：一上蓋部，其包括一上蓋固定部、一第一彈性元件、一上閥門及一蓋體，其中該第一彈性元件位於該上閥門與該蓋體之間，並藉由該第一彈性元件提供彈力作用在該上閥門；以及一下蓋部，其包括一下蓋固定部、一第二彈性元件、一移動控制部及一下閥門，其中該移動控制部具有一突出部，該移動控制部位於該第二彈性元件與該下閥門之間，且該第二彈性元件提供彈力作用在該移動控制部，並透過該移動控制部使該第二彈性元件的彈力作用在該下閥門；其中，該上蓋固定部與該下蓋固定部相對應結合，該蓋體嵌合於該上蓋固定部上，以使該第一彈性元件、該上閥門、該第二彈性元件、該移動控制部及該下閥門位於該上蓋固定部與該下蓋固定部之內，且該移動控制部的該突出部突出於該下蓋固定部之外，當該移動控制部的該突出部被外力移動時，該下閥門所受的該第二彈性元件的彈力即被移除。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之充氣逆止閥，其中該上閥門向下延伸一第一柱體，且該下閥門向上延伸一第二柱 體，該第一柱體與該第二柱體彼此相對應結合，形成一閥門，以控制氣體的進出。
  3. 如申請專利範圍第2項所述之充氣逆止閥，其中該上閥門與該下閥門為一體成型。
  4. 如申請專利範圍第1項所述之充氣逆止閥，其中該第二彈性元件為一彈片。
  5. 如申請專利範圍第4項所述之充氣逆止閥，其中該彈片與該移動控制部結合為一體。
  6. 如申請專利範圍第1項所述之充氣逆止閥，其中該第二彈性元件是一彈簧，且該移動控制部更包括一溝槽，該溝槽係對應於該彈簧，以使該彈簧的一部分嵌入該溝槽。
  7. 一種具有一充氣逆止閥的精密元件收納裝置，其中該精密元件收納裝置包括：一收納本體，其具有一開口；及一門體，其對應於該開口，以密封該開口；其中，至少一貫穿孔位於該門體或該收納本體，該充氣逆止閥係嵌合於該貫穿孔，以控制氣體的進出；其中該充氣逆止閥包括：一上蓋部，其包括一上蓋固定部、一第一彈性元件、一上閥門及一蓋體，其中該第一彈性元件位於該上閥門與該蓋體之間，並藉由該第一彈性元件提供彈力作用在該上閥門；以及一下蓋部，其包括一下蓋固定部、一第二彈性元 件、一移動控制部及一下閥門，其中該移動控制部具有一突出部，該移動控制部位於該第二彈性元件與該下閥門之間，且該第二彈性元件提供彈力作用在該移動控制部，並透過該移動控制部使該第二彈性元件的彈力作用在該下閥門；其中，該上蓋固定部與該下蓋固定部相對應結合，該蓋體嵌合於該上蓋固定部上，以使該第一彈性元件、該上閥門、該第二彈性元件、該移動控制部及該下閥門位於該上蓋固定部與該下蓋固定部之內，且該移動控制部的該突出部突出於該下蓋固定部之外，當該移動控制部的該突出部被外力移動時，該下閥門所受的該第二彈性元件的彈力即被移除。
  8. 如申請專利範圍第7項所述之精密元件收納裝置，其中該上閥門向下延伸一第一柱體，且該下閥門向上延伸一第二柱體，該第一柱體與該第二柱體彼此相對應結合，形成一閥門，以控制氣體的進出。
  9. 如申請專利範圍第8項所述之精密元件收納裝置，其中該上閥門與該下閥門為一體成型。
  10. 如申請專利範圍第7項所述之精密元件收納裝置，其中該第二彈性元件為一彈片，且該彈片與該移動控制部結合為一體。
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