CN202884142U - 充气逆止阀及具有充气逆止阀的精密元件收纳装置 - Google Patents

Abstract

一种充气逆止阀及具有充气逆止阀的精密元件收纳装置，充气逆止阀利用一第一与第二弹性元件分别提供弹力作用在上、下阀门，其中上、下阀门彼此结合为一组。利用外力(充气装置的移动)控制充气逆止阀的一移动控制部，使第二弹性元件移除对下阀门的弹力作用，藉此减缓控制由上、下阀门形成的阀门，而使气体较容易进入阀门。

Description

充气逆止阀及具有充气逆止阀的精密元件收纳装置

技术领域

本实用新型涉及一种充气逆止阀以及具有充气逆止阀的精密元件收纳装置。

背景技术

现今的半导体精密元件的工艺多区分为多个处理腔体，利用精密元件收纳装置在各处理腔体的间搬移精密元件。

为了使精密元件的保存与运输过程中保持无污染的清洁状态，并为了隔绝精密元件与大气的接触，在精密元件收纳装置中充入气体便是目前解决的手段的一。

因此目前市面上的精密元件收纳装置会设有一个逆止阀，使得充入精密元件收纳装置的气体不会外泄。逆止阀的原理是利用弹簧与阀门，也就是利用弹簧的弹力抵住阀门。当充入气体时，进气的力量会大于弹簧的弹力，因此能推动阀门，而达成充气的目的，使得精密元件收纳装置内充满气体，例如氮气。

一般而言，充气装置在提供气体到精密元件收纳装置时，进气的推力并不会太大，仅需大于逆止阀弹簧的弹力即可。但是逆止阀弹簧的弹力也不可过大，否则进气的推力若无法使阀门完全打开，会导致精密元件收纳装置内的气体不足，就未能达到清洁精密元件的功效。

然而，若将逆止阀弹簧的弹力降低，利用精密元件收纳装置在各处理腔体之间搬移的过程中，任何的晃动或震动都会很容易导致逆止阀的弹簧被震开，也就是非正常的开启阀门，进而造成精密元件收纳装置的漏气。

有鉴于此，有必要提供一种气密性较佳的充气逆止阀及具有充气逆止阀的精密元件收纳装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种气密性较佳的充气逆止阀及具有充气逆止阀的精密元件收纳装置，以便在精密元件收纳装置的搬运过程中，不易因摇晃而导致漏气。

为达上述目的，本实用新型提供一种充气逆止阀，其包括：

一上盖部，其包括一上盖固定部、一第一弹性元件、一上阀门及一盖体，其中该第一弹性元件位于该上阀门与该盖体之间，并利用该第一弹性元件提供弹力作用在该上阀门；以及

一下盖部，其包括一下盖固定部、一第二弹性元件、一移动控制部及一下阀门，其中该移动控制部具有一突出部，该移动控制部位于该第二弹性元件与该下阀门之间，且该第二弹性元件提供弹力作用在该移动控制部，并通过该移动控制部使该第二弹性元件的弹力作用在该下阀门；

其中，该上盖固定部与该下盖固定部相对应结合，该盖体嵌合于该上盖固定部上，以使该第一弹性元件、该上阀门、该第二弹性元件、该移动控制部及该下阀门位于该上盖固定部与该下盖固定部之内，且该移动控制部的该突出部突出于该下盖固定部之外，当该移动控制部的该突出部被外力移动时，该下阀门所受的该第二弹性元件的弹力即被移除。

