KR200472665Y1 - 가스 충전 체크 밸브 및 가스 충전 체크 밸브를 구비하는 정밀 용기 장치 - Google Patents

가스 충전 체크 밸브 및 가스 충전 체크 밸브를 구비하는 정밀 용기 장치 Download PDF

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Abstract

가스 충전 밸브는 상부 밸브 및 바닥 밸브 상에 탄성력을 개별적으로 제공하는 제 1 탄성 요소 및 제 2 탄성 요소를 이용한다. 상부 밸브 및 바닥 밸브는 하나의 세트로서 서로에 대응한다. 가스 충전 디바이스가 가스 충전 체크 밸브의 이동 제어부 상에 외력을 작용하도록 이동될 때, 제 2 탄성 요소는 상부 밸브 및 바닥 밸브에 의해 형성된 밸브를 위해 요구되는 가스 주입력을 감소시키도록 바닥 밸브 상에 작용된 탄성력을 제거하여 가스가 보다 쉽게 밸브에 들어갈 수 있다.

Description

가스 충전 체크 밸브 및 가스 충전 체크 밸브를 구비하는 정밀 용기 장치{GAS CHARGING CHECK VALVE AND PRECISION CONTAINER APPARATUS WITH GAS CHARGING CHECK VALVE}
본 고안은 가스 충전 체크 밸브 및 가스 충전 체크 밸브를 구비하는 정밀 부품 용기 장치에 관련된다.
오늘날, 반도체 정밀 부품들의 제조 공정은 몇몇의 처리 챔버들로 나뉜다. 정말 부품 용기 장치들은 각각의 처리 챔버 사이에서 정밀 부품들을 이동시키기 위해 사용된다.
정밀 부품들이 오염 물질 및 대기 공기와의 접촉으로부터 고립되는 것을 확실히 하기 위해, 종래의 접근은 가스를 정밀 부품 용기 장치들을 가스로 충전시키는 것이다.
따라서, 정밀 부품 용기 장치는 오늘날 일반적으로 정밀 부품 용기 장치로부터 가스의 누출을 방지하도록 체크 밸브를 구비한다. 일반적으로, 스프링 및 밸브가 체크 밸브에 사용된다. 구체적으로, 스프링의 탄성력이 밸브에 적용된다. 가스가 용기 안으로 주입될 때, 가스의 유입력이 스프링의 탄성력을 초과하여, 질소 같은 가스를 구비하는 정밀 부품 용기 장치의 충전을 위해 밸브를 개방되게 한다.
일반적으로, 가스 충전 디바이스는 정밀 부품 용기 장치 안으로 가스를 공급하는 동안 큰 미는 힘을 발생시킬 필요가 없다. 미는 힘은 오직 체크 밸브 내의 스프링의 탄성력보다 클 필요가 있다. 따라서, 체크 밸브의 탄성력은 가스의 미는 힘까지 초과될 수 없도록 클 수 없다. 그와 달리, 가스의 미는 힘이 밸브를 완전히 개방할 수 없다면, 가스의 부족한 양은 용기 안으로 주입될 것이며 세정 정밀 부품들의 목적은 달성되지 않을 것이다.
그러나, 만약 체크 밸브 스프링의 탄성력이 감소된다면, 충전 작업 동안 흔들림 또는 진동이 체크 밸브 스프링을 더 쉽게 이동하게 하여 밸브는 비정상적으로 개방될 것이며 가스는 정밀 부품 용기 장치로부터 누출될 것이다.
그러므로 더 나은 가스 밀폐를 구비하는 가스 충전 체크 밸브 및 상기 가스 충전 체크 밸브를 구비하는 정밀 부품 용기 장치를 설계할 필요가 있다.
본 고안의 목적은 가스 충전 체크 밸브 및 향상된 가스 밀폐를 구비하는 정밀 부품 용기 장치를 제공하는 것이다.
