JP2024064564A - 基板収納容器 - Google Patents

Abstract

【課題】簡易な構造で、気体の圧力による弁開閉動作が可能なバルブ体を備えた基板収納容器を提供する。【解決手段】基板を収納する容器本体と、容器本体の開口を閉止する蓋体と、容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体４０と、を備える基板収納容器１において、バルブ体４０は、弁孔４１６を介して容器本体１０の外部と内部とを連通させる連通路が形成されたブロック部材４１と、弁孔４１６を開閉する弁部材４５と、を有し、気体の圧力のみで弁部材４５を弁孔４１６から浮遊させることで、容器本体１０に対する気体の流通を制御するものである。【選択図】図２Ａ

Description

本発明は、容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体を備えた基板収納容器に関する。

基板を収納する基板収納容器は、容器本体と、容器本体の開口を閉止する蓋体と、容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体を備えている。このバルブ体は、チェックバルブ機能を有するもので、弁体と、弁体を開閉させる金属製の弾性部材と、を有している（例えば、特許文献１及び特許文献２参照）。

ところで、基板収納容器は、基板を気密状態で収納するために、バルブ体から気体が供給され、また、バルブ体を介して気体が排出されるが、収納する基板の加工時に、基板に付着した残留物質も、供給した気体とともに排出されることがある。そのため、バルブ体の金属製の弾性部材などが、残留物質によって腐食されることがあった。

そこで、特許文献３にみられるような、金属製の弾性部材を用いることなく、気体通路を開閉する球体を用いたシャッター（バルブ体）も提案されている。このバルブ体は、球体の自重により弁孔を閉鎖し、押上げロッドで球体を持ち上げることで、弁孔を開放するように構成されている。

特開２００８－０６６３３０号公報 特開２００４－１７９４４９号公報 特開２００７－００５５９９号公報

しかしながら、特許文献３に記載のバルブ体では、構造が比較的簡単であるものの、容器本体の外部から内部に気体を供給する場合にしか使用することができず、容器本体の内部から外部に気体を排出する場合には適用できない。また、外部から球体を押上げる押上げロッドが必要であり、基板収納容器だけで完結する仕組みでなく、半導体製造工場の設備にも依存するため、好ましい形態とはいえない。

そこで、本発明は以上の課題に鑑みてなされたものであり、簡易な構造で、気体の圧力による弁開閉動作が可能なバルブ体を備えた基板収納容器を提供することを目的とする。

（１）本発明に係る１つの態様は、基板を収納する容器本体と、前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、前記容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体と、を備える基板収納容器において、前記バルブ体は、弁孔を介して前記容器本体の外部と内部とを連通させる連通路が形成されたブロック部材と、前記弁孔を開閉する弁部材と、を有し、前記連通路に供給された気体の圧力のみで前記弁部材を前記弁孔から浮遊させることで、前記容器本体に対する気体の流通を制御するものである。
（２）上記（１）の態様において、前記弁孔は、前記ブロック部材の上面又は下面に形成された流入路の開口から視認不能であってもよい。
（３）上記（１）又は（２）の態様において、前記弁部材は、球状であるか、あるいは、前記弁孔の側が半球状又は円錐状に形成された柱状であってもよい。
（４）上記（１）から（３）までのいずれか１つの態様において、前記バルブ体は、前記容器本体の内部から外部に向かう気体の流通を制御してもよい。
（５）上記（４）の態様において、前記弁孔は、気体が流入する流入路と気体が流出する流出路との間に位置し、前記流入路は、前記ブロック部材の上面の開口し、鉛直方向の下方に向うとともに、上方に反転し、前記流出路は、前記ブロック部材の下面の開口し、鉛直方向の上方に向うとともに、下方に反転してもよい。
（６）上記（１）から（３）までのいずれか１つの態様において、前前記バルブ体は、前記容器本体の外部から内部に向かう気体の流通を制御してもよい。
（７）上記（１）から（６）までのいずれか１つの態様において、前記バルブ体は、前記気体を濾過するフィルタを有してもよい。