上述的充气逆止阀，其中该上阀门向下延伸一第一柱体，且该下阀门向上延伸一第二柱体，该第一柱体与该第二柱体彼此相对应结合，形成一阀门，以控制气体的进出。

上述的充气逆止阀，其中该上阀门与该下阀门为一体成型。

上述的充气逆止阀，其中该第二弹性元件为一弹片。

上述的充气逆止阀，其中该弹片与该移动控制部结合为一体。

上述的充气逆止阀，其中该第二弹性元件是一弹簧，且该移动控制部还包括一沟槽，该沟槽对应于该弹簧，以使该弹簧的一部分嵌入该沟槽。

为达上述目的，本实用新型还提供一种具有一充气逆止阀的精密元件收纳装置，该精密元件收纳装置包括：

一收纳本体，其具有一开口；及

一门体，其对应于该开口，以密封该开口；

其中，至少一贯穿孔位于该门体或该收纳本体，该充气逆止阀嵌合于该贯穿孔，以控制气体的进出；

其中该充气逆止阀包括：

一上盖部，其包括一上盖固定部、一第一弹性元件、一上阀门及一盖体，其中该第一弹性元件位于该上阀门与该盖体之间，并利用该第一弹性元件提供弹力作用在该上阀门；以及

一下盖部，其包括一下盖固定部、一第二弹性元件、一移动控制部及一下阀门，其中该移动控制部具有一突出部，该移动控制部位于该第二弹性元件与该下阀门之间，且该第二弹性元件提供弹力作用在该移动控制部，并通过该移动控制部使该第二弹性元件的弹力作用在该下阀门；

其中，该上盖固定部与该下盖固定部相对应结合，该盖体嵌合于该上盖固定部上，以使该第一弹性元件、该上阀门、该第二弹性元件、该移动控制部及该下阀门位于该上盖固定部与该下盖固定部之内，且该移动控制部的该突出部突出于该下盖固定部之外，当该移动控制部的该突出部被外力移动时，该下阀门所受的该第二弹性元件的弹力即被移除。

上述的具有一充气逆止阀的精密元件收纳装置，其中该上阀门向下延伸一第一柱体，且该下阀门向上延伸一第二柱体，该第一柱体与该第二柱体彼此相对应结合，形成一阀门，以控制气体的进出。

上述的具有一充气逆止阀的精密元件收纳装置，其中该上阀门与该下阀门为一体成型。

上述的具有一充气逆止阀的精密元件收纳装置，其中该第二弹性元件为一弹片，且该弹片与该移动控制部结合为一体。

以下结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细描述，但不作为对本实用新型的限定。

附图说明

图1是关于本实用新型的精密元件收纳装置的分解示意图；

图2是关于本实用新型的充气逆止阀的立体图；

图3是关于本实用新型的充气逆止阀的分解示意图；

图4是依据图3的另一视角的分解示意图；

图5是依据图2的剖视示意图；

图6是依据图5，显示充气装置50作用在充气逆止阀的剖视示意图；

图7是依据图6，利用箭头方向显示气体流向。

其中，附图标记

收纳本体1             门体3

充气逆止阀2           开口12

贯穿孔11              上盖部20a

下盖部20b             上盖固定部24

第一弹性元件22        上阀门23

盖体21                固定槽231

主盖体211             滤网212

隔网213               垫圈29

下盖固定部25          第二弹性元件28

移动控制部27          下阀门26

第一柱体230           第二柱体260

沟槽272               穿孔251

进气口261、270、240   突出部271

充气装置50

具体实施方式

为能更了解本实用新型的技术内容，特举多个较佳具体实施例说明如下。应可了解的是以下所提的上、下、左、右等方向仅是用以说明相对位置，并非用以限制本实用新型。另外，图示的元件数量也只是用以举例说明，并非用以限制本实用新型。

请先参考图1及图2，本实用新型提供的精密元件收纳装置，其包括：一收纳本体1、一门体3及至少一充气逆止阀2。收纳本体1具有一开口12。门体3对应于该开口12，门体3可密封精密元件收纳装置的开口12。如图1所示，收纳本体1上设有贯穿孔11，充气逆止阀2是嵌合于贯穿孔11，以控制气体的进出(以下将有进一步说明)。应可了解的是，嵌设有充气逆止阀2的贯穿孔11也可被设在门体3(图未示)。贯穿孔11设置的位置及数量是对应于承载介面(load port)的充气装置50(显示在图5)。