본 고안의 일 실시예에 따른 정밀 부품 용기 장치는 개구를 구비하는 용기 몸체, 도어 몸체, 및 적어도 하나의 충전 체크 밸브를 포함한다. 도어 몸체는 정밀 부품 용기 장치를 밀폐하기 위한 개구에 대응한다. 관통 홀은 용기 몸체상에 또는 도어 몸체상에 배치된다. 가스 충전 체크 밸브는 가스의 통로를 내외로 (가스를 안으로 그리고 가스를 밖으로) 제어하기 위해 관통 홀 내에 끼워진다.
가스 충전 체크 밸브는 상부 덮개부 및 바닥 덮개부를 포함한다. 상부 덮개부는 상부 덮개 고정부, 제 1 탄성 요소, 상부 밸브 및 덮개 몸체를 포함한다. 제 1 탄성 요소는 상부 덮개 및 몸체 사이에 배치된다. 제 1 탄성 요소는 상부 밸브 상에 탄성력을 가한다. 바닥 덮개부는 바닥 덮개 고정부, 제 2 탄성 요소, 이동 제어부 및 바닥 밸브를 포함한다. 이동 제어부는 제 2 탄성 요소 및 바닥 밸브 사이에 배치된다. 제 2 탄성 요소는 바닥 밸브 상에 탄성력을 가한다. 이동 제어부 상에는 돌출부가 있다.
상부 덮개 고정부 및 바닥 덮개 고정부는 대응하게 결합된다. 덮개 몸체는 상부 덮개 고정부 상에 끼워져서 제 1 탄성 요소, 상부 밸브, 제 2 탄성 요소, 이동 제어부 및 바닥 밸브는 상부 덮개 고정부 및 바닥 덮개 고정부 내에 배치된다. 이동 제어부의 돌출부는 바닥 덮개 고정부의 외부로 돌출된다. 이동 제어부의 돌출부가 외력에 의해 이동될 때 제 2 탄성 요소로부터 바닥 밸브에 대한 탄성력은 제거된다.
상부 밸브는 제 1 실린더와 함께 아래로 연장하며, 바닥 밸브는 제 2 실린더와 함께 위로 연장한다. 제 1 실린더 및 제 2 실린더는 서로에 대해 대응하여 가스를 안으로 그리고 가스를 밖으로 제어하기 위한 밸브를 형성하도록 함께 결합한다.
일 실시예에서, 상부 밸브 및 바닥 밸브는 단일체 설계로서 형성된다.
제 2 탄성 요소는 스프링이며, 이동 제어부는 스프링에 대응하는 홈을 더 포함하여 스프링의 일부가 홈 내에 끼워진다.
게다가, 제 2 탄성 요소는 탄성 리드일 수 있다. 탄성 리드 및 이동 제어부는 단일체로서 통합된다.
본 명세서 내에 포함되어 있음.
도 1은 본 고안에 따른 정밀 부품 용기 장치의 분해 조립도이다;
도 2는 본 고안에 따른 가스 충전 체크 밸브의 사시도이다;
도 3은 본 고안에 따른 가스 충전 체크 밸브의 분해 조립도이다;
도 4는 다른 각도에서의 도 3의 분해 조립도이다;
도 5는 도 2의 단면도이다;
도 6은 가스 충전 체크 밸브 상에 작용되는 가스 충전 디바이스의 작동을 도시하는 단면도이다; 및
도 7은 방향의 화살표들을 구비하여 도 6에서 가스 흐름을 도시한다.
본 고안의 기술적인 상세사항들을 보다 분명히 설명하기 위해, 몇몇의 실시예들이 다음과 같이 나타내진다. “위로(up)”, “아래로(down)”, “왼쪽(left)” 및 “오른쪽(right)”라는 방향을 가리키는 용어들은 상대적인 위치들을 가리키는 데만 사용되며 본 고안의 범위를 한정하도록 의도되지 않는다. 게다가, 도면들에서 도시된 부품들의 수는 예시들로서 사용되며 본 고안의 범위를 한정하도록 의도되지 않는다.