本発明によれば、簡易な構造で、気体の圧力による弁開閉動作が可能なバルブ体を備えた基板収納容器を提供することができる。

本発明に係る実施形態の基板収納容器を示す分解斜視図である。 給気用のバルブ体を示す断面図である。 給気用のバルブ体を示す上面図である。 給気用のバルブ体を示す正面図である。 給気用のバルブ体を示す下面図である。 給気用のバルブ体の弁開状態を示す断面図である。 排気用のバルブ体を示す断面斜視図である。 排気用のバルブ体を示す断面斜視図である。 排気用のバルブ体を示す上面図である。 排気用のバルブ体を示す正面図である。 排気用のバルブ体を示す下面図である。 排気用のバルブ体の弁開状態における気体の流れを示す断面図である。 排気用のバルブ体の弁開状態における気体の流れを示す上面図である。 排気用のバルブ体の弁開状態における気体の流れを示す正面図である。 排気用のバルブ体の弁開状態における気体の流れを示す側面図である。 変形形態の弁部材を有するバルブ体を示す断面図である。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。本明細書の実施形態においては、全体を通じて、同一の部材には同一の符号を付している。

図１は、本発明に係る実施形態の基板収納容器１を示す概略分解斜視図である。
基板を収納する容器本体１０と、容器本体１０の開口１１を閉止する蓋体２０と、容器本体１０と蓋体２０との間に設けられる環状のガスケット３０と、を備えている。

容器本体１０は、開口１１が正面に形成された箱状体である。この開口１１は、外側に広がるように段差をつけて屈曲形成され、その段差部の面が、ガスケット３０が接触するシール面１２として、開口１１の正面の内周縁に形成されている。なお、容器本体１０は、３００ｍｍ径や４５０ｍｍ径の基板の挿入操作を行い易いことから、フロントオープン型が好ましい。

容器本体１０の内部の左右両側には、支持体１３が配置されている。支持体１３は、基板の載置及び位置決めをする機能を有している。支持体１３には、複数の溝が高さ方向に形成され、いわゆる溝ティースを構成している。そして、基板は、同じ高さの左右２か所の溝ティースに載置されている。支持体１３の材料は、容器本体１０と同様のものであってもよいが、洗浄性や摺動性を高めるために、異なる材料が用いられてもよい。

また、容器本体１０の内部の後方（奥側）には、リアリテーナ（図示なし）が配置されている。リアリテーナは、蓋体２０が閉止された場合に、後述するフロントリテーナと対となって、基板を保持する。ただし、本実施形態のようにリアリテーナを備えることなく、支持体１３が、溝ティースの奥側に、例えば、「く」字状や直線状の基板保持部を有することで、フロントリテーナと基板保持部とで基板を保持するようなものであってもよい。これらの支持体１３やリアリテーナは、容器本体１０にインサート成形や嵌合などにより設けられるとよい。

基板は、この支持体１３に支持されて容器本体１０に収納される。なお、基板の一例としては、シリコンウェーハが挙げられるが特に限定されず、例えば、石英ウェーハ、ガリウムヒ素ウェーハなどであってもよい。

容器本体１０の天井中央部には、ロボティックフランジ１４が着脱自在に設けられている。清浄な状態で基板を気密収納した基板収納容器１は、工場内の搬送ロボットにより、ロボティックフランジ１４を把持されて、基板を加工する工程ごとの加工装置に搬送される。

また、容器本体１０の両側部の外面中央部には、作業者に握持されるマニュアルハンドル１５がそれぞれ着脱自在に装着されている。

そして、容器本体１０の内部の底面には、給気部１６と排気部１７とが設けられており、容器本体１０の外部の底面には、後述するバルブ体４０，５０が取り付けられている。これらは、蓋体２０によって閉止された基板収納容器１の内部に、給気部１６から窒素ガスなどの不活性気体やドライエアを供給し、必要に応じて排気部１７から排出することで、基板収納容器１の内部の気体を置換したり、低湿度の気密状態を維持したり、基板上の不純物質を吹き飛ばしたりして、基板収納容器１の内部の清浄性を保つようになっている。なお、気体を給気部１６から給気するだけでなく、排気部１７を負圧（真空）発生装置に接続し、強制的に排気部１７から気体を排出することもある。