请同时参考图3与图4，本实用新型的充气逆止阀2包括：一上盖部20a及一下盖部20b。上盖部20a包括一上盖固定部24、一第一弹性元件22、一上阀门23及一盖体21。第一弹性元件22位于上阀门23与盖体21之间，并利用第一弹性元件22提供弹力作用在上阀门23。在本实施例中，第一弹性元件22是一弹簧，该弹簧22的一部份被嵌入上阀门23的固定槽231。藉此固定弹簧22。

盖体21包括主盖体211、滤网212及隔网213。由于滤网212及隔网213都与传统的滤网及隔网相同，因此未在此多赘述。为了增加气密性，还可在上阀门23与上盖固定部24之间设有一垫圈29。利用主盖体211扣合盖住上盖固定部24，可将滤网212、隔网213、第一弹性元件22、上阀门23、垫圈29等组件固定在主盖体211与上盖固定部24之间。

下盖部20b包括一下盖固定部25、一第二弹性元件28、一移动控制部27及一下阀门26。移动控制部位于第二弹性元件与下阀门之间，且第二弹性元件28提供弹力作用在移动控制部27，并通过移动控制部27使第二弹性元件28的弹力同时作用在下阀门26。较佳者，第二弹性元件28是一弹簧，且该移动控制部27还包括一沟槽272，该沟槽272对应于弹簧28，以使弹簧28的一部分嵌入该沟槽272。藉此固定弹簧28。此外，在不同实施例中，第二弹性元件28也可以是一弹片。弹片与移动控制部27结合为一体(图未显示)，例如可设计为在移动控制部27上侧的周围向上翘起多个塑胶片体(图未显示)。

较佳者，上阀门23向下延伸一第一柱体230，且下阀门26向上延伸一第二柱体260。第一柱体230套入第二柱体260内使彼此相对应结合，形成一阀门，以控制气体的进出(以下将有详细说明)。虽然上阀门23与下阀门26在本图示为两个分开的组件，然实际上，若能克服模具射出成型，上阀门23与下阀门26也可为一体成型的单一组件(one piece)。

上盖固定部24与下盖固定部25相对应结合，盖体21嵌合于上盖固定部24上，藉此第一弹性元件22、上阀门23、第二弹性元件28、移动控制部27及下阀门26被固定在上盖固定部24与下盖固定部25之内。

请同时参考图5，以下将说明利用本实用新型的充气逆止阀2控制气体的进出。当充气装置50尚未接触本实用新型的充气逆止阀2时，利用第一弹性元件22与第二弹性元件28提供的弹力(方为向下的弹力)，上阀门23与下阀门26形成的阀门是向下分别紧靠在上盖固定部24的底缘及下盖固定部25的底缘，而且由于上阀门23未设有通气孔，因此精密元件收纳装置(图1所示)内的气体不会(向下)外漏。此时受第二弹性元件28提供的弹力，移动控制部27的突出部271向下延伸并穿通过下盖固定部25的穿孔251而突出于下盖固定部25之外。

请参考图6，欲对精密元件收纳装置内部充气时，充气装置50沿着件号方向移动，移动控制部27的突出部271受充气装置50的推力而移动时，下阀门26所受来自第二弹性元件28的弹力即被移除。

此时，请参考图7，充气装置50进行充气时，其进气的力量只需克服第一弹性元件22的弹力，即可使气体流向(如箭号所示)为经由下盖固定部25的进气口250，通过下阀门26的进气口261、移动控制部27的进气口270、上盖固定部24的进气口240、及盖体21而到达精密元件收纳装置的内部(关于进气口请参考图4的标号)。

由于本实用新型的移动控制部与第二弹性元件的作用，使得原本仅受第一弹性元件的弹力控制的阀门增加了第二弹性元件的弹力压迫，因此在精密元件收纳装置的搬运过程中，不易因摇晃而导致漏气。而且，利用移动控制部控制第二弹性元件，充气装置的进气力量也不用太大，因此不会有充气不足的问题。