용기 몸체(container body; 1), 도어 몸체(door body; 3) 및 적어도 하나의 가스 충전 체크 밸브(gas charging check valve; 2)를 포함하는 정밀 부품 용기 장치(precision component container apparatus)를 도시하는 도 1 및 도 2를 참조하시오. 용기 몸체(1)는 개구(opening; 12)를 구비한다. 도어 몸체(3)는 개구(12)에 대응한다. 도어 몸체(3)는 정밀 부품 용기 장치의 개구(12)를 확실하게 밀폐시킬 수 있다. 도 1에 도시된 바와 같이, 용기 몸체(1)는 관통 홀(through hole; 11)을 구비한다. 가스 충전 체크 밸브(2)는 가스를 내외로 제어하기 위해 관통 홀(11) 내에 끼워지며, 더 상세사항들은 다음과 같이 설명된다. 가스 충전 체크 밸브(2)를 삽입하기 위한 관통 홀(11)은 또한 (도시되지 않은) 도어 몸체(3) 내에 놓여질 수 있다. 관통 홀(11)의 위치 및 개수는 부하 포트(load port) 상에 (도 5에 도시된) 가스 충전 디바이스(gas charging device; 50)에 대응한다.
도 3 및 도 4를 참조하시오. 가스 충전 체크 밸브(2)는 상부 덮개부(top cover portion; 20a) 및 바닥 덮개부(bottom cover portion; 20b)를 포함한다. 상부 덮개부(20a)는 상부 덮개 고정부(top cover fixing portion; 24), 제 1 탄성 요소(first elastic element; 22), 상부 밸브(top valve; 23) 및 상부 덮개 몸체(cover body; 21)를 포함한다. 제 1 탄성 요소(22)는 상부 밸브(23) 및 덮개 몸체(21) 사이에 배치된다. 제 1 탄성 요소(22)는 상부 밸브(23) 상에 탄성력을 가한다. 이 실시예에서, 제 1 탄성 요소(22)는 스프링이다. 스프링(22)의 일부는 스프링(22)을 고정하기 위해 상부 밸브의 고정 홈(groove; 231) 내에 끼워진다.
덮개 몸체(21)는 주된 덮개 몸체(main cover body; 211), 필터망(filter net; 212) 및 분리망(separating net; 213)을 포함한다. 필터망(212) 및 분리망(213)은 종래의 필터망 및 분리망과 유사하며, 설명은 간결함을 위해 생략된다. 가스 밀폐를 향상시키기 위해, 개스킷(gasket; 29)은 상부 밸브(23) 및 상부 덮개 고정부(24) 사이에 추가적으로 배치된다. 클리핑(clipping)에 의해 주된 덮개 몸체(211)는 상부 덮개 고정부(24), 필터망(212), 분리망(213), 제 1 탄성 요소(22), 상부 밸브(23), 개스킷(29) 및 다른 부품들을 덮기 위해 주된 덮개 몸체(211) 및 상부 덮개 고정부(24) 사이에 고정된다.
바닥 덮개부(20b)는 바닥 덮개 고정부(bottom cover fixing portion; 25), 제 2 탄성 요소(second elastic element; 28), 이동 제어부(movement control portion; 27) 및 바닥 밸브(bottom valve; 26)를 포함한다. 이동 제어부(27)는 제 2 탄성 요소(28) 및 바닥 밸브(26) 사이에 배치된다. 제 2 탄성 요소(28)는 이동 제어부(27) 상에 탄성력을 가하고 또한 동시에 이동 제어부(27)와 함께 바닥 밸브(26)에 대해 탄성력을 가한다. 바람직하게, 제 2 탄성 요소(28)는 스프링이며 이동 제어부(27)는 홈(272)을 추가적으로 포함한다. 홈(272)은 스프링(28)에 대응하여 스프링의 일부가 스프링(28)을 고정하기 위해 홈(272) 내에 끼워진다. 게다가, 대체의 실시예들에서, 제 2 탄성 요소(28)는 탄성 리드(reed)일 수 있다. 탄성 리드 및 이동 제어부(27)는 (도시되지 않은) 한 조각의 단일체로서 통합될 수 있다. 예를 들어, (도시되지 않은) 몇몇의 플라스틱 클립들(clips)은 이동 제어부(27)의 상부 측 주위에서 위로 연장하도록 설계된다.