さらに、排気部１７から排気された気体を検知することで、基板収納容器１の内部が導入された気体で置換されたか確認することができる。なお、給気部１６及び排気部１７は、基板を底面へ投影した位置から外れた位置にあるのが好ましいが、給気部１６及び排気部１７の数量や位置は、図示したものに限らず、容器本体１０の底面の四隅部に位置してもよい。また、給気部１６及び排気部１７は、蓋体２０の側に取り付けられてもよい。

一方、蓋体２０は、容器本体１０の開口１１の正面に取り付けられる、略矩形状のものである。蓋体２０は、図示しない施錠機構を有しており、容器本体１０に形成された係止穴（図示なし）に係止片が嵌入することで施錠されるようになっている。

また、蓋体２０は、中央部に基板の前部周縁を水平に保持する弾性のフロントリテーナ（図示なし）が嵌合などで着脱自在に装着されているか、又は、インサート成形などで一体形成されている。このフロントリテーナは、支持体１３の溝ティース及び基板保持部などと同様に、ウェーハが直接接触する部位であるため、洗浄性や摺動性が良好な材料が用いられている。

そして、蓋体２０には、ガスケット３０を取り付ける取付溝２１が形成されている。例えば、蓋体２０の容器本体１０側の面には、開口１１の段差部より小さい凸部２２が環状に形成されることで、断面略Ｕ字状の取付溝２１が環状に形成されているとよい。この凸部２２は、蓋体２０を容器本体１０に取り付けた時、開口１１の段差部より奥に入り込むようになっている。

これらの容器本体１０及び蓋体２０の材料としては、例えば、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーなどの熱可塑性樹脂が挙げられる。この熱可塑性樹脂は、導電性カーボン、導電繊維、金属繊維、導電性高分子などからなる導電剤、各種の帯電防止剤、紫外線吸収剤などが適宜添加されてもよい。

つぎに、ガスケット３０は、蓋体２０の正面形状（及び容器本体１０の開口１１の形状）に対応した環状のものであり、本実施形態では、矩形枠状のものである。ただし、環状のガスケット３０は、蓋体２０への取付け前の状態で、円環（リング）状であってもよい。

ガスケット３０は、容器本体１０のシール面１２と蓋体２０との間に配置され、蓋体２０を容器本体１０に取り付けた際に、シール面１２と蓋体２０とに密着して基板収納容器１の気密性を確保し、基板収納容器１への外部からの塵埃、湿気などの侵入を低減させるとともに、内部から外部への気体の漏れを低減させるものである。

ガスケット３０は、ポリエステル系のエラストマー、ポリオレフィン系のエラストマー、フッ素系のエラストマー、ウレタン系のエラストマーなどからなる熱可塑性のエラストマー、フッ素ゴム、エチレンプロピレンゴム、シリコーン系のゴムなどの弾性材を用いて形成するとよい。これらの材料には、他の機能を付加するために、各種添加剤が添加されてもよい。

つぎに、給気用のバルブ体４０について説明する。
図２Ａ～図２Ｆは、給気用のバルブ体４０を示すもので、図２Ａは断面図であり、図２Ｂは上面図であり、図２Ｃは正面図であり、図２Ｄは下面図であり、図２Ｅは弁開状態を示す断面図である。なお、図２Ａには、バルブ体４０が装着される容器本体１０の一部も図示している。

バルブ体４０は、容器本体１０の外部から内部に向かう気体の流通を制御するもので、容器本体１０に取り付けられた際に、図示されない気体流通路を介して給気部１６と連通している。