当然，本实用新型还可有其它多种实施例，在不背离本实用新型精神及其实质的情况下，熟悉本领域的技术人员当可根据本实用新型作出各种相应的改变和变形，但这些相应的改变和变形都应属于本实用新型所附的权利要求的保护范围。

Claims (10)

1.一种充气逆止阀，其特征在于，包括：

一上盖部，其包括一上盖固定部、一第一弹性元件、一上阀门及一盖体，其中该第一弹性元件位于该上阀门与该盖体之间，并利用该第一弹性元件提供弹力作用在该上阀门；以及

一下盖部，其包括一下盖固定部、一第二弹性元件、一移动控制部及一下阀门，其中该移动控制部具有一突出部，该移动控制部位于该第二弹性元件与该下阀门之间，且该第二弹性元件提供弹力作用在该移动控制部，并通过该移动控制部使该第二弹性元件的弹力作用在该下阀门；

其中，该上盖固定部与该下盖固定部相对应结合，该盖体嵌合于该上盖固定部上，以使该第一弹性元件、该上阀门、该第二弹性元件、该移动控制部及该下阀门位于该上盖固定部与该下盖固定部之内，且该移动控制部的该突出部突出于该下盖固定部之外，当该移动控制部的该突出部被外力移动时，该下阀门所受的该第二弹性元件的弹力即被移除。

2.根据权利要求1所述的充气逆止阀，其特征在于，该上阀门向下延伸一第一柱体，且该下阀门向上延伸一第二柱体，该第一柱体与该第二柱体彼此相对应结合，形成一阀门，以控制气体的进出。

3.根据权利要求2所述的充气逆止阀，其特征在于，该上阀门与该下阀门为一体成型。

4.根据权利要求1所述的充气逆止阀，其特征在于，该第二弹性元件为一弹片。

5.根据权利要求3所述的充气逆止阀，其特征在于，该弹片与该移动控制部结合为一体。

6.根据权利要求1所述的充气逆止阀，其特征在于，该第二弹性元件是一弹簧，且该移动控制部还包括一沟槽，该沟槽对应于该弹簧，以使该弹簧的一部分嵌入该沟槽。

7.一种具有一充气逆止阀的精密元件收纳装置，其特征在于，该精密元件收纳装置包括：

一收纳本体，其具有一开口；及

一门体，其对应于该开口，以密封该开口；

其中，至少一贯穿孔位于该门体或该收纳本体，该充气逆止阀嵌合于该贯穿孔，以控制气体的进出；

其中该充气逆止阀包括：

一上盖部，其包括一上盖固定部、一第一弹性元件、一上阀门及一盖体，其中该第一弹性元件位于该上阀门与该盖体之间，并利用该第一弹性元件提供弹力作用在该上阀门；以及

一下盖部，其包括一下盖固定部、一第二弹性元件、一移动控制部及一下阀门，其中该移动控制部具有一突出部，该移动控制部位于该第二弹性元件与该下阀门之间，且该第二弹性元件提供弹力作用在该移动控制部，并通过该移动控制部使该第二弹性元件的弹力作用在该下阀门；

其中，该上盖固定部与该下盖固定部相对应结合，该盖体嵌合于该上盖固定部上，以使该第一弹性元件、该上阀门、该第二弹性元件、该移动控制部及该下阀门位于该上盖固定部与该下盖固定部之内，且该移动控制部的该突出部突出于该下盖固定部之外，当该移动控制部的该突出部被外力移动时，该下阀门所受的该第二弹性元件的弹力即被移除。

8.根据权利要求7所述的具有一充气逆止阀的精密元件收纳装置，其特征在于，该上阀门向下延伸一第一柱体，且该下阀门向上延伸一第二柱体，该第一柱体与该第二柱体彼此相对应结合，形成一阀门，以控制气体的进出。

9.根据权利要求8所述的具有一充气逆止阀的精密元件收纳装置，其特征在于，该上阀门与该下阀门为一体成型。

10.根据权利要求7所述的具有一充气逆止阀的精密元件收纳装置，其特征在于，该第二弹性元件为一弹片，且该弹片与该移动控制部结合为一体。

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