바람직하게, 상부 밸브(23)는 제 1 실린더(first cylinder; 230)와 함께 아래로 연장하며, 바닥 밸브(26)는 제 2 실린더(second cylinder; 260)와 함께 위로 연장한다. 제 1 실린더(230)는 제 2 실린더(260) 안으로 소켓되어(socketed) 그것들은 (아래에 제공된 추가적인 설명과 같이) 서로에 대해 대응한다. 상부 밸브(23) 및 바닥 밸브(26)는 두 개의 분리된 부품들로 도시되며, 적절한 사출 성형 기술 하에서, 상부 밸브(23) 및 바닥 밸브(26)는 또한 한 조각의 단일체(unibody)로서 설계될 수 있다.
상부 덮개 고정부(24) 및 바닥 덮개 고정부(25)는 서로에 대해 대응한다. 덮개 몸체(21)는 상부 덮개 고정부(24) 상에 끼워져서 제 1 탄성 요소(22), 상부 밸브(23), 제 2 탄성 요소(28), 이동 제어부(27) 및 바닥 밸브(26)는 상부 덮개 고정부(24) 및 바닥 덮개 고정부(25) 내에 고정된다.
본 고안의 가스 충전 체크 밸브를 구비하여 가스를 안으로 그리고 가스를 밖으로의 제어를 도시하는 도 5를 참조하시오. 가스 충전 디바이스(50)가 본 고안의 가스 충전 체크 밸브(2)와 접촉하지 않을 때, 제 1 탄성 요소(22) 및 제 2 탄성 요소(28)에 의해 제공된 탄성력(아래쪽의 탄성력)에 의해, 상부 밸브(23) 및 바닥 밸브(26)에 의해 형성된 밸브는 개별적으로 바닥 덮개 고정부(25) 및 상부 덮개 고정부(24)의 가장자리들에 접촉한다. 상부 밸브(23)는 가스 홀을 구비하지 않으므로, (도 1에 도시된) 정말 부품 용기 장치 내에 가스는 아래로 누출되지 않는다. 제 2 탄성 요소(28)에 의해 제공된 탄성력에 의해, 이동 제어부(27)의 돌출부(protrusion portion; 271)는 바닥 덮개 고정부(25)의 관통 홀(through hole; 251)을 통해 그리고 아래로 연장하며 바닥 덮개 고정부(25)의 외부로 돌출된다.
도 6을 참조하시오. 정밀 부품 용기 장치가 가스로 충전될 때, 가스 충전 디바이스(50)는 화살표의 방향을 따라 이동하며, 이동 제어부(27)의 돌출부(271)는 가스 충전 디바이스(50)의 미는 힘에 의해 이동되고, 바닥 밸브(26)에 대한 제 2 탄성 요소(28)로부터의 탄성력은 제거된다.
도 7을 참조하시오. 가스 충전 디바이스(50)가 가스로 용기를 채우기 시작할 때, 그것의 가스 유입력은 오직 가스를 바닥 덮개 고정부(25)의 가스 입구(gas entrance; 250)로부터, 바닥 밸브(26)의 가스 입구(261), 이동 제어부(27)의 가스 입구(270), 상부 덮개 고정부(24)의 가스 입구(240) 및 덮개 몸체(21)를 거쳐 (화살표 방향에 의해 도시된 것과 같이) 흐르게 하기 위해 제 1 탄성 요소(22)의 탄성력을 초과할 필요가 있으며, 그런 다음 가스는 정밀 부품 용기 장치 안으로 들어간다. 가스 입구들을 위한 도 4의 참조 번호들을 참조하시오.