バルブ体４０は、図２Ａに示すように、容器本体１０の底面（あるいは、容器本体１０の底面に装着されたボトムプレート）のリブによって形成された貫通孔１８に嵌められている。なお、貫通孔１８の基端側には、容器本体１０に対する気体の流通を確保する複数の通気リブ１９が形成されている。

ブロック部材４１は、外周面に第１リング溝４１１及び第２リング溝４１２が形成された円柱状のものである。また、ブロック部材４１は、容器本体１０側に向く円形状の第１面（以下、「上面」という。）４１ａと、容器本体１０側から離れる方向を向く円形状の第２面（以下、「下面」という。）４１ｂと、を含んでいる。なお、ブロック部材４１の上面４１ａには、中心軸付近から放射状に延びる区画リブ４１９が突設されている。

このようなブロック部材４１は、例えば、ポリカーボネート、ポリエーテルイミド、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーなどの熱可塑性樹脂を材料として成形されている。

つづいて、ブロック部材４１の第１リング溝４１１には、円環状の第１シールリング４２が装着されている。第１シールリング４２は、第１リング溝４１１に嵌められる環状凸部４２１を内周に有している。

この第１シールリング４２は、容器本体１０の貫通孔１８にブロック部材４１を挿入した際、ブロック部材４１と貫通孔１８との間の気密性を確保するものであり、また、貫通孔１８に嵌合することで、ブロック部材４１を固定する機能も有している。

一方、ブロック部材４１の第２リング溝４１２には、有底円環状の第２シールリング４３が装着されている。第２シールリング４３は、第２リング溝４１２に嵌められる環状凸部４３２を内周に有している。また、第２シールリング４３は、底板の中心に円形の貫通孔４３ａが形成されている。

この第２シールリング４３は、基板収納容器１をロードポートに載置した際、バルブ体４０と、ロードポートのノズルとの間の気密性を確保するものである。

なお、第２シールリング４３に、Ｕ字状のハンドルを折り畳み可能に付加して、バルブ体４０の着脱を容易にするようにしてもよい。

そして、これら第１シールリング４２及び第２シールリング４３は、例えば、フッ素ゴム、天然ゴム、ウレタンゴム、エチレンプロピレンゴムなどの材料や、ポリエステル系のエラストマー、ポリオレフィン系のエラストマー、フッ素系のエラストマー、ウレタン系のエラストマーなどからなる熱可塑性のエラストマーから形成されているとよい。なお、例えば、給気用のバルブ体４０と後述する排気用のバルブ体５０とを外部から識別できるように、これらの第１シールリング４２及び第２シールリング４３に文字・数字・記号あるいは色彩を付加してもよい。

ここで、上述したブロック部材４１の上面４１ａ（区画リブ４１９の上）には、１枚又は複数枚のフィルタ４４が、容器本体１０の通気リブ１９との間に挟持するように配置されている（図２Ａ参照）。ただし、フィルタ４４は、例えば、接着や溶着により容器本体１０又はブロック部材４１の上面４１ａに取り付けられてもよい。

このフィルタ４４は、供給又は排出される気体を濾過するものであり、四フッ化エチレン、ポリエステル繊維、フッ素樹脂などからなる多孔質膜、ガラス繊維などからなる分子濾過フィルタ、活性炭繊維などの濾材に化学吸着剤を担持させたケミカルフィルタなどから選択される。

なお、複数枚のフィルタ４４を用いる場合は、同種類のものであってもよいが、性質の異なるものを組み合わせた方が、パーティクル以外に、有機物の汚染なども防止することができるため、より好ましい。例えば、容器本体１０を洗浄する際に、水や洗浄液などの液体の滞留を抑制するか、あるいは、液体の通過を抑制する機能も奏するため、フィルタ４４の一方に疎水性又は親水性の材料を用いて、液体の透過を抑制してもよい。

ここで、弁部材４５について、ブロック部材４１に形成された気体が流れる連通路とともに説明する。

気体が流れる連通路は、ブロック部材４１の中心軸周囲に形成されており、下面４１ｂに開口する流入路４１４、弁孔４１６及び上面４１ａに開口する流出路４１８を含んでいる。

流入路４１４は、円柱状の空洞であり、鉛直方向に直交する方向（直径方向）に仕切壁４１５が設けられ、円周壁との間に空隙４１５ａが形成されている。仕切壁４１５は、流入路４１４の断面積の２５％以上（好ましくは５０％以上）の大きさを有しているとよい。なお、仕切壁４１５を流入路４１４の断面積と等しい大きさに形成するとともに、流入路４１４の周壁に溝を形成し、つまり、流入路４１４の奥側の弁孔４１６が外部から視認不能になる程度まで大きくしてもよい。

一方、流出路４１８は、上面４１ａに臨む流出口が円形状であり、弁孔４１６及び下面４１ｂに向かって窄むように傾斜した壁面（円錐面）となっている。この円錐面は、後述する弁部材４５が着座し、弁孔４１６を閉鎖することから弁座４１７となっている。

また、流出路４１８は、内側面に複数のガイドリブ４１９ａが突設されている。このガイドリブ４１９ａは、流出路４１８内を遊動する弁部材４５を中心軸に沿って移動するように案内する。なお、ガイドリブ４１９ａは、区画リブ４１９に連続して形成されているが、異なる位置に配置してもよい。

これら流入路４１４及び流出路４１８の断面積は、気体の流量及び圧力に応じて、あるいは、弁孔４１６の最大開孔量やＣｖ値に応じて適宜設計される。

そして、弁部材４５は、円錐形の流出路４１８の弁座４１７に収まるように球形に形成されている。

この弁部材４５は、所望の質量に応じて、各種ゴムや熱可塑性樹脂などを用いて形成するとよい。これらのゴムや樹脂としては、例えば、フッ素ゴム、エチレンプロピレンゴムなどのゴムや、ポリエステル系のエラストマー、ポリオレフィン系のエラストマー、フッ素系のエラストマー、ウレタン系のエラストマーなどからなる熱可塑性のエラストマーやポリカーボネート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトンなどの樹脂を用いることができる。また、弁座４１７とのシール（密着）性を優先するか、弁座４１７への貼付防止性を優先するかなどの性能条件に応じて、材料を選択してもよい。

なお、弁部材４５は、外部に露出することがなければ、内部に金属や磁石などの重量物を含んでいてもよく、弁開放圧力に応じて適宜材料や形状・寸法・質量を選択するとよい。

つぎに、バルブ体４０が気体の流通を制御する様子を説明する。

バルブ体４０は、流入路４１４に陽圧が加わらないと、弁部材４５が自重により弁座４１７に密着して、いずれの側に対しても気体の流通を遮断している。そして、例えば、流入路４１４に所定値以上の陽圧が加わると、弁部材４５は、陽圧の大きさに応じて弁座４１７から浮遊し、弁孔４１６を開放する（図２Ｅ参照）。このようにして、容器本体１０の外部から供給された気体は、流入路４１４、空隙４１５ａ、弁孔４１６、流出路４１８、フィルタ４４を通過して、容器本体１０の内部に供給される。

なお、流出路４１８に所定値以上の陰圧が加わった場合は、流入路４１４に所定値以上の陽圧が加わった場合と相対的に同様であるから、バルブ体４０は同様の弁開動作を行う。

逆に、流出路４１８に陽圧が加わった場合、弁部材４５は、弁座４１７に密着したまま更に押し付けられるため、気体は弁孔４１６を通過することなく、流通の遮断が維持される。

このバルブ体４０において、気体の流通が可能となる圧力の所定値は、弁部材４５の質量（自重）に依存するため、弁部材４５の材質や直径や質量を適宜変更することで調節可能である。