이동 제어부 및 제 2 탄성 요소에 의해, 추가적인 탄성력은 원래 탄성력을 구비하는 제 1 탄성 요소에 의해서만 제어되는 밸브에 대해 작용되며, 정밀 부품 용기 장치가 제거되는 동안 흔들림이 발생한다면 가스 누출은 방지된다. 게다가, 이동 제어부는 제 2 탄성 요소를 제어하는 데 사용되어, 가스 충전 디바이스의 가스 유입력은 너무 클 필요가 없으며 불충분한 가스 충전의 문제를 방지할 수 있다.
본 고안의 실시예들의 설명들은 예시 및 설명의 목적을 위해서만 나타내진다. 그것들은 나타내진 형상들에 대한 본 고안을 제한하거나 포괄하도록 의도되지 않는다. 따라서, 많은 변형들 및 변경들은 당업자들에게 명백할 수 있다. 추가적으로, 앞선 공개는 본 고안을 한정하도록 의도되지 않는다. 본 고안의 범위는 첨부된 청구항들에 의해 정의된다.
1: 용기 몸체
2: 가스 충전 체크 밸브
3: 도어 몸체
11: 관통 홀
12: 개구
20a: 상부 덮개부
20b: 바닥 덮개부
21: 덮개 몸체
211: 주된 덮개 몸체
212: 필터망
213: 분리망
22: 제 1 탄성 요소
23: 상부 밸브
230: 제 1 실린더
231: 홈
24: 상부 덮개 고정부
25: 바닥 덮개 고정부
250: 가스 입구
251: 관통 홀
26: 바닥 밸브
260: 제 2 실린더
261: 가스 입구
27: 이동 제어부
270: 가스 입구
271: 돌출부
272: 홈
28: 제 2 탄성 요소
29: 개스킷
50: 가스 충전 디바이스

Claims (10)

  1. 상부 덮개 고정부, 제 1 탄성 요소, 상부 밸브 및 덮개 몸체를 포함하는 상부 덮개부, 상기 제 1 탄성 요소는 상기 상부 밸브 및 상기 덮개 몸체 사이에 배치되고, 탄성력이 상기 제 1 탄성 요소에 의해 상기 상부 밸브 상에 작용됨; 및
    바닥 덮개 고정부, 제 2 탄성 요소, 이동 제어부 및 바닥 밸브를 포함하는 바닥 덮개부, 상기 이동 제어부는 돌출부를 구비하며, 상기 이동 제어부는 상기 제 2 탄성 요소 및 상기 바닥 밸브 사이에 배치되고, 상기 제 2 탄성 요소는 상기 이동 제어부 상에 탄성력을 작용시키며, 상기 제 2 탄성 요소의 탄성력은 상기 이동 제어부와 함께 상기 바닥 밸브 상에 작용됨;
    를 포함하고,
    상기 상부 덮개 고정부 및 상기 바닥 덮개 고정부는 대응하게 결합되며, 상기 덮개 몸체는 상기 상부 덮개 고정부 상에 끼워져서 상기 제 1 탄성 요소, 상기 상부 밸브, 상기 제 2 탄성 요소, 상기 이동 제어부 및 상기 바닥 밸브가 상기 상부 덮개 고정부 및 상기 바닥 덮개 고정부 내부에 배치되며 상기 돌출부는 상기 바닥 덮개 고정부의 외부로 돌출되며, 상기 이동 제어부의 상기 돌출부가 외력에 의해 이동될 때 상기 제 2 탄성 요소에 의해 상기 바닥 밸브에 대해 가해진 탄성력이 제거되는 가스 충전 체크 밸브.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 상부 밸브는 제 1 실린더와 함께 아래로 연장하며, 상기 바닥 밸브는 제 2 실린더와 함께 위로 연장하고, 상기 제 1 실린더 및 제 2 실린더는 가스를 내외로 조절하기 위한 밸브를 형성하도록 서로에 대해 대응하는 가스 충전 체크 밸브.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 상부 밸브 및 상기 바닥 밸브는 단일체 설계로 만들어지는 가스 충전 체크 밸브.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 제 2 탄성 요소는 탄성 리드인 가스 충전 체크 밸브.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 탄성 리드는 하나의 유닛으로서 상기 이동 제어부와 통합되는 가스 충전 체크 밸브.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 제 2 탄성 요소는 스프링이며, 상기 이동 제어부는 상기 스프링에 대응하는 홈을 더 포함하여 상기 스프링의 일부가 상기 홈 안에 끼워지는 가스 충전 체크 밸브.