ここで、変形形態の弁部材１４５を有するバルブ体１４０について説明する。
図４は、変形形態の弁部材１４５を有するバルブ体１４０を示す断面図である。

上記実施形態では、弁部材４５は、球形であったが、変形形態の弁部材１４５は、多角柱又は円柱状の基部１４６と、弁孔４１６の側（鉛直方向下方側）が半球状又は円錐状に形成された先端部１４７と、で形成されている。

なお、弁部材１４５は、弁部材４５と同様に、内部に金属や磁石などの重量物を外部に露出しないように含んでいてもよく、弁開放圧力に応じて適宜材料や質量を選択するとよい。そして、このような形状の弁部材１４５は、後述する排気用のバルブ体５０に適用することもできる。

つづいて、排気用のバルブ体５０について説明する。
図３Ａ～図３Ｅは、排気用のバルブ体５０を示すもので、図３Ａは断面斜視図であり、図３Ｂは断面斜視図であり、図３Ｃは上面図であり、図３Ｄは正面図であり、図３Ｅは下面図である。また、図３Ｆ～図３Iは排気用のバルブ体５０の弁開状態における気体の流れを示すもので、図３Ｆは断面図であり、図３Ｇは上面図であり、図３Ｈは正面図であり、図３Ｉは側面図である。なお、図３Ａには、バルブ体５０が装着される容器本体１０の一部も図示している。また、バルブ体４０と同一の部材については適宜説明を省略する。

バルブ体５０は、容器本体１０に対する気体の流通を制御するもので、容器本体１０に取り付けられた際に、図示されない気体流通路を介して排気部１７と連通している。

バルブ体５０は、図３Ａに示すように、容器本体１０の底面（あるいは、容器本体１０の底面に装着されたボトムプレート）のリブによって形成された貫通孔１８に嵌められている。なお、貫通孔１８の基端側には、容器本体１０に対する気体の流通を確保する複数の通気リブ１９が形成されている。

ブロック部材５１は、ブロック部材４１と同様に、外周面に第１リング溝５１１及び第２リング溝５１２が形成された円柱状のものである。また、ブロック部材５１は、容器本体１０側に向く円形状の第１面（以下、「上面」という。）５１ａと、容器本体１０側から離れる方向を向く円形状の第２面（以下、「下面」という。）５１ｂと、を含んでいる。なお、ブロック部材５１の上面５１ａには、放射状に延びる区画リブ５１９が突設されている。

ブロック部材５１の第１リング溝５１１には、円環状の第１シールリング４２が装着されている。一方、ブロック部材５１の第２リング溝５１２には、有底円環状の第２シールリング４３が装着されている。

流入路５１４は、ブロック部材５１の上面５１ａの外周付近の２か所に開口し、下面５１ｂに向かって延びている（図３Ｂ参照）。その後、下面５１ｂの直前で円周方向に向きを変え、２つの流入路５１４が合流し、上面５１ａに向かって延びる第２流入路５１４ｂに連なっている（図３Ｇ～図３Ｉも参照）。なお、流入路５１４は、上記とは異なり、例えば、１か所に開口してもよく、３か所以上に開口してもよい。

一方、流出路５１８は、下面５１ｂに臨む流出口が略円形状であり（図３Ｅ参照）、上面５１ａに向かって延びている。その後、上面５１ａの直前で中心から半径方向に向きを変え、下面５１ｂに向かって延びる第２流出路５１８ｂに連なっている（図３Ｇ～図３Ｉも参照）。そのため、流入路５１４及び流出路５１８は、それぞれ上下方向に反転するように、第２流入路５１４ｂ及び第２流出路５１８ｂに連なっている。

また、第２流出路５１８ｂは、弁孔５１６及び下面５１ｂに向かって窄むように傾斜した円錐面を含んでいる。この円錐面は、弁部材４５が着座し、弁孔５１６を閉鎖することから弁座５１７となっている。なお、第２流出路５１８ｂの内周には、バルブ体４０と同様に、弁部材４５を案内するガイドリブ（図示なし）が設けられている。

ところで、このようなブロック部材５１の内部に弁部材４５を配置する方法としては、上面５１ａに挿入口を設けておき、弁部材４５の配置後に、挿入口を封鎖する方法や、３Ｄプリンタを用いる方法などが挙げられる。

この排気用のバルブ体５０が気体の流通を制御する様子については、給気用のバルブ体４０と基本的に逆方向であり、図３Ｇ～図３Ｉに示すとおりであるから、説明を省略する。なお、バルブ体５０の弁開時の圧力は、バルブ体４０の弁開時の圧力と異なっていてもよい。

以上説明したとおり、本発明に係る実施形態の基板収納容器１は、基板を収納する容器本体１０と、容器本体１０の開口を閉止する蓋体２０と、容器本体１０に対する気体の流通を制御するバルブ体４０，５０，１４０と、を備える基板収納容器１において、バルブ体４０，５０，１４０は、弁孔４１６，５１６を介して容器本体１０の外部と内部とを連通させる連通路が形成されたブロック部材４１，５１と、弁孔４１６，５１６を開閉する弁部材４５，１４５と、を有し、気体の圧力のみで弁部材４５，１４５を弁孔４１６，５１６から浮遊させることで、容器本体１０に対する気体の流通を制御するものである。

これにより、例えば、バルブ体４０，５０，１４０の一方側（流入路４１４，５１４）から気体が導入されて陽圧になり、所定の圧力値になると、弁部材４５，１４５が弁座４１７，５１７から浮遊（浮上）して、弁孔４１６，５１６から離間するため、導入された気体はバルブ体４０，５０，１４０の他方側（流出路４１８，５１８）へ供給されることになる。気体の圧力のみで、弁部材４５，１４５を浮遊させるため、簡易な構造とすることができる。

また、基板収納容器１は、金属製の部材を用いないバルブ体４０，５０，１４０を備えているため、収納する基板に金属腐食性の残留物質があったとしても、金属腐食の問題が起こらず、バルブ体４０，５０，１４０が作動しないようなことが起こり難い。

くわえて、実施形態の基板収納容器１を用いて湿度保持試験を行ったが、時間の経過による湿度低下は、従来のものに対して特に大きな差はみられなかった。

実施形態の弁孔４１６，５１６は、ブロック部材４１，５１の上面４１ａ又は下面５１ａｂに形成された流入路４１４，５１４の開口から視認不能である。特に、バルブ体４０は、仕切壁４１５を有しているため、特許文献３に記載された押上げロッドで、弁部材４５，１４５を押上げる弁開状態にされるようなことがない。

実施形態の弁部材４５は球状であり、弁部材１４５は弁孔４１６，５１６の側が半球状又は円錐状に形成された柱状である。これにより、弁部材４５，１４５は、均一に弁座４１７，５１７に密着するため、弁孔４１６，５１６の開閉を確実に行うことができる。また、密着性や貼付防止性、弾性力など所望の性能を有する弁部材４５，１４５を容易に設計することができ、弁の開閉圧力条件なども容易に変更することができる。

実施形態の弁孔５１６は、気体が流入する流入路５１４と気体が流出する流出路５１８との間に位置し、流入路５１４は、ブロック部材５１の上面５１ａの開口し、鉛直方向の下方に向うとともに、上方に反転し、流出路５１８は、ブロック部材５１の下面５１ｂの開口し、鉛直方向の上方に向うとともに、下方に反転する。これにより、基板収納容器１の使用時において、内部から外部に向かう気体は、鉛直方向の上方から下方に向かって供給されることになるが、気体の圧力のみで弁部材４５を弁座５１７から鉛直方向の上方に浮遊させることができる。

実施形態のバルブ体５０は、容器本体１０の内部から外部に向かう気体の流通を制御し、実施形態のバルブ体４０は、容器本体１０の外部から内部に向かう気体の流通を制御する。これにより、基板収納容器１に対する気体の流通をそれぞれ制御することができる。