  7. 가스 충전 체크 밸브를 구비하는 정밀 부품 용기 장치에 있어서,
    상기 정밀 부품 용기 장치는,
    개구를 구비하는 용기 몸체; 및
    상기 개구를 밀폐하기 위한 상기 개구에 대응하는 도어 몸체;
    를 포함하고,
    적어도 하나의 관통 홀이 상기 도어 몸체 또는 상기 용기 몸체 내에 배치되며, 상기 가스 충전 체크 밸브는 가스를 내외로 제어하기 위해 상기 관통 홀 내에 끼워지며,
    상기 가스 충전 체크 밸브는,
    상부 덮개 고정부, 제 1 탄성 요소, 상부 밸브 및 덮개 몸체를 포함하는 상부 덮개부, 상기 제 1 탄성 요소는 상기 상부 밸브 및 상기 덮개 몸체 사이에 배치되며, 탄성력은 상기 제 1 탄성 요소에 의해 상기 상부 밸브 상에 작용됨;
    바닥 덮개 고정부, 제 2 탄성 요소, 및 이동 제어부 및 바닥 밸브를 포함하는 바닥 덮개부, 상기 이동 제어부는 돌출부를 구비하며, 상기 이동 제어부는 상기 제 2 탄성 요소 및 상기 바닥 밸브 사이에 배치되며, 상기 제 2 탄성 요소는 상기 이동 제어부 상에 탄성력을 작용시키고, 상기 제 2 탄성 요소의 탄성력은 상기 이동 제어부와 함께 상기 바닥 밸브 상에 작용됨;
    을 포함하고,
    상기 상부 덮개 고정부 및 상기 바닥 덮개 고정부는 대응하게 결합되며, 상기 덮개 몸체는 상기 상부 덮개 고정부 상에 끼워져서 상기 제 1 탄성 요소, 상기 상부 밸브, 상기 제 2 탄성 요소, 상기 이동 제어부 및 상기 바닥 밸브는 상기 바닥 덮개 고정부 및 상기 바닥 덮개 고정부 내부에 배치되며, 상기 돌출부는 상기 바닥 덮개 고정부의 외부로 돌출되고, 상기 이동 제어부의 돌출부가 외력에 의해 이동될 때, 상기 제 2 탄성 요소에 의해 상기 바닥 밸브에 대해 가해지는 탄성력이 제거되는 정밀 부품 용기 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 상부 밸브는 제 1 실린더와 함께 아래로 연장하고, 상기 바닥 밸브는 상기 제 2 실린더와 함께 위로 연장하며, 상기 제 1 실린더 및 상기 제 2 실린더는 가스를 내외로 제어하기 위한 밸브를 형성하도록 서로에 대해 대응하는 정밀 부품 용기 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 상부 밸브 및 상기 바닥 밸브는 단일체 설계로 만들어지는 정밀 부품 용기 장치.
  10. 제7항에 있어서,
    상기 제 2 탄성 요소는 탄성 리드이며 상기 탄성 리드는 하나의 유닛으로서 상기 이동 제어부와 통합되는 정밀 부품 용기 장치.
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