実施形態のバルブ体４０，５０，１４０は、気体を濾過するフィルタ４４を有する。これにより、バルブ体４０，５０，１４０を通過する気体を濾過することができる。また、フィルタ４４を、ブロック部材４１，５１（の区画リブ４１９,５１９）と容器本体１０（の通気リブ１９）との間に挟持することで、フィルタ４４の脱落を防止することができる。

以上、本発明の好ましい実施形態について詳述したが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内において、種々の変形、変更が可能である。

（変形例）
上記実施形態において、フィルタ４４をバルブ体４０，５０，１４０とは別体として、気体供給源から容器本体１０までの気体流路中に配置してもよい。

上記実施形態において、バルブ体４０，５０，１４０は、容器本体１０及び蓋体２０の少なくとも一方に形成された貫通孔１８に取り付けられるように構成されたが、容器本体１０などに設けられた気体流路（配管）、例えば、給気部１６又は排気部１７の少なくとも一方に連通する気体流路の途中に取り付けられるように構成されてもよい。

１ 基板収納容器
１０ 容器本体、１１ 開口、１２ シール面、１３ 支持体、１４ ロボティックフランジ、１５ マニュアルハンドル、１６ 給気部、１７ 排気部、１８ 貫通孔、１９ 通気リブ
２０ 蓋体、２１ 取付溝、２２ 凸部
３０ ガスケット
４０ バルブ体
４１ ブロック部材、４１１ 第１リング溝、４１２ 第２リング溝、４１４ 流入路、４１５ 仕切壁、４１５ａ 空隙、４１６ 弁孔、４１７ 弁座、４１８ 流出路、４１９ 区画リブ、４１９ａ ガイドリブ、４１ａ 上面、４１ｂ 下面
４２ 第１シールリング、４２１ 環状凸部
４３ 第２シールリング、４３２ 環状凸部、４３ａ 貫通孔
４４ フィルタ
４５ 弁部材
５０ バルブ体
５１ ブロック部材、５１１ 第１リング溝、５１２ 第２リング溝、５１４ 流入路、５１６ 弁孔、５１７ 弁座、５１８ 流出路、５１ａ 上面、５１ｂ 下面
１４０ バルブ体
１４５ 弁部材、１４６ 基部、１４７ 先端部

Claims (7)

1. 基板を収納する容器本体と、
   前記容器本体の開口を閉止する蓋体と、
   前記容器本体に対する気体の流通を制御するバルブ体と、を備える基板収納容器において、
   前記バルブ体は、
   弁孔を介して前記容器本体の外部と内部とを連通させる連通路が形成されたブロック部材と、
   前記弁孔を開閉する弁部材と、を有し、
   前記連通路に供給された気体の圧力のみで前記弁部材を前記弁孔から浮遊させることで、前記容器本体に対する気体の流通を制御する、
   ことを特徴とする基板収納容器。
2. 前記弁孔は、前記ブロック部材の上面又は下面に形成された流入路の開口から視認不能である、
   ことを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
3. 前記弁部材は、球状であるか、あるいは、前記弁孔の側が半球状又は円錐状に形成された柱状である、
   ことを特徴とする請求項１に記載の基板収納容器。
4. 前記バルブ体は、前記容器本体の内部から外部に向かう気体の流通を制御する、
   ことを特徴とする請求項１から３までのいずれか１項に記載の基板収納容器。
5. 前記弁孔は、気体が流入する流入路と気体が流出する流出路との間に位置し、
   前記流入路は、前記ブロック部材の上面の開口し、鉛直方向の下方に向うとともに、上方に反転し、
   前記流出路は、前記ブロック部材の下面の開口し、鉛直方向の上方に向うとともに、下方に反転する、
   ことを特徴とする請求項４に記載の基板収納容器。
6. 前記バルブ体は、前記容器本体の外部から内部に向かう気体の流通を制御する、
   ことを特徴とする請求項１から３までのいずれか１項に記載の基板収納容器。
7. 前記バルブ体は、前記気体を濾過するフィルタを有する、
   ことを特徴とする請求項１から３までのいずれか１項に記載の基板収納容器。